JP2697652B2 - Method and apparatus for forming heat absorbing film of color picture tube - Google Patents

Method and apparatus for forming heat absorbing film of color picture tube

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JP2697652B2
JP2697652B2 JP194095A JP194095A JP2697652B2 JP 2697652 B2 JP2697652 B2 JP 2697652B2 JP 194095 A JP194095 A JP 194095A JP 194095 A JP194095 A JP 194095A JP 2697652 B2 JP2697652 B2 JP 2697652B2
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラー受像管のパネル
内面に蒸着されるメタルバック膜上に熱吸収膜を形成す
る熱吸収膜形成方法および装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for forming a heat absorbing film on a metal back film deposited on the inner surface of a panel of a color picture tube.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より一般的なカラー受像管の蛍光面
の構造は、受像管の管体の一部を構成するパネルの内面
に被着した蛍光体膜上に、この蛍光体膜から発した光を
有効にカラー受像管前方へ取り出すための光反射性金属
膜を蒸着したいわゆるメタルバック構造からなる。
2. Description of the Related Art The structure of a phosphor screen of a color picture tube, which has been generally used in the past, is based on a phosphor film adhered to an inner surface of a panel constituting a part of a tube of the picture tube. It has a so-called metal back structure in which a light-reflective metal film is deposited to effectively extract the emitted light to the front of the color picture tube.

【0003】図3は、一般的なカラー受像管の構成を簡
略的に示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view schematically showing the structure of a general color picture tube.

【0004】カラー受像管は、図3に示すように、主に
ファンネル310bとパネル310aで構成される。
As shown in FIG. 3, a color picture tube mainly comprises a funnel 310b and a panel 310a.

【0005】パネル310a内面のブラックマトリック
ス膜320と呼ばれる黒鉛からなる黒色膜上の所定の位
置に、緑、青および赤の各々の蛍光体からなる微小ドッ
トの蛍光体膜330が形成される。そして、蛍光体膜3
30の表面を平滑にするために有機性エマルジョンから
なるフィルミング膜340が形成され、蛍光体膜330
を覆うようにメタルバック膜350が蒸着されており、
メタルバック膜350から一定間隔離して多数の微小孔
を有するシャドウマスク370が配置されている。ま
た、ファルネル310bの通常ネック部310cと呼ば
れる部分に電子銃380が配置されており、電子銃38
0から発射される多くの電子ビームがシャドウマスク3
70に衝突する。
[0005] At predetermined positions on a black film made of graphite, which is called a black matrix film 320, on the inner surface of the panel 310a, a phosphor film 330 of minute dots composed of green, blue and red phosphors is formed. And the phosphor film 3
A filming film 340 made of an organic emulsion is formed to smooth the surface of the phosphor 30, and a phosphor film 330 is formed.
Metal back film 350 is deposited so as to cover
A shadow mask 370 having a large number of minute holes is arranged at a certain distance from the metal back film 350. An electron gun 380 is disposed at a portion of the farnel 310b called a normal neck portion 310c.
Many electron beams emitted from 0 are shadow mask 3
Collision with 70.

【0006】電子銃380から発射される電子ビームが
シャドウマスク370の微小孔で選択、通過することに
よってカラー画像が形成されるが、シャドウマスク37
0を通過できなかった電子ビームがシャドウマスク37
0に衝突すると、その衝突エネルギーが熱となりシャド
ウマスク370の温度を上昇させる。その結果、シャド
ウマスク370が熱膨張して微小孔位置が移動してしま
い、電子ビームが蛍光面を発光させる位置がずれてしま
う(この現象をドーミング現象という)。
A color image is formed when an electron beam emitted from the electron gun 380 is selected and passed through the fine holes of the shadow mask 370, and a color image is formed.
The electron beam that failed to pass through the shadow mask 37
When it collides with zero, the collision energy becomes heat and raises the temperature of the shadow mask 370. As a result, the position of the minute hole moves due to thermal expansion of the shadow mask 370, and the position at which the electron beam emits light from the phosphor screen shifts (this phenomenon is called a doming phenomenon).

