JP2681983B2 - ウェハ観察用写真撮影機 - Google Patents
ウェハ観察用写真撮影機Info
- Publication number
- JP2681983B2 JP2681983B2 JP63070025A JP7002588A JP2681983B2 JP 2681983 B2 JP2681983 B2 JP 2681983B2 JP 63070025 A JP63070025 A JP 63070025A JP 7002588 A JP7002588 A JP 7002588A JP 2681983 B2 JP2681983 B2 JP 2681983B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage case
- photographer
- wafer
- clean room
- developed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B17/00—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor
- G03B17/48—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor adapted for combination with other photographic or optical apparatus
- G03B17/50—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor adapted for combination with other photographic or optical apparatus with both developing and finishing apparatus
- G03B17/52—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor adapted for combination with other photographic or optical apparatus with both developing and finishing apparatus of the Land type
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B17/00—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor
- G03B17/48—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor adapted for combination with other photographic or optical apparatus
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B17/00—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor
- G03B17/48—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor adapted for combination with other photographic or optical apparatus
- G03B17/50—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor adapted for combination with other photographic or optical apparatus with both developing and finishing apparatus
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Cameras Adapted For Combination With Other Photographic Or Optical Apparatuses (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は半導体装置の製造に用いられるクリーンルー
ム内等において、光学または電子顕微鏡に取付けて使用
される写真撮影機に関するものである。
ム内等において、光学または電子顕微鏡に取付けて使用
される写真撮影機に関するものである。
従来の技術 一般に半導体装置等の超微細加工を要する製品は、大
気中のダスト数を厳しく制限したクリーンルーム内で製
造される。また半導体装置等の製造にあたっては、素子
の表面状態や断面形状を光学または電子顕微鏡で確認
し、解析や分析を行う必要がある。
気中のダスト数を厳しく制限したクリーンルーム内で製
