JP2756648B2 - 赤外線温度分布測定装置及びその測定方法 - Google Patents
赤外線温度分布測定装置及びその測定方法Info
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- JP2756648B2 JP2756648B2 JP7043503A JP4350395A JP2756648B2 JP 2756648 B2 JP2756648 B2 JP 2756648B2 JP 7043503 A JP7043503 A JP 7043503A JP 4350395 A JP4350395 A JP 4350395A JP 2756648 B2 JP2756648 B2 JP 2756648B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は新しい感度波長帯を持つ
赤外線放射カメラ等の赤外線温度分布測定装置及び赤外
線温度分布測定方法に関する。
赤外線放射カメラ等の赤外線温度分布測定装置及び赤外
線温度分布測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】温度に依存して物体から放射されてくる
赤外線を検出してその物体の温度を測定する赤外線温度
分布測定装置としては従来種々のものが提案されてい
る。大別して感度波長が約３〜５μｍの量子型の検出器
でインヂウム・アンチモン又はセレン化鉛（ＩｎＳｂ：
ＰｂＳｅ）を用いた赤外線温度分布測定装置及び約８〜
１３μｍの量子型の検出器で水銀カドミウムテルル（Ｈ
ｇＣｄＴｅ）を用いた量子型赤外線温度分布測定装置並
びに赤外線の全波長（約２〜１５μｍ）に感度を有する
熱型検出器を用いた赤外線温度分布測定装置の３種類が
ある。前２者に対して熱型赤外線温度分布測定装置は感
度が低く且つ応答性も遅く、従ってこの装置は実際には
一点の温度を測定するのに多く使用され、一般に温度分
布を測定するのには不適当である。
赤外線を検出してその物体の温度を測定する赤外線温度
分布測定装置としては従来種々のものが提案されてい
る。大別して感度波長が約３〜５μｍの量子型の検出器
でインヂウム・アンチモン又はセレン化鉛（ＩｎＳｂ：
ＰｂＳｅ）を用いた赤外線温度分布測定装置及び約８〜
１３μｍの量子型の検出器で水銀カドミウムテルル（Ｈ
ｇＣｄＴｅ）を用いた量子型赤外線温度分布測定装置並
びに赤外線の全波長（約２〜１５μｍ）に感度を有する
熱型検出器を用いた赤外線温度分布測定装置の３種類が
ある。前２者に対して熱型赤外線温度分布測定装置は感
度が低く且つ応答性も遅く、従ってこの装置は実際には
一点の温度を測定するのに多く使用され、一般に温度分
布を測定するのには不適当である。
【０００３】量子型赤外線温度分布測定装置は大気の吸
収率と赤外波長の関係においていずれも図６に示すよう
に吸収率の小さい、いわゆる“大気の窓”に対応して開
発されたものであり、温度分布の測定に多用されてい
る。
収率と赤外波長の関係においていずれも図６に示すよう
に吸収率の小さい、いわゆる“大気の窓”に対応して開
発されたものであり、温度分布の測定に多用されてい
る。
【０００４】ここで感度波長が５〜８μｍの量子型赤外
線温度分布測定装置は欠落していることが解るが、これ
は図６からも解るようにこの領域は水蒸気の吸収が大き
く、従って例えば航空機や人工衛星からのリモートセン
シング等ではほとんど使用されておらず、その為従来製
品としてもこの赤外線波長帯域のセンサは存在していな
い。
線温度分布測定装置は欠落していることが解るが、これ
は図６からも解るようにこの領域は水蒸気の吸収が大き
く、従って例えば航空機や人工衛星からのリモートセン
シング等ではほとんど使用されておらず、その為従来製
品としてもこの赤外線波長帯域のセンサは存在していな
い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した感
度波長が８〜１３μｍの量子型赤外線温度分布測定装置
は、一般的な測温には、長波長を検知することになり、
プランクの法則からも明白なように程度良く、低温領域
（例えば−５０℃）まで測温が可能になる。
度波長が８〜１３μｍの量子型赤外線温度分布測定装置
は、一般的な測温には、長波長を検知することになり、
プランクの法則からも明白なように程度良く、低温領域
（例えば−５０℃）まで測温が可能になる。
【０００６】しかしこの装置を用いて測温するとき、特
