JP2662113B2 - レーザ測定装置 - Google Patents
レーザ測定装置Info
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
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-
- G—PHYSICS
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- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
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- G01S7/493—Extracting wanted echo signals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、全電子雑音消去回路を
用いたレーザ測定装置に関する。
用いたレーザ測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】分光学、資料走査、及び空間における移
動物体の方向及び範囲を求める（例：レーザ赤外線レー
ダ）のにレーザを使用することは従来の技術で周知であ
る。これらのシステムではレーザによって発生する光を
測定するのに電子装置で検出する。
動物体の方向及び範囲を求める（例：レーザ赤外線レー
ダ）のにレーザを使用することは従来の技術で周知であ
る。これらのシステムではレーザによって発生する光を
測定するのに電子装置で検出する。
【０００３】レーザの過剰雑音（すなわち、ショット雑
音レベルを越える雑音）、スプリアス変調、及び出力ド
リフトは、レーザ光の測定値精度を極端に低下させるこ
とは以前から認識されている。ガス・レーザでは、かな
りの高周波においても雑音レベルはショット雑音を越え
簡単に５０ｄｂに達する。
音レベルを越える雑音）、スプリアス変調、及び出力ド
リフトは、レーザ光の測定値精度を極端に低下させるこ
とは以前から認識されている。ガス・レーザでは、かな
りの高周波においても雑音レベルはショット雑音を越え
簡単に５０ｄｂに達する。
【０００４】ショット雑音は光が検出されたときに生ず
るランダムな電流変動である。ＰＩＮ型ダイオードのよ
うな従来の光検出器では、光検出器に衝突したフォトン
の数に比例してアノードからカソードに電流が流れる。
各フォトンは唯一１つの電子を生じさせることができ
る。ランダムな電流変動は光検出器にフォトンが到達す
るために生じ、正確にポアソン過程としてモデル化でき
る。いずれの任意の期間においても、フォトンの光検出
器への到達平均数が予測でき、及び標準偏差は平均値か
らの公称変化を示す。フォトンの到達におけるこの変化
に対応して光検出器を通る電流に変化が起こり、ショッ
ト雑音が生じる。
るランダムな電流変動である。ＰＩＮ型ダイオードのよ
うな従来の光検出器では、光検出器に衝突したフォトン
の数に比例してアノードからカソードに電流が流れる。
各フォトンは唯一１つの電子を生じさせることができ
る。ランダムな電流変動は光検出器にフォトンが到達す
るために生じ、正確にポアソン過程としてモデル化でき
る。いずれの任意の期間においても、フォトンの光検出
器への到達平均数が予測でき、及び標準偏差は平均値か
らの公称変化を示す。フォトンの到達におけるこの変化
に対応して光検出器を通る電流に変化が起こり、ショッ
ト雑音が生じる。
【０００５】しかしながら、雑音信号のレベルは通常、
低変調周波数で最も高くなるので、高精度の光学測定シ
ステムの多くはビームにある種の変調を加える。これに
よって測定システムの出力信号は低周波の雑音信号より
もはるかに高い周波数となり、実質的に測定における雑
音の影響を低下させる。
低変調周波数で最も高くなるので、高精度の光学測定シ
ステムの多くはビームにある種の変調を加える。これに
よって測定システムの出力信号は低周波の雑音信号より
もはるかに高い周波数となり、実質的に測定における雑
音の影響を低下させる。
【０００６】雑音を低下させる他の方法は、出力ビーム
からサンプルを取出し、レーザ動作電流に、又は外部光
学減衰器にネガティブ・フィードバックを掛け、サンプ
ル・ビームから導いた光電流を一定に保つ方法である。
これらのシステムは一般に複雑、又は高価であり出力ビ
ームの信号対雑音比をサンプル・ビームの信号対ショッ
ト雑音比にせいぜい高める程度である。これらのシステ
ムではサンプル・ビームは通常、出力ビームよりかなり
弱く、比較的多くのショット雑音を含むので、この方法
は雑音の低減において満足できるほどのレベルを与えな
い。さらにこれらのシステムはフィードバックに頼るの
で、雑音ビームの低減効果がある帯域幅は一般にかなり
狭い。
からサンプルを取出し、レーザ動作電流に、又は外部光
学減衰器にネガティブ・フィードバックを掛け、サンプ
ル・ビームから導いた光電流を一定に保つ方法である。
これらのシステムは一般に複雑、又は高価であり出力ビ
ームの信号対雑音比をサンプル・ビームの信号対ショッ
ト雑音比にせいぜい高める程度である。これらのシステ
ムではサンプル・ビームは通常、出力ビームよりかなり
弱く、比較的多くのショット雑音を含むので、この方法
は雑音の低減において満足できるほどのレベルを与えな
い。さらにこれらのシステムはフィードバックに頼るの
で、雑音ビームの低減効果がある帯域幅は一般にかなり
狭い。
【０００７】全電子雑音抑制方式は以前から知られてい
る。この方式は検出したレーザ光の光電流だけを対象と
し、レーザ・ビームそのものを安定化させる試みはなさ
れない、という点で前述の説明とは異なる。このシステ
ムではレーザ・ビームは一般に信号ビームとサンプル・
ビームに分割させられる。信号ビームは光学システムを
通過して検出器に送られ、一方、サンプル・ビームは光
学システムの周辺を通過して他の検出器に送られる。
る。この方式は検出したレーザ光の光電流だけを対象と
し、レーザ・ビームそのものを安定化させる試みはなさ
れない、という点で前述の説明とは異なる。このシステ
ムではレーザ・ビームは一般に信号ビームとサンプル・
ビームに分割させられる。信号ビームは光学システムを
通過して検出器に送られ、一方、サンプル・ビームは光
学システムの周辺を通過して他の検出器に送られる。
【０００８】ビームを検出後、信号ビームの信号成分が
光学システムから現われ、又、サンプル・ビームの成分
は信号成分と電子的に減算、又は除算されて消去され
る。理想的にはこの種のシステムは、雑音の無い測定が
できる出力信号を発生する。
光学システムから現われ、又、サンプル・ビームの成分
は信号成分と電子的に減算、又は除算されて消去され
る。理想的にはこの種のシステムは、雑音の無い測定が
できる出力信号を発生する。
【０００９】これらの電子方式は光学システムの２つの
重要な特徴に基づく。いわゆる時間幅の広い帯域幅と高
性能線形光検出器である。帯域幅が広いため、信号ビー
ムとサンプル・ビーム間の相互経路遅延が小さい限り、
光学システムはいずれの差動利得、又は差動位相をビー
ム変調に導かない。このような装置ではサンプル・ビー
ムの瞬時の部分的な過剰振幅雑音は実質的に信号ビーム
のものとほとんど同じである。光検出器の直線性は又、
信頼性の高い直線性の光電流を発生させ、２つの光電流
の直流成分を消去すると、関連する全周波数帯において
光電流の過剰雑音も又、消去する。
重要な特徴に基づく。いわゆる時間幅の広い帯域幅と高
性能線形光検出器である。帯域幅が広いため、信号ビー
ムとサンプル・ビーム間の相互経路遅延が小さい限り、
