JP2789514B2 - Ｓｏｒ露光装置 - Google Patents
Ｓｏｒ露光装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＳＯＲ露光装置に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】図５は、従来例であり、また本発明の適
用対象例でもあるＳＯＲ（シンクロトロン放射光）露光
装置の装置構成を示す。同図において、８はＳＯＲ光を
発生させるためのＳＯＲリングである。６はＳＯＲリン
グ８へ電子ビームのエネルギーを注入するための電子ビ
ームを発生し加速するリニアック（電子直線加速器）、
７はビーム輸送路である。13a 〜13f はＳＯＲリング８
からＳＯＲ光をとりだすためのポート、14はＳＯＲリン
グ８の蓄積エネルギーまたはＳＯＲ光量をモニタするビ
ームモニタ、15a 〜15e は露光装置である。ここで、各
装置は個別に制御装置を持っている。 【０００３】ＳＯＲリング８は、リニアック６から電子
ビームが入射される入射部10、電子ビームが環状にまわ
るためのリング状の超高真空槽９、これを真空に引くた
めの不図示の真空ポンプ、電子ビームを曲げるための偏
向電磁石12a 〜12h 、入射時の電子ビームの軌道および
定常状態の軌道を修正するためのキッカーコイル16、電
子ビームが一回転して速度低下するためこれを加速し定
速を維持するための高周波加速空胴11から構成される。
そして、ＳＯＲ光は偏向電磁石12a 〜12h により電子ビ
ームが曲げられる所で発生する。なお、ＳＯＲリング８
は実際にはさらに複雑な構成であるが、ここでは主要部
分のみ図示している。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の従来
例においては各々の装置は各々独立に動作しており、半
導体露光装置として露光装置の稼動率が悪いという欠点
があった。また、露光条件の設定が難しく、露光のばら
つきが出る等の欠点があった。 【０００５】本発明の目的は、上述従来形の問題点に鑑
み、ＳＯＲ露光装置において、各構成装置を有機的に結
びつけ、装置全体の動作を最適化して装置の稼動率を上
げると共に、露光条件の自動設定を可能とし露光のばら
つきを抑えることにある。 【０００６】 【課題を解決するための手段及び作用】この目的を達成
するため、本発明のＳＯＲ露光装置は、シンクロトロン
放射光を発生するＳＯＲリング、およびそれを制御する
ＳＯＲリング制御装置と、該ＳＯＲリングの周囲に放射
状に配置された複数の露光装置、およびそれらをそれぞ
れ制御する複数の露光装置制御手段と、前記ＳＯＲリン
グ制御手段と前記複数の露光装置制御手段との間を接続
して相互にデータ転送を行うための通信手段とを備え、
前記複数の各露光装置制御手段は、該通信手段を介して
得た前記ＳＯＲリングの稼動状況に応じて各露光装置の
動作を制御すると共に、前記ＳＯＲリング制御手段は、
該通信手段を介して得た前記露光装置の稼動状況に応じ
て前記ＳＯＲリングの動作を制御することを特徴とす
る。好ましい態様においては、前記通信手段にはビーム
モニタ制御装置、リニアック制御装置が接続されてお
り、また、前記通信手段はＬＡＮを有する。 【０００７】これによれば、ＳＯＲリングの制御装置
と、ＳＯＲリングの周囲に放射状に配置された複数の露
光装置の制御装置との間で、通信手段を介して、各部所
の状態や測定量等のデータのやり取りが行なわれ、この
データに基づき、最適露光条件の自動設定が行なわれる
等、露光装置全体の動作が自動的に最適化される。した
がって、装置の稼働率が向上し、半導体製造における生
産性が向上する。 【０００８】 【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。本実施例は、図５の構成のＳＯＲ露光装置に本発明
を適用したものである。図１は、本発明の一実施例に係
るＳＯＲ露光装置のブロックダイアグラムを示す。同図
において、１は電子ビームの発生および加速を行なうリ
ニアック６の制御装置、２はＳＯＲリング８の制御装
置、３はＳＯＲリング内に蓄積されている電子エネルギ
ーを検出するビームモニタ14の制御装置である。このビ
ームモニタ制御装置３により、間接的にＳＯＲ光量また
は輝度を検出することができる。４a 〜４e はＳＯＲ光