に屋外でガラス、タイル、モルタル等の外壁診断等のた
め建物の温度を測温するような場合、反射の対象となる
周辺に大きな温度分布、例えば隣のビル等のガラスで反
射された太陽光等が存在すると、その高温物体からの反
射の影響が無視できないものとなる。
に屋外でガラス、タイル、モルタル等の外壁診断等のた
め建物の温度を測温するような場合、反射の対象となる
周辺に大きな温度分布、例えば隣のビル等のガラスで反
射された太陽光等が存在すると、その高温物体からの反
射の影響が無視できないものとなる。
【０００７】例えば図３に示すように、透明ガラス又は
スリガラス１に対して所定角度で赤外線温度分布測定装
置２を配設してガラス１の温度を測温する場合、ガラス
１の前でしかもその赤外線温度分布測定装置２の検出角
度範囲内に図３に示すような高温物体３が存在した場
合、測温した結果を見るとガラス１の温度分布上に高温
物体３の反射像５Ａが現れ（図４Ａ参照）、正確にガラ
ス１の温度を測温できない欠点がある。このことは図５
に示すガラスの透過率、放射率、反射率を示す特性にお
いて、波長が８〜１３μｍの近傍では反射率が大きくな
っていることからも解る。
スリガラス１に対して所定角度で赤外線温度分布測定装
置２を配設してガラス１の温度を測温する場合、ガラス
１の前でしかもその赤外線温度分布測定装置２の検出角
度範囲内に図３に示すような高温物体３が存在した場
合、測温した結果を見るとガラス１の温度分布上に高温
物体３の反射像５Ａが現れ（図４Ａ参照）、正確にガラ
ス１の温度を測温できない欠点がある。このことは図５
に示すガラスの透過率、放射率、反射率を示す特性にお
いて、波長が８〜１３μｍの近傍では反射率が大きくな
っていることからも解る。
【０００８】また、上述した感度波長が３〜５μｍの量
子型赤外線温度分布測定装置の場合、図５からも解るよ
うに波長が３〜５μｍの近傍では反射率は小さいが透過
率が大きく（それに伴い放射率が小さくなっている）、
３〜５μｍの波長を利用するのは望ましくなく、従っ
て、従来の赤外線測定装置ではガラスの測温には４．８
〜５．２μｍと云う狭い領域の赤外線を使用している。
その結果、上述したような高温物体３の反射像は現れに
くいが、この領域では波長が短く、又赤外線エネルギー
を沢山とれないのでＳ／Ｎ比が劣化し、その測温できる
領域は約１００℃以上と高く、常温やそれ以下の低温領
域で測温できない欠点がある。
子型赤外線温度分布測定装置の場合、図５からも解るよ
うに波長が３〜５μｍの近傍では反射率は小さいが透過
率が大きく（それに伴い放射率が小さくなっている）、
３〜５μｍの波長を利用するのは望ましくなく、従っ
て、従来の赤外線測定装置ではガラスの測温には４．８
〜５．２μｍと云う狭い領域の赤外線を使用している。
その結果、上述したような高温物体３の反射像は現れに
くいが、この領域では波長が短く、又赤外線エネルギー
を沢山とれないのでＳ／Ｎ比が劣化し、その測温できる
領域は約１００℃以上と高く、常温やそれ以下の低温領
域で測温できない欠点がある。
【０００９】本発明は斯かる点に鑑み成されたもので、
大気の窓に対応する赤外線感度波長を有する赤外線検出
器を用いることなく、大気の窓に対応する波長領域以外
の波長に赤外線感度波長を有する光検出器で被測定対象
物の反射率が低く、また放射率の大きいものを測温する
様に成したものであり、この様な赤外線検出器を用いた
赤外線温度分布測定装置及びその測定方法を提供しよう
とするものであり、その目的とするところはガラス又は
これらと等価なモルタル外壁、タイル、コンクリート壁
等の被測定対象物を周囲の高温放射物体からの赤外線反
射の影響を受けることなく低温領域から常温領域まで測
温可能な赤外線温度分布測定装置及び赤外線温度分布の
測定方法を得ようとするものである。
大気の窓に対応する赤外線感度波長を有する赤外線検出
器を用いることなく、大気の窓に対応する波長領域以外
の波長に赤外線感度波長を有する光検出器で被測定対象
物の反射率が低く、また放射率の大きいものを測温する
様に成したものであり、この様な赤外線検出器を用いた
赤外線温度分布測定装置及びその測定方法を提供しよう
とするものであり、その目的とするところはガラス又は
これらと等価なモルタル外壁、タイル、コンクリート壁
等の被測定対象物を周囲の高温放射物体からの赤外線反
射の影響を受けることなく低温領域から常温領域まで測
温可能な赤外線温度分布測定装置及び赤外線温度分布の