光学システムはいずれの差動利得、又は差動位相をビー
ム変調に導かない。このような装置ではサンプル・ビー
ムの瞬時の部分的な過剰振幅雑音は実質的に信号ビーム
のものとほとんど同じである。光検出器の直線性は又、
信頼性の高い直線性の光電流を発生させ、２つの光電流
の直流成分を消去すると、関連する全周波数帯において
光電流の過剰雑音も又、消去する。
【００１０】従来の全電子雑音消去システムの多くは、
検出サンプル光電流を信号光電流から減算するか又は信
号光電流をサンプル光電流で除算して雑音の低下を実行
する。
検出サンプル光電流を信号光電流から減算するか又は信
号光電流をサンプル光電流で除算して雑音の低下を実行
する。
【００１１】減算方式における光学システムは、調整が
希望通りできるので検出信号とサンプル・ビームからの
光電流は全く等しくなる。減算オペレーションの結果
は、直流成分又は信号ビームのいずれの過剰雑音信号成
分も含まない信号ビームの変化を示す電流である。減算
器は光電流が事前に電圧への変換なしで直接、減算され
るのでかなり広い帯域幅に設計することができる。
希望通りできるので検出信号とサンプル・ビームからの
光電流は全く等しくなる。減算オペレーションの結果
は、直流成分又は信号ビームのいずれの過剰雑音信号成
分も含まない信号ビームの変化を示す電流である。減算
器は光電流が事前に電圧への変換なしで直接、減算され
るのでかなり広い帯域幅に設計することができる。
【００１２】適切に調整した減算器を付加することによ
り、システムの過剰雑音を約２０ｄｂ減らすことができ
る。しかしながらこの方法は、改善で得られる効果には
実際上の制限があると思われる。なぜなら従来の減算シ
ステムでは、光学システムのビーム・サンプラの微調整
又は検出器チャネルの利得の微調整には煩わしい手間を
要するからである。しかも、信号ビームの定常状態の強
さは通常、測定中に若干の変化が生じ、このプロセスに
よって生ずるいずれの空白は装置の動作中、性能を低下
させる。さらに、検出信号及びサンプル光電流のショッ
ト雑音電流は相関性が無く両方共、出力電流の雑音に寄
与する。このように出力信号の雑音基底は信号光電流だ
けでショット雑音のレベルを約３ｄｂ上回って制限され
る。
り、システムの過剰雑音を約２０ｄｂ減らすことができ
る。しかしながらこの方法は、改善で得られる効果には
実際上の制限があると思われる。なぜなら従来の減算シ
ステムでは、光学システムのビーム・サンプラの微調整
又は検出器チャネルの利得の微調整には煩わしい手間を
要するからである。しかも、信号ビームの定常状態の強
さは通常、測定中に若干の変化が生じ、このプロセスに
よって生ずるいずれの空白は装置の動作中、性能を低下
させる。さらに、検出信号及びサンプル光電流のショッ
ト雑音電流は相関性が無く両方共、出力電流の雑音に寄
与する。このように出力信号の雑音基底は信号光電流だ
けでショット雑音のレベルを約３ｄｂ上回って制限され
る。
【００１３】除算雑音消去システムは、当初は減算シス
テムよりも期待されそうである。これは正確な調整を必
要とせず、絶対雑音偏差よりも部分的に消去できるから
である。しかしながら除算器の欠点は速度がかなり遅
く、雑音抑制信号の帯域幅にも限界がある。さらに、除
算器には固有の雑音が有り、除算オペレーションにより
信号にかなりの量の雑音が加わる。
テムよりも期待されそうである。これは正確な調整を必
要とせず、絶対雑音偏差よりも部分的に消去できるから
である。しかしながら除算器の欠点は速度がかなり遅
く、雑音抑制信号の帯域幅にも限界がある。さらに、除
算器には固有の雑音が有り、除算オペレーションにより
信号にかなりの量の雑音が加わる。
【００１４】Fukai による米国特許第４８９６２２２号
は、サンプル光電流が電気的に補正され、信号光電流か
ら減算されるシステムである。
は、サンプル光電流が電気的に補正され、信号光電流か
ら減算されるシステムである。
【００１５】Epworth による米国特許第４７１８１２１
号は、可変利得増幅器を使用して減算によるレーザ雑音
を減じる雑音低減システムである。このシステムは２つ
のうなり周波信号で作動し、うなり周波信号の１つは信
号ビームと局所発振ビームの合計で、もう１つはこれら
２つのビームの差である。システムは雑音を測定し、２
つの増幅器の利得を調整して信号を重ねあわせて雑音を
消去する。
号は、可変利得増幅器を使用して減算によるレーザ雑音
を減じる雑音低減システムである。このシステムは２つ
のうなり周波信号で作動し、うなり周波信号の１つは信
号ビームと局所発振ビームの合計で、もう１つはこれら
２つのビームの差である。システムは雑音を測定し、２
つの増幅器の利得を調整して信号を重ねあわせて雑音を
消去する。
【００１６】Tietze等による米国特許第４１５０４０２
号は、信号光電流を増幅する可変利得増幅器の制御信号
としてサンプル光電流を利用するシステムである。
号は、信号光電流を増幅する可変利得増幅器の制御信号
としてサンプル光電流を利用するシステムである。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、雑
音信号を低減させたレーザ測定装置を提供することにあ
る。
音信号を低減させたレーザ測定装置を提供することにあ
る。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明は、信号ビームと
サンプル・ビームから導かれる光電流を平衡にする雑音
抑制技術を用いたレーザ測定装置に関する。本発明のレ
ーザ測定装置は、好ましくない雑音信号成分を含むレー
ザ光を発生するレーザ光源（１１０）と、前記レーザ光
を信号ビーム（１２８）及びサンプル・ビーム（１２
６）に分割するビーム・サンプラ（１１６）と、前記信
号ビームを、測定されるべき情報で変調する光学システ
ム（１１８）と、前記変調された信号ビーム及び前記サ
ンプル・ビームに応答して前記変調された信号ビームの
情報成分を表す出力信号を発生する検出装置（１２２）
とを有する。前記ビーム・サンプラ（１１６）は、前記
サンプル・ビームが前記信号ビームよりも強い光強度を
もつように前記レーザ光を分割する。前記検出装置（１
２２）は、前記変調された信号ビーム及び前記サンプル
・ビームを、それぞれの光強度に比例した信号光電流及
びサンプル光電流にそれぞれ変換する第１及び第２の検
出手段（２１０、２１２）と、前記サンプル光電流を、
前記信号光電流の直流成分と実質的に等しい直流成分を
有する第１のサンプル光電流成分（ＩＣ２）と、第２の
サンプル光電流成分（ＩＣ１）とに分割する電流分割手
段（Ｑ１、Ｑ２）と、前記第１のサンプル光電流成分及
び前記信号光電流の直流成分を消去するように前記第１
のサンプル光電流成分と前記信号光電流とを組み合わ
せ、前記変調された信号ビームの情報成分を表す出力信
号を発生する出力手段（２２０、Ａ１）とを有する。第
１のサンプル光電流成分及び信号光電流の直流成分が実
質的に等しい平衡状態にされた場合、その差電流は信号
ビームの情報内容を表す信号であり、信号光電流及びサ
ンプル光電流のショット雑音よりも大きい振幅を有する
雑音成分を実質的に含まない。
サンプル・ビームから導かれる光電流を平衡にする雑音
抑制技術を用いたレーザ測定装置に関する。本発明のレ
ーザ測定装置は、好ましくない雑音信号成分を含むレー
ザ光を発生するレーザ光源（１１０）と、前記レーザ光
を信号ビーム（１２８）及びサンプル・ビーム（１２
６）に分割するビーム・サンプラ（１１６）と、前記信
号ビームを、測定されるべき情報で変調する光学システ
ム（１１８）と、前記変調された信号ビーム及び前記サ
