JP2721806B2 - Optical surface inspection device for rolling rolls - Google Patents
Optical surface inspection device for rolling rollsInfo
- Publication number
- JP2721806B2 JP2721806B2 JP6203908A JP20390894A JP2721806B2 JP 2721806 B2 JP2721806 B2 JP 2721806B2 JP 6203908 A JP6203908 A JP 6203908A JP 20390894 A JP20390894 A JP 20390894A JP 2721806 B2 JP2721806 B2 JP 2721806B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- rolling roll
- illumination light
- water column
- rolling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21B—ROLLING OF METAL
- B21B38/00—Methods or devices for measuring, detecting or monitoring specially adapted for metal-rolling mills, e.g. position detection, inspection of the product
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21B—ROLLING OF METAL
- B21B38/00—Methods or devices for measuring, detecting or monitoring specially adapted for metal-rolling mills, e.g. position detection, inspection of the product
- B21B38/12—Methods or devices for measuring, detecting or monitoring specially adapted for metal-rolling mills, e.g. position detection, inspection of the product for measuring roll camber
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、鋼板などの圧延工程に
おいて、ロール冷却水が散水されながら回転している圧
延ロールの表面像をCCD(Charge Coupled Device )
カメラ等の撮像装置により撮像してその表面静止画像を
得、鋼板に圧延ロールの肌荒れによるかみ込みスケール
疵等が発生することを防ぐためのロール交換時期を把握
すること等を目的として、圧延ロールの表面状態の観
察、検査を行うようにした、圧延ロールの光学式表面検
査装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a CCD (Charge Coupled Device) in which a surface image of a rolling roll rotating while spraying cooling water is used in a rolling process of a steel plate or the like.
Rolling rolls are captured by an imaging device such as a camera to obtain a still image of the surface, and to grasp the roll replacement time to prevent the occurrence of scale flaws and the like caused by roughening of the rolling rolls on the steel plate. The present invention relates to an optical surface inspection device for a rolling roll for observing and inspecting the surface condition of a roll.
【0002】[0002]
【従来の技術】鋼板の熱間仕上げ圧延機における前段ス
タンドのワークロール(圧延ロール)の表面には、圧延
にともなって黒皮が生成する。この黒皮には亀甲状の微
細な割れが生じており、圧延条件によっては、この黒皮
が剥離しロール表面にクレータ状の凹みがその周方向に
沿って帯状に生じ、図9に示すような、ロールバンディ
イング(Roll Banding)と呼ばれる肌荒れ
状態となる。このロールバンディングのような肌荒れが
生じたワークロールで圧延が行われると、その表面の凹
みが転写された部分が、後段スタンドのワークロールで
押圧され、鋼板にかみ込みスケール疵が発生する。2. Description of the Related Art A black scale is formed on the surface of a work roll (rolling roll) of a former stand in a hot finishing rolling mill for steel sheets with rolling. In this black scale, fine turtle-shaped cracks are generated. Depending on the rolling conditions, the black scale is peeled off, and a crater-like dent is formed on the roll surface in a belt shape along the circumferential direction, as shown in FIG. A rough skin condition called roll banding occurs. When rolling is performed on a work roll having a rough surface such as roll banding, the portion where the dent on the surface is transferred is pressed by the work roll of the subsequent stand, and the steel plate bites into the steel plate to generate scale flaws.
【0003】このため、適宜、熱間仕上げ圧延機を止め
てスタンドからワークロールを引き出し、作業者による
ロール表面の直接目視検査を行い、ロールバンディング
のようなスケール疵発生の原因となる肌荒れがあると
き、あるいはロールバンディング発生の恐れのある肌荒
れのときにはロールの交換を行うようになされていた。
作業者の直接目視によるこのような検査では、検査の都
度、ワークロールの取り外し、組み込みに多くの時間と
労力を要し、生産性の低下を招くという欠点があった。[0003] For this reason, the hot finish rolling mill is appropriately stopped, the work roll is pulled out from the stand, and a direct visual inspection of the roll surface is performed by an operator, and there is a rough surface which causes scale flaws such as roll banding. At times, or when the skin is rough, which may cause roll banding, the rolls are replaced.
Such an inspection by direct visual inspection of an operator has a disadvantage that a large amount of time and labor is required for removing and installing the work roll each time the inspection is performed, and this leads to a decrease in productivity.
【0004】そこで本出願人は、前記欠点を解消するた
めに、ロール冷却水が散水されながら回転している圧延
ロールの表面静止画像を得、その圧延ロール表面静止画
像により、圧延ロールの表面状態を観察し検査できるよ
うにした圧延ロールの光学式表面検査装置を提案してい
る(特開平5−10888号)。[0004] In order to solve the above-mentioned drawbacks, the present applicant has obtained a still image of the surface of the rolling roll rotating while the cooling water is being sprayed thereon, and obtained the surface condition of the rolling roll from the still image of the rolling roll surface. There has been proposed an optical surface inspection device for a rolling roll capable of observing and inspecting a roll (JP-A-5-10888).
【0005】前記従来の光学式表面検査装置は、その構
成説明図を図8に示すように、移動装置4、圧延ロール
Wの周囲と対面する側に窓部を有するハウジングボック
ス5、ハウジングボックス5内に配設された撮像装置
(工業用ビデオカメラ)としてのCCDカメラ6、同じ
くハウジングボックス5内に配設されたストロボ照明光
源としての環状のキセノンランプ7、ハウジングボック
ス5の前面に装着された水柱形成ノズル8、制御装置
9、画像記憶装置としてのフレームメモリ10、及び画
像表示装置としてのCRTディスプレイ11により構成
されている。なお、制御装置9に接続されたイメージプ
リンタ12は、圧延ロール表面静止画像をハードコピー
するなどに用いられるものである。As shown in FIG. 8, the conventional optical surface inspection apparatus has a moving device 4, a housing box 5 having a window on the side facing the periphery of a rolling roll W, and a housing box 5 as shown in FIG. CCD camera 6 as an image pickup device (industrial video camera) disposed therein, annular xenon lamp 7 as a strobe illumination light source also disposed in housing box 5, mounted on the front of housing box 5. It comprises a water column forming nozzle 8, a control device 9, a frame memory 10 as an image storage device, and a CRT display 11 as an image display device. The image printer 12 connected to the control device 9 is used for making a hard copy of a still image of a rolling roll surface.
【0006】より詳細には、鋼板熱延工程における熱間
仕上げ圧延機の第2段目の仕上げスタンドの圧延ロール
(ワークロール)Wと次段の仕上げスタンドの圧延ロー
ル(図示省略)との間に、圧延ロールWの長手方向(ロ
ール軸方向)と平行に設けられ、図示しないモータによ
って正逆回転される送りねじ軸1と、送りねじ軸1の回
転に従って圧延ロールWの長手方向に沿って移動される
移動ブロック2と、この移動ブロック2の上面に取り付
けられたエアシリンダ3とにより構成される移動装置4
が設けられている。圧延ロールWの周面と対面する前面
に窓部としての透明な窓ガラス板5aが嵌め込まれた箱
形をなすハウジングボックス5は、移動装置4のエアシ
リンダ3のピストンロッド3aの先端部に取り付けられ
ている。ハウジングボックス5内に配設されたCCDカ
メラ6は、2次元配列されたCCD撮像素子を用いたも
のであって、圧延ロールWの振動などによる画像ブレを
防止するために、複数のレンズを用いて開口数が小さく
焦点距離を長くした焦点深度の深いレンズ系を備えてい
る。[0006] More specifically, between the rolling roll (work roll) W of the second finishing stand of the hot finishing rolling mill in the steel sheet hot rolling process and the rolling roll (not shown) of the next finishing stand. The feed screw shaft 1 is provided in parallel with the longitudinal direction (roll axis direction) of the rolling roll W, and is rotated forward and reverse by a motor (not shown). A moving device 4 including a moving block 2 to be moved and an air cylinder 3 mounted on the upper surface of the moving block 2
Is provided. A box-shaped housing box 5 in which a transparent window glass plate 5a as a window is fitted on the front surface facing the peripheral surface of the rolling roll W is attached to the tip of the piston rod 3a of the air cylinder 3 of the moving device 4. Have been. The CCD camera 6 disposed in the housing box 5 uses a two-dimensionally arranged CCD image pickup device, and uses a plurality of lenses to prevent image blur due to vibration of the rolling roll W and the like. The lens system has a small numerical aperture and a long focal length, and a deep focal depth.
【0007】水柱形成ノズル8は、図8に示すように、
ハウジングボックス5の窓ガラス板5aに連通する水噴
出口を有し、加圧された水が供給されたときに、窓ガラ
ス板5aとロール冷却水が散水されながら回転している
圧延ロールW表面との間に水柱を形成するためのもので
ある。これにより、汚れを含んだロール冷却水によって
窓ガラス板5aが汚染されることを防ぎ、圧延ロール表
面静止画像が不鮮明になることを防止するようにしてい
る。円筒状をなす水柱形成ノズル8は、透明度を持つア
クリル樹脂製であり、ハウジングボックス5の前面に取
り付けられた状態で、圧力水供給管8aを介して図示し
ない供給源から加圧された水が内側に導入されるように
なっている。The water column forming nozzle 8 is, as shown in FIG.
A surface of a rolling roll W having a water jet port communicating with the window glass plate 5a of the housing box 5 and rotating while the window glass plate 5a and the roll cooling water are sprinkled when pressurized water is supplied. And to form a water column between them. As a result, the window glass plate 5a is prevented from being contaminated by the roll cooling water containing dirt, and the rolling roll surface still image is prevented from being unclear. The cylindrical water column forming nozzle 8 is made of an acrylic resin having transparency, and when attached to the front surface of the housing box 5, water pressurized from a supply source (not shown) through a pressure water supply pipe 8 a is used. It is to be introduced inside.
【0008】制御装置9は、外部からの検査開始信号S
1を受けてCCDカメラ6の垂直同期信号に同期させて
環状のキセノンランプ7を点灯させるとともに、CCD
カメラ6からのロール表面静止画像信号をフレームメモ
リ10に取り込み、表示指令信号S2を受けてフレーム
メモリ10に記憶(格納)されているロール表面静止画
像信号をCRTディスプレイ11に取り出す制御を行う
装置である。制御装置9、フレームメモリ10、CRT
ディスプレイ11及びイメージプリンタ12は検査室内
に配置されるようになっている。[0008] The control device 9 receives an external inspection start signal S.
1 to turn on the annular xenon lamp 7 in synchronization with the vertical synchronizing signal of the CCD camera 6,
A device for taking in a roll surface still image signal from the camera 6 into the frame memory 10 and receiving the display command signal S2 to take out the roll surface still image signal stored (stored) in the frame memory 10 to the CRT display 11. is there. Control device 9, frame memory 10, CRT
The display 11 and the image printer 12 are arranged in an inspection room.
【0009】前記構成になる光学式表面検査装置におい
ては、環状のキセノンランプ7及びCCDカメラ6がそ
の内側に配設されたハウジングボックス5が、圧延ロー
ルWに対し、その長手方向における所定の検査位置に位
置決めされると、制御装置9によってCCDカメラ6の
同期信号と環状のキセノンランプ7の点灯とが同期制御
される。キセノンランプ7からの照明光は、窓ガラス板
5a、及び水柱形成ノズル8による水柱を通って圧延ロ
ール表面に照射される。CCDカメラ6は、窓ガラス板
5a及び水柱を通して、ロール冷却水が散水されながら
回転している圧延ロールWの表面の像を撮像し、静止化
されたそのロール表面静止画像の信号を出力する。CC
Dカメラ6からのロール表面静止画像信号は、フレーム
メモリ10に格納される。移動装置4によってハウジン
グボックス5を圧延ロールWの長手方向に沿って移動さ
せながら前記のような動作が順次繰り返し行われる。In the optical surface inspection apparatus having the above-mentioned structure, the housing box 5 in which the annular xenon lamp 7 and the CCD camera 6 are disposed is provided so that the rolling box W can be inspected in a predetermined direction in the longitudinal direction. When positioned, the control device 9 controls the synchronization signal of the CCD camera 6 and the lighting of the annular xenon lamp 7 synchronously. Illumination light from the xenon lamp 7 passes through the window glass plate 5a and the water column formed by the water column forming nozzle 8, and is applied to the surface of the rolling roll. The CCD camera 6 captures an image of the surface of the rolling roll W rotating while the roll cooling water is being sprayed through the window glass plate 5a and the water column, and outputs a signal of the roll surface still image that has been stationary. CC
The roll surface still image signal from the D camera 6 is stored in the frame memory 10. The above operation is sequentially repeated while moving the housing box 5 along the longitudinal direction of the rolling roll W by the moving device 4.