【0007】そこで、従来ドーミング現象を軽減するた
めにメタルバック膜350上、つまり電子銃380側に
熱吸収膜を形成することにより、シャドウマスク370
の発熱を吸収して熱膨張を抑えることが行なわれてい
る。この熱吸収膜としては黒化アルミニウム膜を用いる
ことが一般的である。
Therefore, in order to reduce the doming phenomenon, a heat absorbing film is formed on the metal back film 350, that is, on the electron gun 380 side.
Has been performed to suppress the thermal expansion by absorbing the heat generated by the heat. It is common to use a blackened aluminum film as the heat absorbing film.

【0008】図4は、従来のカラー受像管における熱吸
収膜の形成方法を説明するための図である。
FIG. 4 is a view for explaining a method of forming a heat absorbing film in a conventional color picture tube.

【0009】図4に示すカラー受像管における黒化アル
ミニウム膜の形成方法は、蒸着物質を挿入するための蒸
着物質自動挿入器410および蒸着物質を加熱するため
の窒化硼素加熱体430をそれぞれ1個ずつ有する真空
外囲器450内の所定の位置にメタルバック膜350等
が蒸着されたパネル310aを、1.33×10〜1.
33[Pa]の真空下で保持し、窒化硼素加熱体430
の温度を上昇させることで蒸着物質自動挿入器410か
ら挿入されるアルミニウムペレット材420を溶融蒸発
させて、黒化アルミニウム膜を熱吸収膜360としてメ
タルバック膜350に蒸着させるというものである。
The method for forming the blackened aluminum film in the color picture tube shown in FIG. 4 includes a vapor deposition material automatic inserter 410 for inserting a vapor deposition material and a boron nitride heater 430 for heating the vapor deposition material. A panel 310a in which a metal back film 350 or the like is deposited at a predetermined position in a vacuum envelope 450 having a thickness of 1.33 × 10-1.
Hold under a vacuum of 33 [Pa], and heat the boron nitride heater 430.
, The aluminum pellet material 420 inserted from the vapor deposition material automatic inserter 410 is melted and evaporated, and the blackened aluminum film is deposited on the metal back film 350 as the heat absorbing film 360.

【0010】しかし、上述したカラー受像管における黒
化アルミニウム膜の形成方法では、黒化アルミニウム膜
による熱吸収膜360の膜厚分布が加熱性蒸着源である
蒸着物質自動挿入器410に近いパネル310aの中央
部側では厚く、蒸着物質自動挿入器410から遠い周辺
部側では薄くなってしまい、カラー受像管の輝度ムラを
誘発してしまうという問題点があった。
However, in the above-described method for forming a blackened aluminum film in a color picture tube, the thickness distribution of the heat absorbing film 360 made of the blackened aluminum film is such that the panel 310a is close to the vapor deposition material automatic inserter 410 which is a heating deposition source. Is thicker on the central side and thinner on the peripheral side far from the automatic vapor deposition material insertion device 410, which causes a problem of causing uneven brightness of the color picture tube.

【0011】図5は、図4に示した熱吸収膜の形成方法
で熱吸収膜の膜厚分布を等しくさせること考慮した熱吸
収膜の形成方法を示す図である。
FIG. 5 is a view showing a method of forming a heat absorbing film in the method of forming a heat absorbing film shown in FIG. 4 in consideration of equalizing the film thickness distribution of the heat absorbing film.

