JP2705485B2 - Laser processing machine - Google Patents

Laser processing machine

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JP2705485B2
JP2705485B2 JP4268070A JP26807092A JP2705485B2 JP 2705485 B2 JP2705485 B2 JP 2705485B2 JP 4268070 A JP4268070 A JP 4268070A JP 26807092 A JP26807092 A JP 26807092A JP 2705485 B2 JP2705485 B2 JP 2705485B2
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精二 御座
勝樹 村山
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はレーザ加工機に関し、よ
り詳しくは、被加工物の加工状況を監視できるように構
成したレーザ加工機に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser beam machine, and more particularly, to a laser beam machine configured to monitor a machining state of a workpiece.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、レーザ加工機として、レーザ光線
を発振するレーザ発振器と、このレーザ発振器から発振
されたレーザ光線を被加工物に向けて照射するフォーカ
スヘッドと、上記レーザ光線の照射によって被加工物の
溶融部分から生じた光を検出する検出手段と、上記レー
ザ発振器を制御するとともに、上記検出手段で検出した
検出光量が入力される制御装置とを備えて、上記検出手
段によって検出した検出光量の変化によって被加工物の
加工状況を監視できるように構成したものは知られてい
る。このような装置として、例えば特開昭62−771
95号公報、特開平2−179377号公報、特開平4
−81286号等が公知である。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a laser processing machine, a laser oscillator for oscillating a laser beam, a focus head for irradiating a laser beam oscillated from the laser oscillator to a workpiece, and a laser beam for irradiating the laser beam. Detecting means for detecting light generated from the melted portion of the workpiece, and a control device for controlling the laser oscillator and for inputting a detected light amount detected by the detecting means; 2. Description of the Related Art There is known a configuration in which a processing state of a workpiece can be monitored by a change in light amount. As such an apparatus, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-771
No. 95, JP-A-2-179377, JP-A-4
No. 812286 is known.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の装置では、いずれも上記検出手段自身の機能の良否
を検知するためのセンサを備えていなかった。そのた
め、検出手段そのものが何らかの原因で光を検出する機
能が低下した場合あるいは、機能不良となった場合に
は、被加工物の加工状況を誤って把握することになると
いう欠点があった。しかも、上記従来の装置は、ピアッ
シング加工の終了を検出することは出来るが、被加工物
の切断加工中における切断不良を検出することができな
いという欠点があった。本発明は、そのような事情に鑑
み、上記検出手段の機能不良の判定と、切断加工中の被
加工物の切断不良を判定できるようにしたレーザ加工機
を提供するものである。
However, none of the above-mentioned conventional devices has a sensor for detecting whether the function of the detecting means itself is good or not. Therefore, when the function of detecting the light by the detecting means itself is reduced for some reason or when the function becomes defective, there is a disadvantage that the processing state of the workpiece is erroneously grasped. In addition, the above-described conventional apparatus has a drawback that it can detect the end of the piercing process, but cannot detect a cutting failure during the cutting process of the workpiece. The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a laser processing machine capable of determining a malfunction of the detection means and determining a cutting failure of a workpiece during cutting.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、レ
ーザ光線を発振するレーザ発振器と、このレーザ発振器
から発振されたレーザ光線を被加工物に向けて照射する
フォーカスヘッドと、上記レーザ光線の照射によって被
加工物の溶融部分から生じた光を検出する検出手段と、
上記レーザ発振器を制御するとともに、上記検出手段で
検出した検出光量が入力される制御装置とを備えて、上
記検出手段によって検出した検出光量の変化によって被
加工物の加工状況を監視できるように構成したレーザ加
工機において、所定の光量の基準光を発生させて、該基
準光を上記検出手段に向けて発光させる基準光発生手段
を設けるとともに、上記制御装置に、予め許容可能な下
限となる判定光量を記憶させた検出機能判定部を設け、
この検出機能判定部は、検出手段によって実際に検出し
た基準光の検出光量が予め記憶した判定光量よりも小さ
い場合に、上記検出手段の機能が不良であると判定する
レーザ加工機を提供するものである。
That is, the present invention provides a laser oscillator that oscillates a laser beam, a focus head that irradiates a laser beam oscillated from the laser oscillator toward a workpiece, and a laser device that oscillates the laser beam. Detecting means for detecting light generated from the molten portion of the workpiece by irradiation,
A control device that controls the laser oscillator and receives the detected light amount detected by the detection unit, and monitors a processing state of the workpiece based on a change in the detected light amount detected by the detection unit. In the laser processing machine, a reference light generating means for generating a predetermined amount of reference light and emitting the reference light toward the detection means is provided, and the control device determines in advance that the lower limit is an allowable lower limit. A detection function determination unit that stores the amount of light is provided,
The detection function determination unit provides a laser processing machine that determines that the function of the detection unit is defective when the detected light amount of the reference light actually detected by the detection unit is smaller than a previously stored determination light amount. der Ru.

