JP2686318B2 - Method of manufacturing energization type recording head - Google Patents

Method of manufacturing energization type recording head

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JP2686318B2
JP2686318B2 JP1108091A JP10809189A JP2686318B2 JP 2686318 B2 JP2686318 B2 JP 2686318B2 JP 1108091 A JP1108091 A JP 1108091A JP 10809189 A JP10809189 A JP 10809189A JP 2686318 B2 JP2686318 B2 JP 2686318B2
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recording
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recording head
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plate
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幸久 武内
東 山本
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    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/315Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material

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  • Electronic Switches (AREA)
  • Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は、画像、文字等を印写乃至は印字する通電方
式の記録ヘッド(通電記録ヘッドとも称する)の製造方
法に関するものであり、更に詳しくは、記録ヘッドの電
極構造の形成技術に関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing an energization type recording head (also referred to as an energization recording head) for printing or printing images, characters and the like, and more specifically, The present invention relates to a technique for forming an electrode structure of a recording head.

(背景技術) 従来より、放電破壊記録紙若しくは通電感熱記録紙、
或いは通電される層を少なくとも有する記録媒体を用い
る通電方式の記録ヘッドの電極構造に関しては、数多く
の提案が為されている。例えば特開昭61-171349号公
報、特開昭61-272172号公報、特開昭60-78772号公報、
特開昭63-51152号公報、特開昭63-87264号公報、特開昭
61-230966号公報等では、通電される抵抗層を少なくと
も有するフィルム状記録媒体、或いは蒸着アルミ層、黒
色層、基紙層からなる、所謂放電破壊記録紙に対して、
それぞれ接触せしめられる複数の記録電極を備えた記録
ヘッドが明らかにされているのである。
(Background Art) Conventionally, discharge breakdown recording paper or electrically conductive thermal recording paper,
Alternatively, many proposals have been made regarding the electrode structure of an energization type recording head using a recording medium having at least an energized layer. For example, JP 61-171349 JP, JP 61-272172 JP, JP 60-78772 JP,
JP-A-63-51152, JP-A-63-87264, JP-A-SHO
In JP-A 61-230966, for a so-called discharge breakdown recording paper, which is a film-shaped recording medium having at least a resistance layer to be energized, or a vapor-deposited aluminum layer, a black layer, a base paper layer,
A recording head having a plurality of recording electrodes which are brought into contact with each other is disclosed.

また、特開昭58-12790号公報、特開昭58-104787号公
報、特開昭61-37493号公報、特開昭63-30279号公報及び
特開昭63-160855号公報等においては、シート、リボ
ン、ロール、ローラ等の表面或いは内部に担持又は塗布
することによって形成された、インク層としての役割も
兼ね備える導電性インク層や電気抵抗体インク層、又は
電解質を含んだ感熱発色層を、通電される層として用い
たフィルム状(即ち、膜状或いは層状)の記録媒体に接
触せしめる通電方式記録ヘッドの例が、明らかにされて
いる。
Further, in JP-A-58-12790, JP-A-58-104787, JP-A-61-37493, JP-A-63-30279 and JP-A-63-160855, and the like, A conductive ink layer or an electric resistance ink layer which also functions as an ink layer, which is formed by carrying or coating on the surface or inside of a sheet, a ribbon, a roll, a roller, or a thermosensitive coloring layer containing an electrolyte. An example of an energization type recording head which is brought into contact with a film-shaped (that is, film-shaped or layered) recording medium used as a layer to be energized has been clarified.

ところで、このような記録電極を配してなる記録ヘッ
ドにおいて、均一で、再現性の良い転写ドットを得るた
めには、記録電極を精度良く形成する必要があり、また
高解像記録のためには、高い電極密度が必要であり、更
に高速記録と良好な記録品質を得るためには、膜厚(電
極厚)が厚く、電極間距離が短い記録電極とする必要が
ある。
By the way, in a recording head having such recording electrodes, in order to obtain transfer dots that are uniform and have good reproducibility, it is necessary to form the recording electrodes with high precision, and for high resolution recording. Requires a high electrode density, and in order to obtain high-speed recording and good recording quality, it is necessary to use a recording electrode having a large film thickness (electrode thickness) and a short interelectrode distance.

しかしながら、特開昭61-171349号公報に開示の如
き、導線を配列して固定することにより、記録電極を形
成する手法では、配列工程の効率が非常に悪く、そのた
め、数多くの電極を配列した記録ヘッドは、製造技術的
或いは経済効率的に実質上不可能とされているだけでな
く、電極間ピッチが不充分で、高品質の記録が得られな
いという問題があった。
However, in the method of forming the recording electrode by arranging and fixing the conducting wires as disclosed in JP-A-61-171349, the efficiency of the arranging process is very poor, and therefore a large number of electrodes are arranged. In addition to the fact that the recording head is practically impossible in terms of manufacturing technology or economical efficiency, there is a problem in that the pitch between the electrodes is insufficient and high-quality recording cannot be obtained.