【0012】図5に示すカラー受像管における熱吸収膜
の形成方法は、パネル310aに蒸着されたメタルバッ
ク膜350と窒化硼素加熱体430との間を一定の距離
に保ち、これらの中間に円弧形状のステンレス板製遮蔽
物440を、その遮蔽物440の凸面を窒化硼素加熱体
430側に向けて配置し、図4に示した形成方法と同様
にして黒化アルミニウム膜を熱吸収膜360としてメタ
ルバック膜350に蒸着させるものである。
In the method of forming a heat absorbing film in a color picture tube shown in FIG. 5, a distance between a metal back film 350 deposited on a panel 310a and a boron nitride heater 430 is maintained at a constant distance, and a circular arc is provided therebetween. A stainless steel plate-shaped shield 440 is disposed with the convex surface of the shield 440 facing the boron nitride heater 430 side, and the blackened aluminum film is used as the heat absorbing film 360 in the same manner as in the forming method shown in FIG. It is to be deposited on the metal back film 350.

【0013】このようにして、パネル310aの中央部
側に多く蒸発飛散するアルミニウム材の一部がステンレ
ス板製遮蔽物440に附着阻止されて他は分散されて蒸
着されるため、膜厚分布の等しい熱吸収膜を形成するこ
とができる(特開昭61−53816公報参照)。
In this way, a part of the aluminum material, which is largely evaporated and scattered toward the central portion of the panel 310a, is prevented from being attached to the stainless steel plate shield 440, and the others are dispersed and deposited. An equal heat absorbing film can be formed (see JP-A-61-53816).

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5に
示したような従来のカラー受像管の熱吸収膜形成方法で
は、加熱性蒸着源が複数個設定される場合、パネル内面
の隣り合う蒸着源の中間部分に相対する個所はそれぞれ
の蒸着源からの影響を受けるため、熱吸収膜厚が厚くな
り易く、膜厚分布の均一性が損なわれる虞れがある。そ
のため、熱吸収膜の厚い部分ではカラー受像管の輝度が
低下して、カラー受像管全体においては輝度ムラが発生
してしまうという問題点がある。
However, in the conventional method for forming a heat absorbing film of a color picture tube as shown in FIG. 5, when a plurality of heatable vapor deposition sources are set, adjacent vapor deposition sources on the inner surface of the panel. The portion corresponding to the middle portion of the film is affected by the respective vapor deposition sources, so that the heat absorption film thickness tends to be large, and the uniformity of the film thickness distribution may be impaired. For this reason, there is a problem that the brightness of the color picture tube is reduced in a thick portion of the heat absorbing film, and uneven brightness occurs in the entire color picture tube.

【0015】本発明は、上述したような従来の技術が有
する問題点に鑑みてなされたものであって、複数個の蒸
着源でカラー受像管の熱吸収膜を形成する場合でも、カ
ラー受像管の輝度ムラを発生させることなく熱吸収膜を
形成することができるカラー受像管の熱吸収膜形成方法
および装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art. Even when a heat absorbing film of a color picture tube is formed by a plurality of evaporation sources, the color picture tube is not required. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for forming a heat absorbing film of a color picture tube, which can form a heat absorbing film without causing uneven brightness.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、真空下で、メタルバック構造を有するパネ
ル内面にさらに複数の加熱性蒸着源により熱吸収膜を蒸
着させるカラー受像管の熱吸収膜形成方法において、前
記各加熱性蒸着源の間をそれぞれ均等に仕切部材で仕切
り、該各仕切部材の前記パネル内面側の端部より外気を
噴射させることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides a color picture tube in which a heat absorbing film is further deposited under vacuum on the inner surface of a panel having a metal back structure by a plurality of heatable deposition sources. The method of forming a heat absorbing film is characterized in that the heat-depositable evaporation sources are equally divided by a partition member, and the outside air is injected from an end of the partition member on the panel inner surface side.

【0017】また、前記パネル内面側へ噴射させる気体
を窒素とすることを特徴とする。
Further, the invention is characterized in that the gas injected to the inner surface of the panel is nitrogen.

【0018】また、前記パネル内面側へ噴射させる気体
を不活性ガスとすることを特徴とする。
Further, the gas injected to the inner surface of the panel is an inert gas.