【0010】圧延ロール表面の撮像が終了し、検査員の
操作により表示指令信号S2が制御装置9に入力される
と、フレームメモリ10に記憶されていたロール表面静
止画像信号が、撮像位置に対応して一画面分ごと順次取
り出され、CRTディスプレイ11に静止画像として表
示される。検査員は、モニタ表示された静止画像により
圧延ロール表面状態を観察し、その肌荒れの有無、肌荒
れの程度を検査するようにしている。図10は、圧延ロ
ールの表面静止画像の一例をスケッチした図であり、圧
延ロール表面の黒皮に生じた亀甲状の微細な割れ(図1
0(a)に示す)やこの黒皮が剥離してロールバンディ
ングが発生した状態(図10の(b)に示す)を知るこ
とができる。When the display command signal S2 is input to the control device 9 by the inspector's operation after the imaging of the roll surface is completed, the roll surface still image signal stored in the frame memory 10 corresponds to the imaging position. Then, the images are sequentially taken out for one screen and displayed on the CRT display 11 as still images. The inspector observes the state of the roll surface from the still image displayed on the monitor, and inspects the presence or absence of the surface roughness and the degree of the surface roughness. FIG. 10 is a diagram in which an example of a still image of the surface of the rolling roll is sketched, and a fine crack like a turtle formed on the black scale on the surface of the rolling roll (FIG. 1).
0 (a)) and the state (shown in FIG. 10 (b)) where the black scale has peeled off and roll banding has occurred.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】前述した従来の光学式
表面検査装置では、ロール交換作業が終了し、圧延ロー
ルWとしてロール表面研削が施された新たなものが圧延
スタンドにセットされ、ロール冷却水が散水されながら
熱間圧延が開始されると、まず、前記移動装置4の移動
ブロック2を圧延ロールWの長手方向における最初の検
査(観察)対応位置に移動させ、次いでそのエアシリン
ダ3のピストンロッド3aを伸長して、水柱形成ノズル
6が装着されたハウジングボックス5を圧延ロールWの
ロール表面に向けて前進させるようにしている。このと
き、前記ピストンロッドの伸長ストロークが固定された
一定値であり、ロール交換により圧延スタンドに表面研
削程度の異なる圧延ロールが新たにセットされる都度、
そのロール径が異なるために、圧延ロール表面と水柱形
成ノズル先端口との間隔距離が変化する。このように圧
延ロール径の変化に起因して前記間隔距離が予め設定さ
れた値よりはずれると、特に圧延ロール径が小径となっ
たときには、水柱形成ノズルによる水柱が圧延ロール表
面に散水されているロール冷却水によって乱されて水柱
内に気泡が多数発生することがあり、その際には、ロー
ル冷却水が散水されながら回転している圧延ロールの明
瞭な静止画像が得られなくなるという不具合があった。In the above-mentioned conventional optical surface inspection apparatus, the roll replacement operation is completed, a new roll W having been subjected to roll surface grinding is set on a rolling stand, and the roll is cooled. When hot rolling is started while water is sprinkled, first, the moving block 2 of the moving device 4 is moved to a position corresponding to the first inspection (observation) in the longitudinal direction of the rolling roll W, and then the air cylinder 3 is moved. The housing box 5 equipped with the water column forming nozzle 6 is advanced toward the roll surface of the rolling roll W by extending the piston rod 3a. At this time, each time the elongation stroke of the piston rod is a fixed and fixed value, and each time a rolling roll having a different surface grinding degree is newly set on the rolling stand by the roll exchange,
Since the roll diameters are different, the distance between the roll surface and the tip end of the water column forming nozzle changes. As described above, when the interval distance deviates from a preset value due to a change in the roll diameter, particularly when the roll diameter becomes small, the water column by the water column forming nozzle is sprayed on the roll surface. Many air bubbles may be generated in the water column by being disturbed by the roll cooling water, and in such a case, a clear still image of the rolling roll rotating while the roll cooling water is sprayed may not be obtained. Was.
【0012】また、前記のようにロール交換により圧延
スタンドにそのロール径寸法が前回のものとは異なる圧
延ロールがセットされた場合、圧延ロール自体の回転軸
位置が上下方向に移動することで圧延ロール周方向にお
ける撮像装置による撮像位置が位置変化し、これによっ
て圧延ロール表面における撮像位置と照明光の照射位置
とにずれが生じ、全体が明るくて見やすい明瞭な圧延ロ
ール表面静止画像が得られなくなるという不具合があっ
た。Further, as described above, when a roll having a roll diameter different from that of the previous roll is set on the rolling stand by the roll exchange as described above, the position of the rotating shaft of the roll itself moves up and down, thereby reducing the rolling. The imaging position of the imaging device in the roll circumferential direction changes, which causes a shift between the imaging position on the rolling roll surface and the irradiation position of the illumination light, and a clear rolling roll surface still image that is bright and easy to see as a whole cannot be obtained. There was a problem.
【0013】さらに、ロール交換によりロール径が変化
すると、撮像装置と圧延ロール表面間の距離が変化し、
焦点ずれが生じて明瞭な圧延ロール表面静止画像が得ら
れなくなるという不具合があった。Further, when the roll diameter changes due to the roll change, the distance between the imaging device and the roll surface changes,
There was a problem that defocus occurred and a clear still image of the roll surface could not be obtained.
【0014】そこで本発明の目的は、ロール径寸法が変
化した場合でも、ロール冷却水が散水されながら回転し
ている圧延ロールの明瞭な圧延ロール表面静止画像を得
ることができ、圧延中の圧延ロールの表面状態を正確に
観察し検査することができる圧延ロールの光学式表面検
査装置を提供することである。Accordingly, an object of the present invention is to obtain a clear still image of the rolling roll surface of the rolling roll rotating while the cooling water is being sprayed, even when the roll diameter is changed. An object of the present invention is to provide an optical surface inspection device for a roll, which can accurately observe and inspect the surface condition of the roll.
【0015】[0015]
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、圧延
ロールのロール長手方向に移動可能とされたハウジング
ボックスと、このハウジングボックスに装着され、回転
している圧延ロールの表面に加圧水を噴出し、ハウジン
グ前面の窓部と圧延ロール表面間に水柱を形成するため
の水柱形成ノズルと、前記ハウジングボックス内に配設
され、圧延ロール表面に前記窓部及び前記水柱を通して
照明光を照射する照明光源と、前記ハウジングボックス
内に配設され、前記照明光が照射されている圧延ロール
表面の像を前記水柱を介して撮像する撮像装置とを備
え、ロール冷却水が散水されながら回転している圧延ロ
ールの表面静止画像を得る圧延ロールの光学式表面検査
装置において、前記水柱形成ノズルと圧延ロール表面間
の距離を測定する変位センサと、前記変位センサの出力
信号に基づいて適正な水柱を形成する位置に前記ハウジ
ングボックスを圧延ロールに向けて進退させて位置決め
制御する水柱形成制御手段とを設けたことを特徴とする
ものである。According to the first aspect of the present invention, there is provided a housing box movable in the longitudinal direction of a rolling roll, and pressurized water is applied to the surface of the rolling roll mounted on the housing box and rotating. A water column forming nozzle for forming a water column between the window portion of the front surface of the housing and the surface of the rolling roll, and is provided in the housing box, and irradiates illumination light to the surface of the rolling roll through the window portion and the water column. An illumination light source and an imaging device disposed in the housing box and imaging the image of the surface of the rolling roll being irradiated with the illumination light through the water column, while the roll cooling water rotates while being sprinkled. In a rolling roll optical surface inspection apparatus for obtaining a still image of the surface of a rolling roll, a variable for measuring the distance between the water column forming nozzle and the surface of the rolling roll. And a water column formation control means for positioning and controlling the housing box by moving the housing box toward a rolling roll at a position where an appropriate water column is formed based on an output signal of the displacement sensor. is there.
【0016】請求項2の発明は、圧延ロールのロール長
手方向に移動可能とされたハウジングボックスと、この
ハウジングボックスに装着され、回転している圧延ロー
ルの表面に加圧水を噴出し、ハウジング前面の窓部と圧
延ロール表面間に水柱を形成するための水柱形成ノズル
と、前記ハウジングボックス内に配設され、圧延ロール
表面に前記窓部及び前記水柱を通して照明光を照射する
照明光源と、前記ハウジングボックス内に配設され、前
記照明光が照射されている圧延ロール表面の像を前記水
柱を介して撮像する撮像装置とを備え、ロール冷却水が
散水されながら回転している圧延ロールの表面静止画像
を得る圧延ロールの光学式表面検査装置において、前記
撮像装置を前記照明光源と一体に圧延ロールの軸線に直
交する直交平面内で揺動しうるカメラ・照明光源角度調
整機構と、照射光が照射されている圧延ロール表面の静
止画像上における圧延ロール周方向複数点の輝度レベル
を測定し、それらの輝度レベルが予め設定された範囲内
になるように前記カメラ・照明光源角度調整機構を駆動
制御して、圧延ロールに対する撮像装置及び照明光源の
狙い角度を調整し設定するカメラ・照明光源角度調整制
御手段とを設けたことを特徴とするものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided a housing box movable in the roll longitudinal direction of a rolling roll, and pressurized water is jetted onto a surface of the rolling roll mounted on the housing box and rotating, thereby forming a front surface of the housing. A water column forming nozzle for forming a water column between a window portion and a rolling roll surface; an illumination light source disposed in the housing box, for irradiating illumination light to the rolling roll surface through the window portion and the water column; and the housing. An image pickup device disposed in the box, for taking an image of the surface of the roll on which the illuminating light is radiated, through the water column, the surface of the roll being rotating while the roll cooling water is being sprayed. In an optical surface inspection device for a rolling roll for obtaining an image, the imaging device is integrated with the illumination light source in a plane orthogonal to the axis of the rolling roll. A swingable camera / illumination light source angle adjusting mechanism, and measuring the brightness level of a plurality of points in the circumferential direction of the rolling roll on a still image of the surface of the rolling roll being irradiated with the irradiation light, and the brightness levels thereof are set in advance. Driving control of the camera / illumination light source angle adjustment mechanism so as to fall within the range, and a camera / illumination light source angle adjustment control means for adjusting and setting the target angle of the imaging device and the illumination light source with respect to the rolling roll. It is a feature.
【0017】請求項3の発明は、圧延ロールのロール長
手方向に移動可能とされたハウジングボックスと、この
ハウジングボックスに装着され、回転している圧延ロー
ルの表面に加圧水を噴出し、ハウジング前面の窓部と圧
延ロール表面間に水柱を形成するための水柱形成ノズル
と、前記ハウジングボックス内に配設され、圧延ロール
表面に前記窓部及び前記水柱を通して照明光を照射する
照明光源と、前記ハウジングボックス内に配設され、前
記照明光が照射されている圧延ロール表面の像を前記水
柱を介して撮像する撮像装置とを備え、ロール冷却水が
散水されながら回転している圧延ロールの表面静止画像
を得る圧延ロールの光学式表面検査装置において、前記
撮像装置と前記照明光源とを一体に圧延ロールに向けて
進退するカメラ位置調整機構と、圧延ロール表面に可視
レーザ光による光スポットを照射する可視レーザ発光装
置と、撮像装置により得られた圧延ロール表面に照射さ
れた前記光スポットの画像に基づいて、圧延ロール表面
に照射された前記光スポットの像が撮像装置の合焦点位
置に結像するように前記カメラ位置調整機構を駆動制御
する焦点ずれ補正制御手段とを設けたことを特徴とする
ものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided a housing box movable in the longitudinal direction of the rolling roll, and pressurized water is jetted onto the surface of the rotating rolling roll mounted on the housing box to rotate the housing box. A water column forming nozzle for forming a water column between a window portion and a rolling roll surface; an illumination light source disposed in the housing box, for irradiating illumination light to the rolling roll surface through the window portion and the water column; and the housing. An image pickup device disposed in the box, for taking an image of the surface of the roll on which the illuminating light is radiated, through the water column, the surface of the roll being rotating while the roll cooling water is being sprayed. In an optical surface inspection device for a rolling roll for obtaining an image, a camera position in which the imaging device and the illumination light source are integrally moved toward and away from the rolling roll. An adjusting mechanism, a visible laser light emitting device that irradiates a light spot with visible laser light to the roll surface, and irradiating the roll surface based on an image of the light spot illuminated on the roll surface obtained by the imaging device. And a defocus correction control means for driving and controlling the camera position adjusting mechanism so that the image of the light spot formed at the focal point position of the image pickup device is provided.
