JP2703662B2 - 物体の姿勢測定方法 - Google Patents
物体の姿勢測定方法Info
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Description
本発明は、例えばスチルビデオ用のヘッド等のような
物体の姿勢検出方法に関する。また、本発明は、特に、
干渉縞を利用した物体の姿勢測定方法に関するものであ
る。
物体の姿勢検出方法に関する。また、本発明は、特に、
干渉縞を利用した物体の姿勢測定方法に関するものであ
る。
従来、表面形状が所定の曲面形状を有する物体、例え
ば、ビデオヘッド等の傾きを検出するには、被検物の基
準部分の位置（例えば、ギャツプ中心位置）と干渉縞の
中心位置との差を、顕微鏡を用いながら黙視によって確
認しながら、なくすように調整していた。
ば、ビデオヘッド等の傾きを検出するには、被検物の基
準部分の位置（例えば、ギャツプ中心位置）と干渉縞の
中心位置との差を、顕微鏡を用いながら黙視によって確
認しながら、なくすように調整していた。
しかしながら、この黙視による調整は、上記差の定量
化が困難なために、経験と勘に頼る部分が大きく、測定
精度や安定性に欠けると共に、傾き調整の自動化を阻害
する要因となっていた。 そこで、従来の例えば実開平２−105111号では、所定
の局面形状の表面を有するヘッド上の干渉縞を得、得ら
れた干渉縞を画像処理してその重心を計算することによ
り、そのヘッドの姿勢を検出している。さらに、ヘッド
の所定部位の可視画像からその部位の位置を検出してい
る。
化が困難なために、経験と勘に頼る部分が大きく、測定
精度や安定性に欠けると共に、傾き調整の自動化を阻害
する要因となっていた。 そこで、従来の例えば実開平２−105111号では、所定
の局面形状の表面を有するヘッド上の干渉縞を得、得ら
れた干渉縞を画像処理してその重心を計算することによ
り、そのヘッドの姿勢を検出している。さらに、ヘッド
の所定部位の可視画像からその部位の位置を検出してい
る。
しかしながら、干渉縞を用いた上記従来技術では、基
本的に単一の干渉縞を対象とし、従って、姿勢を測定す
る精度において、その１つの干渉縞の精度に大きく依存
することとなる。そのために、照明の光量や撮像装置の
感度ムラの影響を受けやすく、姿勢検出精度に問題があ
った。 そこで、本発明は、複数の干渉縞から姿勢測定のため
に最良の干渉縞を選択し、選択された干渉縞から物体の
姿勢を測定する方法であって、照明の光量や撮像装置の
感度ムラの影響を受けにくい物体の姿勢測定方法を提案
することを目的とする。
本的に単一の干渉縞を対象とし、従って、姿勢を測定す
る精度において、その１つの干渉縞の精度に大きく依存
することとなる。そのために、照明の光量や撮像装置の
感度ムラの影響を受けやすく、姿勢検出精度に問題があ
った。 そこで、本発明は、複数の干渉縞から姿勢測定のため
に最良の干渉縞を選択し、選択された干渉縞から物体の
姿勢を測定する方法であって、照明の光量や撮像装置の
感度ムラの影響を受けにくい物体の姿勢測定方法を提案
することを目的とする。
上記課題を達成するための本発明の、所定の曲面形状
表面を有する物体の姿勢を測定する方法は、 前記表面上の複数の干渉縞画像を得る第１の撮像工程
と、 前記複数の干渉縞画像の各々の干渉縞の大きさを所定
値と比較することにより、１つの干渉縞画像を選択する
選択工程を含み、 選択された１つの干渉縞画像を画像処理して、その重
心を近似的に計算する画像処理工程と、 得られた重心位置の、所定の基準位置に対する偏位量
を測定する測定工程と、 前記偏位量に基づいて前記物体のチルト姿勢を検出す
る検出工程とを具備したことを特徴とする。
表面を有する物体の姿勢を測定する方法は、 前記表面上の複数の干渉縞画像を得る第１の撮像工程
と、 前記複数の干渉縞画像の各々の干渉縞の大きさを所定
値と比較することにより、１つの干渉縞画像を選択する
選択工程を含み、 選択された１つの干渉縞画像を画像処理して、その重
心を近似的に計算する画像処理工程と、 得られた重心位置の、所定の基準位置に対する偏位量
を測定する測定工程と、 前記偏位量に基づいて前記物体のチルト姿勢を検出す
る検出工程とを具備したことを特徴とする。
以下添付図面を参照して、本発明を、スチルビデオカ
メラのヘツドのキヤリツジ取付け位置の調整に適用した
実施例を説明する。 〈取付け装置〉 第２図は、スチルビデオ用のフロッピーデイスクドラ
イブ内部に設置されたヘツドアツセンブリの、そのドラ
イブ内における取付け状態を図示したものである。図
中、ヘツド１を装着されたキヤリツジ２はレール3,5に
沿って、紙面に垂直な方向に移動することにより、ヘツ
ド１を不図示の磁気デイスクの所定のトラックにシーク
させるようになっている。ヘツド１はキヤリツジ２に４
の位置で接着されている。ヘツドアツセンブリを製造す
るときは、後述するような所定の検査装置上でヘツド１
の姿勢を正確に検出しつつ、その姿勢が所定の状態にな
ったときに、前記接着面の接着剤が紫外線により硬化さ
れて、ヘツド１はキヤリツジに固定される。 第１図は、デイスクドライブにヘツドアツセンブリを
装着する前工程において、上述したようなキヤリツジに
ヘツドを固定するための装置100の正面図である。第１
図において、未固着のヘツド１は、ホルダ10により保持
された状態で且つホルダ11により保持されたキヤリツジ
２から離間した状態で保持されている。また、同装置10
0は、ヘツド１の画像を取り込むための光学系システム3
0と、ヘツド１の位置決めを行なう位置決め装置50と、
データ処理／制御システム20とからなる。 ホルダ10の保持されたヘツド１は、位置決装置50がホ
ルダ10の姿勢を制御することにより、その姿勢が制御さ
れる。第３図は位置決め装置50の構成を示す斜視図であ
る。位置決め装置50は、ホルダ10を、Ｚ方向に移動する
モータ56と、Ｘ方向に移動するモータ54と、Ｙ方向に移
動するモータ55と、θ方向に調整するためにアジマス角
を制御するためのモータ53と、チルチ方向に移動する
ためのモータ51と、チルト方向に移動するためのモー
タ52等からなる。 光学系システム30の詳細は第４図に示される。この光