ンプル・ビームに応答して前記変調された信号ビームの
情報成分を表す出力信号を発生する検出装置（１２２）
とを有する。前記ビーム・サンプラ（１１６）は、前記
サンプル・ビームが前記信号ビームよりも強い光強度を
もつように前記レーザ光を分割する。前記検出装置（１
２２）は、前記変調された信号ビーム及び前記サンプル
・ビームを、それぞれの光強度に比例した信号光電流及
びサンプル光電流にそれぞれ変換する第１及び第２の検
出手段（２１０、２１２）と、前記サンプル光電流を、
前記信号光電流の直流成分と実質的に等しい直流成分を
有する第１のサンプル光電流成分（ＩＣ２）と、第２の
サンプル光電流成分（ＩＣ１）とに分割する電流分割手
段（Ｑ１、Ｑ２）と、前記第１のサンプル光電流成分及
び前記信号光電流の直流成分を消去するように前記第１
のサンプル光電流成分と前記信号光電流とを組み合わ
せ、前記変調された信号ビームの情報成分を表す出力信
号を発生する出力手段（２２０、Ａ１）とを有する。第
１のサンプル光電流成分及び信号光電流の直流成分が実
質的に等しい平衡状態にされた場合、その差電流は信号
ビームの情報内容を表す信号であり、信号光電流及びサ
ンプル光電流のショット雑音よりも大きい振幅を有する
雑音成分を実質的に含まない。
【００１９】本発明の他の特徴は、前記検出装置が、前
記出力手段の出力信号に応答して前記第１のサンプル光
電流成分及び前記信号光電流の直流成分を平衡させるよ
うに前記電流分割手段をバイアスするためのフィードバ
ック回路（Ａ２）を含むことである。
記出力手段の出力信号に応答して前記第１のサンプル光
電流成分及び前記信号光電流の直流成分を平衡させるよ
うに前記電流分割手段をバイアスするためのフィードバ
ック回路（Ａ２）を含むことである。
【００２０】本発明のさらに他の特徴によれば、サンプ
ル・ビームと信号ビームから導かれる光電流の比率は
Ｎ：１であり、Ｎは２より大きい。サンプル・ビームか
ら導いた光電流をさらに再分割する回路は、平衡サンプ
ル光電流と信号光電流が結合されると、さらにショット
雑音を減少させる。
ル・ビームと信号ビームから導かれる光電流の比率は
Ｎ：１であり、Ｎは２より大きい。サンプル・ビームか
ら導いた光電流をさらに再分割する回路は、平衡サンプ
ル光電流と信号光電流が結合されると、さらにショット
雑音を減少させる。
【００２１】
【実施例】図１で示す装置において、レーザ１１０は制
御回路であるレーザ・コントローラ１１２によって制御
され、出力ビーム光である入射ビーム１１１を発生す
る。入射ビーム１１１は、半鍍銀ミラー又は他の適切な
ビーム抽出装置であるビーム・サンプラ１１６によって
信号ビーム１２８とサンプル・ビーム１２６に分割され
る。信号ビーム１２８はガス・サンプル１１８中を通過
させられ、通過中に修正信号ビーム１２８’に変えられ
る。修正信号ビーム１２８’はそれからミラー１２０に
よって反射され検出器１２２の信号ビーム入力ポートに
到達する。サンプル・ビーム１２６はミラー１２４によ
って反射され、検出器１２２の信号ビーム入力ポートに
到達する。
御回路であるレーザ・コントローラ１１２によって制御
され、出力ビーム光である入射ビーム１１１を発生す
る。入射ビーム１１１は、半鍍銀ミラー又は他の適切な
ビーム抽出装置であるビーム・サンプラ１１６によって
信号ビーム１２８とサンプル・ビーム１２６に分割され
る。信号ビーム１２８はガス・サンプル１１８中を通過
させられ、通過中に修正信号ビーム１２８’に変えられ
る。修正信号ビーム１２８’はそれからミラー１２０に
よって反射され検出器１２２の信号ビーム入力ポートに
到達する。サンプル・ビーム１２６はミラー１２４によ
って反射され、検出器１２２の信号ビーム入力ポートに
到達する。
【００２２】コンピュータ１１４は制御信号をレーザ・
コントローラ１１２に送り、例えば、レーザ１１０によ
って供給されたビーム周波数をある周波数の範囲内で調
整する。コンピュータ１１４は又、検出器１２２に結合
され検出器１２２によって供給される線形出力信号ＬＯ
を得る。コンピュータ１１４は仮想接続として図示され
ているようにログ出力信号ＬＯＧＯを受信するために任
意選択として結合される。ログ出力信号ＬＯＧＯは図３
に関連して後述説明する。信号ＬＯ及び／又はＬＯＧＯ
から導いたデータをレーザ１１０の波長調整と相互に関
連付けることにより、コンピュータは、例えば、ガス・
サンプル１１８の分子構造に関する情報を導きだすこと
ができる。
コントローラ１１２に送り、例えば、レーザ１１０によ
って供給されたビーム周波数をある周波数の範囲内で調
整する。コンピュータ１１４は又、検出器１２２に結合
され検出器１２２によって供給される線形出力信号ＬＯ
を得る。コンピュータ１１４は仮想接続として図示され
ているようにログ出力信号ＬＯＧＯを受信するために任
意選択として結合される。ログ出力信号ＬＯＧＯは図３
に関連して後述説明する。信号ＬＯ及び／又はＬＯＧＯ
から導いたデータをレーザ１１０の波長調整と相互に関
連付けることにより、コンピュータは、例えば、ガス・
サンプル１１８の分子構造に関する情報を導きだすこと
ができる。
【００２３】本発明の実施例では、入射ビーム１１１の
半分弱以下を信号ビーム１２８として透過させるよう
に、及び入射ビーム１１１の半分強以上をサンプル・ビ
ーム１２６として反射させるようにビーム・サンプラ１
１６は設定される。信号ビームはガス・サンプル１１８
中を信号ビームの平均光強度をほとんど減衰せずに通過
させられる。
半分弱以下を信号ビーム１２８として透過させるよう
に、及び入射ビーム１１１の半分強以上をサンプル・ビ
ーム１２６として反射させるようにビーム・サンプラ１
１６は設定される。信号ビームはガス・サンプル１１８
中を信号ビームの平均光強度をほとんど減衰せずに通過
させられる。
【００２４】しかしながら仮に、信号ビームを使用する
ことで重大な減衰を受ける場合は、検出器１２２に到達
するサンプル・ビーム１２６で与えられる照射が、修正
信号ビーム１２８’の最大定常状態成分の照射より幾分
強くなる程度に入射ビーム１１１を反射させるようにビ
ーム・サンプラ１１６は選ばれるべきである。このタイ
プを応用するのは信号ビームが対象物から反射して修正
信号ビーム１２８’を生ずる場合である。例えば、仮に
信号ビーム１２８を、ある集積回路で反射された場合の
フォトレジストにおける露光、又は測定がある。
ことで重大な減衰を受ける場合は、検出器１２２に到達
するサンプル・ビーム１２６で与えられる照射が、修正
信号ビーム１２８’の最大定常状態成分の照射より幾分
強くなる程度に入射ビーム１１１を反射させるようにビ
ーム・サンプラ１１６は選ばれるべきである。このタイ
プを応用するのは信号ビームが対象物から反射して修正
信号ビーム１２８’を生ずる場合である。例えば、仮に
信号ビーム１２８を、ある集積回路で反射された場合の
フォトレジストにおける露光、又は測定がある。
【００２５】検出器１２２では、修正信号ビーム１２
８’及びサンプル・ビーム１２６は光電流に変換させら
れる。サンプル・ビーム光電流は、差動ペアとして構成
された電子制御の一対のトランジスタによって２つの電
流に分割される。これらの電流の１つは信号光電流と実
質的に同じ定常状態電流振幅を有する。この電流は信号
光電流から差し引かれ、影響を与えないレベルである直
流電流及び信号光電流の過剰雑音成分を有する出力信号
を発生させる。
８’及びサンプル・ビーム１２６は光電流に変換させら
れる。サンプル・ビーム光電流は、差動ペアとして構成
された電子制御の一対のトランジスタによって２つの電
流に分割される。これらの電流の１つは信号光電流と実