【0019】また、パネル受台となる開口端部を有する
真空槽の内部に複数の加熱性蒸着源が設けられ、メタル
バック構造を有するパネルを前記パネル受台上に載せ前
記複数の加熱性蒸着源により前記パネル内面に熱吸収膜
を形成する熱吸収膜形成装置であって、前記真空槽の内
部に設けられた、前記各加熱性蒸着源の間を均等に仕切
る仕切部材と、前記仕切部材の前記パネル内面側の端部
に設けられた、外気を噴射させるための噴射口とを備え
たことを特徴とする。
A plurality of heat-depositable evaporation sources are provided inside a vacuum chamber having an open end serving as a panel receiver, and a panel having a metal back structure is placed on the panel receiver, and the plurality of heat-depositable vapor deposition sources are placed on the panel receiver. A heat absorbing film forming apparatus for forming a heat absorbing film on the inner surface of the panel by a source, wherein the partition member is provided inside the vacuum chamber and uniformly partitions between the respective heating sources. And an ejection port for ejecting outside air, which is provided at an end on the inner surface side of the panel.

【0020】また、前記噴射口から外気を噴射させるタ
イミングを決定する遅延タイマー回路を有することを特
徴とする。
Further, a delay timer circuit for determining a timing at which the outside air is injected from the injection port is provided.

【0021】[0021]

【作用】上記のように構成された本発明では、複数の加
熱性蒸着源の間をそれぞれ均等に仕切る仕切板のパネル
内面側の端部に噴射口が設けられ、その噴射口から外気
がパネル内面に噴射されながら、加熱性蒸着源によって
メタルバック薄膜上に熱吸収膜が蒸着されるので、噴射
口から外気が噴射されるパネル内面では蒸着源からの蒸
着物質が分散される。そのため、蒸着源同士による干渉
を発生させずに略均一に熱吸収膜が形成される。
According to the present invention having the above-described structure, an injection port is provided at an end portion on the inner surface side of the panel of the partition plate for equally partitioning a plurality of heatable vapor deposition sources. Since the heat absorbing film is deposited on the metal back thin film by the heatable vapor deposition source while being sprayed on the inner surface, the vapor deposition material from the vapor deposition source is dispersed on the inner surface of the panel where the outside air is sprayed from the spray port. Therefore, the heat absorption film is formed substantially uniformly without causing interference between the evaporation sources.

【0022】[0022]

【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0023】図1は、本発明によるカラー受像管の熱吸
収膜形成方法の一実施例に好適な熱吸収膜形成装置の模
式的断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view of a heat absorbing film forming apparatus suitable for one embodiment of a method for forming a heat absorbing film of a color picture tube according to the present invention.

【0024】図2は、図1に示したカラー受像管の熱吸
収膜形成方法において作製されたパネルの断面図であ
る。
FIG. 2 is a sectional view of a panel manufactured by the method for forming a heat absorbing film of a color picture tube shown in FIG.