測定方法を得ようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は、被測定対象
物１０からの赤外線を赤外線検出手段１６で検出して被
測定対象物１０の温度測定を行う赤外線温度分布測定装
置に於いて、被測定対象物１０の反射率の低い、かつ放
射率の高い領域での温度測定時に大気の窓以外に感度波
長を有する赤外線検出手段１６で温度の測定を成すこと
を特徴とする赤外線温度分布測定装置及び赤外線温度分
布の測定方法である。
物１０からの赤外線を赤外線検出手段１６で検出して被
測定対象物１０の温度測定を行う赤外線温度分布測定装
置に於いて、被測定対象物１０の反射率の低い、かつ放
射率の高い領域での温度測定時に大気の窓以外に感度波
長を有する赤外線検出手段１６で温度の測定を成すこと
を特徴とする赤外線温度分布測定装置及び赤外線温度分
布の測定方法である。
【００１１】
【作用】本発明の赤外線温度分布測定装置及び赤外線温
度分布測定方法によれば、ガラス又はこれと等価な物質
例えば、モルタル、コンクリート壁、タイル等の反射率
が低い物体の測温時に大気の窓以外の５〜８μｍの波長
の赤外線に感度を有する赤外線検出器或いはこの帯域を
透過させる光学フィルタを通して赤外線検出器で赤外線
をピックアップする様な感度波長を有する赤外検出手段
を用いる様に成したので被測定対象物１０の周囲から放
射される高温放射物３の影響を無視出来る程度に測定温
度分布パターン上での反射像を低減可能なものが得られ
る。
度分布測定方法によれば、ガラス又はこれと等価な物質
例えば、モルタル、コンクリート壁、タイル等の反射率
が低い物体の測温時に大気の窓以外の５〜８μｍの波長
の赤外線に感度を有する赤外線検出器或いはこの帯域を
透過させる光学フィルタを通して赤外線検出器で赤外線
をピックアップする様な感度波長を有する赤外検出手段
を用いる様に成したので被測定対象物１０の周囲から放
射される高温放射物３の影響を無視出来る程度に測定温
度分布パターン上での反射像を低減可能なものが得られ
る。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の赤外線温度分布測定装置及び
赤外線温度分布測定方法を図面によって説明する。
赤外線温度分布測定方法を図面によって説明する。
【００１３】図２は本例の量子型赤外線温度分布測定装
置の検出部の構成の概要を示すもので被測定対象物１０
は例えばガラス板、ガラス板に等価なタイル、コンクリ
ート外壁、モルタル等でガラス板の様に二酸化ケイ素
（ＳｉＯ2 ）を多量に含む建築構造体であり、これら物
体の透過率、放射率、反射率は図５のガラスと略々等価
である。これら被測定対象物１０の温度分布を測定する
ためのサーモトレーサ等の赤外線温度分布測定装置１１
の検出部１２は赤外線の光学走査系、集光系、チョッパ
ー、赤外線検出器及び各種駆動モータ並びにプリアンプ
等で構成される。
置の検出部の構成の概要を示すもので被測定対象物１０
は例えばガラス板、ガラス板に等価なタイル、コンクリ
ート外壁、モルタル等でガラス板の様に二酸化ケイ素
（ＳｉＯ2 ）を多量に含む建築構造体であり、これら物
体の透過率、放射率、反射率は図５のガラスと略々等価
である。これら被測定対象物１０の温度分布を測定する
ためのサーモトレーサ等の赤外線温度分布測定装置１１
の検出部１２は赤外線の光学走査系、集光系、チョッパ
ー、赤外線検出器及び各種駆動モータ並びにプリアンプ
等で構成される。
【００１４】即ち、被測定対象物１０のガラス板等から
放射された赤外エネルギーを検出部１２の窓１３を介し
て走査系１４の例えばガルバノミラー等で被測定対象物
１０の表面を左から右へ、上から下に水平及び垂直走査
し、得られた赤外エネルギーを対物レンズ１５を介して
図示しないがチョッパーでチョッピングした後に光検出
手段１６（光学フィルタ１６Ｂ及び光検出器１６Ａを含
む）で赤外エネルギーに比例した電気信号に変換して、
プリアンプ１７で一定レベルに増幅する。更に温度検出
回路１８で検出された被測定対象物１０のガラスの表面
等の各温度は電気信号に変換されて表示装置や記録器等
へ供給されて、温度表示及び記録が成される。
放射された赤外エネルギーを検出部１２の窓１３を介し
て走査系１４の例えばガルバノミラー等で被測定対象物
１０の表面を左から右へ、上から下に水平及び垂直走査
し、得られた赤外エネルギーを対物レンズ１５を介して
図示しないがチョッパーでチョッピングした後に光検出
