JP2746315B2 - 波長変換装置 - Google Patents

波長変換装置

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JP2746315B2
JP2746315B2 JP4065398A JP6539892A JP2746315B2 JP 2746315 B2 JP2746315 B2 JP 2746315B2 JP 4065398 A JP4065398 A JP 4065398A JP 6539892 A JP6539892 A JP 6539892A JP 2746315 B2 JP2746315 B2 JP 2746315B2
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    • G02F1/353Frequency conversion, i.e. wherein a light beam is generated with frequency components different from those of the incident light beams
    • G02F1/3542Multipass arrangements, i.e. arrangements to make light pass multiple times through the same element, e.g. using an enhancement cavity

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はリチウムナイオベート等
の非線形光学媒質を用いてレーザ光の波長をその半分,
倍等に変換する波長変換装置に関する。
【0002】
【従来の技術】レーザ光発生装置は鋭い指向性のコヒー
レント光を高い強度で発生できる特長から、計測,医
学,加工,化学工業等の広範な分野に応用されている
が、一部の例外を除いて特定の波長でしか発振せず、こ
の波長選択に制約がある点が実際の適用面で障害になっ
ている。このため、上述のリチウムナイオベート(LiNbO
3)等の非線形光学媒質を用いる種々なレーザの光波長変
換方式が知られており、この内で実用性がとくに高い方
式としてレーザ光波長を半波長に変換する第2高調波発
生(SHG) と, 元の波長より長い波長に変換する光パラメ
トリック発振(0PO) とがある。以下、図6以降を参照し
てそれらの代表例を説明する。
【0003】図6の従来例ではレーザ光発生装置10のレ
ーザ共振系内に非線形光学媒質20を組み込んで、系内で
発振させたレーザ光L1を第2高調波発生によりその半波
長のレーザ光L2に変換する。レーザ媒質1には例えばNd
イオン等のレーザ活性物質を含むYAGのロッドを用
い、励起光源2による励起光ELでこれを励起して例えば
波長1.06μmのレーザ光L1を発生させ、かつ全反射ミラ
ー3と部分反射ミラー4によりそれに対するレーザ共振
系を構成させる。この系内のレーザ光L1を非線形光学媒
質20によりそれを基本波とする第2高調波である0.53μ
mの半波長の変換レーザ光L2に波長変換して部分反射ミ
ラー4の方から取り出す。第2高調波は入射レーザ光の
電場により誘起される2次分極波から発生する。2次分
極は1次分極より小さいが電場の2乗に比例するので強
い第2高調波を得るには電場を強める必要があり、この
ためレーザ光L1を共振系に閉じ込めて非線形光学媒質20
に与える強度を高める。
【0004】図7の従来例も第2高調波発生であるが、
レーザ光発生装置10の外側に1対の反射ミラー31と32を
備える共振器30を設けてこれに非線形光学媒質20を挿入
し、レーザ光発生装置10からレーザ光L1をそれを1方向
にのみ通すアイソレータ5を介して外部共振器30に与え
る。両反射ミラー31と32はレーザ光L1に対し高反射率と
して共振器30内にそれを閉じ込めて非線形光学媒質20に
与える基本波の強度を高める。この際、両反射ミラー31
と32の間隔を調節してレーザ光L1のミラー31による反射
光の位相とミラー32による反射光の位相が互いに打ち消
し合う位相共振条件を満たすことにより、外部共振器30
をレーザ光発生装置10から受けるレーザ光L1に対し実効
的に高透過性にしてそれを吸収させる。この中に閉じ込
められるレーザ光L1を基本波として非線形光学媒質20に
よってその第2高調波である変換レーザ光L2を発生さ
