JP2679528B2 - Mirror device - Google Patents
Mirror deviceInfo
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- JP2679528B2 JP2679528B2 JP4129783A JP12978392A JP2679528B2 JP 2679528 B2 JP2679528 B2 JP 2679528B2 JP 4129783 A JP4129783 A JP 4129783A JP 12978392 A JP12978392 A JP 12978392A JP 2679528 B2 JP2679528 B2 JP 2679528B2
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Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は放射光ビ−ムラインの
放射光を試料に集光するミラ−装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mirror device for focusing the emitted light of a emitted light beam line on a sample.
【０００２】[0002]
【従来の技術】シンクロトロン放射による放射光は極端
紫外線からＸ線までの広い範囲にわたって滑らかで強い
連続スペクトルを得られるという優れた特徴を有する。
このため物理，化学，生物学等の多方面の研究に利用さ
れている。この放射光ビームラインにおいては、通常直
入射の光学系は使用できず、金属やＳｉＣ等を用いたミ
ラーによる反射を利用して実験試料に集光する斜入射光
学系が使用されている。この斜入射光学系では放射光を
ミラーの反射面に対して、例えば０．２〜２．５度程度
の小角度で入射して反射させ、実験試料に集光するよう
にしているため、ミラーは放射光の光軸方向に対して１
ｍ前後の非常に長いものが使用される。そして放射光を
集光するために焦点距離は１０〜３０ｍ程度で使用する
ことが多く、このためミラーの反射面を曲率半径が２０
０〜２０００ｍ程度の曲面にする必要がある。このよう
な大きい曲率半径にミラーの反射面を直接加工すること
は困難であるため、ミラーに曲げ荷重を与えて湾曲させ
ている。2. Description of the Related Art Synchrotron radiation has an excellent feature that a smooth and strong continuous spectrum can be obtained over a wide range from extreme ultraviolet rays to X-rays.
For this reason, it is used for research in various fields such as physics, chemistry, and biology. In this synchrotron radiation beam line, normally, a direct incidence optical system cannot be used, but an oblique incidence optical system that collects light on an experimental sample by using reflection from a mirror made of metal, SiC, or the like is used. In this oblique-incidence optical system, the emitted light is incident on the reflecting surface of the mirror at a small angle of, for example, about 0.2 to 2.5 degrees to be reflected and condensed on the experimental sample. Is 1 with respect to the optical axis direction of the emitted light
Very long ones around m are used. A focal length of about 10 to 30 m is often used to collect the emitted light, so that the reflecting surface of the mirror has a radius of curvature of 20.
It is necessary to make a curved surface of about 0 to 2000 m. Since it is difficult to directly process the reflecting surface of the mirror with such a large radius of curvature , a bending load is applied to the mirror to bend it.
【０００３】このミラ−を湾曲させ放射光を集光するミ
ラ−装置は、図６の斜視図に示すように、直方体のミラ
−１とミラ−１を２次曲面にする湾曲機構６０とを有す
る。湾曲機構６０はミラ−１を支持する支持板６１と荷
重フレ−ム６２とを有する。支持板６１は両端部に半円
柱状の支持部６３ａ，６３ｂを有し、ミラ−１を支持部
６３ａ，６３ｂの上に水平に支持する。荷重フレ−ム６
２は下面の放射光３が通過する位置を避け、かつ支持板
６１の支持部６３ａ，６３ｂより内側の四隅に突起６４
ａ〜６４ｄを有する。このミラ−１と湾曲機構６０の全
体が放射光ビ−ムラインに連結され、例えば１／109〜
１／1010ト−ルの圧力の超高真空容器に収納されてい
る。As shown in the perspective view of FIG. 6, a mirror device for bending this mirror and condensing emitted light comprises a rectangular parallelepiped mirror-1 and a bending mechanism 60 for making the mirror-1 a quadric surface. Have. The bending mechanism 60 has a support plate 61 for supporting the mirror-1 and a load frame 62. The support plate 61 has semi-cylindrical support portions 63a and 63b at both ends, and horizontally supports the mirror-1 on the support portions 63a and 63b. Load frame 6
2 is a protrusion 64 at the four corners inside the support portions 63a and 63b of the support plate 61, avoiding the position where the radiated light 3 passes on the lower surface.
a to 64d. The entire mirror-1 and the bending mechanism 60 are connected to the synchrotron radiation beam line, for example, 1/10 9 to
It is stored in an ultra-high vacuum container with a pressure of 1/10 10 torr.
【０００４】そしてスプリング６５を介して荷重フレ−
ム６２の中央部に下向きの力Ｐを加え、支持板６１の支
持部６３ａ，６３ｂに支持されているミラ−１に突起６
４ａ〜６４ｄで下向きの荷重を加える。この荷重により
ミラ−１には、図７に示すように、支持板６１の両端支
持部６３ａ，６３ｂを支点とし、一方の突起６４ａ、６
４ｂと他方の突起６４ｄ，６４ｃを荷重点として均一な
曲げモ−メントが加えられ、ミラ−１を凹面状に微小変
形する。このように湾曲したミラ−１に放射光３を反射
面に対して小角度で入射し、反射させて実験試料に集光
している。Then, the load frame is passed through the spring 65.
A downward force P is applied to the central portion of the frame 62 to project the projection 6 on the mirror-1 supported by the support portions 63a and 63b of the support plate 61.
A downward load is applied at 4a to 64d. Due to this load, on the mirror-1, as shown in FIG. 7, the both end support portions 63a and 63b of the support plate 61 are used as fulcrums, and one of the protrusions 64a and 6b.
4b and the other protrusions 64d and 64c are used as load points to apply a uniform bending moment to slightly deform Mira-1 into a concave shape. The radiant light 3 is incident on the curved mirror -1 at a small angle with respect to the reflecting surface, is reflected, and is condensed on the experimental sample.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のミラ−装置は、ミラ−１に支持板６１の両端支持部
６３ａ，６３ｂを支点とし、一方の突起６４ａ、６４ｂ
と他方の突起６４ｄ，６４ｃを荷重点として変形してい
るため、ミラ−１の自重等によりミラ−１が所望の曲率
以上に変形する場合がある。またミラ−１を保持する支
持板６１や荷重フレ−ム６２に塑性変形が生じて、荷重
を取り除いて変形が元に戻らない場合もある。このよう
な場合に、ミラ−１に通常の使用状態とは逆方向の曲げ
モ−メントを与える必要があるが、従来は湾曲機構６０
に逆曲げをするための機構がないため、湾曲機構６０と
は別に逆曲げ機構を設けてミラ−１の曲率を微調整する
必要があり、装置が複雑になるという短所があった。However, in the conventional mirror device described above, one end of the projections 64a, 64b is supported by the mirror-1 with the both end support portions 63a, 63b of the support plate 61 as fulcrums.
Since the protrusions 64d and 64c on the other side are deformed with the load points, the mirror-1 may be deformed to a desired curvature or more due to its own weight or the like. Further, there is a case where the support plate 61 holding the mirror-1 and the load frame 62 are plastically deformed and the deformation is not returned to the original state by removing the load. In such a case, it is necessary to give the mirror-1 a bending moment in the direction opposite to the normal use state.
However, since there is no mechanism for reverse bending, it is necessary to provide a reverse bending mechanism in addition to the bending mechanism 60 to finely adjust the curvature of the mirror-1, which is a disadvantage in that the device becomes complicated.
【０００６】また、従来の湾曲機構６０では支持板６１
の両端支持部６３ａ，６３ｂにミラ−１を搭載している
ため、ミラ−１の反射面を垂直にして使用する場合には
利用することができなかった。Further, in the conventional bending mechanism 60, the support plate 61 is used.
Since the mirror-1 is mounted on both end supporting portions 63a and 63b, it cannot be used when the reflecting surface of the mirror-1 is used vertically.
【０００７】この発明はかかる短所を解決するためにな
されたものであり、ミラ−の曲率を任意に調節すること
ができるとともに、縦置きにしたミラ−にも湾曲を与え
ることができるミラ−装置を得ることを目的とするもの
である。The present invention has been made in order to solve the above disadvantages, and a mirror device capable of arbitrarily adjusting the curvature of the mirror and imparting a curvature to the vertically arranged mirror. The purpose is to obtain.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明に係るミラー装
置は、真空容器に収納されビームラインからの放射光を
反射して実験試料に集光するミラー装置において、ミラ
ーの長手方向の両端部でミラーの反射面と裏面を保持し
て反射面に湾曲を与えるクランプ手段はミラーの長手方
向の両端の両側面部と直交し真空容器内の支持部に軸受
を介して取り付けられた回転中心軸と、回転中心軸の位
置を中心にして一定距離をおいたミラーの長手方向の前
後の反射面と裏面に当接してミラーの反射面と裏面を保
持する複数の突起及びミラーの反射面と垂直なベントア
ームとを有し、回転中心軸を中心にしてベントアームを
互いに逆方向に回動しミラーに湾曲を与えることを特徴
とする。SUMMARY OF THE INVENTION The mirror device according to the present invention is a mirror device for focusing the experimental samples by reflecting radiation from the beam line is accommodated in a vacuum container, Mira
Hold the reflective surface and the back surface of the mirror at both longitudinal ends of the mirror.
Clamping means that bends the reflective surface in the longitudinal direction of the mirror
Bearings on the support part inside the vacuum container, which is orthogonal to both side surfaces of both ends
The rotation center axis attached via
In the longitudinal direction of the mirror at a certain distance from the center
Keeping the mirror's reflective surface and back surface in contact with the rear reflective surface and back surface.
The bent door is perpendicular to the projections and the reflective surface of the mirror.
The vent arm around the rotation center axis.
It is characterized in that the mirrors are turned in mutually opposite directions to give a curvature to the mirror .
【０００９】[0009]
【００１０】[0010]
【作用】この発明においては、回転中心軸が真空容器内
の支持部に軸受を介して取り付けられたクランプ手段の
回転中心軸の位置を中心にして一定距離をおいて設けら
れた複数の突起でミラー両端の反射面と裏面を挾み込ん
で把持してミラーを保持する。 In the present invention, the central axis of rotation is within the vacuum container.
Of the clamping means attached to the support of
Provide a fixed distance around the position of the rotation center axis.
The projections on both sides of the mirror are sandwiched by the multiple projections
Hold by holding the mirror.
【００１１】このミラーの両端部を保持したクランプ手
段を回転中心軸を中心にして互いに逆方向に回動するこ
とにより、反射面と裏面に当接する突起を支点として曲
げ荷重を与えてミラーを所定の曲率に湾曲させる。 Clamping hand holding both ends of this mirror
By rotating the steps in the opposite directions about the rotation center axis, a bending load is applied with the protrusions that come into contact with the reflection surface and the back surface as fulcrums to bend the mirror to a predetermined curvature.
【００１２】[0012]
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す構成図であ
る。図に示すように、ミラ−装置は、ミラ−１とミラ−
１の長手方向の両端部にそれぞれ設けられたクランプ手
段２ａ，２ｂとを有する。ミラ−１は放射光ビ−ムライ
ンにおいて放射光３を反射して実験試料に集光するもの
であり、例えば１／109〜１／1010ト−ルの圧力の真空
容器内（不図示）に収納されている。クランプ手段２
ａ，２ｂはミラ−１を保持し、反射面に湾曲を与えるも
のであり、図２の斜視図に示すように、ミラ−１の長手
方向の両端の両側面部と直交する回転中心軸４を有す
る。この回転中心軸４は軸受５を介して真空容器内の支
持部に取り付けられている。この回転中心軸４の位置を
中心にして一定距離をおいたミラ−１の長手方向の前後
の反射面１ａと裏面１ｂに当接する突起６ａ〜６ｄと突
起７ａ〜７ｄを有する。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. As shown in the figure, the mirror device includes a mirror-1 and a mirror-1.
1 has clamping means 2a and 2b respectively provided at both ends in the longitudinal direction. Mira -1 synchrotron bi - is intended for condensing the experimental samples reflects the emitted light 3 in Murain, for example 1/10 9-1 / 10 10 bets - the vacuum chamber at a pressure of Le (not shown) It is stored in. Clamping means 2
a and 2b are for holding the mirror-1 and giving a curvature to the reflecting surface. As shown in the perspective view of FIG. 2, the rotation center axis 4 orthogonal to both side surfaces at both ends in the longitudinal direction of the mirror-1 is provided. Have. The rotation center shaft 4 is attached to a support portion in the vacuum container via a bearing 5. The mirror 6 has projections 6a to 6d and projections 7a to 7d which come into contact with the front and rear reflecting surfaces 1a and 1b in the longitudinal direction of the mirror-1 which are spaced a certain distance from the position of the rotation center axis 4.
【００１３】突起６ａ〜６ｄと突起７ａ〜７ｄはそれぞ
れ先端部が半円状に形成され、ミラ−１の幅方向の中央
部を避けた両側端部に設けられ、ミラ−１の反射面１ａ
と垂直なベントア−ム８と一体に構成されている。The projections 6a to 6d and the projections 7a to 7d each have a semicircular tip portion, and are provided at both side ends of the mirror -1, avoiding the central portion in the width direction, and the reflection surface 1a of the mirror -1.
And a vent arm 8 which is perpendicular to the above.
【００１４】上記のように構成されたミラ−装置におい
て、クランプ手段２ａ，２ｂの各ベントア−ム８を矢印
Ａで示すようにミラ−１の長手方向の外側に回動する
と、反射面１ａにおいてはクランプ手段２ａ，２ｂの突
起６ａ〜６ｄのなかで回転中心軸４より内側の突起が支
点になり、裏面１ｂにおいてはクランプ手段２ａ，２ｂ
の突起７ａ〜７ｄのなかで回転中心軸４より外側の突起
が支点になってミラ−１に荷重Ｐを与える。この両支点
に加えられる荷重Ｐにより、クランプ手段２ａではミラ
−１に時計方向の曲げモ−メントを与え、クランプ手段
２ｂではミラ−１に反時計の曲げモ−メントを与える。
この曲げモ−メントによりミラ−１は、図３に示すよう
に、反射面１ａが凹面になる。そして凹面状になった反
射面１ａの曲率は、クランプ手段２ａ，２ｂの各ベント
ア−ム８の回動する角度を制御して、各支点でミラ−１
に加えられる荷重を調節することにより、任意の値に設
定することができる。In the mirror device constructed as described above, when each vent arm 8 of the clamping means 2a, 2b is rotated outward in the longitudinal direction of the mirror-1 as shown by an arrow A, the reflecting surface 1a is reflected. Among the protrusions 6a to 6d of the clamping means 2a and 2b, the protrusion inside the rotation center axis 4 serves as a fulcrum, and on the back surface 1b, the clamping means 2a and 2b.
Among the protrusions 7a to 7d, a protrusion outside the rotation center axis 4 serves as a fulcrum to apply a load P to the mirror-1. By the load P applied to both of these fulcrums, the clamping means 2a gives a clockwise bending moment to the mirror-1 and the clamping means 2b gives a counterclockwise bending moment to the mirror-1.
Due to this bending moment, the mirror 1 has the concave reflecting surface 1a as shown in FIG. The curvature of the concave reflecting surface 1a controls the turning angle of each vent arm 8 of the clamping means 2a, 2b, and the mirror-1 at each fulcrum.
It can be set to an arbitrary value by adjusting the load applied to.
【００１５】逆に、クランプ手段２ａ，２ｂの各ベント
ア−ム８を矢印Ｂで示すようにミラ−１の長手方向の内
側に回動すると、反射面１ａにおいてはクランプ手段２
ａ，２ｂの突起６ａ〜６ｄのうち回転中心軸４より外側
の突起が支点になり、裏面１ｂではクランプ手段２ａ，
２ｂの突起７ａ〜７ｄのうち回転中心軸４より内側の突
起が支点になってミラ−１に荷重Ｐを与える。そしてミ
ラ−１の反射面１ａを図４に示すように凸面にする。On the contrary, when each vent arm 8 of the clamp means 2a, 2b is rotated inward in the longitudinal direction of the mirror -1 as shown by the arrow B, the clamp means 2 is formed on the reflecting surface 1a.
Among the protrusions 6a to 6d of a and 2b, the protrusion outside the rotation center axis 4 serves as a fulcrum, and on the back surface 1b, the clamping means 2a,
Among the protrusions 7a to 7d of 2b, a protrusion inside the rotation center axis 4 serves as a fulcrum to apply a load P to the mirror-1. Then, the reflecting surface 1a of Mira-1 is made convex as shown in FIG.
【００１６】このようにベントア−ム８の回動方向と回
動する角度を可変することによりミラ−１の曲率を任意
に変えることができるから、例えばミラ−１の反射面１
ａを凹面状に湾曲させた場合に、ミラ−１の自重等によ
り所定の曲率より大きくなってもベントア−ム８の回動
する角度を逆方向に調節することにより、所定の曲率を
有する反射面１ａを高精度に得ることができる。したが
ってミラ−１で反射した放射光３を実験試料に確実に集
光することができる。Since the curvature of the mirror-1 can be arbitrarily changed by changing the rotating direction and the rotating angle of the vent arm 8 in this way, for example, the reflecting surface 1 of the mirror-1.