手段１６（光学フィルタ１６Ｂ及び光検出器１６Ａを含
む）で赤外エネルギーに比例した電気信号に変換して、
プリアンプ１７で一定レベルに増幅する。更に温度検出
回路１８で検出された被測定対象物１０のガラスの表面
等の各温度は電気信号に変換されて表示装置や記録器等
へ供給されて、温度表示及び記録が成される。
【００１５】光検出器１６ＡとしてはＨｇＣｄＴｅを用
いた量子型光検出器が用いられる。この光検出器の分光
感度は赤外波長の略々１０μｍに感度のピークを持って
いる。光検出器１６は液体窒素で−１９６℃に常時冷却
して赤外エネルギーを高感度に電気信号に変換する。１
９はカルバノミラー等の駆動回路、２０は図示しないコ
ンピュータ（ＣＰＵ）側からリモート信号によりＤＣモ
ータで対物レンズ１５を前後に移動してフォーカス調整
を行うフォーカス回路、又、各種フィルタ１６Ｂの切換
及びレンジの切換はフィルタオン／オフ回路２２及びレ
ンジ切換回路２１で行われる。
いた量子型光検出器が用いられる。この光検出器の分光
感度は赤外波長の略々１０μｍに感度のピークを持って
いる。光検出器１６は液体窒素で−１９６℃に常時冷却
して赤外エネルギーを高感度に電気信号に変換する。１
９はカルバノミラー等の駆動回路、２０は図示しないコ
ンピュータ（ＣＰＵ）側からリモート信号によりＤＣモ
ータで対物レンズ１５を前後に移動してフォーカス調整
を行うフォーカス回路、又、各種フィルタ１６Ｂの切換
及びレンジの切換はフィルタオン／オフ回路２２及びレ
ンジ切換回路２１で行われる。
【００１６】本例の上述の如き赤外線温度分布測定装置
に用いられる光検出器１６Ａは例えばＨｇＣｄＴｅ系の
検出器が用いられるがこれらの赤外線感度波長特性は図
１の感度特性に示されている様に略々赤外線波長１μｍ
から立ち上がり１０μｍにピークの感度を有し、赤外線
波長１３μｍに向かって立ち下がる様な特性を持ってい
る。
に用いられる光検出器１６Ａは例えばＨｇＣｄＴｅ系の
検出器が用いられるがこれらの赤外線感度波長特性は図
１の感度特性に示されている様に略々赤外線波長１μｍ
から立ち上がり１０μｍにピークの感度を有し、赤外線
波長１３μｍに向かって立ち下がる様な特性を持ってい
る。
【００１７】従って、本例では略々６．５μｍにピーク
感度を有する光学フィルタ、即ち、光学帯域通過濾波器
（ＢＰＦ）１６Ｂによって５〜８μｍの帯域の赤外線の
みを通過させる様にすれば光検出器１６Ａには図１の符
号２４で示す感度特性を有する５〜８μｍの赤外エネル
ギーのみが供給出来る。
感度を有する光学フィルタ、即ち、光学帯域通過濾波器
（ＢＰＦ）１６Ｂによって５〜８μｍの帯域の赤外線の
みを通過させる様にすれば光検出器１６Ａには図１の符
号２４で示す感度特性を有する５〜８μｍの赤外エネル
ギーのみが供給出来る。
【００１８】即ち、光学フィルタ１６Ｂと光検出器１６
Ａによって図１及び図６で示した大気の窓２５ａ〜２５
ｃ以外の赤外線波長領域２６の赤外線のみ透過させるこ
との出来る領域２４を有する光検出手段１６が得られる
ことは明らかである。
Ａによって図１及び図６で示した大気の窓２５ａ〜２５
ｃ以外の赤外線波長領域２６の赤外線のみ透過させるこ
との出来る領域２４を有する光検出手段１６が得られる
ことは明らかである。
【００１９】図１には図５で説明したガラスの透過率：
τ及び放射率：ε、並びに反射率：ρが示されている
が、光学フィルタ１６Ｂの感度波長（５〜８μｍ）では
反射率：ρは略々０に近く、低い値を示すので周囲の高
温放射物体からの反影の影響はなくなる。
τ及び放射率：ε、並びに反射率：ρが示されている
が、光学フィルタ１６Ｂの感度波長（５〜８μｍ）では
反射率：ρは略々０に近く、低い値を示すので周囲の高
温放射物体からの反影の影響はなくなる。
【００２０】然も、５〜８μｍの領域に亘るため、従来
の４．８〜５．２μｍと云う狭い帯域の検出器に比べ感
度波長が長く沢山の赤外線エネルギーを得ることができ
るので、Ｓ／Ｎ比を向上でき、従って常温領域の測温が
可能となる。
の４．８〜５．２μｍと云う狭い帯域の検出器に比べ感
度波長が長く沢山の赤外線エネルギーを得ることができ
るので、Ｓ／Ｎ比を向上でき、従って常温領域の測温が
可能となる。
【００２１】因みに光学フィルタ１６Ｂを赤外線の光路
上の焦点位置に配し、透明ガラス又はスリガラスを図３
の如く配置して本装置で測温した場合高温物体３の反射
像は無視し得る程度に低減させることができた。
上の焦点位置に配し、透明ガラス又はスリガラスを図３
