JP2656725B2 - Non-reciprocal circuit for microwave integrated circuit and method of manufacturing the same - Google Patents

Non-reciprocal circuit for microwave integrated circuit and method of manufacturing the same

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JP2656725B2 JP7368594A JP7368594A JP2656725B2 JP 2656725 B2 JP2656725 B2 JP 2656725B2 JP 7368594 A JP7368594 A JP 7368594A JP 7368594 A JP7368594 A JP 7368594A JP 2656725 B2 JP2656725 B2 JP 2656725B2
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ferrite
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はマイクロ波集積回路(以
下、MIC)用非可逆回路およびその製造方法に関し、
特にフェライト板に接合マイクロストリップ線路を形成
した構造のMIC用非可逆回路およびその製造方法に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a non-reciprocal circuit for a microwave integrated circuit (MIC) and a method for manufacturing the same.
In particular, the present invention relates to a nonreciprocal circuit for MIC having a structure in which a bonded microstrip line is formed on a ferrite plate, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のこの種のMIC用非可逆回路は、
フェライト板に接合マイクロストリップ線路を構成し、
この接合マイクロストリップ線路の接合部の近傍に磁石
を配置し、この磁石によって上記フェライト板にバイア
ス磁界を印加している。このMIC用非可逆回路は、一
般に、上記接合マイクロストリップ線路の接地導体を直
接または金属板を介して金属筐体に固定して使用する。
上記接地導体と上記金属板または上記金属筐体とは半田
づけによって電気的・機械的に接続され、また上記金属
板は上記金属筐体とネジ止めされる。このMIC用非可
逆回路は、別の混成集積回路またはモノリシック集積回
路の前段または中間段または終段にドロップインされて
用いられることが多い。
2. Description of the Related Art A conventional non-reciprocal circuit for an MIC of this type includes:
Construct a bonded microstrip line on a ferrite plate,
A magnet is arranged near the joint of the joined microstrip line, and a bias magnetic field is applied to the ferrite plate by the magnet. This non-reciprocal circuit for MIC is generally used by fixing the ground conductor of the bonded microstrip line directly or via a metal plate to a metal housing.
The ground conductor is electrically and mechanically connected to the metal plate or the metal housing by soldering, and the metal plate is screwed to the metal housing. This non-reciprocal circuit for MIC is often used by being dropped into a preceding, intermediate or final stage of another hybrid integrated circuit or monolithic integrated circuit.

【0003】この種のMIC用非可逆回路は、上記フェ
ライト板を単一の基板で構成することもあるが、また広
帯域化や低損失化等のために上記接合部だけに飽和磁化
値の異なる円形のフェライト板を用いることがある(例
えば、特許出願公告:平1−19281,公開特許公
報:昭60−4307,昭57−64903)。
In this type of non-reciprocal circuit for MIC, the ferrite plate may be constituted by a single substrate, but the saturation magnetization value differs only at the junction for widening the band and reducing the loss. In some cases, a circular ferrite plate is used (for example, Patent Application Publication: Hei 1-19281, Published Patent Publications: 60-4307, 57-64903).

【0004】しかし、これらのMIC用非可逆回路では
上記フェライト板の線膨張率と上記接合マイクロストリ
ップ線路の導体膜の線膨張率との違いにより上記フェラ
イト板の割れや上記導体膜の切断を生じることがあると
いう問題があり、この問題を解消するために特開平3−
22601の技術が開示されている。この技術では、上
記フェライト板と上記接合マイクロストリップ線路の導
体膜との間にチタンを介在させることにより、上記導体
膜の破損・変形および上記フェライト板の割れを防止し
ている。
However, in these nonreciprocal circuits for MIC, cracks in the ferrite plate and cutting of the conductor film occur due to the difference between the coefficient of linear expansion of the ferrite plate and the coefficient of linear expansion of the conductor film of the bonded microstrip line. There is a problem that the
No. 22601 is disclosed. In this technique, by interposing titanium between the ferrite plate and the conductor film of the bonded microstrip line, breakage / deformation of the conductor film and cracking of the ferrite plate are prevented.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のMIC
用非可逆回路は、上記フェライト板あるいは上記金属板
の平面度が悪い場合、特開平3−22601の技術よう
にチタンを付加するというような複雑な構成をとってさ
え、これを金属筐体に組込むときの組立ストレスにより
上記フェライト板に割れを生じやすいという問題があっ
た。
SUMMARY OF THE INVENTION The above-mentioned conventional MIC
The non-reciprocal circuit has a complicated structure such as adding titanium as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 3-22601 when the flatness of the ferrite plate or the metal plate is poor. There is a problem that the ferrite plate is liable to crack due to an assembly stress at the time of assembling.