学系システム30は、主に、ヘツド１のXYZ方向とチルト
方向の姿勢を調整するのに使われる二次元画像を得るた
めの光学系と、アジマス角を調整するために使われるヘ
ツド１の一次元画像を得るための光学系とからなる。第
４図において、37は参照光として白色光を出す光源であ
る。ヘツド１の干渉像は、干渉対象レンズ36,投影レン
ズ34を経てハーフミラー32により反射され、ITVカメラ3
1によりビデオ信号に変換される。ヘツド１の通常の光
学像は対物レンズ36,投影レンズ34,ミラー32を経てCCD
ラインセンサにより取り込まれる。 ITVカメラ31により取り込まれる画像は、ヘツド１の
通常の光学像と干渉縞像の２つである。通常の光学像
は、ヘツドのギャツプ中心を検出するのに元いられる。
また干渉縞像はチルト調整を行なうために干渉リングの
中心を検出するのに使われる。光源37に白色光を用いた
理由は、後述するように、上記通常の光学像と干渉縞像
との両方が同時に鮮明に映らないようにして、両像を分
離する手間を省くためである。 画像処理／制御系20について説明する。ITVカメラ31
により取り込まれた干渉縞像はコントロールユニツト21
を介して画像処理装置23内の所定のメモリに書込まれ
る。この画像処理装置23は、後述するように、干渉縞像
から、干渉リングの中心を求める等の画像処理の他に、
ヘツド１の姿勢を調整するために前述の各方向の駆動モ
ータを駆動するための信号を演算し、それらの信号をス
テージドライバ25を介して前記モータに出力する。 画像処理装置23の構成を第５図に示す。 〈ずれ量検出の原理〉 次に、ずれ量検出の原理について説明する。 第６図は、ダブルギャツプタイプのヘツドの平面図で
ある。本実施例では、デイスクのトラック方向をＸ方向
に一致させている。もしヘツド１がXY方向でずれている
ことがヘツド１の光学像から知れれば、Ｘ方向モータ54
とＹ方向モータ55を駆動することにより調整する。アジ
マス方向にずれているならば、θ方向モータ53を駆動す
る。 第７図はアジマス角測定の原理を説明する。同におい
て、互いに距離ｌだけ離間した２つのギャツプの延長方
向がＹ軸に対してθだけずれているとする。CCDライン
センサ37をＹ軸に沿って平行にスキャンすると、同図に
示したような２つの信号が得られる。この２つの信号の
Ｘ方向の重心位置X1とX2間の距離ΔＸを計測し、 によりアジマス角を得ることができる。 次に、チルト角の調整の原理について第８図を用いて
説明する。 第８図において、円弧はヘツド１の摺動面の側面を表
わす。同図の（ａ）において、ヘツド１はXY平面に対し
て角度ｔだけチルトしており、ヘツド１のギャツプ間中
心1aは、Ｘ軸原点Ｏに対してΔＸだけ偏位しているもの
とする。Ｘ方向の偏位は、ギャツプ中心1aの光学像を測
定することにより測定できる。第８図の（ｂ）は、ギャ
ツプ中心1aを原点Ｏに移動することによりＸ方向の偏位
を修正した状態を表わす。ヘツド１が（ｂ）の状態にあ
るときに得られた干渉縞の像を同図の（ｃ）に示す。干
渉縞の中心は、ヘツド摺動面（略球面を成している）上
の点で、Ｚ方向に最上位（『頂上』）の位置の点に対応
するから、この中心点はギャツプ中心1aとは一致しな
い。しかし、その距離ΔX2を計れば、 ここで、Ｒはヘツド摺動面の既知の曲率半径である。
尚、（２）式は、チルト角ｔは、ｔ《１と仮定して得た
近似結果である。 こうして、チルト角ｔを計算できれば、モータ51,52
の一方若しくは両方を駆動して、第８図の（ｄ）のよう
に、ギャツプ中心1aを、Ｚ軸方向の頂上に置くことがで
きる。この時点では、チルトの調整により、ギャツプ中
心1aはXY面の原点Ｏからずれてしまうから、再度光学像
からギャツプ中心と原点とのずれを計測して、ギャツプ
中心1aを原点に一致させる。 尚、チルト調整のための回動中心を、ヘツド表面の曲
率中心に一致させる必要はない。 第9A図，第9B図は、装置100における操作手順を示す
フローチヤートである。先ず、ステツプS2においてヘツ
ド１をクランプする。次に、ステツプS4でＺ軸を位置Ｉ
に移動する。 ここで、位置Ｉについて第４図と第14図を用いて説明
する。本ヘツドアツセンブリ組立装置100の光学系は所
定の焦点深度を有している。また、自動合焦機構35及び
その制御部22を有しているので、本来的には、像が合焦
するように、Ｚ軸方向モータ56を駆動する。即ち、Ｚ軸
位置は、第14図の合焦位置III′に置かれる筈である。
しかしながら、このような合焦位置III′にＺ軸が置か
れると、干渉縞の画像に、ヘツド１の画像が重畳してし
まい、干渉リング像とそれ以外の像とを識別する処理が
必要となる。 ところで、光学像の合焦位置は光学倍率により決定で
きるものであり、第14図の（ａ）における対物レンズ3
6,ITVカメラ31を含めた光学系の撮像面位置IV′を、第1
4図の（ｃ）における位置IVに移動して拡大倍率を変化
させると、合焦位置は第14図（ａ）の位置III′から第1
4図（ｃ）のIIIに移動できる。 一方、干渉縞像の合焦位置は対象物と参照ミラーの位
置関係により決定されるものであり、撮像面を位置IV′
から位置IVに変更して参照ミラーの位置を変化させなけ
れば、第14図の（ｂ）に示すように、干渉縞の合焦位置
とヘツドの光学像の合焦位置をずらすことが可能であ
る。また撮像面の位置をずらさずに、干渉用の参照ミラ
ーの位置をずらしても同様の事が可能である。 従って、本実施例においては、レンズの焦点深度内で
光学像の合焦位置と干渉縞計測位置をずらすように、対
物レンズ36及び参照ミラーの位置関係を設定し、第４図
に示すように、ギャツプ中心位置を測定するためのヘツ
ド１の光学像を得るときは、Ｚ軸をＩ位置に移動し、干
渉縞像を得るときはＺ軸をII位置に移動するようにして
いる。このとき、 焦点深度＞干渉縞計測位置 …（３） （十数μｍ）（〜１μｍ） となる。位置Ｉは、焦点深度内であるためのヘツドの光
学像はシャープであるものの、干渉縞の像はぼけてしま
う。位置IIでは、干渉縞像，ヘツドの光学像共にぼける
が、干渉縞像の方が空間周波数が低いために、ぼけの影
響が少ない。従って、位置Ｉにおいては、得られた画像
から干渉縞像を除去し、位置IIにおいては、得られた画
