JP2679366B2 - Electrophotographic photoreceptor - Google Patents

Electrophotographic photoreceptor

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JP2679366B2
JP2679366B2 JP2196218A JP19621890A JP2679366B2 JP 2679366 B2 JP2679366 B2 JP 2679366B2 JP 2196218 A JP2196218 A JP 2196218A JP 19621890 A JP19621890 A JP 19621890A JP 2679366 B2 JP2679366 B2 JP 2679366B2
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武敏 東
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【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子写真感光体、特に反射防止層を有する
電子写真感光体に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an electrophotographic photoreceptor, particularly an electrophotographic photoreceptor having an antireflection layer.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

通常、電子写真感光体は、導電性基板上に感光層を設
け形成される。感光層としては、光導電性を有する材料
が一般に使用され、例えば、Se、CdS、ZnO等の無機光導
電材料や有機光導電材料等があげられ、また最近では非
晶質ケイ素が光導電材料として注目を集めている(例え
ば、特開昭54−86341号公報)。非晶質ケイ素系電子写
真感光体は、主にグロー放電法により形成される。この
非晶質ケイ素系電子写真感光体は、感度が高いという利
点を有し、表面が非常に硬く、耐刷性に優れ、しかも変
質しがたいので、感光体として寿命が長いといった利点
がある。
Usually, an electrophotographic photosensitive member is formed by providing a photosensitive layer on a conductive substrate. As the photosensitive layer, a material having photoconductivity is generally used, and examples thereof include inorganic photoconductive materials such as Se, CdS, and ZnO and organic photoconductive materials, and recently, amorphous silicon is a photoconductive material. Has been attracting attention (for example, JP-A-54-86341). Amorphous silicon electrophotographic photoreceptors are mainly formed by the glow discharge method. This amorphous silicon-based electrophotographic photoreceptor has the advantages of high sensitivity, has an extremely hard surface, excellent printing durability, and is resistant to alteration, and thus has the advantage of a long life as a photoreceptor. .

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

ところで、レーザービームをライン走査する方式の電
子写真プリンタは、レーザービームとして、ヘリウム−
カドミウムレーザー、アルゴンレーザー、ヘリウム−ネ
オンレーザー等の比較的短波長のガスレーザーが使用さ
れているほか、近年になって半導体レーザーが使用され
るようになってきた。この半導体レーザーは、一般的に
は750nm以上の長波長領域で発振波長を有しているもの
で、そのため長波長領域で高感度特性を持つ電子写真感
光体が必要となり、種々の提案がなされている。例え
ば、非晶質ケイ素系電子写真感光体についてもGeを添加
することにより長波長増感が行われている(特開昭54−
98588号公報、同57−172344号公報参照)。
By the way, an electrophotographic printer of a line scanning type with a laser beam uses a helium-type laser beam.
Gas lasers having relatively short wavelengths such as cadmium laser, argon laser, and helium-neon laser have been used, and in recent years, semiconductor lasers have come to be used. Since this semiconductor laser generally has an oscillation wavelength in a long wavelength region of 750 nm or more, an electrophotographic photoreceptor having high sensitivity characteristics in the long wavelength region is required, and various proposals have been made. There is. For example, long-wavelength sensitization has also been carried out by adding Ge to an amorphous silicon electrophotographic photoreceptor (Japanese Patent Laid-Open No. 54-54).
98588, 57-172344).

しかしながら、これ等長波長領域に感度特性を有する
電子写真感光体を、長波長の光源、特にレーザービーム
走査方式の電子写真プリンタに取り付けて、レーザービ
ーム露光を行うと、形成された画像にモアレが現出し、
良好な画質の画像が形成できないという問題があった。
However, when an electrophotographic photosensitive member having sensitivity characteristics in these long wavelength regions is attached to a long wavelength light source, particularly a laser beam scanning type electrophotographic printer, and laser beam exposure is performed, moire is generated in the formed image. Appear,
There is a problem that an image of good quality cannot be formed.

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので
ある。
The present invention has been made in view of such problems.

本発明の目的は、赤外半導体レーザー等のコヒーレン
ト光を光源とするレーザープリンターでの干渉縞の発生
を防止した高画質の電子写真感光体を提供することにあ
る。
An object of the present invention is to provide an electrophotographic photoreceptor of high image quality in which the occurrence of interference fringes is prevented in a laser printer using coherent light such as an infrared semiconductor laser as a light source.

本発明の他の目的は、接着性や機械的強度・硬度が高
く、表面平滑性に優れ欠陥の少ない感光層を有する高耐
久性の電子写真感光体を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a highly durable electrophotographic photoreceptor having a photosensitive layer having high adhesiveness, mechanical strength and hardness, excellent surface smoothness and few defects.

本発明の更に他の目的は、高感度で凡色性に富み、高
帯電性で暗減衰が少なく、また、露光後の残留電位の少
ない電子写真感光体を提供することにある。
Still another object of the present invention is to provide an electrophotographic photosensitive member having high sensitivity, rich in colorimetric property, high charging property, low dark decay, and low residual potential after exposure.

〔課題を解決するための手段および作用〕[Means and actions for solving the problem]

本発明者等は、上記の目的を達成すべく、反射防止材
料について鋭意研究を行った結果、有機高分子化合物あ
るいは無機高分子化合物中に金属粉末を分散させたもの
は、感光層を通過したコヒーレント光を効率よく吸収及
び散乱し、優れた反射防止機能を有することを見出だ
し、本発明を完成するに至った。
In order to achieve the above-mentioned object, the inventors of the present invention have conducted extensive studies on antireflection materials, and as a result, those obtained by dispersing metal powder in an organic polymer compound or an inorganic polymer compound passed through the photosensitive layer. The present invention was found to efficiently absorb and scatter coherent light and to have an excellent antireflection function, and completed the present invention.