せ、それに対して反射ミラー31に高反射率, 反射ミラー
32に高透過率を持たせて後者の方から外部に取り出す。
【0005】なお、図6や図7の非線形光学媒質20の被
変換レーザ光L1と変換レーザ光L2に対する屈折率が異な
り, 従ってそれらの伝播速度が異なると、その内部の異
なる場所で変換レーザ光L2が異なる位相で発生して互い
に打ち消し合うことが起きて波長変換効率が低下する。
このため、変換効率を上げるには両レーザ光L1, L2に対
する非線形光学媒質20の屈折率n1,n2 が等しくなる位
相整合条件n1=n2 を満たす必要があり、光学結晶では
これら屈折率が光軸に対する角度で異なるので非線形光
学媒質20をこの位相整合条件を満たすようにカットす
る。
【0006】図8の従来例では図7と同様な系構成で光
パラメトリック発振によりレーザ光発生装置10で発振さ
れたレーザ光L1を外部共振器30内の非線形光学媒質20に
よりそれよりも長波長の変換レーザ光L3とL4に波長変換
する。この光パラメトリック発振においても非線形光学
媒質20による2次分極が利用され、被変換レーザ光であ
るレーザ光L1の角周波数をω1 , 変換レーザ光L3とL4の
角周波数をω34 とすると、光を粒子として見た時の
エネルギ保存に相当するω134 の条件を満たす波
長の変換レーザ光L3とL4に変換される。
【0007】また、この光パラメトリック発振でも変換
効率を向上するには上述の位相整合条件を満たす必要が
あり、このため非線形光学媒質20はその変換レーザ光L
3, L4に対する屈折率をn3,n4 として粒子の場合の運
動量保存式に相当する位相整合条件n1ω1=n3ω3+n4ω4
を満たすようにカットされる。これにより変換レーザ光
L3とL4をともに発生させ得るが、実際にはこの位相整合
条件を完全に満たすのが困難なのでその一方だけを発生
させる場合が多い。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のいずれ
の従来方式も波長変換効率や動作の安定性の面で以下の
ようにまだ問題があり、とくに高出力の変換レーザ光に
波長変換するのが困難なことが多い。すなわち、図6の
内部共振形の第2高調波発生方式では、レーザ光発生装
置10のレーザ共振系内に挿入された非線形光学媒質20を
レーザ光L1が通過するつどその両面で損失がそれぞれ発
生するので被変換レーザ光L1の発振効率が低下し、これ
に応じて変換レーザ光L2の強度も当然下がるため実効的
な波長変換効率が低下しやすい。
【0009】図7の外部共振形の第2高調波発生方式で
は、外部共振器30と独立にレーザ光発生装置10を発振さ
せるので内部共振形のような問題はないが、外部共振器
30の1対の反射ミラー31と32の間隔をミクロンオーダの
精度で精密に調整する必要があるので、圧電素子等を用
いる複雑で高価な調整機構を要するほか、温度変化やご
く僅かな衝撃によってこの調整が狂いやすい。さらに、
レーザ光発生装置10はふつうマルチ縦モードでレーザ光
L1を発振するが、外部共振器30をその内の特定モードの
波長成分に対してのみ同調させるほかないので、他モー
ドの波長成分はすべてむだになってしまってこの場合に
も実効的な波長変換効率が低下することになる。従っ
て、加工用のようにレーザ光発生装置10が発生するマル
チモードをすべて利用したい大出力用への適用が困難で
ある。
【0010】図8の光パラメトリック発振方式では、前
述の位相整合条件を満たして本来の2波長の変換レーザ
光L3とL4への波長変換を安定に動作させるのが困難で、
かつ外部共振器30が扱う被変換レーザ光L1を含めた3波
長に適する波長選択性のある反射率や透過率をそのミラ
ー31と32に持たせるのも困難なため、この光パラメトリ
ック発振方式が本来高い波長変換効率をもつにもかかわ
らず実際にはこれを犠牲にして1波長の変換レーザ光に
変換している実情である。
【0011】かかる問題点に鑑み、本発明の目的はレー
ザ光の波長変換効率を一層高め、かつ変換動作を安定化
させることにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明では、焦点を共有
する1対の曲面ミラーを備える不安定形光共振器と、光
共振器のミラー間の光路に挿入した非線形光学媒質を用
い、被変換レーザ光を光共振器内にその光軸と平行にか
つ光軸からずれた位置から注入し、光共振器の光軸付近
に集中する被変換レーザ光を非線形光学媒質によりそれ