像からヘツドの光学像を除去することは容易となる。 光源37にコヒーレントな光を発する光源を用いると、
干渉縞像は、Ｚ軸がどこにあってもはっきり現われてし
まうために、光学像だけを欲しいときには、却って逆効
果となる。以上が、ヘツドの光学像を得るときには位置
Ｉに、干渉縞像を得るときには位置IIにＺ軸を移動する
こと、そして、光源として白色光を用いることの理由で
ある。 第9A図に戻って操作手順の説明を続ける。ステツプS4
ではヘツドの光学像を取り込む。ステツプS6では、ギャ
ツプ中心を計測する。このギャツプ中心1aの位置計測
は、上記光学像を二値化し、その二値画像についてのＸ
方向とＹ方向のヒストグラムから測定することができ
る。ステツプS8では、計測して得られたギャツプ中心が
原点にあるかを調べる。もし、原点になければ、ステツ
プS10でモータ54,55を駆動して、ギャツプ中心を原点に
合せる。この操作が第８図の（ａ）から（ｂ）に到る手
順に相当する。ギャツプ中心1aが原点Ｏに一致したなら
ば、ステツプS12に進んで、Ｚ軸を位置IIに移動し、、
ステツプS14で干渉縞像を取り込む。ステツプS16では、
干渉縞の中心位置を測定する。この測定の詳細な手順は
後に説明する。ステツプS18では（２）式に従って、チ
ルト角を計算する。チルト方向にずれがある限り、ステ
ツプS22でチルトモータ51,52を駆動して調整する。この
状態が第８図の（ｄ）に相当する。 チルト方向の調整が済むと、ステツプS30以下でアジ
マス角の調整を行なう。先ず、ステツプS30で、光学系
の倍率の変更を行なう。これは、ヘツドギャツプ近傍の
拡大画像を得ることによりアジマズ角測定精度を向上す
るためである。ステツプS32〜ステツプS38では、第７図
に関連して説明したアジマス調整手法をCCDラインセン
サより得た画像に対して適用する。 ステツプS40〜ステツプS46は、上記チルト調整とアジ
マス角調整のために、原点Ｏからずれてしまったギャツ
プ中心1aを原点に戻すためのXY方向の調整であり、その
内容はステツプS2乃至ステツプS10と実質的に同じであ
る。 かくして、ヘツド１は正規の姿勢を得た。そこで、ス
テツプS48で、接着剤を塗布されたキヤリツジをホルダ1
1に取付け、ステツプS50では、モータ６を駆動して、キ
ヤリツジ11をヘツド１の保持位置に移動する。そして、
ステツプS52で紫外線を照射して接着剤を硬化させる。 一般に、６軸の自由度を有するものを固定することは
極めて困難であるが、接着剤を使用して固定することに
より容易となる。更には、三次元方向における位置姿勢
の調整が自動化される。 〈干渉縞中心の測定〉 第9A図のステツプS16における干渉縞中心の測定の詳
細について説明する。 前述したように、ヘツド１の表面は略球状の表面を有
している。第８図の（ｃ）に関連して説明したように、
球状表面を有する物体の干渉縞の中心は干渉光の光路方
向の頂上に一致する。従って、チルト角の測定には干渉
縞中心の正確な測定が不可欠である。第9C図は、ステツ
プS16の測定処理の手順を更に詳細に示したフローチヤ
ートである。この第9C図に従って干渉縞中心の測定につ
いて説明する。 ステツプS70では、ステツプS14で取り込んだ干渉縞画
像を二値化する。第10図は、デジタル化された干渉縞画
像のアドレッシングを説明するものである。即ち、各画
素はIPi（i,j）で表わされる。二値化処理は、 IP2（i,j）＝０（IP1（i,j）＜δ） IP2（i,j）＝１（IP1（i,j）≧δ） ‥‥‥（４） に従って行なわれる。次にステツプS72でエッジ像を作
成する。二値化処理で得られた画素IP2（i,j）の『８近
傍』の画素を、第11図に示すように、N1（i,j）〜N
8（i,j）とすると、エッジ画像IP3（i,j）は、 IP3（i,j）＝０ （上記以外に対して） ‥‥‥（５） で計算する。次に、ステツプS74で、ラベル付け処理を
行なう。このラベル付けは、例えば、“1"ビツトを有す
る連続したドットの集団に対して１つのラベルを付する
という形で行なう。ステツプS76では各ラベルに対して
特徴抽出処理を行なう。 本実施例では特徴量をモーメント及び面積で表現す
る。ラベルＬについての９次〜２次のモーメント値Mpq
（Ｌ）（但し、０≦p,q≦２であり、且つ、０≦ｐ＋ｑ
≦２）は、 である。但し、ｆ（i,j）は、 ｆ（i,j）＝１（IP（i,j）＝Ｌの場合） ＝０（IP（i,j）≠Ｌの場合） である。二次モーメントについては、主軸回りのモーメ
ントM20＊，M02＊も求める。但し、対象像が対称の場合
は主軸回りのモーメントが求まらないため重心回りのモ
ーメントで代用する。またエッジ像の面積はそのドット
数で表わす。 ステツプS76ではエッジ像の選択を行なう。干渉縞画
像は、通常、複数個現われるので、エッジ画像も複数個
ラベル化される。この選択処理は、複数のエッジ画像の
中から、ヘツド球面の頂上に対応する干渉縞のエッジ画
像の中心を決定するのに最適なものを選択するのであ
り、その概略は第12図に示され、その詳細な手順は第13
図に示される。第12図に示されているように、エッジ画
像の探索は、８つの探索路S1乃至S8の順で行なう。探索
路上でエッジ画像が見付かったならば、そのエッジ画像
の特徴、即ち、前述の面積及びモーメントが基準内であ
るものを候補とする。複数の候補のうち、基準点（原点
０）から最短位置にあるものを『頂上』位置の計算対象
のエッジ画像（リング）とする。頂上位置の計算は、上
記干渉縞が円形をなしていると近似し、更に、円の方程
式に最小自乗法を適用する。 第13図のステツプS100において、先ず、変数Lminを初
期化する。このLminは、基準位置（原点）とエッジ画像
間の距離Lnのなかで最小のものを格納する。ステツプS1
02→ステツプS104→ステツプS120→ステツプS102のルー
プでは、ある探索路Snに沿ってエッジを探索するという
動作を画像端に到達するまで繰返す。１つの探索路Sn上
にエッジが存在しなければステツプS124で探索路を変更
する。 ある探索路Snでエッジ像が見付かれば、ステツプS106
に進む。ここで、その見付かったエッジ像（ラベルＬ）
のモーメントMpq（Ｌ）が M20 *（Ｌ）−M0＞０、または、 M02 *（Ｌ）−M0＞０ ‥‥‥（７） であって（M0は照射の閾値）、エッジ部分の面積Ａ