によるＸ線露光装置15a 〜15e の制御系、５は各装置間
を結ぶ通信ケーブルである。通信ケーブル５における各
装置間のデータ伝送には、ＬＡＮ（ローカルエリアネッ
トワーク）等の通信方式が用いられる。 【０００９】図２および図３はＳＯＲリングおよび露光
装置の動作フローチャートである。図１〜図５を参照し
て、本実施例の装置の動作説明を行なう。図２におい
て、ＳＯＲリング８の起動はまずステップＳ201 で不図
示の真空ポンプを起動し、リング状超高真空槽９を真空
にすることから始まる。ステップＳ202 で真空度が目標
値になれば、ステップＳ203 でＳＯＲリング８内の電子
ビームを曲げるための偏向磁石12a 〜12h の電源を入
れ、さらにＳＯＲリング８内を電子が一回転することに
より電子ビームの速度が遅くなりエネルギーが低下する
ためこれを再加速するための高周波加速空胴11の電源を
入れる。次に、ステップＳ204 でリニアック６をオン
し、これによりステップＳ205 で加速電子を入射部10を
通じてＳＯＲリング８内に入射し、ステップＳ206 でＳ
ＯＲリング８内に電子エネルギーを蓄積していく。さら
に、ステップＳ207 にてビームモニタ制御装置３を介し
ビームモニタ14でＳＯＲエネルギーを測定する。そし
て、ステップＳ208 でフルエネルギーに達したことを確
認するまで、以上のステップＳ205 〜Ｓ207 の処理を繰
返す。 【００１０】ステップＳ208 でフルエネルギーに達した
ことを確認したら、ステップＳ209でリニアック６を停
止し、ステップＳ210 でＳＯＲリング８は準備完了とな
る。準備完了を示す信号は露光装置制御系４a 〜４e に
対し（図３ステップＳ306 の(a)にて検知されるよう
に）送出される。 【００１１】ここで、ＳＯＲリング８における最大ビー
ムエネルギーの値をｅmax 、エネルギーが低下して再起
動させなければならない最小ビームエネルギーの値をｅ
1 、露光エネルギーが低下してきて露光時間が長くなる
ため露光装置へ新たなウエハカセットの処理即ち１バッ
チ処理を行なわないように指示する必要があるビームエ
ネルギーの値をｅ2 とすると、 ｅ1 ≦ｅ2 ＜ｅmax となる。そこで、まずステップＳ211 にてビームモニタ
制御装置３を介しビームモニタ14で現在のＳＯＲリング
８におけるビームエネルギーｅ0 を測定し、ステップＳ
212 でｅ0 とｅ2 との比較を行なう。もし、ｅ0 ≦ｅ2
の場合はステップＳ213 で露光装置制御系４a 〜４e へ
（図３ステップＳ306 の(a)にて検知されるように）エ
ネルギー低下前警報を出力した後ステップＳ214 に進
み、ｅ0 ＞ｅ2 の場合は直接ステップＳ214 に分岐す
る。ステップＳ213 で出力される露光装置制御系４への
エネルギー低下前警報は準備完了信号を兼用しており、
信号オンでＳＯＲリング８の準備完了を、信号オフでエ
ネルギー低下前警報を示す。 【００１２】次に、ステップＳ214 でｅ0 ≦ｅ1 の場合
はステップＳ215 で露光装置制御系４a 〜４e へ（図３
ステップＳ312 の(b)にて検知されるように）エネルギ
ー低下警報すなわち１枚のウエハを処理して終了する１
サイクル停止信号を出力する。次に、露光装置制御系４
a 〜４e からの信号を受け、ステップＳ216 で露光装置
15a 〜15e が全停止したかどうかを確認し、ステップＳ
217 へ進む。 【００１３】一方、ステップＳ214 でｅ0 ＞ｅ1 の場合
は、ステップＳ219 に分岐し１サイクル停止かどうか判
別して、もしそうであればステップＳ215 に分岐する。
ステップＳ219 で１サイクル停止していなければ、ステ
ップＳ220 でＳＯＲリング停止かどうか判別する。停止
でなければステップＳ211 へ分岐する。 【００１４】ＳＯＲリング停止の場合は、ステップＳ22
1 で露光装置制御系４a 〜４e へ（図３ステップＳ306
の(a)にて検知されるように）１バッチ停止信号を出力
する。そして、ステップＳ222 ですべての露光装置15a
〜15e が停止したならば、ステップＳ217 でＳＯＲリン
グ８を停止すなわち偏向磁石12a 〜12h と高周波加速空
胴11の電源を切りＳＯＲ光の発生を停止する。また、ス
テップＳ218 で完全停止でない場合は、ステップＳ223
にてタイマーで一定時間後再起動をかけ、ステップＳ20