本発明の電子写真感光体は、少なくとも支持体と反射
防止層の感光層からなり、該反射防止層が金属粉末を分
散した有機高分子化合物あるいは無機高分子化合物から
なることを特徴とする。
The electrophotographic photoreceptor of the present invention comprises at least a support and a photosensitive layer of an antireflection layer, and the antireflection layer is made of an organic polymer compound or an inorganic polymer compound in which a metal powder is dispersed.

本発明の電子写真感光体において、反射防止層におけ
る有機高分子化合物あるいは無機高分子化合物に分散さ
れる金属粉末は、周期律表II A族元素、II B族元素、II
I A族および遷移元素から選択され元素、又はそれ等2
種以上の元素の合金又は混合物が好ましく使用される。
In the electrophotographic photosensitive member of the present invention, the metal powder dispersed in the organic polymer compound or the inorganic polymer compound in the antireflection layer is a group IIA element, a group IIB element, II of the periodic table.
Elements selected from Group IA and transition elements, or 2
Alloys or mixtures of one or more elements are preferably used.

これらの金属粉末は、正および負のいずれの電荷をも
流すことができる両極性のものであり、これらを含有さ
せた反射防止層は、両極性であり、感光体の残留電位に
対して影響が少ない。
These metal powders are ambipolar in that they can flow both positive and negative charges, and the antireflection layer containing them is ambipolar and affects the residual potential of the photoconductor. Less is.

以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

第1図ないし第5図は、それぞれ本発明の電子写真感
光体の模式的断面図である。第1図は、本発明の電子写
真感光体の基本的層構成の一例であって、支持体1の上
に、反射防止層2及び感光層3が積層されている。第2
図においては、感光層の表面に表面層が設けられてい
る。第3図においては反射防止層2と感光層3の間に中
間層5が設けられ、また、表面に表面層4が設けられて
いる。第4図及び第5図においては、感光層が電荷発生
層3aと電荷輸送層3bとに機能分離された層構成になって
おり、第4図においては、支持体1上に反射防止層2、
中間層5、電荷輸送層3b、電荷発生層3a及び表面層4が
順次積層された構造を有し、第5図においては、支持体
1上に、電荷輸送層3b、反射防止層2、電荷発生層3a及
び表面層4が順次積層された構造を有している。
1 to 5 are schematic cross-sectional views of the electrophotographic photosensitive member of the present invention. FIG. 1 shows an example of the basic layer structure of the electrophotographic photosensitive member of the present invention, in which an antireflection layer 2 and a photosensitive layer 3 are laminated on a support 1. Second
In the figure, a surface layer is provided on the surface of the photosensitive layer. In FIG. 3, an intermediate layer 5 is provided between the antireflection layer 2 and the photosensitive layer 3, and a surface layer 4 is provided on the surface. 4 and 5, the photosensitive layer has a layer structure in which the charge generation layer 3a and the charge transport layer 3b are functionally separated. In FIG. 4, the antireflection layer 2 is formed on the support 1. ,
It has a structure in which an intermediate layer 5, a charge transport layer 3b, a charge generation layer 3a and a surface layer 4 are sequentially laminated. In FIG. 5, the charge transport layer 3b, the antireflection layer 2 and the charge are provided on a support 1. It has a structure in which the generation layer 3a and the surface layer 4 are sequentially laminated.

本発明において、支持体としては、導電性支持体およ
び絶縁性支持体のいずれを用いてもよい。導電性支持体
としては、アルミニウム、ステンレススチール、ニッケ
ル、クロム等の金属及びその合金があげられ、絶縁性支
持体としてはポリエステル、ポリエチレン、ポリカーボ
ネート、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド等の高
分子フイルム又はシート、ガラス、セラミック等があげ
られる。絶縁性支持体を用いる場合には、少なくとも他
の層と接触する面は、導電化処理を施してあることが必
要である。導電化処理は、上記金属の他に、金、銀、銅
等を蒸着、スパッター、イオンプレーテイング法によっ
て行うことができる。
In the present invention, any of a conductive support and an insulating support may be used as the support. Examples of the conductive support include aluminum, stainless steel, nickel, metals such as chromium and alloys thereof, and examples of the insulating support include polyester, polyethylene, polycarbonate, polystyrene, polyamide, polymer films or sheets such as polyimide, and the like, Examples include glass and ceramics. When an insulating support is used, it is necessary that at least a surface in contact with another layer has been subjected to a conductive treatment. The conductive treatment can be performed by vapor deposition, sputtering, or ion plating of gold, silver, copper or the like in addition to the above metals.

本発明の電子写真感光体は、電磁波の照射を支持体側
から行ってもよいし、支持体とは反対の側から行っても
よい。支持体側から行う場合には、導電化処理による金
属層が少なくとも照射される電磁波を透過する厚さにす
ればよい。又、ITO等の透明導電膜を使用することもで
きる。
In the electrophotographic photoreceptor of the present invention, irradiation of electromagnetic waves may be performed from the side of the support or from the side opposite to the support. In the case where the treatment is performed from the support side, the thickness of the metal layer formed by the conductive treatment may be at least enough to transmit the applied electromagnetic wave. Further, a transparent conductive film such as ITO can be used.