（Ｌ）が、 Ａ（Ｌ）−A0＞０ ‥‥‥（８） である（A0は所定の閾値）ときは、当該ラベルＬのエッ
ジ画像を候補とする。そして、ステツプS108に進んで、
そのエッジ画像の各画素（i,j）と基準位置（原点）と
を結ぶ距離LL（i,j）を計算し、その中で、最小距離の
ものを、ラベルＬのエッジ画像の基準位置（原点）から
の距離LLとする。ステツプS110では、この計算されたエ
ッジ画像の原点からのLLを前記変数Lminと比較し、 LL＜Lmin ‥‥‥（９） ならば、ステツプS112で、 Lmin＝LL ‥‥‥（10） としてLLを更新するとともに、ラベルＬを記憶すること
により、このエッジ画像を、現時点での最適候補とす
る。原点からの距離が最短のエッジ画像を最適エッジ画
像としたのは、最短のものであれば、そのエッジ画像は
干渉リングの全周の画素がメモリに取り込まれている筈
であり、そのような画像は円近似に最適であるからであ
る。距離LLが最短のものであっても、そのような画像は
ステツプS106による判定により、円近似計算に適したひ
ろがりを有していることが保証されている。 第12図に示したように、l1，l2，l3の干渉リングがメ
モリ内にある場合には、l2はモーメントに対する適合条
件により不適切と判断される。また、l3は面積Ａに対す
る適合条件により不適切と判断される。そして、l1が最
適切と判断されるであろう。 第9C図のステツプS80では、選択された干渉縞を円近
似する。近似される円の中心座標位置を（x0，y0）とす
ると、半径Ｒの円を表わす式は、 （ｘ−x0）2＋（ｙ−y0）2＝R2 ‥‥‥（12） となる。（12）式を展開した式 ２x0・ｘ＋２y0・ｙ＋（R2−x0 2−y0 2）＝x2＋y2 を用い、 を導入すると、正規方程式 ［Ｘ］［Ａ］＝［Ｙ］ ‥‥‥（13） が得られる。 ［Ａ］＝［Ｘ］-1［Ｙ］ ‥‥‥（14） より中心位置（x0，y0）及び半径Ｒを求める。 こうして、干渉リングの中心位置が求められるので、
その位置をヘツド１の頂上とする。そして、更に、その
頂上位置とヘツドギャツプ中心1aの画像位置とに基づい
てチルト角を演算するのは前述した通りである。 〈実施例の効果〉 以上説明した実施例によると、 ：ヘツド表面の干渉縞を画像処理してエッジ画像を抽
出し、その特徴（モーメント、面積）等に基づいて最適
な干渉縞画像を判定している。そして、選択された干渉
縞の画像の中心位置を特定することにより、ヘツド表面
の頂上とヘツドギャツプ中心との位置ずれ、即ち、チル
ト角を計算している。即ち、このようにチルト角の計算
が自動化されたことで、ヘツドの位置姿勢調整の全工程
の自動化が可能になった。 :X,Y,Z,θ，チルトという６軸の位置調整後において
も、接着により、ヘツドの容易確実な固定が可能となっ
た。 ：ヘツド１の光学像と干渉縞画像を、それらの採取位
置（第４図のＩとII位置）を異ならせることにより、互
いの影響を除去した鮮明な画像を得るようにしている。
即ち、ヘツドのギャツプ中心1aや干渉縞中心の測定精度
が向上する。 〈変形〉 本発明はその主旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能
である。 例えば、上記実施例は、スチルビデオ信号を記録する
ためのヘツドの姿勢検出に適用したものであったが、本
発明はこれに限定されない。即ち、本発明は、その表面
が略球面、更には、曲面形状を有する物体であれば、干
渉縞を得ることができるので、適用可能である。
メラのヘツドのキヤリツジ取付け位置の調整に適用した
実施例を説明する。 〈取付け装置〉 第２図は、スチルビデオ用のフロッピーデイスクドラ
イブ内部に設置されたヘツドアツセンブリの、そのドラ
イブ内における取付け状態を図示したものである。図
中、ヘツド１を装着されたキヤリツジ２はレール3,5に
沿って、紙面に垂直な方向に移動することにより、ヘツ
ド１を不図示の磁気デイスクの所定のトラックにシーク
させるようになっている。ヘツド１はキヤリツジ２に４
の位置で接着されている。ヘツドアツセンブリを製造す
るときは、後述するような所定の検査装置上でヘツド１
の姿勢を正確に検出しつつ、その姿勢が所定の状態にな
ったときに、前記接着面の接着剤が紫外線により硬化さ
れて、ヘツド１はキヤリツジに固定される。 第１図は、デイスクドライブにヘツドアツセンブリを
装着する前工程において、上述したようなキヤリツジに
ヘツドを固定するための装置100の正面図である。第１
図において、未固着のヘツド１は、ホルダ10により保持
された状態で且つホルダ11により保持されたキヤリツジ
２から離間した状態で保持されている。また、同装置10
0は、ヘツド１の画像を取り込むための光学系システム3
0と、ヘツド１の位置決めを行なう位置決め装置50と、
データ処理／制御システム20とからなる。 ホルダ10の保持されたヘツド１は、位置決装置50がホ
ルダ10の姿勢を制御することにより、その姿勢が制御さ
れる。第３図は位置決め装置50の構成を示す斜視図であ
る。位置決め装置50は、ホルダ10を、Ｚ方向に移動する
モータ56と、Ｘ方向に移動するモータ54と、Ｙ方向に移
動するモータ55と、θ方向に調整するためにアジマス角
を制御するためのモータ53と、チルチ方向に移動する
ためのモータ51と、チルト方向に移動するためのモー
タ52等からなる。 光学系システム30の詳細は第４図に示される。この光
学系システム30は、主に、ヘツド１のXYZ方向とチルト
方向の姿勢を調整するのに使われる二次元画像を得るた
めの光学系と、アジマス角を調整するために使われるヘ
ツド１の一次元画像を得るための光学系とからなる。第
４図において、37は参照光として白色光を出す光源であ
る。ヘツド１の干渉像は、干渉対象レンズ36,投影レン
ズ34を経てハーフミラー32により反射され、ITVカメラ3
1によりビデオ信号に変換される。ヘツド１の通常の光
学像は対物レンズ36,投影レンズ34,ミラー32を経てCCD
ラインセンサにより取り込まれる。 ITVカメラ31により取り込まれる画像は、ヘツド１の
通常の光学像と干渉縞像の２つである。通常の光学像