【0005】[0005]

【作用】このような構成によれば、基準光発生手段と検
出機能判定部とを設けたことによって、検出手段の機能
が正常であるか否かを容易に判定することができる。こ
のような、判定を行っていなかった従来の装置に比較し
て、より正確な被加工物の加工状況の監視を行うことが
できる。
According to this structure, the provision of the reference light generating means and the detecting function determining section makes it possible to easily determine whether the function of the detecting means is normal. Such, as compared with the conventional apparatus has not been determined, it is Ru can <br/> for monitoring processing status of more accurate workpiece.

【0006】[0006]

【実施例】以下、本発明をパルス発振型のレーザ加工機
に適用した実施例について説明すると、図1において、
レーザ加工機は、レーザ光線Lをパルス発振するレーザ
発振器1と、このレーザ発振器1から発振されたレーザ
光線Lを集光する集光レンズ2を収納したフォーカスヘ
ッド3とを備えており、上記レーザ発振器1は制御装置
4によってパルス発振制御されるようになっている。上
記フォーカスヘッド3は図示しない昇降機構によって昇
降されるようになっており、またフォーカスヘッド3と
被加工物5を載置した図示しない加工テーブルとを適宜
の駆動機構によって水平面内で相互に直交する方向に相
対移動させることにより、上記被加工物5に所要のレー
ザ加工を施すことができるようになっている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment in which the present invention is applied to a pulse oscillation type laser beam machine will be described below.
The laser beam machine includes a laser oscillator 1 that oscillates a laser beam L in a pulse, and a focus head 3 that houses a focusing lens 2 that focuses the laser beam L oscillated from the laser oscillator 1. The oscillation of the oscillator 1 is controlled by a control device 4. The focus head 3 is moved up and down by a lifting mechanism (not shown), and the focus head 3 and a processing table (not shown) on which the workpiece 5 is placed are orthogonal to each other in a horizontal plane by an appropriate driving mechanism. By performing the relative movement in the direction, the workpiece 5 can be subjected to required laser processing.