【0025】図1に示すカラー受像管の熱吸収膜形成装
置は、パネル受台140となる開口端部を有する真空槽
110を備え、真空槽110の内部に、両端が電源(不
図示)に接続された加熱性蒸着源であるフィラメントヒ
ータ120a,120bが設けられている。また、フィ
ラメントヒータ120aと120bの中間には仕切板1
30が設けられている。ここで、仕切板130はフィラ
メントヒータ120aと120bとの間を均等に仕切る
位置に設置される。さらに、仕切板130内をノズル1
50が通って、真空槽110の外部に導出されている。
真空槽110外部のノズル150には、真空槽110内
部への外気の導入制御を行なうための電磁弁160、リ
ークバルブ170およびフィルター180が装着されて
おり、ノズル150の端部である外気導入口190から
外気が導入可能となっている。電磁弁160は、不図示
の遅延タイマー回路によりフィラメントヒータ120a
と120bが通電されてから所定時間後に外気を導入す
るものである。
The heat absorbing film forming apparatus for a color picture tube shown in FIG. 1 includes a vacuum chamber 110 having an open end serving as a panel receiving base 140. Both ends are connected to a power source (not shown) inside the vacuum chamber 110. Filament heaters 120a and 120b, which are connected heating source, are provided. A partition plate 1 is provided between the filament heaters 120a and 120b.
30 are provided. Here, the partition plate 130 is installed at a position that evenly partitions the filament heaters 120a and 120b. Further, the inside of the partition plate 130 is
50 is passed out of the vacuum chamber 110.
An electromagnetic valve 160, a leak valve 170, and a filter 180 for controlling the introduction of outside air into the vacuum chamber 110 are attached to a nozzle 150 outside the vacuum chamber 110, and an outside air introduction port which is an end of the nozzle 150. From 190, outside air can be introduced. The solenoid valve 160 is connected to the filament heater 120a by a delay timer circuit (not shown).
And 120b are for introducing outside air after a predetermined time from the energization.

【0026】上記の装置によりパネル100内面に熱吸
収膜を形成するには、まず、フィラメントヒータ120
aと120bにアルミニウム材を供給した後、パネル1
00を、真空槽110を形成するパネル受台140の所
定の位置に載せる。
In order to form a heat absorbing film on the inner surface of panel 100 by the above-described apparatus, first, a filament heater 120 is formed.
After supplying the aluminum material to a and 120b, the panel 1
00 is placed on a predetermined position of the panel receiving base 140 forming the vacuum chamber 110.

【0027】パネル100をパネル受台140の所定の
位置に載せた後、真空槽110の内圧を1.33×10
〜1.33[Pa]にするために回転ポンプ(不図示)
によって真空槽110内部の空気を外部に排気する。
After the panel 100 is placed at a predetermined position on the panel support 140, the internal pressure of the vacuum chamber 110 is increased to 1.33 × 10
Rotary pump (not shown) to make up to 1.33 [Pa]
This exhausts the air inside the vacuum chamber 110 to the outside.

【0028】真空槽110の内圧が1.33×10〜
1.33[Pa]になったら、フィラメントヒータ12
0aおよび120bを通電させて、その通電信号を遅延
タイマー回路(不図示)を経由して電磁弁160に送
り、電磁弁160をフィラメントヒータ120aおよび
120bの通電開始に対して遅延させて作動させる。
The internal pressure of the vacuum chamber 110 is 1.33 × 10
When the pressure reaches 1.33 [Pa], the filament heater 12
0a and 120b are energized, the energization signal is sent to the solenoid valve 160 via a delay timer circuit (not shown), and the solenoid valve 160 is activated with a delay from the start of energization of the filament heaters 120a and 120b.

【0029】上述した動作により、ノズル150の先端
のノズル噴射口155よりパネル100内面の、加熱性
蒸着源であるフィラメントヒータ120aおよび120
bの中間部分に相対する個所へ外気が噴霧されながら熱
吸収膜となるアルミニウム材の蒸着が行なわれ、ノズル
噴射口155より外気が噴射されるパネル100内面で
は蒸着源からの蒸着物質が分散されるため、図2に示す
ように加熱性蒸着源どうしによる干渉を発生させずに略
均一に熱吸収膜が形成される。
By the above-described operation, the filament heaters 120a and 120a, which are heat-depositable sources,
While the outside air is sprayed to a portion corresponding to the middle portion of b, evaporation of an aluminum material to be a heat absorbing film is performed, and a deposition material from a deposition source is dispersed on an inner surface of the panel 100 where the outside air is injected from the nozzle outlet 155. Therefore, as shown in FIG. 2, the heat absorption film is formed substantially uniformly without causing interference between the heatable evaporation sources.