は、ヘツドのギャツプ中心を検出するのに元いられる。
また干渉縞像はチルト調整を行なうために干渉リングの
中心を検出するのに使われる。光源37に白色光を用いた
理由は、後述するように、上記通常の光学像と干渉縞像
との両方が同時に鮮明に映らないようにして、両像を分
離する手間を省くためである。 画像処理／制御系20について説明する。ITVカメラ31
により取り込まれた干渉縞像はコントロールユニツト21
を介して画像処理装置23内の所定のメモリに書込まれ
る。この画像処理装置23は、後述するように、干渉縞像
から、干渉リングの中心を求める等の画像処理の他に、
ヘツド１の姿勢を調整するために前述の各方向の駆動モ
ータを駆動するための信号を演算し、それらの信号をス
テージドライバ25を介して前記モータに出力する。 画像処理装置23の構成を第５図に示す。 〈ずれ量検出の原理〉 次に、ずれ量検出の原理について説明する。 第６図は、ダブルギャツプタイプのヘツドの平面図で
ある。本実施例では、デイスクのトラック方向をＸ方向
に一致させている。もしヘツド１がXY方向でずれている
ことがヘツド１の光学像から知れれば、Ｘ方向モータ54
とＹ方向モータ55を駆動することにより調整する。アジ
マス方向にずれているならば、θ方向モータ53を駆動す
る。 第７図はアジマス角測定の原理を説明する。同におい
て、互いに距離ｌだけ離間した２つのギャツプの延長方
向がＹ軸に対してθだけずれているとする。CCDライン
センサ37をＹ軸に沿って平行にスキャンすると、同図に
示したような２つの信号が得られる。この２つの信号の
Ｘ方向の重心位置X1とX2間の距離ΔＸを計測し、 によりアジマス角を得ることができる。 次に、チルト角の調整の原理について第８図を用いて
説明する。 第８図において、円弧はヘツド１の摺動面の側面を表
わす。同図の（ａ）において、ヘツド１はXY平面に対し
て角度ｔだけチルトしており、ヘツド１のギャツプ間中
心1aは、Ｘ軸原点Ｏに対してΔＸだけ偏位しているもの
とする。Ｘ方向の偏位は、ギャツプ中心1aの光学像を測
定することにより測定できる。第８図の（ｂ）は、ギャ
ツプ中心1aを原点Ｏに移動することによりＸ方向の偏位
を修正した状態を表わす。ヘツド１が（ｂ）の状態にあ
るときに得られた干渉縞の像を同図の（ｃ）に示す。干
渉縞の中心は、ヘツド摺動面（略球面を成している）上
の点で、Ｚ方向に最上位（『頂上』）の位置の点に対応
するから、この中心点はギャツプ中心1aとは一致しな
い。しかし、その距離ΔX2を計れば、 ここで、Ｒはヘツド摺動面の既知の曲率半径である。
尚、（２）式は、チルト角ｔは、ｔ《１と仮定して得た
近似結果である。 こうして、チルト角ｔを計算できれば、モータ51,52
の一方若しくは両方を駆動して、第８図の（ｄ）のよう
に、ギャツプ中心1aを、Ｚ軸方向の頂上に置くことがで
きる。この時点では、チルトの調整により、ギャツプ中
心1aはXY面の原点Ｏからずれてしまうから、再度光学像
からギャツプ中心と原点とのずれを計測して、ギャツプ
中心1aを原点に一致させる。 尚、チルト調整のための回動中心を、ヘツド表面の曲
率中心に一致させる必要はない。 第9A図，第9B図は、装置100における操作手順を示す
フローチヤートである。先ず、ステツプS2においてヘツ
ド１をクランプする。次に、ステツプS4でＺ軸を位置Ｉ
に移動する。 ここで、位置Ｉについて第４図と第14図を用いて説明
する。本ヘツドアツセンブリ組立装置100の光学系は所
定の焦点深度を有している。また、自動合焦機構35及び
その制御部22を有しているので、本来的には、像が合焦
するように、Ｚ軸方向モータ56を駆動する。即ち、Ｚ軸
位置は、第14図の合焦位置III′に置かれる筈である。
しかしながら、このような合焦位置III′にＺ軸が置か
れると、干渉縞の画像に、ヘツド１の画像が重畳してし
まい、干渉リング像とそれ以外の像とを識別する処理が
必要となる。 ところで、光学像の合焦位置は光学倍率により決定で
きるものであり、第14図の（ａ）における対物レンズ3
6,ITVカメラ31を含めた光学系の撮像面位置IV′を、第1
4図の（ｃ）における位置IVに移動して拡大倍率を変化
させると、合焦位置は第14図（ａ）の位置III′から第1
4図（ｃ）のIIIに移動できる。 一方、干渉縞像の合焦位置は対象物と参照ミラーの位
置関係により決定されるものであり、撮像面を位置IV′
から位置IVに変更して参照ミラーの位置を変化させなけ
れば、第14図の（ｂ）に示すように、干渉縞の合焦位置
とヘツドの光学像の合焦位置をずらすことが可能であ
る。また撮像面の位置をずらさずに、干渉用の参照ミラ
ーの位置をずらしても同様の事が可能である。 従って、本実施例においては、レンズの焦点深度内で
光学像の合焦位置と干渉縞計測位置をずらすように、対
物レンズ36及び参照ミラーの位置関係を設定し、第４図
に示すように、ギャツプ中心位置を測定するためのヘツ
ド１の光学像を得るときは、Ｚ軸をＩ位置に移動し、干
渉縞像を得るときはＺ軸をII位置に移動するようにして
いる。このとき、 焦点深度＞干渉縞計測位置 …（３） （十数μｍ）（〜１μｍ） となる。位置Ｉは、焦点深度内であるためのヘツドの光
学像はシャープであるものの、干渉縞の像はぼけてしま
う。位置IIでは、干渉縞像，ヘツドの光学像共にぼける
が、干渉縞像の方が空間周波数が低いために、ぼけの影
響が少ない。従って、位置Ｉにおいては、得られた画像
から干渉縞像を除去し、位置IIにおいては、得られた画
像からヘツドの光学像を除去することは容易となる。 光源37にコヒーレントな光を発する光源を用いると、
干渉縞像は、Ｚ軸がどこにあってもはっきり現われてし
まうために、光学像だけを欲しいときには、却って逆効
果となる。以上が、ヘツドの光学像を得るときには位置
Ｉに、干渉縞像を得るときには位置IIにＺ軸を移動する
こと、そして、光源として白色光を用いることの理由で
ある。 第9A図に戻って操作手順の説明を続ける。ステツプS4
ではヘツドの光学像を取り込む。ステツプS6では、ギャ
ツプ中心を計測する。このギャツプ中心1aの位置計測
は、上記光学像を二値化し、その二値画像についてのＸ
方向とＹ方向のヒストグラムから測定することができ