2 より再び動作する。一方、ステップＳ222 ですべての
露光装置15a 〜15e が停止していない場合は、ステップ
Ｓ211 へ戻る。 【００１５】次に図３において、露光装置15a 〜15e の
それぞれの起動は、まずステップＳ301 で真空ポンプを
起動することから始まる。これはＳＯＲリングの真空ポ
ンプ起動（図２ステップＳ201 ）直後に行なう。ステッ
プＳ302 で目標真空度に達したならば、ステップＳ303
で露光装置の自己診断を行ない、ステップＳ304 で異常
の有無を確認する。異常がある場合は、ステップＳ321
で異常警報を発生し停止する。異常がなければステップ
Ｓ305 でマスクおよびウエハのセットを行ない、露光装
置の準備は完了する。 【００１６】ステップＳ306 でＳＯＲリング制御装置２
からの信号によりＳＯＲリング８の準備が完了したこと
を検知したら、ステップＳ307 でウエハをロードし、ス
テップＳ308 でウエハとマスクのアライメントを行な
い、ステップＳ309 でビームモニタ制御装置３のＳＯＲ
エネルギーデータより使用レジストに合った一定の露光
エネルギー条件となるように露光時間を計算または内蔵
データテーブルで求め、ステップＳ310 で露光後、ステ
ップＳ311 でウエハをアンロードする。これらのステッ
プＳ307 〜Ｓ311 が１枚のウエハの（１サイクル）露光
動作である。 【００１７】次に、ステップＳ312 でＳＯＲリング制御
装置２からの信号を受け、１サイクル停止がかかってい
るかチェックを行ない、１サイクル停止の場合はステッ
プＳ313 で露光装置のウエハ残り枚数を表示し、さらに
ステップＳ314 で１サイクル停止等の表示を行う。その
後、ステップＳ315 に進む。 【００１８】また、ステップＳ312 で１サイクル停止が
かかっていない場合はステップＳ318 に分岐し、１ウエ
ハカセット露光完了かどうか判別する。１ウエハカセッ
ト（１バッチ）完了ならばステップＳ319 で露光完了表
示を行ない、さらにステップＳ320 でウエハカセット交
換指示表示を行なう。その後、ステップＳ315 に進む。 【００１９】ステップＳ315 で露光装置停止完了信号を
ＳＯＲリング制御装置２へ（図２ステップＳ216 の(c)
にて検知されるように）送出する。次に、ステップＳ31
6 で露光装置を完全停止させたい場合は、ステップＳ31
7 で真空ポンプを切って完全に停止とする。完全停止し
ない場合は、ステップＳ303 に分岐し、再び露光装置の
自己診断等を行なう。 【００２０】次に、図４を参照して、本実施例において
ＳＯＲリングの電子エネルギーが低下した場合につき説
明する。 【００２１】まず、ステップＳ401 にてＳＯＲリング８
内の電子エネルギーが低下すると、ステップＳ402 にて
ビームモニタ14でエネルギー低下を検出する。これらの
処理は、図２のステップＳ211 〜Ｓ213 に対応する。次
に、ＳＯＲリング制御装置２はステップＳ403 でエネル
ギー低下警報を各露光装置制御系４a 〜４e に送出す
る。これは図２のステップＳ215 に対応する。各露光装
置は、ステップＳ404 で上記エネルギー低下警報を１サ
イクル停止信号と判断し、１サイクルで停止する。この
判断は、図３のステップＳ312 における判断である。そ
して、ステップＳ405 で各露光装置は、ＳＯＲリング制
御装置２へ露光停止信号を送出する。これは、図３ステ
ップＳ315 に対応する。 【００２２】次に、ＳＯＲリング８の側ではステップＳ
406 でＳＯＲリング制御装置２がすべての露光装置の停
止を確認し（図２Ｓ216 に対応）、ステップＳ407 で全
停止ならばＳＯＲリング８を停止し（図２Ｓ217 に対
応）、ステップＳ408 でＳＯＲリング８を再起動する
（図２Ｓ202 〜Ｓ210 に対応）。 【００２３】一方、露光装置の側では、ＳＯＲリング８
におけるステップＳ406 〜Ｓ408 の処理と並行して、ス
テップＳ409 で自己診断モードとなって自己診断し（図
３Ｓ303 に対応）、ステップＳ410 で異常がなければＳ
ＯＲリング８の準備完を待つ（図３Ｓ306 に対応）。そ
して、ＳＯＲリング８が準備完となったら、ステップＳ
411 にて引き続き露光サイクル（図３Ｓ307 〜Ｓ311 ）
に入る。 【００２４】以上説明したように、露光装置は露光途中
でＳＯＲリングが停止して露光できなくなるということ