【0030】以下に、20インチサイズのパネルに熱吸
収膜を形成する例について述べる。
An example in which a heat absorbing film is formed on a 20-inch panel will be described below.

【0031】まず、フィラメントヒータ1個につき15
0[mg]程度のアルミニウム材をシリンダー形状でフ
ィラメントヒータ120aおよび120bの内部に挿入
する。
First, 15 filament heaters per heater
An aluminum material of about 0 [mg] is inserted into the filament heaters 120a and 120b in a cylindrical shape.

【0032】そして、メタルバック膜形成済のパネル1
00をパネル受台140に載せ、真空槽110内を1.
33×10〜1.33[Pa]になるまで排気した後、
フィラメントヒータ120aおよび120bに100
[A]程度の電流が流れるように電圧印加する。
The panel 1 on which the metal back film has been formed
00 on the panel support 140, and the inside of the vacuum chamber 110
After evacuating to 33 × 10 to 1.33 [Pa],
100 for filament heaters 120a and 120b
A voltage is applied so that a current of about [A] flows.

【0033】電圧印加開始と同時に電磁弁160に接続
された遅延タイマー回路を作動させ、それによりフィラ
メントヒータ120aおよび120bが完全に赤化する
1〜2秒後に電磁弁160を開き外気を導入する。
At the same time as the start of the voltage application, the delay timer circuit connected to the solenoid valve 160 is operated, so that the solenoid valve 160 is opened one to two seconds after the filament heaters 120a and 120b have completely turned red, and outside air is introduced.

【0034】リークバルブ170で回転ポンプの排気速
度の0.1〜0.5[%]程度に外気導入量を調整し
て、熱吸収膜を形成する。
The heat absorbing film is formed by adjusting the amount of outside air introduced by the leak valve 170 to about 0.1 to 0.5 [%] of the pumping speed of the rotary pump.

【0035】蒸着完了後、真空槽110内を大気圧に戻
して、フィルミング膜などの有機物を分解する焼成工程
以降の工程へ送る。
After the completion of the vapor deposition, the inside of the vacuum chamber 110 is returned to the atmospheric pressure, and the vacuum chamber 110 is sent to a step after a firing step for decomposing an organic substance such as a filming film.

【0036】また、導入気体として窒素もしくは不活性
ガスを使用すれば、フィラメントヒータの酸化が抑制さ
れ、フィラメントヒータの寿命が延びて交換回数を減少
させることができる。
If nitrogen or an inert gas is used as the introduced gas, the oxidation of the filament heater is suppressed, the life of the filament heater is extended, and the number of replacements can be reduced.

【0037】上記実施例は、2個のフィラメントヒータ
120a、120bが設けられているものであるが、本
発明において、フィラメントヒータの数は2個に限られ
るものではなく、複数個設定されていれば実施可能であ
る。また、ノズル150が仕切板130内を通っている
が、ノズル150を仕切板130の側面に沿って設け各
加熱性蒸着からの距離が均等になるように外気の噴出口
を設けたものでも良い。
In the above embodiment, two filament heaters 120a and 120b are provided. However, in the present invention, the number of filament heaters is not limited to two, and a plurality of filament heaters may be set. It can be implemented. In addition, although the nozzle 150 passes through the inside of the partition plate 130, the nozzle 150 may be provided along the side surface of the partition plate 130 and a jet port of the outside air may be provided so that the distance from each heating deposition is uniform. .

【0038】[0038]

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.