質的に同じ定常状態電流振幅を有する。この電流は信号
光電流から差し引かれ、影響を与えないレベルである直
流電流及び信号光電流の過剰雑音成分を有する出力信号
を発生させる。
【００２６】サンプル光電流は常に信号光電流よりも大
きく、又、差動ペアの分割比は電子制御を受けるので電
子回路の１箇所の調整だけでサンプル光電流と信号光電
流を平衡にさせることができる。光学システムの他の箇
所の調整、又は信号或いはサンプル・チャネルの利得の
調整は不用である。
きく、又、差動ペアの分割比は電子制御を受けるので電
子回路の１箇所の調整だけでサンプル光電流と信号光電
流を平衡にさせることができる。光学システムの他の箇
所の調整、又は信号或いはサンプル・チャネルの利得の
調整は不用である。
【００２７】本発明の第２実施例では、サンプル光電流
及び信号光電流の平衡を制御する調整はネガティブ・フ
ィードバックを利用し、それぞれの直流成分の差を０に
確実に維持する。この実施例については図３で後述説明
する。
及び信号光電流の平衡を制御する調整はネガティブ・フ
ィードバックを利用し、それぞれの直流成分の差を０に
確実に維持する。この実施例については図３で後述説明
する。
【００２８】図２は、図１で検出器１２２として利用さ
れる例示回路を図式化したもので一部はブロツク図であ
る。この例示検出器では信号フォトダイオード２１０及
びサンプル・フォトダイオード２１２はそれぞれ修正信
号ビーム１２８’及びサンプル・ビーム１２６によって
活性化され、動作電圧のソース２０５及び２０７によっ
てそれぞれ供給される電流を流す。信号フォトダイオー
ド２１０を通る光電流からトランジスタＱ２のコレクタ
電流ＩC2を差し引いた光電流は普通のトランスレジスタ
ンス増幅器Ａ１の総和接続点に流れる。増幅器Ａ１は総
和接続点での正味電流を検出器１２２の線形出力信号で
ある電圧信号ＬＯに変換する。
れる例示回路を図式化したもので一部はブロツク図であ
る。この例示検出器では信号フォトダイオード２１０及
びサンプル・フォトダイオード２１２はそれぞれ修正信
号ビーム１２８’及びサンプル・ビーム１２６によって
活性化され、動作電圧のソース２０５及び２０７によっ
てそれぞれ供給される電流を流す。信号フォトダイオー
ド２１０を通る光電流からトランジスタＱ２のコレクタ
電流ＩC2を差し引いた光電流は普通のトランスレジスタ
ンス増幅器Ａ１の総和接続点に流れる。増幅器Ａ１は総
和接続点での正味電流を検出器１２２の線形出力信号で
ある電圧信号ＬＯに変換する。
【００２９】それぞれのソース２０５及び２０７によっ
て供給される動作電位は使用される光検出器のタイプに
よって異なる。例示実施例では光検出器の信号フォトダ
イオード２１０及びサンプル・フォトダイオード２１２
はシリコンＰＩＮダイオードで、ソース２０５及び２０
７はそれぞれ＋１２Ｖ及び−１２Ｖを供給する。
て供給される動作電位は使用される光検出器のタイプに
よって異なる。例示実施例では光検出器の信号フォトダ
イオード２１０及びサンプル・フォトダイオード２１２
はシリコンＰＩＮダイオードで、ソース２０５及び２０
７はそれぞれ＋１２Ｖ及び−１２Ｖを供給する。
【００３０】サンプル・フォトダイオード２１２を通過
するサンプル光電流は差動ペアとして設定された一対の
バイポーラ・トランジスタＱ１及びＱ２のエミッタに流
れる。本発明の例示実施例ではトランジスタＱ１及びＱ
２は約５ＧＨｚの電流利得帯域幅積（ｆT）を有する高
速、整合トランジスタである。トランジスタＱ１のコレ
クタとベースは基準電位（例：大地）のソースに結合さ
れ、トランジスタＱ２のベースはバイアス電位の電圧ソ
ース２１４のターミナルに結合される。バイアス電位の
電圧ソース２１４の極性は１つのターミナルは接地さ
れ、片方のターミナルはトランジスタＱ２のベースに結
合されている。
するサンプル光電流は差動ペアとして設定された一対の
バイポーラ・トランジスタＱ１及びＱ２のエミッタに流
れる。本発明の例示実施例ではトランジスタＱ１及びＱ
２は約５ＧＨｚの電流利得帯域幅積（ｆT）を有する高
速、整合トランジスタである。トランジスタＱ１のコレ
クタとベースは基準電位（例：大地）のソースに結合さ
れ、トランジスタＱ２のベースはバイアス電位の電圧ソ
ース２１４のターミナルに結合される。バイアス電位の
電圧ソース２１４の極性は１つのターミナルは接地さ
れ、片方のターミナルはトランジスタＱ２のベースに結
合されている。
【００３１】トランジスタＱ１のベースが接地されてい
ることは重要ではない。代替構成としては、トランジス
タＱ２のベースは接地され、トランジスタＱ１のベース
はＱ１のコレクタとは結合しない。この場合、トランジ
スタＱ２のコレクタはより高い電位のソースに結合され
トランジスタＱ１のベースに電流が流れる。図１に示す
回路構成の基本的な特徴はトランジスタＱ１及びＱ２の
ベース間に差動電位が印加され、この差動電位が総和接
合点２２０に印加されるサンプル光電流の割合を制御す
る。
ることは重要ではない。代替構成としては、トランジス
タＱ２のベースは接地され、トランジスタＱ１のベース
はＱ１のコレクタとは結合しない。この場合、トランジ
スタＱ２のコレクタはより高い電位のソースに結合され
トランジスタＱ１のベースに電流が流れる。図１に示す
回路構成の基本的な特徴はトランジスタＱ１及びＱ２の
ベース間に差動電位が印加され、この差動電位が総和接
合点２２０に印加されるサンプル光電流の割合を制御す
る。
【００３２】本発明のこの実施例ではバイポーラ・トラ
ンジスタが使用されているが、電界効果トランジスタの
ような他の可変伝導素子が電流分割オペレーションを実
行する同様な回路構成として使用されることが考えられ
る。
ンジスタが使用されているが、電界効果トランジスタの
ような他の可変伝導素子が電流分割オペレーションを実
行する同様な回路構成として使用されることが考えられ
る。
【００３３】動作において、サンプル光電流の一部であ
るＩC2はトランジスタＱ２を介して総和接合点２２０に
送られ、一方、サンプル光電流の残りであるＩC1は大地
に分流する。前に説明したように、この光学システムは
サンプル・ビームが信号ビームより大きくなるように設
定されているので、サンプル光電流は常に信号光電流よ
り大きい。本発明の実施例では電流ＩC2の直流成分の大
きさは、過剰なサンプル光電流を大地に逃がすことで信
号光電流の直流成分の大きさと実質的に等しくなるよう
に制御される。
るＩC2はトランジスタＱ２を介して総和接合点２２０に
送られ、一方、サンプル光電流の残りであるＩC1は大地
に分流する。前に説明したように、この光学システムは
サンプル・ビームが信号ビームより大きくなるように設
定されているので、サンプル光電流は常に信号光電流よ
り大きい。本発明の実施例では電流ＩC2の直流成分の大
きさは、過剰なサンプル光電流を大地に逃がすことで信
号光電流の直流成分の大きさと実質的に等しくなるよう
に制御される。
【００３４】電圧ソース２１４で発生する電位△ＶBEは
トランジスタＱ１及びＱ２のそれぞれのベース−エミッ
タ電圧ＶBEの差を示す。２つのバイポーラ・トランジス
タＱ１及びＱ２についてＥｂｅｒｓ−Ｍｏｌｌモデルを
用いると、各トランジスタを通過するそれぞれのコレク
タ電流ＩC1及びＩC2は式（１）によって定義される。
トランジスタＱ１及びＱ２のそれぞれのベース−エミッ
タ電圧ＶBEの差を示す。２つのバイポーラ・トランジス
タＱ１及びＱ２についてＥｂｅｒｓ−Ｍｏｌｌモデルを
用いると、各トランジスタを通過するそれぞれのコレク
タ電流ＩC1及びＩC2は式（１）によって定義される。
【００３５】
【数１】