【0006】また、このMIC用非可逆回路は、温度変
化の激しい場所で使用すると、上記フェライト板の線膨
張率と上記金属筐体の線膨張率との違いにより両者間に
ストレスを生じ、強度の弱い上記フェライト板に割れを
生じることがあるという問題があった。
Further, when the non-reciprocal circuit for MIC is used in a place where the temperature changes drastically, a stress is generated between the ferrite plate and the metal housing due to a difference between a linear expansion coefficient of the ferrite plate and a linear expansion coefficient of the metal housing. There is a problem that a crack may be generated in the ferrite plate having a low strength.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のマイクロ波集積
回路用非可逆回路は、フェライト板と、前記フェライト
板に形成した接合マイクロストリップ線路と、前記接合
マイクロストリップ線路の接合部の近傍に設置され前記
フェライト板にバイアス磁界を印加する磁石とを有する
マイクロ波集積回路用非可逆回路において、前記フェラ
イト板が、周辺が直線状をなすとともに互いの隣接面を
接着剤で接合したフェライト板小片の集合体である構成
を有する。
A nonreciprocal circuit for a microwave integrated circuit according to the present invention is provided near a ferrite plate, a junction microstrip line formed on the ferrite plate, and a junction of the junction microstrip line. In a non-reciprocal circuit for a microwave integrated circuit having a magnet that applies a bias magnetic field to the ferrite plate, the ferrite plate is a small piece of a ferrite plate having a periphery that is linear and whose adjacent surfaces are bonded to each other with an adhesive. It has a configuration that is an aggregate.

【0008】前記マイクロ波集積回路用非可逆回路の一
つは、前記フェライト板小片が、少なくとも前記フェラ
イト板の中心部においてほぼ正方形の周辺形状を有する
構成をとることができる。
[0008] One of the non-reciprocal circuits for a microwave integrated circuit may have a configuration in which the ferrite plate piece has a substantially square peripheral shape at least at the center of the ferrite plate.

【0009】また、本発明のマイクロ波集積回路用非可
逆回路の製造方法は、フェライト板を周辺が直線状をな
すフェライト板小片に分割するフェライト板分割工程
と、前記フェライト板小片を前記分割した面で接合し前
記フェライト板のもとの形状に復元した接合フェライト
板を作る接合フェライト板製造工程と、前記接合フェラ
イト板に接合マイクロストリップ線路を形成する接合マ
イクロストリップ線路形成工程と、前記接合フェライト
板にバイアス磁界を印加する磁石を前記接合マイクロス
トリップ線路の接合部の近傍に設置する磁石組立工程と
を少くとも有する。
Further, in the method of manufacturing a nonreciprocal circuit for a microwave integrated circuit according to the present invention, a ferrite plate dividing step of dividing a ferrite plate into ferrite plate small pieces having a linear periphery, and the ferrite plate small pieces are divided. A bonding ferrite plate manufacturing process for forming a bonding ferrite plate restored to the original shape of the ferrite plate by bonding at a surface, a bonding microstrip line forming process for forming a bonding microstrip line on the bonding ferrite plate, At least a magnet assembling step of installing a magnet for applying a bias magnetic field to the plate near the joint of the joined microstrip line.

