JP2739041B2 - Manufacturing method of liquid crystal display device and liquid crystal display device - Google Patents

Manufacturing method of liquid crystal display device and liquid crystal display device

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JP2739041B2
JP2739041B2 JP6253655A JP25365594A JP2739041B2 JP 2739041 B2 JP2739041 B2 JP 2739041B2 JP 6253655 A JP6253655 A JP 6253655A JP 25365594 A JP25365594 A JP 25365594A JP 2739041 B2 JP2739041 B2 JP 2739041B2
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liquid crystal
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region
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雅樹 長谷川
洋一 平
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置の製造方
法及び液晶表示装置にかかり、特に、液晶を配向膜の形
成に特徴を有する液晶表示装置の製造方法及び液晶表示
装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a liquid crystal display device and a liquid crystal display device, and more particularly to a method of manufacturing a liquid crystal display device characterized by forming a liquid crystal alignment film and a liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示装置は、所定間隔を隔てた一対
の透明な基板間に液晶が封入されて構成されている。す
なわち、液晶分子は、細長形状をしており、屈折率の異
方性を有している。従って、液晶に印加された電圧の方
向に沿うように整列される状態と、電圧が印加されない
状態との違いから、画素を形成することができる。この
基板には、液晶分子を配向させるために配向膜が形成さ
れている。この配向膜には、ポリイミドに代表される高
分子材料が用いられており、例えば、この高分子材料を
布等により摩擦し配向方向を付与する(所謂ラビング)
ことによって配向膜を形成する液晶表示装置がある。こ
の液晶表示装置では、液晶分子は1対の基板の各々の配
向膜のラビング方向に配向される。通常、1対の基板の
各々のラビング方向は交叉するように対向されるので、
液晶分子は一方の基板から他方の基板へ向かうに従って
螺旋状に位置する。
2. Description of the Related Art A liquid crystal display device has a structure in which liquid crystal is sealed between a pair of transparent substrates spaced at a predetermined interval. That is, the liquid crystal molecules have an elongated shape and have anisotropy in refractive index. Therefore, a pixel can be formed from a difference between a state where the liquid crystal is aligned along the direction of the voltage applied to the liquid crystal and a state where no voltage is applied. An alignment film is formed on the substrate to align liquid crystal molecules. For this alignment film, a polymer material represented by polyimide is used. For example, this polymer material is rubbed with a cloth or the like to give an alignment direction (so-called rubbing).
There is a liquid crystal display device in which an alignment film is formed by this. In this liquid crystal display device, the liquid crystal molecules are aligned in the rubbing direction of each alignment film of the pair of substrates. Usually, the rubbing directions of a pair of substrates are opposed to each other so as to intersect,
Liquid crystal molecules are spirally arranged from one substrate to the other.

【0003】ところで、黒レベルと白レベルの中間調を
表示させたとき、液晶分子は、電場と配向膜からの力の
バランスによって基板に対して斜めに配向する。このた
め、見る角度によって見掛けの液晶分子の基板に対する
角度が異なり、明るさが異なって見える。また、カラー
表示の場合には異なった色として見える。
When a halftone between a black level and a white level is displayed, the liquid crystal molecules are obliquely aligned with respect to the substrate by the balance between the electric field and the force from the alignment film. For this reason, the apparent angle of the liquid crystal molecules with respect to the substrate differs depending on the viewing angle, and the brightness looks different. Also, in the case of color display, they appear as different colors.

【0004】このため、最近の液晶表示装置では、広視
野角で高コントラストを得る等の視覚特性を改善するた
めに、1つの画素を複数に分割し、各分割された領域に
おいて電場による液晶の傾く面の方向を各々変化させる
マルチドメインと呼ばれる方法によって液晶表示装置を
形成することが提案されている。
For this reason, in recent liquid crystal display devices, in order to improve visual characteristics such as obtaining a high contrast at a wide viewing angle, one pixel is divided into a plurality of pixels, and the liquid crystal is controlled by an electric field in each divided region. It has been proposed to form a liquid crystal display device by a method called multi-domain in which the directions of inclined planes are respectively changed.

【0005】この方法には、所定形状のマスクを移動さ
せながらラビングするマスクラビングによる方法(K.Ta
katori et. al. , "A Complementary TN LCD with Wide
-Viewing Angle Grayscale", Japan Display '92,pp59
1)、複数の配向膜材料の塗布による方法(T.Kamada e
t. al. , "Wide Viewing Angle Full-Color TFT LCDs",
Japan Display '92,pp886)、紫外線等の照射により配
向膜の特性を変化させる方法(特開平5−210099
号公報)等がある。マスクラビングによる方法と複数の
配向膜材料を塗布する方法は、工程及びプロセスが複雑
である。
[0005] This method includes a mask rubbing method in which a rubbing is performed while moving a mask of a predetermined shape (K. Ta).
katori et. al., "A Complementary TN LCD with Wide
-Viewing Angle Grayscale ", Japan Display '92, pp59
1), method by applying multiple alignment film materials (T. Kamada e
t. al., "Wide Viewing Angle Full-Color TFT LCDs",
Japan Display '92, pp886), a method of changing the characteristics of an alignment film by irradiation with ultraviolet rays or the like (Japanese Patent Laid-Open No. 5-210099)
Publication). The steps and processes of the method using mask rubbing and the method of applying a plurality of alignment film materials are complicated.

【0006】また、これらの方法は、配向膜を形成した
ときの液晶の傾き角度(所謂プレティルト角)を変化さ
せ対称な2つのプレティルト角を形成するのみで、配向
方向が単一であるため、視野角の改善は、所定の方向に
限定されることになる。
Further, these methods only change the tilt angle (so-called pretilt angle) of the liquid crystal when the alignment film is formed to form two symmetrical pretilt angles, and have a single alignment direction. The improvement of the viewing angle is limited to a predetermined direction.

【0007】これに対して、アモルファスツイストネマ
ティックという配向方向が全くランダムになってツイス
トだけするように配向し視野角の改善をしようとする配
向方法がある(Y.Kato,T.Sugiyama,K.Katoh,Y.Iimura,a
nd S.Kobayashi,"TN-LCDs Fabricated by Non-Rubbing
Showing Wide and Homogeneous Viewing Angular Chara
cteristics and Excellent Voltage Holding Ratio,SID
93 Digest,622(1993),Y.Toko, T.Sugiyama,K.Katoh,
Y.Iimura,and S.Kobayashi,"Amorphous twistednematic
-loquid-crystal displays and fabricated by nonrubb
ing showing wide and uniform viewing-angle charact
erristics accompanying excellent voltage hoilding
ratios,J.Appl.phys.74,2071(1993)等)。
[0007] On the other hand, there is an alignment method called amorphous twist nematic in which the alignment direction is completely random and is oriented so that only twist is performed to improve the viewing angle (Y. Kato, T. Sugiyama, K. et al. Katoh, Y.Iimura, a
nd S. Kobayashi, "TN-LCDs Fabricated by Non-Rubbing
Showing Wide and Homogeneous Viewing Angular Chara
cteristics and Excellent Voltage Holding Ratio, SID
93 Digest, 622 (1993), Y. Toko, T. Sugiyama, K. Katoh,
Y.Iimura, and S.Kobayashi, "Amorphous twistednematic
-loquid-crystal displays and fabricated by nonrubb
ing showing wide and uniform viewing-angle charact
erristics Recommended excellent voltage hoilding
ratios, J. Appl. phys. 74, 2071 (1993)).

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような配向方向が全くランダムになってツイストだけす
るように配向する配向方法で形成された液晶表示装置
は、形成された配向方向が偏光板と特定の関係を有して
いないので、黒レベルが明るくなり(または、白レベル
が暗くなり)、コントラストが低下する。
However, in the liquid crystal display device formed by the above-described alignment method in which the alignment direction is completely random and twisted only, the formed alignment direction is the same as that of the polarizing plate. Since there is no specific relationship, the black level becomes lighter (or the white level becomes darker), and the contrast decreases.

【0009】本発明は、上記事実を考慮して、コントラ
ストが低下することなく視野角が改善された液晶表示装
置の製造方法を及び液晶表示装置を得ることを目的とす
る。
In view of the above, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device having an improved viewing angle without lowering the contrast, and to obtain a liquid crystal display device.