【0018】[0018]
【作用】請求項1の発明による圧延ロールの光学式表面
検査装置においては、水柱形成ノズルによりハウジング
ボックス前面の窓部と圧延ロール表面間に水柱が形成さ
れ、ロール冷却水が散水されながら回転している圧延ロ
ールの表面に前記窓部及び水柱を通してハウジングボッ
クス内の照明光源から照射光が照射され、その照射光が
照射されている圧延ロール表面の像がハウジングボック
ス内の撮像装置により前記水柱を介して撮像され、得ら
れたその圧延ロール表面静止画像により圧延ロールの表
面状態の観察・検査が行われる。そして、水柱形成ノズ
ルにより水柱を形成するにあたり、変位センサにより水
柱形成ノズルと圧延ロール表面間の距離が測定され、水
柱形成制御手段は、前記変位センサの出力信号に基づい
て適正な水柱を形成する位置に、水柱形成ノズルが装着
されたハウジングボックスを圧延ロールに向けて進退さ
せて位置決めする。これにより、ロール交換等により圧
延ロールのロール径が変化しても、水柱形成ノズル先端
口と圧延ロール表面との間隔距離が予め設定された設定
値に保たれるので、水柱形成の乱れが生じることがな
い。In the optical surface inspection apparatus for a rolling roll according to the first aspect of the present invention, a water column is formed between a window in the front of the housing box and the surface of the rolling roll by a water column forming nozzle, and the roll cooling water rotates while being sprinkled. Irradiation light is radiated from the illumination light source in the housing box through the window and the water column on the surface of the rolling roll that is being lit, and an image of the surface of the rolling roll being irradiated with the radiated light is projected on the water column by an imaging device in the housing box. Observation / inspection of the surface condition of the rolling roll is performed by using the obtained still image of the rolling roll surface that is imaged through. In forming the water column by the water column forming nozzle, the distance between the water column forming nozzle and the surface of the rolling roll is measured by the displacement sensor, and the water column forming control unit forms an appropriate water column based on the output signal of the displacement sensor. At this position, the housing box provided with the water column forming nozzle is moved forward and backward toward the rolling roll and positioned. Thereby, even if the roll diameter of the rolling roll changes due to roll exchange or the like, the distance between the tip end of the water column forming nozzle and the surface of the rolling roll is kept at a preset value. Nothing.
【0019】また、請求項2の発明による圧延ロールの
光学式表面検査装置においては、水柱形成ノズルにより
ハウジングボックス前面の窓部と圧延ロール表面間に水
柱が形成され、ロール冷却水が散水されながら回転して
いる圧延ロールの表面に前記窓部及び水柱を通してハウ
ジングボックス内の照明光源から照射光が照射され、そ
の照射光が照射されている圧延ロール表面の像がハウジ
ングボックス内の撮像装置により前記水柱を介して撮像
され、得られたその圧延ロール表面静止画像により圧延
ロールの表面状態の観察・検査が行われる。そして、照
射光が照射されている圧延ロール表面の像を撮像装置に
より撮像するにあたり、撮像装置を照明光源と一体に圧
延ロールの軸線に直交する直交平面内で揺動しうるカメ
ラ・照明光源角度調整機構が設けられており、カメラ・
照明光源角度調整制御手段は、照射光が照射されている
圧延ロール表面の静止画像上における圧延ロール周方向
複数点の輝度レベルを測定し、それらの輝度レベルが予
め設定された範囲内になるように前記カメラ・照明光源
角度調整機構を駆動制御して、圧延ロール周方向に関し
圧延ロールに対する撮像装置及び照明光源の狙い角度を
調整し設定する。これにより、ロール交換等により圧延
ロールのロール径が変化しても、撮像装置の光軸と斜方
照明を行う照明光源の光軸との交点がほぼ圧延ロール表
面に位置されるようになるので、全体が明るくて見やす
い明瞭な圧延ロール表面静止画像を得ることができる。In the optical roll surface inspection apparatus according to the second aspect of the present invention, a water column is formed between the window on the front surface of the housing box and the surface of the roll by the water column forming nozzle, and the roll cooling water is sprinkled. Irradiation light is radiated from the illumination light source in the housing box through the window and the water column to the surface of the rolling roll that is rotating, and an image of the roll surface irradiated with the irradiation light is imaged by an imaging device in the housing box. Observation / inspection of the surface condition of the rolling roll is performed using the obtained still image of the rolling roll surface imaged through the water column. Then, when an image of the surface of the rolling roll irradiated with the irradiation light is taken by the imaging device, the camera / illumination light source angle which can swing the imaging device together with the illumination light source in an orthogonal plane orthogonal to the axis of the rolling roll. An adjustment mechanism is provided for the camera
The illumination light source angle adjustment control unit measures the brightness levels of a plurality of points in the circumferential direction of the rolling roll on a still image of the surface of the rolling roll to which the irradiation light is applied, so that the brightness levels are within a preset range. Then, the camera / illumination light source angle adjusting mechanism is drive-controlled to adjust and set the target angles of the imaging device and the illumination light source with respect to the rolling roll in the circumferential direction of the rolling roll. Thus, even if the roll diameter of the rolling roll changes due to roll replacement or the like, the intersection between the optical axis of the imaging device and the optical axis of the illumination light source that performs oblique illumination is located almost on the surface of the rolling roll. Thus, a clear still image of the rolling roll surface which is bright and easy to see can be obtained.
【0020】また、請求項3の発明による圧延ロールの
光学式表面検査装置においては、水柱形成ノズルにより
ハウジングボックス前面の窓部と圧延ロール表面間に水
柱が形成され、ロール冷却水が散水されながら回転して
いる圧延ロールの表面に前記窓部及び水柱を通してハウ
ジングボックス内の照明光源から照射光が照射され、そ
の照射光が照射されている圧延ロール表面の像がハウジ
ングボックス内の撮像装置により前記水柱を介して撮像
され、得られたその圧延ロール表面静止画像により圧延
ロールの表面状態の観察・検査が行われる。そして、照
射光が照射されている圧延ロール表面の像を撮像装置に
より撮像するにあたり、撮像装置と照明光源とを一体に
圧延ロールに向けて進退するカメラ位置調整機構が設け
られており、可視レーザ発光装置により圧延ロール表面
に可視レーザ光による光スポットが照射されると、焦点
ずれ補正制御手段は、撮像装置により得られた圧延ロー
ル表面に照射された前記光スポットの画像に基づいて、
圧延ロール表面に照射された前記光スポットの像が(前
記光スポットの反射光が)撮像装置の合焦点位置に結像
するように前記カメラ位置調整機構を駆動制御する。こ
れにより、ロール交換等により圧延ロールのロール径が
変化しても、撮像装置の焦点ずれの補正が行われて明瞭
な圧延ロール表面静止画像を得ることができる。Further, in the optical surface inspection apparatus for a rolling roll according to the third aspect of the present invention, a water column is formed between the window on the front surface of the housing box and the surface of the rolling roll by the water column forming nozzle, and the roll cooling water is sprinkled. Irradiation light is radiated from the illumination light source in the housing box through the window and the water column to the surface of the rolling roll that is rotating, and an image of the roll surface irradiated with the irradiation light is imaged by an imaging device in the housing box. Observation / inspection of the surface condition of the rolling roll is performed using the obtained still image of the rolling roll surface imaged through the water column. When an image of the surface of the rolling roll irradiated with the irradiation light is captured by the imaging device, a camera position adjustment mechanism that integrally moves the imaging device and the illumination light source toward the rolling roll is provided. When the light spot by the visible laser light is irradiated on the rolling roll surface by the light emitting device, the defocus correction control means, based on the image of the light spot irradiated on the rolling roll surface obtained by the imaging device,
The camera position adjusting mechanism is driven and controlled such that an image of the light spot irradiated on the surface of the rolling roll (reflected light of the light spot) forms an image at a focal point of an imaging device. Thereby, even if the roll diameter of the rolling roll changes due to roll replacement or the like, the defocus of the imaging device is corrected, and a clear rolling roll surface still image can be obtained.
【0021】[0021]
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明を説明する。
図1は本発明に係る圧延ロールの光学式表面検査装置の
構成を示す概略構成説明図、図2は側面から見たときの
同光学式表面検査装置の構成を示す概略構成説明図であ
る。なお、前記図8に示される従来の圧延ロールの光学
式表面検査装置と同一または相当部分には図8と同一の
符号を付して説明を省略するものとする。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on embodiments.
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating the configuration of an optical surface inspection device for a rolling roll according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram illustrating the configuration of the optical surface inspection device when viewed from the side. The same or corresponding portions as those of the conventional rolling roll optical surface inspection apparatus shown in FIG. 8 are denoted by the same reference numerals as those in FIG. 8 and will not be described.
【0022】図1、図2に示すように、圧延ロールWに
対向して配されるハウジングボックス5内に設けられた
板状の支持台20上には、支持ブラケット21の支持軸
22を中心に揺動自在に撮像装置としてのCCDカメラ
6が設けられている。このCCDカメラ6の先端近傍側
部の左右には、取付けブラケット23によって可視レー
ザ発光装置24とストロボ式の照明光源としての集光レ
ンズ25a付きのキセノンランプ25とが、図1に示す
ように、各光軸がCCDカメラ6の光軸と交わる状態で
配置されている。前記キセノンランプ25は、平面視に
おいてその光軸がCCDカメラ6の光軸と角度θをなし
て交わる状態で、取付けブラケット23によりCCDカ
メラ6に取り付けられている。すなわち、CCDカメラ
6の光軸に対して斜め方向から照明を行う斜方照明によ
り、正反射の悪影響によるハレーションの発生を避ける
ことができるようになされており、前記角度θは、例え
ば約27°程度に設定されるものである。集光レンズ2
4aを有する前記可視レーザ発光装置24は、CCDカ
メラ6の後述する焦点ずれの補正を行うために用いるも
のであって、圧延ロールW表面に可視レーザによる円形
の光スポットを照射するためのものである。As shown in FIGS. 1 and 2, a support shaft 22 of a support bracket 21 is centered on a plate-like support base 20 provided in a housing box 5 arranged opposite to a roll W. A CCD camera 6 as an imaging device is provided so as to swing freely. As shown in FIG. 1, a visible laser light emitting device 24 and a xenon lamp 25 with a condenser lens 25a as a strobe-type illumination light source are mounted on the left and right sides near the tip of the CCD camera 6 by a mounting bracket 23, as shown in FIG. Each optical axis is arranged so as to intersect with the optical axis of the CCD camera 6. The xenon lamp 25 is attached to the CCD camera 6 by the attachment bracket 23 in a state where its optical axis crosses the optical axis of the CCD camera 6 at an angle θ in plan view. That is, the oblique illumination that illuminates the optical axis of the CCD camera 6 from an oblique direction can prevent the occurrence of halation due to the adverse effect of the regular reflection, and the angle θ is, for example, about 27 °. It is set to the degree. Condensing lens 2
The visible laser light-emitting device 24 having 4a is used to correct a later-described defocus of the CCD camera 6, and irradiates a circular light spot by a visible laser to the surface of the rolling roll W. is there.
【0023】前記支持台20上には第1モータ26が固
定され、その駆動軸には偏心カム27が設けられている
一方、CCDカメラ6の後端部にはレバー28が固定さ
れている。そして、前記偏心カム27は、コイルばね2
9によって常時下方に押し下げられている前記レバー2
8の下面に当接している。それにより、第1モータ26
の駆動により偏心カム27が回動する時、CCDカメラ
6は、取付けブラケット23に固定したキセノンランプ
25及び可視レーザ発光装置24とともに支持軸22を
中心に揺動し、圧延ロールWの軸線に直交する直交平面
内で揺動可能となされている。A first motor 26 is fixed on the support base 20, and an eccentric cam 27 is provided on a drive shaft of the first motor 26, while a lever 28 is fixed on a rear end of the CCD camera 6. The eccentric cam 27 is provided with the coil spring 2
The lever 2 which is constantly pushed down by the lever 9
8 is in contact with the lower surface. Thereby, the first motor 26
When the eccentric cam 27 is rotated by the drive of, the CCD camera 6 swings around the support shaft 22 together with the xenon lamp 25 and the visible laser light emitting device 24 fixed to the mounting bracket 23, and is orthogonal to the axis of the rolling roll W. Swingable in a perpendicular plane.
