JP2746914B2 - 拡散炉装置 - Google Patents

拡散炉装置

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JP2746914B2
JP2746914B2 JP12925388A JP12925388A JP2746914B2 JP 2746914 B2 JP2746914 B2 JP 2746914B2 JP 12925388 A JP12925388 A JP 12925388A JP 12925388 A JP12925388 A JP 12925388A JP 2746914 B2 JP2746914 B2 JP 2746914B2
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勝之 笹原
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【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は拡散炉装置に関する。
〔従来の技術〕
従来この種の拡散炉装置はガス導入用のノズルを備え
た燃焼筒の周囲に加熱装置を備えた構成となっており、
ノズル先端で燃焼したガスの炎を観測する炎検知センサ
ーを備えていないか、備えていても炎の外炎を炎の外側
より検知する構造になっていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来の拡散炉装置の炎検知センサーは炎の外
炎を炎の外側より検知する機構となっていた。又炎の検
知は、炎が出す紫外線の強度を測定する事により点火状
態を確認していた。しかしH2が燃焼した際、周囲に水蒸
気が生じるために紫外線が水蒸気に吸収されてしまい紫
外線の強度が変化し、センサーが誤動作する事があると
いう欠点があった。
本発明は炎が出す光を炎の周囲の水蒸気に吸収される
事なくセンサーで受ける事が出来る構造にしてセンサー
の誤動作を解消することにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の拡散炉装置は加熱手段と、燃焼筒を備え、さ
らに燃焼筒内で燃焼しているH2ガスの炎の内炎を観測す
る紫外線検知センサーを具備した構成となっている。
〔実施例１〕 次に本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の一実施例の断面図である。燃焼筒１内に、H2
ガス用のノズル２の外側にガス用のO2ノズルを配置した
２重管構造のノズルが取り付けられている。H2ガス用の
ノズル２の先端で燃焼しているH2の炎４は第１図の様に
見え、炎４の周囲にはH2が燃焼して生じたH2Oが炎をお
おう様にして存在している。H2ガス用ノズル２は途中で
枝分れしており、一方の枝の端部に炎検知センサー５が
取り付けられており、炎の内炎から発し、ノズル内を通
過してきた紫外線を検知出来る様になっている。もう一
方の枝の端部はH2ガス供給装置（図示省略）に接続して
いる。
炎検知センサー５には近松テレビ社製の紫外線紫外線
検出管（UVtroon）を用いた。このほかGaAsPショットキ
ーフォトダイオード等も利用できる。GaAsPショットキ
ーフォトダイオードを用いると装置が小型になるうえ、
分光感度が可視域まであるので紫外線以外の光も感知で
きる利点がある。
本実施例の装置は上記の構成に加えて、燃焼筒内に設
置された材料を加熱するために、燃焼筒の周囲に抵抗加
熱による加熱手段を備えているが、図では省略した。
〔実施例２〕 第２図は本発明の実施例２の断面図である。この実施
例ではO2ガス用ノズル３とH2ガス用ノズル２が分離して
燃焼筒１に接続しており、H2ガス用ノズル２はその先端
が燃焼筒内でＵ字状に曲っている。さらに、燃焼筒の側
壁を貫通してノズル６が設けられており、このノズル６
の一端はH2ガス用ノズル２の先端近傍にあり、ノズル２
から発生する炎の内炎に位置するようになっている。ノ
ズル６のもう一方の端部には炎検知センサー５が取付け
られている。上記以外は実施例１と同じである。
この実施例ではH2のノズル２とは別にノズル６を設け
ているため炎検知センサー５の位置を自由に決定出来る
という利点がある。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明はH2を燃焼させる事により
水蒸気を生成する機能を持つ拡散炉装置において、炎の
内炎を観測する事により紫外線をH2の燃焼によって炎の
周囲に生じた水蒸気のために減衰させる事なく炎センサ
ーにより検知出来、炎センサーの誤動作をなくすことが
できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例１の断面図である。第２図は本
発明の実施例２の断面図である。 １……燃焼筒、２……H2ガス用ノズル、３……O2ガス用
ノズル、４……炎、５……炎検知センサー、６……ノズ
ル。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ノズルを備えた燃焼筒の周囲に加熱手段を
    備え、前記燃焼筒内ノズル先端でH2を燃焼させることに
    より水蒸気を生成する拡散炉装置において、H2の燃焼で
    発生する炎の内炎を観測する紫外線検知センサーを設け
    たことを特徴とする拡散炉装置。
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