【0010】前記マイクロ波集積回路用非可逆回路の製
造方法の一つは、前記フェライト板分割工程が、前記フ
ェライト板を少なくともその中心部において周辺形状が
ほぼ正方形のフェライト板小片に分割する工程をとるこ
とができる。
One of the methods for manufacturing the non-reciprocal circuit for a microwave integrated circuit includes a step of dividing the ferrite plate into small ferrite plate pieces having a substantially square peripheral shape at least at a central portion thereof. Can be taken.

【0011】[0011]

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
Next, the present invention will be described with reference to the drawings.

【0012】図1は本発明の一実施例の構造を示す図で
あり、(a)はアイソレータの主要部を示す斜視図、
(b)は(a)のアイソレータに用いた接合フェライト
基板10の平面図である。
FIG. 1 is a view showing the structure of an embodiment of the present invention, FIG. 1 (a) is a perspective view showing a main part of an isolator,
(B) is a plan view of the bonded ferrite substrate 10 used for the isolator of (a).

【0013】このアイソレータにおいて、マイクロ波信
号に対する非可逆特性を生じる主体となる接合フェライ
ト基板10は、フェリ磁性体である接合フェライト板1
の裏面の全面に亘って接地導体3を,その表面にストリ
ップ導体2を配したマイクロストリップ線路である。ス
トリップ導体2は、別の回路,例えばMIC回路への接
続端子である接続端2a,2bおよび2cを接合フェラ
イト板1の互いに異なる辺付近に設けている。これら接
続端2a,2bおよび2cからそれぞれ延長されたスト
リップ導体2は接合フェライト板1の接合部(結合部)
2dで結合しているので、接合フェライト基板10を接
合マイクロストリップ線路ともいう。ここで、接続端2
bはマイクロ波信号を吸収するチップ抵抗6に接続さ
れ、このチップ抵抗6は開放端2fでマイクロ波信号の
オープン端とされる開放導体2eにさらに接続されてい
る。なお、接合部2dの形状および面積は、このアイソ
レータの動作周波数に従う。
In this isolator, a bonded ferrite substrate 10 which mainly produces irreversible characteristics with respect to a microwave signal includes a bonded ferrite plate 1 made of a ferrimagnetic material.
Is a microstrip line in which a ground conductor 3 is arranged over the entire back surface and a strip conductor 2 is arranged on the front surface. The strip conductor 2 has connection terminals 2 a, 2 b and 2 c which are connection terminals to another circuit, for example, an MIC circuit, provided near different sides of the bonded ferrite plate 1. The strip conductors 2 extending from these connection ends 2a, 2b and 2c respectively are connected to a joint (joint) of the joint ferrite plate 1.
Since they are coupled by 2d, the bonded ferrite substrate 10 is also called a bonded microstrip line. Here, connection end 2
b is connected to a chip resistor 6 for absorbing a microwave signal, and this chip resistor 6 is further connected to an open conductor 2e which is an open end of the microwave signal at an open end 2f. The shape and area of the joint 2d follow the operating frequency of the isolator.

【0014】このアイソレータは、接合フェライト基板
10の接合部2dの面に対して垂直方向に、テフロン等
の低損失誘電体であるスペーサ4と磁石5とを順次積み
重ねている。磁石5は、接合フェライト板1にバイアス
磁界を印加しており、このアイソレータに非可逆性を生
じさせる。なお、接続端2bにチップ抵抗6を接続せ
ず、この端子2bを別の回路への接続端子とすれば、図
1の回路はサーキュレータとなる。
In this isolator, a spacer 4 which is a low-loss dielectric such as Teflon and a magnet 5 are sequentially stacked in a direction perpendicular to the surface of the joint 2d of the joint ferrite substrate 10. The magnet 5 applies a bias magnetic field to the bonded ferrite plate 1 and causes irreversibility in this isolator. If the chip resistor 6 is not connected to the connection end 2b and this terminal 2b is used as a connection terminal to another circuit, the circuit in FIG. 1 becomes a circulator.