【００３６】ここでｑは電子電荷、Ｔは絶対温度、ｋは
ボルツマン定数である。このように△ＶBEを変えること
により増幅器Ａ１の総和接合点２２０に流れるサンプル
光電流の一部を電子的に制御することができる。
ボルツマン定数である。このように△ＶBEを変えること
により増幅器Ａ１の総和接合点２２０に流れるサンプル
光電流の一部を電子的に制御することができる。
【００３７】実際の回路では電圧ソース２１４の電圧は
変えることができるので手動調整して増幅器Ａ１によっ
て供給される信号ＬＯの直流レベルを０にすることがで
きる。総和接合点２２０に流れるサンプル光電流の直流
成分を制御することにより、図２に示す回路はレーザ・
ビームの雑音成分及び直流成分を出力信号ＬＯ内におい
て消去する。しかしながら、前に説明したように光電流
のショット雑音成分とは相関性が無いので、光電流のシ
ョット雑音成分は出力信号ＬＯと付加的に結合する。こ
のように出力信号ＬＯの雑音基底は信号光電流のショッ
ト雑音レベルを上回る約３ｄｂに制限される。しかしな
がら出力信号ＬＯの帯域幅は増幅器Ａ１の帯域幅によっ
て制限される。従って最適な特性を得るには、かなり広
い帯域幅を有し、増幅した信号に加わる雑音が最小にな
るような増幅器を選択することが望ましい。
変えることができるので手動調整して増幅器Ａ１によっ
て供給される信号ＬＯの直流レベルを０にすることがで
きる。総和接合点２２０に流れるサンプル光電流の直流
成分を制御することにより、図２に示す回路はレーザ・
ビームの雑音成分及び直流成分を出力信号ＬＯ内におい
て消去する。しかしながら、前に説明したように光電流
のショット雑音成分とは相関性が無いので、光電流のシ
ョット雑音成分は出力信号ＬＯと付加的に結合する。こ
のように出力信号ＬＯの雑音基底は信号光電流のショッ
ト雑音レベルを上回る約３ｄｂに制限される。しかしな
がら出力信号ＬＯの帯域幅は増幅器Ａ１の帯域幅によっ
て制限される。従って最適な特性を得るには、かなり広
い帯域幅を有し、増幅した信号に加わる雑音が最小にな
るような増幅器を選択することが望ましい。
【００３８】トランジスタＱ１及びＱ２のコレクタ電流
は電圧△ＶBEの指数関数なのでトランジスタＱ１及びＱ
２のトランスコンダクタンスは各々のコレクタ電流に比
例する。従ってサンプル光電流中のゆらぎ電流は実質的
に直流成分と同じ比率で分割される。このようにして光
電流の直流成分を消去するので入射レーザ・ビームの過
剰な雑音成分に関する信号及びサンプルの光電流におけ
る全変化もまた消去されることになる。
は電圧△ＶBEの指数関数なのでトランジスタＱ１及びＱ
２のトランスコンダクタンスは各々のコレクタ電流に比
例する。従ってサンプル光電流中のゆらぎ電流は実質的
に直流成分と同じ比率で分割される。このようにして光
電流の直流成分を消去するので入射レーザ・ビームの過
剰な雑音成分に関する信号及びサンプルの光電流におけ
る全変化もまた消去されることになる。
【００３９】図３は、図２で示した回路の他の実施例を
図式化したもので一部はブロック図である。図３の回路
はトランジスタＱ１及びＱ２で実行される電流分割を制
御するためにフィードバック・ループを有し、信号光電
流の直流成分の消去及び同様に雑音成分の消去を行な
う。
図式化したもので一部はブロック図である。図３の回路
はトランジスタＱ１及びＱ２で実行される電流分割を制
御するためにフィードバック・ループを有し、信号光電
流の直流成分の消去及び同様に雑音成分の消去を行な
う。
【００４０】図３に示す回路においてトランジスタＱ３
がカスコード・ステージとして挿入され、トランスレジ
スタンス増幅器Ａ１の総和接合点を信号フォトダイオー
ド２１０の容量から分離する。この容量は増幅器動作を
不安定にすることで周知されている。
がカスコード・ステージとして挿入され、トランスレジ
スタンス増幅器Ａ１の総和接合点を信号フォトダイオー
ド２１０の容量から分離する。この容量は増幅器動作を
不安定にすることで周知されている。
【００４１】図３で示す回路のフィードバック・ループ
は抵抗３１２、コンデンサ３１０、及び演算増幅器Ａ２
を含む積分サーボ増幅器を有する。本発明の見本実施例
におけるフィードバック・ループの周波数帯域幅は約１
０Ｈｚである。本発明の実施例ではこの周波数帯域幅
は、抵抗３１２及びコンデンサ３１０の値及び抵抗３１
４、３１６で形成する電圧分割回路によって減じられる
フィードバック・ループの利得によって決まる。本発明
者は差動信号の直流成分に影響する信号光電流のかなり
低い周波数のドリフトをトラッキングするのに多くの場
合、上記の帯域幅で十分であることが判った。しかしな
がら、コンデンサ３１０及び抵抗３１２、３１４、３１
６の異なる構成値を選ぶことにより、この帯域幅は狭く
にも、広くにもすることができる。
は抵抗３１２、コンデンサ３１０、及び演算増幅器Ａ２
を含む積分サーボ増幅器を有する。本発明の見本実施例
におけるフィードバック・ループの周波数帯域幅は約１
０Ｈｚである。本発明の実施例ではこの周波数帯域幅
は、抵抗３１２及びコンデンサ３１０の値及び抵抗３１
４、３１６で形成する電圧分割回路によって減じられる
フィードバック・ループの利得によって決まる。本発明
者は差動信号の直流成分に影響する信号光電流のかなり
低い周波数のドリフトをトラッキングするのに多くの場
合、上記の帯域幅で十分であることが判った。しかしな
がら、コンデンサ３１０及び抵抗３１２、３１４、３１
６の異なる構成値を選ぶことにより、この帯域幅は狭く
にも、広くにもすることができる。
【００４２】図３に示す回路構成は、トランジスタＱ２
を通るサンプル光電流の一部と、カスコード・トランジ
スタＱ３を通過する光電流間の平衡を維持し、２つの光
電流のショット雑音成分以外の全てを実質的に十分に消
去する。この回路は、フィードバック・ループの帯域幅
に拘らず非常に高い高周波を取り除くのに効果的であ
る。なぜなら、前に説明したようにサンプル及び信号の
光電流に関係する同時性の雑音変動は実質的にそれぞれ
の直流レベルに比例するからである。雑音の消去帯域幅
の制限幅はトランジスタＱ１、Ｑ２、Ｑ３の単位利得周
波数（ｆT ）で決まる。
を通るサンプル光電流の一部と、カスコード・トランジ
スタＱ３を通過する光電流間の平衡を維持し、２つの光
電流のショット雑音成分以外の全てを実質的に十分に消
去する。この回路は、フィードバック・ループの帯域幅
に拘らず非常に高い高周波を取り除くのに効果的であ
る。なぜなら、前に説明したようにサンプル及び信号の
光電流に関係する同時性の雑音変動は実質的にそれぞれ
の直流レベルに比例するからである。雑音の消去帯域幅
の制限幅はトランジスタＱ１、Ｑ２、Ｑ３の単位利得周
波数（ｆT ）で決まる。
【００４３】さらにこの回路の利点として、トランジス
タＱ１及びＱ２の電圧△ＶBEは検出器１２２から他の出
力信号を提供する。図３で示す本発明の実施例におい
て、この信号は大地を基準電圧としてトランジスタＱ２
のベース電圧に比例する。演算増幅器Ａ２の出力ターミ
ナルで得られる出力信号ＬＯＧＯはトランジスタＱ１及
びＱ２の電圧△ＶBEに比例する。ＬＯＧＯは電圧△ＶBE
に比例するが、その割合は抵抗３１４と３１６の合計値
と抵抗３１６の値との比である。
タＱ１及びＱ２の電圧△ＶBEは検出器１２２から他の出
力信号を提供する。図３で示す本発明の実施例におい
て、この信号は大地を基準電圧としてトランジスタＱ２
のベース電圧に比例する。演算増幅器Ａ２の出力ターミ
ナルで得られる出力信号ＬＯＧＯはトランジスタＱ１及
びＱ２の電圧△ＶBEに比例する。ＬＯＧＯは電圧△ＶBE
に比例するが、その割合は抵抗３１４と３１６の合計値