【0007】上記フォーカスヘッド3には光ファイバコ
ネクタ6を取付けてあり、この光ファイバコネクタ6を
介してこれに接続した光ファイバ7の一端7aをフォー
カスヘッド3内に臨ませている。上記光ファイバ7の他
端は光ファイバコネクタ8を介してフォトダイオード9
に臨ませてあり、このフォトダイオード9によって検出
光を電気信号に変換し制御装置4に入力するようにして
いる。そして、上記両コネクタ6、8と光ファイバ7お
よびフォトダイオード9によって検出手段10を構成し
ている。したがって、上記制御装置4によってパルス発
振制御されたレーザ発振器1からのレーザ光線Lは、フ
ォーカスヘッド3の集光レンズ2で集光されて被加工物
5に照射されるようになる。そして検出手段10を構成
するフォトダイオード9は連続して、つまりパルス発振
されるレーザ光線Lの照射時と停止時ともに、レーザ光
線Lの照射によって生じた光を受けるようになる。この
ときレーザ光線Lの波長は、一例として10600nm
であり、また被加工物5の溶融部分から生じる光L2の
波長は300〜900nm程度であるので、例えば70
0nmの波長を検出できるフォトダイオード9を用いれ
ば、レーザ光線Lを検出することなく溶融部分から生じ
る光L2のみを検出することができる。なお、被加工物
5の溶融部分から生じる光L2は光量が弱く、被加工物
5より直接受光するよりも、集光レンズ2により反射さ
れた溶融光を、光ファイバ7の一端7aの先端面を集光
レンズ2に向け斜め上方に傾斜させ受光した方が検出光
量が増加し、また塵埃等による損傷も防止できる。
An optical fiber connector 6 is attached to the focus head 3, and one end 7 a of an optical fiber 7 connected to the optical fiber connector 6 faces the inside of the focus head 3 via the optical fiber connector 6. The other end of the optical fiber 7 is connected to a photodiode 9 via an optical fiber connector 8.
The detection light is converted into an electric signal by the photodiode 9 and input to the control device 4. The two connectors 6 and 8, the optical fiber 7 and the photodiode 9 constitute a detecting means 10. Therefore, the laser beam L from the laser oscillator 1, whose pulse oscillation is controlled by the control device 4, is condensed by the condenser lens 2 of the focus head 3 and irradiates the workpiece 5. Then, the photodiode 9 constituting the detection means 10 receives the light generated by the irradiation of the laser beam L continuously, that is, both during the irradiation of the pulsed laser beam L and during the stop. At this time, the wavelength of the laser beam L is, for example, 10600 nm.
The wavelength of the light L2 generated from the melted portion of the workpiece 5 is about 300 to 900 nm.
If the photodiode 9 that can detect the wavelength of 0 nm is used, only the light L2 generated from the fused portion can be detected without detecting the laser beam L. The light L2 generated from the melted portion of the workpiece 5 has a weak light amount, and the molten light reflected by the condenser lens 2 is transmitted to the end face 7a of the one end 7a of the optical fiber 7 rather than received directly from the workpiece 5. When the light is received obliquely upward toward the condenser lens 2, the amount of detected light increases, and damage due to dust or the like can be prevented.

【0008】次に、制御装置4は、ピアッシングが終了
したことを判定するピアッシング判定部4Aと、被加工
物5の切断加工中に切断不良が生じたことを判定する切
断不良判定部4Bと、さらにレーザ加工中におけるブロ
ーアップが発生する危険性の有無を判定するブローアッ
プ判定部4Cとを備えている。また、制御装置4は、上
記各判定部4A,4B,4Cによる判定結果を表示する
表示部4Dを備えている。上記ピアッシング判定部4A
は、図2に示すように、ピアッシングの終了を判定する
基準となるピアッシング終了判定光量Aをあらかじめ記
憶している。そして、実際に被加工物5にレーザ光線L
を照射してピアッシングする時に、上記検出手段10か
ら制御装置4に入力される検出光量と、上記ピアッシン
グ終了判定光量Aとを比較するようになっている。より
詳細には、制御装置4は、ピアッシング加工時には、ピ
アッシング加工に好適な条件でレーザ発振器1をパルス
発振制御させ、それと同時に上記検出手段10によって
光量を検出している。このとき制御装置4は、ピアッシ
ング終了判定光量Aに対してはフォトダイオード9によ
って検出した検出光量をそのまま比較値として用いてい
る。すなわち、ピアッシングが終了して被加工物5に孔
が穿設される前までは、レーザ光線Lの照射時Bにおけ
る検出光量Cは大きく、上記ピアッシング終了判定光量
Aを越えるようになる。これに対して、被加工物5にピ
アッシング孔が穿設されると、レーザ光線Lの照射時B
における検出光量Cが小さくなって上記ピアッシング終
了判定光量A以下となるので、この時にピアッシング判
定部4Aはピアッシング終了と判定するようにしてい
る。そして、ピアッシング判定部4Aによってピアッシ
ング終了と判定された場合には、その旨、上記表示部4
Dに表示されるとともに、制御装置4は、ピアッシング
終了と判定された後に直ちに、又は複数回のピアッシン
グの終了を確認した後に、上記レーザ発振器1によるピ
アッシング加工を終了する。
Next, the control device 4 includes a piercing determination unit 4A for determining that the piercing has been completed, a cutting failure determination unit 4B for determining that a cutting failure has occurred during the cutting of the workpiece 5, and Further, a blow-up determination unit 4C for determining whether there is a risk of occurrence of blow-up during laser processing is provided. In addition, the control device 4 includes a display unit 4D that displays a result of the determination by each of the determination units 4A, 4B, and 4C. Piercing judgment unit 4A
As shown in FIG. 2, a piercing end determination light amount A serving as a reference for determining the end of piercing is stored in advance. Then, the laser beam L is actually applied to the workpiece 5.
When piercing is performed by irradiating the piercing, the detected light amount input from the detection means 10 to the control device 4 is compared with the piercing end determination light amount A. More specifically, at the time of piercing, the control device 4 controls the laser oscillator 1 to perform pulse oscillation under conditions suitable for the piercing, and at the same time, detects the amount of light by the detection means 10. At this time, the control device 4 uses the light amount detected by the photodiode 9 as it is as the comparison value for the piercing end determination light amount A. That is, before the piercing is completed and before the hole is formed in the workpiece 5, the detected light amount C at the time of irradiation B of the laser beam L is large, and exceeds the piercing end determination light amount A. On the other hand, when a piercing hole is formed in the workpiece 5, the piercing hole B
Is smaller than the light amount A for determining the end of the piercing, the piercing determination unit 4A determines that the piercing is completed at this time. If the piercing determination unit 4A determines that the piercing is completed, the display unit 4 indicates that fact.
D, the control device 4 ends the piercing processing by the laser oscillator 1 immediately after it is determined that the piercing is completed, or after confirming the completion of the piercing a plurality of times.