【0024】前記支持ブラケット21、支持軸22、第
1モータ26、偏心カム27、レバー28及びコイルば
ね29は、CCDカメラ6をキセノンランプ25と一体
に圧延ロールWの軸線に直交する直交平面内で揺動しう
るカメラ・照明光源角度調整機構を構成している。The support bracket 21, the support shaft 22, the first motor 26, the eccentric cam 27, the lever 28 and the coil spring 29 make the CCD camera 6 integral with the xenon lamp 25 in an orthogonal plane perpendicular to the axis of the rolling roll W. This constitutes a camera / illumination light source angle adjustment mechanism that can swing.
【0025】また、前記支持台20は、ハウジングボッ
クス5内に固定したリニアスライダ30上で圧延ロール
W方向に進退可能に摺動自在に設けられている。支持台
20の後方下面に固定したねじブラケット31に移送ね
じ32を螺合し、この移送ねじ32を第2モータ33に
よって回転することにより、支持台20を圧延ロールW
方向に移動可能とし、支持台20上のCCDカメラ6等
の機器を圧延ロールW方向に進退可能としている。The support base 20 is slidably provided on a linear slider 30 fixed in the housing box 5 so as to advance and retreat in the direction of the rolling roll W. A transfer screw 32 is screwed into a screw bracket 31 fixed to the lower rear surface of the support base 20, and the transfer screw 32 is rotated by a second motor 33, so that the support base 20 is rolled into a roll W
The apparatus such as the CCD camera 6 on the support base 20 can move forward and backward in the rolling roll W direction.
【0026】前記支持台20、リニアスライダ30、ね
じブラケット31、移送ねじ32及び第2モータ33
は、CCDカメラ6とキセノンランプ25及び可視レー
ザ発光装置24を一体に圧延ロールWに向けて進退する
カメラ位置調整機構を構成している。The support 20, the linear slider 30, the screw bracket 31, the transfer screw 32 and the second motor 33
Constitutes a camera position adjusting mechanism for integrally moving the CCD camera 6, the xenon lamp 25 and the visible laser light emitting device 24 toward the rolling roll W.
【0027】ハウジングボックス5の圧延ロールWに対
向する部分には窓部である窓ガラス板5aが設けられ、
その前面には水柱形成ノズル8が装着されている。水柱
形成ノズル8の上部には圧力水供給管8aが設けられ、
水柱形成ノズル8の移動の際にノズル先端が圧延ロール
表面と衝突して損傷することのないように、水柱形成ノ
ズル8の先端部には、その周縁に嵌め込まれる状態でゴ
ム製の弾性筒体34が取り付けられている。圧力水供給
管8aから導入された高圧の水は、水柱形成ノズル8に
入り、水柱形成ノズル先端口8bから弾性筒体34に案
内されて圧延ロールWの表面に噴出し水柱を形成する。
弾性筒体34は、図2に示すように、圧延ロール周方向
において、その先端部が円弧状をなす圧延ロール表面の
変化に柔軟に対応して圧延ロール表面に接触しうるもの
であるから、これによって水柱のより確実な形成に役立
つようになっている。A window glass plate 5a, which is a window, is provided at a portion of the housing box 5 facing the rolling roll W.
A water column forming nozzle 8 is mounted on the front surface thereof. A pressure water supply pipe 8a is provided at the upper part of the water column forming nozzle 8,
In order to prevent the nozzle tip from colliding with the surface of the rolling roll and being damaged when the water column forming nozzle 8 is moved, a rubber elastic cylindrical body is fitted to the tip of the water column forming nozzle 8 so as to be fitted on the peripheral edge thereof. 34 are attached. The high-pressure water introduced from the pressurized water supply pipe 8a enters the water column forming nozzle 8, is guided by the elastic cylinder 34 from the water column forming nozzle tip port 8b, and jets out on the surface of the rolling roll W to form a water column.
As shown in FIG. 2, the elastic cylindrical body 34 can contact the rolling roll surface in a circumferential direction of the rolling roll in such a manner that the tip thereof flexibly responds to a change in the rolling roll surface having an arc shape. This helps to form the water column more reliably.
【0028】ハウジングボックス5は、移動装置4を構
成するエアシリンダ3のピストンロッド3aの端部に固
定されたテーブル35上に、図示しないガイドレール及
びガイドローラにより前後方向に移動自在に支持されて
いる。そして、ハウジングボックス5の前面側部には、
そのセンサ部を圧延ロールWの表面に対向させて非接触
式の変位センサとしての渦電流式変位センサ36が配設
されている。また、ハウジングボックス5の後端面には
ラック37を突設しており、このラック37に対して
は、前記テーブル35に固定された第3モータ38の駆
動軸に固定したピニオン39が噛み合っている。これに
より、渦電流式変位センサ36で水柱形成ノズル8の先
端口8bと圧延ロール表面との距離を測定し、その測定
値を表す渦電流式変位センサ36の出力信号に基づいて
第3モータ38を駆動して、水柱形成ノズル先端口8b
の位置と圧延ロール表面との間隔距離を予め設定された
設定値に保持できるようになっている。The housing box 5 is supported on a table 35 fixed to the end of the piston rod 3a of the air cylinder 3 constituting the moving device 4 by a guide rail and guide rollers (not shown) so as to be movable in the front-rear direction. I have. Then, on the front side of the housing box 5,
An eddy current type displacement sensor 36 as a non-contact type displacement sensor is provided with its sensor section facing the surface of the rolling roll W. A rack 37 protrudes from the rear end surface of the housing box 5, and a pinion 39 fixed to a drive shaft of a third motor 38 fixed to the table 35 meshes with the rack 37. . Thereby, the distance between the tip end 8b of the water column forming nozzle 8 and the surface of the rolling roll is measured by the eddy current type displacement sensor 36, and the third motor 38 based on the output signal of the eddy current type displacement sensor 36 indicating the measured value. To drive the water column forming nozzle tip port 8b
And the distance between the roll and the surface of the rolling roll can be maintained at a preset value.
【0029】前記テーブル35、ラック37、第3モー
タ38、ピニオン39及び後述するノズル位置制御回路
52は、前記渦電流式変位センサ36の出力信号に基づ
いて適正な水柱を形成する位置にハウジングボックス5
を圧延ロールWに向けて進退させて位置決め制御する水
柱形成制御手段を構成している。The table 35, the rack 37, the third motor 38, the pinion 39, and the nozzle position control circuit 52, which will be described later, are provided at a position where a proper water column is formed based on the output signal of the eddy current displacement sensor 36. 5
Is formed toward the rolling roll W to form a water column forming control means for performing positioning control.
【0030】図3は図1に示す光学式表面検査装置の電
気制御系統を示すブロック図である。同図において、5
0は外部からの操作指令信号に基づく装置全体の制御、
カメラ・照明光源角度調整制御における輝度レベルの判
定処理、焦点ずれ補正制御における焦点ずれの有無につ
いての判定処理等を行う制御装置である。この制御装置
50は、CPU(中央処理部)、制御プログラムが記憶
・格納されたROM(読出し専用メモリ)、制御用デー
タ等が記憶・格納されたRAM(随時読出し書込みメモ
リ)、及び入出力インターフェース等を備えたマイクロ
コンピュータを用いて構成されている。FIG. 3 is a block diagram showing an electric control system of the optical surface inspection apparatus shown in FIG. In FIG.
0 is control of the entire apparatus based on an external operation command signal,
This is a control device that performs a process of determining a luminance level in the camera / illumination light source angle adjustment control, a process of determining the presence or absence of defocus in the defocus correction control, and the like. The control device 50 includes a CPU (central processing unit), a ROM (read-only memory) storing and storing a control program, a RAM (randomly reading and writing memory) storing and storing control data and the like, and an input / output interface. And the like.
【0031】51は、制御装置50からの撮像指令信号
等を受けて、CCDカメラ6の画像信号の取り込み、そ
の読み出し等を行う信号処理装置である。52は、制御
装置50からの位置決め指令信号を受けて、水柱形成ノ
ズル8が装着されたハウジングボックス5を進退させる
ための第3モータ38を渦電流式変位センサ36の出力
信号に基づき駆動制御するノズル位置制御回路である。
このノズル位置制御回路52は、間隔距離設定器、渦電
流式変位センサ出力増幅器、比較器、モータ駆動回路等
を備えてなるものである。Reference numeral 51 denotes a signal processing device which receives an image pickup command signal and the like from the control device 50 and takes in and reads out an image signal of the CCD camera 6. 52 receives a positioning command signal from the control device 50, and drives and controls the third motor 38 for moving the housing box 5 on which the water column forming nozzle 8 is mounted to advance and retreat based on the output signal of the eddy current displacement sensor 36. This is a nozzle position control circuit.
The nozzle position control circuit 52 includes an interval distance setting device, an eddy current displacement sensor output amplifier, a comparator, a motor drive circuit, and the like.
【0032】53は第1モータ26の駆動回路、54は
第2モータ33の駆動回路である。55は、制御装置5
0から前記撮像指令信号に同期して与えられる閃光指令
信号を受けて、キセノンランプ25の点灯制御を行う光
源制御装置である。この光源制御装置55は、発光用電
源、発光電圧調整回路、点灯(閃光)トリガ回路等を備
えてなるものである。なお、可視レーザ発光装置24
は、制御装置50から発光指令信号が与えられるように
なっている。Reference numeral 53 denotes a drive circuit for the first motor 26, and reference numeral 54 denotes a drive circuit for the second motor 33. 55 is the control device 5
The light source control device controls the lighting of the xenon lamp 25 in response to a flash command signal given in synchronization with the imaging command signal from 0. The light source control device 55 includes a light emitting power supply, a light emitting voltage adjusting circuit, a lighting (flash) trigger circuit, and the like. The visible laser light emitting device 24
Is configured to receive a light emission command signal from the control device 50.
【0033】前記制御装置50及び第1モータ駆動回路
53は、前述したカメラ・照明光源角度調整機構を駆動
制御して、圧延ロールに対する撮像装置及び照明光源の
狙い角度を調整し設定するカメラ・照明光源角度調整制
御手段を構成している。また、制御装置50及び第2モ
ータ駆動回路54は、焦点ずれの補正を行うための前述
したカメラ位置調整機構を駆動制御する焦点ずれ補正制
御手段を構成している。The control device 50 and the first motor drive circuit 53 drive and control the above-described camera / illumination light source angle adjustment mechanism to adjust and set the target angles of the imaging device and the illumination light source with respect to the rolling roll. It constitutes a light source angle adjustment control means. Further, the control device 50 and the second motor drive circuit 54 constitute a defocus correction control unit that drives and controls the above-described camera position adjustment mechanism for correcting defocus.
【0034】次に、このように構成される装置の動作を
説明する。ロール交換作業が終了し、圧延ロールWとし
てロール表面研削が施された新たなものが圧延スタンド
にセットされ、ロール冷却水が散水されながら熱間圧延
が開始されると、まず、移動装置4の図示しないモータ
によってその送りねじ軸1を回転させて、移動ブロック
2を圧延ロールWの長手方向における最初の検査(観
察)対応位置に移動させる。次いでエアシリンダ3のピ
ストンロッド3aを伸長して、水柱形成ノズル8が装着
されたハウジングボックス5を圧延ロールWのロール表
面に向けて前進させる。Next, the operation of the thus configured apparatus will be described. When the roll exchange operation is completed, a new roll having been subjected to roll surface grinding is set as a rolling roll W on a rolling stand, and hot rolling is started while spraying roll cooling water. The feed screw shaft 1 is rotated by a motor (not shown) to move the moving block 2 to a position corresponding to the first inspection (observation) in the longitudinal direction of the rolling roll W. Next, the piston rod 3a of the air cylinder 3 is extended, and the housing box 5 equipped with the water column forming nozzle 8 is advanced toward the roll surface of the rolling roll W.