と抵抗３１６の値との比である。
【００４４】ＬＯＧＯはサンプル電流と信号電流との比
に関係するので、Ｅｂｅｒｓ−Ｍｏｌｌの式により、Ｌ
ＯＧＯは式（２）で表すことができる。
に関係するので、Ｅｂｅｒｓ−Ｍｏｌｌの式により、Ｌ
ＯＧＯは式（２）で表すことができる。
【００４５】
【数２】
【００４６】仮にこの信号ＬＯＧＯが検出器の出力信号
として使用されると検出器の特性は前に説明した分割雑
音消去回路と同様な働きをする。これは信号電流の相互
変調雑音は信号ＬＯＧＯで抑制されるからであり、その
理由はＬＯＧＯの振幅は信号光電流（Ｉsignal）対サン
プル光電流（Ｉsample）の比だけによるからである。
として使用されると検出器の特性は前に説明した分割雑
音消去回路と同様な働きをする。これは信号電流の相互
変調雑音は信号ＬＯＧＯで抑制されるからであり、その
理由はＬＯＧＯの振幅は信号光電流（Ｉsignal）対サン
プル光電流（Ｉsample）の比だけによるからである。
【００４７】ＬＯＧＯ出力信号の重要な特徴は分割回路
の出力と違い、信号ＬＯＧＯの雑音レベルはフィードバ
ック・ループの帯域幅が接近しても増加しない。これは
直流消去が関与する全周波数における付加雑音の消去を
効果的に保証するからである。但し、雑音相互変調の抑
制だけは減ずる。対照的に従来の分割回路では出力信号
の過剰雑音のレベルはフィードバック・ループの帯域幅
を外れる周波数で増加する。
の出力と違い、信号ＬＯＧＯの雑音レベルはフィードバ
ック・ループの帯域幅が接近しても増加しない。これは
直流消去が関与する全周波数における付加雑音の消去を
効果的に保証するからである。但し、雑音相互変調の抑
制だけは減ずる。対照的に従来の分割回路では出力信号
の過剰雑音のレベルはフィードバック・ループの帯域幅
を外れる周波数で増加する。
【００４８】ＬＯＧＯ出力信号の帯域幅はフィードバッ
ク・ループの帯域幅によって制限されるので積分サーボ
増幅器のコンデンサ３１０又は抵抗３１２の値、或いは
両方の値を減じて時定数を減らすのが好ましい。
ク・ループの帯域幅によって制限されるので積分サーボ
増幅器のコンデンサ３１０又は抵抗３１２の値、或いは
両方の値を減じて時定数を減らすのが好ましい。
【００４９】トランジスタＱ１及びＱ２は整合トランジ
スタであることは説明済みであるが、出力信号ＬＯＧＯ
に苛酷な温度特性を必要としない場合は不整合のトラン
ジスタを使用できる。図３に示す回路は不整合のトラン
ジスタを使用した良い実施例で、各トランジスタは約５
ＧＨｚの単位利得周波数（ｆT）を有する。低い単位利
得周波数（ｆT）を有する異なるタイプのトランジスタ
を使用しても良好な特性を得ることができる。
スタであることは説明済みであるが、出力信号ＬＯＧＯ
に苛酷な温度特性を必要としない場合は不整合のトラン
ジスタを使用できる。図３に示す回路は不整合のトラン
ジスタを使用した良い実施例で、各トランジスタは約５
ＧＨｚの単位利得周波数（ｆT）を有する。低い単位利
得周波数（ｆT）を有する異なるタイプのトランジスタ
を使用しても良好な特性を得ることができる。
【００５０】様々な使用方法において前述の回路による
雑音特性の大幅な改善が行なわれる。しかしながら、あ
る用途の使用ではさらに低い雑音基底が望まれる。この
ような例としては生物試料の測定で、光の最大線量が限
定される。
雑音特性の大幅な改善が行なわれる。しかしながら、あ
る用途の使用ではさらに低い雑音基底が望まれる。この
ような例としては生物試料の測定で、光の最大線量が限
定される。
【００５１】図４は、図２で示す回路の変形を例示し、
出力信号の雑音基底はショット雑音レベルを上回る約１
ｄｂほど減じられる。この図４の実施例において図１に
示すビーム・サンプラ１１６は、サンプル・ビーム１２
６が修正信号ビーム１２８’の４倍のパワーが得られる
ように選択される。前に説明したようにビーム・サンプ
ラ１１６によって反射される入射ビーム１１１の比率は
選ばれたアプリケーションによる信号ビームの損失程度
で決まる。
出力信号の雑音基底はショット雑音レベルを上回る約１
ｄｂほど減じられる。この図４の実施例において図１に
示すビーム・サンプラ１１６は、サンプル・ビーム１２
６が修正信号ビーム１２８’の４倍のパワーが得られる
ように選択される。前に説明したようにビーム・サンプ
ラ１１６によって反射される入射ビーム１１１の比率は
選ばれたアプリケーションによる信号ビームの損失程度
で決まる。
【００５２】サンプル・ビーム１２６がフォトダイオー
ド２１２によって検出されると、サンプル光電流が生ず
る。このサンプル光電流は図２及び図３で示す実施例に
よって生じるサンプル光電流の信号対ショット雑音比よ
り６ｄｂ大きい信号対ショット雑音比を有する。
ド２１２によって検出されると、サンプル光電流が生ず
る。このサンプル光電流は図２及び図３で示す実施例に
よって生じるサンプル光電流の信号対ショット雑音比よ
り６ｄｂ大きい信号対ショット雑音比を有する。
【００５３】図４で示す本発明の例示実施例は、トラン
ジスタＱ２のコレタクと総和接合点２２０間に抵抗４１
０と４１２を有する抵抗回路網の挿入、及び電圧ソース
４１４がトランジスタＱ１のベースと大地間に挿入され
ている以外は図２と同様である。
ジスタＱ２のコレタクと総和接合点２２０間に抵抗４１
０と４１２を有する抵抗回路網の挿入、及び電圧ソース
４１４がトランジスタＱ１のベースと大地間に挿入され
ている以外は図２と同様である。
【００５４】抵抗４１０と４１２がサンプル光電流の３
／４を大地に逃がすので検出サンプル光電流の１／４の
みが総和接合点２２０に流れる。電圧ソース２１４がト
ランジスタＱ１のバイアス電圧の役目をするので実質的
に信号光電流の４倍である電流ＩC2'はトランジスタＱ
２を流れることができる。前に説明したように電圧ソー
ス２１４は可変電圧ソースで出力信号ＬＯ’の直流レベ
ルを０に調整することができ、又はサーボ増幅器を含む
図３のフィードバック・システムで置き換えることがで
きる。
／４を大地に逃がすので検出サンプル光電流の１／４の
みが総和接合点２２０に流れる。電圧ソース２１４がト
ランジスタＱ１のバイアス電圧の役目をするので実質的
に信号光電流の４倍である電流ＩC2'はトランジスタＱ
２を流れることができる。前に説明したように電圧ソー
ス２１４は可変電圧ソースで出力信号ＬＯ’の直流レベ
ルを０に調整することができ、又はサーボ増幅器を含む
図３のフィードバック・システムで置き換えることがで
きる。
【００５５】前述のように本発明の実施例の総和接合点
２２０に印加する再分割されたサンプル光電流の信号対
ショット雑音比は図２、図３の実施例の総和接合点２２
０に印加するサンプル光電流の信号対ショット雑音比よ
り６ｄｂ高い。抵抗回路網は再分割されたサンプル電流
の信号対ショット雑音比を低下させない。従って、総和
接合点２２０における信号及びサンプルの光電流の相関
関係のないショット雑音成分の総計は信号光電流のショ
ット雑音成分より約１ｄｂほど高いだけである。
２２０に印加する再分割されたサンプル光電流の信号対
ショット雑音比は図２、図３の実施例の総和接合点２２
０に印加するサンプル光電流の信号対ショット雑音比よ
り６ｄｂ高い。抵抗回路網は再分割されたサンプル電流
の信号対ショット雑音比を低下させない。従って、総和
接合点２２０における信号及びサンプルの光電流の相関
関係のないショット雑音成分の総計は信号光電流のショ
ット雑音成分より約１ｄｂほど高いだけである。
【００５６】信号とサンプルのビーム比でより大きい比
率を選ぶことによりさらに大きいショット雑音低下を得