また、メッキやスパッタ等で薄膜形成したり、ペース
トやレジネートを塗布して厚膜形成したり、導電性の板
を基材に接着したりして、絶縁性基材面上に導電層を形
成し、その後、フォトリソグラフィ技術を用いて導電層
をパターン形成する方法では、高密度で高精度の電極が
形成され得、また数多くの電極を配列することも、精度
良く、簡便に行なわれ得るため、広く実用されてきてい
るが、この方法で形成された記録ヘッドにおいては、電
極間距離より導電層厚さの厚い電極が得られず、高速記
録と記録品質面において不充分なものであった。
Also, a conductive layer is formed on the surface of the insulating base material by forming a thin film by plating or sputtering, applying a paste or resinate to form a thick film, or adhering a conductive plate to the base material. After that, in the method of patterning the conductive layer using the photolithography technique, high-density and high-precision electrodes can be formed, and arrangement of a large number of electrodes can be performed accurately and easily. Although it has been widely used, the recording head formed by this method is not sufficient in terms of high-speed recording and recording quality because it is not possible to obtain an electrode whose conductive layer thickness is thicker than the inter-electrode distance. .

また、導電性を有する板にプレス等の機械加工でスリ
ットを形成して、電極を形成する方法にあっても、機械
加工上、打ち抜き幅に制限があり、電極間距離よりも板
厚が厚い電極を形成することが出来ず、この方法で得ら
れた記録ヘッドも、高速記録と記録品質面において不充
分であった。
Further, even in the method of forming an electrode by forming a slit in a conductive plate by mechanical processing such as pressing, the punching width is limited due to the mechanical processing, and the plate thickness is larger than the distance between the electrodes. The electrodes could not be formed, and the recording head obtained by this method was also insufficient in terms of high-speed recording and recording quality.

(解決課題) ここにおいて、本発明は、上記の如き問題点乃至は不
都合を解消するために為されたものであって、高い電極
密度と高精度な電極形状を有利に確保しつつ、高速記録
と高記録品質を備えた通電方式記録ヘッドを実現するこ
とを、その解決課題とするものである。
(Problems to be Solved) Here, the present invention has been made to solve the problems and inconveniences as described above, and high-speed recording while advantageously ensuring a high electrode density and a highly accurate electrode shape. The problem to be solved is to realize an energization type recording head having high recording quality.

(解決手段) そして、本発明は、かかる課題解決のために、複数の
導電性の板の所定の部分に、板厚よりも大きい幅のスリ
ットが配列したパターンを少なくとも形成し、相互の相
対位置を規制して、該複数の導電性の板を組み合わせる
ことにより、板厚よりも小さい幅のスリットを有するパ
ターンを所定部分に形成した導電性の構造体を構成した
後、該構造体を配列されたストライプ状電極に加工する
ことによって、電極間距離よりも電極厚の厚い記録電極
を形成することを特徴とする通電方式記録ヘッドの製造
方法を、その要旨とするものである。
(Solution) In order to solve such a problem, the present invention forms at least a pattern in which slits having a width larger than a plate thickness are arranged in a predetermined portion of a plurality of conductive plates, and the relative positions of the slits are formed. And by combining the plurality of conductive plates to form a conductive structure in which a pattern having a slit having a width smaller than the plate thickness is formed in a predetermined portion, the structures are arranged. A gist of the present invention is a method of manufacturing an energization type recording head, which is characterized in that a recording electrode having an electrode thickness larger than an inter-electrode distance is formed by processing into a striped electrode.

すなわち、本発明は、フォトリソグラフィ技術を用い
た従来の電極パターン形成法では得られない、電極間距
離より電極厚さの厚い記録電極を得るものであって、電
極パターンを複数に分割することにより得られた、導電
性を有する複数の板のそれぞれに、その板厚よりも大き
い幅のスリットを形成し、そして、一つの板のスリット
の間に別の板のスリットを配置するように、該複数の板
を正確に相対位置を規制して組み合わせ、それによって
目的とする構造体を構成したものである。
That is, the present invention provides a recording electrode having an electrode thickness thicker than the inter-electrode distance, which cannot be obtained by a conventional electrode pattern forming method using a photolithography technique. In each of the obtained plurality of conductive plates, a slit having a width larger than the plate thickness is formed, and the slit of another plate is arranged between the slits of one plate. The plurality of plates are accurately regulated in their relative positions and combined to form a desired structure.

そして、本発明は、かくの如き構成とすることによ
り、少なくとも所定の部分に、板厚を変えることなく、
スリットの幅が小さく、またスリットの密度が大きいパ
ターンが形成され、更にストライプ状電極に加工するこ
とによって、電極厚の均一性を損なうことなく、電極間
距離より電極厚さが厚く、密度が高く、精度の良い、し
かも接触性の良い記録電極が得られることを見い出し、
更には複数の板の相対位置を正確に規制するために、板
厚の一部分のみを除去した肉薄部を形成することによっ
て、記録ヘッドの電極ピッチや電極間距離等の、非常に
高い精度の要求される部分の精度が充分に得られること
を見い出したことに基づいて、完成されたものである。
Then, the present invention, by having such a configuration, at least a predetermined portion, without changing the plate thickness,
A pattern with a narrow slit width and a high slit density is formed, and by processing it into a striped electrode, the electrode thickness is thicker than the inter-electrode distance and the density is high without impairing the uniformity of the electrode thickness. Found that a recording electrode with good precision and good contact can be obtained,
Furthermore, in order to accurately regulate the relative positions of a plurality of plates, by forming a thin portion by removing only a part of the plate thickness, very high accuracy such as the electrode pitch of the recording head and the distance between the electrodes is required. It has been completed based on the finding that the accuracy of the part to be covered is sufficiently obtained.

ところで、かかる本発明にて製造される記録ヘッドの
記録電極には、記録媒体や記録紙と良好な接触を得るた
めに、耐摩耗性の大きい導電材料が用いられるが、特
に、クロム、チタン、モリブデン、タングステン等の金
属及びそれらを含む合金、またはそれらの化合物を主成
分とする導体材料が好適に採用され、特に機械的耐摩耗
性に優れると共に、電気的作用による電極の消耗も小さ
いところから、クロムの金属、合金若しくは化合物を主
成分とする導体材料が有利に用いられ、その中でも、モ
リブデンとクロムと窒素よりなる三元合金若しくは三元
化合物等のクロム化合物を主成分とする導体材料が、特
に好ましい。
By the way, for the recording electrode of the recording head manufactured in the present invention, a conductive material having large abrasion resistance is used in order to obtain good contact with a recording medium or recording paper. Metallic materials such as molybdenum and tungsten, and alloys containing them, or conductive materials containing these compounds as the main components are preferably adopted, because they are particularly excellent in mechanical abrasion resistance and the consumption of electrodes due to electrical action is small. , A conductive material containing chromium metal, alloy or compound as a main component is advantageously used. Among them, a ternary alloy containing molybdenum, chromium and nitrogen or a conductive material containing a chromium compound as a main component such as a ternary compound is preferably used. , Particularly preferred.

また、本発明に従って得られる記録ヘッドの基材とし
ては、易摩耗性の基材が好適に用いられるが、特に、耐
熱性を有し、電極材料よりも硬度が小さく、摩耗し易い
セラミックス系の基材が好ましい。そして、その中で
も、特に集成マイカ板を用いた基材或いはマイカを含有
する快削性ガラスセラミックス基板が、好ましい材料で
ある。
Further, as the base material of the recording head obtained according to the present invention, an easily abradable base material is preferably used, but in particular, a ceramic base material having heat resistance, a hardness lower than that of the electrode material, and easily abraded. Substrates are preferred. Among them, a base material using a laminated mica plate or a free-cutting glass ceramic substrate containing mica is a preferable material.

なお、前述のように、本発明にて製造される記録ヘッ
ドの記録電極は、板厚より大きい幅のスリットが形成さ
れた複数の導電性の板を組み合わせて形成されるもので
あるが、少ない組合せで、高密度のスリットを有する構
造体を得るためには、該導電性の板に、板厚より大きい
幅のスリットが同一ピッチで配列されたパターンを形成
し、組み合わせることが好ましい。
As described above, the recording electrode of the recording head manufactured according to the present invention is formed by combining a plurality of conductive plates having slits with a width larger than the plate thickness, but few. In order to obtain a structure having high-density slits in combination, it is preferable to form a pattern in which slits having a width larger than the plate thickness are arranged at the same pitch on the conductive plate and combine them.

また、本発明の対象とする記録ヘッドにおける記録電
極の電極ピッチ、電極間距離について、高い位置精度を
得るためには、相対位置を規制するために形成されてい
る肉薄部を、板厚よりも大きい幅のスリットと同一ピッ
チ幅で形成するか、相対位置を肉薄部で規制して、第8
図に示されるように記録電極部位を嵌め合わせるかによ
って、最終的に記録電極部を形成する部位の1本,1本の
相対位置を規制することが好ましい。なお、この肉薄部
の形成には、公知の手法が適宜に採用されることとなる
が、特にエッチング処理によって該肉薄部を形成するこ
とが望ましい。そして、このエッチング処理には、公知
の各種のウェットエッチング、ドライエッチング等のエ
ッチング手法が適宜に採用され、そして目的とする厚さ
の肉薄部が形成されるように、エッチング条件が選定さ
れることとなるが、その際導電性の板の非エッチング部
位には適当なマスキングが施される。
Further, with respect to the electrode pitch of the recording electrodes and the inter-electrode distance in the recording head of the present invention, in order to obtain high positional accuracy, the thin portion formed to regulate the relative position is more than the plate thickness. The slit is formed to have the same pitch width as the large-width slit, or the relative position is regulated by the thin portion,
As shown in the drawing, it is preferable to regulate the relative positions of one and one of the portions where the recording electrode portion is finally formed, depending on how the recording electrode portions are fitted together. A publicly known method is appropriately adopted for forming the thin portion, but it is particularly preferable to form the thin portion by etching. For this etching treatment, various known etching techniques such as wet etching and dry etching are appropriately adopted, and the etching conditions are selected so that a thin portion having a target thickness is formed. At that time, appropriate masking is applied to the non-etched portion of the conductive plate.

さらに、複数の導電性の板の所定部分に形成される板
厚より大きい幅のスリットの加工には、公知の各種の手
法が目的に応じて選択され、例えば切断加工やプレス加
工等の機械加工や、超音波加工、レーザー加工等の加工
が適宜に採用されることとなるが、特に本発明において
は、加工によって板が変形したり、応力等によって歪む
ことが少ない等の理由から、エッチング法による加工
が、好適に採用される。また、同様の理由により、前記
構造体から配列された針電極状或いはストライプ電極状
に加工する方法にあっても、エッチング法を採用するこ
とが機械加工等に比べて好ましいものであるが、勿論、
本発明がエッチング法による加工のみに制約されるもの
でないことは、言うまでもないところである。
Further, for processing a slit having a width larger than the plate thickness formed in a predetermined portion of a plurality of conductive plates, various known methods are selected according to the purpose, for example, machining such as cutting or pressing. Alternatively, processing such as ultrasonic processing and laser processing will be appropriately adopted, but particularly in the present invention, the etching method is used because the plate is less likely to be deformed by the processing and is less distorted by stress or the like. The processing by is preferably adopted. Further, for the same reason, it is preferable that the etching method is adopted as compared with the machining method even in the method of processing the structure into needle electrodes or stripe electrodes arranged from the structure, but of course. ,
It goes without saying that the present invention is not limited to processing by the etching method.

なお、本発明に従う記録ヘッドの形成において、接着
したり、積層するような場合が一例として示されるが、
このような接着や積層等の形成では、無機系乃至はエポ
キシ、フェノール、ポリイミド等のような耐熱性樹脂系
の接着材を用いて接着しても、アルミナ、シリカ、ボロ
ンナイトライド等の無機材料と樹脂系材料とを含む複合
材料で接着しても、或いはハンダやガラス系の材料を用
いて加熱によって接合しても良く、またヘッド治具等を
用いて機械的に固定しても良い。
Incidentally, in the formation of the recording head according to the present invention, a case of adhering or laminating is shown as an example.
In the formation of such an adhesive or a laminate, even if an inorganic material or a heat-resistant resin adhesive material such as epoxy, phenol, or polyimide is used for adhesion, an inorganic material such as alumina, silica, or boron nitride is used. May be adhered with a composite material containing a resin material, or may be bonded by heating using a solder or glass material, or may be mechanically fixed using a head jig or the like.

(実施例) 以下に、本発明を更に具体的に明らかにするために、
本発明の実施例を図面に基づいて説明することとする
が、本発明が、そのような実施例の記載によって、何等
の制約をも受けるものでないことは、言うまでもないと
ころである。
(Examples) In order to clarify the present invention more specifically,
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but it goes without saying that the present invention is not limited by the description of such embodiments.

また、本発明には、以下の実施例の他にも、更には上
記の具体的記述以外にも、本発明の趣旨を逸脱しない限
りにおいて、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修
正、改良等を加え得るものであることが、理解されるべ
きである。
In addition, in addition to the following examples, the present invention, in addition to the above-described specific description, various changes, corrections, and modifications based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. It should be understood that improvements can be made.

先ず、第1図は、本発明に従って製造される通電方式
記録ヘッドの一つの構造を示す概念図である。そこにお
いて、マイカを含有する快削性ガラスセラミック基板が
基材1として用いられており、そしてその表面に、ステ
ンレスの板より形成されたストライプ状の細長い複数の
記録電極2が形成されている。なお、かかる記録電極2
は、電極ピッチ:125μm、電極幅:100μm、電極厚さ:1
00μm、電極数:272の構成で、形成されている。そし
て、それら記録電極2は、接着材3と共に積層されて、
アルミナ板からなる押え板4を接着し、記録ヘッドが作
製されているのである。なお、この押え板には、基材1
として用いられている快削性ガラスセラミック基板を好
適に用いることが出来る。
First, FIG. 1 is a conceptual diagram showing one structure of an energization type recording head manufactured according to the present invention. There, a free-cutting glass-ceramic substrate containing mica is used as a base material 1, and a plurality of striped recording electrodes 2 formed of a stainless steel plate are formed on the surface thereof. The recording electrode 2
, Electrode pitch: 125 μm, electrode width: 100 μm, electrode thickness: 1
It is formed with a structure of 00 μm and the number of electrodes: 272. Then, the recording electrodes 2 are laminated together with the adhesive material 3,
The recording head is manufactured by adhering the holding plate 4 made of an alumina plate. In addition, the base material 1 is attached to the holding plate.
A free-cutting glass-ceramic substrate used as is preferably used.

さらに、第9図は、本発明にて製造される通電方式記
録ヘッドの他の例に係る構造を示す、もう1つの概念図
である。第1図では、ストライプ状の記録電極2,2間に
接着材3が存在しているのに対して、第9図の例では、
ストライプ状の電極2,2間に接着材3は存在せず、空所
9とされている構造である。この空所9を利用して導電
性インク、電気抵抗体インク、電解質を含んだ発色性イ
ンク等の記録媒体(インク)を記録ヘッド先端部へ供給
し、記録ヘッド先端部て紙等に転写するようにすること
が出来る。このように、第9図に示される通電方式記録
ヘッドは、インク等の記録媒体を、シート、フィルム、
ロール等ではなく、記録ヘッドより供給する通電記録方
式において好適に用いられる。
Further, FIG. 9 is another conceptual diagram showing the structure according to another example of the energization type recording head manufactured according to the present invention. In FIG. 1, the adhesive 3 is present between the stripe-shaped recording electrodes 2 and 2, whereas in the example of FIG.
The adhesive 3 does not exist between the stripe-shaped electrodes 2 and 2, and the void 9 is formed. A recording medium (ink) such as a conductive ink, an electric resistance ink, and a color-forming ink containing an electrolyte is supplied to the tip of the recording head by using the voids 9, and the tip of the recording head is transferred to paper or the like. You can As described above, the energization type recording head shown in FIG. 9 uses a recording medium such as ink for a sheet, a film,
It is preferably used in an electric recording system in which a recording head is used instead of a roll or the like.

また、第2図(a),(b)及び第3図は、かかる第
1図及び第9図に示される記録ヘッドを形成するための
工程を説明するものである。先ず、第2図(a)及び
(b)は、それぞれ、板厚よりも大きい幅のスリット5
及び肉薄部6が形成された、組合せ前の2枚のステンレ
ス板10a,10bの説明図であり、そこにおいて、それらス
テンレス板の板厚は100μm、スリット幅は150μm、ス
リットのピッチは250μm、肉薄部の板厚は50μmとさ
れ、また肉薄部6は、その幅が100μm、ピッチが250μ
mとされている。なお、かかるスリット5及び肉薄部6
は、それぞれ、通常のエッチング加工方法で形成された
ものであって、スリット5はステンレス板10a,10bを貫
通して形成されているが、肉薄板6は、エッチング条件
の選定によって、ステンレス板10a,10bが当該部位のみ
薄くされた状態において、形成されている。また、各ス
テンレス板10a,10bには、それぞれ、重ね合わせ時にお
ける位置合わせ用のマーク7,7が孔形態において形成さ
れている。
2 (a), (b) and FIG. 3 explain the steps for forming the recording head shown in FIG. 1 and FIG. First, FIGS. 2A and 2B show slits 5 each having a width larger than the plate thickness.
FIG. 5 is an explanatory view of two stainless steel plates 10a, 10b before combination, in which the thin portion 6 is formed, in which the stainless steel plates have a thickness of 100 μm, a slit width of 150 μm, a slit pitch of 250 μm, and a thin thickness. The plate thickness of the part is 50 μm, and the thin part 6 has a width of 100 μm and a pitch of 250 μm.
It is supposed to be m. The slit 5 and the thin portion 6
Are formed by a normal etching method, and the slit 5 is formed so as to penetrate the stainless steel plates 10a and 10b. The thin plate 6 is formed by selecting the etching conditions. , 10b are formed in a state where only the relevant portion is thinned. Further, the stainless steel plates 10a, 10b are provided with alignment marks 7, 7 in the form of holes, respectively, for alignment at the time of stacking.

そして、第3図に示される如く、前記2枚のステンレ
ス板10a,10bを、それぞれの肉薄部6によって相対位置
が規制されるように、換言すればステンレス板10a,10b
の対応するそれぞれの肉薄部6同士を重ね合わせること
によって相互の位置が規定されるように組み合わせて、
板厚よりも小さい幅のスリット8が複数列において形成
された構造体12が構成されるのである。この構造体12に
おいては、全ての肉薄部6がそれぞれ重なり合うところ
から、その板厚は100μmとなる。
Then, as shown in FIG. 3, the two stainless steel plates 10a, 10b are regulated in their relative positions by their thin portions 6, in other words, the stainless steel plates 10a, 10b.
By combining the respective thin portions 6 corresponding to each other so as to define their mutual positions,
Thus, the structure 12 is formed in which the slits 8 having a width smaller than the plate thickness are formed in a plurality of rows. In this structure 12, since all the thin portions 6 overlap each other, the plate thickness is 100 μm.

さらに、かかる第3図に示される構造体12を、基材1
と接着材3で接着し、通常の加工技術を用いてストライ
プ電極状に加工し、例えば第3図において1点鎖線14,1
6にて挟まれるステンレス板10a,10bの細長な部分が電極
として用いられるように加工し、その後、通常のヘッド
製作技術によって、第1図や第9図に示される如き記録
ヘッドが形成されるのである。
Further, the structure 12 shown in FIG.
And an adhesive 3 to bond them to each other and process them into a striped electrode shape using a normal processing technique. For example, in FIG.
The elongated portions of the stainless steel plates 10a and 10b sandwiched by 6 are processed so as to be used as electrodes, and then a recording head as shown in FIGS. 1 and 9 is formed by a normal head manufacturing technique. Of.

また、本発明の他の実施例として、前記第2図
(a),(b)に示される如き、導電性を有する2枚の
ステンレス板において、その外枠が一部除去されて、ス
リットの一端部が開口した形態のものが、第4図(a)
及び(b)に示されている。なお、かかる2枚のステン
レス板20a,20bの板厚,スリット5の幅,ピッチ及び肉
薄部6の板厚,幅,ピッチは、第2図に示されるものと
同様である。そして、前記実施例と同様に、かかるスリ
ット5、肉薄部6がエッチング処理によりそれぞれ形成
された2枚の板20a,20bが、マーク7によって位置合わ
せされて重ね合わされ、第5図に示される如き形状の構
造体22が構成されることとなる。その後、前記と同様な
加工が施されて、第1図や第9図に示される記録ヘッド
が形成されるのである。
In addition, as another embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), in two stainless steel plates having conductivity, the outer frame thereof is partially removed to form slits. The form in which one end is opened is shown in FIG. 4 (a).
And (b). The plate thickness of the two stainless steel plates 20a and 20b, the width and pitch of the slit 5 and the plate thickness, width and pitch of the thin portion 6 are the same as those shown in FIG. Then, as in the case of the above-described embodiment, two plates 20a, 20b each having the slit 5 and the thin portion 6 formed by the etching process are aligned and overlapped by the mark 7, and as shown in FIG. The shaped structure 22 is configured. After that, the same processing as that described above is performed to form the recording head shown in FIGS. 1 and 9.

なお、本発明にあっては、記録電極を与える構造体を
形成するに際して、組み合わされる導電性を有する板の
一部分のみをエッチング処理等によって除去した肉薄部
を用いると、それら複数の板の相対位置が効果的に規制
され、精度の高い構造体が有利に得られることとなる。
この肉薄部は、組み合わされる導電性の板のうちの一枚
にのみ形成されてもよいが、より好適には、組み合わさ
れる複数枚の板のそれぞれに肉薄部を形成する構成を採
用することによって、それら肉薄部同士を重ね合わせ
て、かかる肉薄部の重ね合わされた部位を、肉薄部の形
成されていない他の部分と実質的に同一厚さとすること
が出来、これにより、実用部分が実質的に同一平面を呈
する構造体が構成されるのである。
In the present invention, when forming a structure for providing the recording electrodes, if a thin portion obtained by removing only a part of the conductive plates to be combined by etching or the like is used, the relative positions of the plurality of plates are Is effectively regulated, and a highly accurate structure can be advantageously obtained.
This thin portion may be formed only on one of the conductive plates to be combined, but more preferably, by adopting a configuration in which the thin portion is formed on each of a plurality of plates to be combined. , The thin portions can be overlapped with each other, and the overlapped portion of the thin portions can be made to have substantially the same thickness as the other portion where the thin portions are not formed. That is, a structure having the same plane is formed.

さらに、本発明に係る他の実施例として、組み合わさ
れる複数枚の板のそれぞれに、異なる厚さにおいて除去
された複数の肉薄部が形成された例が、第6図(a)〜
(d)及び第7図(a)〜(c)に示されている。そこ
において、先ず、第6図(a)に示される如き形態の導
電性を有する一枚のステンレス板30には、第6図(b)
から明らかなように、第一の肉薄部32aと第二の肉薄部3
2bとがエッチング処理により形成されており、かかる第
一及び第二の肉薄部32a,32bの厚さは、それぞれ、記録
電極形成部位38の厚さ、即ち目的とする構造体の厚さの
2/3及び1/3の厚さとされている。また、前記ステンレス
板30と組み合わされるステンレス板34が、第6図(c)
及び(d)に示されているが、かかる導電性を有するス
テンレス板34にあっても、同様に、第一の肉薄部36a及
び第二の肉薄部36bがエッチング処理によってそれぞれ
形成されている。そして、それら2枚のステンレス板3
0,34を、第一の肉薄部32a,36aと第二の肉薄部32b,36bと
がそれぞれ重ね合わされるように組み合わせて、第7図
(a)〜(c)に示される如き、目的とする構造体40を
構成するのである。
Further, as another embodiment according to the present invention, an example in which a plurality of thin portions removed in different thicknesses are formed on each of a plurality of plates to be combined is shown in FIG.
This is shown in (d) and FIGS. 7 (a) to (c). There, first, a single stainless steel plate 30 having conductivity as shown in FIG. 6 (a) is attached to FIG. 6 (b).
As is apparent from the first thin portion 32a and the second thin portion 3
2b and is formed by an etching process, the thickness of the first and second thin portions 32a, 32b, respectively, the thickness of the recording electrode forming portion 38, that is, the thickness of the target structure
The thickness is 2/3 and 1/3. Further, the stainless plate 34 combined with the stainless plate 30 is shown in FIG. 6 (c).
Also, as shown in (d) and (d), the stainless steel plate 34 having such conductivity is similarly formed with the first thin portion 36a and the second thin portion 36b by etching. And these two stainless steel plates 3
0, 34 are combined so that the first thin portions 32a, 36a and the second thin portions 32b, 36b are superposed on each other, and as shown in FIGS. 7 (a) to 7 (c), That is, the structure 40 is formed.

このように、組み合わされる2枚のステンレス板のそ
れぞれに形成される肉薄部を、厚さの異なる2種以上の
厚さとすることによって、該構造体40の板厚を大きくす
ることなく、組み合わされる2枚のステンレス板の相対
位置を該肉薄部で規制出来、以て精度の高い構造体を得
ることが出来るのである。
In this way, the thin portions formed on each of the two stainless steel plates to be combined are made to have two or more different thicknesses, so that the structure 40 can be combined without increasing the plate thickness. The relative positions of the two stainless steel plates can be regulated by the thin portion, so that a highly accurate structure can be obtained.