【0035】ここで、前記ピストンロッド3aの伸長ス
トロークが予め定められた一定値であり、ロール交換に
より圧延スタンドに表面研削程度の異なる圧延ロールが
新たにセットされる都度、そのロール径が異なるため
に、水柱形成ノズル先端口8bと圧延ロール表面との間
隔距離が変化する。このように圧延ロール径の変化に起
因して前記間隔距離が予め設定された値より大きくなる
と、水柱形成ノズル8による水柱が乱れ、水柱内に気泡
を多数生じることとなる。このような水柱の乱れによ
り、圧延ロールの明瞭な静止画像が得られず、圧延ロー
ル表面状態を正確に観察し検査することができなくな
る。Here, the elongation stroke of the piston rod 3a is a predetermined constant value, and the roll diameter is different each time a new roll having a different degree of surface grinding is newly set on the rolling stand by replacing the roll. Next, the distance between the tip 8b of the water column forming nozzle and the roll surface changes. If the interval distance becomes larger than a preset value due to the change in the diameter of the rolling roll, the water column formed by the water column forming nozzle 8 is disturbed, and many bubbles are generated in the water column. Due to such turbulence of the water column, a clear still image of the rolling roll cannot be obtained, and the surface condition of the rolling roll cannot be accurately observed and inspected.
【0036】そのため、エアシリンダ3の作動終了後に
制御装置50から与えられる位置決め指令信号を受け
て、ノズル位置制御回路52は、渦電流式変位センサ3
6によって測定された水柱形成ノズル先端口8bと圧延
ロール表面との間隔距離と、適正な水柱を形成するため
に予め設定された間隔距離設定値とを比較し、前記間隔
距離が前記間隔距離設定値となるように第3モータ38
を駆動して、ピニオン39とラック37の噛み合いによ
りハウジングボックス5を進退させて位置決めする。Therefore, upon receiving the positioning command signal given from the control device 50 after the operation of the air cylinder 3 is completed, the nozzle position control circuit 52
6, the distance between the water column forming nozzle tip port 8b and the roll surface is compared with a predetermined distance setting value for forming an appropriate water column, and the distance is determined by the distance distance setting. The third motor 38
Is driven to move the housing box 5 forward and backward by the engagement of the pinion 39 and the rack 37 for positioning.
【0037】これにより、ロール交換によって圧延スタ
ンドにそのロール径寸法が前回のものとは異なる圧延ロ
ールがセットされた場合でも、水柱形成ノズル先端口8
bと圧延ロール表面との間隔距離が適正な水柱を形成し
うる予め設定された設定値になるように自動調節される
ので、気泡発生等の乱れのない安定した水柱を水柱形成
ノズル8により形成することができる。Thus, even if a roll having a different diameter from the previous roll is set on the rolling stand by the roll change, the water column forming nozzle tip 8 can be used.
Since the distance between b and the roll surface is automatically adjusted so as to be a preset value capable of forming an appropriate water column, a stable water column free from disturbance such as generation of bubbles is formed by the water column forming nozzle 8. can do.
【0038】一方、ロール交換により圧延スタンドにそ
のロール径寸法が前回のものとは異なる圧延ロールがセ
ットされた場合、図2に示すように、圧延ロール周方向
におけるCCDカメラ6による撮像位置が前回位置より
位置変化し、これによってCCDカメラ6の光軸とキセ
ノンランプ25の光軸との交点が圧延ロール表面に位置
しなくなり、圧延ロール表面におけるCCDカメラ6に
よる撮像位置とキセノンランプ25による照明光の照射
位置とにずれが生じて、全体が明るく見やすい圧延ロー
ル表面の静止画像が得られなくなる。On the other hand, when a roll having a roll diameter different from that of the previous roll is set on the rolling stand by the roll exchange, as shown in FIG. As a result, the intersection between the optical axis of the CCD camera 6 and the optical axis of the xenon lamp 25 is no longer located on the surface of the rolling roll, and the imaging position of the CCD camera 6 on the surface of the rolling roll and the illumination light from the xenon lamp 25 are changed. , And a still image of the roll surface that is bright and easy to see cannot be obtained.
【0039】そのため、前記のようにして適正な水柱形
成ができるように水柱形成ノズル8の位置決めを行った
後に、次いで、全体が明るく見やすい圧延ロール表面の
静止画像を得るべく圧延ロールWに対するCCDカメラ
6及びキセノンランプ25の狙い角度を調整し設定する
カメラ・照明光源角度調整制御を行う。Therefore, after the water column forming nozzle 8 is positioned so as to form an appropriate water column as described above, the CCD camera for the roll W is then moved to obtain a still image of the entire roll surface which is bright and easy to see. The camera / illumination light source angle adjustment control for adjusting and setting the target angle of the xenon lamp 6 and the xenon lamp 25 is performed.
【0040】まず、制御装置50は、光源制御装置55
に閃光指令信号を与えてキセノンランプ25を短時間
(1〜10μs程度)点灯させるとともに信号処理装置
51に撮像指令信号を与える。撮像指令信号を受けて信
号処理装置51は、キセノンランプ25の点灯に同期し
てCCDカメラ6からの圧延ロール表面の静止画像信号
を取り込む。そして制御装置50は、信号処理装置51
よりその静止画像信号を取り込む。First, the control device 50 includes a light source control device 55
, The xenon lamp 25 is turned on for a short time (about 1 to 10 μs), and an imaging command signal is given to the signal processing device 51. Upon receiving the imaging command signal, the signal processing device 51 fetches a still image signal of the surface of the rolling roll from the CCD camera 6 in synchronization with the turning on of the xenon lamp 25. Then, the control device 50 includes a signal processing device 51
The still image signal is taken in.
【0041】図4はカメラ・照明光源角度調整制御にお
いて圧延ロール表面静止画像の輝度レベルを測定するた
めの、CCDカメラ6のCCD撮像素子(多数の受光素
子を二次元配列してなるもの)における輝度レベル測定
点を説明するための図である。図4において、三つの測
定点K1 〜K3 は、照射光が照射されている圧延ロール
表面の静止画像上における圧延ロール周方向に沿う点の
輝度レベルを測定するために設定されたものである。測
定点K2 はCCDカメラ6のCCD撮像素子の中心にお
ける複数画素よりなる部分を示し、測定点K1 はCCD
撮像素子の中心を通る縦中心線CL上にあって、測定点
K2 より上方に距離Lだけ離れた位置における複数画素
よりなる部分を示し、測定点K3 は、CCD撮像素子の
縦中心線CL上にあって、測定点K2 より下方に距離L
だけ離れた位置における複数画素よりなる部分を示すも
のである。FIG. 4 shows a CCD image pickup element (a plurality of light receiving elements arranged two-dimensionally) of a CCD camera 6 for measuring the brightness level of a still image of a rolling roll surface in camera / illumination light source angle adjustment control. FIG. 4 is a diagram for explaining a luminance level measurement point. In FIG. 4, three measurement points K 1 to K 3 are set to measure the luminance level of a point along the rolling roll circumferential direction on a still image of the rolling roll surface irradiated with the irradiation light. is there. Measurement point K 2 represents a part comprising a plurality of pixels at the center of the CCD image sensor of the CCD camera 6, the measurement points K 1 is CCD
On the vertical center line CL passing through the center of the image sensor, a portion composed of a plurality of pixels at a position separated by a distance L above the measurement point K 2 is shown. The measurement point K 3 is a vertical center line of the CCD image sensor. It is on CL, the distance L from the measurement point K 2 downward
3 shows a portion composed of a plurality of pixels at positions separated by only a distance.
【0042】さて、制御装置50により、信号処理装置
51から取り込まれた静止画像信号に基づいて、その静
止画像上の前記三つの点K1 〜K3 における輝度レベル
が予め設定された一定の範囲内にあるか否かの判定が行
われる。すなわち、前述したCCD撮像素子における測
定点K1 の輝度レベル(画素からの明るさレベルに対応
する出力)をQ1 、測定点K2 の輝度レベルをQ2 、測
定点K3 の輝度レベルをQ3 とし、輝度レベル下限値を
QMIN 、輝度レベル上限値をQMAX とすると、前記取り
込まれた静止画像信号に基づいて、下記の関係式が満
足されているか否かを判定する。Now, based on the still image signal fetched from the signal processing device 51, the control device 50 adjusts the luminance levels at the three points K 1 to K 3 on the still image in a predetermined range. Is determined. That, Q 1 a (output corresponding to the brightness level of the pixel) luminance level of the measurement points K 1 in the CCD image pickup device described above, the luminance level Q 2 measurement points K 2, the luminance level of the measurement point K 3 and Q 3, determines the luminance level lower limit value Q MIN, when the luminance level upper limit and Q MAX, based on the captured still image signal, whether the following relational expression is satisfied.
【0043】QMIN ≦Q1 ,Q2 ,Q3 ≦QMAX …Q MIN ≤ Q 1 , Q 2 , Q 3 ≤ Q MAX ...
【0044】判定の結果、前記関係式が満たされてい
なければ、制御装置50は、輝度レベルQ1 と輝度レベ
ルQ3 とを比較し、Q1 >Q3 であれば、第1モータ駆
動回路53に駆動指令信号を与え第1モータ26を駆動
して予め定めた回転角度だけ偏心カム27を回動して、
CCDカメラ6の光軸とキセノンランプ25の光軸との
交点が、CCDカメラ6から見てそれ以前よりも上方に
位置するようにする。次いで、再びキセノンランプ25
を点灯し、信号処理装置51から静止画像信号を読み込
み、その静止画像信号に基づいて前記関係式が満足さ
れているか否かの判定を行う。このような動作を前記関
係式が満足されるまで繰り返し行う。なお、前記とは
逆に、輝度レベルQ1 <輝度レベルQ3 であれば、予め
定めた回転角度だけ偏心カム27を回動して、CCDカ
メラ6の光軸とキセノンランプ25の光軸との交点が、
CCDカメラ6から見てそれ以前よりも下方に位置する
ようにすればよい。具体的には、第1モータ26による
カメラ・照明光源角度調整制御は、CCDカメラ6の光
軸を、角度±0.01°程度の精度にて水平から±3°
の範囲内で調整を行うようになっている。As a result of the judgment, if the above relational expression is not satisfied, the control device 50 compares the luminance level Q 1 with the luminance level Q 3, and if Q 1 > Q 3 , the first motor drive circuit A drive command signal is given to 53 to drive the first motor 26 to rotate the eccentric cam 27 by a predetermined rotation angle,
The intersection between the optical axis of the CCD camera 6 and the optical axis of the xenon lamp 25 is positioned higher than before the CCD camera 6. Next, the xenon lamp 25
Is turned on, a still image signal is read from the signal processing device 51, and it is determined whether or not the relational expression is satisfied based on the still image signal. Such an operation is repeated until the above relational expression is satisfied. Conversely, if the brightness level Q 1 <the brightness level Q 3 , the eccentric cam 27 is rotated by a predetermined rotation angle, and the optical axis of the CCD camera 6 and the optical axis of the xenon lamp 25 are shifted. The intersection of
What is necessary is just to position it below the CCD camera 6 before it. Specifically, the camera / illumination light source angle adjustment control by the first motor 26 adjusts the optical axis of the CCD camera 6 from horizontal to ± 3 ° with an accuracy of about ± 0.01 °.
The adjustment is made within the range of.
【0045】ロール交換により圧延スタンドにそのロー
ル径寸法が前回のものとは異なる圧延ロールがセットさ
れた場合でも、このようにして、キセノンランプ25に
よる照射光が照射されている圧延ロール表面の静止画像
上における圧延ロール周方向複数点の輝度レベルを測定
し、それらの輝度レベルが予め設定された範囲内になる
ように圧延ロール周方向に関し圧延ロールWに対するC
CDカメラ6及びキセノンランプ25の狙い角度を調整
して設定し、CCDカメラ6の光軸と斜方照明を行うキ
セノンランプ25の光軸との交点がほぼ圧延ロール表面
に位置するようにすることで、全体が明るく見やすい明
瞭な圧延ロール表面静止画像を得ることができる。Even if a roll having a roll diameter different from that of the previous roll is set on the rolling stand by the roll exchange, the surface of the roll which is irradiated with the irradiation light by the xenon lamp 25 is thus kept stationary. The luminance levels of a plurality of points in the circumferential direction of the rolling roll on the image are measured, and C with respect to the rolling direction of the rolling roll W in the circumferential direction of the rolling roll is set so that the luminance levels fall within a preset range.
The aiming angles of the CD camera 6 and the xenon lamp 25 are adjusted and set so that the intersection of the optical axis of the CCD camera 6 and the optical axis of the xenon lamp 25 for oblique illumination is located almost on the surface of the rolling roll. Thus, a clear rolling roll surface still image that is bright and easy to see as a whole can be obtained.