はなくなり、露光装置の自己診断はＳＯＲリングの準備
中に行なうため露光装置の稼動率が上がり、また露光時
間をビームエネルギーにより最適化するため、露光量の
過不足による不良率も下がり、装置の信頼性が上がる。
従って、これにより最適露光装置が可能となる。 【００２５】上記実施例では、ＳＯＲリングへの電子入
射をリニアックで行なったが大型のシンクロトロンを使
用してフルエネルギーでＳＯＲリングへ電子入射を行な
うことも可能である。また、ビームモニタは露光装置へ
の露光用光束を用いることもできる。 【００２６】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ＳＯＲリング制御装置と、ＳＯＲリングの周囲に放射状
に配置された複数の露光装置の制御手段との間を接続し
て相互にデータ転送を行うための通信手段を備え、前記
複数の各露光装置制御手段は、該通信手段を介して得た
前記ＳＯＲリングの稼動状況に応じて各露光装置の動作
を制御すると共に、前記ＳＯＲリング制御手段は、該通
信手段を介して得た前記露光装置の稼動状況に応じて前
記ＳＯＲリングの動作を制御するようにしたため、露光
装置全体の動作を最適化して稼働効率を向上させること
ができ、半導体製造等における生産性を向上させること
が可能となる。
る。 【０００２】 【従来の技術】図５は、従来例であり、また本発明の適
用対象例でもあるＳＯＲ（シンクロトロン放射光）露光
装置の装置構成を示す。同図において、８はＳＯＲ光を
発生させるためのＳＯＲリングである。６はＳＯＲリン
グ８へ電子ビームのエネルギーを注入するための電子ビ
ームを発生し加速するリニアック（電子直線加速器）、
７はビーム輸送路である。13a 〜13f はＳＯＲリング８
からＳＯＲ光をとりだすためのポート、14はＳＯＲリン
グ８の蓄積エネルギーまたはＳＯＲ光量をモニタするビ
ームモニタ、15a 〜15e は露光装置である。ここで、各
装置は個別に制御装置を持っている。 【０００３】ＳＯＲリング８は、リニアック６から電子
ビームが入射される入射部10、電子ビームが環状にまわ
るためのリング状の超高真空槽９、これを真空に引くた
めの不図示の真空ポンプ、電子ビームを曲げるための偏
向電磁石12a 〜12h 、入射時の電子ビームの軌道および
定常状態の軌道を修正するためのキッカーコイル16、電
子ビームが一回転して速度低下するためこれを加速し定
速を維持するための高周波加速空胴11から構成される。
そして、ＳＯＲ光は偏向電磁石12a 〜12h により電子ビ
ームが曲げられる所で発生する。なお、ＳＯＲリング８
は実際にはさらに複雑な構成であるが、ここでは主要部
分のみ図示している。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の従来
例においては各々の装置は各々独立に動作しており、半
導体露光装置として露光装置の稼動率が悪いという欠点
があった。また、露光条件の設定が難しく、露光のばら
つきが出る等の欠点があった。 【０００５】本発明の目的は、上述従来形の問題点に鑑
み、ＳＯＲ露光装置において、各構成装置を有機的に結
びつけ、装置全体の動作を最適化して装置の稼動率を上
げると共に、露光条件の自動設定を可能とし露光のばら
つきを抑えることにある。 【０００６】 【課題を解決するための手段及び作用】この目的を達成
するため、本発明のＳＯＲ露光装置は、シンクロトロン
放射光を発生するＳＯＲリング、およびそれを制御する
ＳＯＲリング制御装置と、該ＳＯＲリングの周囲に放射
状に配置された複数の露光装置、およびそれらをそれぞ
れ制御する複数の露光装置制御手段と、前記ＳＯＲリン
グ制御手段と前記複数の露光装置制御手段との間を接続
して相互にデータ転送を行うための通信手段とを備え、
前記複数の各露光装置制御手段は、該通信手段を介して
得た前記ＳＯＲリングの稼動状況に応じて各露光装置の
動作を制御すると共に、前記ＳＯＲリング制御手段は、
該通信手段を介して得た前記露光装置の稼動状況に応じ
て前記ＳＯＲリングの動作を制御することを特徴とす
る。好ましい態様においては、前記通信手段にはビーム
モニタ制御装置、リニアック制御装置が接続されてお
り、また、前記通信手段はＬＡＮを有する。 【０００７】これによれば、ＳＯＲリングの制御装置