本発明の電子写真感光体において、支持体の上には反
射防止層および感光層が形成されるが、感光層が電荷発
生層、電荷輸送層に分けられている場合には、反射防止
層は、電荷発生層と電荷輸送層との間に設けてもよい。
ただし、反射防止層が電荷発生層の上に設けられる場合
には、反射防止層は、露光に際し、電磁波(光)を十分
に透過させて下層の電荷発生層まで到達させるべく十分
に透明でなくてはならないが、本発明における反射防止
層は透明性であるので、この様な場合に有利に使用でき
る。
In the electrophotographic photosensitive member of the present invention, an antireflection layer and a photosensitive layer are formed on a support. When the photosensitive layer is divided into a charge generation layer and a charge transport layer, the antireflection layer is It may be provided between the charge generation layer and the charge transport layer.
However, when the antireflection layer is provided on the charge generation layer, the antireflection layer is not sufficiently transparent so as to sufficiently transmit electromagnetic waves (light) and reach the lower charge generation layer during exposure. However, since the antireflection layer in the invention is transparent, it can be advantageously used in such a case.

反射防止層は、上記のごとく、有機高分子化合物ある
いは無機高分子化合物中に、金属粉末が分散されて構成
される。
As described above, the antireflection layer is formed by dispersing metal powder in an organic polymer compound or an inorganic polymer compound.

金属粉末としては、周期律表II A族元素、II B族元
素、III A族元素、および遷移金属から選択された元素
が使用される。II A族元素としてはBe、Mg、Ca、Sr、B
a、Raがあげられ、II B族元素としては、Zn、Cdがあげ
られ、III A族元素としては、Al、Ga、In、Tlがあげら
れ、遷移元素としては、主遷移元素であるScからCu、Y
からAg、HfからAuの各元素、及び内遷移元素であるLaか
らLu、AcからLrの各元素があげられる。これ等の内で
も、Al、Zn、In、主遷移元素が好ましく使用できる。
As the metal powder, an element selected from group IIA elements, group IIB elements, group IIIA elements, and transition metals of the periodic table is used. II Be, Mg, Ca, Sr, B as group A elements
a, Ra, IIB group elements include Zn and Cd, IIIA group elements include Al, Ga, In and Tl, and the transition element Sc is the main transition element. To Cu, Y
To Ag, Hf to Au, and internal transition elements La to Lu and Ac to Lr. Among these, Al, Zn, In and main transition elements can be preferably used.

これらの金属粉末は、使用するレーザの波長域で吸収
があるものを選択して用いることができる。
As these metal powders, those having absorption in the wavelength range of the laser used can be selected and used.

これらの金属粉末の粒径は、反射防止層の膜厚よりも
小さいことが望ましく、特に反射防止層の膜厚の1/2以
下であることが好ましい。具体的には、50Åないし5μ
m、好ましくは0.01μmないし0.5μmの範囲のものが
使用される。粒径が50Åよりも小さくなると、光散乱能
が低下し、5μmよりも大きくなると感光体最表面での
表面性が低下し、クリーニング不良や解像度の低下を引
き起こす。
The particle size of these metal powders is preferably smaller than the film thickness of the antireflection layer, and particularly preferably 1/2 or less of the film thickness of the antireflection layer. Specifically, 50Å to 5μ
m, preferably 0.01 μm to 0.5 μm. If the particle size is smaller than 50Å, the light scattering ability is deteriorated, and if it is larger than 5 μm, the surface property on the outermost surface of the photoconductor is deteriorated, resulting in poor cleaning and poor resolution.

さらにこの反射防止層は、支持体表面の平滑化の機能
を付与させることも可能であり、その場合には、支持体
の表面粗さよりも小さい粒径の粉末を用いればよい。
Further, this antireflection layer can be imparted with a function of smoothing the surface of the support, and in that case, powder having a particle size smaller than the surface roughness of the support may be used.

反射防止層における有機高分子化合物としては、ポリ
ビニルカルバゾールのような電気的に活性な高分子化合
物でも、電気的に不活性な高分子化合物でもよい。使用
できる高分子化合物としては、ポリビニルカルバゾー
ル、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステ
ル樹脂、塩化ビニル樹脂、フツ素樹脂、ポリウレタン樹
脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリアミ
ド樹脂、ポリイミド樹脂等があげられる。なかでもプラ
ズマCVD法で感光層を形成する場合には、耐熱性、機械
的強度、接着性の点から、硬化型樹脂が好ましい。
The organic polymer compound in the antireflection layer may be an electrically active polymer compound such as polyvinylcarbazole or an electrically inactive polymer compound. Examples of the polymer compound that can be used include polyvinyl carbazole, acrylic resin, polycarbonate resin, polyester resin, vinyl chloride resin, fluorine resin, polyurethane resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin, polyamide resin, and polyimide resin. Among them, when forming the photosensitive layer by the plasma CVD method, a curable resin is preferable from the viewpoint of heat resistance, mechanical strength and adhesiveness.

上記有機高分子化合物を用いて反射防止層を形成する
ためには、有機高分子化合物の有機溶媒溶液又は液状有
機高分子化合物中に、上記金属粉末を分散させ、得られ
た分散液を塗布し、乾燥すればよい。
In order to form an antireflection layer using the organic polymer compound, the metal powder is dispersed in an organic solvent solution of an organic polymer compound or a liquid organic polymer compound, and the resulting dispersion is applied. , Just dry.

また、反射防止層における無機高分子化合物として
は、シリコーン樹脂や有機金属化合物から形成される無
機高分子化合物が使用できる。
Further, as the inorganic polymer compound in the antireflection layer, an inorganic polymer compound formed of a silicone resin or an organic metal compound can be used.

無機高分子化合物が、例えば、液状のシリコーン樹脂
である場合には、その中に上記金属粉末を分散させ、分
散液を塗布し、乾燥すればよい。
When the inorganic polymer compound is, for example, a liquid silicone resin, the metal powder may be dispersed therein, and the dispersion liquid may be applied and dried.