ることができる。出力信号ＬＯ’の雑音成分のこの低下
における不利な点は修正信号ビーム１２８’はサンプル
・ビーム１２６の１／４だけであることである。大きな
分割比を選んでも信号電流を過度に弱めるのであれば明
らかに無意味である。
率を選ぶことによりさらに大きいショット雑音低下を得
ることができる。出力信号ＬＯ’の雑音成分のこの低下
における不利な点は修正信号ビーム１２８’はサンプル
・ビーム１２６の１／４だけであることである。大きな
分割比を選んでも信号電流を過度に弱めるのであれば明
らかに無意味である。
【００５７】本発明のさらに他の実施例において、サン
プル光電流が信号光電流よりかなり大きい場合、図２に
おいて、トランジスタＱ１及びＱ２それぞれのエミッタ
と、接合点２２２間で順方向にバイアス設定された互い
に同数の又はそれ以上のダイオード（図示されていな
い）の結合によって回路が修正される。これらのダイオ
ードは電流ＩC1及びＩC2に相互関連するフィードバック
電圧を供給し、図４の回路と実質的に同様なショット雑
音低下効果を実行する。
プル光電流が信号光電流よりかなり大きい場合、図２に
おいて、トランジスタＱ１及びＱ２それぞれのエミッタ
と、接合点２２２間で順方向にバイアス設定された互い
に同数の又はそれ以上のダイオード（図示されていな
い）の結合によって回路が修正される。これらのダイオ
ードは電流ＩC1及びＩC2に相互関連するフィードバック
電圧を供給し、図４の回路と実質的に同様なショット雑
音低下効果を実行する。
【００５８】図４に示すシステムで光学システムの損失
が大きいとしても、信号ビームからのサンプル・ビーム
の分割は信号ビームをそれほど弱めない。他のシステム
において過剰なレーザ・パワーが利用できると仮定する
場合、サンプル・ビームは信号ビームの効果を減ずるこ
となしに信号ビームよりもかなり強力なビームとなる。
が大きいとしても、信号ビームからのサンプル・ビーム
の分割は信号ビームをそれほど弱めない。他のシステム
において過剰なレーザ・パワーが利用できると仮定する
場合、サンプル・ビームは信号ビームの効果を減ずるこ
となしに信号ビームよりもかなり強力なビームとなる。
【００５９】使用するレーザが弱く、精度の高い光学シ
ステムにおいてはサンプル・ビームと信号ビームの最適
な比率を知ることが重要である。最適な比率を選択する
方法において抵抗４１０及び４１２で形成する抵抗分割
器による雑音は無であると仮定する。トランジスタＱ１
で消費される電流は無視し、及び出力信号ＬＯの雑音対
信号比はサンプル及び信号の光電流の雑音対信号比の二
乗平均平方根値であるとする。これらの仮定において、
ビーム・サンプラ１１６の最適な出力反射率をΓopt、
ビーム・サンプラによって与えられる光学システムを通
過する信号ビームの任意の出力効率をｐｅとすると、次
式（３）が与えられる。
ステムにおいてはサンプル・ビームと信号ビームの最適
な比率を知ることが重要である。最適な比率を選択する
方法において抵抗４１０及び４１２で形成する抵抗分割
器による雑音は無であると仮定する。トランジスタＱ１
で消費される電流は無視し、及び出力信号ＬＯの雑音対
信号比はサンプル及び信号の光電流の雑音対信号比の二
乗平均平方根値であるとする。これらの仮定において、
ビーム・サンプラ１１６の最適な出力反射率をΓopt、
ビーム・サンプラによって与えられる光学システムを通
過する信号ビームの任意の出力効率をｐｅとすると、次
式（３）が与えられる。
【００６０】
【数３】
【００６１】仮にｐｅが限りなく１に近いとすると、Γ
opt は約１／２であり、一方、ｐｅが限りなく１より小
さいとするとΓopt はおよそｐｅの平方根である。光学
システム全体に適用する無雑音のレーザを有する理想的
なシステムと比較する最適化システムのデシベル単位で
ある雑音損失ＮＦは次式（４）で与えられる。
opt は約１／２であり、一方、ｐｅが限りなく１より小
さいとするとΓopt はおよそｐｅの平方根である。光学
システム全体に適用する無雑音のレーザを有する理想的
なシステムと比較する最適化システムのデシベル単位で
ある雑音損失ＮＦは次式（４）で与えられる。
【００６２】
【数４】
【００６３】効率上、サンプル電流の比率、つまりトラ
ンジスタＱ１を通して大地に流れる電流は可能な限り小
さいほど良い。従って、前述の全ての実施例において、
サンプル・ビームは例として、信号光電流を打ち消すの
に必要な、信号ビームの１０％〜１００％増しの大きさ
に制限されるべきである。
ンジスタＱ１を通して大地に流れる電流は可能な限り小
さいほど良い。従って、前述の全ての実施例において、
サンプル・ビームは例として、信号光電流を打ち消すの
に必要な、信号ビームの１０％〜１００％増しの大きさ
に制限されるべきである。
【００６４】前述の実施例においては、電流分割回路は
サンプル光電流で動作するように設定されている。しか
しながら、次のようなことが考えられる。トランジスタ
Ｑ１及びＱ２への逆極性である差動ペアのトランジスタ
（図示されていない）が、トランジスタＱ１及びＱ２が
サンプル光電流を再分割するのと同じように、信号光電
流を分割するのに利用される。２つの電流分割器は図３
に示すようなフィードバック構成として使用されること
がさらに考えられる。１つの極性の出力信号が信号光電
流を得るために結合された電流分割器に印加され、一
方、もう１つの極性の出力信号は、サンプル光電流を得
るために電流分割器に印加されている。この機器構成は
検出器で最大信号ビーム強度を決めるのが難しい場合に
適している。
サンプル光電流で動作するように設定されている。しか
しながら、次のようなことが考えられる。トランジスタ
Ｑ１及びＱ２への逆極性である差動ペアのトランジスタ
（図示されていない）が、トランジスタＱ１及びＱ２が
サンプル光電流を再分割するのと同じように、信号光電
流を分割するのに利用される。２つの電流分割器は図３
に示すようなフィードバック構成として使用されること
がさらに考えられる。１つの極性の出力信号が信号光電
流を得るために結合された電流分割器に印加され、一
方、もう１つの極性の出力信号は、サンプル光電流を得
るために電流分割器に印加されている。この機器構成は
検出器で最大信号ビーム強度を決めるのが難しい場合に
適している。
【００６５】上記の雑音抑制システムは電子装置である
が、主な応用例は光学システムである。レーザ基調の光
学システムの多くは、過剰なレーザ雑音及びドリフトを
被りやすい。これらの逸脱の影響を減らすのに大胆な方
策が講じられる。
が、主な応用例は光学システムである。レーザ基調の光
学システムの多くは、過剰なレーザ雑音及びドリフトを
被りやすい。これらの逸脱の影響を減らすのに大胆な方
策が講じられる。
【００６６】この雑音抑制システムの潜在的応用例で
は、塩化鉛ダイオード・レーザを用いた赤外吸収分光
学、走査光学顕微鏡検査によるフォトレジストの相特性
の検出及び径０．１ミクロン以下の粒子の検出、光散乱
又は吸光によるサブミクロン・エアゾール粒子のホモダ
イン検出、応力誘導複屈折検出による薄膜フイルムの残
留応力の検出、及び熱反射率による温度測定、等があ
る。本発明による雑音抑制システムはコヒーレント検出
ＬＩＤＡＲ（光学レーダ）、生物試料片のレーザ走査顕
微鏡検査、及び多様な干渉学等、特にフリンジ・トラッ
キングを含む分野に利点がある。
は、塩化鉛ダイオード・レーザを用いた赤外吸収分光
学、走査光学顕微鏡検査によるフォトレジストの相特性
の検出及び径０．１ミクロン以下の粒子の検出、光散乱
又は吸光によるサブミクロン・エアゾール粒子のホモダ
イン検出、応力誘導複屈折検出による薄膜フイルムの残