と異なる波長のレーザ光に変換することにより上述の目
的を達成する。
【0013】なお、上記構成にいう不安定形の光共振器
は注入された光を内部に閉じ込めるのは安定形と同じで
あるが、この閉じ込めが永久に持続せず光がいずれは外
部に逸脱する点が異なる。かかる不安定形光共振器の上
述の1対の曲面ミラーは焦点のほかに光軸も共有する凹
面ミラーと凸面ミラーまたは2個の凹面ミラーの組み合
わせとし、かつ被変換レーザ光を凹面ミラーに注入する
のがよい。また、この光共振器の光軸付近への被変換レ
ーザ光の集中強度を高めるため両曲面を光軸に対して軸
対称ないしは回転対称な曲面とするのが有利である。
【0014】また、本発明の有利な実施態様として、被
変換レーザ光を環状光束に変換した後に環状ミラーを介
して光共振器の一方の曲面ミラーに入射させ、さらには
波長選択性をもつ分離ミラーにより被変換レーザ光を反
射させて光共振器に注入し,非線形光学媒質による変換
レーザ光を光共振器からその逆経路で出射させて分離ミ
ラーを通して外部に取り出すようにするのがよい。ある
いは光共振器の一方の曲面ミラーに波長選択性を持た
せ、非線形光学媒質による変換レーザ光をこれを通して
取り出すのがよい。本発明のより簡単な実施態様では、
被変換レーザ光を光共振器の曲面ミラーの周縁領域の一
部に対し光軸に平行な方向から入射させ、非線形光学媒
質による変換レーザ光を光共振器の波長選択性をもつ曲
面ミラーを通して取り出すようにする。なお、かかる本
発明装置は第2高調波発生方式にも光パラメトリック発
振方式にも適用できる。
【0015】
【作用】前述の内部共振形と外部共振形のいずれでも従
来は安定形の光共振器を用いており、この安定共振器は
内部に光をいわば永久に閉じ込める作用をもつが、反射
ミラー面内の光の分布が均一で特定の範囲に光を集中さ
せる作用はない。また、共振光の波面が反射ミラー面と
平行でそのすべての点で位相が同じなので、ある特定の
波長に対して位相共振条件を満たせば反射面のどこでも
それが満たされるかわり、それからずれた波長の光を共
振させるには1対のミラーの間隔を変える以外に施すす
べがない。
【0016】本発明では安定形のかかる弱点に着目して
光共振器をそれとは逆の作用をもつ不安定形にして課題
を解決する。不安定形は光を永久に閉じ込める作用はな
く、光共振器に注入された光はいずれは逸出するが、前
項の構成にいうよう共振器に焦点を共有する1対の曲面
ミラーを設け被変換レーザ光を光軸に平行に注入するこ
とによりそれが逸出するまでの過程で共振器の光軸付近
のミラー間の往復光路内に滞留,つまり集中させること
ができ、この高強度の被変換レーザ光を非線形光学媒質
に与えて波長変換効率を高めることができる。
【0017】また、かかる不安定形の光共振器では光の
波面がミラーの曲面と必ずしも一致しないので、上述の
被変換レーザ光が集中する光軸付近でもミラー間の往復
光が互いに打ち消し合って光強度の低くなる個所もでき
るが、光軸からのずれに応じ往復光路長が変化するので
光軸付近のどこかでは往復光が強め合って高光強度の個
所ができる。従って、被変換レーザ光がマルチ縦モード
で発振されてある波長範囲をもつ場合でも、そのすべて
の波長成分光が光軸付近で必ず高光強度に集中されて波
長変換に貢献するので、本発明により実効的な波長変換
効率を高めるとともに変換レーザ光を高出力化できる。
さらに、このためにミラー表面が被変換レーザ光の波面
と一致する必要がないから、本発明では従来のように反
射ミラーの相互間隔を厳密に微調整する必要がなく、か
つ使用中の狂いを減少させて波長変換動作を安定化する
ことができる。
【0018】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図1〜図4は本発明の波長変換装置を第2高調波
発生に適用したそれぞれ異なる実施例を,図5は光パラ
メトリック発振に適用した波長変換装置の実施例をそれ
ぞれ示す。なお、これらの波長変換装置は例えば図7や
図8に示したようなレーザ光発生装置10により通常のマ
ルチ縦モードでパルス発振ないしは連続発振された例え
ば1.06μmの波長の被変換レーザ光L1を受けるものとす
る。
【0019】図1の第1実施例では、図の下部に示され
た光共振器40に被変換レーザ光L1を円環状のビームLrの
形で注入してその変換レーザ光L2を逆経路で取り出すの
で、レーザ光発生装置からアイソレータ5を通して受け
る平行な被変換レーザ光L1のビームを変換レーザ光L2の