【0010】また、上記目的に加え、配向膜の形成方法
が改善された液晶表示装置を得ることを目的とする。
Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device having an improved method for forming an alignment film.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置の
製造方法は、ポリイミドからなる高分子材料を第1の基
板に塗布して高分子膜を形成する工程と、前記高分子膜
が形成された第1の基板の少なくとも一部の予め定めた
所定範囲内に含まれる複数の画素について、各画素に対
応する領域の一部としての第1の部分領域に直線偏光さ
れた第1の偏光方向の電磁波を照射し、前記各画素に対
応する領域の一部としての第2の部分領域に前記第1の
偏光方向と交差する第2の偏光方向の電磁波を照射する
工程と、ポリイミドを第2の基板に塗布して高分子膜を
形成する工程と、前記高分子膜が形成された第2の基板
の少なくとも一部の予め定めた所定範囲内に含まれる複
数の画素について、各画素に対応する領域の一部として
の第1の部分領域へ直線偏光された第1の偏光方向の電
磁波を照射し、前記各画素に対応する領域の一部として
の第2の部分領域に前記第1の偏光方向と交差する第2
の偏光方向の電磁波を照射する工程と、前記高分子膜面
同士を対向させると共に、前記第1の基板と前記第2の
基板とを前記第1の基板の第1の部分領域と前記第2の
基板の第2の部分領域とが少なくとも一部重複するよう
に所定の間隔を隔てて張り合わせる工程と、前記第1の
基板と前記第2の基板との間に液晶を注入する工程とを
備えている。
A method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises the steps of applying a polymer material made of polyimide to a first substrate to form a polymer film, and forming the polymer film. First polarized light linearly polarized in a first partial region as a part of a region corresponding to each pixel, for a plurality of pixels included in a predetermined predetermined range of at least a part of the first substrate. Irradiating an electromagnetic wave in a second polarization direction crossing the first polarization direction to a second partial region as a part of a region corresponding to each pixel; Forming a polymer film by applying the polymer film to a second substrate, and for each of a plurality of pixels included in a predetermined range of at least a part of the second substrate on which the polymer film is formed, First partial area as part of the corresponding area Irradiating an electromagnetic wave of a first polarization direction is linearly polarized, the second intersecting the first polarization direction to a second partial region as part of a region corresponding to each pixel
Irradiating an electromagnetic wave having a polarization direction of: and the polymer film surfaces are opposed to each other, and the first substrate and the second substrate are brought into contact with the first partial region of the first substrate and the second substrate. Laminating at a predetermined interval so that at least a part of the second partial region of the substrate overlaps with the first substrate, and injecting liquid crystal between the first substrate and the second substrate. Have.

【0012】本発明の液晶表示装置は、ポリイミドから
なる高分子材料が塗布されて形成された高分子膜の各々
の画素に対応する領域の一部としての第1の部分領域に
直線偏光された第1の偏光方向の電磁波が照射され、前
記各々の画素に対応する領域の一部としての第2の部分
領域に前記第1の偏光方向と交差する第2の偏光方向の
電磁波が照射された第1の基板と、ポリイミドが塗布さ
れて形成された高分子膜の各々の画素に対応する領域の
一部としての第1の部分領域に直線偏光された第1の偏
光方向の電磁波が照射され、前記各々の画素に対応する
領域の一部としての第2の部分領域に前記第1の偏光方
向と交差する第2の偏光方向の電磁波が照射された第2
の基板とを有し、前記高分子膜同士が対向し、前記第1
の基板の第1の部分領域と前記第2の基板の第2の部分
領域とから1画素を形成するように前記第1の基板と前
記第2の基板が所定の間隔を隔てて張り合わされてお
り、さらに、前記第1の基板と前記第2の基板との間に
注入された液晶を備えている。
In the liquid crystal display device according to the present invention, a polymer film formed by applying a polymer material made of polyimide is linearly polarized in a first partial region as a part of a region corresponding to each pixel. An electromagnetic wave in a first polarization direction is irradiated, and a second partial region as a part of a region corresponding to each of the pixels is irradiated with an electromagnetic wave in a second polarization direction crossing the first polarization direction. A first substrate and a first partial region as a part of a region corresponding to each pixel of a polymer film formed by applying polyimide are irradiated with linearly polarized electromagnetic waves having a first polarization direction. A second partial region as a part of a region corresponding to each of the pixels is irradiated with an electromagnetic wave having a second polarization direction intersecting with the first polarization direction.
And the polymer films face each other, and the first
The first substrate and the second substrate are attached to each other at a predetermined interval so as to form one pixel from the first partial region of the substrate and the second partial region of the second substrate. And a liquid crystal injected between the first substrate and the second substrate.

【0013】[0013]

【作用】本発明によれば、ポリイミドからなる高分子材
料を第1の基板に塗布して高分子膜を形成する。高分子
膜が形成された第1の基板の少なくとも一部の予め定め
た所定範囲内に含まれる複数の画素について、各画素に
対応する領域の一部としての第1の部分領域に直線偏光
された第1の偏光方向の電磁波を照射し、前記各画素に
対応する領域の一部としての第2の部分領域に前記第1
の偏光方向と交差する第2の偏光方向の電磁波を照射す
る。直線偏光の電磁波は高分子配向膜に偏光方向の配向
を形成する。ポリイミドからなる高分子材料を第2の基
板に塗布して高分子膜を形成する。高分子膜が形成され
た第2の基板の少なくとも一部の予め定めた所定範囲内
に含まれる複数の画素について、各画素に対応する領域
の一部としての第1の部分領域へ直線偏光された第1の
偏光方向の電磁波を照射し、前記各画素に対応する領域
の一部としての第2の部分領域に前記第1の偏光方向と
交差する第2の偏光方向の電磁波を照射する。高分子膜
面同士を対向させると共に、前記第1の基板と前記第2
の基板とを第1の基板の第1の部分領域と第2の基板の
第2の部分領域とが少なくとも一部重複するように、所
定の間隔を隔てて張り合わせる。前記第1の基板と前記
第2の基板との間に液晶を注入する。よってコントラス
トが低下することなく視野角の良好な液晶表示装置の製
造方法が得られる。
According to the present invention, a polymer material made of polyimide is applied to a first substrate to form a polymer film. A plurality of pixels included in a predetermined range of at least a part of the first substrate on which the polymer film is formed are linearly polarized in a first partial region as a part of a region corresponding to each pixel. Irradiating an electromagnetic wave having the first polarization direction to the second partial region as a part of the region corresponding to each of the pixels.
Irradiation of an electromagnetic wave in a second polarization direction that intersects with the polarization direction is performed. The linearly polarized electromagnetic wave forms an alignment in the polarization direction on the polymer alignment film. A polymer material made of polyimide is applied to the second substrate to form a polymer film. A plurality of pixels included in a predetermined range of at least a part of the second substrate on which the polymer film is formed are linearly polarized into a first partial region as a part of a region corresponding to each pixel. And irradiating a second partial region as a part of a region corresponding to each pixel with an electromagnetic wave having a second polarization direction intersecting with the first polarization direction. The first substrate and the second
Are bonded to each other at a predetermined interval so that the first partial region of the first substrate and the second partial region of the second substrate at least partially overlap with each other. Liquid crystal is injected between the first substrate and the second substrate. Therefore, a method for manufacturing a liquid crystal display device having a good viewing angle without lowering the contrast can be obtained.

【0014】さらに本発明によれば、ポリイドからなる
高分子材料が塗布されて形成された高分子膜の各々の画
素に対応する領域の一部の一部としての第1の部分領域
に直線偏光された第1の偏光方向の電磁波が照射され、
前記各々の画素に対応する領域の一部としての第2の部
分領域に前記第1の偏光方向と交差する第2の偏光方向
の電磁波が照射された第1の基板を備える。さらに、ポ
リイミドからなる高分子材料が塗布されて形成された高
分子膜の各々の画素に対応する領域の一部としての第1
の部分領域に直線偏光された第1の偏光方向の電磁波が
照射され、前記各々の画素に対応する領域の一部として
の第2の部分領域に前記第1の偏光方向と交差する第2
の偏光方向の電磁波が照射された第2の基板を備える。
前記第1の基板と前記第2の基板は、高分子膜同士が対
向し前記第1の基板の第1の部分領域と前記第2の基板
の第2の部分領域とから1画素を形成するように張り合
わせられている。さらに第1の基板と第2の基板との間
に注入された液晶を備える。よって、コントラストが低
下することなく視野角の良好な液晶表示装置が得られ
る。
Further, according to the present invention, the first partial region as a part of the region corresponding to each pixel of the polymer film formed by applying the polymer material composed of polyid is linearly polarized. The first electromagnetic wave of the first polarization direction is irradiated,
A first substrate is provided in which a second partial region as a part of a region corresponding to each of the pixels is irradiated with an electromagnetic wave having a second polarization direction crossing the first polarization direction. Further, the first film as a part of a region corresponding to each pixel of the polymer film formed by applying a polymer material made of polyimide is formed.
Are irradiated with linearly polarized electromagnetic waves having a first polarization direction, and a second partial region as a part of a region corresponding to each of the pixels intersects with the first polarization direction.
And a second substrate irradiated with an electromagnetic wave having a polarization direction of.
The first substrate and the second substrate have polymer films opposed to each other and form one pixel from a first partial region of the first substrate and a second partial region of the second substrate. Are stuck together. The liquid crystal display further includes a liquid crystal injected between the first substrate and the second substrate. Therefore, a liquid crystal display device having a good viewing angle without lowering the contrast can be obtained.