【0009】次に、切断不良判定部4Bは、被加工物5
の切断加工中に切断不良となったことを判定するための
切断不良判定光量Dをあらかじめ記憶している。そし
て、切断不良判定部4Bは、実際に被加工物5にレーザ
光線Lを照射して切断加工する時に、上記検出手段10
から制御装置4に入力される検出光量と、上記切断不良
判定光量Dとを比較するようになっている。つまり、図
3に示すように、制御装置4は、上記ピアッシング加工
時の場合と同様に、切断加工に好適な条件でレーザ発振
器1をパルス発振制御させ、それと同時に上記検出手段
10によって光量を検出している。そして、切断加工時
において、被加工物5がレーザ光線Lによって正常に切
断されているときには、レーザ光線Lの照射時Bにおけ
る検出光量Eは小さいので、上記切断不良判定光量Dを
越えることはない。これに対して、被加工物5が完全に
切断されない切断不良時には、レーザ光線Lの照射時B
における検出光量Eが大きくなって上記切断不良判定光
量D以上となるので、その時に上記切断不良判定部4B
は切断不良と判定するようにしている。そして、切断不
良判定部4Bによって切断不良と判定した場合には、そ
の旨、上記表示部4Dに表示されるとともに、制御装置
4は、その後に直ちに、上記レーザ発振器1によるレー
ザ光線の照射を停止させる。
Next, the cutting failure judging section 4 B
The cutting failure determination light amount D for determining that a cutting failure has occurred during the cutting process of the above is stored in advance. Then, the cutting failure judging unit 4B performs the above-described detecting means 10 when actually irradiating the workpiece 5 with the laser beam L to perform the cutting.
Is compared with the detected light quantity D input to the control device 4 from the above and the cutting failure determination light quantity D. That is, as shown in FIG. 3, the controller 4 controls the laser oscillator 1 to perform pulse oscillation under conditions suitable for the cutting process, as in the case of the piercing process, and at the same time, detects the amount of light by the detecting unit 10. doing. Then, when the workpiece 5 is normally cut by the laser beam L during the cutting process, the detected light amount E at the time of irradiation B of the laser beam L is small, and therefore does not exceed the cutting defect determination light amount D. . On the other hand, when the workpiece 5 is not completely cut and the cutting failure occurs, when the laser beam L is irradiated,
In this case, the detected light amount E becomes larger than or equal to the cutting failure determination light amount D, and at that time, the cutting failure determination unit 4B
Are determined to be defective. When the cutting failure is determined by the cutting failure determining unit 4B, the fact is displayed on the display unit 4D, and the controller 4 immediately stops the laser beam irradiation by the laser oscillator 1 after that. Let it.

【0010】次に、上記ブローアップ判定部4Cは、図
4に示すように、被加工物5の加工部にブローアップの
危険性があるか否かを判定するためのブローアップ判定
光量Fをあらかじめ記憶している。そして、ブローアッ
プ判定部4Cは、ブローアップ判定光量Fに対してはレ
ーザ光線Lの照射時Bではなく、照射時Bの中間の照射
停止時Gにおける検出光量Hを比較値として用いてい
る。すなわち通常は、レーザ光線Lの照射時Bの中間の
照射停止時Gでは被加工物5の溶融物がアシストガスに
よって除去されて冷却されるので、正常な状態では、レ
ーザ光線Lの照射停止時Gにおける検出光量Iは小さ
く、ブローアップ判定光量Fを越えることはない。これ
に対して、上記溶融部分の除去が不完全となって徐々に
熱が蓄積されると、上記照射停止時Gにおける検出光量
Iが増大する。上記ブローアップ判定部4Cは、その照
射停止時Gにおける検出値を積分しており、その積分し
て得た検出光量Iがブローアップ判定光量Fを越えた
ら、ブローアップ判定部4Cは、ブローアップに至る前
に、ブローアップの危険性ありと判定するようになる。
そして、その際には、上記表示部4Dによって、その
旨、表示するようになっている。なお、上記ブローアッ
プの危険性は、ピアッシング加工時だけでなく、切断加
工時にも検出することができる。また、レーザ発振器1
を連続発振制御する場合には上記実施例の場合よりもブ
ローアップ判定光量Fを大きく設定し、レーザ光線Lの
照射時Bにおける検出光量Hとブローアップ判定光量F
とを比較すればよい。
Next, as shown in FIG. 4, the blow-up judging section 4C sets a blow-up judging light amount F for judging whether or not there is a danger of blow-up in the processing section of the workpiece 5. It is stored in advance. Then, the blow-up determining unit 4C uses the detected light amount H at the irradiation stop time G in the middle of the irradiation time B, not the irradiation time B of the laser beam L, as the comparison value for the blow-up determination light amount F. That is, normally, at the time of the irradiation stop G, which is the middle of the time B of the irradiation of the laser beam L, the melt of the workpiece 5 is removed by the assist gas and cooled. The detected light amount I in G is small and does not exceed the blow-up determination light amount F. On the other hand, if the removal of the molten portion is incomplete and heat is gradually accumulated, the detected light amount I at the irradiation stop time G increases. The blow-up determining unit 4C integrates the detected value at the time of the irradiation stop G, and when the integrated light amount I exceeds the blow-up determining light amount F, the blow-up determining unit 4C Before it is determined that there is a risk of blow-up.
In this case, the display section 4D displays the fact. The risk of blow-up can be detected not only at the time of piercing but also at the time of cutting. In addition, laser oscillator 1
When the laser beam L is continuously oscillated, the blow-up determination light amount F is set to be larger than in the above embodiment, and the detected light amount H and the blow-up determination light amount F at the time of irradiation B of the laser beam L are set.
Should be compared with.

【0011】さらに本実施例では、図1に示すように、
上記検出手段10によって検出可能な基準光Jを発生さ
せる基準光発生手段13を設けてあり、基準光発生手段
13で発生させた基準光Jを上記検出手段10によって
検出できるようにしている。またそれと同時に、上記制
御装置4に、検出手段10が正常に機能しているか否か
を判定する検出機能判定部4Eを設けている。より詳細
には、上記検出手段10の光ファイバ7の一端7aと対
向させて、光ファイバコネクタ14によって光ファイバ
15の一端15aを取り付けている。この光ファイバ1
5の他端は、光ファイバコネクタ16によって発光ダイ
オード17に臨ませている。そして、所要時に制御装置
4から発光ダイオード17に対して所定の波長の基準光
Jを発生させるようにしてあり、その時には、基準光J
は光ファイバ15の一端15aから検出手段10の光フ
ァイバ7の一端7aに向けて発光される。そして、検出
手段10は、上記基準光Jを検出した検出光を制御装置
に入力する。他方、検出機能判定部4Eは、検出手段1
0によって実際に検出した基準光Jの検出光量J’が、
正常な範囲であると判断可能な下限の検出機能判定光量
Kを予め記憶している。そして、上記検出手段10によ
って実際に検出した基準光Jの検出光量J’が上記判定
光量Kよりも小さい場合に、上記検出手段10の機能が
不良であると判定する様になっている。そのときには、
その旨、上記表示部4Dに表示するようにしている。
Further, in this embodiment, as shown in FIG.
A reference light generating means 13 for generating a reference light J detectable by the detecting means 10 is provided so that the detecting means 10 can detect the reference light J generated by the reference light generating means 13. At the same time, the control device 4 is provided with a detection function determination unit 4E for determining whether the detection means 10 is functioning normally. More specifically, one end 15a of an optical fiber 15 is attached by an optical fiber connector 14 so as to face the one end 7a of the optical fiber 7 of the detection means 10. This optical fiber 1
The other end of 5 faces the light emitting diode 17 by the optical fiber connector 16. When necessary, the control device 4 generates a reference light J of a predetermined wavelength to the light emitting diode 17.
Is emitted from one end 15a of the optical fiber 15 toward one end 7a of the optical fiber 7 of the detecting means 10. Then, the detection unit 10 inputs the detection light that has detected the reference light J to the control device. On the other hand, the detection function determination unit 4E
0, the detected light amount J ′ of the reference light J actually detected is
The lower limit detection function determination light amount K at which a normal range can be determined is stored in advance. When the detected light amount J 'of the reference light J actually detected by the detection means 10 is smaller than the determination light amount K, the function of the detection means 10 is determined to be defective. At that time,
To that effect, it is displayed on the display unit 4D.

【0012】したがって、本実施例では、検出手段10
を構成する光ファイバ7の一端7aが塵埃等によって霞
んで、光の受光機能が低下していることを容易に検出す
ることができる。上述した本実施例によれば、被加工物
5にレーザ加工を施すに当たって、ピアッシング加工の
開始から所要のレーザ加工の終了までの加工の状況をき
わめて良好に監視することができる。しかも、基準光発
生手段13と検出機能判定部4Eとを設けたことによっ
て、検出手段10の機能不良までも容易に検出すること
ができる。なお、上記実施例では検出手段10は、レー
ザ光線Lの波長と異なる波長を有する光を検出するよう
になっているが、全ての波長の光を検出し、そこからレ
ーザ光線Lの波長を除去するような検出手段を用いても
よい。また、上記光ファイバ7のフォーカスヘッド3内
に臨ませた端部7aは、被加工物5に向けて配設しても
よい。
Therefore, in this embodiment, the detecting means 10
It can be easily detected that the one end 7a of the optical fiber 7 constituting the optical fiber 7 is hazy due to dust or the like and the light receiving function is reduced. According to the above-described embodiment, when performing the laser processing on the workpiece 5, it is possible to monitor the processing state from the start of the piercing processing to the end of the required laser processing very well. Moreover, the provision of the reference light generating means 13 and the detection function determining section 4E makes it possible to easily detect even the malfunction of the detection means 10. In the above embodiment, the detecting means 10 detects light having a wavelength different from the wavelength of the laser beam L, but detects light of all wavelengths and removes the wavelength of the laser beam L therefrom. Alternatively, a detection unit that performs the operation may be used. Further, the end 7 a of the optical fiber 7 that faces the inside of the focus head 3 may be disposed toward the workpiece 5.

