JP2757441B2 - Ｘ線顕微鏡 - Google Patents

Ｘ線顕微鏡

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JP2757441B2
JP2757441B2 JP1082462A JP8246289A JP2757441B2 JP 2757441 B2 JP2757441 B2 JP 2757441B2 JP 1082462 A JP1082462 A JP 1082462A JP 8246289 A JP8246289 A JP 8246289A JP 2757441 B2 JP2757441 B2 JP 2757441B2
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coil
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photoelectrons
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秀男 広瀬
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Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は生物工学、半導体工学、化学工学、医学等の
研究や検査に用いられるＸ線顕微鏡に関する。
（ロ）従来の技術 従来、光電膜を有する試料保持基板上に保持した試料
にＸ線を照射するＸ線管と、試料を透過したＸ線により
前記光電膜から発生した光電子を拡大発散させる磁界を
発生するコイルとを設け、前記磁界により導かれる光電
子を蛍光板で受けて可視像を形成するようにしたＸ線顕
微鏡が知られている。（Nature,Vol.290,16 April 19
81,pp556〜559） （ハ）解決すべき課題 以上のようなＸ線顕微鏡は、発生した光電子を拡大発
散させる磁界の強度が解像度を決定するため、磁界を発
生させるコイルとして超伝導コイルを用いており、装置
が複雑化していた。また、光源（Ｘ線源）として連続光
源を用いていたため、瞬間的な撮像・測定ができず、画
像分解能に悪影響を及ぼしていた。
（ニ）課題を解決するための手段 以上の課題を解決するため、本発明ではパルス状の光
源を用いると共に、パルス光の発生と同期させて前記磁
界発生コイルに電流を供給するようにした。
（ホ）作用 磁界発生コイルに供給する電流は瞬間的でよいため、
常伝導コイルを用いることもでき、またパルス光源で繰
返し撮影を行ってリアルタイム・シネ測定ができる。
（ヘ）実施例 第１図は本発明の一実施例のＸ線顕微鏡を示す構成図
である。本図において、１はレーザープラズマＸ線源
（パルスＸ線源）、２は光電膜３（例えばCsI）を有す
る試料保持基板４上に保持した試料、５は試料を透過し
たＸ線により前記光電膜から発生した光電子、６は光電
子を拡大発散させる磁界を発生するコイル、７はこのコ
イルにパルス状の電流を供給する電源である。電源７は
レーザープラズマＸ線源１からの同期信号を受けてお
り、Ｘ線パルス発生（例えば10Hzの周期でパルス時間幅
１〜10nsecとする）の前後に渡ってコイル６にパルス状
の電流を供給する。８は試料保持基板４の前方に置かれ
たグリッドで試料保持基板４に対し負の電位にあり、前
方に向かって発生した光電子を通過させる。9,10は磁界
を補正する補助コイル、11はマイクロチャネルプレート
（MCP）、12は蛍光板、13はテレビカメラ、14は光電子
の軌道を真空中に置くための真空容器である。
光電膜３から発生しグリッド８を通過した光電子は、
コイル６により磁力線に沿って螺旋運動をしながら拡大
発散し、MCP11に達して増幅されて蛍光板12上に可視像
を形成する。この可視像は試料を透過したＸ線の像を拡
大したものとなる。
第２図は本発明の他の実施例の要部を示す構成図で、
試料２は真空中に保持され、この試料表面にパルスＸ線
が照射され、試料から発生した光電子がコイル６による
磁力線に沿って螺旋運動をしながら拡大発散し、MCP11
に達して増幅されて蛍光板12上に可視像を形成する。1
5,16は試料から放出される光電子のエネルギーを分析す
るためのフィルター（グリッド）である。
以上の例では光源はパルスＸ線であったが、パルスＸ
線源の代わりにパルス状紫外線を用いてもよい。またパ
ルスＸ線源としてはレーザープラズマＸ線源の他、Ｚピ
ンチプラズマＸ線源やパルス状シンクロトロン光等が利
用できる。
（ト）効果 蛍光板上に形成される像の分解能はコイルが作る磁場
の強度に比例するため、従来は超伝導コイルを用いてい
たが、本発明ではコイルに流す電流は瞬間的でよく、常
伝導コイルを用いることができ、装置構成が簡単にな
る。また、瞬間的な画像撮影ができるので、画像分解能
が向上し、リアルタイムの観察が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明のＸ線顕微鏡の一実施例を示す構成図で
あり、第２図は他の実施例の要部を示す図である。 １……Ｘ線源（パルスＸ線源）、２……試料 ３……光電膜、４……試料保持基板 ５……光電子、６……コイル ７……電源、８……グリッド 11……マイクロチャネルプレート（MCP） 12……蛍光板、13……テレビカメラ 14……真空容器

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】光電膜を有する試料保持基板上に保持した
    試料にＸ線を照射するパルスＸ線源と、試料を通過した
    Ｘ線により前記光電膜から発生した光電子を拡大発散さ
    せる磁界を発生するコイルと、前記磁界により導かれる
    光電子を受けて可視像を形成する蛍光板とを備えるとと
    もに、前記パルスＸ線の発生と同期させて前記磁界発生
    コイルに電流を供給するようにしたＸ線顕微鏡。
  2. 【請求項２】真空中に保持した試料にＸ線を照射するパ
    ルスＸ線源と、試料から発生した光電子を拡大発散させ
    る磁界を発生するコイルと、前記磁界により導かれる光
    電子を受けて可視像を形成する蛍光板とを備えるととも
    に、前記パルスＸ線の発生と同期させて前記磁界発生コ
    イルに電流を供給するようにしたＸ線顕微鏡。
  3. 【請求項３】パルスＸ線源の代わりにパルス状紫外線を
    用いた、特許請求の範囲１又は２に記載のＸ線顕微鏡。
JP1082462A 1989-03-31 1989-03-31 Ｘ線顕微鏡 Expired - Lifetime JP2757441B2 (ja)

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JP2580515B2 (ja) * 1992-11-27 1997-02-12 工業技術院長 光電子分光方法
JP3573725B2 (ja) 2001-08-03 2004-10-06 川崎重工業株式会社 Ｘ線顕微鏡装置
JP3794983B2 (ja) * 2002-05-27 2006-07-12 川崎重工業株式会社 Ｘ線顕微鏡の電子加速空間構造

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