造される。また半導体装置等の製造にあたっては、素子
の表面状態や断面形状を光学または電子顕微鏡で確認
し、解析や分析を行う必要がある。
従来より、このような解析や分析を行うために、光学
顕微鏡または電子顕微鏡に第４図に示すような写真撮影
機を装着し、素子の表面や断面を写真撮影する方法がと
られている。
顕微鏡または電子顕微鏡に第４図に示すような写真撮影
機を装着し、素子の表面や断面を写真撮影する方法がと
られている。
第４図に示す写真撮影機は、いわゆるインスタントカ
メラと呼ばれているもので、撮影機本体１内に１枚ずつ
フィルムを収納し、写真撮影を完了する都度、フィルム
取り出し口３からはみ出したフィルム引き出し紙片２を
引っ張ってフィルム４を引き出し、フィルム面に塗布さ
れた現像用薬剤をローラーで押しひろげて現像するもの
である。
メラと呼ばれているもので、撮影機本体１内に１枚ずつ
フィルムを収納し、写真撮影を完了する都度、フィルム
取り出し口３からはみ出したフィルム引き出し紙片２を
引っ張ってフィルム４を引き出し、フィルム面に塗布さ
れた現像用薬剤をローラーで押しひろげて現像するもの
である。
発明が解決しようとする課題 ところが、このような従来の写真撮影機をクリーンル
ーム内で使用すると、フィルム４を引き出す際にフィル
ム取り出し口３からフィルム４に使用されている紙繊維
や薬剤粒子等が周囲の空間に飛散し、クリーンルーム内
を汚染するという問題がある。
ーム内で使用すると、フィルム４を引き出す際にフィル
ム取り出し口３からフィルム４に使用されている紙繊維
や薬剤粒子等が周囲の空間に飛散し、クリーンルーム内
を汚染するという問題がある。
近年、このような問題を解決するとともに顕微鏡撮影
を能率よくするために、撮影機本体１にフィルム取り出
し口３を覆うように第５図に示す収納ケース５を着脱自
在に取付け、撮影機本体１で現像まで完了した写真を順
次収納ケース５内に送り出す方式の写真撮影機も開発さ
れている。このようにすれば、現像済写真が送り出され
る際に様様なダストが発生しても、これらのダストは収
納ケース５内に送り込まれるだけで、クリーンルーム内
に飛散することは少ない。
を能率よくするために、撮影機本体１にフィルム取り出
し口３を覆うように第５図に示す収納ケース５を着脱自
在に取付け、撮影機本体１で現像まで完了した写真を順
次収納ケース５内に送り出す方式の写真撮影機も開発さ
れている。このようにすれば、現像済写真が送り出され
る際に様様なダストが発生しても、これらのダストは収
納ケース５内に送り込まれるだけで、クリーンルーム内
に飛散することは少ない。
ところが、この場合、撮影後の写真を確認しようとし
て、収納ケース５を撮影機本体１から取り外すと、その
瞬間に収納ケース５内にあったダストが収納ケース５の
開口部からクリーンルーム内に飛散するため、クリーン
ルーム内を汚染してしまう。
て、収納ケース５を撮影機本体１から取り外すと、その
瞬間に収納ケース５内にあったダストが収納ケース５の
開口部からクリーンルーム内に飛散するため、クリーン
ルーム内を汚染してしまう。
この問題を避けるには、収納ケース５を取付けたまま
撮影機本体１を顕微鏡から取外し、撮影機本体１をクリ
ーンルーム外に持ち出してから写真を取り出さなければ
ならない。このため、クリーンルームへの出入り回数が
増え、結果的にクリーンルーム内のクリーン度が低下す
る。しかもいちいち撮影機本体１を顕微鏡に着脱しなけ
ればならないから、トータル的にみると必ずしも写真撮
影作業は効率化されない。
撮影機本体１を顕微鏡から取外し、撮影機本体１をクリ
ーンルーム外に持ち出してから写真を取り出さなければ
ならない。このため、クリーンルームへの出入り回数が
増え、結果的にクリーンルーム内のクリーン度が低下す
る。しかもいちいち撮影機本体１を顕微鏡に着脱しなけ
ればならないから、トータル的にみると必ずしも写真撮
影作業は効率化されない。
また、上記収納ケース５は不透明な樹脂ケース等で構
成されているため、作業中に写真の撮影状態を確認する
ことができないという問題がある。特に何枚かを連続し
て撮影する際、一枚目の撮影で露光量，焦点，色あい等
が適正かどうかを判断し、引き続き同一条件で撮影して
よいかどうかを決定しなければならないが、現像済みの
写真が不透明な収納ケース５に入り込んでしまうため、
露光量や焦点の確認ができない。これを確認するために
は、前述と同様に、撮影機本体１ごとクリーンルーム外
に持ち出し、写真を取り出して行わなければならない。
このためクリーンルームへの出入りによる汚染の問題や
撮影作業が非効率になることは避けられない。また、こ
の確認作業を怠ると、連続的に撮影した何枚かの写真撮
影をすべて失敗することもあり得る。
成されているため、作業中に写真の撮影状態を確認する
ことができないという問題がある。特に何枚かを連続し
て撮影する際、一枚目の撮影で露光量，焦点，色あい等
が適正かどうかを判断し、引き続き同一条件で撮影して
よいかどうかを決定しなければならないが、現像済みの
