JP2727470B2 - Manufacturing method of ceramic sheet - Google Patents
Manufacturing method of ceramic sheetInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、セラミックケース，電子部品用回路基板な
どに利用可能なセラミックシートの製造方法に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic sheet that can be used for a ceramic case, a circuit board for electronic components, and the like.
（従来の技術） 従来、セラミック基板上に凹部，凸部を形成させるた
めに、ケミカルエッチング法，積層法，または乾式プレ
ス法等が利用されていた。(Prior Art) Conventionally, a chemical etching method, a laminating method, a dry pressing method, or the like has been used to form a concave portion and a convex portion on a ceramic substrate.
前記積層法については、例えば特開昭48−55906号公
報に記載がある。The lamination method is described in, for example, JP-A-48-55906.
第２図（ａ）〜（ｃ）は従来のケミカルエッチング法
によるセラミックシート製造方法の工程を説明するため
の断面図である。第２図（ａ）において、まず焼成後の
セラミック基板20上の所定の場所にマスキング材21を塗
布する。第２図（ｂ）において、エッチング液にてエッ
チングし、マスキング材21部分以外にセラミック基板20
は凹部22を形成する。第２図（ｃ）において、マスキン
グ材21を除去し、完成品とする。2 (a) to 2 (c) are cross-sectional views for explaining steps of a conventional method of manufacturing a ceramic sheet by a chemical etching method. In FIG. 2 (a), first, a masking material 21 is applied to a predetermined place on the fired ceramic substrate 20. In FIG. 2 (b), the ceramic substrate 20 is etched with an etching solution except for the masking material 21 portion.
Forms a recess 22. In FIG. 2C, the masking material 21 is removed to obtain a completed product.
第３図は従来の積層法によるセラミックシート製造方
法の説明図である。同図において、焼成前のセラミック
シート30と任意の位置を打ち抜いたセラミックシート31
とを張り合わせ、ホットプレス装置32によりホットプレ
ス（矢印の加圧方向）し、両セラミックシート30,31を
一体化した後、焼成して完成品を得る。FIG. 3 is an explanatory view of a conventional method of manufacturing a ceramic sheet by a lamination method. In the figure, a ceramic sheet 30 before firing and a ceramic sheet 31 punched out at an arbitrary position are shown.
Then, hot pressing is performed by a hot pressing device 32 (in the direction indicated by the arrow) to integrate the two ceramic sheets 30 and 31 and then firing to obtain a finished product.
第４図は従来の乾式プレス法によるセラミックシート
製造方法の説明図である。同図において、成型金型とし
て上パンチ40と下パンチ41を用い、セラミックシートを
成形する粒粉体42を前記上パンチ40と下パンチ41間の所
定の位置に充填後、加圧成型を行って成型体を作製し、
この成型体を焼成することにより完成品を得る。FIG. 4 is an explanatory view of a method of manufacturing a ceramic sheet by a conventional dry press method. In the figure, an upper punch 40 and a lower punch 41 are used as a molding die, and after a granular powder 42 for forming a ceramic sheet is filled in a predetermined position between the upper punch 40 and the lower punch 41, pressure molding is performed. To make a molded body,
A finished product is obtained by firing this molded body.
（発明が解決しようとする課題） しかし前記ケミカルエッチング法では、セラミックの
種類によってエッチング液を選択しなくてはならず、さ
らにアルミナセラミック、４窒化ケイ素セラミック，炭
化チタンセラミック，ジルコニアセラミックなどの化学
的に非常に安定なセラミックに対して、このケミカルエ
ッチング法は量産性に欠けるという問題がある。(Problems to be Solved by the Invention) However, in the above-mentioned chemical etching method, an etching solution must be selected depending on the type of ceramic, and furthermore, a chemical such as alumina ceramic, silicon nitride ceramic, titanium carbide ceramic, zirconia ceramic or the like is required. For a very stable ceramic, this chemical etching method has a problem that it lacks mass productivity.
また前記積層法では、ホットプレス時の凹部と凸部の
周辺に加わる圧力が不均一となり、シート密度の異なる
部分が形成され、焼成時に形状歪み、クラック，ひびが
発生するという問題がある。Further, in the laminating method, there is a problem that the pressure applied to the periphery of the concave portion and the convex portion at the time of hot pressing becomes nonuniform, portions having different sheet densities are formed, and shape distortion, cracks and cracks are generated during firing.
また前記乾式プレス法では、セラミックを形成する粒
粉体42のサイズ（一般には100〜300μｍ）の限界のた
め、金型充填が不可能な形状領域がある。例えば、成型
体の肉厚の下限界は0.5〜0.8mmである。さらに、大型平
板基板の場合、成型圧力が400〜1500kg/cm2の時、10cm
角で40〜150tの総圧力が必要であり、大型になればなる
程、成型機上の制約が発生するし、平板状基板の全体に
均一な圧力を加えることが、金型平行度と前記粒粉体42
の均一充填との問題を考えると、著しく困難であるとい
う問題がある。Further, in the dry pressing method, there is a shape region in which the mold cannot be filled due to the limit of the size (generally 100 to 300 μm) of the granular powder 42 forming the ceramic. For example, the lower limit of the thickness of the molded body is 0.5 to 0.8 mm. Moreover, if a large flat board, when the molding pressure is 400~1500kg / cm 2, 10cm
A total pressure of 40 to 150 t is required at the corner, and the larger the size, the more the restriction on the molding machine occurs, and applying a uniform pressure to the entire flat substrate, the mold parallelism and the Granular powder 42
Considering the problem of uniform filling, there is a problem that it is extremely difficult.
また単にセラミックシートに凹部のみを形成すると、
セラミックシートの凹部は漬されて形成されることにな
り、シート密度が変化し、焼成時の形状歪み，クラッ
ク，ひびの発生の原因になるという問題がある。Also, simply forming only the concave portion in the ceramic sheet,
The concave portion of the ceramic sheet is formed by being immersed, which causes a problem that the sheet density changes and causes shape distortion, cracks and cracks during firing.
本発明の目的は、形成歪み，クラック，ひびの発生が
少なく、かつ簡単に成型できるセラミックシートの製造
方法を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for producing a ceramic sheet which can be formed easily with less formation distortion, cracks and cracks.
（課題を解決するための手段） 上記目的を解決するため、本発明は、他の部位よりも
突出した突出部が設けられた一方の金型と、前記突出部
に対向する孔部が設けられた他方の金型とからなる一対
の金型を用い、この一対の金型の間にセラミックシート
を介在させ、前記突出部によって前記セラミックシート
の一方側に凹部を形成し、前記孔部において前記セラミ
ックシートの他方側に凸部を形成し、その後に、前記セ
ラミックシートを焼成するセラミックシートの製造方法
であって、前記突出部をセラミックシートに押し込むこ
とによって前記孔部に前記セラミックシートの一部を入
り込ませると共に、前記孔部に入り込んだ前記セラミッ
クシートの凸部における突面を前記孔部が設けられた他
方の金型とは非接触にすることを特徴とし、また必要に
よって前記凸部を除去した後に、セラミックシートを焼
成一体化させることを特徴とする。(Means for Solving the Problems) In order to solve the above-mentioned object, the present invention provides one mold provided with a protruding portion projecting from another portion, and a hole opposed to the protruding portion. A pair of dies including the other mold, a ceramic sheet is interposed between the pair of dies, a recess is formed on one side of the ceramic sheet by the protrusion, and the recess is formed in the hole. A method of manufacturing a ceramic sheet, comprising forming a convex portion on the other side of the ceramic sheet, and thereafter firing the ceramic sheet, wherein the protrusion is pressed into the ceramic sheet so that a part of the ceramic sheet is formed in the hole. In addition, the projecting surface of the convex portion of the ceramic sheet that has entered the hole portion is not in contact with the other mold provided with the hole portion, Further, the method is characterized in that the ceramic sheet is fired and integrated after removing the protrusions as necessary.
（作用） 上記手段を採用したため、セラミックシート化が可能
なものに対して、簡単に行える打ち抜き方法によって、
焼成前のセラミックシートに対する打ち抜き時に、一方
側に凹部を、また反対側に凸部を同時に形成することに
より、凹部と凸部の周辺の圧力は略均一で、シート密度
が略均一となり、焼成時の形状歪み，クラック，ひびの
発生が少なくなる。(Operation) By adopting the above-mentioned means, it is possible to easily punch a ceramic sheet into a sheet by a simple punching method.
By forming a concave portion on one side and a convex portion on the other side at the same time when punching the ceramic sheet before firing, the pressure around the concave portion and the convex portion is substantially uniform, the sheet density becomes substantially uniform, The occurrence of shape distortion, cracks and cracks is reduced.
（実施例） 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図（ａ）〜（ｃ）は本発明によるセラミックシー
トの製造方法の一実施例の工程を説明するための断面図
であって、１はセラミックシート、1aはセラミックシー
ト１の凹部、1bはセラミックシート１の凸部、２は打ち
抜き金型の下部金型、３は打ち抜き金型の上部金型、４
は上部金型３に突設させた打ち抜きピン（突出部）であ
る。1 (a) to 1 (c) are cross-sectional views for explaining the steps of one embodiment of a method for manufacturing a ceramic sheet according to the present invention, wherein 1 is a ceramic sheet, 1a is a concave portion of the ceramic sheet 1, and 1b. Is a projection of the ceramic sheet 1, 2 is a lower die of a punching die, 3 is an upper die of a punching die, 4
Is a punching pin (projection) protruding from the upper mold 3.
本実施例において、セラミックとして96％アルミナを
使用する。また焼成前のセラミックシート１としては、
前記96％アルミナに、分散媒体としてI.P.A.（イソ．プ
ロピル．アルコール），トルエンを、また可塑剤として
D.B.P.（ジ．ブチル．フタレート）を、また結合剤とし
てP.V.B.（ポリ．ビニル．ブチラール）を加え、これら
を十分ミキシングした後、ドクターブレード法により、
厚さ1mm,幅1000mm,長100mの有機溶剤系のシートを作製
し、使用した。In this embodiment, 96% alumina is used as the ceramic. Also, as the ceramic sheet 1 before firing,
IPA (isopropyl alcohol) and toluene as the dispersing medium and the plasticizer
DBP (dibutyl phthalate) and PVB (polyvinyl butyral) as a binder were added, and after mixing these well, by a doctor blade method,
An organic solvent-based sheet having a thickness of 1 mm, a width of 1000 mm, and a length of 100 m was prepared and used.
第１図（ａ）において、焼成前のセラミックシート１
を下部金型２上にセットする。第１図（ｂ）において、
上部金型３を下降させ、打ち抜きピン４がセラミックシ
ート１の所定の深さまで喰い込み、完全に打ち抜かない
状態で下降を停止させる。第１図（ｃ）において、成型
後のセラミックシート１には、一方側に凹部1aが、また
反対側には凸部1bが同時に形成されることになる。In FIG. 1 (a), a ceramic sheet 1 before firing is used.
Is set on the lower mold 2. In FIG. 1 (b),
The upper mold 3 is lowered, and the punching pin 4 bites into the ceramic sheet 1 to a predetermined depth, and the lowering is stopped without completely punching. In FIG. 1 (c), a concave portion 1a is formed on one side of the molded ceramic sheet 1 and a convex portion 1b is formed on the other side at the same time.
このとき、打ち抜きピン４がセラミックシート１に押
し込まれるとセラミックシート１の一部が下部金型２の
孔部2aに入り込むことになり、しかも、この孔部2aに入
り込んだセラミックシート１の凸部1bにおける突面1c
が、下部金型２とは接触しないようになっている。At this time, when the punching pin 4 is pushed into the ceramic sheet 1, a part of the ceramic sheet 1 enters the hole 2a of the lower mold 2, and furthermore, the convex portion of the ceramic sheet 1 that enters the hole 2a. Projection surface 1c at 1b
However, it does not come into contact with the lower mold 2.
したがって、抜き打ちピン４による凹部1a,凸部1bの
形成時に、凹部1aと凸部1bの形成部分への圧力は下方向
に逃げるため略均一となり、凹部1aと凸部1bの形成部品
のシート密度はほとんど変化しない。Therefore, when the concave portions 1a and the convex portions 1b are formed by the punching pin 4, the pressure applied to the portions where the concave portions 1a and the convex portions 1b are formed becomes substantially uniform because the pressure escapes downward, and the sheet density of the component formed with the concave portions 1a and the convex portions 1b Hardly changes.
また凹部1aと凸部1bの形成部品以外のセラミックシー
ト１は、上部金型３に、例えばバネ（図示せず）を取り
付け、摺動部（図示せず）に固定しておけば、加わる圧
力をバネ定数によって選択できるため、シート密度が変
化しない。The ceramic sheet 1 other than the parts for forming the concave portions 1a and the convex portions 1b is provided with an upper mold 3, for example, by attaching a spring (not shown) and fixing it to a sliding portion (not shown). Can be selected by the spring constant, so that the sheet density does not change.
このようにして作製されたセラミックシート１は、不
必要であれば凸部1bを除去し、必要であれば凸部1bを残
したまま焼成一体化されるが、シート密度が略均一であ
るので、形状歪み，クラック，ひびを発生することなく
完成品となる。The ceramic sheet 1 manufactured in this manner is unified by sintering while removing the projections 1b if unnecessary and leaving the projections 1b if necessary. However, since the sheet density is substantially uniform, It is a finished product without any shape distortion, cracks and cracks.
また上記の打ち抜きピン４に必要な圧力は、従来の乾
式プレス法や積層法に比較して、10〜30％の圧力で容易
に凹部1a,凸部1bが形成できた。The pressure required for the punching pin 4 was 10 to 30% as compared with the conventional dry pressing method or laminating method, so that the concave portion 1a and the convex portion 1b could be easily formed.
なお、本実施例では、セラミックスとして96％アルミ
ナを用いたが、他のセラミックス、例えばジルコニア,4
窒化ケイ素，炭化チタンなども使用でき、またセラミッ
クシート１として有機溶剤系のシートを用いたが、水溶
性系のシート、例えば分散媒体として水、可塑剤として
グリセリン，エチレングリコールなど、結合材としてP.
V.A.（ポリ．ビニル．アルコール），メチルセルロース
などにより構成されるセラミックシートなども使用でき
る。In this example, 96% alumina was used as the ceramic, but other ceramics such as zirconia,
Silicon nitride, titanium carbide, and the like can be used, and an organic solvent-based sheet is used as the ceramic sheet 1. However, a water-soluble sheet such as water as a dispersion medium, glycerin or ethylene glycol as a plasticizer, and P as a binder are used. .
A ceramic sheet made of VA (polyvinyl alcohol), methylcellulose, or the like can also be used.
また寸法面においては、セラミックシート化が可能な
寸法（現在ではドクターブレード法により、幅1m程度の
シートが量産されている）であれば、本発明によるセラ
ミックシートの製造方法は適用できる。In terms of dimensions, the ceramic sheet manufacturing method according to the present invention can be applied as long as the ceramic sheet can be formed (at present, sheets having a width of about 1 m are mass-produced by the doctor blade method).
また本発明によるセラミックシートの製造方法と、既
存の打ち抜き法，スリット形成法を組合せて、各種形状
のセラミック基板を形成することが考えられる。It is also conceivable to form ceramic substrates of various shapes by combining the method of manufacturing a ceramic sheet according to the present invention with existing punching and slit forming methods.
（発明の効果） 本発明によれば、セラミックシート化が可能なものに
対して、簡単に、形状歪み，クラック，ひびの発生が少
ないセラミックシートの成型ができるセラミックシート
の製造方法を提供できる。(Effects of the Invention) According to the present invention, it is possible to provide a method of manufacturing a ceramic sheet capable of easily forming a ceramic sheet with less shape distortion, cracks, and cracks than a ceramic sheet that can be formed into a ceramic sheet.
第１図（ａ）〜（ｃ）は本発明によるセラミックシート
の製造方法の一実施例の工程を説明するための断面図、
第２図（ａ）〜（ｃ）は従来のセラミックシートの製造
方法の工程を説明するための断面図、第３図，第４図は
従来のセラミックシートの製造方法の他の例を示す説明
図である。 １……セラミックシート、1a……凹部、1b……凸部、1c
……凸部における突面、２……下部金型、2a……孔部、
３……上部金型、４……打ち抜きピン。1 (a) to 1 (c) are cross-sectional views for explaining steps of an embodiment of a method for manufacturing a ceramic sheet according to the present invention.
2 (a) to 2 (c) are cross-sectional views for explaining steps of a conventional method for manufacturing a ceramic sheet, and FIGS. 3 and 4 show another example of a method for manufacturing a conventional ceramic sheet. FIG. 1 ... ceramic sheet, 1a ... concave, 1b ... convex, 1c
... The protruding surface of the projection, 2... The lower mold, 2a.
3 ... upper mold, 4 ... punching pin.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 多木 宏光 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特公 昭63−30843（ＪＰ，Ｂ２) ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Hiromitsu Taki 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Claims (2)
た一方の金型と、前記突出部に対向する孔部が設けられ
た他方の金型とからなる一対の金型を用い、この一対の
金型の間にセラミックシートを介在させ、前記突出部に
よって前記セラミックシートの一方側に凹部を形成し、
前記孔部において前記セラミックシートの他方側に凸部
を形成し、その後に、前記セラミックシートを焼成する
セラミックシートの製造方法であって、前記突出部をセ
ラミックシートに押し込むことによって前記孔部に前記
セラミックシートの一部を入り込ませると共に、前記孔
部に入り込んだ前記セラミックシートの凸部における突
面を前記孔部が設けられた他方の金型とは非接触にする
ことを特徴とするセラミックシートの製造方法。1. A pair of molds comprising a mold provided with a protruding portion protruding from other portions and another mold provided with a hole facing the protruding portion, A ceramic sheet is interposed between the pair of molds, and a recess is formed on one side of the ceramic sheet by the protrusion,
A method of manufacturing a ceramic sheet, wherein a convex portion is formed on the other side of the ceramic sheet in the hole portion, and then the ceramic sheet is fired. A ceramic sheet, wherein a part of a ceramic sheet is inserted, and a protruding surface of a convex portion of the ceramic sheet that has entered the hole is brought into non-contact with the other mold provided with the hole. Manufacturing method.
トを焼成一体化させることを特徴とする請求項（１）記
載のセラミックシートの製造方法。2. The method for manufacturing a ceramic sheet according to claim 1, wherein the ceramic sheet is fired and integrated after removing the projections.
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| JP1221738A JP2727470B2 (en) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | Manufacturing method of ceramic sheet |
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-
1989
- 1989-08-30 JP JP1221738A patent/JP2727470B2/en not_active Expired - Lifetime
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