【0015】図1(a)のアイソレータまたはサーキュ
レータ(これら二つを区別しないときには非可逆回路と
いう)は、一般に、接合フェライト基板10の接地導体
3を直接または黄銅等の金属板を介してアルミニゥム合
金等の金属筐体(図示せず)に固定して使用する。接地
導体3と上記金属板または上記金属筐体とは半田づけに
よって電気的・機械的に接続され、また上記金属板は上
記金属筐体にネジ止めされることが多い。
The isolator or circulator shown in FIG. 1A (hereinafter referred to as a nonreciprocal circuit when these two are not distinguished) is generally formed by connecting the ground conductor 3 of the bonded ferrite substrate 10 directly or through a metal plate such as brass to an aluminum alloy. It is used by fixing to a metal housing (not shown) such as The ground conductor 3 is electrically and mechanically connected to the metal plate or the metal housing by soldering, and the metal plate is often screwed to the metal housing.

【0016】図2は本実施例の接合フェライト基板10
に用いた接合フェライト板1の製造方法を説明する図で
ある。
FIG. 2 shows a bonded ferrite substrate 10 of this embodiment.
FIG. 4 is a view for explaining a method of manufacturing the bonded ferrite plate 1 used in the method.

【0017】接合フェライト板1は、周辺が直線状をな
すフェライト板小片1ij(iは1ないしmの整数、jは
1ないしnの整数,m+n≧3)の集合体であり、互い
の隣接面を接着剤7で接合しいる。本図の接合フェライ
ト板1は、16個のフェライト板小片1ij(つまりm=
n=4である)の集合体である。接着剤7には、軟質性
の高い接着剤,例えばエポキシ系樹脂や高分子系熱可塑
性接着剤(例えば、商品名:スティスチィック,テクノ
アルファ(株)販売)等が使用できるが、弾性係数の少
ない高分子系熱可塑性接着剤の使用が推奨される。
The joint ferrite plate 1 is an aggregate of ferrite plate pieces 1 ij (i is an integer of 1 to m, j is an integer of 1 to n, m + n ≧ 3) whose periphery is linear. The surfaces are joined with an adhesive 7. The joined ferrite plate 1 in this figure has 16 ferrite plate pieces 1 ij (that is, m =
n = 4). As the adhesive 7, an adhesive having high softness, for example, an epoxy resin or a polymer-based thermoplastic adhesive (for example, trade name: Stystic, sold by Techno Alpha Co., Ltd.) or the like can be used, but the elastic coefficient is small. The use of polymeric thermoplastic adhesives is recommended.

【0018】ここで、フェライト板小片1ijを周波数6
GHz帯のアイソレータ用として具体化すると、このフ
ェライト板小片1ijは、一辺が約4mm,厚さ約1mm
の正方形状であり、材質はY−Al系のYIG(例え
ば、商品名称:NEGAT,東北金属工業(株)製)で
ある。これら16個のフェライト板小片1ijの各各を接
着剤7にて正方形状に接合して接合フェライト板1を製
造する。なお、フェライト板小片1ijは、同一のフェラ
イト板から製作すると、つまり一辺が約16mm,厚さ
約1mmの正方形状のフェライト板をダイアモンドカッ
ター等で切断して製作すると、厚さの均一なものができ
て都合がよい。
Here, the ferrite plate piece 1 ij is set to a frequency of 6
When embodied for an isolator in the GHz band, this ferrite plate piece 1 ij has a side of about 4 mm and a thickness of about 1 mm.
And the material is Y-Al-based YIG (for example, trade name: NEGAT, manufactured by Tohoku Metal Industry Co., Ltd.). Each of these 16 ferrite plate pieces 1 ij is bonded in a square shape with an adhesive 7 to produce a bonded ferrite plate 1. Note that the ferrite plate pieces 1 ij are made of the same ferrite plate, that is, cut into a square ferrite plate having a side of about 16 mm and a thickness of about 1 mm with a diamond cutter or the like, and thus have a uniform thickness. Is convenient.

