JP2786685B2 - 金属の蒸発装置 - Google Patents
金属の蒸発装置Info
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- JP2786685B2 JP2786685B2 JP1218631A JP21863189A JP2786685B2 JP 2786685 B2 JP2786685 B2 JP 2786685B2 JP 1218631 A JP1218631 A JP 1218631A JP 21863189 A JP21863189 A JP 21863189A JP 2786685 B2 JP2786685 B2 JP 2786685B2
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- evaporating
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は金属を蒸発させて金属蒸気を得るための金属
の蒸発装置に係り、特に蒸発るつぼを複数の分割部材か
ら形成した金属の蒸発装置に関する。
の蒸発装置に係り、特に蒸発るつぼを複数の分割部材か
ら形成した金属の蒸発装置に関する。
（従来の技術） 従来、金属同位体分離技術、半導体生産技術、光学ミ
ラーの生産技術等の分野において金属の蒸発装置が広く
応用されている。金属の蒸発装置の基本原理は、真空容
器内に蒸発用金属が単体で収納された蒸発用るつぼを設
置し、その蒸発用金属を加熱装置により加熱して金属蒸
気を発生させるものである。加熱方法としては誘導加熱
により金属を加熱する方法と、電子ビーム照射により金
属を加熱する方法が知られている。特に、電子ビーム照
射による方法は、熱効率が良いために、金属の同位体分
離プロセス等の大量の金属を蒸発させる場合に適してい
る。
ラーの生産技術等の分野において金属の蒸発装置が広く
応用されている。金属の蒸発装置の基本原理は、真空容
器内に蒸発用金属が単体で収納された蒸発用るつぼを設
置し、その蒸発用金属を加熱装置により加熱して金属蒸
気を発生させるものである。加熱方法としては誘導加熱
により金属を加熱する方法と、電子ビーム照射により金
属を加熱する方法が知られている。特に、電子ビーム照
射による方法は、熱効率が良いために、金属の同位体分
離プロセス等の大量の金属を蒸発させる場合に適してい
る。
第３図は、加熱装置として電子銃を用いた金属の蒸発
装置の一例を示すものである。金属の蒸発装置は真空容
器１内に蒸発用金属２を収納した蒸発用るつぼ３と、蒸
発用金属２を加熱する電子銃４と、蒸発用るつぼ３から
加熱により蒸発した金属を回収する蒸発金属回収装置５
とが備えられる。電子銃４は180度偏向用のもので、電
子銃４からでた電子ビーム６は偏向磁場により曲げら
れ、蒸発用るつぼ３内に収納された蒸発用金属２に照射
される。電子ビーム６により加熱された蒸発用金属２
は、蒸発用るつぼ３内で溶融し、その一部は蒸気流７と
なって真空容器１内を上昇し、蒸発金属回収装置５によ
り回収される。
装置の一例を示すものである。金属の蒸発装置は真空容
器１内に蒸発用金属２を収納した蒸発用るつぼ３と、蒸
発用金属２を加熱する電子銃４と、蒸発用るつぼ３から
加熱により蒸発した金属を回収する蒸発金属回収装置５
とが備えられる。電子銃４は180度偏向用のもので、電
子銃４からでた電子ビーム６は偏向磁場により曲げら
れ、蒸発用るつぼ３内に収納された蒸発用金属２に照射
される。電子ビーム６により加熱された蒸発用金属２
は、蒸発用るつぼ３内で溶融し、その一部は蒸気流７と
なって真空容器１内を上昇し、蒸発金属回収装置５によ
り回収される。
（発明が解決しようとする課題） 従来、蒸発用るつぼ３は実験用に製作されていたた
め、比較的小型であり、製作上の問題は特に生じなかっ
たが、今後プラントベースで運用することを考えると、
大量の金属蒸気を発生させるために大型の蒸発用るつぼ
３が必要となる。
め、比較的小型であり、製作上の問題は特に生じなかっ
たが、今後プラントベースで運用することを考えると、
大量の金属蒸気を発生させるために大型の蒸発用るつぼ
３が必要となる。
しかし、プラントベース用の大型の蒸発用るつぼ３は
長さが1m前後あるいはそれ以上、重さが数百kgに達する
と考えられ、焼結させる場合には大型の炉も必要となる
ため、製作および取扱いが困難である。
長さが1m前後あるいはそれ以上、重さが数百kgに達する
と考えられ、焼結させる場合には大型の炉も必要となる
ため、製作および取扱いが困難である。
本発明は上記の事情を考慮してなされたもので、蒸発