【0039】請求項1に記載のものおいては、複数の加
熱性蒸着源のそれぞれの間を均等に仕切る仕切板を配置
し、各仕切板内に外気を導入するためのノズルを設けて
ノズルの先端に設けられたノズル噴射口から外気をパネ
ル内面に噴射させながら加熱性蒸着源によりメタルバッ
ク膜上に熱吸収膜を蒸着するため、ノズル噴射口から外
気が噴射される個所では蒸着源からの蒸着物質が分散さ
れる。これにより、蒸着源同士による干渉を発生させず
に略均一に熱吸収膜を形成することができ、蒸着源が複
数個設定された場合でも、カラー受像管の輝度ムラを発
生させない熱吸収膜を形成することができる。
According to the first aspect of the present invention, a partition plate for uniformly partitioning each of the plurality of heatable vapor deposition sources is provided, and a nozzle for introducing outside air is provided in each partition plate. In order to deposit the heat absorbing film on the metal back film by the heating evaporation source while injecting the outside air from the nozzle ejection port provided at the tip of the Are dispersed. This makes it possible to form the heat absorbing film substantially uniformly without causing interference between the evaporation sources, and to provide a heat absorbing film that does not cause luminance unevenness of the color picture tube even when a plurality of evaporation sources are set. Can be formed.

【0040】請求項2に記載のものにおいては、ノズル
噴射口からパネル内面側に噴射させる気体を窒素とする
ことにより、加熱性蒸着源の酸化を抑制し、加熱性蒸着
源の寿命が延びて交換回数が減少する。このため、加熱
性蒸着源の交換のための手間と時間を減少させることが
できる。
According to the second aspect of the present invention, the gas ejected from the nozzle ejection port toward the inner surface of the panel is nitrogen, thereby suppressing oxidation of the heatable vapor deposition source and extending the life of the heatable vapor deposition source. The number of replacements is reduced. Therefore, it is possible to reduce the labor and time required for replacing the heating source.

【0041】請求項3に記載のものにおいては、ノズル
噴射口からパネル内面側に噴射させる気体を不活性ガス
とすることにより、請求項2に記載のものと同様に奏す
る。
According to the third aspect, the gas injected from the nozzle injection port toward the inner surface of the panel is made to be an inert gas, thereby achieving the same effect as the second aspect.

【0042】請求項4に記載のものにおいては、真空槽
の内部に各加熱性蒸着源の間を均等に仕切る仕切部材を
具備し、仕切部材の前記パネル内面側の端部に外気を噴
射させるための噴射口を設けることにより請求項1に記
載のものと同様に奏する。
According to a fourth aspect of the present invention, a partition member is provided in the vacuum chamber to uniformly partition between the heating sources, and the outside air is jetted to an end of the partition member on the inner surface side of the panel. The same effect as that of the first aspect is provided by providing an injection port for the above.

【0043】請求項5に記載のものにおいては、ノズル
噴射口から外気を噴射させるタイミングを決定する遅延
タイマー回路を設けることによりさらに精度良く略均一
に熱吸収膜を形成することができる。
According to the fifth aspect of the present invention, the heat absorbing film can be formed more accurately and substantially uniformly by providing a delay timer circuit for determining a timing at which the outside air is injected from the nozzle injection port.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるカラー受像管の熱吸収膜形成方法
の一実施例に好適な熱吸収膜形成装置の模式的断面図で
ある。
FIG. 1 is a schematic sectional view of a heat absorbing film forming apparatus suitable for one embodiment of a method for forming a heat absorbing film of a color picture tube according to the present invention.

【図2】図1に示したカラー受像管熱吸収膜形成方法に
おいて作製されたパネルの断面図である。
FIG. 2 is a sectional view of a panel manufactured by the method for forming a color picture tube heat absorbing film shown in FIG.

【図3】一般的なカラー受像管の構成を簡略的に示す断
面図である。
FIG. 3 is a sectional view schematically showing a configuration of a general color picture tube.

【図4】従来のカラー受像管における熱吸収膜の形成方
法を説明するための図である。
FIG. 4 is a view for explaining a method of forming a heat absorbing film in a conventional color picture tube.