【0015】[0015]

【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳
細に説明する。本実施例は、マルチドメイン方法による
液晶表示装置を製造する液晶表示装置の製造装置に本発
明を適用したものである。また、本実施例では、所謂ア
クティブマトリクスタイプの液晶表示装置(例えば、対
角10インチの横長の矩形形状。640×480画
素。)を用いて説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In this embodiment, the present invention is applied to a liquid crystal display device manufacturing apparatus for manufacturing a liquid crystal display device by a multi-domain method. In this embodiment, a so-called active matrix type liquid crystal display device (for example, a horizontally long rectangular shape having a diagonal length of 10 inches; 640 × 480 pixels) will be described.

【0016】図1に示すように、液晶表示装置の製造装
置30は、紫外線を射出する紫外線照射装置60を備え
ており、紫外線照射装置60の射出側には、偏光方向回
転装置32が配設されている。
As shown in FIG. 1, the apparatus 30 for manufacturing a liquid crystal display device includes an ultraviolet irradiation device 60 for emitting ultraviolet light, and a polarization direction rotating device 32 is provided on the emission side of the ultraviolet irradiation device 60. Have been.

【0017】本実施例では、図2(A)に示すように、
紫外線照射装置60として、紫外波長域を発振波長域と
する円偏光のレーザービームを射出する紫外線レーザー
装置62を用いている。また、偏光方向回転装置32
は、光路S中に偏光素子として1/2波長板63を備え
ており、この1/2波長板63を回転するための装置で
ある。この1/2波長板63は、制御装置50からの入
力信号に応じて回転駆動される偏光方向回転装置32の
駆動によって回転される。従って、偏光方向回転装置3
2から射出される紫外線は、所定方向の直線偏光された
レーザービームであると共に、偏光方向を変更できるよ
うになっている。なお、紫外線照射装置60として、直
線偏光のレーザービームを射出する紫外線レーザー装置
を用いた場合には、偏光方向回転装置32は、1/2波
長板63を設けることなく、紫外線レーザー装置本体を
回転すればよい。
In this embodiment, as shown in FIG.
As the ultraviolet irradiation device 60, an ultraviolet laser device 62 that emits a circularly polarized laser beam having an ultraviolet wavelength region as an oscillation wavelength region is used. The polarization direction rotating device 32
Is a device for rotating a half-wave plate 63 having a half-wave plate 63 as a polarization element in the optical path S. The half-wave plate 63 is rotated by driving the polarization direction rotating device 32 that is driven to rotate in response to an input signal from the control device 50. Therefore, the polarization direction rotating device 3
The ultraviolet light emitted from 2 is a laser beam that is linearly polarized in a predetermined direction and can change the polarization direction. When an ultraviolet laser device that emits a linearly polarized laser beam is used as the ultraviolet irradiation device 60, the polarization direction rotating device 32 rotates the ultraviolet laser device main body without providing the half-wavelength plate 63. do it.

【0018】また、図2(B)に示すように、紫外線照
射装置60としては、紫外波長域を含む電磁波が照射さ
れる水銀ランプ等の紫外線光源62Aを用いることがで
きる。この紫外線光源63Aを用いた場合には、偏光方
向回転装置32は、光路S中に偏光素子としてウオラス
トンプリズム等の直線偏光素子62Aを備え、直線偏光
素子63Aを回転可能にする。この直線偏光素子63A
によって偏光方向回転装置32から射出される紫外線
は、所定方向の直線偏光されると共に、直線偏光素子6
3Aの回転によって射出される紫外線の偏光方向を変更
できる。なお、紫外線照射装置60として水銀ランプ等
の紫外線光源62Aを用いた場合には、紫外線光源62
Aは通常発散光源であるため、コリメータレンズ62B
を含んで構成し、コリメートされた紫外線を射出するよ
うにすることが好ましい。
As shown in FIG. 2B, as the ultraviolet irradiation device 60, an ultraviolet light source 62A such as a mercury lamp irradiated with an electromagnetic wave including an ultraviolet wavelength range can be used. When the ultraviolet light source 63A is used, the polarization direction rotating device 32 includes a linear polarization element 62A such as a Wollaston prism as a polarization element in the optical path S, and makes the linear polarization element 63A rotatable. This linear polarizing element 63A
The ultraviolet light emitted from the polarization direction rotating device 32 is linearly polarized in a predetermined direction by the linear polarization element 6.
The direction of polarization of ultraviolet light emitted by rotation of 3A can be changed. When an ultraviolet light source 62A such as a mercury lamp is used as the ultraviolet irradiation device 60, the ultraviolet light source 62A
Since A is a divergent light source, the collimator lens 62B
And it is preferable to emit collimated ultraviolet rays.

【0019】図1に示すように、上記の偏光方向回転装
置32の射出側には、入射された紫外線を集光する集光
レンズ34、及び入射された紫外線を通過又は透過する
か遮断するかに切り替えるシャッタ36が順に配設され
ている。
As shown in FIG. 1, on the exit side of the polarization direction rotating device 32, a condenser lens 34 for condensing the incident ultraviolet light, and whether to pass, transmit or block the incident ultraviolet light. Are switched in sequence.

【0020】なお、シャッタ36は、メカニカルシャッ
タを用いることができる。また、紫外線の透過率が変更
可能な光学素子(フォトクロミック素子やエレクトロク
ロミック素子等)を用いて、紫外線の透過量を変更する
ようにしてもよい。また、シャッタ36は、ミラーによ
る反射によって紫外線を通過または遮断に切り替えても
よい。また、これらを組み合わせて入射された紫外線を
通過又は透過するか遮断するかに切り替えるようにして
もよい。
The shutter 36 can be a mechanical shutter. Further, an optical element (a photochromic element, an electrochromic element, or the like) capable of changing the transmittance of ultraviolet light may be used to change the amount of transmitted ultraviolet light. Further, the shutter 36 may switch between passing and blocking ultraviolet rays by reflection from a mirror. Further, a combination of these may be switched to pass, transmit, or block incident ultraviolet light.

【0021】集光レンズ34により集光された紫外線の
集光位置付近には、後述するように紫外線の照射によっ
て配向するための基板(カラーフィルタ基板12または
TFT基板14)が位置しており、この基板は移動ステ
ージ38に着脱可能に固定されている。また、移動ステ
ージ38は、所定方向(図1の矢印A方向)に移動する
1軸移動ステージ38A、及び1軸移動ステージ38A
と直交する方向(図1の矢印B方向)に移動する1軸移
動ステージ38Bが組み合わされた直交2軸ステージで
構成されている。なお、この直交2軸ステージは、直交
して交わることに限定されず、2軸が交差したステージ
でもよい。
A substrate (color filter substrate 12 or TFT substrate 14) for orienting by irradiation of ultraviolet rays is located near the position where the ultraviolet rays condensed by the condenser lens 34 are collected, as described later. This substrate is detachably fixed to the moving stage 38. The moving stage 38 includes a one-axis moving stage 38A that moves in a predetermined direction (the direction of the arrow A in FIG. 1) and a one-axis moving stage 38A.
And a two-axis orthogonal stage in which a one-axis moving stage 38B that moves in a direction orthogonal to the direction (arrow B direction in FIG. 1) is combined. Note that the orthogonal two-axis stage is not limited to intersecting at right angles, and may be a stage where two axes intersect.

【0022】上記の偏光方向回転装置32、シャッタ3
6、及び移動ステージ38の各1軸ステージ38A、3
8Bには、制御装置50が接続されている。詳細には、
制御装置50は、各々マイクロコンピュータを含んで構
成されている、配向方向制御装置52、回転駆動制御装
置54、ステージ駆動制御装置56、及びシャッタ駆動
制御装置58から構成されている。この配向方向制御装
置52は、回転駆動制御装置54、ステージ駆動制御装
置56、及びシャッタ駆動制御装置58に接続されてお
り、各々の制御装置とデータ及びコマンドを授受可能に
なっている。回転駆動制御装置54は、偏光方向回転装
置32に接続されている。ステージ駆動制御装置56
は、移動ステージ38に接続されている。シャッタ駆動
制御装置58は、シャッタ36に接続されている。
The above-described polarization direction rotating device 32 and shutter 3
6, and each one-axis stage 38A of the moving stage 38, 3
The control device 50 is connected to 8B. For details,
The control device 50 includes an orientation control device 52, a rotation drive control device 54, a stage drive control device 56, and a shutter drive control device 58, each of which includes a microcomputer. The orientation control device 52 is connected to the rotation drive control device 54, the stage drive control device 56, and the shutter drive control device 58, and can exchange data and commands with each control device. The rotation drive control device 54 is connected to the polarization direction rotation device 32. Stage drive controller 56
Are connected to the moving stage 38. The shutter drive control device 58 is connected to the shutter 36.