写真が不透明な収納ケース５に入り込んでしまうため、
露光量や焦点の確認ができない。これを確認するために
は、前述と同様に、撮影機本体１ごとクリーンルーム外
に持ち出し、写真を取り出して行わなければならない。
このためクリーンルームへの出入りによる汚染の問題や
撮影作業が非効率になることは避けられない。また、こ
の確認作業を怠ると、連続的に撮影した何枚かの写真撮
影をすべて失敗することもあり得る。
更に撮影機本体１と収納ケース５を一対にしたままク
リーンルーム外へ持ち出し、収納ケース５を取り外す際
に、収納ケース５内に収納された何枚かの写真が床等に
落下することも多く、この場合、どの写真が何番目に撮
影されたものかが判らなくなり、写真の確認作業が著し
く困難になる。
リーンルーム外へ持ち出し、収納ケース５を取り外す際
に、収納ケース５内に収納された何枚かの写真が床等に
落下することも多く、この場合、どの写真が何番目に撮
影されたものかが判らなくなり、写真の確認作業が著し
く困難になる。
本発明はこのような従来の問題を解決する写真撮影機
を提供するものである。
を提供するものである。
課題を解決するための手段 本発明は写真の収納ケースに、その写真収納用開口部
を開閉自在に密封する蓋を設けたものである。また本発
明は収納ケースの少なくとも一部を透明にしたものであ
る。さらに本発明は収納ケースそのものを導電性材料で
構成するか、あるいは収納ケースの表面に導電性処理を
施したものである。また本発明は撮影される複数の写真
に連続符号を付与する構成を備えている。
を開閉自在に密封する蓋を設けたものである。また本発
明は収納ケースの少なくとも一部を透明にしたものであ
る。さらに本発明は収納ケースそのものを導電性材料で
構成するか、あるいは収納ケースの表面に導電性処理を
施したものである。また本発明は撮影される複数の写真
に連続符号を付与する構成を備えている。
作用 収納ケースに、その写真収納用開口部を開閉自在に密
封する蓋を設ければ、蓋で収納ケースを密封した後に収
納ケースを撮影機本体から取り外すことにより、クリー
ンルーム内にダストを飛散させることなく、収納ケース
のみをクリーンルーム外に持ち出すことができる。この
ため、顕微鏡からいちいち撮影機本体を取り外す必要が
なくなり、トータルの作業効率を高めることができる。
また収納ケースの少なくとも一部を透明にすることによ
り、収納ケースの外から写真の露光量，焦点，色あい等
を確認することができ、撮影ミスを少なくすることがで
きる。さらに収納ケースに導電性処理を施すことにより
高圧の静電気の発生を防止し、静電気によるダストのひ
きつけを防止することができる。また収納ケースに送り
込まれる写真に連続符号を付与することにより、何番目
に撮影された写真かが一目で判るため、写真の確認作業
が容易になり、確認ミスを確実に防止することができ
る。
封する蓋を設ければ、蓋で収納ケースを密封した後に収
納ケースを撮影機本体から取り外すことにより、クリー
ンルーム内にダストを飛散させることなく、収納ケース
のみをクリーンルーム外に持ち出すことができる。この
ため、顕微鏡からいちいち撮影機本体を取り外す必要が
なくなり、トータルの作業効率を高めることができる。
また収納ケースの少なくとも一部を透明にすることによ
り、収納ケースの外から写真の露光量，焦点，色あい等
を確認することができ、撮影ミスを少なくすることがで
きる。さらに収納ケースに導電性処理を施すことにより
高圧の静電気の発生を防止し、静電気によるダストのひ
きつけを防止することができる。また収納ケースに送り
込まれる写真に連続符号を付与することにより、何番目
に撮影された写真かが一目で判るため、写真の確認作業
が容易になり、確認ミスを確実に防止することができ
る。
実施例 以下、本発明の一実施例を第１図〜第３図とともに説
明する。
明する。
第３図は光学顕微鏡へ写真撮影機を取付けた状態を示
すものであり、６は顕微鏡、７は焦点調整用ねじ、８は
照明用光源、９は写真撮影装置（シャッター）、10は撮
影用ファインダー、11は顕微鏡６の上部に写真撮影機を
着脱自在に取付けるためのアタッチメント、12はアタッ
チメント11の先端部に取付けられるホルダー、13はホル
ダークランプねじ、14はホルダー12とホルダークランプ
ねじ13によってアタッチメント11に着脱自在に取付けら
れた撮影機本体は、15は撮影機本体14に着脱自在に取付
けられた収納ケース、16は収納ケース15に取付けられた
蓋である。
すものであり、６は顕微鏡、７は焦点調整用ねじ、８は
照明用光源、９は写真撮影装置（シャッター）、10は撮
影用ファインダー、11は顕微鏡６の上部に写真撮影機を
着脱自在に取付けるためのアタッチメント、12はアタッ
チメント11の先端部に取付けられるホルダー、13はホル
ダークランプねじ、14はホルダー12とホルダークランプ
ねじ13によってアタッチメント11に着脱自在に取付けら
れた撮影機本体は、15は撮影機本体14に着脱自在に取付