と、ＳＯＲリングの周囲に放射状に配置された複数の露
光装置の制御装置との間で、通信手段を介して、各部所
の状態や測定量等のデータのやり取りが行なわれ、この
データに基づき、最適露光条件の自動設定が行なわれる
等、露光装置全体の動作が自動的に最適化される。した
がって、装置の稼働率が向上し、半導体製造における生
産性が向上する。 【０００８】 【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。本実施例は、図５の構成のＳＯＲ露光装置に本発明
を適用したものである。図１は、本発明の一実施例に係
るＳＯＲ露光装置のブロックダイアグラムを示す。同図
において、１は電子ビームの発生および加速を行なうリ
ニアック６の制御装置、２はＳＯＲリング８の制御装
置、３はＳＯＲリング内に蓄積されている電子エネルギ
ーを検出するビームモニタ14の制御装置である。このビ
ームモニタ制御装置３により、間接的にＳＯＲ光量また
は輝度を検出することができる。４a 〜４e はＳＯＲ光
によるＸ線露光装置15a 〜15e の制御系、５は各装置間
を結ぶ通信ケーブルである。通信ケーブル５における各
装置間のデータ伝送には、ＬＡＮ（ローカルエリアネッ
トワーク）等の通信方式が用いられる。 【０００９】図２および図３はＳＯＲリングおよび露光
装置の動作フローチャートである。図１〜図５を参照し
て、本実施例の装置の動作説明を行なう。図２におい
て、ＳＯＲリング８の起動はまずステップＳ201 で不図
示の真空ポンプを起動し、リング状超高真空槽９を真空
にすることから始まる。ステップＳ202 で真空度が目標
値になれば、ステップＳ203 でＳＯＲリング８内の電子
ビームを曲げるための偏向磁石12a 〜12h の電源を入
れ、さらにＳＯＲリング８内を電子が一回転することに
より電子ビームの速度が遅くなりエネルギーが低下する
ためこれを再加速するための高周波加速空胴11の電源を
入れる。次に、ステップＳ204 でリニアック６をオン
し、これによりステップＳ205 で加速電子を入射部10を
通じてＳＯＲリング８内に入射し、ステップＳ206 でＳ
ＯＲリング８内に電子エネルギーを蓄積していく。さら
に、ステップＳ207 にてビームモニタ制御装置３を介し
ビームモニタ14でＳＯＲエネルギーを測定する。そし
て、ステップＳ208 でフルエネルギーに達したことを確
認するまで、以上のステップＳ205 〜Ｓ207 の処理を繰
返す。 【００１０】ステップＳ208 でフルエネルギーに達した
ことを確認したら、ステップＳ209でリニアック６を停
止し、ステップＳ210 でＳＯＲリング８は準備完了とな
る。準備完了を示す信号は露光装置制御系４a 〜４e に
対し（図３ステップＳ306 の(a)にて検知されるよう
に）送出される。 【００１１】ここで、ＳＯＲリング８における最大ビー
ムエネルギーの値をｅmax 、エネルギーが低下して再起
動させなければならない最小ビームエネルギーの値をｅ
1 、露光エネルギーが低下してきて露光時間が長くなる
ため露光装置へ新たなウエハカセットの処理即ち１バッ
チ処理を行なわないように指示する必要があるビームエ
ネルギーの値をｅ2 とすると、 ｅ1 ≦ｅ2 ＜ｅmax となる。そこで、まずステップＳ211 にてビームモニタ
制御装置３を介しビームモニタ14で現在のＳＯＲリング
８におけるビームエネルギーｅ0 を測定し、ステップＳ
212 でｅ0 とｅ2 との比較を行なう。もし、ｅ0 ≦ｅ2
の場合はステップＳ213 で露光装置制御系４a 〜４e へ
（図３ステップＳ306 の(a)にて検知されるように）エ
ネルギー低下前警報を出力した後ステップＳ214 に進
み、ｅ0 ＞ｅ2 の場合は直接ステップＳ214 に分岐す
る。ステップＳ213 で出力される露光装置制御系４への
エネルギー低下前警報は準備完了信号を兼用しており、
信号オンでＳＯＲリング８の準備完了を、信号オフでエ
ネルギー低下前警報を示す。 【００１２】次に、ステップＳ214 でｅ0 ≦ｅ1 の場合
はステップＳ215 で露光装置制御系４a 〜４e へ（図３
ステップＳ312 の(b)にて検知されるように）エネルギ
ー低下警報すなわち１枚のウエハを処理して終了する１
サイクル停止信号を出力する。次に、露光装置制御系４
a 〜４e からの信号を受け、ステップＳ216 で露光装置