【0046】次に、可視レーザ発光装置24を用いる焦
点ずれ補正制御を行う。ロール交換により圧延スタンド
にそのロール径寸法が前回のものとは異なる圧延ロール
がセットされた場合、CCDカメラ6と圧延ロール表面
間距離が変化し、すなわち、CCDカメラ6の合焦点位
置であるCCD撮像素子受光面と圧延ロール表面との間
隔距離が変化し、これによって焦点ずれが生じる。Next, defocus correction control using the visible laser light emitting device 24 is performed. When a roll having a roll diameter different from that of the previous roll is set on the rolling stand by the roll exchange, the distance between the CCD camera 6 and the roll surface changes, that is, the CCD which is the focal point position of the CCD camera 6 is changed. The distance between the light receiving surface of the image sensor and the surface of the rolling roll changes, which causes a defocus.
【0047】そのため焦点ずれを解消すべく、制御装置
50は、可視レーザ発光装置24に発光指令信号を与え
て圧延ロールWの表面に可視レーザによる円形の光スポ
ットを照射させ、次いで信号処理装置51に撮像指令信
号を与える。撮像指令信号を受けて信号処理装置51
は、圧延ロール表面に照射(投影)された円形光スポッ
トの画像信号をCCDカメラ6から取り込む。そして制
御装置50は、その円形の光スポットの画像信号を信号
処理装置51より取り込む。なお、標準ロール径を持つ
圧延ロールについてその圧延ロール表面と水柱形成ノズ
ル先端口8bとの間隔距離を予め設定された設定値に保
持した標準条件において、予め、可視レーザ発光装置2
4は、その集光レンズ24aによる集光点が圧延ロール
表面に位置するように位置調節されるとともに、CCD
カメラ6は、圧延ロール表面上の前記集光点による像が
CCD撮像素子受光面上に結像するように位置調節され
ている。なお先に述べたように、CCDカメラ6、キセ
ノンランプ25及び可視レーザ発光装置24は、それら
三者の光軸が同一点にて交わるように設けられている。Therefore, in order to eliminate the defocus, the control device 50 gives a light emission command signal to the visible laser light emitting device 24 to irradiate the surface of the rolling roll W with a circular light spot by the visible laser. Is given an imaging command signal. Signal processing device 51 upon receiving an imaging command signal
Captures, from the CCD camera 6, the image signal of the circular light spot irradiated (projected) on the surface of the rolling roll. Then, the control device 50 takes in the image signal of the circular light spot from the signal processing device 51. In the standard condition in which the distance between the surface of the roll and the tip 8b of the water column forming nozzle is maintained at a preset value for the roll having the standard roll diameter, the visible laser light emitting device 2 is set in advance.
Reference numeral 4 denotes a CCD which is adjusted in position so that the light condensing point of the light condensing lens 24a is positioned on the surface of the rolling roll.
The position of the camera 6 is adjusted so that the image formed by the light condensing point on the surface of the rolling roll forms an image on the light receiving surface of the CCD image sensor. As described above, the CCD camera 6, the xenon lamp 25, and the visible laser light emitting device 24 are provided such that their optical axes intersect at the same point.
【0048】図5は焦点ずれ補正制御を説明するための
図、図6は焦点ずれ補正制御を説明するための図であっ
て、圧延ロール表面に円形の光スポットが投影された場
合に、焦点ずれが発生しているときにCCD撮像素子が
受光する受光面積(CCD撮像素子の受光画素数)SM
と、焦点ずれのないときにCCD撮像素子が受光する受
光面積(CCD撮像素子の受光画素数)SC とを模式的
に示す図である。FIG. 5 is a diagram for explaining the defocus correction control, and FIG. 6 is a diagram for explaining the defocus correction control. When a circular light spot is projected on the surface of the rolling roll, the focus is corrected. Light receiving area (number of light receiving pixels of the CCD image sensor) S M received by the CCD image sensor when a shift occurs S M
FIG. 4 is a diagram schematically illustrating a light receiving area (the number of light receiving pixels of the CCD image sensor) S C received by the CCD image sensor when there is no defocus.
【0049】さて、制御装置50により、信号処理装置
51から取り込まれた円形光スポット画像信号に基づい
て、焦点ずれの有無が判定される。すなわち、前記円形
光スポット画像信号に基づいて求めた円形の光スポット
による受光画素数をS、焦点ずれのないときにおける円
形の光スポットによる受光画素数をSC 、焦点ずれの程
度を判定するための定数をΔSとすると、下記の関係式
が満たされているか否かを判定する。The control device 50 determines the presence or absence of defocus based on the circular light spot image signal received from the signal processing device 51. That is, the number of light receiving pixels by a circular light spot determined based on the circular light spot image signal is S, the number of light receiving pixels by a circular light spot when there is no defocus is S C , and the degree of defocus is determined. Is set as ΔS, it is determined whether or not the following relational expression is satisfied.
【0050】|S−SC |≦ΔS …| S−S C | ≦ ΔS...
【0051】判定の結果、前記関係式が満たされてい
なければ、制御装置50は、第2モータ駆動回路54に
駆動指令信号を与え第2モータ33を駆動して予め定め
た距離だけ支持台20を例えば前進移動させる。次い
で、再び信号処理装置51に撮像指令信号を与え、信号
処理装置51から円形光スポット画像信号を読み込み、
その読み込まれた円形光スポット画像信号に基づいて、
関係式が満たされているか否かを判定する。なお、|
S−SC |の値が前回よりも大きくなっている場合は、
次回は前回とは反対方向にCCDカメラ6を移動させる
ようにする。As a result of the determination, if the above relational expression is not satisfied, the control device 50 supplies a drive command signal to the second motor drive circuit 54 to drive the second motor 33 to drive the support base 20 by a predetermined distance. Is moved forward, for example. Next, the imaging command signal is again given to the signal processing device 51, and the circular light spot image signal is read from the signal processing device 51,
Based on the read circular light spot image signal,
It is determined whether or not the relational expression is satisfied. Note that |
If the value of S−S C | is larger than the last time,
Next time, the CCD camera 6 is moved in the opposite direction to the previous time.
【0052】このような動作を前記関係式が満足され
るまで行うことにより、ロール交換により圧延ロールの
ロール径が変化しても、圧延ロール表面の像をCCDカ
メラ6の合焦点位置であるCCD撮像素子受光面上に結
像させることができ、焦点ずれの発生をなくすことがで
きる。なお、この焦点ずれ補正制御が終了すると、制御
装置50は、可視レーザ発光装置25に発光停止信号を
与える。具体的には、支持台20は、±0.01mmの
精度にて±5mm程度の範囲内で移動できるようになっ
ている。By performing such an operation until the above-mentioned relational expression is satisfied, even if the roll diameter of the rolling roll changes due to the roll change, the image of the rolling roll surface is changed to the in-focus position of the CCD camera 6. An image can be formed on the light receiving surface of the imaging element, and the occurrence of defocus can be eliminated. When the defocus correction control ends, the control device 50 gives a light emission stop signal to the visible laser light emitting device 25. Specifically, the support 20 can be moved within a range of about ± 5 mm with an accuracy of ± 0.01 mm.
【0053】このようにして各制御が完了すると、この
最初の検査位置において、ロール冷却水が散水されなが
ら回転している圧延ロールの表面像をキセノンランプ2
5の点灯に同期してCCDカメラ6によって撮像し、そ
の圧延ロール表面静止画像を得るようにしている。そし
てしかる後、従来と同様にして、圧延ロール長手方向に
おいて所定ピッチごとに圧延ロール表面静止画像を得る
ようにしている。なお、前記各制御は、圧延ロール長手
方向における各検査位置ごとに撮像に先立って行うよう
にしてもよい。When each control is completed in this way, at the first inspection position, the surface image of the rolling roll rotating while the roll cooling water is being sprayed is used as the xenon lamp 2.
An image is taken by the CCD camera 6 in synchronism with the lighting of 5, and a still image of the surface of the rolling roll is obtained. Thereafter, in the same manner as in the prior art, a still image of the roll surface is obtained at predetermined intervals in the longitudinal direction of the roll. Note that each of the above-described controls may be performed prior to imaging for each inspection position in the longitudinal direction of the rolling roll.
【0054】以上の結果、ロール交換等によりロール径
寸法が変化しても、内部に多数の気泡が生じるなどする
ことのない安定した水柱が形成でき、ロール冷却水が散
水されながら回転している圧延ロールの明瞭な圧延ロー
ル表面静止画像を得ることができる。また、ロール径寸
法が変化しても、CCDカメラ6の光軸と斜方照明を行
うキセノンランプ25の光軸との交点がほぼ圧延ロール
表面に位置するようにでき、全体が明るく見やすい明瞭
な圧延ロール表面静止画像を得ることができる。さらに
また、ロール径寸法が変化しても、焦点ずれを補正して
照明光が照射されている圧延ロール表面の像をCCDカ
メラ6の合焦点位置であるCCD撮像素子受光面上に結
像させることができ、明瞭な圧延ロール表面静止画像を
得ることができる。As a result, even if the diameter of the roll changes due to a roll change or the like, a stable water column can be formed without generating many bubbles inside, and the roll cooling water is rotating while being sprayed. A clear image of the surface of the rolling roll can be obtained clearly. Further, even if the diameter of the roll changes, the intersection of the optical axis of the CCD camera 6 and the optical axis of the xenon lamp 25 for oblique illumination can be located almost on the surface of the rolling roll, so that the whole is bright and easy to see. A still image of the roll surface can be obtained. Furthermore, even if the diameter of the roll changes, the defocus is corrected and an image of the surface of the rolling roll irradiated with the illumination light is formed on the light receiving surface of the CCD image pickup device, which is the focal point of the CCD camera 6. And a clear still image of the roll surface can be obtained.
【0055】なお、前記実施例においては、焦点ずれ解
消のために、照明光が照射されている圧延ロール表面の
像が(圧延ロール表面からの反射光が)CCDカメラ6
の合焦点位置に結像するようにCCDカメラ6全体を圧
延ロールに対して進退させるようにしたものであるが、
図7は、撮像装置であるCCDカメラの焦点合わせの他
の例を示す図である。In the above embodiment, in order to eliminate the defocus, the image of the surface of the rolling roll irradiated with the illuminating light (the reflected light from the surface of the rolling roll) is taken by the CCD camera 6.
In this case, the entire CCD camera 6 is moved forward and backward with respect to the rolling roll so as to form an image at the focal point of
FIG. 7 is a diagram illustrating another example of focusing by a CCD camera that is an imaging device.
【0056】図7に示すように、可視レーザ発光装置6
0からシリンドリカルレンズ60aを通して照射された
輝度の高いスリット光は、圧延ロールWの表面で反射
し、電動レンズ装置61を通ってハーフミラー62によ
り二方向に分岐される。このうち、ハーフミラー62を
通過したスリット光をCCDカメラ63に導く一方、ハ
ーフミラー62で反射されたスリット光を焦点検出器6
4に導いて結像させ、その像を焦点制御装置65で解析
してCCDカメラ63の焦点ずれを検出する。その検出
結果により、駆動装置66を駆動して電動レンズ装置6
1の内筒61aを移動させ、圧延ロール表面で反射して
ハーフミラー62を通過した光がCCDカメラ63の撮
像素子受光面上に結像するようにしている。このように
して焦点合わせが終了した後、可視レーザ発光装置60
をオフ動作させ、しかる後、キセノンランプ67を点灯
し、その点灯に同期してCCDカメラ63からカメラ制
御装置68に画像信号を取り込むようになされている。
図7において、61bは電動レンズ装置61の外筒、6
9は取付けブラケット、70はハウジングボックス、7
1は水柱形成ノズル、72はCRTディスプレイであ
る。As shown in FIG. 7, the visible laser light emitting device 6
High-brightness slit light irradiated from 0 through the cylindrical lens 60a is reflected on the surface of the rolling roll W, passes through the electric lens device 61, and is branched in two directions by the half mirror 62. The slit light passing through the half mirror 62 is guided to the CCD camera 63, while the slit light reflected by the half mirror 62 is transmitted to the focus detector 6.
The focus control device 65 analyzes the image and detects a defocus of the CCD camera 63. Based on the detection result, the driving device 66 is driven to drive the electric lens device 6.