けられた収納ケース、16は収納ケース15に取付けられた
蓋である。
第１図は第３図に示した写真撮影機の構造を示すもの
である。撮影機本体14は、その前面がホルダー12に固着
され、後面にフィルム送り出しボタン17が、側面に写真
使用番号表示窓18が設けられ、前面に遮光板19がスライ
ド可能に取付けられている。なお説明の便宜上、撮影機
本体14内部のカメラの構造等については図示していな
い。収納ケース15は、撮影機本体14の側面のフィルム取
り出し口20を覆うように、固定つめ21,21によって撮影
機本体14に着脱自在に取付けられている。この収納ケー
ス15には、第２図（ａ），（ｂ），（ｃ）にも示すよう
に、写真収納用開口部付近にスライド可能な蓋16が設け
られている。また内部両側には送り込まれた現像済み写
真22を整然と重ねて保持するための写真押えバネ23が設
けられている。そしてこの実施例では収納ケース15の全
面が透明材料で構成されている。24は現像済み写真22の
一部に表示された番号である。
である。撮影機本体14は、その前面がホルダー12に固着
され、後面にフィルム送り出しボタン17が、側面に写真
使用番号表示窓18が設けられ、前面に遮光板19がスライ
ド可能に取付けられている。なお説明の便宜上、撮影機
本体14内部のカメラの構造等については図示していな
い。収納ケース15は、撮影機本体14の側面のフィルム取
り出し口20を覆うように、固定つめ21,21によって撮影
機本体14に着脱自在に取付けられている。この収納ケー
ス15には、第２図（ａ），（ｂ），（ｃ）にも示すよう
に、写真収納用開口部付近にスライド可能な蓋16が設け
られている。また内部両側には送り込まれた現像済み写
真22を整然と重ねて保持するための写真押えバネ23が設
けられている。そしてこの実施例では収納ケース15の全
面が透明材料で構成されている。24は現像済み写真22の
一部に表示された番号である。
上記構成において、第１図に示すように収納ケース15
を撮影機本体14に取付けた状態で蓋16を引き出しておけ
ば、フィルム送り出しボタン17の操作により現像済みの
写真22がフィルム取り出し口20から収納ケース15内に順
次送り込まれ、写真押えバネ23に押えられながら重ねて
保持される。そして所定の枚数の写真を撮影した後、第
２図（ｂ）に実線で示すように蓋16を押し込んで収納ケ
ース15の写真収納用開口部を密封し、固定つめ21,21を
開いて収納ケース15を撮影機本体14から取り外す。この
とき、収納ケース15内には紙繊維等のダストが発生して
いるが、蓋16で密封されるためダストが収納ケース15外
へ飛散することはない。このため収納ケース15の取外し
をクリーンルーム内で行ってもクリーンルームが汚染さ
れることはない。したがって作業者は収納ケース15のみ
を取外してクリーンルーム外へ持ち出すことができ、従
来の写真撮影機全体を取外しクリーンルーム外へ持ち出
すのに比べて、作業能率を大幅に改善することができ
る。
を撮影機本体14に取付けた状態で蓋16を引き出しておけ
ば、フィルム送り出しボタン17の操作により現像済みの
写真22がフィルム取り出し口20から収納ケース15内に順
次送り込まれ、写真押えバネ23に押えられながら重ねて
保持される。そして所定の枚数の写真を撮影した後、第
２図（ｂ）に実線で示すように蓋16を押し込んで収納ケ
ース15の写真収納用開口部を密封し、固定つめ21,21を
開いて収納ケース15を撮影機本体14から取り外す。この
とき、収納ケース15内には紙繊維等のダストが発生して
いるが、蓋16で密封されるためダストが収納ケース15外
へ飛散することはない。このため収納ケース15の取外し
をクリーンルーム内で行ってもクリーンルームが汚染さ
れることはない。したがって作業者は収納ケース15のみ
を取外してクリーンルーム外へ持ち出すことができ、従
来の写真撮影機全体を取外しクリーンルーム外へ持ち出
すのに比べて、作業能率を大幅に改善することができ
る。
また収納ケース15が透明材料で構成されているから、
収納ケース15の外部から現像済み写真22の露光量，焦
点，色あい等が適正かどうかが一目で判断できる。この
ため不安のうちに作業をしなければならないとか、連続
した何枚かの写真の撮影をことごとく失敗するという問
題を防止することができる。なお、収納ケース15の全体
を透明にする必要はなく、現像済み写真22の撮影状態を
確認するのに必要な部分のみを透明にしてもよい。
収納ケース15の外部から現像済み写真22の露光量，焦
点，色あい等が適正かどうかが一目で判断できる。この
ため不安のうちに作業をしなければならないとか、連続
した何枚かの写真の撮影をことごとく失敗するという問
題を防止することができる。なお、収納ケース15の全体
を透明にする必要はなく、現像済み写真22の撮影状態を
確認するのに必要な部分のみを透明にしてもよい。
さらに、図面には示していないが、収納ケース15その