【0019】また、接着剤7の(接着層)厚さは、主と
して、フェライト板小片1ijの線膨張率,ヤング率およ
び抗折力とこれを搭載する上記金属板のヤング率および
線膨張率と環境温度と接着剤7の存在による非可逆回路
の特性劣化とを考慮して決定する。つまり、接着剤7の
厚さは、上記金属板との材質の違いを起因としてフェラ
イト板小片1ijの各各に加わる各種の機構的応力(スト
レス)を軟質材料のバッファ効果により吸収できる程度
以上で、しかも非可逆回路の特性劣化が許容できる程度
とする。上記の条件において、接着剤7の好ましい厚さ
は、フェライト板小片1ijの厚さの1/20(0.05
mm)ないし3/10(0.3mm)となる。
[0019] (adhesive layer) The thickness of the adhesive 7 are primarily linear expansion coefficient of the ferrite plate pieces 1 ij, Young's modulus and flexural strength and Young's modulus and linear expansion coefficient of the metal plate equipped with the The determination is made in consideration of the temperature, the environmental temperature, and the characteristic deterioration of the non-reciprocal circuit due to the presence of the adhesive 7. In other words, the thickness of the adhesive 7 is at least such that various mechanical stresses (stresses) applied to the respective ferrite plate pieces 1 ij due to the difference in the material from the metal plate can be absorbed by the buffer effect of the soft material. In addition, the deterioration of the characteristics of the nonreciprocal circuit is set to an acceptable level. Under the above conditions, the preferable thickness of the adhesive 7 is 1/20 (0.05) of the thickness of the ferrite plate piece 1 ij.
mm) to 3/10 (0.3 mm).

【0020】上述のとおり、接合フェライト板1をフェ
ライト板小片1ijの集合体で構成すると、この接合フェ
ライト板1に加わる応力は、フェライト板小片1ijの各
各に加わる応力にほぼ等しくなり、具体例においては単
一フェライト板で構成する場合の約16分の一(約1/
2 )にまで減少する。この結果、接合フェライト板1
の割れの可能性が著しく減少し、本実施例は、接合フェ
ライト板1の割れおよび接合マイクロストリップ線路の
破断によるアイソレータやサーキュレータの電気的・機
械的特性劣化を防止できる なお、フェライト板小片1ijの周辺形状は、三角形や長
方形の直線状とするのが、大きな面積のフェライト板か
らの分割等の製造上都合がよく、特にほぼ正方形にする
と、接合フェライト板1の製造がいっそう容易になる。
[0020] As described above, when the junction ferrite plate 1 constituting an aggregate of ferrite plate pieces 1 ij, stress applied to the junction ferrite plate 1 is substantially equal to the stress applied to each respective ferrite plate pieces 1 ij, In the specific example, about 1/16 (about 1 /
m 2 ). As a result, the bonded ferrite plate 1
Cracking possibility is significantly decreased, this embodiment can prevent the breaking electrical and mechanical deterioration of the characteristics of an isolator or a circulator according to cracking and bonding microstrip line junction ferrite plate 1 Note that ferrite plate piece 1 ij It is convenient for manufacturing such as division from a ferrite plate having a large area if the peripheral shape is a straight line of a triangle or a rectangle.