の如く配置して本装置で測温した場合高温物体３の反射
像は無視し得る程度に低減させることができた。
【００２２】この様な高温物体の反射像を透明なガラス
の手前に置いた従来の画像及び本発明の画像パターンを
図４Ａ及び図４Ｂに示す。
の手前に置いた従来の画像及び本発明の画像パターンを
図４Ａ及び図４Ｂに示す。
【００２３】図４Ａは赤外線温度分布測定装置（サーモ
トレーサ：赤外線放射温度計）としての赤外線検出器の
波長帯を７．７〜１３．２μｍにとった８〜１３μｍ波
長帯の量子型赤外線温度分布測定装置で透明ガラス板１
の手前に置いた高温物体３のガラス板への反射像温度分
布パターンを示すものであり、図４Ｂは本発明の赤外線
温度分測定装置としての赤外線検出器の波長帯を６．６
〜８．３μｍにとった５〜８μｍ波長帯の量子型赤外線
温度分布測定装置で透明ガラスの手前に置いた高温物体
３のガラス板への反射像温度分布パターンを示すもので
ある。
トレーサ：赤外線放射温度計）としての赤外線検出器の
波長帯を７．７〜１３．２μｍにとった８〜１３μｍ波
長帯の量子型赤外線温度分布測定装置で透明ガラス板１
の手前に置いた高温物体３のガラス板への反射像温度分
布パターンを示すものであり、図４Ｂは本発明の赤外線
温度分測定装置としての赤外線検出器の波長帯を６．６
〜８．３μｍにとった５〜８μｍ波長帯の量子型赤外線
温度分布測定装置で透明ガラスの手前に置いた高温物体
３のガラス板への反射像温度分布パターンを示すもので
ある。
【００２４】図４Ａ及び図４Ｂは机４上に垂直に立てら
れた厚さ２ｍｍの透明なガラス１の手前に沸騰した湯を
カップに入れた高温物体３を載置して、ガラス１の温度
分布を測温したものである。
れた厚さ２ｍｍの透明なガラス１の手前に沸騰した湯を
カップに入れた高温物体３を載置して、ガラス１の温度
分布を測温したものである。
【００２５】図４Ａ及び図４Ｂに示す指標色の６Ａ部分
は略２５．５℃〜２６．５℃の範囲で赤色であり、６Ｂ
部分は略々２５．５℃〜２４．８℃で黄色から緑色であ
り、６Ｃ部分は略々２４．８℃〜２２．５℃でプルーと
して表示される。
は略２５．５℃〜２６．５℃の範囲で赤色であり、６Ｂ
部分は略々２５．５℃〜２４．８℃で黄色から緑色であ
り、６Ｃ部分は略々２４．８℃〜２２．５℃でプルーと
して表示される。
【００２６】図４Ａの従来のサーモグラムではガラス板
１に反射して写った反射像５Ａは黄色を示し、カップ３
に書かれた金文字の文字像６まで写し出されている。尚
コップ３の色は白色、ガラス板１の他の部分はブルーか
ら緑の温度分布を示している。
１に反射して写った反射像５Ａは黄色を示し、カップ３
に書かれた金文字の文字像６まで写し出されている。尚
コップ３の色は白色、ガラス板１の他の部分はブルーか
ら緑の温度分布を示している。
【００２７】これに対し、図４Ｂの本例の赤外検出器の
様に５〜８μｍ感度を持つ赤外波長帯域のものでは反射
像５Ｂはコップ３の形としてガラス板１上に投影され
ず、この部分の反射像５Ｂは緑色を示し、他の部分はブ
ルーを示している。勿論カップの色は白色であり、本例
によれば被測定対象物近傍に置かれた或いは周辺に配設
された高温物体の影響が軽減された赤外線温度分布測定
装置及びその測定方法が得られる。
様に５〜８μｍ感度を持つ赤外波長帯域のものでは反射
像５Ｂはコップ３の形としてガラス板１上に投影され
ず、この部分の反射像５Ｂは緑色を示し、他の部分はブ
ルーを示している。勿論カップの色は白色であり、本例
によれば被測定対象物近傍に置かれた或いは周辺に配設
された高温物体の影響が軽減された赤外線温度分布測定
装置及びその測定方法が得られる。
【００２８】上述の構成ではガラス（透明及び擦りガラ
ス）の反射率、透過率、放射率を説明したが、ガラスと
等価のＳｉＯ2 を含むタイル、コンクリート外壁、モル
タル等であっても略々同様の反射率、透過率、放射率特
性を示し、同様に外壁の温度分布が５〜８μｍの帯域に
感度を有する光検出手段１６で検出可能である。
ス）の反射率、透過率、放射率を説明したが、ガラスと
等価のＳｉＯ2 を含むタイル、コンクリート外壁、モル
タル等であっても略々同様の反射率、透過率、放射率特
性を示し、同様に外壁の温度分布が５〜８μｍの帯域に
感度を有する光検出手段１６で検出可能である。
【００２９】更に上述の構成では光検出手段１６を光検
出器１６Ａと光学フィルタ１６Ｂの組合せによって構成
したが光検出器１６Ａの組成を変更することで赤外線検