分離用フィルタであるセパレータ50によって90度折り曲
げた後、1対の互いに向き合った円錐レンズ61と62を備
えるビーム変換器60により円環状ビームLrに変換する。
光共振器40に傾斜した姿勢で組み込まれた環状ミラー70
はこの円環状ビームLrを受けてその進行方向を光軸aに
平行にした上で光共振器40に注入する。
【0020】この実施例の光共振器40は凹面ミラー41と
凸面ミラー42とを備え、両ミラーは焦点Fと光軸Aを共
有し光軸Aに対して軸対称な球面ないし抛物面に形成さ
れ、いずれにも被変換レーザ光L1と変換レーザ光L2に対
する高反射率コーティングが施される。この実施例は第
2高調波発生用なので、リチウムナイオベート等からな
る非線形光学媒質20は、基本波である被変換レーザ光L1
に対する屈折率をn1,第2高調波である変換レーザ光L2
に対する屈折率をn2 としたとき位相整合条件n1 =n
2 を満たすようカットされて光共振器40の曲面ミラー相
互間の光路内に挿入される。かかる非線形光学媒質20の
挿入状態でのミラー対の間隔aは、凹面ミラー41の曲率
半径をRn, 凸面ミラーの曲率半径をRp, 光学媒質20の光
軸方向の長さをdとして、a=(Rn-Rp)/2+d(n1-1)/n1を満
たすよう設定される。
【0021】図1では光共振器40に注入された被変換レ
ーザ光L1の経路がP1〜P4で示されている。被変換レーザ
光L1は環状ミラー70による反射後に光軸Aに平行な光路
P1で凹面ミラー41の外周部に注入され、以降は焦点Fに
向かう光路P2で右方に進み、光軸Aに平行な光路P3で左
方に進み、焦点Fに向かう光路P4で右方に進みながらミ
ラー41と42の相互間を往復するつど光軸Aに近づいて行
くので、光共振器40の光軸Aの付近の図の集中部Cに被
変換レーザ光L1が高光強度に集中されて非線形光学媒質
20により高効率で変換レーザ光L2に波長変換される。
【0022】なお、上述の集中部Cでも被変換レーザ光
L1に回折があるから、その波長変換に貢献しなかった分
は前述の光路P1〜P4等を逆に経由して次第に外部に逸出
して行く。この意味で光共振器40は不安定形であって本
発明ではこれを被変換レーザ光L1を光軸Aの付近に集中
させるために利用する。この実施例では、非線形光学媒
質20により波長変換された変換レーザ光L2の取り出しに
もこの不安定形を逆に利用して、変換レーザ光L2を被変
換レーザ光L1の注入時とは逆の経路を経由してセパレー
タ50に導いた上で図のように外部に取り出す。これから
わかるようこの実施例ではミラー41と42に完全な反射性
を持たせることでよく、光共振器40内の光の損失を最低
に抑えて波長変換効率を高めることができる。
【0023】以上説明した第1実施例からわかるよう
に、本発明では不安定形光共振器40の1対の曲面ミラー
41と42に焦点Fを共有させ、被変換レーザ光L1を光共振
器40に光軸Aに平行な方向から光軸A以外の位置に注入
することにより光軸Aの付近の集中部Cに集めて光強度
を高めることができ、この実施例のように両ミラー中の
一方が凹面で他方が凸面である場合には被変換レーザ光
L1を凹面ミラー41の方に注入する。なお、この実施例の
環状ミラー70の窓71は図からわかるようこの凹面ミラー
41で最初に反射された被変換レーザ光L1を通す形状にさ
れる。
【0024】図2に示された第2実施例では変換レーザ
光L2が光共振器40の曲面ミラー対の一方, 図示の例では
凹面ミラー41を通して取り出される。構造が図1とほと
んど同じなので図2には光共振器40まわりの部分のみが
示されており、図1のビーム変換器60で円環状ビームLr
にされた被変換レーザ光L1が環状ミラー70を介して光共
振器40に注入される。この実施例では取り出し側ミラー
41に被変換レーザ光L1に対し高反射率で変換レーザ光L2
に対し高透過率の波長選択性反射率を持たせ、非線形光
学媒質20により第2高調波発生される変換レーザ光L2を
発生直後に凹面ミラー41を通して取り出す。変換レーザ
光L2は被変換レーザ光L2の集中部Cから発生するのでほ
ぼ平行な光束で取り出される。なお、この第2実施例で
は図1のセパレータ50はもちろん不要である。
【0025】今までの図1と図2の実施例では光共振器
の1対の曲面ミラーが外部焦点形で凹面と凸面を組み合
わせていたが、次の図3に示す第3実施例では光共振器
40の内部に焦点Fをもつ内部焦点形として2個の凹面ミ