用るつぼの製作および取扱い容易な金属の蒸発装置を提
供することを目的とする。
用るつぼの製作および取扱い容易な金属の蒸発装置を提
供することを目的とする。
（課題を解決するための手段） 本発明に係る金属の蒸発装置は、上述した課題を解決
するために、真空容器内に、蒸発用金属を収納した蒸発
用るつぼと、上記蒸発用金属を加熱する加熱装置と、上
記蒸発用るつぼから加熱により蒸発した金属を回収する
蒸発金属回収装置とを備えた金属の蒸発装置において、
上記蒸発用るつぼは複数の分割部材から構成され、製作
された複数の分割部材を設置場所で列状に組み立てて、
蒸発用るつぼを形成したものである。
するために、真空容器内に、蒸発用金属を収納した蒸発
用るつぼと、上記蒸発用金属を加熱する加熱装置と、上
記蒸発用るつぼから加熱により蒸発した金属を回収する
蒸発金属回収装置とを備えた金属の蒸発装置において、
上記蒸発用るつぼは複数の分割部材から構成され、製作
された複数の分割部材を設置場所で列状に組み立てて、
蒸発用るつぼを形成したものである。
（作用） 蒸発用るつぼは、分割部材毎に製作し、運搬して、設
置場所で組み立てる。したがって、大型の蒸発用るつぼ
であっても、製作および取扱いが容易となる。
置場所で組み立てる。したがって、大型の蒸発用るつぼ
であっても、製作および取扱いが容易となる。
（実施例） 本発明に係る金属の蒸発装置の一実施例について第12
を参照して説明する。
を参照して説明する。
金属の蒸発装置の全体構成は、第３図に示す場合と同
様であるため重複説明を省略する。
様であるため重複説明を省略する。
大型の蒸発用るつぼ10は複数の分割部材10aが列状に
組み立てられて形成される。各分割部材10aは個々に製
作されて運搬され、設置場所で組み立てられる。このた
め、各分割部材10aにはボルト穴11が形成され、それら
のボルト穴11を通して、固定ボルト12および固定ナット
13により固定される。固定手段は他の手段を用いてもよ
い。真空容器１内で加熱されると、各分割部材10aの接
合部は互いに融着し、あるいは、溶融状態の蒸発用金属
２が接合部に浸み込んで固まることにより一体化する。
蒸発用るつぼ10は、略直方体に形成され、中央上部に蒸
発用金属２を収納するためのプール部15が形成される。
組み立てられて形成される。各分割部材10aは個々に製
作されて運搬され、設置場所で組み立てられる。このた
め、各分割部材10aにはボルト穴11が形成され、それら
のボルト穴11を通して、固定ボルト12および固定ナット
13により固定される。固定手段は他の手段を用いてもよ
い。真空容器１内で加熱されると、各分割部材10aの接
合部は互いに融着し、あるいは、溶融状態の蒸発用金属
２が接合部に浸み込んで固まることにより一体化する。
蒸発用るつぼ10は、略直方体に形成され、中央上部に蒸
発用金属２を収納するためのプール部15が形成される。
この実施例によれば、分割部材10a毎に製作および運
搬を行なうことができるため、大型の蒸発用るつぼ10で
あっても製作および取扱いが容易である。
搬を行なうことができるため、大型の蒸発用るつぼ10で
あっても製作および取扱いが容易である。
次に、第２図を参照して本発明の他の実施例について
説明する。
説明する。
蒸発用るつぼ17は、外側るつぼ18および内側るつぼ19
からなり、外側るつぼ18は複数の分割部材18aが列状に
組み立てられて形成される。外側るつぼ18は略直方体か
らなり、中央上部に内側るつぼ19を収納するための収納
部20が形成される。なお、各分割部材18aはボルト固定
用のボルト穴21を有する。
からなり、外側るつぼ18は複数の分割部材18aが列状に
組み立てられて形成される。外側るつぼ18は略直方体か
らなり、中央上部に内側るつぼ19を収納するための収納
部20が形成される。なお、各分割部材18aはボルト固定
用のボルト穴21を有する。
内側るつぼ19は、収納部20に収納可能な外形形状を有
し、内側には蒸発用金属２を収納するためのプール部22
が形成される。内側るつぼ19は一体に製作され、設置場
所において組み立てられた外側るつぼ18の収納部20に収
納・設置される。
し、内側には蒸発用金属２を収納するためのプール部22
が形成される。内側るつぼ19は一体に製作され、設置場
所において組み立てられた外側るつぼ18の収納部20に収
納・設置される。
この実施例においても、前記実施例と同様の効果があ
る。
る。
なお、分割部材10a、18aの形状、大きさおよび組み立
て方法は前記実施例に限定されない。
て方法は前記実施例に限定されない。
以上に述べたように本発明に係る金属の蒸発装置にお
いては、蒸発用るつぼは複数の分割部材から構成され、
製作された複数の分割部材を設置場所で列状に組み立て
て蒸発用るつぼを形成したから、設置場所への運搬や設
置場所での組立が容易となり、蒸発用るつぼの取扱い自
由度が向上する一方、大型の蒸発用るつぼの製作および
取扱いが容易となる。
いては、蒸発用るつぼは複数の分割部材から構成され、
製作された複数の分割部材を設置場所で列状に組み立て
て蒸発用るつぼを形成したから、設置場所への運搬や設
置場所での組立が容易となり、蒸発用るつぼの取扱い自
由度が向上する一方、大型の蒸発用るつぼの製作および
取扱いが容易となる。
第１図は本発明に係る金属の蒸発装置の一実施例を示す
斜視図、第２図は本発明の他の実施例を示す斜視図、第
３図は従来の金属の蒸発装置を示す原理図である。 １……真空容器、２……蒸発用金属、４……電子銃、５
……蒸発金属回収装置、６……電子ビーム、７……蒸気
流、10,17……蒸発用るつぼ、10a,18a……分割部材、18
……外側るつぼ、19……内側るつぼ。
斜視図、第２図は本発明の他の実施例を示す斜視図、第
３図は従来の金属の蒸発装置を示す原理図である。 １……真空容器、２……蒸発用金属、４……電子銃、５
……蒸発金属回収装置、６……電子ビーム、７……蒸気
流、10,17……蒸発用るつぼ、10a,18a……分割部材、18
……外側るつぼ、19……内側るつぼ。
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器内に、蒸発用金属を収納した蒸発
用るつぼと、上記蒸発用金属を加熱する加熱装置と、上
記蒸発用るつぼから加熱により蒸発した金属を回収する
蒸発金属回収装置とを備えた金属の蒸発装置において、
上記蒸発用るつぼは複数の分割部材から構成され、製作
された複数の分割部材を設置場所で列状に組み立てて、
蒸発用るつぼを形成したことを特徴とする金属の蒸発装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1218631A JP2786685B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 金属の蒸発装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1218631A JP2786685B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 金属の蒸発装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0382755A JPH0382755A (ja) | 1991-04-08 |
| JP2786685B2 true JP2786685B2 (ja) | 1998-08-13 |
Family
ID=16722978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1218631A Expired - Lifetime JP2786685B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 金属の蒸発装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2786685B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4565722B2 (ja) * | 2000-09-20 | 2010-10-20 | 大日本印刷株式会社 | 真空蒸着用るつぼ |
| US8512806B2 (en) * | 2008-08-12 | 2013-08-20 | Momentive Performance Materials Inc. | Large volume evaporation source |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60113367U (ja) * | 1984-01-09 | 1985-07-31 | 日本電気株式会社 | 蒸着用坩堝 |
-
1989
- 1989-08-28 JP JP1218631A patent/JP2786685B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0382755A (ja) | 1991-04-08 |
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