The first inner cylinder 61a is moved so that the light reflected by the surface of the rolling roll and passing through the half mirror 62 forms an image on the light receiving surface of the image sensor of the CCD camera 63. After the focusing is completed in this way, the visible laser light emitting device 60
Is turned off, and then the xenon lamp 67 is turned on, and an image signal is taken in from the CCD camera 63 to the camera controller 68 in synchronization with the turning on.
In FIG. 7, reference numeral 61b denotes an outer cylinder of the electric lens device 61;
9 is a mounting bracket, 70 is a housing box, 7
1 is a water column forming nozzle, and 72 is a CRT display.
【0057】なお、前記図7に示す装置は、可視レーザ
発光装置の発光による圧延ロール表面の像に基づいて自
動焦点方式で焦点合わせを行うようにしたものであり、
焦点合わせに関しては、通常の照明用光源としてのキセ
ノンランプの発光時に、その撮像結果に基づいて自動焦
点調整動作を行うようにすることも考えられる。しかし
ながら、そのような方式においては、キセノンランプの
発光が1〜10μsと極めて短時間であり、この照明時
の撮像結果で焦点のずれを検出しても不確実であり、次
の発光時に同様の調整動作を行って適否を判別する必要
があるため、焦点合わせに時間がかかることとなる。ま
た、圧延ロール表面はほぼ鏡面状であり、その表面像に
は明暗があまり無く、カメラ等で使用されている通常の
焦点検出器は、像の明暗を利用して焦点検出を行ってい
るので、圧延ロールへの適用が困難である。このため、
前記例においては、可視レーザ発光装置により、圧延ロ
ール表面に明暗のはっきりした輝度の高いスリット光を
あるいはスポット光を照射(投影)するようにしたもの
である。The apparatus shown in FIG. 7 performs focusing by an automatic focusing method based on the image of the surface of the rolling roll by the emission of the visible laser light emitting device.
Regarding focusing, when a xenon lamp as a normal illumination light source emits light, it may be possible to perform an automatic focus adjustment operation based on the imaging result. However, in such a system, the light emission of the xenon lamp is extremely short as 1 to 10 μs, and it is uncertain even if a focus shift is detected in the imaging result at the time of this illumination, and the same is observed at the next light emission. Since it is necessary to determine the suitability by performing the adjustment operation, it takes time to focus. In addition, the surface of the rolling roll is almost mirror-like, and the surface image does not have much light and dark, and a normal focus detector used in a camera or the like performs focus detection using the light and dark of the image. , It is difficult to apply to rolling rolls. For this reason,
In the above-described example, the surface of the rolling roll is illuminated (projected) with a slit light or a spot light having a high brightness and a clear brightness by a visible laser light emitting device.
【0058】[0058]
【発明の効果】以上述べたように、請求項1の圧延ロー
ルの光学式表面検査装置によると、照明光が照射されて
いる圧延ロール表面の像を水柱を介して撮像し、ロール
冷却水が散水されながら回転している圧延ロールの表面
静止画像を得るようにした光学式表面検査装置におい
て、ロール交換等によりロール径寸法が変化しても、水
柱形成ノズルと圧延ロール表面間距離が適正な水柱を形
成しうる予め設定された設定値となるように構成されて
いるので、内部に多数の気泡が生じるなどすることのな
い安定した水柱が形成でき、ロール冷却水が散水されな
がら回転している圧延ロールの明瞭な圧延ロール表面静
止画像を得ることができる。これにより、圧延中の圧延
ロールの表面状態を正確に観察し検査することができ、
鋼板に噛み込みスケール疵等が発生することを防ぐため
のロール交換時期を正確に把握することができる。As described above, according to the rolling roll optical surface inspection apparatus of the present invention, an image of the surface of the rolling roll irradiated with the illumination light is imaged through the water column, and the roll cooling water is discharged. In an optical surface inspection apparatus that obtains a still image of the surface of a rotating rolling roll while being sprayed with water, even if the roll diameter is changed due to roll replacement or the like, the distance between the water column forming nozzle and the rolling roll surface is appropriate. Since it is configured to be a preset set value that can form a water column, a stable water column can be formed without generating a large number of bubbles inside, and the roll cooling water rotates while being sprinkled. It is possible to obtain a clear image of the rolling roll surface still image of the existing rolling roll. This makes it possible to accurately observe and inspect the surface condition of the rolling roll during rolling,
It is possible to accurately grasp the roll replacement time for preventing the occurrence of scale flaws or the like biting into the steel sheet.
【0059】請求項2の圧延ロールの光学式表面検査装
置によると、ロール交換等によりロール径寸法が変化し
ても、撮像装置の光軸と照明光源の光軸との交点がほぼ
圧延ロール表面に位置するように構成されているので、
全体が明るく見やすい明瞭な圧延ロール表面静止画像を
得ることができる。これにより、圧延中の圧延ロールの
表面状態を正確に観察し検査することができ、鋼板に噛
み込みスケール疵等が発生することを防ぐためのロール
交換時期を正確に把握することができる。According to the rolling roll optical surface inspection apparatus, even when the roll diameter changes due to a roll change or the like, the intersection between the optical axis of the image pickup device and the optical axis of the illumination light source is almost equal to the rolling roll surface. It is configured to be located in
It is possible to obtain a clear rolling roll surface still image that is bright and easy to see as a whole. This makes it possible to accurately observe and inspect the surface condition of the rolling roll during rolling, and to accurately grasp the roll replacement time for preventing the occurrence of scale flaws and the like being stuck in the steel sheet.
【0060】請求項3の圧延ロールの光学式表面検査装
置によると、ロール交換等によりロール径寸法が変化し
ても、照明光が照射されている圧延ロール表面の像が撮
像装置の合焦点位置に結像するように構成されているの
で、明瞭な圧延ロール表面静止画像を得ることができ
る。これにより、圧延中の圧延ロールの表面状態を正確
に観察し検査することができ、鋼板に噛み込みスケール
疵等が発生することを防ぐためのロール交換時期を正確
に把握することができる。According to a third aspect of the present invention, the image of the surface of the roll to which the illumination light is irradiated is focused on the image pickup device even if the roll diameter is changed due to the roll change or the like. Therefore, a clear still image of the roll surface can be obtained. This makes it possible to accurately observe and inspect the surface condition of the rolling roll during rolling, and to accurately grasp the roll replacement time for preventing the occurrence of scale flaws and the like being stuck in the steel sheet.
【図1】本発明に係る圧延ロールの光学式表面検査装置
の構成を示す概略構成説明図である。FIG. 1 is a schematic configuration explanatory view showing the configuration of an optical surface inspection device for a rolling roll according to the present invention.
【図2】図1に示す光学式表面検査装置のその側面から
見た構成を示す概略構成説明図である。FIG. 2 is a schematic configuration explanatory view showing the configuration of the optical surface inspection apparatus shown in FIG. 1 as viewed from the side thereof.
【図3】図1に示す光学式表面検査装置の電気制御系統
を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing an electric control system of the optical surface inspection device shown in FIG.
【図4】本発明に係るカメラ・照明光源角度調整制御に
おいて圧延ロール表面静止画像の輝度レベルを測定する
ための、CCDカメラのCCD撮像素子(多数の受光素
子を二次元配列してなるもの)における輝度レベル測定
点を説明するための図である。FIG. 4 is a CCD image pickup device of a CCD camera (in which a large number of light receiving elements are two-dimensionally arranged) for measuring the luminance level of a still image of a rolling roll surface in the camera / illumination light source angle adjustment control according to the present invention. FIG. 6 is a diagram for explaining a luminance level measurement point in FIG.
【図5】本発明に係る焦点ずれ補正制御を説明するため
の図である。FIG. 5 is a diagram for explaining defocus correction control according to the present invention.
【図6】本発明に係る焦点ずれ補正制御を説明するため
の図であって、圧延ロール表面に円形の光スポットが投
影された場合に、焦点ずれが発生しているときにCCD
撮像素子が受光する受光面積(CCD撮像素子の受光画
素数)SM と、焦点ずれのないときにCCD撮像素子が
受光する受光面積SC とを模式的に示す図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the defocus correction control according to the present invention, in which when a circular light spot is projected on the surface of a rolling roll, the CCD is defocused;
FIG. 4 is a diagram schematically showing a light receiving area (number of light receiving pixels of a CCD image sensor) S M received by the image sensor and a light receiving area S C received by the CCD image sensor when there is no defocus.
【図7】撮像装置であるCCDカメラの焦点合わせの他
の例を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating another example of focusing by a CCD camera that is an imaging device.
【図8】従来の圧延ロールの光学式表面検査装置の構成
を示す構成説明図である。FIG. 8 is a configuration explanatory view showing a configuration of a conventional rolling roll optical surface inspection apparatus.
【図9】ワークロール(圧延ロール)の表面に発生した
ロールバンディングの様子を説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining a state of roll banding generated on a surface of a work roll (rolling roll).
【図10】圧延ロールの表面静止画像の一例をスケッチ
した図である。FIG. 10 is a diagram in which an example of a surface still image of a rolling roll is sketched.
1…送りねじ軸 2…移動ブロック 3…エアシリンダ
4…移動装置 5…ハウジングボックス 6…CCD
カメラ 8…水柱形成ノズル 8a…圧力水供給管 8
b…水柱形成ノズル先端口 10…フレームメモリ 1
1…CRTディスプレイ 12…イメージプリンタ 2
0…支持台 21…支持ブラケット 22…支持軸 2
3…取付けブラケット 24…可視レーザ発光装置 2
4a…集光レンズ 25…キセノンランプ 25a…集
光レンズ 26…第1モータ 27…偏心カム 28…
レバー 29…コイルばね 30…リニアスライダ 3
1…ねじブラケット 32…移送ねじ 33…第2モー
タ 34…弾性筒体 35…テーブル 36…渦電流式
変位センサ 37…ラック 38…第3モータ 39…
ピニオン 50…制御装置 51…信号処理装置 52
…ノズル位置制御回路 53…第1モータ駆動回路 5
4…第2モータ駆動回路 55…光源制御装置 W…圧
延ロールDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Feed screw shaft 2 ... Moving block 3 ... Air cylinder 4 ... Moving device 5 ... Housing box 6 ... CCD
Camera 8: Water column forming nozzle 8a: Pressure water supply pipe 8
b: water column forming nozzle tip opening 10: frame memory 1
1 CRT display 12 Image printer 2
0: support base 21: support bracket 22: support shaft 2
3. Mounting bracket 24. Visible laser light emitting device 2.
4a: Condensing lens 25: Xenon lamp 25a: Condensing lens 26: First motor 27: Eccentric cam 28:
Lever 29: Coil spring 30: Linear slider 3
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Screw bracket 32 ... Transfer screw 33 ... 2nd motor 34 ... Elastic cylinder 35 ... Table 36 ... Eddy current displacement sensor 37 ... Rack 38 ... 3rd motor 39 ...