【0023】ここで、本実施例にかかる、液晶表示装置
10の概略構造を説明する。図3に断面で示すように、
本実施例の液晶表示装置10は、カラーフィルタ基板1
2とTFT基板14との間にネマティック型の液晶16
が注入されている。カラーフィルタ基板12には、ガラ
ス基板13の内面に図示しないカラーフィルタが形成さ
れ、カラーフィルタの上にはITO膜等の複数の共通電
極18が形成され、共通電極18の上にはポリイミドの
配向膜20が形成されている。
Here, a schematic structure of the liquid crystal display device 10 according to the present embodiment will be described. As shown in cross section in FIG.
The liquid crystal display device 10 according to the present embodiment includes a color filter substrate 1.
Nematic liquid crystal 16 between TFT 2 and TFT substrate 14
Has been injected. On the color filter substrate 12, a color filter (not shown) is formed on an inner surface of a glass substrate 13, a plurality of common electrodes 18 such as an ITO film are formed on the color filters, and a polyimide orientation is formed on the common electrode 18. A film 20 is formed.

【0024】一方、TFT基板14には、ガラス基板1
5の内面に複数の画素電極22及び図示しない周知のT
FT素子が形成され、画素電極22の上にはポリイミド
の配向膜24が形成されている。
On the other hand, the TFT substrate 14 has a glass substrate 1
5 has a plurality of pixel electrodes 22 and a well-known T (not shown).
An FT element is formed, and a polyimide alignment film 24 is formed on the pixel electrode 22.

【0025】図3に示すように、この液晶表示装置10
では、TFT基板14側から光を透過させ、観察者Hは
カラーフィルタ基板12側から表示を見るようになって
いる。なお、以下の図中、矢印L方向は観察者Hが正位
置で液晶表示装置10を見た際の左方向、矢印R方向は
同じく観察者Hが正位置で液晶表示装置10を見た際の
右方向を示し、矢印D方向は観察者Hが正位置で液晶表
示装置10を見た際の下方向、矢印U方向は同じく観察
者Hが正位置で液晶表示装置10を見た際の上方向を示
すものとする。
As shown in FIG. 3, the liquid crystal display device 10
Then, light is transmitted from the TFT substrate 14 side, and the observer H views the display from the color filter substrate 12 side. In the following figures, the direction of arrow L is the left direction when the observer H looks at the liquid crystal display device 10 at the normal position, and the direction of the arrow R is the direction when the observer H looks at the liquid crystal display device 10 at the normal position. The arrow D direction is the downward direction when the observer H looks at the liquid crystal display device 10 at the normal position, and the arrow U direction is the same when the observer H looks at the liquid crystal display device 10 at the normal position. An upward direction shall be indicated.

【0026】ここで、高分子膜への直線偏光紫外線照射
による液晶の配向は、次のような機構によると考えられ
る。
Here, it is considered that the alignment of the liquid crystal by the irradiation of the linearly polarized ultraviolet light to the polymer film is based on the following mechanism.

【0027】a 1紫外線照射によって架橋が生じる場
合には、偏光方向と平行な方向に高分子の架橋が生じ、
この方向の分子長が長くなる。分子長が長くなると、液
晶の配向力強くなるため、偏光方向と平行に液晶が配向
する。
A1 When crosslinking is caused by irradiation with ultraviolet rays, crosslinking of the polymer occurs in a direction parallel to the polarization direction,
The molecular length in this direction increases. When the molecular length is longer, the alignment force of the liquid crystal becomes stronger, so that the liquid crystal is aligned in parallel with the polarization direction.

【0028】b 2紫外線照射によって分子鎖の切断ま
たはベンゼン環の破壊が生じる場合には、偏光方向と平
行な方向の分子鎖の方が紫外線の吸収が大きいため、こ
の方向の分子鎖が切断またはベンゼン環が破壊される。
分子鎖が短いまたはベンゼン環の数が少ないと、液晶の
配向力が弱くなるため、偏光方向と垂直に液晶が配向す
る。
B2 In the case where the molecular chain is broken or the benzene ring is broken by the irradiation of the ultraviolet ray, the molecular chain in the direction parallel to the polarization direction absorbs the ultraviolet ray more. The benzene ring is broken.
When the molecular chain is short or the number of benzene rings is small, the alignment force of the liquid crystal is weakened, and the liquid crystal is aligned perpendicular to the polarization direction.

【0029】以上のような機構によって配向が誘起され
るため、基板に対する液晶の傾きプレティルト角は、誘
起されずに0°となる。このため、電場をかけたときに
液晶分子が傾く方向は不定となり、確率的に右回転(図
11(A)参照)または左回転になる(11(B)参
照)。
Since the orientation is induced by the above mechanism, the tilt pretilt angle of the liquid crystal with respect to the substrate is 0 ° without being induced. For this reason, the direction in which the liquid crystal molecules tilt when an electric field is applied is undefined, and the liquid crystal molecules rotate clockwise (see FIG. 11A) or counterclockwise (see 11B).

【0030】ところが、現実の液晶セルでは、上下基板
は完全に平行ではなく、また、場所によっても異なった
微小角度を有している。また、画素間の横電界も多種類
の方向を向いており、液晶分子の回転方向は、略1/2
づつの確率で右回転または左回転となると考えられる。
同一偏光方向の紫外線を照射した領域であっても場所に
よって、右回転または左回転となる。このため、液晶分
子の見掛け上の回転角は、平均化され、視角特性が改善
される。先に示したアモルファスツイストネマティック
でも同様で、回転方向は制御しておらず、ランダムにな
っているため、視角特性が改善される(図11(C)参
照)。
However, in an actual liquid crystal cell, the upper and lower substrates are not completely parallel, and have a small angle that varies depending on the location. In addition, the horizontal electric field between the pixels is also oriented in various directions, and the rotation direction of the liquid crystal molecules is approximately 1/2.
It is considered that the clockwise or counterclockwise rotation is performed with each probability.
Even in a region irradiated with ultraviolet rays having the same polarization direction, the region is rotated clockwise or counterclockwise depending on the location. For this reason, the apparent rotation angles of the liquid crystal molecules are averaged, and the viewing angle characteristics are improved. The same applies to the above-described amorphous twisted nematic, and the viewing direction characteristic is improved because the rotation direction is not controlled and is random (see FIG. 11C).

【0031】本発明では、直線偏光された紫外線を用い
て配向方向の制御を付与することによって、アモルファ
スツイストネマティック法の視角特性改善に加えてコン
トラストを改善することができる。
In the present invention, the contrast can be improved in addition to the improvement of the viewing angle characteristics of the amorphous twisted nematic method by giving the control of the alignment direction using the linearly polarized ultraviolet light.

【0032】この方法では、直線偏光の偏光方向に平行
(架橋型)または垂直(分解型)な方向に液晶が配向
し、この方向での右回転、左回転が平均化されるため、
液晶の配向方向での視角特性が改善される。このため、
同一画素内で照射の紫外線の直線偏光の方向を変化さ
せ、多種類に渡る配向方向のマルチドメインを実現すれ
ば、全ての視角で同等の画質を得ることができる。
In this method, the liquid crystal is oriented in a direction parallel (cross-linking type) or perpendicular (resolving type) to the polarization direction of the linearly polarized light, and the right and left rotations in this direction are averaged.
The viewing angle characteristics in the alignment direction of the liquid crystal are improved. For this reason,
If the direction of the linearly polarized ultraviolet light for irradiation is changed in the same pixel to realize multi-domains of various orientation directions, the same image quality can be obtained at all viewing angles.

【0033】しかし、偏光板に対しても多種類に渡る方
向を有することとなるので、コントラストが減少する。
このため、視角特性の改善とコントラストの維持は、相
対するようになり、要求に応じて画素内のドメインの数
を変更する必要がある。コントラストを重視する場合に
は、1画素を2つに分割し、左右上下の視角特性のみを
改善し、より広視野角を要求される場合には、2つ以上
に分割し、左右上下斜めの視角特性を改善すればよい。
However, since the polarizing plate has various directions, the contrast is reduced.
For this reason, the improvement of the viewing angle characteristics and the maintenance of the contrast become opposite, and it is necessary to change the number of domains in a pixel as required. When importance is placed on contrast, one pixel is divided into two to improve only the viewing angle characteristics in the left, right, up and down directions. What is necessary is just to improve the viewing angle characteristics.

【0034】図5には、1画素を2分割したときに照射
する紫外線の偏光方向を示した。すなわち、1画素内の
上部配向膜20Aに所定方向の偏光方向で紫外線を照射
すると共に、所定の偏光方向と直交する偏光方向の紫外
線を下部配向膜20Bに照射する。このような偏光を照
射したとき、架橋型高分子では、図4の上部配向膜20
A及び下部配向膜20B内に実線で示すような液晶の配
向が生じ、電場をかけると、プレティルト角は0°であ
るので、1画素内の上部配向膜20A、下部配向膜20
B、の各々の領域内で液晶分子が左回転または右回転で
傾き、上下、左右方向の視角特性を改善できる。
FIG. 5 shows the polarization direction of the ultraviolet light applied when one pixel is divided into two parts. That is, the upper alignment film 20A in one pixel is irradiated with ultraviolet rays in a predetermined polarization direction, and the lower alignment film 20B is irradiated with ultraviolet light in a polarization direction orthogonal to the predetermined polarization direction. When irradiated with such polarized light, the cross-linked polymer has an upper alignment film 20 shown in FIG.
A and a liquid crystal alignment as shown by the solid line in the lower alignment film 20B occurs, and when an electric field is applied, the pretilt angle is 0 °, so that the upper alignment film 20A and the lower alignment film 20
In each of the regions B, the liquid crystal molecules are tilted by turning left or right, and the viewing angle characteristics in the vertical and horizontal directions can be improved.