ものを導電性材料で構成するか、あるいはその表面に導
電性材料を塗布するなどして導電性処理を施しておけ
ば、現像済み写真22の送り込み等による高圧の静電気の
発生を抑えることができ、その結果、収納ケース15が周
囲のダストを引き込むのを防止することができる。この
ようにすればクリーンルーム内の特にクリーン度の高い
領域での使用時等に、写真撮影機周辺の汚染を最小限に
抑えることができる。
ものを導電性材料で構成するか、あるいはその表面に導
電性材料を塗布するなどして導電性処理を施しておけ
ば、現像済み写真22の送り込み等による高圧の静電気の
発生を抑えることができ、その結果、収納ケース15が周
囲のダストを引き込むのを防止することができる。この
ようにすればクリーンルーム内の特にクリーン度の高い
領域での使用時等に、写真撮影機周辺の汚染を最小限に
抑えることができる。
また、現像済み写真22に連続した番号24を表示してお
けば、仮に何枚かの写真の前後が入れかわっても、撮影
順序を簡単に判別することができる。このため、確認作
業が混乱するおそれもなくなる。なお連続番号に限らず
アルファベット等の連続記号を表示してもよい。表示方
法は、一枚ずつ機械的に刻印してもよいし、現像時に同
時に表示してもよい。
けば、仮に何枚かの写真の前後が入れかわっても、撮影
順序を簡単に判別することができる。このため、確認作
業が混乱するおそれもなくなる。なお連続番号に限らず
アルファベット等の連続記号を表示してもよい。表示方
法は、一枚ずつ機械的に刻印してもよいし、現像時に同
時に表示してもよい。
また、たとえば10枚のフィルムを撮影機本体14に収納
しておき、最初の作業で４枚を使い、その後の作業で５
枚目以降を使いたいことがある。このような場合、フィ
ルムを１枚使うたびに写真使用番号表示窓18に使用枚数
を示す番号を表示すれば、何枚目から撮影が開始される
か、あるいは残り枚数が何枚かが一目で判り、極めて使
い勝手のよいものになる。
しておき、最初の作業で４枚を使い、その後の作業で５
枚目以降を使いたいことがある。このような場合、フィ
ルムを１枚使うたびに写真使用番号表示窓18に使用枚数
を示す番号を表示すれば、何枚目から撮影が開始される
か、あるいは残り枚数が何枚かが一目で判り、極めて使
い勝手のよいものになる。
発明の効果 本発明によれば、写真撮影にともなうクリーンルーム
の汚染を最小限に抑え、撮影の効率そのものを高めるこ
とができる。
の汚染を最小限に抑え、撮影の効率そのものを高めるこ
とができる。
第１図は本発明の一実施例における写真撮影機の斜視
図、第２図（ａ），（ｂ），（ｃ）はその収納ケースの
側面図，正面図，平面図、第３図は第１図の写真撮影機
を顕微鏡に取付けた状態の側面図、第４図は従来の写真
撮影機の斜視図、第５図は従来の収納ケースの斜視図で
る。 ６……顕微鏡、12……ホルダー、14……撮影機本体、15
……収納ケース、16……蓋、17……フィルム送り出しボ
タン、18……写真使用番号表示部、19……遮光板、20…
…蓋、21……固定つめ、22……現象済み写真、23……写
真押えバネ、24……番号。
図、第２図（ａ），（ｂ），（ｃ）はその収納ケースの
側面図，正面図，平面図、第３図は第１図の写真撮影機
を顕微鏡に取付けた状態の側面図、第４図は従来の写真
撮影機の斜視図、第５図は従来の収納ケースの斜視図で
る。 ６……顕微鏡、12……ホルダー、14……撮影機本体、15
……収納ケース、16……蓋、17……フィルム送り出しボ
タン、18……写真使用番号表示部、19……遮光板、20…
…蓋、21……固定つめ、22……現象済み写真、23……写
真押えバネ、24……番号。
Claims (4)
- 【請求項１】クリーンルーム内でウェハを観察するため
のウェハ観察用写真撮影機において、前記ウェハの撮影
近傍に前記写真撮影機本体が配置され、前記写真撮影機
本体のフィルム取り出し口に、前記フィルム取り出し口
を覆うように現像済み写真の収納ケースが着脱自在に取
付けられ、前記収納ケースの写真収納用開口部に、前記
写真収納用開口部を開閉自在に密閉する蓋が設けられて
いることを特徴とするウェハ観察用写真撮影機。 - 【請求項２】収納ケースの少なくとも一部を透明にした
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウェハ観
察用写真撮影機。 - 【請求項３】収納ケースを導電性材料で構成するか、ま
たは収納ケースの表面に導電性処理を施したことを特徴
とする特許請求の範囲第１項または第２項記載のウェハ
観察用写真撮影機。 - 【請求項４】前記ウェハ観察用撮影機本体で現像された
写真を取り出し口より収納ケース内に順次送り出すよう
に構成するとともに、送り出される現像写真に連続符号