When a is curved in a concave shape, the angle of rotation of the vent arm 8 is adjusted in the opposite direction even if it becomes larger than the predetermined curvature due to the weight of the mirror-1 etc. The surface 1a can be obtained with high accuracy. Therefore, the radiation 3 reflected by the mirror-1 can be reliably focused on the experimental sample.
【００１７】なお、上記実施例はミラ−１の裏面１ｂに
も突起７ａ〜７ｄを設けた場合について説明したが、ミ
ラ−１の裏面１ｂは放射光３が通らないため、幅方向両
端部に設けた突起７ａ，７ｂと突起７ｃ，７ｄとをそれ
ぞれ一体に形成しても良い。In the above embodiment, the case where the projections 7a to 7d are provided also on the back surface 1b of the mirror-1 has been described. However, since the back surface 1b of the mirror-1 does not pass the radiated light 3, both ends in the width direction. The provided protrusions 7a and 7b and the protrusions 7c and 7d may be integrally formed.
【００１８】また、上記実施例はミラ−１を真空容器内
に水平に設置した場合について説明したが、ミラ−１の
両端部をクランプ手段２ａ，２ｂで保持するから、ミラ
−１を垂直に設置することもできる。そして垂直に設置
したミラ−１にクランプ手段２ａ，２ｂで任意の曲率の
湾曲を与えることができる。In the above embodiment, the case where the mirror 1 is installed horizontally in the vacuum container has been described. However, since both ends of the mirror 1 are held by the clamp means 2a and 2b, the mirror 1 is set vertically. It can also be installed. The clamp means 2a and 2b can be used to bend the Mira-1 installed vertically so as to have an arbitrary curvature.
【００１９】また、上記実施例においてはクランプ手段
２ａ，２ｂに回転中心軸４を中心にした突起６ａ〜６ｄ
と突起７ａ〜７ｄを設けた場合について説明したが、ミ
ラ−１を垂直に設置する場合には、曲率にミラ−１の自
重が影響しないから、例えば図５に示すように、クラン
プ手段２ａ，２ｂにそれぞれ回転中心軸４を中心にした
異なる対角位置にのみ突起６ｄ（６ｃ），７ａ（７ｂ）
と突起６ａ（６ｂ），７ｄ（７ｃ）を設けるようにして
も良い。この場合はクランプ手段２ａ，２ｂををよりコ
ンパクトにすることができる。Further, in the above embodiment, the protrusions 6a to 6d centering on the rotation center axis 4 are provided on the clamp means 2a and 2b.
Although the case where the mirrors 1 and 7a to 7d are provided has been described, when the mirror 1 is installed vertically, the own weight of the mirror 1 does not influence the curvature. Therefore, for example, as shown in FIG. The protrusions 6d (6c) and 7a (7b) are provided only on different diagonal positions on the rotation center axis 4 of 2b.
The protrusions 6a (6b) and 7d (7c) may be provided. In this case, the clamp means 2a, 2b can be made more compact.
【００２０】[0020]
【発明の効果】この発明は以上説明したように、回転中
心軸が真空容器内の支持部に輔受を介して取り付けられ
たクランプ手段の回転中心軸の位置を中心にして一定距
離をおいて設けられた複数の突起でミラー両端の反射面
と裏面を挾み込んで把持してミラーを保持するようにし
たから、ミラーの反射面を水平のみならず垂直にも保持
することができる。また、ミラーの反射面を水平のみな
らず垂直にも保持することができるから、光学系のレイ
アウトの自由度を増すことができ、放射光の利用系の狭
いスペースを有効に利用することができる。 As described above, the present invention can be used during rotation.
The mandrel is attached to the support in the vacuum vessel via the bearing.
A fixed distance around the position of the rotation center axis of the clamping means
Reflective surfaces on both ends of the mirror with multiple protrusions spaced apart
And hold the mirror by gripping the back side
Therefore, the reflecting surface of the mirror can be held not only horizontally but also vertically. Also, make sure that the reflective surface of the mirror is horizontal.
Since it can be held vertically instead of
It is possible to increase the degree of freedom of out
You can effectively use the space.
【００２１】このミラーの両端部を保持したクランプ手
段を回転中心軸を中心にして互いに逆方向に回動するこ
とにより、突起を支点としてミラーに曲げ荷重を与える
ことができ、簡単でコンパクトな機構でミラーに湾曲を
与えることができる。 Clamping hand holding both ends of this mirror
By rotating the steps in the opposite directions about the rotation center axis, a bending load can be applied to the mirror with the protrusion as a fulcrum, and the mirror can be curved with a simple and compact mechanism.