る。ステツプS8では、計測して得られたギャツプ中心が
原点にあるかを調べる。もし、原点になければ、ステツ
プS10でモータ54,55を駆動して、ギャツプ中心を原点に
合せる。この操作が第８図の（ａ）から（ｂ）に到る手
順に相当する。ギャツプ中心1aが原点Ｏに一致したなら
ば、ステツプS12に進んで、Ｚ軸を位置IIに移動し、、
ステツプS14で干渉縞像を取り込む。ステツプS16では、
干渉縞の中心位置を測定する。この測定の詳細な手順は
後に説明する。ステツプS18では（２）式に従って、チ
ルト角を計算する。チルト方向にずれがある限り、ステ
ツプS22でチルトモータ51,52を駆動して調整する。この
状態が第８図の（ｄ）に相当する。 チルト方向の調整が済むと、ステツプS30以下でアジ
マス角の調整を行なう。先ず、ステツプS30で、光学系
の倍率の変更を行なう。これは、ヘツドギャツプ近傍の
拡大画像を得ることによりアジマズ角測定精度を向上す
るためである。ステツプS32〜ステツプS38では、第７図
に関連して説明したアジマス調整手法をCCDラインセン
サより得た画像に対して適用する。 ステツプS40〜ステツプS46は、上記チルト調整とアジ
マス角調整のために、原点Ｏからずれてしまったギャツ
プ中心1aを原点に戻すためのXY方向の調整であり、その
内容はステツプS2乃至ステツプS10と実質的に同じであ
る。 かくして、ヘツド１は正規の姿勢を得た。そこで、ス
テツプS48で、接着剤を塗布されたキヤリツジをホルダ1
1に取付け、ステツプS50では、モータ６を駆動して、キ
ヤリツジ11をヘツド１の保持位置に移動する。そして、
ステツプS52で紫外線を照射して接着剤を硬化させる。 一般に、６軸の自由度を有するものを固定することは
極めて困難であるが、接着剤を使用して固定することに
より容易となる。更には、三次元方向における位置姿勢
の調整が自動化される。 〈干渉縞中心の測定〉 第9A図のステツプS16における干渉縞中心の測定の詳
細について説明する。 前述したように、ヘツド１の表面は略球状の表面を有
している。第８図の（ｃ）に関連して説明したように、
球状表面を有する物体の干渉縞の中心は干渉光の光路方
向の頂上に一致する。従って、チルト角の測定には干渉
縞中心の正確な測定が不可欠である。第9C図は、ステツ
プS16の測定処理の手順を更に詳細に示したフローチヤ
ートである。この第9C図に従って干渉縞中心の測定につ
いて説明する。 ステツプS70では、ステツプS14で取り込んだ干渉縞画
像を二値化する。第10図は、デジタル化された干渉縞画
像のアドレッシングを説明するものである。即ち、各画
素はIPi（i,j）で表わされる。二値化処理は、 IP2（i,j）＝０（IP1（i,j）＜δ） IP2（i,j）＝１（IP1（i,j）≧δ） ‥‥‥（４） に従って行なわれる。次にステツプS72でエッジ像を作
成する。二値化処理で得られた画素IP2（i,j）の『８近
傍』の画素を、第11図に示すように、N1（i,j）〜N
8（i,j）とすると、エッジ画像IP3（i,j）は、 IP3（i,j）＝０ （上記以外に対して） ‥‥‥（５） で計算する。次に、ステツプS74で、ラベル付け処理を
行なう。このラベル付けは、例えば、“1"ビツトを有す
る連続したドットの集団に対して１つのラベルを付する
という形で行なう。ステツプS76では各ラベルに対して
特徴抽出処理を行なう。 本実施例では特徴量をモーメント及び面積で表現す
る。ラベルＬについての９次〜２次のモーメント値Mpq
（Ｌ）（但し、０≦p,q≦２であり、且つ、０≦ｐ＋ｑ
≦２）は、 である。但し、ｆ（i,j）は、 ｆ（i,j）＝１（IP（i,j）＝Ｌの場合） ＝０（IP（i,j）≠Ｌの場合） である。二次モーメントについては、主軸回りのモーメ
ントM20＊，M02＊も求める。但し、対象像が対称の場合
は主軸回りのモーメントが求まらないため重心回りのモ
ーメントで代用する。またエッジ像の面積はそのドット
数で表わす。 ステツプS76ではエッジ像の選択を行なう。干渉縞画
像は、通常、複数個現われるので、エッジ画像も複数個
ラベル化される。この選択処理は、複数のエッジ画像の
中から、ヘツド球面の頂上に対応する干渉縞のエッジ画
像の中心を決定するのに最適なものを選択するのであ
り、その概略は第12図に示され、その詳細な手順は第13
図に示される。第12図に示されているように、エッジ画
像の探索は、８つの探索路S1乃至S8の順で行なう。探索
路上でエッジ画像が見付かったならば、そのエッジ画像
の特徴、即ち、前述の面積及びモーメントが基準内であ
るものを候補とする。複数の候補のうち、基準点（原点
０）から最短位置にあるものを『頂上』位置の計算対象
のエッジ画像（リング）とする。頂上位置の計算は、上
記干渉縞が円形をなしていると近似し、更に、円の方程
式に最小自乗法を適用する。 第13図のステツプS100において、先ず、変数Lminを初
期化する。このLminは、基準位置（原点）とエッジ画像
間の距離Lnのなかで最小のものを格納する。ステツプS1
02→ステツプS104→ステツプS120→ステツプS102のルー
プでは、ある探索路Snに沿ってエッジを探索するという
動作を画像端に到達するまで繰返す。１つの探索路Sn上
にエッジが存在しなければステツプS124で探索路を変更
する。 ある探索路Snでエッジ像が見付かれば、ステツプS106
に進む。ここで、その見付かったエッジ像（ラベルＬ）
のモーメントMpq（Ｌ）が M20 *（Ｌ）−M0＞０、または、 M02 *（Ｌ）−M0＞０ ‥‥‥（７） であって（M0は照射の閾値）、エッジ部分の面積Ａ
（Ｌ）が、 Ａ（Ｌ）−A0＞０ ‥‥‥（８） である（A0は所定の閾値）ときは、当該ラベルＬのエッ
ジ画像を候補とする。そして、ステツプS108に進んで、
そのエッジ画像の各画素（i,j）と基準位置（原点）と
を結ぶ距離LL（i,j）を計算し、その中で、最小距離の
ものを、ラベルＬのエッジ画像の基準位置（原点）から
の距離LLとする。ステツプS110では、この計算されたエ
ッジ画像の原点からのLLを前記変数Lminと比較し、 LL＜Lmin ‥‥‥（９） ならば、ステツプS112で、 Lmin＝LL ‥‥‥（10） としてLLを更新するとともに、ラベルＬを記憶すること