【0013】[0013]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、従来の
装置に比較して、より正確な被加工物の加工状況の監視
を行うことができるという効果が得られる。
As described above, according to the present invention, it is possible to more accurately monitor the processing state of a workpiece as compared with the conventional apparatus.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す概略構成図。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing one embodiment of the present invention.

【図2】ピアッシングの終了を検出するための説明図。FIG. 2 is an explanatory diagram for detecting the end of piercing.

【図3】切断不良を検出するための説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram for detecting a cutting failure.

【図4】ブローアップの危険性の有無を検出するための
説明図。
FIG. 4 is an explanatory diagram for detecting whether there is a risk of blow-up.

【図5】検出手段10の機能の良否を検出するための説
明図。
FIG. 5 is an explanatory diagram for detecting whether the function of a detection unit is good or bad.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…レーザ発振器 3…フォーカスヘッド 4…制御装置 5…被加工物 10…検出手段 13…基準光発生手段 4B…切断不良判定部 4E…検出機能判定部 D…切断不良判定光量 K…検出機能判定光量 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser oscillator 3 ... Focus head 4 ... Control device 5 ... Workpiece 10 ... Detection means 13 ... Reference light generation means 4B ... Cutting failure determination part 4E ... Detection function determination part D ... Cutting failure determination light amount K ... Detection function determination Light intensity

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 レーザ光線を発振するレーザ発振器と、
このレーザ発振器から発振されたレーザ光線を被加工物
に向けて照射するフォーカスヘッドと、上記レーザ光線
の照射によって被加工物の溶融部分から生じた光を検出
する検出手段と、上記レーザ発振器を制御するととも
に、上記検出手段で検出した検出光量が入力される制御
装置とを備えて、上記検出手段によって検出した検出光
量の変化によって被加工物の加工状況を監視できるよう
に構成したレーザ加工機において、 所定の光量の基準光を発生させて、該基準光を上記検出
手段に向けて発光させる基準光発生手段を設けるととも
に、 上記制御装置に、予め許容可能な下限となる判定光量を
記憶させた検出機能判定部を設け、 この検出機能判定部は、検出手段によって実際に検出し
た基準光の検出光量が予め記憶した判定光量よりも小さ
い場合に、上記検出手段の機能が不良であると判定する
ことを特徴とするレーザ加工機。
A laser oscillator for oscillating a laser beam;
A focus head for irradiating a laser beam oscillated from the laser oscillator toward the workpiece, detecting means for detecting light generated from a molten portion of the workpiece by the irradiation of the laser beam, and controlling the laser oscillator And a control device to which the detected light amount detected by the detecting means is input, and a laser processing machine configured to monitor a processing state of the workpiece by a change in the detected light amount detected by the detecting means. A reference light generating unit that generates a predetermined amount of reference light and emits the reference light toward the detection unit, and the control device stores in advance a determination light amount that is an allowable lower limit. A detection function determination unit, wherein the detection function determination unit determines that the detected light amount of the reference light actually detected by the detection unit is smaller than the previously stored determination light amount. If have, laser processing machine, characterized in that the function of the detection means is determined to be defective.
【請求項2】 記制御装置に、予め被加工物の加工部
分が切断不良であると判定するための切断不良光量を記
憶した切断不良判定部を設け、 この切断不良判定部は、被加工物の切断加工時における
上記検出手段による検出光量が上記切断不良光量よりも
大きい場合に、被加工物が切断不良であると判定するこ
とを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工機。
To 2. The upper SL controller, prefabricated parts of the workpiece provided a cutting defect determining unit that stores cutting defects amount for determining that a defective cut, the cut defect determination unit, the processed 2. The laser beam machine according to claim 1, wherein when the amount of light detected by the detection means during the cutting of the object is larger than the amount of defective cutting, the workpiece is determined to be defective.
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JP4757557B2 (en) * 2005-07-29 2011-08-24 ミヤチテクノス株式会社 Laser processing head
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0199792A (en) * 1987-10-14 1989-04-18 Mitsubishi Electric Corp Laser beam machine
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