Pinion 50 ... Control device 51 ... Signal processing device 52
... Nozzle position control circuit 53 ... First motor drive circuit 5
4: Second motor drive circuit 55: Light source control device W: Rolling roll
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 夫津木 清一 兵庫県加古川市金沢町1番地 株式会社 神戸製鋼所 加古川製鉄所内 (72)発明者 堤 修三 兵庫県加古川市金沢町1番地 株式会社 神戸製鋼所 加古川製鉄所内 (72)発明者 井之上 政治 兵庫県加古川市金沢町1番地 株式会社 神戸製鋼所 加古川製鉄所内 (56)参考文献 特開 平5−10888(JP,A) 特開 平6−186005(JP,A) 特開 平6−138044(JP,A) 特開 昭59−174204(JP,A) 特開 平5−265559(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Seiichi Hutsuki 1 Kanazawacho, Kakogawa City, Hyogo Prefecture Kobe Steel Works Kakogawa Works (72) Inventor Shuzo Tsutsumi 1 Kanazawacho, Kakogawa City, Hyogo Co., Ltd. Kobe Steel Kakogawa Works (72) Inventor Politics Inoue Politics 1 Kanazawacho, Kakogawa City, Hyogo Prefecture Kobe Steel Works Kakogawa Works (56) References JP-A-5-10888 (JP, A) JP-A-6- 186005 (JP, A) JP-A-6-138044 (JP, A) JP-A-59-174204 (JP, A) JP-A-5-265559 (JP, A)
Claims (3)
とされたハウジングボックスと、このハウジングボック
スに装着され、回転している圧延ロールの表面に加圧水
を噴出し、ハウジング前面の窓部と圧延ロール表面間に
水柱を形成するための水柱形成ノズルと、前記ハウジン
グボックス内に配設され、圧延ロール表面に前記窓部及
び前記水柱を通して照明光を照射する照明光源と、前記
ハウジングボックス内に配設され、前記照明光が照射さ
れている圧延ロール表面の像を前記水柱を介して撮像す
る撮像装置とを備え、ロール冷却水が散水されながら回
転している圧延ロールの表面静止画像を得る圧延ロール
の光学式表面検査装置において、 前記水柱形成ノズルと圧延ロール表面間の距離を測定す
る変位センサと、前記変位センサの出力信号に基づいて
適正な水柱を形成する位置に前記ハウジングボックスを
圧延ロールに向けて進退させて位置決め制御する水柱形
成制御手段とを設けたことを特徴とする圧延ロールの光
学式表面検査装置。1. A housing box movable in the longitudinal direction of a rolling roll, and pressurized water is jetted onto the surface of the rotating rolling roll mounted on the housing box to rotate the rolling roll. A water column forming nozzle for forming a water column between surfaces; an illumination light source disposed in the housing box; and an illumination light source for irradiating illumination light through the window and the water column to a rolling roll surface; and an illumination light source disposed in the housing box. And an imaging device for capturing an image of the surface of the rolling roll irradiated with the illumination light through the water column, and obtaining a surface still image of the rolling roll rotating while the roll cooling water is sprayed. An optical surface inspection apparatus according to claim 1, wherein a displacement sensor for measuring a distance between the water column forming nozzle and the surface of the rolling roll, and an output of the displacement sensor Water column forming control means and the optical surface inspection device of the rolling rolls, characterized in that a the advanced and retracted positions controlled toward the housing box rolling rolls positioned to form a proper water column on the basis of the issue.
とされたハウジングボックスと、このハウジングボック
スに装着され、回転している圧延ロールの表面に加圧水
を噴出し、ハウジング前面の窓部と圧延ロール表面間に
水柱を形成するための水柱形成ノズルと、前記ハウジン
グボックス内に配設され、圧延ロール表面に前記窓部及
び前記水柱を通して照明光を照射する照明光源と、前記
ハウジングボックス内に配設され、前記照明光が照射さ
れている圧延ロール表面の像を前記水柱を介して撮像す
る撮像装置とを備え、ロール冷却水が散水されながら回
転している圧延ロールの表面静止画像を得る圧延ロール
の光学式表面検査装置において、 前記撮像装置を前記照明光源と一体に圧延ロールの軸線
に直交する直交平面内で揺動しうるカメラ・照明光源角
度調整機構と、照射光が照射されている圧延ロール表面
の静止画像上における圧延ロール周方向複数点の輝度レ
ベルを測定し、それらの輝度レベルが予め設定された範
囲内になるように前記カメラ・照明光源角度調整機構を
駆動制御して、圧延ロールに対する撮像装置及び照明光
源の狙い角度を調整し設定するカメラ・照明光源角度調
整制御手段とを設けたことを特徴とする圧延ロールの光
学式表面検査装置。2. A housing box which is movable in the longitudinal direction of the rolling roll, and pressurized water is jetted onto the surface of the rotating rolling roll which is mounted on the housing box and is rotated. A water column forming nozzle for forming a water column between surfaces; an illumination light source disposed in the housing box; and an illumination light source for irradiating illumination light through the window and the water column to a rolling roll surface; and an illumination light source disposed in the housing box. And an imaging device for capturing an image of the surface of the rolling roll irradiated with the illumination light through the water column, and obtaining a surface still image of the rolling roll rotating while the roll cooling water is sprayed. The optical surface inspection apparatus according to claim 1, wherein the imaging device is integrated with the illumination light source so as to swing in a plane orthogonal to the axis of the rolling roll. An illumination light source angle adjusting mechanism, and measuring the brightness levels of a plurality of points in the circumferential direction of the rolling roll on a still image of the surface of the rolling roll being irradiated with the irradiation light, so that the brightness levels are within a preset range. Rolling roll provided with a camera / illumination light source angle adjustment control means for driving and controlling the camera / illumination light source angle adjusting mechanism to adjust and set an image pickup device and an aim angle of the illumination light source with respect to the rolling roll. Optical surface inspection equipment.
とされたハウジングボックスと、このハウジングボック
スに装着され、回転している圧延ロールの表面に加圧水
を噴出し、ハウジング前面の窓部と圧延ロール表面間に
水柱を形成するための水柱形成ノズルと、前記ハウジン
グボックス内に配設され、圧延ロール表面に前記窓部及
び前記水柱を通して照明光を照射する照明光源と、前記
ハウジングボックス内に配設され、前記照明光が照射さ
れている圧延ロール表面の像を前記水柱を介して撮像す
る撮像装置とを備え、ロール冷却水が散水されながら回
転している圧延ロールの表面静止画像を得る圧延ロール
の光学式表面検査装置において、 前記撮像装置と前記照明光源とを一体に圧延ロールに向
けて進退するカメラ位置調整機構と、圧延ロール表面に
可視レーザ光による光スポットを照射する可視レーザ発
光装置と、撮像装置により得られた圧延ロール表面に照
射された前記光スポットの画像に基づいて、圧延ロール
表面に照射された前記光スポットの像が撮像装置の合焦
点位置に結像するように前記カメラ位置調整機構を駆動
制御する焦点ずれ補正制御手段とを設けたことを特徴と
する圧延ロールの光学式表面検査装置。3. A housing box movable in the roll longitudinal direction of the rolling roll, and pressurized water is jetted onto the surface of the rotating rolling roll mounted on the housing box, and a window on the front surface of the housing and the rolling roll. A water column forming nozzle for forming a water column between surfaces; an illumination light source disposed in the housing box; and an illumination light source for irradiating illumination light through the window and the water column to a rolling roll surface; and an illumination light source disposed in the housing box. And an imaging device for capturing an image of the surface of the rolling roll irradiated with the illumination light through the water column, and obtaining a surface still image of the rolling roll rotating while the roll cooling water is sprayed. In the optical surface inspection apparatus of the above, a camera position adjustment mechanism for integrally moving the imaging device and the illumination light source toward a rolling roll, A visible laser light emitting device that irradiates a light spot with visible laser light on the roll surface, and the light spot illuminated on the roll surface based on an image of the light spot illuminated on the roll surface obtained by an imaging device An optical surface inspection device for a rolling roll, further comprising: a defocus correction control unit that drives and controls the camera position adjustment mechanism so that the image of (i) is formed at a focal point of the imaging device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6203908A JP2721806B2 (en) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | Optical surface inspection device for rolling rolls |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6203908A JP2721806B2 (en) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | Optical surface inspection device for rolling rolls |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0868759A JPH0868759A (en) | 1996-03-12 |
JP2721806B2 true JP2721806B2 (en) | 1998-03-04 |
Family
ID=16481696
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6203908A Expired - Fee Related JP2721806B2 (en) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | Optical surface inspection device for rolling rolls |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2721806B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI796569B (en) * | 2020-05-29 | 2023-03-21 | 大量科技股份有限公司 | Nozzle for detection apparatus |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE1013917A3 (en) * | 2001-01-16 | 2002-12-03 | Centre Rech Metallurgique | APPARATUS FOR INSPECTING A SURFACE. |
BE1014299A3 (en) * | 2001-07-17 | 2003-08-05 | Centre Rech Metallurgique | Method for inspection of the surface of a rolling cylinder and device for its implementation. |
KR100545667B1 (en) * | 2001-12-22 | 2006-01-24 | 주식회사 포스코 | Apparatus for measuring spray pattern on roll surface and method thereof |
JP2006208347A (en) * | 2004-02-25 | 2006-08-10 | Jfe Steel Kk | Surface defect detector, grinding device, surface defect detection method and surface defect detection program for reduction roll, and reduction roll grinding method |
JP4569873B2 (en) * | 2005-07-11 | 2010-10-27 | 住友金属工業株式会社 | Steel surface temperature measuring method, surface temperature measuring device, and steel manufacturing method |
JP4608423B2 (en) * | 2005-12-06 | 2011-01-12 | 新日本製鐵株式会社 | Image shooting device |
KR101439546B1 (en) * | 2007-12-27 | 2014-09-30 | 주식회사 포스코 | Apparatus for detecting defects of side surface of slab |
CN101813639B (en) * | 2010-04-23 | 2012-01-25 | 浙江中烟工业有限责任公司 | Device for checking surface defects of printing gravure roller bodies |
RU2602216C2 (en) * | 2011-09-14 | 2016-11-10 | Смс Меер Гмбх | Rolling mill, and device and method for determining rolling or guiding gap of roll stands or guide stands in multi-stand rolling mill |
CN104923576B (en) * | 2014-03-17 | 2017-02-22 | 宝山钢铁股份有限公司 | Hot rolling production line finish rolling working roll surface automatic detection device |
CN105044048B (en) * | 2015-07-01 | 2018-01-05 | 武汉科技大学 | A kind of small-sized roller surface failure detector and method |
CN107537868B (en) * | 2017-08-22 | 2019-03-05 | 安徽马钢重型机械制造有限公司 | A kind of cold rolling mill window space position dimension precision online test method |
BR112020009263B1 (en) | 2017-12-04 | 2023-01-10 | Nippon Steel Corporation | SURFACE TRACKING NOZZLE, OBSERVATION DEVICE FOR MOVING OBJECT SURFACE AND OBSERVATION METHOD FOR MOVING OBJECT SURFACE |
CN111372688B (en) * | 2017-12-04 | 2022-03-29 | 日本制铁株式会社 | Surface following nozzle, observation device for surface of moving object, and observation method for surface of moving object |
CN113567468B (en) * | 2020-04-28 | 2023-11-14 | 宝山钢铁股份有限公司 | Pipe rod surface self-adaptive imaging system and method suitable for V-shaped roller way conveying |
CN112285106A (en) * | 2020-10-19 | 2021-01-29 | 衡阳市一鑫光电科技有限公司 | Quick detection device is used in cable production |
CN113175875B (en) * | 2021-06-02 | 2023-01-24 | 厦门大学 | Device and method for measuring abrasion of cutting edge of male die based on linear laser extrusion molding |
-
1994
- 1994-08-29 JP JP6203908A patent/JP2721806B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI796569B (en) * | 2020-05-29 | 2023-03-21 | 大量科技股份有限公司 | Nozzle for detection apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0868759A (en) | 1996-03-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2721806B2 (en) | Optical surface inspection device for rolling rolls | |
US5331178A (en) | Optical surface inspecting system for inspecting the surface of a rolling roll having mechanism for keeping clean a window through which a camera detects a condition of the rolling roll | |
JP5568947B2 (en) | Inspection device for internal surface defects of screw holes or holes | |
KR20140100127A (en) | Detecting apparatus of defect in rolling state of roll | |
JP3968345B2 (en) | Method for inspecting surface of rolling roll and apparatus for carrying out the same | |
CN208255087U (en) | Roll dressing surface cleaning and Machine Vision Inspecting System | |
JPH0774785B2 (en) | Optical surface inspection device for rolling rolls | |
JP5042503B2 (en) | Defect detection method | |
JP2002303581A (en) | Panel inspection device and panel inspection method | |
JP2002516203A (en) | Engraving system and method including improved imaging | |
CN115825078A (en) | Resin lens defect detection device and method | |
KR101123629B1 (en) | Device for Roll Pattern | |
TWM563550U (en) | Device for repairing printed circuit boards | |
JP2010145253A (en) | Method for imaging cylindrical surface and obtaining rectangular plane image | |
JP2002239767A (en) | Device for monitoring laser beam machining and illuminator | |
JP2018069272A (en) | Imaging method of laser processing position, and laser processing device | |
JP2001311693A (en) | Inspection apparatus | |
KR102038289B1 (en) | Apparatus for inspecting welding part based on vision | |
JPH06138044A (en) | Optical device for inspecting surface of rolling roll | |
JPH01162584A (en) | Method and device for roughening roll | |
JPH09133634A (en) | Optical surface observing device for rolling roll | |
JP3382757B2 (en) | Optical surface observation device for rolling rolls | |
KR20140084612A (en) | Strip edge monitoring system and method | |
JPH0224636B2 (en) | ||
KR20180067251A (en) | Material shape measuring apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971028 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081121 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081121 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091121 Year of fee payment: 12 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |