JP2682042B2 - Magnetic head - Google Patents

Magnetic head

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JP2682042B2
JP2682042B2 JP63212440A JP21244088A JP2682042B2 JP 2682042 B2 JP2682042 B2 JP 2682042B2 JP 63212440 A JP63212440 A JP 63212440A JP 21244088 A JP21244088 A JP 21244088A JP 2682042 B2 JP2682042 B2 JP 2682042B2
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清光 松根
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、単結晶フェライトと多結晶フェライトとの
接合フェライトからなる複合型の磁気ヘッドに関するも
のである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a composite magnetic head including a junction ferrite of a single crystal ferrite and a polycrystalline ferrite.

〔発明の概要〕 本発明は、磁気記録媒体摺接部分に単結晶フェライト
を用い後部磁気回路を構成する部分に多結晶フェライト
を用いた複合型の磁気ヘッドにおいて、前記単結晶フェ
ライトと多結晶フェライトの接合界面に中間層を介在せ
しめて当該単結晶フェライトと多結晶フェライトの接合
にともなう単結晶フェライトの成長による接合界面のう
ねりの大きさを規制することによって、接合界面での接
合強度を向上させ、しかも摺動ノイズレベルの低減を図
ろうとするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a composite type magnetic head using single crystal ferrite in a sliding contact portion of a magnetic recording medium and using polycrystalline ferrite in a portion forming a rear magnetic circuit, wherein the single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite are used. By interposing an intermediate layer on the bonding interface of, the size of the waviness of the bonding interface due to the growth of the single crystal ferrite accompanying the bonding of the single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite is regulated to improve the bonding strength at the bonding interface. Moreover, it is intended to reduce the sliding noise level.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、ビデオテープレコーダ(VTR)等の機器の小型
化,長時間化等の要求やいわゆるディジタルビデオテー
プレコーダ等の出現に伴って、高密度記録や短波長記録
が進められ、これに対して高抗磁力磁気記録媒体が使用
されるようになっている。
In recent years, high density recording and short wavelength recording have been promoted with the advent of so-called digital video tape recorders and the demand for miniaturization and longer time of devices such as video tape recorders (VTRs). Coercive force magnetic recording media have come into use.

したがって、磁気ヘッドの分野においてもこれらに対
処すべく研究がなされている。例えば、高記録密度を要
求するVTR用ヘッドには、5MHz程度の高周波数で高い飽
和磁束密度を有し、且つ透磁率も比較的大きい単結晶フ
ェライトを用いたいわゆる単結晶フェライトのみからな
る単体型の磁気ヘッドが提案されている。しかし、この
単体型フェライトヘッドでは、摺動ノイズのレベルが高
いという欠点がある。
Therefore, research has been conducted in the field of magnetic heads to deal with these problems. For example, a VTR head that requires a high recording density has a high saturation magnetic flux density at a high frequency of about 5 MHz and has a single magnetic ferrite having a relatively large magnetic permeability. Magnetic heads have been proposed. However, this single ferrite head has a drawback that the level of sliding noise is high.

そこで、前記単結晶フェライトの占める割合を減少さ
せることによって摺動ノイズレベルの低減を図った磁気
ヘッドが提案されている。この磁気ヘッドは、磁気記録
媒体摺接部分が高飽和磁束密度を有する単結晶フェライ
トで形成され、残りの磁気回路部を構成する部分が高透
磁率を有する多結晶フェライトで形成された、いわゆる
接合フェライト型の磁気ヘッドである。上記接合フェラ
イト磁気ヘッドは、前記単体フェライトヘッド同様の単
純な構造でありながら高密度記録が可能で、しかも摺動
ノイズレベルの低減が達成されるものである。
Therefore, a magnetic head has been proposed in which the sliding noise level is reduced by reducing the proportion of the single crystal ferrite. This magnetic head has a so-called bonded structure in which the sliding contact portion of the magnetic recording medium is formed of single crystal ferrite having a high saturation magnetic flux density, and the remaining magnetic circuit portion is formed of polycrystalline ferrite having a high magnetic permeability. It is a ferrite type magnetic head. The above-mentioned bonded ferrite magnetic head has a simple structure similar to that of the single ferrite head, but is capable of high-density recording and achieves reduction of sliding noise level.

ところが、上記接合フェライト磁気ヘッドにあって
は、前記単結晶フェライトと多結晶フェライトとが熱間
加圧処理、すなわち窒素雰囲気中、1200〜1300℃程度の
温度条件下、4〜5kg/cm2程度の圧力で直接接合される
ために、単結晶フェライト部が成長(固相拡散)し前記
多結晶フェライトの一部を単結晶フェライト化してしま
う。この拡散層は接合界面のうねりとなって現れ、とき
にはこのうねりの大きさが300μmにも達することがあ
る。また、拡散層の大きさは界面各部で異なるために、
単結晶フェライト部の長さのバラツキの大きい磁気ヘッ
ドとなってしまうという欠点を有し、実質的に摺動ノイ
ズレベルが大きくなってしまう。
However, in the above-mentioned bonded ferrite magnetic head, the single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite are subjected to hot pressure treatment, that is, in a nitrogen atmosphere at a temperature condition of about 1200 to 1300 ° C. and a temperature of about 4 to 5 kg / cm 2. Since the single crystal ferrite portion is directly bonded under the pressure of (1), the single crystal ferrite portion grows (solid phase diffusion), and a part of the polycrystalline ferrite becomes single crystal ferrite. The diffusion layer appears as a waviness at the bonding interface, and sometimes the waviness reaches 300 μm. Also, since the size of the diffusion layer is different at each interface,
It has a drawback that the magnetic head has a large variation in the length of the single crystal ferrite portion, which substantially increases the sliding noise level.

例えば、上記接合フェライト磁気ヘッドをVTR用の磁
気ヘッドとした場合、単結晶フェライト部の長さ(拡散
層の長さも含む)と摺動ノイズとは密接な関係にあり、
単結晶フェライト部の長さが大きい程摺動ノイズが増加
する傾向にある。
For example, when the bonded ferrite magnetic head is a VTR magnetic head, the length of the single crystal ferrite portion (including the length of the diffusion layer) and the sliding noise are closely related to each other.
Sliding noise tends to increase as the length of the single crystal ferrite portion increases.

したがって、単結晶フェライト部の長さはヘッド寿命
も考慮すると磁気ギャップのデプスと略一致させるのが
理想的であり、また接合界面が磁気記録媒体摺動面上に
露出しないことが必要である。例えば、媒体走行方向の
ヘッドチップ幅が2mm程度のVTR用磁気ヘッドの場合に
は、単結晶フェライト部の長さは70μm程度必要で、こ
れによれば、極めて小さい摺動ノイズレベルを示す。
Therefore, it is ideal that the length of the single crystal ferrite portion should be substantially equal to the depth of the magnetic gap in consideration of the life of the head, and the joint interface should not be exposed on the sliding surface of the magnetic recording medium. For example, in the case of a VTR magnetic head having a head chip width of about 2 mm in the medium running direction, the length of the single crystal ferrite portion is required to be about 70 μm, which shows an extremely small sliding noise level.

しかし、上記のように熱間加圧処理によると接合界面
に拡散層が形成され単結晶フェライトの長さが実質的に
大きくなってしまうために、単結晶フェライトの長さの
制御は非常に難しく、摺動ノイズレベルの低下を図るに
は容易でない。
However, since the diffusion layer is formed at the bonding interface and the length of the single crystal ferrite is substantially increased by the hot pressure treatment as described above, it is very difficult to control the length of the single crystal ferrite. It is not easy to reduce the sliding noise level.

そこで本願出願人は、先に特願昭61−158987号明細書
に開示するように、上記接合界面に酸化物磁性膜等の中
間膜を介在せしめることによって前記単結晶フェライト
の固相拡散を防止するようにした磁気ヘッドを提案して
いる。
Therefore, the applicant of the present application prevents solid phase diffusion of the single crystal ferrite by interposing an intermediate film such as an oxide magnetic film at the bonding interface as disclosed in Japanese Patent Application No. 61-158987. A magnetic head designed to do so is proposed.

この磁気ヘッドによれば、単結晶フェライトの固相拡
散を完全に遮断することができるため、接合界面に拡散
層が形成されることもなくうねりの発生もない。したが
って、前記単結晶フェライト部の長さを容易に制御する
ことができるので、当該単結晶フェライト部の長さを磁
気ギャップのデプスに位置させることができ、これによ
り摺動ノイズレベルは多結晶フェライトのみからなる単
体フェライトヘッドと同程度となる。
According to this magnetic head, the solid phase diffusion of the single crystal ferrite can be completely blocked, so that no diffusion layer is formed at the bonding interface and no waviness occurs. Therefore, since the length of the single crystal ferrite portion can be easily controlled, the length of the single crystal ferrite portion can be positioned at the depth of the magnetic gap, whereby the sliding noise level is reduced to the polycrystalline ferrite. It is about the same as a single ferrite head made of only.

ところが、上記磁気ヘッドでは摺動ノイズレベルの低
下が図れるものの、接合界面における接合強度が低下す
る。すなわち、上記熱間加圧処理では充分な接合強度が
とれず、単結晶フェライト部と多結晶フェライト部間に
剥がれが生ずることがある。また、ヘッドチップ化する
工程の途中で接合界面から剥がれたりすることもある。
However, although the sliding noise level can be reduced with the above magnetic head, the bonding strength at the bonding interface is reduced. That is, the hot pressing treatment may not provide sufficient bonding strength, and peeling may occur between the single crystal ferrite portion and the polycrystalline ferrite portion. Further, it may be peeled off from the bonding interface during the process of forming a head chip.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑みて提案され
たものであって、単結晶フェライトの成長による接合界
面のうねりの大きさを規制することにより接合界面での
接合強度を確保し、しかも摺動ノイズレベルの極めて小
さな接合フェライト型の磁気ヘッドを提供しようとする
ものである。
Therefore, the present invention has been proposed in view of such conventional circumstances, and secures the bonding strength at the bonding interface by controlling the size of the waviness of the bonding interface due to the growth of single crystal ferrite, and the sliding An object of the present invention is to provide a bonded ferrite type magnetic head having an extremely low dynamic noise level.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明者等は、上記の目的を達成せんものと長年に亘
り鋭意研究を重ねた結果、熱間加圧処理による単結晶フ
ェライトの固相拡散を完全に遮断するのではなく、その
拡散の大きさを所定範囲内に規制することにより、接合
界面での充分な接合強度が得られ、しかも摺動ノイズレ
ベルの低下も同時に満足できるとの知見を得た。
The inventors of the present invention have conducted extensive studies for many years to achieve the above-mentioned object, and as a result, do not completely block the solid-phase diffusion of single-crystal ferrite by the hot press treatment, but the magnitude of the diffusion. It was found that by regulating the thickness within a predetermined range, sufficient bonding strength at the bonding interface can be obtained, and at the same time, the reduction of the sliding noise level can be satisfied.

本発明はかかる知見に基づいて完成されたものであっ
て、磁気記録媒体摺接部分に単結晶フェライトを用い後
部磁気回路を構成する部分に多結晶フェライトを用いた
複合型の磁気ヘッドにおいて、前記単結晶フェライトと
多結晶フェライトの接合界面に中間層を介在せしめ、且
つ単結晶フェライトと多結晶フェライトの接合にともな
う単結晶フェライトの成長による接合界面のうねりの大
きさの最大値を10μm以上30μm以下とすることを特徴
とするものである。
The present invention has been completed based on such findings, and in a composite type magnetic head using a polycrystalline ferrite in a portion forming a rear magnetic circuit using a single crystal ferrite in a magnetic recording medium sliding contact portion, The maximum value of the waviness of the joint interface due to the growth of the single crystal ferrite accompanying the joint between the single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite is 10 μm or more and 30 μm or less, with an intermediate layer interposed at the joint interface between the single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite. It is characterized by

〔作用〕[Action]

本発明の磁気ヘッドによれば、単結晶フェライトと多
結晶フェライトとの接合界面に中間層が介在され、しか
もこの中間層により単結晶フェライトと多結晶フェライ
トとの接合にともなう該単結晶フェライトの成長による
接合界面のうねりの大きさを実用上摺動ノイズレベルに
支障を来さない範囲に規制しているので、当該接合界面
では充分な接合強度が得られるとともに摺動ノイズレベ
ルの低下が図れる。
According to the magnetic head of the present invention, the intermediate layer is interposed at the bonding interface between the single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite, and the growth of the single crystal ferrite accompanying the bonding between the single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite is caused by this intermediate layer. Since the size of the waviness of the joint interface due to is regulated to a range that does not hinder the sliding noise level in practical use, sufficient joint strength can be obtained and the sliding noise level can be reduced at the joint interface.

したがって、接合界面からの剥がれの問題が解消され
るので、歩留りが向上するとともに高信頼性が得られ
る。また、単結晶フェライトの長さも適正な値に制御可
能となるので、該単結晶フェライトの長さを磁気ギャッ
プのデプスと一致させることができ、さらなる摺動ノイ
ズレベルの低減が達成される。
Therefore, the problem of peeling from the bonding interface is solved, so that the yield is improved and high reliability is obtained. Further, since the length of the single crystal ferrite can be controlled to an appropriate value, the length of the single crystal ferrite can be matched with the depth of the magnetic gap, and the sliding noise level can be further reduced.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の具体的な一実施例について図面を参照
しながら説明する。
Hereinafter, a specific embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

本実施例の接合フェライト型の磁気ヘッドは、第1図
および第2図に示すように、磁気記録媒体摺接面側で磁
気ギャップgを構成する単結晶フェライト部(1)と、
磁気ヘッドのバックギャップ側で磁気回路の大部分を占
める多結晶フェライト部(2)とを、酸化物磁性薄膜か
らなる中間層(3)を介して接合一体化して構成される
ものである。なお、磁気ギャップg近傍部には、トラッ
ク幅を所定の値に規制するためのトラック幅規制溝が切
り欠かれていてもよい。
As shown in FIGS. 1 and 2, the bonded ferrite type magnetic head of the present embodiment includes a single crystal ferrite portion (1) forming a magnetic gap g on the sliding contact surface side of the magnetic recording medium,
It is configured by joining and integrating a polycrystalline ferrite portion (2), which occupies most of the magnetic circuit on the back gap side of the magnetic head, via an intermediate layer (3) made of an oxide magnetic thin film. A track width regulating groove for regulating the track width to a predetermined value may be cut out in the vicinity of the magnetic gap g.

接合フェライト型の磁気ヘッドでは、高抗磁力を有す
る磁気記録媒体に対処するため、磁気ギャップは高飽和
磁束密度を有する単結晶フェライトにより構成する。一
方、フロントギャップ近傍のヘッドチップ部を除く磁気
回路の大部分は、磁気ヘッド全体の平均的な透磁率を高
める目的で、高透磁率を有する多結晶フェライトにより
構成する。これによって、記録時には磁気ヘッド全体が
高飽和磁束密度材料で構成されたのと同等の特性を示
し、高抗磁力磁気記録媒体に対しても充分な記録を行う
ことができ、また再生時には磁気ヘッドの平均透磁率が
高いことから良好な電磁変換特性を示す。
In the bonded ferrite type magnetic head, in order to cope with a magnetic recording medium having a high coercive force, the magnetic gap is made of single crystal ferrite having a high saturation magnetic flux density. On the other hand, most of the magnetic circuit except the head chip portion near the front gap is made of polycrystalline ferrite having high magnetic permeability for the purpose of increasing the average magnetic permeability of the entire magnetic head. As a result, at the time of recording, the entire magnetic head exhibits the same characteristics as those made of a high saturation magnetic flux density material, and it is possible to perform sufficient recording on a high coercive force magnetic recording medium. Since the average magnetic permeability of is high, it exhibits excellent electromagnetic conversion characteristics.

そして、本発明では、上記単結晶フェライト部(1)
と多結晶フェライト部との接合界面に、酸化物磁性薄膜
からなる中間層(3)を介在せしめ、且つ単結晶フェラ
イト部(1)と多結晶フェライト部(2)との接合にと
もなう単結晶フェライト部(1)の成長(以下、固相拡
散という。)による接合界面のうねりの大きさの最大値
を10μm以上30μm以下とすることを大きな特徴として
いる。
In the present invention, the single crystal ferrite part (1)
And a polycrystalline ferrite part, an intermediate layer (3) made of an oxide magnetic thin film is interposed between the single crystal ferrite part (1) and the polycrystalline ferrite part (2). A major feature is that the maximum value of the waviness of the bonded interface due to the growth of the portion (1) (hereinafter referred to as solid phase diffusion) is set to 10 μm or more and 30 μm or less.

これによれば、上記接合界面では単結晶フェライト部
(1)の固相拡散を完全に遮断するのではなく、上記固
相拡散のうねりの大きさの最大値を実用上問題とならな
い摺動ノイズレベル範囲且つ接合界面での信頼性ある接
合強度がとれる大きさに規制するので、当該接合界面で
の接合強度が確保でき、しかも摺動ノイズのレベル低下
も同時に満足できる磁気ヘッドが実現される。
According to this, the solid phase diffusion of the single crystal ferrite part (1) is not completely blocked at the joint interface, but the maximum value of the undulation magnitude of the solid phase diffusion is not a practical problem. The magnetic head is regulated to have a level range and a size capable of obtaining reliable bonding strength at the bonding interface, so that the bonding strength at the bonding interface can be secured, and at the same time, the reduction of the level of sliding noise can be satisfied.

したがって、熱間加圧処理での接合強度不十分による
接合界面からの剥がれの発生やヘッドチップ化する工程
で生ずるストレス等で剥がれたりすることがなくなる。
よって、歩留りが向上するとともに高い信頼性も得られ
る。
Therefore, peeling from the bonding interface due to insufficient bonding strength in the hot pressing process and peeling due to stress or the like generated in the step of forming a head chip will not occur.
Therefore, the yield is improved and high reliability is obtained.

また、前記うねりの大きさの最大値が10μm以上30μ
m以下であるので、この範囲では中間層を介在させない
接合フェライトヘッドのうねりの大きさと比べて極めて
小さく、実用上問題とならない摺動ノイズレベル範囲と
なる。
The maximum value of the undulation is 10 μm or more and 30 μ
Since it is m or less, it is extremely small in this range as compared with the waviness of the bonded ferrite head without the intermediate layer interposed therebetween, and is a sliding noise level range that does not pose a practical problem.

上記中間層(3)としては、Mn−Znフェライト,Mnフ
ェライト,Ni−Znフェライト,Niフェライト,Fe−Znフェ
ライト,Feフェライト等が挙げられる。なお、本実施例
ではMn−Znフェライトを使用した。
Examples of the intermediate layer (3) include Mn-Zn ferrite, Mn ferrite, Ni-Zn ferrite, Ni ferrite, Fe-Zn ferrite, and Fe ferrite. In this example, Mn-Zn ferrite was used.

これら中間層(3)は、スパッタリング法,真空蒸着
法等の真空薄膜形成技術によって簡単に形成することが
できる。なお、本実施例ではスパッタリング法により形
成した。
These intermediate layers (3) can be easily formed by a vacuum thin film forming technique such as a sputtering method or a vacuum evaporation method. In addition, in the present embodiment, it is formed by the sputtering method.

本実施例の磁気ヘッドを作製するには、先ず、単結晶
フェライトブロックと多結晶フェライトブロックとを用
意し、これらの接合面を鏡面加工した後、単結晶フェラ
イトブロックの鏡面加工が施された面にMn−Znフェライ
ト薄膜を0.1〜0.75μm程度の膜厚でスパッタリングし
た後、熱間加圧処理により接合一体化して接合フェライ
トブロックを作製する。そして、この接合フェライトブ
ロックに対して、巻線溝加工,トラック規制溝加工等を
施す等、通常の磁気ヘッド作製の工程を経ることにより
本実施例の磁気ヘッドは完成される。
In order to manufacture the magnetic head of the present embodiment, first, a single crystal ferrite block and a polycrystalline ferrite block are prepared, and the bonding surface of these is mirror-finished, and then the surface of the single-crystal ferrite block mirror-finished. Then, a Mn-Zn ferrite thin film is sputtered to a film thickness of about 0.1 to 0.75 μm, and then bonded and integrated by hot pressure treatment to form a bonded ferrite block. Then, the magnetic head of this embodiment is completed by subjecting the bonded ferrite block to ordinary winding processes such as winding groove processing and track restriction groove processing.

ここで、本発明者等が実際に作製した磁気ヘッドの実
験データにより本発明を説明する。
Here, the present invention will be described with reference to experimental data of a magnetic head actually manufactured by the present inventors.

先ず、第3図に示すように、ブリッジマン(Bridgma
n)法により形成した単結晶フェライトブロック(4)
と通常の粉末冶金法により形成した多結晶フェライトブ
ロック(5)とを用意し、これらの接合面を鏡面加工し
て該接合面の表面粗度の最大高さRmaxが0.1〜0.3μmと
なるようにした。なお、これら単結晶フェライトブロッ
ク(4)と多結晶フェライトブロック(5)には下記の
組成からなるフェライトを使用した。
First, as shown in FIG. 3, Bridgma (Bridgma)
n) Single crystal ferrite block formed by method (4)
And a polycrystalline ferrite block (5) formed by an ordinary powder metallurgy method are prepared, and these joint surfaces are mirror-polished so that the maximum height Rmax of the surface roughness of the joint surfaces becomes 0.1 to 0.3 μm. I chose A ferrite having the following composition was used for the single crystal ferrite block (4) and the polycrystalline ferrite block (5).

単結晶フェライト組成 MnO 30.0mol% ZnO 20.0mol% Fe2O3 50.0mol% 多結晶フェライト組成 MnO 30.0mol% ZnO 20.0mol% Fe2O3 50.0mol% 次に、前記単結晶フェライトブロック(4)の接合面
にMn−Znフェライト薄膜(6)をスパッタリングにより
被着形成した。本実施例では、高周波マグネトロンスパ
ッタリング法を用いて以下の条件でスパッタリングし
た。
Single crystal ferrite composition MnO 30.0mol% ZnO 20.0mol% Fe 2 O 3 50.0mol% Polycrystalline ferrite composition MnO 30.0mol% ZnO 20.0mol% Fe 2 O 3 50.0mol% Next, the single crystal ferrite block (4) A Mn-Zn ferrite thin film (6) was deposited on the joint surface by sputtering. In this example, high frequency magnetron sputtering was used to perform sputtering under the following conditions.

スパッタリング条件 圧力・・・1Pa 放電ガス・・・Ar 出力・・・4W/cm2 ターゲット組成・・・MnO 25.0mol%,ZnO 25.0mol
%,Fe2O3 50.0mol% 次に、上記単結晶フェライトブロック(4)と多結晶
フェライトブロック(5)とを熱間加圧処理により接合
一体化した。熱間加圧処理の処理条件は、接合温度1300
℃,加圧圧力5.0kg/cm2,処理時間2時間,窒素雰囲気
中とした。
Sputtering conditions Pressure ・ ・ ・ 1Pa Discharge gas ・ ・ ・ Ar output ・ ・ ・ 4W / cm 2 Target composition ・ ・ ・ MnO 25.0mol%, ZnO 25.0mol
%, Fe 2 O 3 50.0 mol% Next, the single crystal ferrite block (4) and the polycrystalline ferrite block (5) were joined and integrated by hot pressing. The processing conditions for hot pressurization are the bonding temperature of 1300
℃, pressurization pressure 5.0kg / cm 2 , treatment time 2 hours, nitrogen atmosphere.

本実施例では、先のMn−Znフェライト薄膜(6)の膜
厚を0〜2.0μmの範囲でいろいろ変えて合計9種類の
接合フェライトブロックを各々作製した。
In this example, a total of 9 types of bonded ferrite blocks were produced by varying the film thickness of the Mn-Zn ferrite thin film (6) within the range of 0 to 2.0 μm.

次いでこれら、接合一体化した接合フェライトブロッ
クを切断し、研磨(クロム・ラップ)した後、接合界面
を顕微鏡により観察して接合強度を調べた。接合強度は
10サンプルについて当該接合界面に剥がれがあるもの,
点剥がれ(接合面に点状の空孔がある場合)があるも
の,剥がれがないものの三段階に分け、それぞれの個数
で評価した。さらに、上記接合フェライトブロックを塩
酸でエッチングした後、単結晶フェライト部の固相拡散
の大きさを測定した。なお本実施例では、上記固相拡散
のうねりの大きさの最大値,すなわち最大固相拡散長
と、うねりの大きさの平均値,すなわち平均固相拡散長
の両方を測定した。その結果を第1表に示す。
Next, these bonded ferrite blocks bonded and integrated were cut and polished (chrome lap), and then the bonding interface was observed with a microscope to examine the bonding strength. The bond strength is
10 samples with peeling at the joint interface,
It was divided into three stages: one with spot peeling (when there are spot-like holes on the joint surface) and one without peeling, and the number of each was evaluated. Further, after etching the bonded ferrite block with hydrochloric acid, the magnitude of solid phase diffusion of the single crystal ferrite portion was measured. In this example, both the maximum value of the waviness of the solid phase diffusion, that is, the maximum solid phase diffusion length, and the average value of the waviness size, that is, the average solid phase diffusion length were measured. Table 1 shows the results.

次いで、上記接合フェライトブロックの一部を切り出
し、巻線溝加工,トラック幅規制溝加工等を施して前記
第1図および第2図に示す磁気ヘッドを作製した。な
お、この磁気ヘッドの単結晶フェライト部の長さは70μ
mとした。そして、これらの磁気ヘッドについて摺動ノ
イズレベルを測定した。
Then, a part of the bonded ferrite block was cut out and subjected to winding groove processing, track width regulation groove processing and the like to manufacture the magnetic head shown in FIGS. 1 and 2. The length of the single crystal ferrite part of this magnetic head is 70μ.
m. Then, the sliding noise level of these magnetic heads was measured.

これら実験結果をもとに、摺動ノイズレベルおよび剥
がれ・点剥がれ不良率の最大固相拡散長依存性をプロッ
トしたものが第4図である。
FIG. 4 is a plot of the maximum solid phase diffusion length dependence of the sliding noise level and the peeling / spot peeling failure rate based on these experimental results.

第4図から明らかなように、接合強度は単結晶フェラ
イト部の最大固相拡散長が大きくなればなる程増すが、
摺動ノイズは逆に大きくなる傾向にある。すなわち、接
合強度を確保しようとすると摺動ノイズは増加してしま
い、反対に摺動ノイズレベルの低下を図ろうとすると今
度は接合強度が低下し、これら接合強度と摺動ノイズと
は相反する関係にある。
As is clear from FIG. 4, the bonding strength increases as the maximum solid phase diffusion length of the single crystal ferrite part increases,
Conversely, sliding noise tends to increase. That is, sliding noise increases when trying to secure the joining strength, and conversely, when trying to lower the sliding noise level, the joining strength decreases this time. It is in.

そこで、接合強度と摺動ノイズの両方を満足させるに
は、前記単結晶フェライト部の最大固相拡散長を適当な
範囲に設定する必要がある。すなわち、接合強度が充分
に確保でき、しかも摺動ノイズレベルも同時に満足でき
る範囲を見出すことである。上記摺動ノイズレベルが実
用上問題とならないためには、熱間加圧処理前と熱間加
圧処理後での摺動ノイズレベルの増加量が2dB以下であ
ることが必要である。第4図から見ると、摺動ノイズの
増加量が2dB以下でしかも接合強度も充分確保できる単
結晶フェライト部の最大固相拡散長は10μm以上30μm
以下の範囲となる。したがって、上記単結晶フェライト
部の最大固相拡散長を上記範囲とすれば、接合強度と摺
動ノイズがいずれも同時に満足でき、信頼性に優れた磁
気ヘッドを実現することが可能となる。
Therefore, in order to satisfy both the bonding strength and the sliding noise, it is necessary to set the maximum solid phase diffusion length of the single crystal ferrite portion within an appropriate range. That is, it is necessary to find a range in which the bonding strength can be sufficiently secured and the sliding noise level can be satisfied at the same time. In order that the sliding noise level does not pose a practical problem, it is necessary that the amount of increase in the sliding noise level before the hot pressing treatment and after the hot pressing treatment be 2 dB or less. As seen from Fig. 4, the maximum solid phase diffusion length of the single crystal ferrite part where the amount of sliding noise increase is 2 dB or less and the bonding strength is sufficiently secured is 10 μm to 30 μm.
The range is as follows. Therefore, by setting the maximum solid phase diffusion length of the single crystal ferrite portion within the above range, both the bonding strength and the sliding noise can be satisfied at the same time, and a magnetic head with excellent reliability can be realized.

そこで次に、最大固相拡散長と中間層の膜厚との関係
を調べるために、最大固相拡散長と剥がれ・点剥がれ不
良率の中間層の膜厚依存性をプロットした。その結果を
第5図に示す。
Then, next, in order to investigate the relationship between the maximum solid phase diffusion length and the film thickness of the intermediate layer, the dependence of the maximum solid phase diffusion length and the peeling / spot peeling defect rate on the film thickness of the intermediate layer was plotted. The results are shown in FIG.

この結果、最大固相拡散長が前述の範囲となるような
中間層(6)の膜厚は、第5図から明らかなようにMn−
Znフェライトの場合0.1〜0.75μmであった。なお、上
記膜厚の範囲は前記中間層(6)の材料により異なるも
のである。
As a result, the thickness of the intermediate layer (6) for which the maximum solid phase diffusion length is within the above range is, as is clear from FIG.
In the case of Zn ferrite, it was 0.1 to 0.75 μm. The range of the film thickness depends on the material of the intermediate layer (6).

したがって、上記中間層(6)の膜圧を0.1〜0.75μ
mに設定して前記単結晶フェライトと多結晶フェライト
との接合界面に介在せしめれば、当該単結晶フェライト
と多結晶フェライトの接合にともなう単結晶フェライト
の最大固相拡散長が前記10μm以上30μm以下の範囲内
に規制される。よって、接合界面での接合強度は中間層
(6)を介在させない接合フェライト磁気ヘッドの接合
強度に近い強度が得られ、しかも極めて小さな摺動ノイ
ズレベルが達成される。
Therefore, the membrane pressure of the intermediate layer (6) should be 0.1-0.75μ.
If it is set to m and is interposed at the joint interface between the single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite, the maximum solid phase diffusion length of the single crystal ferrite due to the joint between the single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite is 10 μm or more and 30 μm or less. Regulated within the range of. Therefore, the bonding strength at the bonding interface is close to the bonding strength of the bonded ferrite magnetic head without the intermediate layer (6), and a very low sliding noise level is achieved.

また、上記単結晶フェライトの固相拡散の大きさを規
制できるので、当該単結晶フェライト部の長さを磁気ギ
ャップのデプスに一致させることが可能となる。したが
って、さらなる摺動ノイズレベルの低減が図れる磁気ヘ
ッドが達成される。
Further, since the magnitude of the solid phase diffusion of the single crystal ferrite can be regulated, it becomes possible to match the length of the single crystal ferrite portion with the depth of the magnetic gap. Therefore, the magnetic head capable of further reducing the sliding noise level is achieved.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上の説明からも明らかなように、本発明において
は、単結晶フェライトと多結晶フェライトとの接合界面
に中間層を介在せしめ、この中間層によって単結晶フェ
ライトと多結晶フェライトの接合にともなう単結晶フェ
ライトの成長による接合界面のうねりの大きさの最大値
を所定範囲に規制しているので、中間層を介在させない
接合フェライト磁気ヘッドの接合強度に近い高信頼性の
ある接合強度が得られ、しかも極めて摺動ノイズレベル
の小さいものとなる。
As is clear from the above description, in the present invention, an intermediate layer is interposed at the bonding interface between the single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite, and the single crystal accompanying the bonding of the single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite is formed by this intermediate layer. Since the maximum value of the waviness of the bonding interface due to the growth of ferrite is regulated within a predetermined range, a highly reliable bonding strength close to the bonding strength of a bonded ferrite magnetic head without an intermediate layer can be obtained. The sliding noise level is extremely low.

したがって、本発明の磁気ヘッドによれば、熱間加圧
処理での接合強度不十分による接合界面からの剥がれの
発生やヘッドチップ加工の途中工程で生ずるストレス等
による剥がれがなくなり、製造工程における歩留りが改
善され、信頼性の高い磁気ヘッドが実現される。
Therefore, according to the magnetic head of the present invention, the occurrence of peeling from the bonding interface due to insufficient bonding strength in the hot pressing process and peeling due to stress or the like generated in the intermediate step of head chip processing is eliminated, and the yield in the manufacturing process is reduced. Is improved and a highly reliable magnetic head is realized.

また、単結晶フェライトの固相拡散の大きさが規制で
きるので、当該単結晶フェライトの長さを磁気ギャップ
のデプスに一致させることができ、さらなる摺動ノイズ
レベルの低減が図れる。
Further, since the magnitude of the solid phase diffusion of the single crystal ferrite can be regulated, the length of the single crystal ferrite can be matched with the depth of the magnetic gap, and the sliding noise level can be further reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明を適用した磁気ヘッドの一例を示す外観
斜視図であり、第2図は第1図A−A線における断面図
である。 第3図は熱間加圧処理して接合一体化した接合フェライ
トブロックを示す斜視図である。 第4図は摺動ノイズおよび剥がれ・点剥がれ不良率の最
大固相拡散長依存性を示す特性図である。 第5図は最大固相拡散長および剥がれ・点剥がれ不良率
の中間層の膜厚依存性を示す特性図である。 1……単結晶フェライト部 2……多結晶フェライト部 3……中間層
FIG. 1 is an external perspective view showing an example of a magnetic head to which the present invention is applied, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA in FIG. FIG. 3 is a perspective view showing a bonded ferrite block which has been subjected to hot pressure treatment and bonded and integrated. FIG. 4 is a characteristic diagram showing the maximum solid-phase diffusion length dependency of sliding noise and peeling / point peeling defect rate. FIG. 5 is a characteristic diagram showing the dependence of the maximum solid phase diffusion length and the peeling / spot peeling defect rate on the thickness of the intermediate layer. 1 …… Single crystal ferrite part 2 …… Polycrystalline ferrite part 3 …… Intermediate layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 磯山 敏彦 東京都品川区北品川6丁目5番6号 ソ ニー・マグネ・プロダクツ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−14311(JP,A) 特開 昭63−184903(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toshihiko Isoyama 6-5-6 Kitashinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Magne Products Co., Ltd. (56) Reference JP-A 63-14311 (JP, A) ) JP-A-63-184903 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】磁気記録媒体摺接部分に単結晶フェライト
を用い後部磁気回路を構成する部分に多結晶フェライト
を用いた複合型の磁気ヘッドにおいて、 前記単結晶フェライトと多結晶フェライトの接合界面に
中間層を介在せしめ、且つ単結晶フェライトと多結晶フ
ェライトの接合にともなう単結晶フェライトの成長によ
る接合界面のうねりの大きさの最大値を10μm以上30μ
m以下とすることを特徴とする磁気ヘッド。
1. A composite magnetic head using a single crystal ferrite in a sliding contact portion of a magnetic recording medium and a polycrystalline ferrite in a portion constituting a rear magnetic circuit, wherein a junction interface between the single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite is provided. The maximum value of the waviness of the joint interface due to the growth of the single crystal ferrite due to the joining of the single crystal ferrite and the polycrystalline ferrite with the intermediate layer interposed is 10 μm to 30 μ.
A magnetic head having a thickness of m or less.
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