出感度のピーク値を５〜８μｍ帯にシフトさせ帯域中心
波長を略々６．５μｍ近傍にした光学フィルタを作製す
ることで、光学フィルタ１６Ｂを用いることなく、大気
の窓以外に感度波長を持つセンサを得ることも出来る。
出器１６Ａと光学フィルタ１６Ｂの組合せによって構成
したが光検出器１６Ａの組成を変更することで赤外線検
出感度のピーク値を５〜８μｍ帯にシフトさせ帯域中心
波長を略々６．５μｍ近傍にした光学フィルタを作製す
ることで、光学フィルタ１６Ｂを用いることなく、大気
の窓以外に感度波長を持つセンサを得ることも出来る。
【００３０】上述の構成では光検出器１６Ａ及び光学フ
ィルタの赤外線最適通過帯域を５〜８μｍとして説明し
たが例えば、光学フィルタ作製時の積層膜の厚みのコン
トロールにより５．１〜８．２μｍ或いは４．９〜８．
１μｍになることもあるが、この様な誤差範囲は本例の
最適通過帯域内に入ることは明らかである。
ィルタの赤外線最適通過帯域を５〜８μｍとして説明し
たが例えば、光学フィルタ作製時の積層膜の厚みのコン
トロールにより５．１〜８．２μｍ或いは４．９〜８．
１μｍになることもあるが、この様な誤差範囲は本例の
最適通過帯域内に入ることは明らかである。
【００３１】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、赤外検出手
段として大気の窓以外の５〜８μｍ赤外線波長領域に感
度を有するセンサによって、被測定対象物中の温度分布
パターン中に周囲の高温放射物体の影響が投写されず反
射の影響のない赤外線温度分布測定装置及びその測定方
法が得られ、且つ低温から常温までの測温が可能とな
る。
段として大気の窓以外の５〜８μｍ赤外線波長領域に感
度を有するセンサによって、被測定対象物中の温度分布
パターン中に周囲の高温放射物体の影響が投写されず反
射の影響のない赤外線温度分布測定装置及びその測定方
法が得られ、且つ低温から常温までの測温が可能とな
る。
【図１】本発明の赤外線温度分布測定装置の波長特性図
である。
である。
【図２】本発明の赤外線温度分布測定装置の要部の構成
図である。
図である。
【図３】ガラスの熱画像測定図である。
【図４】本発明及び従来の高温物体の反射像を示す図で
ある。
ある。
【図５】ガラスの透過率、放射率、反射率を示す特性図
である。
である。
【図６】大地の吸収率を示す特性図である。
１０ 被測定対象物 １１ 赤外線温度分布測定装置 １２ 検出部 １６ 光検出手段 １６Ａ 光検出器 １６Ｂ 光学フィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒川 賢 東京都小平市天神町１−57 日本電気三 栄株式会社 東京工場内 (72)発明者 梅川 記生 東京都小平市天神町１−57 日本電気三 栄株式会社 東京工場内
Claims (4)
- 【請求項１】 被測定対象物からの赤外線を赤外線検出
手段で検出して、該被測定対象物の温度測定を行う赤外
線温度分布測定装置に於いて、 上記被測定対象物の反射率の低い且つ放射率の高い領域
での温度測定時に大気の窓以外に感度波長を有する上記
赤外線検出手段で温度測定して成ることを特徴とする赤
外線温度分布測定装置。 - 【請求項２】 被測定対象物からの赤外線を赤外線検出
手段を介して検出して、該被測定対象物の温度測定を行
う赤外線温度分布測定方法に於いて、 反射率が低い領域での上記被測定対象物の温度測定時に
大気の窓以外に感度波長有する赤外線検出手段を介して
上記被測定対象物の温度測定を行うことを特徴とする赤
外線温度分布測定方法。 - 【請求項３】 前記赤外線検出手段の感度波長が５〜８
μｍであることを特徴とする請求項１記載の赤外線温度
分布測定装置。 - 【請求項４】 前記赤外線検出手段の感度波長が５〜８
μｍであることを特徴とする請求項２記載の赤外線温度
分布測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7043503A JP2756648B2 (ja) | 1995-02-08 | 1995-02-08 | 赤外線温度分布測定装置及びその測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7043503A JP2756648B2 (ja) | 1995-02-08 | 1995-02-08 | 赤外線温度分布測定装置及びその測定方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63035563A Division JP2775017B2 (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | 赤外線温度分布測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0835884A JPH0835884A (ja) | 1996-02-06 |