【0021】次に、図1を再び参照すると、接合フェラ
イト基板10は、接合フェライト板1にストリップ導体
2(2a〜2f)および接地導体3を金属を主成分とす
る厚膜や薄膜あるいは薄板等で構成する。これら導体2
および3には、厚膜焼付けによる構成が最も好ましく、
厚膜には銀を主成分とする銀導体,例えば商品名:銀導
体6160(デュポン社(アメリカ合衆国)製造)を用
いることができる。この厚膜は、接着剤7の面にも焼付
けることができる。接着剤7の伸縮による接着剤7の点
(面)における導体2および3の破断の恐れに対しては
金線や金リボンのボンディング等で補強することが可能
である。
Next, referring again to FIG. 1, a bonded ferrite substrate 10 is formed by connecting a strip conductor 2 (2a to 2f) and a ground conductor 3 to a bonded ferrite plate 1 by using a thick film, a thin film, a thin plate or the like mainly composed of a metal. It consists of. These conductors 2
And 3 is most preferably a thick film baking configuration.
For the thick film, a silver conductor containing silver as a main component, for example, trade name: Silver Conductor 6160 (manufactured by DuPont, USA) can be used. This thick film can also be baked on the surface of the adhesive 7. The possibility of the conductors 2 and 3 being broken at points (surfaces) of the adhesive 7 due to expansion and contraction of the adhesive 7 can be reinforced by bonding of a gold wire or a gold ribbon.

【0022】上述のとおりに、接合フェライト基板1
0,つまり接合マイクロストリップ線路を接合フェライ
ト板1に形成したあとは、従来技術によると同様に、こ
の基板10とスペーサ4,磁石5,チップ抵抗6および
上記金属板等とを組立ててMIC用非可逆回路を完成さ
せる。
As described above, the bonded ferrite substrate 1
0, that is, after the bonded microstrip line is formed on the bonded ferrite plate 1, the substrate 10, the spacer 4, the magnet 5, the chip resistor 6, the metal plate and the like are assembled to form a non-MIC Complete the reversible circuit.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、周辺が直
線状をなすとともに互いの隣接面を接着剤で接合したフ
ェライト板小片の集合体であるフェライト板に接合マイ
クロストリップ線路を構成するので、この接合マイクロ
クトリップ線路とこれを搭載する金属板から組立ておよ
び環境温度の変化による応力を受けても、上記接着剤に
よるストレス吸収により、上記フェライト板の割れおよ
び接合マイクロストリップ線路の破断による回路の電気
的・機械的特性劣化を防止できる効果がある。
As described above, according to the present invention, a microstrip line is formed on a ferrite plate, which is an aggregate of small ferrite plates, the periphery of which is linear and whose adjacent surfaces are bonded with an adhesive. Even if the bonded micro-clip line and the metal plate on which it is mounted are subjected to stress caused by a change in the environmental temperature due to assembly, even if the adhesive absorbs the stress, the circuit breaks the ferrite plate and breaks the bonded micro-strip line. Has the effect of preventing deterioration of the electrical and mechanical characteristics.

【0024】また本発明の製造方法は、フェライト板を
周辺が直線状をなすフェライト板小片に分割し、このフ
ェライト板小片を前記分割した面で接合し前記フェライ
ト板のもとの形状に復元した接合フェライト板を作り、
この接合フェライト板に接合マイクロストリップ線路を
形成するので、上述と同様の効果がある。
Further, in the manufacturing method of the present invention, the ferrite plate is divided into small ferrite plate pieces whose periphery is linear, and the ferrite plate pieces are joined at the divided surfaces to restore the original shape of the ferrite plate. Make a joint ferrite plate,
Since the bonded microstrip line is formed on the bonded ferrite plate, the same effect as described above can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の構造を示す図であり、
(a)はアイソレータの主要部を示す斜視図、(b)は
(a)のアイソレータに用いた接合フェライト基板10
の平面図である。
FIG. 1 is a diagram showing a structure of one embodiment of the present invention;
(A) is a perspective view showing a main part of the isolator, and (b) is a bonded ferrite substrate 10 used for the isolator of (a).
FIG.