又、反射防止層を、ゾル−ゲル法によって、形成する
場合には、次のようにして形成することができる。
When the antireflection layer is formed by the sol-gel method, it can be formed as follows.

Si(OCH3、Si(OC2H5、 Si(OC3H7、Si(OC4H9、 Al(OCH3、Al(OC2H5、 Al(OC4H9、Ti(OC3H7、 Zr(OC3H7)、Ti(OC3H7、 Y(OC3H7、Y(OC4H9、 Fe(OC2H5、Fe(OC3H7、 Fe(OC4H9、Nb(OCH3、 Nb(OC2H5、Nb(OC3H7、 Ta(OC3H7、Ta(OC4H9、 Ti(OC3H7、V(OC2H5、 V(OC4H9等のアルコキシド化合物や、鉄・トリス
(アセチルアセトネート)、コバルト・ビス(アセチル
アセトネート)、ニッケル・ビス(アセチルアセトネー
ト)、銅・ビス(アセチルアセトネート)等の有機金属
錯体を、アルコール中に溶解し、撹拌しながら加水分解
する。反応によって生成したゾル液に、上記金属粉末を
分散させ、得られた分散液をスプレー法、浸漬法によっ
て支持体上に塗布し、溶媒を除去した後、50〜300℃で
1〜24時間加熱乾燥することによって、主として無機高
分子化合物からなる反射防止層を得ることができる。
Si (OCH 3) 4, Si (OC 2 H 5) 4, Si (OC 3 H 7) 4, Si (OC 4 H 9) 4, Al (OCH 3) 3, Al (OC 2 H 5) 3, al (OC 4 H 9) 3 , Ti (OC 3 H 7) 4, Zr (OC 3 H 7), Ti (OC 3 H 7) 4, Y (OC 3 H 7) 3, Y (OC 4 H 9 ) 3 , Fe (OC 2 H 5 ) 3 , Fe (OC 3 H 7 ) 3 , Fe (OC 4 H 9 ) 3 , Nb (OCH 3 ) 5 , Nb (OC 2 H 5 ) 5 , Nb (OC 3 H 7) 3, Ta (OC 3 H 7) 5, Ta (OC 4 H 9) 4, Ti (OC 3 H 7) 4, V (OC 2 H 5) 3, V (OC 4 H 9) 3 , etc. Alcohol compounds and organometallic complexes of iron-tris (acetylacetonate), cobalt-bis (acetylacetonate), nickel-bis (acetylacetonate), copper-bis (acetylacetonate), etc. in alcohol Dissolve and hydrolyze with stirring. In the sol liquid generated by the reaction, the above metal powder is dispersed, and the obtained dispersion liquid is applied on a support by a spray method or an immersion method, and after removing the solvent, heated at 50 to 300 ° C for 1 to 24 hours. By drying, an antireflection layer mainly composed of an inorganic polymer compound can be obtained.

金属粉末と有機高分子化合物又は無機高分子化合物と
の割合は、粉末の粒径や固有抵抗、膜の強度、膜厚によ
って任意に決定されるが、通常、重量比で2/98〜90/10
の範囲が好ましい。なお、金属粉末の割合が2重量%よ
りも低くなると、反射防止機能が不足し、高い残留電位
を示し、又、90重量%よりも高くなると、膜としての強
さが、低下し、感光層を積層した後、剥離が起こり、感
光体としての機能を果たすことができなくなる。
The ratio of the metal powder and the organic polymer compound or the inorganic polymer compound is arbitrarily determined by the particle size and resistivity of the powder, the strength of the film, and the film thickness, but usually the weight ratio is 2/98 to 90 / Ten
Is preferable. When the proportion of the metal powder is lower than 2% by weight, the antireflection function is insufficient and the residual potential is high, and when it is higher than 90% by weight, the strength of the film is lowered and the photosensitive layer is lowered. After being laminated, peeling occurs and the function as a photoreceptor cannot be achieved.

反射防止層の膜厚は0.1〜20μm、好ましくは0.2〜10
μmの範囲に設定される。
The thickness of the antireflection layer is 0.1 to 20 μm, preferably 0.2 to 10
It is set in the range of μm.

本発明においては、反射防止層は、暗中で電荷を保持
することができると共に、電磁波が照射されることによ
って、感光層中に電荷が発生した場合には、速やかに電
荷を注入し、支持体又は電荷発生層に電荷を移動させる
ことができる。また、反射防止層が支持体上に直接設け
られた場合には、支持体が絶縁性であっても暗中で十分
な導電性を有し、導電性支持体としての機能を持たせる
ことができる。
In the present invention, the antireflection layer is capable of retaining charges in the dark, and when the charges are generated in the photosensitive layer by irradiation with electromagnetic waves, the charges are quickly injected to support the support. Alternatively, charges can be transferred to the charge generation layer. Further, when the antireflection layer is provided directly on the support, even if the support is insulative, it has sufficient conductivity in the dark and can have a function as a conductive support. .

また、本発明において、反射防止層は、正および負の
いずれの電荷をも輸送することができるので、感光体を
プラス帯電させて、或いはマイナス帯電させて使用する
ことができる。
Further, in the present invention, the antireflection layer can transport both positive and negative charges, so that the photoreceptor can be used by being positively charged or negatively charged.