ラー41と43を組み合わせる。他部分は図1と同じで、被
変換レーザ光L1が円環状ビームLrの形で環状ミラー70を
介して光共振器40に与えられ、変換レーザ光L2がその逆
経路で取り出される。ミラー41と43を高反射性とするの
も同じであるが、環状ミラー70の窓71は被変換レーザ光
L1のミラー41による1回目とミラー43による2回目の反
射光を通すよう形成される。この実施例では光軸Aから
のずれに対する光路長変化が大きいので集中部Cを細め
て被変換レーザ光L1の強度を上げるのに有利である。
【0026】図4に示す第4実施例は高出力用には適し
ないが構造が簡単な利点を有する。凹面ミラー41と凸面
ミラー42の共通の外部焦点Fを後者寄りにして凸面ミラ
ー42の径を小さくし、径の差に相当する凹面ミラー41の
外周側の一部に被変換レーザ光L1のビームを光軸Aと平
行に注入する。被変換レーザ光L1の集中部Cに非線形光
学媒質20の支え20aで支承された細いロッドを挿入す
る。この実施例では変換レーザ光L2を一方のミラーから
取り出す必要があるので、例えば凹面ミラー41に波長選
択性コーティングを施して被変換レーザ光L1に対し高反
射率を変換レーザ光L2に対し高透過率をもたせる。この
実施例では、図1のセパレータ50やビーム変換器60や環
状ミラー70が不要になり、ミラー41と42の面積の一部し
か使わないので高出力化はむりであるが、簡単な構造の
割りには集中部Cへの被変換レーザ光L1の集中度が高
く、従来より高い波長変換効率が得られる。
【0027】図5に図1に対応する光パラメトリック発
振の実施例を示す。その構造は図1と同じであるが、非
線形光学媒質21には図8で説明した光パラメトリック発
振の位相整合条件を満たすようカットしたものを用い、
それによって波長変換された2個の変換レーザ光L3とL4
を被変換レーザ光L1を注入した時と逆の経路を介して取
り出す。これに関連して図1のセパレータ50には変換レ
ーザ光L3とL4を被変換レーザ光L1から分離できる波長選
択性を持たせる。この実施例では光共振器40の1対のミ
ラー41と42にレーザ光L1,L3,L4のいずれに対しても高反
射性をもたせることでよいから、2波長の変換レーザ光
L3とL4への光パラメトリック波長変換の実用性を高める
ことができる。
【0028】この実施例による2波長変換の光パラメト
リック発振では光共振器40の光軸Aの付近に3種のレー
ザ光L1,L3,L4が共存して集中部Cにそれらが高強度で集
まるから、光パラメトリック発振に特有な3波の相互作
用による非線形光学媒質21内の変換レーザ光L3とL4に対
する増幅作用が強められて非常に高い波長変換効率が得
られる。また、非線形光学媒質21を光軸Aの回りに回転
させることにより変換レーザ光L3やL4の波長を連続的に
変化させることも可能である。
【0029】
【発明の効果】以上のとおり本発明の波長変換装置で
は、焦点を共有する1対の曲面ミラーを備える不安定形
の光共振器と、光共振器のミラー間の光路内に挿入され
た非線形光学媒質を用い、被変換レーザ光を光共振器内
にその光軸と平行にかつ光軸からずれた位置から注入
し、光共振器の光軸付近に集中する被変換レーザ光を非
線形光学媒質内で第2高調波発生や光パラメトリック発
振により変換レーザ光に波長変換することにより、次の
効果を上げることができる。
【0030】(a) 1対の曲面ミラーに焦点を共有させて
光軸に平行に被変換レーザ光を注入することにより不安
定形光共振器の特質を利用して被変換レーザ光を光軸付
近に高光強度で集中させることができるので、非線形光
学媒質の2次分極による変換レーザへの波長変換効率を
高めることができる。 (b) 不安定形光共振器ではミラーの表面と被変換レーザ
光の波面を一致させる必要がその原理上ないから、従来
のように光共振器のミラーの相互間隔を厳密に微調整す
る必要をなくして実用性を高めることができる。また、
波長変換装置の使用中の温度変化や外部から受ける振動
衝撃による調整の狂いを減少させてその動作を格段に安
定化することができる。
【0031】(c) 被変換レーザ光がマルチ縦モードで発
振された波長分布をもつ場合にも、そのすべての波長成
分光を不安定形光共振器の光軸付近に高光強度に集中さ
せることができるので、その全波長成分光を波長変換に
有効利用して波長変換効率を実効的に高めることができ
る。また、これにより変換レーザ光を高出力化できるの
で加工用レーザ等への適用にとくに有利である。