【図5】図4に示した熱吸収膜の形成方法で熱吸収膜の
膜厚分布を等しくさせること考慮した熱吸収膜の形成方
法を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a method of forming a heat absorbing film in the method of forming a heat absorbing film shown in FIG. 4 in consideration of equalizing the film thickness distribution of the heat absorbing film.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 パネル 20 ブラックマトリックス膜 30 蛍光体層 40 フィルミング膜 50 メタルバック薄膜 60 熱吸収膜 100 パネル 110 真空槽 120 フィラメントヒータ 130 仕切板 140 パネル受台 150 ノズル 155 ノズル噴射口 160 電磁弁 170 リークバルブ 180 フィルター 190 外気導入口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Panel 20 Black matrix film 30 Phosphor layer 40 Filming film 50 Metal back thin film 60 Heat absorption film 100 Panel 110 Vacuum tank 120 Filament heater 130 Partition plate 140 Panel receiving stand 150 Nozzle 155 Nozzle injection port 160 Solenoid valve 170 Leak valve 180 Filter 190 Outside air inlet

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 真空下で、メタルバック構造を有するパ
ネル内面にさらに複数の加熱性蒸着源により熱吸収膜を
蒸着させるカラー受像管の熱吸収膜形成方法において、 前記各加熱性蒸着源の間をそれぞれ均等に仕切部材で仕
切り、該各仕切部材の前記パネル内面側の端部より外気
を噴射させることを特徴とするカラー受像管の熱吸収膜
形成方法。
1. A method for forming a heat absorbing film for a color picture tube, further comprising: depositing a heat absorbing film on a panel having a metal back structure in a vacuum by using a plurality of heat depositable sources under vacuum. Wherein the partition wall is uniformly divided by a partition member, and outside air is ejected from an end of the partition member on the inner surface side of the panel.
【請求項2】 請求項1に記載のカラー受像管の熱吸収
膜形成方法において、 前記パネル内面側へ噴射させる気体を窒素とすることを
特徴とするカラー受像管の熱吸収膜形成方法。
2. The method for forming a heat absorbing film for a color picture tube according to claim 1, wherein the gas jetted to the inner surface of the panel is nitrogen.
【請求項3】 請求項1に記載のカラー受像管の熱吸収
膜形成方法において、 前記パネル内面側へ噴射させる気体を不活性ガスとする
ことを特徴とするカラー受像管の熱吸収膜形成方法。
3. The method for forming a heat absorbing film for a color picture tube according to claim 1, wherein the gas to be jetted to the inner surface of the panel is an inert gas. .
【請求項4】 パネル受台となる開口端部を有する真空
槽の内部に複数の加熱性蒸着源が設けられ、メタルバッ
ク構造を有するパネルを前記パネル受台上に載せ前記複
数の加熱性蒸着源により前記パネル内面に熱吸収膜を形
成する熱吸収膜形成装置であって、 前記真空槽の内部に設けられた、前記各加熱性蒸着源の
間を均等に仕切る仕切部材と、 前記仕切部材の前記パネル内面側の端部に設けられた、
外気を噴射させるための噴射口とを備えたことを特徴と
する熱吸収膜形成装置。
4. A plurality of heatable vapor deposition sources are provided inside a vacuum chamber having an open end serving as a panel receiving table, and a panel having a metal back structure is placed on the panel receiving table to form the plurality of heatable vapor deposition sources. A heat absorbing film forming apparatus for forming a heat absorbing film on the inner surface of the panel by a source, comprising: a partition member provided inside the vacuum chamber, for uniformly partitioning between the respective heating evaporation sources; and the partition member. Provided at an end on the inner surface side of the panel,
A heat absorbing film forming apparatus, comprising: a jet port for jetting outside air.
【請求項5】 請求項4に記載の熱吸収膜形成装置にお
いて、 前記噴射口から外気を噴射させるタイミングを決定する
遅延タイマー回路を有することを特徴とする熱吸収膜形
成装置。
5. The heat absorbing film forming apparatus according to claim 4, further comprising a delay timer circuit that determines a timing at which the outside air is injected from the injection port.
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