感光層としては、非晶質ケイ素、セレン、セレンひ
素、セレンテルル等の無機物を、CVD、蒸着或いはスパ
ッタリング等の方法を用いて形成したものが使用でき
る。又、フタロシアニン、Cuフタロシアニン、Alフタロ
シアニン、Vフタロシアニン、スクエアリン酸誘導体、
メロシアニン、ビスアゾ染料等の色素や顔料を蒸着した
り、あるいはそれらを結着樹脂に分散したものを、浸漬
塗布、スプレー塗布などの方法で薄膜とした電荷発生層
と、低分子電荷輸送剤を結着樹脂中に分散させて形成し
た電荷輸送層とを積層したものを用いることができる。
The photosensitive layer may be formed by forming an inorganic substance such as amorphous silicon, selenium, selenium arsenide, or selenium tellurium by a method such as CVD, vapor deposition, or sputtering. Also, phthalocyanine, Cu phthalocyanine, Al phthalocyanine, V phthalocyanine, square phosphoric acid derivative,
A low molecular weight charge transfer agent is bonded to a charge generation layer formed by vapor-depositing a colorant or pigment such as merocyanine or a bisazo dye or dispersing them in a binder resin into a thin film by a method such as dip coating or spray coating. It is possible to use a laminate of a charge transport layer formed by being dispersed in a resin.

本発明において、Se−Te等のセレン系、a−Si系の感
光層を上層に設ける場合には、有機系の感光層を用いた
場合に比べ、耐擦性、耐摩耗性の点において有利であ
り、特にa−Si系感光層は、硬度が高く、最表面層とし
ては、極めて有利である。したがって、a−Si系感光層
は、上記の観点から表面層としても有効に機能する。
In the present invention, when a selenium-based or a-Si-based photosensitive layer such as Se-Te is provided as an upper layer, it is advantageous in terms of abrasion resistance and abrasion resistance as compared with the case where an organic photosensitive layer is used. In particular, the a-Si photosensitive layer has a high hardness and is extremely advantageous as the outermost surface layer. Therefore, the a-Si photosensitive layer effectively functions as a surface layer from the above viewpoint.

なかでも、水素化非晶質ケイ素、ゲルマニウムを添加
した水素化非晶質ケイ素、水素化非晶質ゲルマニウムを
用いた場合には、感光層は、優れた機械的、電気的特性
を示す。特に、ケイ素あるいはゲルマニウムを主成分と
し、1〜40原子%、特に5〜30原子%の水素を含んだも
のが好ましい。
Among them, when hydrogenated amorphous silicon, hydrogenated amorphous silicon added with germanium, or hydrogenated amorphous germanium is used, the photosensitive layer exhibits excellent mechanical and electrical characteristics. In particular, those containing silicon or germanium as a main component and containing 1 to 40 atom%, particularly 5 to 30 atom% of hydrogen are preferable.

本発明において、反射防止層は、正および負のいずれ
の極性にも使用できるため、感光層としては、a−Si系
感光層が最適である。何故ならば、a−Si膜は膜中に元
素周期律表のV族元素、III族元素の添加により、n
型、i型、p型の膜が容易に形成でき、正帯電型の感光
体が所望される場合には、III族元素を添加したp型a
−Si感光層とすればよく、負帯電型感光体が所望される
場合には、V族元素を添加するか、そのままでn型a−
Si感光層とすればよく、両極性の感光体が所望される場
合には、微量のIII族元素を添加して、i型a−Si感光
層とすることができ、したがって、容易に感光体の帯電
極性を制御できるからである。
In the present invention, since the antireflection layer can be used in either positive or negative polarity, the a-Si type photosensitive layer is most suitable as the photosensitive layer. This is because the a-Si film is formed by adding a group V element or a group III element of the periodic table of elements into the film.
Type, i-type, and p-type films can be easily formed, and when a positively charged type photoreceptor is desired, a p-type a containing a Group III element is added.
-Si photosensitive layer may be used, and when a negative charging type photoreceptor is desired, a V group element may be added or the n-type a-
The i-type a-Si photosensitive layer can be obtained by adding a trace amount of a group III element when a bipolar photosensitive material is desired. This is because the charging polarity of can be controlled.

本発明において、感光層の好ましい例としては、感光
層が、電荷発生層と電荷輸送層とから構成され、それら
電荷発生層と電荷輸送層が、それぞれケイ素を主体とし
てなり、かつ、水素、ハロゲン、酸素、窒素、炭素、ゲ
ルマニウムから選択された元素のいずれか一種以上を含
む場合である。
In the present invention, as a preferable example of the photosensitive layer, the photosensitive layer is composed of a charge generation layer and a charge transport layer, and the charge generation layer and the charge transport layer are mainly composed of silicon, and hydrogen and halogen. In the case of containing at least one element selected from oxygen, nitrogen, carbon and germanium.

以下、水素化非晶質ケイ素を感光層として用いる場合
を例として説明する。
Hereinafter, the case where hydrogenated amorphous silicon is used as the photosensitive layer will be described as an example.

非晶質ケイ素を主成分とする感光層は、公知の方法に
よって形成することができる。例えば、グロー放電分
解、スパッタリング法、イオンプレーチング法、真空蒸
着法等によって形成することができる。これ等の成膜方
法は、目的に応じて適宜選択されるが、プラズマCVD法
によりシラン或いはシラン系ガスをグロー放電分解する
方法が好ましく、この方法によれば、膜中に1〜40原子
%の水素を含有した比較的抵抗が高く、かつ、光感度も
高い膜が形成され、感光層としては好適な特性を得るこ
とができる。
The photosensitive layer containing amorphous silicon as a main component can be formed by a known method. For example, it can be formed by glow discharge decomposition, sputtering method, ion plating method, vacuum vapor deposition method, or the like. These film forming methods are appropriately selected according to the purpose, but a method of glow discharge decomposition of silane or a silane-based gas by a plasma CVD method is preferable, and according to this method, 1 to 40 atomic% is contained in the film. A film containing hydrogen, which has a relatively high resistance and a high photosensitivity, is formed, and suitable characteristics as a photosensitive layer can be obtained.

以下、プラズマCVD法を例にあげて説明する。ケイ素
を主成分とする感光層を作製するための原料気体として
は、シラン、ジシランをはじめとするシラン類があげら
れる。また、感光層を形成する際に、必要に応じて、水
素、ヘリウム、アルゴン、ネオン等のキャリアガスを用
いることも可能である。これ等の原料ガス中に、ジボラ
ン(B2H6)、ホスフィン(PH3)ガス等のドーパントガ
スを流入させ、膜中に硼素或いは燐等の不純物を添加す
ることもできる。又、光感度の増加を目的として、ハロ
ゲン、炭素、酸素、窒素等の元素を含有させてもよい。
更にまた、長波長域感度の増加を目的として、ゲルマニ
ウム、錫等の元素を添加することも可能である。
Hereinafter, the plasma CVD method will be described as an example. Examples of the raw material gas for forming the photosensitive layer containing silicon as a main component include silanes such as silane and disilane. Further, when forming the photosensitive layer, it is possible to use a carrier gas such as hydrogen, helium, argon or neon, if necessary. A dopant gas such as diborane (B 2 H 6 ) or phosphine (PH 3 ) gas can be introduced into these source gases to add impurities such as boron or phosphorus into the film. Further, for the purpose of increasing photosensitivity, an element such as halogen, carbon, oxygen or nitrogen may be contained.
Furthermore, it is also possible to add elements such as germanium and tin for the purpose of increasing the sensitivity in the long wavelength region.

感光層の膜厚は、5〜100μm、好ましくは10〜70μ
mの範囲に設定される。
The thickness of the photosensitive layer is 5 to 100 μm, preferably 10 to 70 μm
It is set in the range of m.

本発明において、上記反射防止層と感光層あるいは電
荷発生層又は電荷輸送層との間には、電荷注入阻止、接
着性向上を目的として、中間層を設けてもよい。
In the present invention, an intermediate layer may be provided between the antireflection layer and the photosensitive layer or the charge generation layer or the charge transport layer for the purpose of preventing charge injection and improving adhesiveness.

中間層は、ポリアミド、ポリイミド、ポリエステル等
の有機高分子化合物、或いはケイ素、チタン、ジルコニ
ウム等のアルコキシ化合物の溶液を塗布し、乾燥して形
成することができる。また、プラズマCVD法によるSi
Nx、SiCx、SiOx膜、イオンプレーティング等のPVD法に
よるSiOx、AlOx、ZnOx、ZrOx膜等を用いることができ
る。
The intermediate layer can be formed by applying a solution of an organic polymer compound such as polyamide, polyimide, or polyester, or an alkoxy compound such as silicon, titanium, or zirconium, followed by drying. In addition, Si by plasma CVD
It is possible to use N x , SiC x , SiO x films, SiO x , AlO x , ZnO x , ZrO x films by PVD method such as ion plating.

また、本発明の電子写真感光体は、表面のコロナイオ
ンによる変質を防止するために、表面保護層を設けても
よい。表面保護層を構成する材料としては、プラズマCV
D法による酸化ケイ素、炭化ケイ素、窒化ケイ素、アモ
ルフアスカーボン、イオンプレーテイング法等による酸
化アルミナ、更に有機低分子化合物や導電性微粉末を分
散した透明有機高分子膜等があげられる。
Further, the electrophotographic photoreceptor of the present invention may be provided with a surface protective layer in order to prevent alteration of the surface due to corona ions. Plasma CV is used as the material for the surface protection layer.
Examples thereof include silicon oxide by the method D, silicon carbide, silicon nitride, amorphous carbon, alumina oxide by the ion plating method, and a transparent organic polymer film in which an organic low molecular compound or conductive fine powder is dispersed.

〔実施例〕〔Example〕

次に、本発明を実施例によって説明する。 Next, the present invention will be described with reference to examples.

実施例1 円筒状アルミニウムパイプ(Rmax=0.05μm)上に、
ポリウレタン樹脂(関西ペイント社製、レタン4000)50
重量部に、平均粒径0.3μm以下のNi粉末50重量部、溶
剤(レタンシンナー、関西ペイント社製)15重量部を加
え、ボールミルを用いて20時間混合分散し、硬化剤(レ
タン硬化剤、関西ペイント社製)を7重量部加えた溶液
をスプレー塗布し、150℃にて24時間乾燥して、厚さ5
μmの反射防止層を形成した。
Example 1 On a cylindrical aluminum pipe (Rmax = 0.05 μm),
Polyurethane resin (Kansai Paint Co., Ltd., Retan 4000) 50
50 parts by weight of Ni powder having an average particle size of 0.3 μm or less and 15 parts by weight of a solvent (retan thinner, manufactured by Kansai Paint Co., Ltd.) were added to the parts by weight, and mixed and dispersed for 20 hours using a ball mill to prepare a curing agent (retan curing agent 7 parts by weight of Kansai Paint Co., Ltd. was added to the solution by spray coating and dried at 150 ° C for 24 hours to give a thickness of 5
A μm antireflection layer was formed.