により、このエッジ画像を、現時点での最適候補とす
る。原点からの距離が最短のエッジ画像を最適エッジ画
像としたのは、最短のものであれば、そのエッジ画像は
干渉リングの全周の画素がメモリに取り込まれている筈
であり、そのような画像は円近似に最適であるからであ
る。距離LLが最短のものであっても、そのような画像は
ステツプS106による判定により、円近似計算に適したひ
ろがりを有していることが保証されている。 第12図に示したように、l1，l2，l3の干渉リングがメ
モリ内にある場合には、l2はモーメントに対する適合条
件により不適切と判断される。また、l3は面積Ａに対す
る適合条件により不適切と判断される。そして、l1が最
適切と判断されるであろう。 第9C図のステツプS80では、選択された干渉縞を円近
似する。近似される円の中心座標位置を（x0，y0）とす
ると、半径Ｒの円を表わす式は、 （ｘ−x0）2＋（ｙ−y0）2＝R2 ‥‥‥（12） となる。（12）式を展開した式 ２x0・ｘ＋２y0・ｙ＋（R2−x0 2−y0 2）＝x2＋y2 を用い、 を導入すると、正規方程式 ［Ｘ］［Ａ］＝［Ｙ］ ‥‥‥（13） が得られる。 ［Ａ］＝［Ｘ］-1［Ｙ］ ‥‥‥（14） より中心位置（x0，y0）及び半径Ｒを求める。 こうして、干渉リングの中心位置が求められるので、
その位置をヘツド１の頂上とする。そして、更に、その
頂上位置とヘツドギャツプ中心1aの画像位置とに基づい
てチルト角を演算するのは前述した通りである。 〈実施例の効果〉 以上説明した実施例によると、 ：ヘツド表面の干渉縞を画像処理してエッジ画像を抽
出し、その特徴（モーメント、面積）等に基づいて最適
な干渉縞画像を判定している。そして、選択された干渉
縞の画像の中心位置を特定することにより、ヘツド表面
の頂上とヘツドギャツプ中心との位置ずれ、即ち、チル
ト角を計算している。即ち、このようにチルト角の計算
が自動化されたことで、ヘツドの位置姿勢調整の全工程
の自動化が可能になった。 :X,Y,Z,θ，チルトという６軸の位置調整後において
も、接着により、ヘツドの容易確実な固定が可能となっ
た。 ：ヘツド１の光学像と干渉縞画像を、それらの採取位
置（第４図のＩとII位置）を異ならせることにより、互
いの影響を除去した鮮明な画像を得るようにしている。
即ち、ヘツドのギャツプ中心1aや干渉縞中心の測定精度
が向上する。 〈変形〉 本発明はその主旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能
である。 例えば、上記実施例は、スチルビデオ信号を記録する
ためのヘツドの姿勢検出に適用したものであったが、本
発明はこれに限定されない。即ち、本発明は、その表面
が略球面、更には、曲面形状を有する物体であれば、干
渉縞を得ることができるので、適用可能である。
以上説明したように、本発明の物体の測定方法の構成
は、所定の曲面形状表面を有する物体表面から複数の干
渉縞を検出し、それらの干渉縞の中から、姿勢測定に最
適な干渉縞を、干渉縞の大きさに基づいて選択する。そ
して、選択された干渉縞を画像処理して、当該物体の姿
勢を演算するものである。 従って、従来のように１つの干渉縞に依存することな
く物体の姿勢を測定することができるので、測定精度を
高く確保することができる。また、１つの干渉縞を選択
すに際して、干渉縞の大きさを判断基準としているため
に、照明の光量や撮像装置の感度ムラの影響を受けにく
く、従って、この点でも精度を高く確保することができ
る。 本発明の好適な実施態様によると、物体の表面上にあ
る所定の可視マークの画像を得て、その画像中のマーク
位置を、前記測定工程における所定の基準位置とするも
のである。 本発明の好適な実施態様によると、前記第１と第２の
撮像工程の夫々において、物体位置を光軸方向に異なら
せることにより、干渉縞画像と可視画像とを互いの影響
を除去した状態で得ることができる。 本発明の好適な実施態様によると、光源に白色光を用
いる事を特徴とする。 本発明の好適な実施態様によると、第１の撮像工程で
得られた干渉縞画像中の干渉縞を円に近似し、その円の
中心を前記重心とすることを特徴とする。 本発明の好適な実施態様によると、円の中心を最小二
乗法によって演算するので、例えば、干渉縞のリングが
切断されたような場合であっても、中心の演算を可能と
し、本方法の可用性が向上する。 本発明の好適な一態様に拠れば、干渉縞の大きさは、
干渉縞画像のモーメント特徴量に基づいて求められる。
は、所定の曲面形状表面を有する物体表面から複数の干
渉縞を検出し、それらの干渉縞の中から、姿勢測定に最
適な干渉縞を、干渉縞の大きさに基づいて選択する。そ
して、選択された干渉縞を画像処理して、当該物体の姿
勢を演算するものである。 従って、従来のように１つの干渉縞に依存することな
く物体の姿勢を測定することができるので、測定精度を
高く確保することができる。また、１つの干渉縞を選択
すに際して、干渉縞の大きさを判断基準としているため
に、照明の光量や撮像装置の感度ムラの影響を受けにく
く、従って、この点でも精度を高く確保することができ
る。 本発明の好適な実施態様によると、物体の表面上にあ
る所定の可視マークの画像を得て、その画像中のマーク
位置を、前記測定工程における所定の基準位置とするも
のである。 本発明の好適な実施態様によると、前記第１と第２の
撮像工程の夫々において、物体位置を光軸方向に異なら
せることにより、干渉縞画像と可視画像とを互いの影響
を除去した状態で得ることができる。 本発明の好適な実施態様によると、光源に白色光を用
いる事を特徴とする。 本発明の好適な実施態様によると、第１の撮像工程で
得られた干渉縞画像中の干渉縞を円に近似し、その円の
中心を前記重心とすることを特徴とする。 本発明の好適な実施態様によると、円の中心を最小二
乗法によって演算するので、例えば、干渉縞のリングが
切断されたような場合であっても、中心の演算を可能と
し、本方法の可用性が向上する。 本発明の好適な一態様に拠れば、干渉縞の大きさは、
干渉縞画像のモーメント特徴量に基づいて求められる。
第１図は本発明の好適な実施例に係る測定装置100のブ