【図2】本実施例の接合フェライト基板10に用いた接
合フェライト板1の製造方法を説明する図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a method of manufacturing a bonded ferrite plate 1 used for a bonded ferrite substrate 10 of the present embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 接合フェライト板 111〜1mn フェライト板小片 2 ストリップ導体 2a〜2c 接続端 2d 接合部 2e 開放導体 2f 開放端 3 接地導体 4 スペーサ 5 磁石 6 チップ抵抗 7 接着剤REFERENCE SIGNS LIST 1 bonded ferrite plate 1 11 to 1 mn ferrite plate small piece 2 strip conductor 2 a to 2 c connection end 2 d joint 2 e open conductor 2 f open end 3 ground conductor 4 spacer 5 magnet 6 chip resistor 7 adhesive

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 フェライト板と、前記フェライト板に形
成した接合マイクロストリップ線路と、前記接合マイク
ロストリップ線路の接合部の近傍に設置され前記フェラ
イト板にバイアス磁界を印加する磁石とを有するマイク
ロ波集積回路用非可逆回路において、 前記フェライト板が、周辺が直線状をなすとともに互い
の隣接面を接着剤で接合したフェライト板小片の集合体
であることを特徴とするマイクロ波集積回路用非可逆回
路。
1. A microwave integrated circuit comprising: a ferrite plate; a junction microstrip line formed on the ferrite plate; and a magnet installed near a junction of the junction microstrip line and applying a bias magnetic field to the ferrite plate. In a non-reciprocal circuit for a circuit, the ferrite plate is an aggregate of small pieces of a ferrite plate in which the periphery is linear and the adjacent surfaces are bonded to each other with an adhesive. .
【請求項2】 前記フェライト板小片が、少なくとも前
記フェライト板の中心部においてほぼ正方形の周辺形状
を有することを特徴とする請求項1記載のマイクロ波集
積回路用非可逆回路。
2. The non-reciprocal circuit for a microwave integrated circuit according to claim 1, wherein said ferrite plate piece has a substantially square peripheral shape at least at a central portion of said ferrite plate.
【請求項3】 前記接着剤の厚さが、前記フェライト板
小片の厚さの1/20ないし3/10であることを特徴
とする請求項2記載のマイクロ波集積回路用非可逆回
路。
3. The non-reciprocal circuit for a microwave integrated circuit according to claim 2, wherein the thickness of the adhesive is 1/20 to 3/10 of the thickness of the ferrite plate piece.
【請求項4】 フェライト板を周辺が直線状をなすフェ
ライト板小片に分割するフェライト板分割工程と、前記
フェライト板小片を前記分割した面で接合し前記フェラ
イト板のもとの形状に復元した接合フェライト板を作る
接合フェライト板製造工程と、前記接合フェライト板に
接合マイクロストリップ線路を形成する接合マイクロス
トリップ線路形成工程と、前記接合フェライト板にバイ
アス磁界を印加する磁石を前記接合マイクロストリップ
線路の接合部の近傍に設置する磁石組立工程とを少くと
も有することを特徴とするマイクロ波集積回路用非可逆
回路の製造方法。
4. A ferrite plate dividing step of dividing the ferrite plate into small ferrite plate pieces whose periphery is linear, and joining the ferrite plate pieces to the original shape of the ferrite plate by joining the small pieces on the divided surfaces. A joining ferrite plate manufacturing process for forming a ferrite plate, a joining microstrip line forming process for forming a joining microstrip line on the joining ferrite plate, and joining a magnet for applying a bias magnetic field to the joining ferrite plate with the joining microstrip line. A method for manufacturing a non-reciprocal circuit for a microwave integrated circuit, comprising at least a magnet assembling step of installing a magnet near a part.
【請求項5】 前記フェライト板分割工程が、前記フェ
ライト板を少なくともその中心部において周辺形状がほ
ぼ正方形のフェライト板小片に分割する工程であること
を特徴とする請求項4記載のマイクロ波集積回路用非可
逆回路の製造方法。
5. The microwave integrated circuit according to claim 4, wherein the step of dividing the ferrite plate is a step of dividing the ferrite plate into small pieces of a ferrite plate having a substantially square peripheral shape at least at a central portion thereof. Manufacturing method for non-reciprocal circuit.
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