【0032】(d) 光パラメトリック発振の場合に2種の
波長の変換レーザ光に波長変換するための条件を満たし
ながら被変換レーザ光を光軸付近に集中させて強度を高
めることができるので、光パラメトリック発振の実用性
を高めかつその本来の特質を発揮させて非常に高い波長
変換効率を達成できる。さらに、光共振器のミラーのい
ずれにも全反射性をもたせることができるので、広い波
長範囲の変換レーザ光への波長変換に対する最適発振条
件を容易に満たすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を第2高調波発生に適用した第1実施例
の構成図である。
【図2】本発明を第2高調波発生に適用した第2実施例
の構成図である。
【図3】本発明を第2高調波発生に適用した第3実施例
の構成図である。
【図4】本発明を第2高調波発生に適用した第4実施例
の構成図である。
【図5】本発明を光パラメトリック発振に適用した実施
例の構成図である。
【図6】第2高調波発生方式の波長変換装置の従来例の
構成図である。
【図7】第2高調波発生方式の波長変換装置の異なる従
来例の構成図である。
【図8】光パラメトリック発振方式の波長変換装置の従
来例の構成図である。
【符号の説明】
10 レーザ光発生装置 20 第2高調波発生用の非線形光学媒質 21 光パラメトリック発振用の非線形光学媒質 40 光共振器 41 光共振器の凹面ミラー 42 光共振器の凸面ミラー 43 光共振器の凹面ミラー 50 セパレータ 60 ビーム変換器 70 環状ミラー A 光共振器の光軸 C 被変換レーザ光の集中部 F ミラー対に共通な焦点 L1 被変換レーザ光 L2 第2高調波発生による変換レーザ光 L3 光パラメトリック発振による変換レーザ光 L4 光パラメトリック発振による変換レーザ光

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】焦点を共有する1対の曲面ミラーを備える
    不安定形の光共振器と、光共振器のミラー間の光路内に
    挿入された非線形光学媒質とを備え、被変換レーザ光を
    光共振器内にその光軸と平行にかつ光軸からずれた位置
    から注入し、光共振器の光軸付近に集中する被変換レー
    ザ光を非線形光学媒質によって異なる波長のレーザ光に
    変換し、この変換レーザ光を光共振器外に取り出すよう
    にしたことを特徴とする波長変換装置。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の装置において、被変換レ
    ーザ光を環状光束に変換した後に環状ミラーを介して光
    共振器のミラーにその光軸に平行な方向から入射させる
    ようにしたことを特徴とする波長変換装置。
  3. 【請求項3】請求項1に記載の装置において、波長選択
    性をもつ分離ミラーによって被変換レーザ光を反射させ
    て光共振器に注入し、非線形光学媒質により変換された
    変換レーザ光を光共振器から逆経路で出射させて分離ミ
    ラーを通して取り出すようにしたことを特徴とする波長
    変換装置。
  4. 【請求項4】請求項1に記載の装置において、光共振器
    の一方の曲面ミラーに波長選択性を持たせ、非線形光学
    媒質によって変換された変換レーザ光をこの曲面ミラー
    を通して取り出すようにしたことを特徴とする波長変換
    装置。
  5. 【請求項5】請求項1に記載の装置において、光共振器
    の1対の曲面ミラーとして光共振器の外側に位置する焦
    点を共有する凹面ミラーと凸面ミラーを組み合わせるよ
    うにしたことを特徴とする波長変換装置。
  6. 【請求項6】請求項1に記載の装置において、光共振器
    の1対の曲面ミラーとして光共振器の内側に位置する焦
    点を共有する1対の凹面ミラーを用いることを特徴とす
    る波長変換装置。
  7. 【請求項7】請求項1に記載の装置において、被変換レ
    ーザ光を光共振器の曲面ミラーの周縁領域の一部にその
    光軸に平行な方向から入射させ、非線形光学媒質により
    変換された変換レーザ光を光共振器の波長選択性をもつ
    曲面ミラーを通して取り出すようにしたことを特徴とす
    る波長変換装置。
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