ロツク図、 第２図は本実施例の装置により姿勢測定され、キヤリツ
ジに固定されたヘツドのヘツドアツセンブリの側面図、 第３図は第１図装置の位置決め装置50の拡大図、 第４図は第１図装置100の光学システムの正面図、 第５図は画像処理装置23の内部のブロツク図、 第６図は本実施例に用いられるヘツドのギャツプを説明
する図、 第７図は本実施例におけるアジマス角測定の原理を説明
する図、 第８図は本実施例におけるチルト角調整の原理を説明す
る図、 第9A図，第9B図，第9C図は本実施例における姿勢調整装
置100の操作手順を説明するフローチヤート、 第10図は入力された干渉縞画像のアドレッシングを説明
する図、 第11図はエッジ抽出のための８近傍画素を説明する図、 第12図はエッジ画像選択のための探索路を説明する図、 第13図はエッジ選択処理の手順を説明するフローチヤー
ト、 第14図は干渉縞と光学像の位置関係を説明する図であ
る。
ロツク図、 第２図は本実施例の装置により姿勢測定され、キヤリツ
ジに固定されたヘツドのヘツドアツセンブリの側面図、 第３図は第１図装置の位置決め装置50の拡大図、 第４図は第１図装置100の光学システムの正面図、 第５図は画像処理装置23の内部のブロツク図、 第６図は本実施例に用いられるヘツドのギャツプを説明
する図、 第７図は本実施例におけるアジマス角測定の原理を説明
する図、 第８図は本実施例におけるチルト角調整の原理を説明す
る図、 第9A図，第9B図，第9C図は本実施例における姿勢調整装
置100の操作手順を説明するフローチヤート、 第10図は入力された干渉縞画像のアドレッシングを説明
する図、 第11図はエッジ抽出のための８近傍画素を説明する図、 第12図はエッジ画像選択のための探索路を説明する図、 第13図はエッジ選択処理の手順を説明するフローチヤー
ト、 第14図は干渉縞と光学像の位置関係を説明する図であ
る。
Claims (7)
- 【請求項１】所定の曲面形状表面を有する物体の姿勢を
測定する方法において、 前記表面上の複数の干渉縞画像を得る第１の撮像工程
と、 前記複数の干渉縞画像の各々の干渉縞の大きさを所定値
と比較することにより、１つの干渉縞画像を選択する選
択工程を含み、 選択された１つの干渉縞画像を画像処理して、その重心
を近似的に計算する画像処理工程と、 得られた重心位置の、所定の基準位置に対する偏位量を
測定する測定工程と、 前記偏位量に基づいて前記物体のチルト姿勢を検出する
検出工程とを具備した物体の姿勢測定方法。 - 【請求項２】この姿勢測定方法は、更に、 前記物体の表面上にある所定の可視マークを含む可視画
像を得る第２の撮像工程と、 前記マークの位置を検出する工程とを含み、 検出されたマーク位置を、前記測定工程における所定の
基準位置とすることを特徴とする請求項の第１項に記載
の物体の姿勢測定方法。 - 【請求項３】前記第１と第２の撮像工程の夫々におい
て、物体位置を光軸方向に異ならせることを特徴とする
請求項の第２項に記載の物体の姿勢測定方法。 - 【請求項４】光源に白色光を用いる事を特徴とする請求
項の第３項に記載の物体の姿勢測定方法。 - 【請求項５】前記画像処理工程は、前記選択工程で得ら
れた１つの干渉縞を円に近似し、その円の中心を前記重
心とすることを特徴とする請求項の第１項に記載の物体
の姿勢測定方法。 - 【請求項６】前記画像処理工程は、最小二乗法により円
の中心を演算することを特徴とする請求項の第５項に記
載の物体の姿勢測定方法。 - 【請求項７】前記選択工程において、干渉縞の大きさ
を、干渉縞画像のモーメント特徴量に基づいて求めるこ
とを特徴とする請求項の第１項に記載の物体の姿勢測定
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2304026A JP2703662B2 (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 物体の姿勢測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2304026A JP2703662B2 (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 物体の姿勢測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04177108A JPH04177108A (ja) | 1992-06-24 |
| JP2703662B2 true JP2703662B2 (ja) | 1998-01-26 |
Family
ID=17928176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2304026A Expired - Fee Related JP2703662B2 (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 物体の姿勢測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2703662B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6056912U (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-20 | 株式会社ベルデックス | 磁気ヘッド突出量検出装置 |
| JPH0733128Y2 (ja) * | 1988-10-20 | 1995-07-31 | 株式会社三協精機製作所 | ヘッド姿勢計測装置 |
| JPH073324B2 (ja) * | 1989-08-08 | 1995-01-18 | 株式会社三協精機製作所 | 干渉縞測定方法 |
-
1990
- 1990-11-13 JP JP2304026A patent/JP2703662B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04177108A (ja) | 1992-06-24 |
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