【0035】次に、本実施例の液晶表示装置の製造装置
30の作動を説明する。すなわち、液晶表示装置10を
構成する各基板(12、14)に紫外線を照射すること
によって、1つの画素内で配向方向が変化されたマルチ
ドメイン液晶セルを形成する過程を説明する。
Next, the operation of the liquid crystal display device manufacturing apparatus 30 of this embodiment will be described. That is, a process of forming a multi-domain liquid crystal cell in which the alignment direction is changed in one pixel by irradiating each substrate (12, 14) constituting the liquid crystal display device 10 with ultraviolet rays will be described.

【0036】先ず、表面に配向膜が形成された基板(カ
ラーフィルタ基板12またはTFT基板14)を用意す
る。本実施例では、この配向膜を形成するための高分子
材料として、可溶性ポリイミド(日本合成ゴム、オプト
マーAL1256)を用いている。なお、以下の説明を
簡単にするため、用いる基板としてTFT基板14を例
にして説明する。
First, a substrate (color filter substrate 12 or TFT substrate 14) having an alignment film formed on its surface is prepared. In this embodiment, a soluble polyimide (Nippon Synthetic Rubber, Optmer AL1256) is used as a polymer material for forming the alignment film. In order to simplify the following description, the TFT substrate 14 will be described as an example of a substrate to be used.

【0037】なお、配向膜を形成するための高分子材料
として、本実施例では、可溶性ポリイミドを用いたが、
本発明はポリイミドに限定されるものではなく、ポリビ
ニルアルコール等を用いてもよい。
In this embodiment, soluble polyimide is used as a polymer material for forming the alignment film.
The present invention is not limited to polyimide, and polyvinyl alcohol or the like may be used.

【0038】また、本発明では、紫外線照射によって高
分子材料の塗布により形成された高分子膜の分子鎖の形
成状態を変更することによって、液晶の配向を変化させ
るので、用いる高分子材料は、紫外線照射により架橋さ
れるもの、紫外線照射により切断されるものの何れでも
よい。
Further, in the present invention, the orientation of the liquid crystal is changed by changing the state of the molecular chains of the polymer film formed by applying the polymer material by irradiating ultraviolet rays. Any of those that are crosslinked by ultraviolet irradiation and those that are cut by ultraviolet irradiation may be used.

【0039】この配向膜が形成されたTFT基板14を
移動ステージ38にセットして、図示しない製造装置3
0のスタートスイッチを押圧すると、配向方向制御装置
52において図6のマルチドメイン液晶セル形成処理ル
ーチンが実行され、ステップ100へ進む。
The TFT substrate 14 on which the alignment film is formed is set on a moving stage 38, and the manufacturing apparatus 3 (not shown)
When the 0 start switch is pressed, the multi-domain liquid crystal cell forming process routine of FIG.

【0040】ステップ100では、ドメイン分割数、及
び分割方法が設定される。ドメインとは、同一の配向方
向を提供する領域をいい、この場合、TFT基板14上
を目視したときに略同一方向から認知可能なTFT基板
14上の領域をいう。このドメイン分割数は、TFT基
板14上を分割したときの分割数を表している。従っ
て、本実施例では、TFT基板14により1画面を形成
することを想定し、画素に対応する領域の液晶セル毎に
少なくとも2方向に配向を変化させるため、全画素の2
倍の値(640×480×2)をドメイン分割数として
いる。また、分割方法とは、TFT基板14上を分割す
るときの分割した領域の形状による方法であり、本実施
例では、1画素を上下に分断する分割方法を設定する。
In step 100, the number of domain divisions and the division method are set. The domain refers to a region that provides the same orientation direction, and in this case, a region on the TFT substrate 14 that can be recognized from substantially the same direction when the TFT substrate 14 is viewed. This domain division number represents the division number when the TFT substrate 14 is divided. Therefore, in this embodiment, it is assumed that one screen is formed by the TFT substrate 14, and the orientation is changed in at least two directions for each liquid crystal cell in a region corresponding to the pixel.
The double value (640 × 480 × 2) is set as the number of domain divisions. The dividing method is a method based on the shape of the divided region when dividing the TFT substrate 14, and in the present embodiment, a dividing method for dividing one pixel up and down is set.

【0041】このステップ100の設定は、予め定めた
値を読み取るようにしてもよく、オペレータによって指
定するようにしてもよい。このドメイン分割数、及び分
割方法の設定が変更可能であることによって、TFT基
板14上、すなわち、画素におけるドメインの大きさ及
び分割方法を自由に設定することができる。
For the setting in step 100, a predetermined value may be read or specified by an operator. Since the setting of the number of domain divisions and the division method can be changed, it is possible to freely set the size of the domain and the division method on the TFT substrate 14, that is, in the pixel.

【0042】本実施例では、集光される紫外線のスポッ
ト径はTFT基板14上の1画素の上部領域(または下
部領域)に対応する大きさとなるように予め設定されて
いる。従って、1画素の上部領域(または下部領域)よ
り大きな領域へ照射する場合には、その領域に応じて連
続的に照射すればよい。なお、このステップ100の設
定値に応じて、倍率の異なる集光レンズに切り替える倍
率切替装置やズームレンズ等の倍率変更装置を、集光レ
ンズに関係させて設け、ドメインの大きさを変更するよ
うにしてもよい。
In the present embodiment, the spot diameter of the focused ultraviolet light is set in advance so as to have a size corresponding to the upper area (or lower area) of one pixel on the TFT substrate 14. Therefore, when irradiating a region larger than the upper region (or lower region) of one pixel, the irradiation may be performed continuously according to the region. In addition, according to the set value in step 100, a magnification changing device such as a magnification switching device for switching to a condenser lens having a different magnification or a zoom lens is provided in relation to the condenser lens to change the size of the domain. It may be.

【0043】また、上記のステップ100では、TFT
基板14への紫外線照射量(時間)も設定する。すなわ
ち、TFT基板14へ塗布された高分子材料は、その高
分子材料の架橋または切断の量を予め定めた所定量にす
るためには、その組成によって紫外線の照射量が異なっ
ている。このため、本実施例のステップ100では、こ
れから以下のようにして照射する紫外線の照射量を、塗
布された高分子材料の種類に応じて設定している。
In the above step 100, the TFT
The amount (time) of ultraviolet irradiation to the substrate 14 is also set. That is, the irradiation amount of the ultraviolet light varies depending on the composition of the polymer material applied to the TFT substrate 14 in order to make the amount of crosslinking or cutting of the polymer material a predetermined amount. For this reason, in step 100 of the present embodiment, the irradiation amount of the ultraviolet rays to be irradiated is set according to the type of the applied polymer material as described below.

【0044】次に、ステップ102では、設定されたド
メイン分割数、及び分割方法に応じて、TFT基板14
上の1つの画素の位置及び配向方向(偏光方向)を演算
する。すなわち、TFT基板14により1画面を形成し
たときに、TFT基板14上の所定領域が同一の偏光方
向とならないように、例えば、隣接するドメインに対し
て偏光方向を45°や90°づつ回転させることや直交
する2方向の偏光方向を交互に設定することによって1
つの画素の位置及び配向方向を演算する。
Next, in step 102, according to the set number of domain divisions and the division method, the TFT substrate 14
The position and orientation direction (polarization direction) of the upper one pixel are calculated. That is, when one screen is formed by the TFT substrate 14, for example, the polarization direction is rotated by 45 ° or 90 ° with respect to an adjacent domain so that a predetermined region on the TFT substrate 14 does not have the same polarization direction. By alternately setting the polarization directions of two orthogonal directions.
The position and orientation direction of one pixel are calculated.

【0045】なお、この設定は、TFT基板14上の各
々の画素の位置と配向方向との関係を予め設定してお
き、この設定を読み取るようにしてもよく、TFT基板
14上に照射される偏光方向のパターンや順序をTFT
基板14全体として予め定めておき、このパターンや順
序に従って画素の位置及び配向方向を求めてもよい。
In this setting, the relationship between the position of each pixel on the TFT substrate 14 and the alignment direction may be set in advance, and the setting may be read. TFT pattern and order of polarization direction
The positions and orientations of the pixels may be determined in advance according to the pattern or the order in advance as the entire substrate 14.

【0046】次のステップ104では、TFT基板14
上の設定された全ての画素について、以下に説明する電
磁波としての紫外線照射がなされたか否かを判断し、全
ての画素に紫外線照射されたときに本ルーチンを終了す
る。
In the next step 104, the TFT substrate 14
It is determined whether or not ultraviolet rays as electromagnetic waves described below have been applied to all the pixels set above, and this routine ends when all the pixels have been irradiated with ultraviolet rays.

【0047】ステップ104で否定判断され、未照射の
画素がある場合には、ステップ106において、上記ス
テップ102において演算した画素の位置を表す位置デ
ータをステージ駆動制御装置56へ出力する。これによ
って、ステージ駆動制御装置56は、入力された位置デ
ータに対応するTFT基板14の位置へ集光スポットが
位置するように移動ステージ38を制御する。この移動
ステージ38の移動によって、紫外線の集光スポットが
ステップ102において演算された目標となる画素のド
メインへ移動される。
If a negative determination is made in step 104 and there is an unirradiated pixel, in step 106, position data representing the position of the pixel calculated in step 102 is output to the stage drive controller 56. Thus, the stage drive control device 56 controls the moving stage 38 so that the condensed spot is located at the position of the TFT substrate 14 corresponding to the input position data. By the movement of the moving stage 38, the focused spot of the ultraviolet light is moved to the target pixel domain calculated in step 102.

【0048】次のステップ110では、上記ステップ1
02において演算した配向方向を表す方向データを回転
駆動制御装置54へ出力する。これによって、回転駆動
制御装置54は、TFT基板14に照射される紫外線の
偏光方向が入力された方向データに対応する偏光方向と
なるように偏光方向回転装置32を制御する。この偏光
方向回転装置の回転によって、TFT基板14に照射さ
れる紫外線の集光スポットの偏光方向がステップ106
で位置決めされたドメインへステップ102において設
定された偏光方向の紫外線として照射可能となる。
In the next step 110, step 1
The direction data representing the orientation direction calculated in 02 is output to the rotation drive control device 54. Accordingly, the rotation drive control device 54 controls the polarization direction rotation device 32 so that the polarization direction of the ultraviolet light applied to the TFT substrate 14 becomes the polarization direction corresponding to the input direction data. Due to the rotation of the polarization direction rotating device, the polarization direction of the focused spot of the ultraviolet light applied to the TFT substrate 14 is changed to Step 106.
Can be radiated to the domain positioned at step 102 as ultraviolet rays of the polarization direction set in step 102.

【0049】次のステップ114では、上記ステップ1
02において設定されたTFT基板14への紫外線照射
量に対応する照射時間データをシャッタ駆動制御装置5
8へ出力する。これによって、シャッタ36が作動さ
れ、設定された照射量の紫外線がTFT基板14へ照射
される。
In the next step 114, the above step 1
02, the irradiation time data corresponding to the ultraviolet irradiation amount set on the TFT substrate 14 is stored in the shutter drive control device 5.
8 is output. As a result, the shutter 36 is operated, and the set irradiation amount of ultraviolet rays is irradiated on the TFT substrate 14.

【0050】従って、TFT基板14上の1つの画素に
ついて、紫外線の集光スポットが目標となる画素のドメ
インへ位置決めされ、紫外線の集光スポットの偏光方向
が設定された偏光方向の紫外線が、配向膜の種類に応じ
た照射量でTFT基板14へ照射される。
Therefore, with respect to one pixel on the TFT substrate 14, the focused spot of the ultraviolet light is positioned in the domain of the target pixel, and the ultraviolet ray of the polarization direction in which the polarization direction of the focused spot of the ultraviolet light is set is aligned. The TFT substrate 14 is irradiated with an irradiation amount according to the type of the film.

【0051】図7には、TFT基板14上の一部の領域
についての上記の処理の流れをイメージ的に示した。集
光レンズ34によって集光される光束48の集光スポッ
ト44は、移動ステージ38の一方の1軸ステージ38
Aの移動による主走査方向(図7の矢印R,L方向)に
移動すると共に、他方の1軸ステージ38Bの移動によ
る副走査方向(図7の矢印U,D方向)に移動する。こ
の移動に際しては、上述のように、位置決めされた目標
となる画素の各ドメインに対して、設定された偏光方向
で、配向膜の種類に応じた照射量での紫外線が照射され
る。図7の例では、1画素に含まれる主走査方向に隣接
するドメイン毎に偏光方向が45°づつ回転している。
FIG. 7 schematically shows the flow of the above-described processing for a partial area on the TFT substrate 14. The condensed spot 44 of the light beam 48 condensed by the condensing lens 34 is moved to one uniaxial stage 38 of the moving stage 38.
It moves in the main scanning direction (directions of arrows R and L in FIG. 7) due to the movement of A, and moves in the sub-scanning direction (directions of arrows U and D in FIG. 7) due to the movement of the other one-axis stage 38B. At the time of this movement, as described above, each domain of the positioned target pixel is irradiated with ultraviolet rays in a set polarization direction at a dose corresponding to the type of the alignment film. In the example of FIG. 7, the polarization direction is rotated by 45 ° for each domain included in one pixel and adjacent to the main scanning direction.

【0052】上記の処理をTFT基板14上の設定され
た全ての画素について行い、同一の処理を行ったカラー
フィルタ基板を張り合わせることによって、配向方向が
画素内で異なる方向となる液晶表示装置10が形成され
ることになる。
The above processing is performed for all the pixels set on the TFT substrate 14, and the color filter substrates that have been subjected to the same processing are adhered to each other. Is formed.

【0053】次に、上記で説明した各画素内で配向方向
が変化されたマルチドメイン液晶セルを含んだ液晶表示
装置10の製造方法を、図8の製造工程を示すフローチ
ャートと共に説明する。
Next, a method of manufacturing the liquid crystal display device 10 including the multi-domain liquid crystal cell in which the alignment direction is changed in each pixel described above will be described with reference to the flowchart of FIG.

【0054】液晶表示装置10の製造が開始されると、
工程S1において、カラーフィルタ基板12及びTFT
基板14に配向膜を形成する。
When the production of the liquid crystal display device 10 is started,
In step S1, the color filter substrate 12 and the TFT
An alignment film is formed on the substrate 14.

【0055】先ず、TFT基板14の図示しないアクテ
ィブ素子の形成されている側にポリイミド溶液を約60
0オングストローム塗布する。このポリイミド溶液の塗
布は、印刷あるいはスピンコートによって行うことがで
きる。このTFT基板14に塗布されたポリイミド溶液
を、赤外線照射や図示しない乾燥装置(例えば、ホット
プレート)等により、乾燥する。これによって、TFT
基板14上にポリイミドの配向膜24が形成される。こ
のようにして、略均一に塗布されたポリイミドによる配
向膜24を得ることができる。
First, about 60 μm of a polyimide solution is applied to the side of the TFT substrate 14 where active elements (not shown) are formed.
Apply 0 Angstrom. The application of the polyimide solution can be performed by printing or spin coating. The polyimide solution applied to the TFT substrate 14 is dried by infrared irradiation or a drying device (for example, a hot plate) not shown. With this, TFT
A polyimide alignment film 24 is formed on the substrate 14. In this way, it is possible to obtain the alignment film 24 of the polyimide applied substantially uniformly.

【0056】次に、カラーフィルタ基板12において
も、先のTFT基板14と同様にして配向膜20を形成
する。
Next, the alignment film 20 is formed on the color filter substrate 12 in the same manner as the TFT substrate 14.

【0057】上記のようにして配向膜20、24が形成
されると、次の工程S2において、紫外線照射処理を、
液晶表示装置の製造装置30において上記で説明したよ
うに行う(図6参照)。この紫外線照射処理は、ラビン
グ処理に相当する。但し、上記で説明したように、プレ
ティルト角は0°である。
When the alignment films 20 and 24 are formed as described above, in the next step S2, an ultraviolet irradiation process is performed.
This is performed as described above in the liquid crystal display device manufacturing apparatus 30 (see FIG. 6). This ultraviolet irradiation treatment corresponds to a rubbing treatment. However, as described above, the pretilt angle is 0 °.

【0058】上部配向膜20Aと下部配向膜20Bに照
射する紫外線の偏光方向は略90°で交差しているの
で、同一画素内に配向方向が90°異なる性質を有する
配向膜20を得ることができる。また、この配向膜20
を誘起するプレティルト角は、0°であるため、この配
向膜によって配向した液晶16に電場をかけると同一配
向方向の領域内で左回転、右回転の2種類に傾く方向が
異なる液晶分子回転が生じることになる。
Since the polarization directions of the ultraviolet rays applied to the upper alignment film 20A and the lower alignment film 20B intersect at about 90 °, it is possible to obtain the alignment film 20 having the property that the alignment directions differ by 90 ° in the same pixel. it can. The alignment film 20
Since the pretilt angle that induces is 0 °, when an electric field is applied to the liquid crystal 16 aligned by the alignment film, the liquid crystal molecules rotate in different directions of tilting left and right in the same alignment direction. Will happen.

【0059】紫外線照射処理が終了すると、次の工程S
3では、配向膜20と配向膜24とを向かい会わせ、直
線偏光の紫外線照射(ラビング処理)がなされたカラー
フィルタ基板12とTFT基板14とを所定のセルギャ
ップを設けて対向配置する。このときの各々の基板の間
隔は、液晶が配向する範囲であればよく、通常、数ミク
ロンから10数ミクロンのセルギャップでよい。本実施
例では、12ミクロンのポリエチレンフィルムをスペー
サとして挟み込んでいる。また、各々の基板を向かい会
わせるときには、90°回転したツイスト配向を得るた
めに、図9に示すように、重ね合わされたときの画素に
相当する液晶セル内に照射された偏光方向が略直交する
ようにする。
When the ultraviolet irradiation process is completed, the next step S
In 3, the alignment film 20 and the alignment film 24 face each other, and the color filter substrate 12 and the TFT substrate 14 that have been irradiated with linearly polarized ultraviolet rays (rubbing treatment) are arranged to face each other with a predetermined cell gap. The distance between the substrates at this time may be within a range in which the liquid crystal is aligned, and may be generally a cell gap of several microns to several tens of microns. In this embodiment, a 12-micron polyethylene film is interposed as a spacer. When the substrates face each other, in order to obtain a twist orientation rotated by 90 °, as shown in FIG. 9, the polarization directions irradiated into the liquid crystal cells corresponding to the pixels when superimposed are substantially orthogonal. To do it.

【0060】次の工程S5では、周囲を封止して所定の
カイラル剤を添加した液晶16を両基板間に液晶相のま
ま毛細管現象を利用して注入し、次の工程S5で、カラ
ーフィルタ基板12とTFT基板14の外表面に、各々
表示用の偏光板(図示せず)を交差ニコルとなるように
貼り付けて、液晶表示装置10を完成させる。
In the next step S5, a liquid crystal 16 sealed around the periphery and added with a predetermined chiral agent is injected between both substrates by using a capillary phenomenon while maintaining a liquid crystal phase. A polarizing plate (not shown) for display is attached to the outer surfaces of the substrate 12 and the TFT substrate 14 so as to form a crossed Nicols, thereby completing the liquid crystal display device 10.

【0061】このようにして得られた液晶表示装置10
を駆動すれば、非常に広い視野角で均一な画質を得るこ
とができる。
The liquid crystal display device 10 thus obtained is
, A uniform image quality can be obtained with a very wide viewing angle.

【0062】以上説明したように、本実施例では、基板
へ照射する紫外線の偏光方向を画素内で変更することに
よって各々の配向方向を変化させることができるので、
簡単に基板上で部分的に多種類にわたる方向へ液晶が配
向するマルチドメインを実現することはできる。また、
本実施例では、紫外線の照射によりマルチドメインを実
現するために、通常用いているマスクやレジスト膜を必
要とせず、偏光方向を連続的に変化させることができ
る。このため、配向方向の変化の種類を増加させた場合
であっても、製造工程が複雑になることがない。
As described above, in the present embodiment, since each polarization direction can be changed by changing the polarization direction of the ultraviolet light applied to the substrate in the pixel,
It is possible to easily realize a multi-domain in which the liquid crystal is partially orientated in various directions on the substrate. Also,
In this embodiment, the polarization direction can be continuously changed without using a mask or a resist film which is usually used in order to realize the multi-domain by irradiating the ultraviolet rays. Therefore, even when the types of changes in the orientation direction are increased, the manufacturing process does not become complicated.

【0063】また、上述のように配向方向の変化の種類
は、偏光方向回転装置32の回転によって容易に増加さ
せることができる。このため、液晶表示装置が要求する
視野角を得るために画素内で配向方向を容易に設定する
ことができ、視角依存性を大幅に改善することができ
る。
As described above, the type of change in the alignment direction can be easily increased by rotating the polarization direction rotating device 32. For this reason, the orientation direction can be easily set in the pixel in order to obtain the viewing angle required by the liquid crystal display device, and the viewing angle dependency can be greatly improved.

【0064】さらに、基板を形成するときに、配向方向
を自由に設定制御できるので、表示用の偏光板を与付け
たときを想定した配向方向を設定でき、表示用の偏光板
と一定の角度関係を維持することができる。このため、
得られる液晶表示装置のコントラストが低下することが
ない。
Further, since the alignment direction can be freely set and controlled when the substrate is formed, the alignment direction can be set assuming that a display polarizing plate is provided, and the display polarizing plate and the display polarizing plate can be fixed at a fixed angle. Can maintain relationships. For this reason,
The contrast of the obtained liquid crystal display device does not decrease.

【0065】さらにまた、従来の擦る等のラビング処理
に対して、本実施例では、非接触の紫外線照射のみによ
ってラビング処理に相当する処理をすることができるの
で、基板及び配向膜に接触しない。このため、傷、静電
気及び塵の発生することがない。
Furthermore, in contrast to the conventional rubbing treatment such as rubbing, in the present embodiment, a treatment corresponding to the rubbing treatment can be performed only by non-contact ultraviolet irradiation, so that there is no contact with the substrate and the alignment film. Therefore, no scratch, static electricity and dust are generated.

【0066】また、本実施例では、紫外線照射によって
高分子材料の塗布により形成された高分子膜の分子鎖の
形成状態を変更することが可能であればよいので、配向
膜として多種類にわたる高分子材料を用いることがで
き、この高分子材料の組成や組み合わせによって配向の
特性自体を制御することが可能である。
In this embodiment, since it is only necessary to be able to change the molecular chain formation state of the polymer film formed by applying the polymer material by irradiating ultraviolet rays, a variety of high-performance alignment films can be used. A molecular material can be used, and the alignment itself can be controlled by the composition or combination of the polymer material.

【0067】なお、上記実施例では、直交する座標系を
移動する移動ステージ38の移動によって基板上の集光
スポット位置を変更する場合を説明したが本発明はこれ
に限定されるものではなく、照射する紫外線側を移動さ
せるようにしてもよく、これらの組み合わせでもよい。
照射する紫外線側を移動させるためには、主走査方向に
高速に走査するポリゴン等の主走査装置を備えると共に
主走査方向と直交する方向に低速に走査するガルバノミ
ラー等の副走査を備え、これらの走査装置を介して基板
へ紫外線を照射するようにすればよい。
In the above embodiment, the case where the position of the converging spot on the substrate is changed by moving the moving stage 38 which moves in the orthogonal coordinate system has been described. However, the present invention is not limited to this. The ultraviolet light to be irradiated may be moved, or a combination of these may be used.
In order to move the ultraviolet side to be irradiated, a main scanning device such as a polygon that scans at a high speed in the main scanning direction is provided, and a sub-scanning such as a galvanometer mirror that scans at a low speed in a direction orthogonal to the main scanning direction is provided. The substrate may be irradiated with ultraviolet rays through the scanning device described above.

【0068】また、これらの組み合わせとしては、図1
0に示すように、所定位置にTFT基板14が取付けら
れた1軸移動ステージ40と、1軸移動ステージ40の
上方に位置するガルバノミラー42を備えればよい。こ
のガルバノミラー42の回転軸42Aは1軸移動ステー
ジの移動方向と平行とされており、ガルバノミラー42
の回転軸42A回りの揺動によって主走査、1軸移動ス
テージ40のステップ移動により副走査が行われ、レー
ザービーム48の2次元走査が可能となる。このガルバ
ノミラー42には紫外線照射装置60からの紫外線がシ
ャッタ36、偏光方向回転手段32及び集光レンズ34
を介して到達する。
As a combination of these, FIG.
As shown at 0, a single-axis moving stage 40 having the TFT substrate 14 attached at a predetermined position, and a galvanometer mirror 42 located above the single-axis moving stage 40 may be provided. The rotation axis 42A of the galvanomirror 42 is parallel to the moving direction of the one-axis moving stage.
The main scanning is performed by the swing of the rotary shaft 42A around the rotation axis 42A, and the sub-scanning is performed by the step movement of the one-axis moving stage 40, thereby enabling the two-dimensional scanning of the laser beam 48. The galvanomirror 42 receives the ultraviolet light from the ultraviolet irradiation device 60 through the shutter 36, the polarization direction rotating means 32 and the condenser lens 34.
Reach through.

【0069】次に、直線偏光した紫外線の照射によって
変成されるポリイミドの配向膜について詳細に説明す
る。本発明者等は、種々の測定実験から、配向膜を形成
するために用いたポリイミドへ直線偏光した紫外線を照
射することによって、特異な変成を生起させることを得
た。
Next, the polyimide alignment film modified by irradiation of linearly polarized ultraviolet light will be described in detail. The present inventors have obtained from a variety of measurement experiments that a specific transformation occurs by irradiating linearly polarized ultraviolet light to a polyimide used for forming an alignment film.

【0070】なお、前記実施例では、ポリイミドを用い
たが、本発明はこれに限定されず、PVA(ポリビニル
アルコール)、PET(ポリエチレンテレフタレー
ト)、ナイロン、セルロール、テフロン等のポリイミド
以外のポリマーを用いてもよく、複数種類のポリイミド
を混合して使用することや、ポリマーを組み合わせて使
用してもよい。
Although polyimide is used in the above embodiment, the present invention is not limited to this, and polymers other than polyimide, such as PVA (polyvinyl alcohol), PET (polyethylene terephthalate), nylon, cellulose, and Teflon, are used. Or a mixture of a plurality of kinds of polyimides or a combination of polymers.