また、本発明の更に別の実施例として、スリットがそ
の全長において幅の異なる部位を有する形態のものが、
第8図(a)〜(h)に示されている。そこにおいて、
2枚のステンレス板42,44には、前例と同様に、スリッ
ト45、肉薄部46がそれぞれエッチング処理により形成さ
れている。このスリット45にあっては、その肉薄部46に
接する両端部位が、中央のスリット幅広部45aより狭い
幅、換言すれば記録電極形成部位48の幅広部48bと実質
的に同一の幅の狭幅部45bとされている。また、記録電
極形成部位48は、中央の狭幅部48aとその両端部の幅広
部48b,48bとから構成されている。なお、これら2枚の
ステンレス板42,44の板厚、スリット45の幅、ピッチ
は、第2図に示されるものと同様であり、また肉薄部46
の板厚は、記録電極形成部位48の1/2の厚さとされてい
る。そして、これら2枚の板42,44を、それらのスリッ
ト45の狭幅部45bに記録電極形成部位48の幅広部48bが嵌
装されるように重ね合わせることにより、第8図(e)
に示される如き形状の構造体50が得られるのである。そ
の後、前記と同様な加工が施されて、第1図や第9図に
示される記録ヘッドが形成されることとなる。
Further, as still another embodiment of the present invention, the slit has a form having different widths in its entire length,
This is shown in FIGS. 8 (a)-(h). Where
A slit 45 and a thin portion 46 are formed on each of the two stainless steel plates 42 and 44 by etching, as in the previous example. In this slit 45, both end portions in contact with the thin portion 46 have a width narrower than the central slit wide portion 45a, in other words, a narrow width substantially the same as the wide portion 48b of the recording electrode forming portion 48. It is supposed to be part 45b. The recording electrode forming portion 48 is composed of a central narrow portion 48a and wide portions 48b, 48b at both ends thereof. The plate thickness of these two stainless steel plates 42, 44, the width of the slit 45, and the pitch are the same as those shown in FIG.
The plate thickness of is set to be half the thickness of the recording electrode forming portion 48. Then, these two plates 42 and 44 are overlapped with each other so that the wide width portion 48b of the recording electrode forming portion 48 is fitted into the narrow width portion 45b of the slit 45 thereof, so that FIG.
Thus, the structure 50 having the shape as shown in FIG. After that, the same processing as that described above is performed, and the recording head shown in FIGS. 1 and 9 is formed.

このように、組み合わされる2枚のステンレス板42,4
4のスリット45における狭幅部45bを、記録電極形成部位
48の幅広部48bと同一の幅とすることにより、それらの
重ね合わせ時に、2枚のステンレス板の相対位置を、該
狭幅部45bに対する該幅広部48bの嵌装によって効果的に
規制することが出来、以て精度の高い構造体を得ること
が出来るのである。
Two stainless steel plates 42,4 that are combined in this way
The narrow portion 45b in the slit 45 of 4 is the recording electrode forming portion.
By setting the width of the wide portion 48b to be the same as that of the wide portion 48b, the relative positions of the two stainless steel plates can be effectively controlled by fitting the wide portion 48b to the narrow portion 45b when they are stacked. Therefore, a highly accurate structure can be obtained.

(発明の効果) 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、高
精度、高密度を有し、しかも電極間距離よりも電極厚の
厚い記録電極が得られ、それら電極が、フィルム状記録
媒体や放電破壊記録紙や通電感熱記録紙等と常に良好に
電気的に接触し、高速で、記録品質に優れた記録ヘッド
が得られるのである。
(Effects of the Invention) As is apparent from the above description, according to the present invention, it is possible to obtain a recording electrode having a high accuracy and a high density and having an electrode thickness thicker than the inter-electrode distance. It is possible to obtain a recording head which is always in good electrical contact with a recording medium, a discharge breakdown recording paper, a heat-sensitive recording paper, etc., and which has a high speed and excellent recording quality.

また、本発明による記録電極は、静電記録紙或いは誘
電体ドラム等にも、同様の理由で良好に潜像出来るとこ
ろから、本発明によれば、高速で、記録品質に優れた、
所謂静電記録方式用の記録ヘッドも得られるのである。
Further, since the recording electrode according to the present invention can satisfactorily form a latent image on an electrostatic recording paper, a dielectric drum, or the like for the same reason, according to the present invention, it is excellent in recording quality at high speed.
A recording head for a so-called electrostatic recording system can also be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、本発明にて製造される記録ヘッドの先端部を
概念的に示した切欠き斜視図であり、第2図(a),
(b)は、それぞれ、第1図の記録ヘッドを構成する記
録電極の製造過程で用いられる、導電性を有する2枚の
板の平面形態説明図であり、また第3図は、かかる2枚
の板を組み合わせて得られる構造体の平面説明図であ
る。そして、第4図(a)及び(b)は、それぞれ、本
発明にて製造される記録ヘッドを構成する記録電極形成
用の2枚の板の他の形態を説明する平面図であり、第5
図は、かかる2枚の板を組み合わせて得られる構造体の
平面説明図である。更に、第6図(a)及び(c)は、
それぞれ、本発明の他の実施例に係る2枚の板を示す平
面形態説明図、第6図(b)及び(d)は、それぞれ、
第6図(a)及び(c)におけるB−B断面及びD−D
断面説明図である。また、第7図(a)〜(c)は、第
6図(a)〜(d)に示される2枚の板を組み合わせて
得られる構造体を示す説明図であって、(a)はその平
面説明図、(b)及び(c)はそれぞれ第7図(a)に
おけるB−B断面及びC−C断面説明図である。第8図
(a),(d)は、それぞれ、本発明の更に他の実施例
に係る2枚の板を示す平面形態説明図、第8図(b)及
び(c)は、それぞれ、第8図(a)におけるB−B断
面及びC−C断面説明図であり、第8図(e)〜(h)
は、第8図(a)〜(d)に示される2枚の板を組み合
わせて得られる構造体を示す説明図であって、(e)は
その平面説明図、(f)〜(h)はそれぞれ(e)にお
けるF−F断面、G−G断面及びH−H断面説明図であ
る。また、第9図は、本発明にて製造される別の記録ヘ
ッドの先端部を概念的に示した切欠き斜視図である。 1:基材、2:記録電極 3:接着材、4:押え板 5:板厚よりも大きい幅のスリット 6:肉薄部、7:位置合わせ用マーク 8:板厚よりも小さい幅のスリット 9:ストライプ状記録電極間の空所 10a,10b:ステンレス板 12,22,40,50:構造体 20a,20b:ステンレス板 30,34,42,44:ステンレス板 32a,36a:第一の肉薄部 32b,36b:第二の肉薄部
FIG. 1 is a cutaway perspective view conceptually showing the tip of a recording head manufactured according to the present invention.
FIG. 2B is an explanatory plan view of two electrically conductive plates used in the process of manufacturing the recording electrodes constituting the recording head of FIG. 1, and FIG. It is a plane explanatory view of a structure obtained by combining the plates. 4 (a) and 4 (b) are plan views for explaining another embodiment of the two plates for forming the recording electrodes which form the recording head manufactured in the present invention. 5
The figure is an explanatory plan view of a structure obtained by combining these two plates. Further, FIGS. 6 (a) and (c) show
FIGS. 6 (b) and 6 (d) are plan view explanatory views showing two plates according to another embodiment of the present invention, respectively.
BB cross section and DD in FIGS. 6A and 6C.
It is sectional explanatory drawing. Further, FIGS. 7A to 7C are explanatory views showing a structure obtained by combining the two plates shown in FIGS. 6A to 6D, and FIG. The plan explanatory drawing, (b) and (c) are the BB sectional drawing and CC sectional explanatory drawing in FIG. 7 (a), respectively. 8 (a) and 8 (d) are plan view explanatory views showing two plates according to still another embodiment of the present invention, and FIGS. 8 (b) and 8 (c) are respectively drawings. 8B is a cross-sectional view taken along line BB and CC in FIG. 8A, and FIGS. 8E to 8H.
[Fig. 8] is an explanatory view showing a structure obtained by combining two plates shown in Figs. 8 (a) to (d), (e) is a plan explanatory view thereof, and (f) to (h). [Fig. 6] is an explanatory diagram of a FF cross section, a GG cross section, and a HH cross section in (e), respectively. FIG. 9 is a cutaway perspective view conceptually showing the tip of another recording head manufactured according to the present invention. 1: Base material, 2: Recording electrode 3: Adhesive, 4: Presser plate 5: Slits with width larger than plate thickness 6: Thin part, 7: Alignment mark 8: Slit with width smaller than plate thickness 9 : Space between striped recording electrodes 10a, 10b: Stainless plate 12,22, 40, 50: Structure 20a, 20b: Stainless plate 30,34, 42, 44: Stainless plate 32a, 36a: First thin part 32b, 36b: Second thin section

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】複数の導電性の板の所定の部分に、板厚よ
りも大きい幅のスリットが配列したパターンを少なくと
も形成し、相互の相対位置を規制して、該複数の導電性
の板を組み合わせることにより、板厚よりも小さい幅の
スリットを有するパターンを所定部分に形成した導電性
の構造体を構成した後、該構造体を配列されたストライ
プ状電極に加工することによって、電極間距離よりも電
極厚の厚い記録電極を形成することを特徴とする通電方
式記録ヘッドの製造方法。
1. A plurality of conductive plates having at least a pattern in which slits having a width larger than the plate thickness are arranged in a predetermined portion of the conductive plates to regulate their relative positions. By forming a conductive structure in which a pattern having a slit having a width smaller than the plate thickness is formed in a predetermined portion by combining the above, and by processing the structure into an arrayed striped electrode, A method of manufacturing an energization type recording head, characterized in that a recording electrode having an electrode thickness larger than a distance is formed.
【請求項2】板厚よりも大きい幅のスリットが配列した
パターンを有する複数の導電性の板を、相互の相対位置
を規制して組み合わせて、構造体を構成する場合に、板
厚よりも大きい幅のスリットの配列したパターンが形成
された導電性の板の一部分に、板厚の一部分のみを除去
した肉薄部を形成し、該肉薄部の少なくとも一部分によ
って相対位置を規制して、該複数の導電性の板を組み合
わせて、前記構造体を構成せしめることを特徴とする請
求項(1)記載の通電方式記録ヘッドの製造方法。
2. When a structure is constructed by combining a plurality of conductive plates having a pattern in which slits having a width larger than the plate thickness are arranged so that their relative positions are regulated, the structure has a thickness larger than the plate thickness. A thin part is formed by removing only a part of the plate thickness on a part of a conductive plate on which a pattern in which slits having a large width are arranged is formed, and the relative position is regulated by at least part of the thin part, The method of manufacturing an energization type recording head according to claim 1, wherein the conductive plate is combined to form the structure.
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