を付与することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のウェハ観察用写真撮影機。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63070025A JP2681983B2 (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | ウェハ観察用写真撮影機 |
| US07/326,040 US4977420A (en) | 1988-03-24 | 1989-03-17 | Camera with development function |
| KR1019890003661A KR920003742B1 (ko) | 1988-03-24 | 1989-03-23 | 현상기능을 갖춘 사진촬영기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63070025A JP2681983B2 (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | ウェハ観察用写真撮影機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01243041A JPH01243041A (ja) | 1989-09-27 |
| JP2681983B2 true JP2681983B2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=13419648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63070025A Expired - Fee Related JP2681983B2 (ja) | 1988-03-24 | 1988-03-24 | ウェハ観察用写真撮影機 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4977420A (ja) |
| JP (1) | JP2681983B2 (ja) |
| KR (1) | KR920003742B1 (ja) |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2496630A (en) * | 1946-05-31 | 1950-02-07 | Polaroid Corp | Apparatus for exposing and processing photographic film |
| US2873658A (en) * | 1956-07-05 | 1959-02-17 | Polaroid Corp | Photographic apparatus |
| US3369469A (en) * | 1965-12-27 | 1968-02-20 | Polaroid Corp | Photographic apparatus |
| US3650188A (en) * | 1970-06-26 | 1972-03-21 | Polaroid Corp | Detachable film chamber for photographic apparatus |
| US3653313A (en) * | 1970-12-29 | 1972-04-04 | Polaroid Corp | Exposure counter for single-lens reflex camera |
| US3896469A (en) * | 1973-11-08 | 1975-07-22 | Teledyne Inc | Portable radiographic film processing apparatus |
| US4006487A (en) * | 1974-11-15 | 1977-02-01 | Allen Raymond P | Photomicrographic illuminator |
| US4021825A (en) * | 1975-05-15 | 1977-05-03 | Polaroid Corporation | Adapter for operatively coupling an automated camera to an optical instrument |
| US4034386A (en) * | 1976-04-21 | 1977-07-05 | Polaroid Corporation | Imbibition chamber adapter for self-developing camera |
| JPS5830121Y2 (ja) * | 1978-07-28 | 1983-07-02 | ダイハツ工業株式会社 | 内燃機関の吸気導入装置 |
| JPS55127543A (en) * | 1979-03-26 | 1980-10-02 | Hitachi Ltd | Film number recording device |
| JPS5619087U (ja) * | 1979-07-20 | 1981-02-19 | ||