| JP2756648B2 true JP2756648B2 (ja) | 1998-05-25 |
Family
ID=12665533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7043503A Expired - Lifetime JP2756648B2 (ja) | 1995-02-08 | 1995-02-08 | 赤外線温度分布測定装置及びその測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2756648B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11150138B2 (en) | 2017-12-08 | 2021-10-19 | Horiba Advanced Techno, Co., Ltd. | Radiation thermometer |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MXPA03010637A (es) * | 2001-05-21 | 2004-12-06 | Pressco Tech Inc | Aparato y metodo para suministrar informacion de imagenes infrarrojas termicas de accion de exposicion instantanea dentro de aplicaciones de inspeccion de articulos con control automatizado de procedimientos. |
| WO2003042763A1 (fr) | 2001-11-13 | 2003-05-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Dispositif de fixation de temperature et dispositif de formation d'image |
| JP6996879B2 (ja) | 2017-06-22 | 2022-01-17 | 旭化成株式会社 | 放射温度測定装置 |
| WO2020105344A1 (ja) * | 2018-11-22 | 2020-05-28 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス物品の温度測定方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01210830A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-24 | Akira Umeboshino | 赤外線温度分布測定装置 |
-
1995
- 1995-02-08 JP JP7043503A patent/JP2756648B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01210830A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-24 | Akira Umeboshino | 赤外線温度分布測定装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11150138B2 (en) | 2017-12-08 | 2021-10-19 | Horiba Advanced Techno, Co., Ltd. | Radiation thermometer |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0835884A (ja) | 1996-02-06 |
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