【0071】[0071]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、回
転可能な直線偏光の電磁波を基板の高分子材料の各画素
を構成する部分領域毎に照射し、各部分領域を電磁波の
偏光方向に応じて配向できるので、コントラストを低下
させず視覚角が向上した液晶表示装置及びその製造方法
が提供できるという効果がある。
As described above, according to the present invention, a rotatable linearly polarized electromagnetic wave is radiated to each partial region constituting each pixel of the polymer material on the substrate, and each partial region is polarized in the polarization direction of the electromagnetic wave. Therefore, there is an effect that it is possible to provide a liquid crystal display device in which the viewing angle is improved without lowering the contrast and a method of manufacturing the same.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例にかかる液晶表示装置の製造装
置の概略構成を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram illustrating a schematic configuration of a manufacturing apparatus of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.

【図2】液晶表示装置の製造装置に用いた紫外線の照射
系の概略構成を示すブロック図であり、(A)は紫外線
レーザー装置を用いた場合を示し、(B)は紫外線光源
を用いた場合を示している。
FIGS. 2A and 2B are block diagrams showing a schematic configuration of an ultraviolet irradiation system used in an apparatus for manufacturing a liquid crystal display device. FIG. 2A shows a case where an ultraviolet laser device is used, and FIG. 2B shows a case where an ultraviolet light source is used. Shows the case.

【図3】液晶表示装置を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display device.

【図4】液晶表示装置の画素部分の拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged sectional view of a pixel portion of the liquid crystal display device.

【図5】液晶表示装置のカラーフィルタ基板側から見た
一部平面図である。
FIG. 5 is a partial plan view of the liquid crystal display device as viewed from a color filter substrate side.

【図6】本実施例の液晶表示装置の製造装置の処理の流
れを示すフローチャートである。
FIG. 6 is a flowchart illustrating a process flow of a liquid crystal display device manufacturing apparatus according to the present embodiment.

【図7】レーザービームの走査を説明するための基板の
斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view of a substrate for explaining laser beam scanning.

【図8】本実施例にかかる液晶表示装置を製造するとき
の製造工程の流れを示すフローチャートである。
FIG. 8 is a flowchart illustrating a flow of a manufacturing process when manufacturing the liquid crystal display device according to the present embodiment.

【図9】本実施例の液晶表示装置のツイスト配向の場合
の偏光方向を示す斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view showing a polarization direction in the case of twist alignment of the liquid crystal display device of the present embodiment.

【図10】実施例にかかる液晶表示装置の製造装置の概
略構成の他例を示すブロック図である。
FIG. 10 is a block diagram illustrating another example of a schematic configuration of the manufacturing apparatus of the liquid crystal display device according to the example.

【図11】液晶表示装置において液晶分子が傾くことを
説明するための説明図であり、(A)は液晶分子が右回
転に傾くことを示し、(B)は液晶分子が左回転に傾く
ことを示し、(C)は液晶分子の見掛け上の回転角が平
均化され状態を示している。
11A and 11B are explanatory diagrams for explaining that liquid crystal molecules tilt in a liquid crystal display device. FIG. 11A shows that liquid crystal molecules tilt to the right, and FIG. 11B shows that liquid crystal molecules tilt to the left. (C) shows the state where the apparent rotation angles of the liquid crystal molecules are averaged.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 液晶表示装置 28 画素 30 液晶表示装置の製造装置 32 偏光方向回転装置 34 集光レンズ 36 シャッタ 38 移動ステージ 50 制御装置 60 紫外線照射装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Liquid crystal display device 28 Pixel 30 Liquid crystal display device manufacturing device 32 Polarization direction rotating device 34 Condensing lens 36 Shutter 38 Moving stage 50 Control device 60 Ultraviolet irradiation device

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平 洋一 神奈川県大和市下鶴間1623番地14 日本 アイ・ビー・エム株式会社 東京基礎研 究所内 (56)参考文献 特開 平7−72484(JP,A) 特開 平2−309321(JP,A) 特開 平6−194665(JP,A) 特開 平5−232473(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Yoichi Taira 1623-14 Shimotsuruma, Yamato-shi, Kanagawa Prefecture IBM Japan, Ltd. Tokyo Research Laboratory (56) References JP-A-7-72484 (JP, A) JP-A-2-309321 (JP, A) JP-A-6-194665 (JP, A) JP-A-5-232473 (JP, A)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ポリイミドを第1の基板に塗布して高分
子膜を形成する工程と、 前記高分子膜が形成された第1の基板の少なくとも一部
の予め定めた所定範囲内に含まれる複数の画素につい
て、各画素に対応する領域の一部としての第1の部分領
域に直線偏光された第1の偏光方向の電磁波を照射し、
前記各画素に対応する領域の一部としての第2の部分領
域に前記第1の偏光方向と交差する第2の偏光方向の電
磁波を照射する工程と、 ポリイミドを第2の基板に塗布して高分子膜を形成する
工程と、 前記高分子膜が形成された第2の基板の少なくとも一部
の予め定めた所定範囲内に含まれる複数の画素につい
て、各画素に対応する領域の一部としての第1の部分領
域へ直線偏光された第1の偏光方向の電磁波を照射し、
前記各画素に対応する領域の一部としての第2の部分領
域に前記第1の偏光方向と交差する第2の偏光方向の電
磁波を照射する工程と、 前記高分子膜面同士を対向させると共に、前記第1の基
板と前記第2の基板とを前記第1の基板の第1の部分領
域と前記第2の基板の第2の部分領域とが少なくとも一
部重複するように所定の間隔を隔てて張り合わせる工程
と、 前記第1の基板と前記第2の基板との間に液晶を注入す
る工程と、 を含む液晶表示装置の製造方法。
1. A step of applying a polyimide to a first substrate to form a polymer film, wherein the polymer film is included in a predetermined range of at least a part of the first substrate on which the polymer film is formed. For a plurality of pixels, a first partial area as a part of an area corresponding to each pixel
Irradiating an electromagnetic wave of a first polarization direction linearly polarized in the region,
A second partial area as a part of an area corresponding to each of the pixels;
In the second region of the second polarization direction intersecting with the first polarization direction.
A step of irradiating a magnetic wave, a step of applying a polyimide to a second substrate to form a polymer film, and a step of applying a polyimide film within a predetermined range of at least a part of the second substrate on which the polymer film is formed. For a plurality of included pixels, a first partial region as a part of a region corresponding to each pixel
Irradiating a linearly polarized electromagnetic wave in the first polarization direction to the region,
A second partial area as a part of an area corresponding to each of the pixels;
In the second region of the second polarization direction intersecting with the first polarization direction.
Irradiating a magnetic wave, and causing the polymer film surfaces to face each other , and holding the first substrate and the second substrate in a first partial area of the first substrate .
Laminating at predetermined intervals such that the region and the second partial region of the second substrate at least partially overlap; and applying a liquid crystal between the first substrate and the second substrate. A method of manufacturing a liquid crystal display device, comprising the steps of:
【請求項2】 ポリイミドが塗布されて形成された高分
子膜の各々の画素に対応する領域の一部としての第1の
部分領域に直線偏光された第1の偏光方向の電磁波が照
射され、前記各々の画素に対応する領域の一部としての
第2の部分領域に前記第1の偏光方向と交差する第2の
偏光方向の電磁波が照射された第1の基板と、 ポリイミドが塗布されて形成された高分子膜の各々の画
素に対応する領域の一部としての第1の部分領域に直線
偏光された第1の偏光方向の電磁波が照射され、前記各
々の画素に対応する領域の一部としての第2の部分領域
に前記第1の偏光方向と交差する第2の偏光方向の電磁
波が照射された第2の基板とを有し、 前記高分子膜同士が対向し、前記第1の基板の第1の部
分領域と前記第2の基 板の第2の部分領域とから1画素
を形成するように前記第1の基板と前記第2の基板が所
定の間隔を隔てて張り合わされており、 さらに、 前記第1の基板と前記第2の基板との間に注入された液
晶を、 を含んで構成された液晶表示装置。
2. A first film as a part of a region corresponding to each pixel of a polymer film formed by applying polyimide .
An electromagnetic wave in the first polarization direction linearly polarized in the partial region is illuminated.
As part of the area corresponding to each of the pixels
A first substrate having a second partial region irradiated with an electromagnetic wave having a second polarization direction crossing the first polarization direction, and a pixel corresponding to each pixel of a polymer film formed by applying polyimide; A straight line in the first partial area as part of the area
The polarized electromagnetic wave of the first polarization direction is irradiated,
Second partial area as a part of the area corresponding to each pixel
A second polarization direction intersecting with the first polarization direction.
A second substrate irradiated with waves, the polymer films facing each other, and a first portion of the first substrate.
1 pixel from the distribution area and the second partial region of the second base plate
The first substrate and the second substrate are partially
A liquid crystal display device , which is attached at a constant interval and further includes: a liquid crystal injected between the first substrate and the second substrate.
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