【００２２】また、ミラ−に湾曲を与えるときに、クラ
ンプ手段でクランプした状態で曲げモ−メントを与える
から、ミラ−を凹面状や凸面状に湾曲させることがで
き、ミラ−の曲率を高精度に調節することができ、ミラ
−で反射した放射光を実験試料に確実に集光することが
できる。Further, when the mirror is bent, the bending moment is given in a state of being clamped by the clamp means, so that the mirror can be curved concavely or convexly, and the curvature of the mirror is increased. It can be adjusted with accuracy, and the emitted light reflected by the mirror can be reliably focused on the experimental sample.
【図１】この発明の実施例を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention.
【図２】上記実施例のクランプ手段を一部裁断して示す
斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a part of the clamp means of the above embodiment by cutting.
【図３】上記実施例の動作状態を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing an operating state of the above embodiment.
【図４】上記実施例の動作状態を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing an operating state of the above embodiment.
【図５】他の実施例を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram showing another embodiment.
【図６】従来例の構造を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing the structure of a conventional example.
【図７】従来例の湾曲状態を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing a curved state of a conventional example.
１ ミラ− ２ａ，２ｂ クランプ手段 ２ 放射光 ４ 回転中心軸 ５ 軸受 ６ａ〜６ｄ 突起 ７ａ〜７ｄ 突起 ８ ベントア−ム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Mira 2a, 2b Clamping means 2 Radiant light 4 Rotation center axis 5 Bearing 6a-6d Protrusion 7a-7d Protrusion 8 Vent arm
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉永 陽一 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日本鋼管株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−212798（ＪＰ，Ａ) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Yoichi Yoshinaga Yoichi Yoshinaga, 1-2-1, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Nihon Kokan Co., Ltd. (56) References JP-A-61-212798 (JP, A)
Claims (1)
放射光を反射して実験試料に集光するミラー装置におい
て、ミラーの長手方向の両端部でミラーの反射面と裏面を保
持して反射面に湾曲を与えるクランプ手段はミラーの長
手方向の両端の両側面部と直交し真空容器内の支持部に
軸受を介して取り付けられた回転中心軸と、回転中心軸
の位置を中心にして一定距離をおいたミラーの長手方向
の前後の反射面と裏面に当接してミラーの反射面と裏面
を保持する複数の突起及びミラーの反射面と垂直なベン
トアームとを有し、回転中心軸を中心にしてベントアー
ムを互いに逆方向に回動しミラーに湾曲を与える ことを
特徴とするミラー装置。1. A mirror device, which is housed in a vacuum container and reflects emitted light from a beam line to focus it on an experimental sample, in which the reflection surface and the back surface of the mirror are protected at both ends in the longitudinal direction of the mirror.
Clamping means that holds and bends the reflective surface is the length of the mirror
It is orthogonal to both side surfaces of both ends in the hand direction and is used as a support part inside the vacuum container.
Center of rotation mounted through bearings, and center of rotation
Longitudinal direction of the mirror with a certain distance from the position of
Contact the reflective surface and the back surface before and after the mirror's reflective surface and back surface
Holding multiple projections and a bend perpendicular to the reflecting surface of the mirror.
And a bent arm centering around the rotation center axis.
A mirror device, characterized in that the mirrors are turned in mutually opposite directions to give a curvature to the mirror.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4129783A JP2679528B2 (en) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | Mirror device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4129783A JP2679528B2 (en) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | Mirror device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05297197A JPH05297197A (en) | 1993-11-12 |
| JP2679528B2 true JP2679528B2 (en) | 1997-11-19 |
Family
ID=15018118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4129783A Expired - Lifetime JP2679528B2 (en) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | Mirror device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2679528B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3357876B2 (en) * | 1996-04-30 | 2002-12-16 | 株式会社デンソー | X-ray reflection device |
| JP4983156B2 (en) | 2006-08-29 | 2012-07-25 | 富士ゼロックス株式会社 | Image forming apparatus |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61212798A (en) * | 1985-03-18 | 1986-09-20 | 株式会社日立製作所 | High-precision x-ray collector |
-
1992
- 1992-04-24 JP JP4129783A patent/JP2679528B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05297197A (en) | 1993-11-12 |
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