上記反射防止層のみが形成されたアルミニウムパイプ
を容量結合型プラズマCVD装置の真空槽内に設置した。
基板温度200℃に維持し、反応室内に100%シラン(Si
H4)ガスを毎分100cc、水素稀釈の100%ppmジボラン(B
2H6)ガスを毎分100cc流入させ、反応槽内を0.5Torrの
圧力に維持した後、13.65MHzの高周波電力を投入してグ
ロー放電を生じさせ、電力を100Wに維持した。このよう
にして水素とごく微量の硼素を含む、いわゆるp型非晶
質ケイ素からなる膜厚2μmの電荷注入阻止層を形成し
た。ついで、水素稀釈ジボランガスを毎分1ccに変え、
いわゆるi型の非晶質ケイ素からなる20μmの光導電層
を形成した。
The aluminum pipe on which only the antireflection layer was formed was placed in the vacuum chamber of the capacitively coupled plasma CVD apparatus.
The substrate temperature was maintained at 200 ° C, and 100% silane (Si
H 4 ) gas 100 cc / min, 100% ppm diborane (B
2 H 6 ) gas was flowed in at 100 cc per minute, the pressure inside the reaction tank was maintained at 0.5 Torr, and high frequency power of 13.65 MHz was applied to cause glow discharge, and the power was maintained at 100 W. Thus, a charge injection blocking layer having a film thickness of 2 μm and made of so-called p-type amorphous silicon containing hydrogen and a very small amount of boron was formed. Then, change the hydrogen diluted diborane gas to 1cc per minute,
A 20 μm photoconductive layer of so-called i-type amorphous silicon was formed.

引き続き高真空に排気し、SiH430sccm、NH330sccmを
反応器に導入し、50Wで放電を行い、0.1μmのSiNx膜を
形成し、電子写真感光体を作成した。
Subsequently, the chamber was evacuated to a high vacuum, SiH 4 30 sccm and NH 3 30 sccm were introduced into the reactor and discharged at 50 W to form a 0.1 μm SiN x film, thus preparing an electrophotographic photoreceptor.

得られた電子写真感光体を半導体レーザビームプリン
ター(XP−9、富士ゼロックス社製)に挿入し、プリン
トテストしたところ、モアレ模様のない良好な画像が得
られた。
The obtained electrophotographic photosensitive member was inserted into a semiconductor laser beam printer (XP-9, manufactured by Fuji Xerox Co., Ltd.) and subjected to a print test. As a result, a good image free of moire patterns was obtained.

比較例1 Rmax=0.05μmで鏡面切削したアルミニウム支持体の
上に、反射防止層を設けずに、実施例1と全く同じ方法
にて電荷注入阻止層、光導電層、表面層を形成した。実
施例1と同じプリンターにてプリントテストしたとこ
ろ、画面全体に木目状のいわゆるモアレ模様が出現し、
画像品質は著しく低下したものとなった。
Comparative Example 1 A charge injection blocking layer, a photoconductive layer and a surface layer were formed in exactly the same manner as in Example 1 without providing an antireflection layer on an aluminum support mirror-cut with Rmax = 0.05 μm. When a print test was performed using the same printer as in Example 1, a so-called moire pattern having a wood pattern appeared on the entire screen,
The image quality was significantly reduced.

実施例2 アルミニウム平板上に、セラミックコート剤(セラミ
カ1100、株式会社日板研究所製)40重量部に粒径0.1〜
0.5μmの銅粉末50重量部を加え、ボールミルを用いて1
00時間混合分散し、硬化剤を10重量部加えて得られた塗
布液を、希釈後、浸漬塗布法により塗布し、150℃で5
時間乾燥して、厚さ4μmの反射防止層を形成した。
Example 2 On an aluminum flat plate, 40 parts by weight of a ceramic coating agent (ceramica 1100, manufactured by Nichiban Kenkyusho Co., Ltd.) and a particle size of 0.1 to
Add 50 parts by weight of 0.5 μm copper powder and use a ball mill to 1
Mix and disperse for 00 hours, add 10 parts by weight of a curing agent, dilute the coating solution, and apply by dip coating method.
After drying for an hour, an antireflection layer having a thickness of 4 μm was formed.

この反射防止層の上に、実施例1と同じ感光層を設け
て感光体を作成し、レーザビームプリンターにてプリン
トテストしたところ、モアレの全くない鮮明な画像が得
られた。
On the antireflection layer, the same photosensitive layer as in Example 1 was provided to prepare a photoconductor, and a print test was carried out with a laser beam printer. As a result, a clear image free from moire was obtained.

実施例3 平面粗さRmax0.5μmのアルミニウムパイプの上に、
実施例2と同じ反射防止層を設けた。この反射防止層の
表面粗さは、Rmaxで0.05μm以下であった。
Example 3 On an aluminum pipe having a surface roughness Rmax of 0.5 μm,
The same antireflection layer as in Example 2 was provided. The surface roughness of this antireflection layer was 0.05 μm or less in Rmax.

この反射防止層の上に実施例1と同じ感光層を設けて
電子写真感光体を作成し、レーザビームプリンターにて
プリントテストを行ったところモアレの全くない鮮明な
画像が得得られた。くり返し10万枚のプリント後も欠陥
のない良好な画像が得られた。
An electrophotographic photosensitive member was prepared by providing the same photosensitive layer as in Example 1 on this antireflection layer, and a print test was carried out by a laser beam printer. As a result, a clear image free from moire was obtained. Good images with no defects were obtained even after printing 100,000 sheets repeatedly.

比較例2 実施例3と同じ支持体の上に、比較例1と同じ感光層
を設けて感光体を作成し、プリントテストを行った。さ
らに1万枚のプリントテストを行ったところ、画像には
モアレ模様が出現したほかに、繰返しコピー操作と共に
白点と黒斑が増加し、画像品質は著しく低下した。
Comparative Example 2 The same photosensitive layer as in Comparative Example 1 was provided on the same support as in Example 3 to prepare a photosensitive member, and a print test was performed. When a print test was performed on 10,000 sheets, a moire pattern appeared in the image, and white spots and black spots increased with repeated copying operations, resulting in a marked deterioration in image quality.

実施例4 実施例1と同じ反射防止層と電荷阻止層をアルミニウ
ム支持体上に設け、その上にシランガス150sccm、エチ
レンガス5sccm、水素希釈ジボランガスをシランガスに
対しジボラン濃度が10ppmになるように混合し、圧力1.0
Torr、高周波電力150Wで処理して、炭素添加アモルフア
スシリコンからなる膜厚15μmの電荷輸送層を形成し
た。さらにその上にi型のアモルフアスシリコンを実施
例1と同様の条件で膜厚0.5μmになるように形成し、
引き続き、シランガス160sccm、ゲルマンガス40sccm、
ジボラン濃度を全量に対し2ppmになるように水素希釈ジ
ボランガスを混合し、圧力1.0Torr、高周波電力150Wで
処理して、アモルフアスゲルマニウムシリコンよりなる
電荷発生層を形成した。この上に実施例1と同じ条件で
表面層を設けて電子写真感光体を作製した。
Example 4 The same antireflection layer and charge blocking layer as in Example 1 were provided on an aluminum support, and silane gas 150 sccm, ethylene gas 5 sccm, and hydrogen-diluted diborane gas were mixed on the aluminum support so that the diborane concentration was 10 ppm with respect to the silane gas. , Pressure 1.0
By processing with Torr and high-frequency power of 150 W, a charge transport layer having a film thickness of 15 μm and made of carbon-doped amorphous silicon was formed. Further, i-type amorphous silicon was formed thereon under the same conditions as in Example 1 so as to have a film thickness of 0.5 μm.
Subsequently, silane gas 160sccm, germane gas 40sccm,
Hydrogen-diluted diborane gas was mixed so that the concentration of diborane was 2 ppm with respect to the total amount, and the mixture was treated with a pressure of 1.0 Torr and a high-frequency power of 150 W to form a charge generation layer made of amorphous germanium silicon. A surface layer was provided thereon under the same conditions as in Example 1 to prepare an electrophotographic photosensitive member.

この電子写真感光体を用いて、レーザビームプリンタ
ーでプリントテストを実施したところ、モアレの無い画
像の濃度コントラストに優れたプリントが得られた。
When a print test was carried out with a laser beam printer using this electrophotographic photosensitive member, a print having an excellent density contrast of an image free of moire was obtained.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明の電子写真感光体は、上記のように反射防止層
として、金属粉末が分散された有機高分子化合物又は無
機高分子化合物よりなる層を設けたから、レーザー等の
コヒーレント光を光源とするプリンターにおいて、干渉
縞の発生を防止してモアレの発生を阻止し、高品質の画
像を得ることができる。
Since the electrophotographic photosensitive member of the present invention is provided with a layer made of an organic polymer compound or an inorganic polymer compound in which a metal powder is dispersed as an antireflection layer as described above, a printer using a coherent light such as a laser as a light source. In, the occurrence of interference fringes can be prevented and the occurrence of moire can be prevented, and a high quality image can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図ないし第5図は、それぞれ、本発明の電子写真感
光体の模式的断面図である。 1……支持体、2……反射防止層、3……感光層、3a…
…電荷発生層、3b……電荷輸送層、4……表面層、5…
…中間層。
1 to 5 are schematic cross-sectional views of the electrophotographic photosensitive member of the present invention. 1 ... Support, 2 ... Antireflection layer, 3 ... Photosensitive layer, 3a ...
... Charge generation layer, 3b ... Charge transport layer, 4 ... Surface layer, 5 ...
... intermediate layer.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−131147(JP,A) 特開 平1−206358(JP,A) 特開 平3−269540(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (56) Reference JP-A-63-131147 (JP, A) JP-A-1-206358 (JP, A) JP-A-3-269540 (JP, A)

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】少なくとも支持体と反射防止層と感光層か
らなり、該反射防止層が金属粉末を分散した有機高分子
化合物あるいは無機高分子化合物からなることを特徴と
する電子写真感光体。
1. An electrophotographic photoreceptor comprising at least a support, an antireflection layer and a photosensitive layer, the antireflection layer comprising an organic polymer compound or an inorganic polymer compound in which a metal powder is dispersed.
【請求項2】金属粉末が、周期律表II A族元素、II B族
元素、III A族元素及び遷移元素から選択された元素、
又はそれらの2種以上の元素の合金又は混合物よりなる
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の電子写
真感光体。
2. A metal powder comprising an element selected from a group IIA element, a group IIB element, a group IIIA element and a transition element of the periodic table,
Alternatively, the electrophotographic photosensitive member according to claim 1, comprising an alloy or a mixture of two or more of these elements.
【請求項3】感光層が、主としてアモルファスシリコン
及び/又はアモルファスゲルマニウムからなることを特
徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項に記載の電子
写真感光体。
3. The electrophotographic photosensitive member according to claim 1, wherein the photosensitive layer is mainly composed of amorphous silicon and / or amorphous germanium.
【請求項4】感光層が、電荷発生層と電荷輸送層とから
構成され、該電荷発生層と電荷輸送層が、それぞれケイ
素を主体としてなり、かつ、水素、ハロゲン、酸素、窒
素、炭素、ゲルマニウムから選択された元素のいずれか
一種を含むことを特徴とする特許請求の範囲第1項又は
第2項に記載の電子写真感光体。
4. The photosensitive layer is composed of a charge generation layer and a charge transport layer, and the charge generation layer and the charge transport layer are mainly composed of silicon, and hydrogen, halogen, oxygen, nitrogen, carbon, The electrophotographic photosensitive member according to claim 1 or 2, wherein the electrophotographic photosensitive member contains any one element selected from germanium.
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