15a 〜15e が全停止したかどうかを確認し、ステップＳ
217 へ進む。 【００１３】一方、ステップＳ214 でｅ0 ＞ｅ1 の場合
は、ステップＳ219 に分岐し１サイクル停止かどうか判
別して、もしそうであればステップＳ215 に分岐する。
ステップＳ219 で１サイクル停止していなければ、ステ
ップＳ220 でＳＯＲリング停止かどうか判別する。停止
でなければステップＳ211 へ分岐する。 【００１４】ＳＯＲリング停止の場合は、ステップＳ22
1 で露光装置制御系４a 〜４e へ（図３ステップＳ306
の(a)にて検知されるように）１バッチ停止信号を出力
する。そして、ステップＳ222 ですべての露光装置15a
〜15e が停止したならば、ステップＳ217 でＳＯＲリン
グ８を停止すなわち偏向磁石12a 〜12h と高周波加速空
胴11の電源を切りＳＯＲ光の発生を停止する。また、ス
テップＳ218 で完全停止でない場合は、ステップＳ223
にてタイマーで一定時間後再起動をかけ、ステップＳ20
2 より再び動作する。一方、ステップＳ222 ですべての
露光装置15a 〜15e が停止していない場合は、ステップ
Ｓ211 へ戻る。 【００１５】次に図３において、露光装置15a 〜15e の
それぞれの起動は、まずステップＳ301 で真空ポンプを
起動することから始まる。これはＳＯＲリングの真空ポ
ンプ起動（図２ステップＳ201 ）直後に行なう。ステッ
プＳ302 で目標真空度に達したならば、ステップＳ303
で露光装置の自己診断を行ない、ステップＳ304 で異常
の有無を確認する。異常がある場合は、ステップＳ321
で異常警報を発生し停止する。異常がなければステップ
Ｓ305 でマスクおよびウエハのセットを行ない、露光装
置の準備は完了する。 【００１６】ステップＳ306 でＳＯＲリング制御装置２
からの信号によりＳＯＲリング８の準備が完了したこと
を検知したら、ステップＳ307 でウエハをロードし、ス
テップＳ308 でウエハとマスクのアライメントを行な
い、ステップＳ309 でビームモニタ制御装置３のＳＯＲ
エネルギーデータより使用レジストに合った一定の露光
エネルギー条件となるように露光時間を計算または内蔵
データテーブルで求め、ステップＳ310 で露光後、ステ
ップＳ311 でウエハをアンロードする。これらのステッ
プＳ307 〜Ｓ311 が１枚のウエハの（１サイクル）露光
動作である。 【００１７】次に、ステップＳ312 でＳＯＲリング制御
装置２からの信号を受け、１サイクル停止がかかってい
るかチェックを行ない、１サイクル停止の場合はステッ
プＳ313 で露光装置のウエハ残り枚数を表示し、さらに
ステップＳ314 で１サイクル停止等の表示を行う。その
後、ステップＳ315 に進む。 【００１８】また、ステップＳ312 で１サイクル停止が
かかっていない場合はステップＳ318 に分岐し、１ウエ
ハカセット露光完了かどうか判別する。１ウエハカセッ
ト（１バッチ）完了ならばステップＳ319 で露光完了表
示を行ない、さらにステップＳ320 でウエハカセット交
換指示表示を行なう。その後、ステップＳ315 に進む。 【００１９】ステップＳ315 で露光装置停止完了信号を
ＳＯＲリング制御装置２へ（図２ステップＳ216 の(c)
にて検知されるように）送出する。次に、ステップＳ31
6 で露光装置を完全停止させたい場合は、ステップＳ31
7 で真空ポンプを切って完全に停止とする。完全停止し
ない場合は、ステップＳ303 に分岐し、再び露光装置の
自己診断等を行なう。 【００２０】次に、図４を参照して、本実施例において
ＳＯＲリングの電子エネルギーが低下した場合につき説
明する。 【００２１】まず、ステップＳ401 にてＳＯＲリング８
内の電子エネルギーが低下すると、ステップＳ402 にて
ビームモニタ14でエネルギー低下を検出する。これらの
処理は、図２のステップＳ211 〜Ｓ213 に対応する。次
に、ＳＯＲリング制御装置２はステップＳ403 でエネル
ギー低下警報を各露光装置制御系４a 〜４e に送出す
る。これは図２のステップＳ215 に対応する。各露光装
置は、ステップＳ404 で上記エネルギー低下警報を１サ
イクル停止信号と判断し、１サイクルで停止する。この
判断は、図３のステップＳ312 における判断である。そ
して、ステップＳ405 で各露光装置は、ＳＯＲリング制
御装置２へ露光停止信号を送出する。これは、図３ステ
ップＳ315 に対応する。 【００２２】次に、ＳＯＲリング８の側ではステップＳ
406 でＳＯＲリング制御装置２がすべての露光装置の停
止を確認し（図２Ｓ216 に対応）、ステップＳ407 で全
停止ならばＳＯＲリング８を停止し（図２Ｓ217 に対
応）、ステップＳ408 でＳＯＲリング８を再起動する
（図２Ｓ202 〜Ｓ210 に対応）。 【００２３】一方、露光装置の側では、ＳＯＲリング８
におけるステップＳ406 〜Ｓ408 の処理と並行して、ス
テップＳ409 で自己診断モードとなって自己診断し（図
３Ｓ303 に対応）、ステップＳ410 で異常がなければＳ
ＯＲリング８の準備完を待つ（図３Ｓ306 に対応）。そ
して、ＳＯＲリング８が準備完となったら、ステップＳ
411 にて引き続き露光サイクル（図３Ｓ307 〜Ｓ311 ）
に入る。 【００２４】以上説明したように、露光装置は露光途中
でＳＯＲリングが停止して露光できなくなるということ
はなくなり、露光装置の自己診断はＳＯＲリングの準備
中に行なうため露光装置の稼動率が上がり、また露光時
間をビームエネルギーにより最適化するため、露光量の
過不足による不良率も下がり、装置の信頼性が上がる。
従って、これにより最適露光装置が可能となる。 【００２５】上記実施例では、ＳＯＲリングへの電子入
射をリニアックで行なったが大型のシンクロトロンを使
用してフルエネルギーでＳＯＲリングへ電子入射を行な
うことも可能である。また、ビームモニタは露光装置へ
の露光用光束を用いることもできる。 【００２６】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ＳＯＲリング制御装置と、ＳＯＲリングの周囲に放射状
に配置された複数の露光装置の制御手段との間を接続し
て相互にデータ転送を行うための通信手段を備え、前記
複数の各露光装置制御手段は、該通信手段を介して得た
前記ＳＯＲリングの稼動状況に応じて各露光装置の動作
を制御すると共に、前記ＳＯＲリング制御手段は、該通
信手段を介して得た前記露光装置の稼動状況に応じて前
記ＳＯＲリングの動作を制御するようにしたため、露光
装置全体の動作を最適化して稼働効率を向上させること
ができ、半導体製造等における生産性を向上させること
が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 ＳＯＲ露光装置のブロックダイアグラムであ
る。 【図２】 ＳＯＲリング制御装置の動作フローチャート
である。 【図３】 露光装置制御系の動作フローチャートであ
る。 【図４】 ＳＯＲリングの電子エネルギーが低下した場
合の処理手順を説明するためのフローチャートである。 【図５】 ＳＯＲ露光装置の装置構成図である。 【符号の説明】 １：リニアック制御装置、２：ＳＯＲリング制御装置、
３：ビームモニタ制御装置、４a 〜４e ：露光装置制御
系、５：通信ケーブル、６：リニアック、８：ＳＯＲリ
ング、14：ビームモニタ、15a 〜15e ：露光装置。
る。 【図２】 ＳＯＲリング制御装置の動作フローチャート
である。 【図３】 露光装置制御系の動作フローチャートであ
る。 【図４】 ＳＯＲリングの電子エネルギーが低下した場
合の処理手順を説明するためのフローチャートである。 【図５】 ＳＯＲ露光装置の装置構成図である。 【符号の説明】 １：リニアック制御装置、２：ＳＯＲリング制御装置、
３：ビームモニタ制御装置、４a 〜４e ：露光装置制御
系、５：通信ケーブル、６：リニアック、８：ＳＯＲリ
ング、14：ビームモニタ、15a 〜15e ：露光装置。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭58−118999（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−115200（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−200700（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−80800（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．シンクロトロン放射光を発生するＳＯＲリング、お
よびそれを制御するＳＯＲリング制御装置と、 該ＳＯＲリングの周囲に放射状に配置された複数の露光
装置、およびそれらをそれぞれ制御する複数の露光装置
制御手段と、 前記ＳＯＲリング制御手段と前記複数の露光装置制御手
段との間を接続して相互にデータ転送を行うための通信
手段とを備え、 前記複数の各露光装置制御手段は、該通信手段を介して
得た前記ＳＯＲリングの稼動状況に応じて各露光装置の
動作を制御すると共に、前記ＳＯＲリング制御手段は、
該通信手段を介して得た前記露光装置の稼動状況に応じ
て前記ＳＯＲリングの動作を制御する ことを特徴とする
ＳＯＲ露光装置。 ２．前記通信手段にはビームモニタ制御装置が接続され
ていることを特徴とする請求項１記載のＳＯＲ露光装
置。 ３．前記通信手段にはリニアック制御装置が接続されて
いることを特徴とする請求項１記載のＳＯＲ露光装置。 ４．前記通信手段はＬＡＮを有することを特徴とする請
求項１〜３のいずれかに記載のＳＯＲ露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6159704A JP2789514B2 (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | Ｓｏｒ露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6159704A JP2789514B2 (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | Ｓｏｒ露光装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61284286A Division JP2611762B2 (ja) | 1986-12-01 | 1986-12-01 | Ｓｏｒ露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07201696A JPH07201696A (ja) | 1995-08-04 |
| JP2789514B2 true JP2789514B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=15699489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6159704A Expired - Fee Related JP2789514B2 (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | Ｓｏｒ露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2789514B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0083394B1 (en) * | 1981-12-31 | 1986-04-09 | International Business Machines Corporation | A method and apparatus for providing a uniform illumination of an area |
| JP2526374B2 (ja) * | 1983-11-24 | 1996-08-21 | 工業技術院長 | 蓄積リング放射光装置の制御方法 |
| JPS6180800A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-24 | 株式会社日立製作所 | 放射光照射装置 |
| JPS61200700A (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-05 | 工業技術院長 | 電子波動リング |
-
1994
- 1994-06-20 JP JP6159704A patent/JP2789514B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07201696A (ja) | 1995-08-04 |
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