留応力の検出、及び熱反射率による温度測定、等があ
る。本発明による雑音抑制システムはコヒーレント検出
ＬＩＤＡＲ（光学レーダ）、生物試料片のレーザ走査顕
微鏡検査、及び多様な干渉学等、特にフリンジ・トラッ
キングを含む分野に利点がある。
【００６７】これらのシステム全ては一般に、大きなバ
ックグラウンドに対して小さな信号の測定を行なう必要
がある。これらのシステム（例：ダイオード・レーザ顕
微鏡検査）は、有効なレーザ出力が小さいために最適化
が重要である。
ックグラウンドに対して小さな信号の測定を行なう必要
がある。これらのシステム（例：ダイオード・レーザ顕
微鏡検査）は、有効なレーザ出力が小さいために最適化
が重要である。
【００６８】上記で説明した雑音抑制システムは、検出
レーザ信号の雑音成分を低下させる要素が大きいため、
避けねばならない微妙な落し穴がある。このような落し
穴は、ビームの断面の異なる部分でレーザ雑音のレベル
に相違があるために、及び異なる偏光状態が存在するた
めに生ずる。
レーザ信号の雑音成分を低下させる要素が大きいため、
避けねばならない微妙な落し穴がある。このような落し
穴は、ビームの断面の異なる部分でレーザ雑音のレベル
に相違があるために、及び異なる偏光状態が存在するた
めに生ずる。
【００６９】ある種のダイオード・レーザでは、例えば
エキシビット位置依存雑音はダイオード・レーザ共振子
のかなり低い精細な動きに起因する。それゆえに、これ
らのレーザは一般のガス・レーザと比べて高次のガウス
モードには不向きである。ビーム全体で雑音レベルの変
動を示すレーザでは、信号及びサンプルの検出器はビー
ム断面全体を捉えることが非常に大切である。異なる偏
光状態で異なる雑音レベルを示すレーザではサンプル及
び信号のビームをレーザで発生したビームの同一偏光成
分から生じさせるためにレーザ出力に偏波器を加えるこ
とが望ましい。
エキシビット位置依存雑音はダイオード・レーザ共振子
のかなり低い精細な動きに起因する。それゆえに、これ
らのレーザは一般のガス・レーザと比べて高次のガウス
モードには不向きである。ビーム全体で雑音レベルの変
動を示すレーザでは、信号及びサンプルの検出器はビー
ム断面全体を捉えることが非常に大切である。異なる偏
光状態で異なる雑音レベルを示すレーザではサンプル及
び信号のビームをレーザで発生したビームの同一偏光成
分から生じさせるためにレーザ出力に偏波器を加えるこ
とが望ましい。
【００７０】本発明は、３例の見本実施例で説明された
が、この分野の専門家は上記で説明した概要が、付加す
る特許請求の趣旨及び範囲内での修正によって実施でき
ることが判るだろう。
が、この分野の専門家は上記で説明した概要が、付加す
る特許請求の趣旨及び範囲内での修正によって実施でき
ることが判るだろう。
【００７１】下記表に図２、図３、図４の回路を組み立
てるのに使用される部品の各値を示す。
てるのに使用される部品の各値を示す。
【００７２】 表１ トランジスタ Ｑ１、Ｑ２ ＭＲＦ９０４又は２Ｎ３９０４ トランジスタ Ｑ３ ＭＭ４０４９又は２Ｎ３９０６ 演算増幅器 Ａ１、Ａ２ ＯＰ−２７ 抵抗 Ｒf ５Ｋ オーム 抵抗 ３１４ １Ｋ オーム 抵抗 ３１６ ２５ オーム コンデンサ ３１０ ２ マイクロファラド フォトダイオード ２１０、２１２ ＢＦＷ３４（シーメンス社製）
【００７３】
【発明の効果】本発明によれば、レーザ光の好ましくな
い雑音信号成分を実質的に消去する全電子雑音消去回路
を用いたレーザ測定装置を実現することができる。
い雑音信号成分を実質的に消去する全電子雑音消去回路
を用いたレーザ測定装置を実現することができる。
【図１】本発明の実施例を含むレーザ分光装置のブロッ
ク図である。
ク図である。
【図２】図１の検出回路を示す本発明の第１実施例で、
一部がブロック図の系統図である。
一部がブロック図の系統図である。
【図３】図１の検出回路を示す本発明の第２実施例で、
一部がブロック図の系統図である。
一部がブロック図の系統図である。
【図４】図１の検出回路を示す本発明の第３実施例で、
一部がブロック図の系統図である。
一部がブロック図の系統図である。
Claims (2)
- 【請求項１】好ましくない雑音信号成分を含むレーザ光
を発生するレーザ光源と、前記レーザ光を信号ビーム及
びサンプル・ビームに分割するビーム・サンプラと、前
記信号ビームを、測定されるべき情報で変調する光学シ
ステムと、前記変調された信号ビーム及び前記サンプル
・ビームに応答して前記変調された信号ビームの情報成
分を表す出力信号を発生する検出装置とを有するレーザ
測定装置であって、 前記ビーム・サンプラは、前記サンプル・ビームが前記
信号ビームよりも強い光強度をもつように前記レーザ光
を分割し、 前記検出装置は、 前記変調された信号ビーム及び前記サンプル・ビーム
を、それぞれの光強度に比例した信号光電流及びサンプ
ル光電流にそれぞれ変換する第１及び第２の検出手段
と、 前記サンプル光電流を、前記信号光電流の直流成分と実
質的に等しい直流成分を有する第１のサンプル光電流成
分と、第２のサンプル光電流成分とに分割する電流分割
手段と、 前記第１のサンプル光電流成分及び前記信号光電流の直
流成分を消去するように前記第１のサンプル光電流成分
と前記信号光電流とを組み合わせ、前記変調された信号
ビームの情報成分を表す出力信号を発生する出力手段と
を有するレーザ測定装置。 - 【請求項２】前記検出装置が、前記出力手段の出力信号
に応答して前記第１のサンプル光電流成分及び前記信号
光電流の直流成分を平衡させるように前記電流分割手段
をバイアスするためのフィードバック回路を含む、請求
項１に記載のレーザ測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/594,178 US5134276A (en) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | Noise cancelling circuitry for optical systems with signal dividing and combining means |
| US594178 | 1990-10-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06341897A JPH06341897A (ja) | 1994-12-13 |
| JP2662113B2 true JP2662113B2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=24377849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3196065A Expired - Fee Related JP2662113B2 (ja) | 1990-10-09 | 1991-07-11 | レーザ測定装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5134276A (ja) |
| EP (1) | EP0480182A3 (ja) |
| JP (1) | JP2662113B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1991
- 1991-07-11 JP JP3196065A patent/JP2662113B2/ja not_active Expired - Fee Related
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