| JPS57102620A (en) * | 1980-12-18 | 1982-06-25 | Hironobu Sagawa | Burglar camera |
| US4497552A (en) * | 1981-08-05 | 1985-02-05 | Howard Lowell C | Data recording system for cameras |
| US4561742A (en) * | 1984-09-04 | 1985-12-31 | Polaroid Corporation | Disk camera using single format film unit having multiple images |
| JPS6162882U (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-28 |
-
1988
- 1988-03-24 JP JP63070025A patent/JP2681983B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-03-17 US US07/326,040 patent/US4977420A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-03-23 KR KR1019890003661A patent/KR920003742B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01243041A (ja) | 1989-09-27 |
| US4977420A (en) | 1990-12-11 |
| KR890015065A (ko) | 1989-10-28 |
| KR920003742B1 (ko) | 1992-05-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2719015B2 (ja) | 写真フイルム取扱い及びプリント方法並びに収納容器 | |
| US4186308A (en) | Large format photographic film cassette | |
| US5111223A (en) | Camera system | |
| JPH07507154A (ja) | 歯科ｘ線写真撮影のための映写プレート及びこれをシールドから取り出す方法 | |
| US4799072A (en) | Separate-exposure photographing apparatus | |
| US5424801A (en) | Dual mode 2D/3D printer | |
| JP2681983B2 (ja) | ウェハ観察用写真撮影機 | |
| US4956665A (en) | Framing apparatus for a medical scanning camera | |
| EP0075981A1 (en) | Apparatus for loading plane film cassettes in daylight | |
| US3823322A (en) | Photographic film handling apparatus for charged-particle beam equipment | |
| US4107538A (en) | Cassette for portable X-ray camera | |
| US2396874A (en) | Photographic camera | |
| US5130731A (en) | Film holder | |
| CN108700801B (zh) | 即显胶片盒及图像记录装置 | |
| US4213695A (en) | Instant film color back adaptor for a camera-processor | |
| GB1591134A (en) | Film sheet cassette | |
| JP2622310B2 (ja) | シートフイルムパック | |
| US1031516A (en) | Film-pack photographic apparatus. | |
| JPS63223741A (ja) | フイルム装填装置 | |
| JPH0614224Y2 (ja) | 写真撮影装置 | |
| US3263585A (en) | Photographic film apparatus | |
| JPS6128196Y2 (ja) | ||
| JPS627631Y2 (ja) | ||
| JPH02226246A (ja) | Ｘ線高速撮影カメラ | |
| JP2741957B2 (ja) | シートフイルムパック |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |