JP2649912B2 - 光デジタルスペクトルアナライザ - Google Patents
光デジタルスペクトルアナライザInfo
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- JP2649912B2 JP2649912B2 JP61146670A JP14667086A JP2649912B2 JP 2649912 B2 JP2649912 B2 JP 2649912B2 JP 61146670 A JP61146670 A JP 61146670A JP 14667086 A JP14667086 A JP 14667086A JP 2649912 B2 JP2649912 B2 JP 2649912B2
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- Japan
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- data
- fourier transform
- fast fourier
- buffer memory
- optical
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Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は光干渉計よりの干渉信号を光検波して電気
信号に変換し、その電気信号をデジタル信号に変換し、
そのデジタル信号を倍率変更回路で倍率変更して高速フ
ーリエ変換する光デジタルスペクトルアナライザに関す
る。
信号に変換し、その電気信号をデジタル信号に変換し、
そのデジタル信号を倍率変更回路で倍率変更して高速フ
ーリエ変換する光デジタルスペクトルアナライザに関す
る。
「従来の技術」 従来において光源の光のコヒーレンス長を測定するに
は、その光を光干渉計へ入射し、その結果得られた干渉
光を包絡検波してその包絡により求めていた。このコヒ
ーレンス長の測定は、従来においては例えは第４図に示
すように光源よりの光をマイケルソン干渉計に入射し、
時間的な干渉光を得てその干渉光の包絡線を検波して求
めていた。即ちレーザーダイオードなどの光源11からの
被測定光は、マイケルソン干渉計などの光干渉計に入射
される。即ち光源11からの光はビームスプリッター12に
入射され、そのビームスプリッター12の透過光は固定反
射鏡13に入射され、その反射光はビームスプリッター12
に戻り、またビームスプリッター12で分割反射された他
方の光は可動反射鏡14に入射され、可動反射鏡14よりの
反射波と固定反射鏡13よりの反射波とがビームスプリッ
ター12で合成されて干渉波が得られる。その干渉波は光
検出器15に入射されて電気信号に変換され、その電気信
号の包絡線が包絡線検波器16で検波される。この干渉波
の時間的な干渉縞を得るため、可動反射鏡14は駆動器17
により周期的にビームスプリッター12に対して前後に進
退させられる。この可動反射鏡14の移動を時間軸とし
て、包絡線検波器16の検波出力が記録器或いは表示器18
に供給されて光源11よりの光の時間的コヒーレンス長の
測定結果が表示される。つまりビームスプリッター12に
対する固定反射鏡13、可動反射鏡14の距離が等しい時、
干渉波の強度は最強となり、その強度に対する、次の干
渉縞のピーク値との差からコヒーレンス長が求められ
る。
は、その光を光干渉計へ入射し、その結果得られた干渉
光を包絡検波してその包絡により求めていた。このコヒ
ーレンス長の測定は、従来においては例えは第４図に示
すように光源よりの光をマイケルソン干渉計に入射し、
時間的な干渉光を得てその干渉光の包絡線を検波して求
めていた。即ちレーザーダイオードなどの光源11からの
被測定光は、マイケルソン干渉計などの光干渉計に入射
される。即ち光源11からの光はビームスプリッター12に
入射され、そのビームスプリッター12の透過光は固定反
射鏡13に入射され、その反射光はビームスプリッター12
に戻り、またビームスプリッター12で分割反射された他
方の光は可動反射鏡14に入射され、可動反射鏡14よりの
反射波と固定反射鏡13よりの反射波とがビームスプリッ
ター12で合成されて干渉波が得られる。その干渉波は光
検出器15に入射されて電気信号に変換され、その電気信
号の包絡線が包絡線検波器16で検波される。この干渉波
の時間的な干渉縞を得るため、可動反射鏡14は駆動器17
により周期的にビームスプリッター12に対して前後に進
退させられる。この可動反射鏡14の移動を時間軸とし
て、包絡線検波器16の検波出力が記録器或いは表示器18
に供給されて光源11よりの光の時間的コヒーレンス長の
測定結果が表示される。つまりビームスプリッター12に
対する固定反射鏡13、可動反射鏡14の距離が等しい時、
干渉波の強度は最強となり、その強度に対する、次の干
渉縞のピーク値との差からコヒーレンス長が求められ
る。
このようなアナログを用いた干渉光の包絡検出は、包
絡検波回路の時定数の影響を受けるなど好ましくない。
絡検波回路の時定数の影響を受けるなど好ましくない。
このような点から光干渉計よりの干渉光を電気信号に
変換したものをデジタルスペクトルアナライザに入力
し、そのデジタル信号をデジタル処理して包絡を検出す
ることが提案されている。この場合やその他、干渉光を
デジタル信号として高速フールエ変換して処理する場合
に、干渉光の基準点、つまり前記例では可動反射鏡14よ
りビームスプリッタ12までの距離と、固定反射鏡13より
ビームスプリッター12までの距離とが等しい状態におけ
る干渉光の出力時点を中心にその前後の同数のデータを
高速フーリエ変換に用いる。前記基準時点では両反射鏡
13,14からの光が同位相であって、干渉光のレベルは最
大になり、この基準時点に対し、干渉光の包絡が対称波
形となるはずである。
変換したものをデジタルスペクトルアナライザに入力
し、そのデジタル信号をデジタル処理して包絡を検出す
ることが提案されている。この場合やその他、干渉光を
デジタル信号として高速フールエ変換して処理する場合
に、干渉光の基準点、つまり前記例では可動反射鏡14よ
りビームスプリッタ12までの距離と、固定反射鏡13より
ビームスプリッター12までの距離とが等しい状態におけ
る干渉光の出力時点を中心にその前後の同数のデータを
高速フーリエ変換に用いる。前記基準時点では両反射鏡
13,14からの光が同位相であって、干渉光のレベルは最
大になり、この基準時点に対し、干渉光の包絡が対称波
形となるはずである。
しかし実際にはビームスプリッター12の屈折率分散
や、光学系の光非対称性などによって前記基準時点にお
いて両反射鏡13,14とビームスプリッター12との光路差
が等しくならず、このため干渉光はその基準位置に対し
て最大とならず、基準時点に対してずれた状態となる。
このような状態で取込んだデータを高速フーリエ変換す
ると、その基準時点に対して対称波形にないため誤差が
生じる。この誤差を補正するため、従来においては干渉
光の最大値から得られる時点と基準時点とのずれと対応
する光路差に対する位相差で、干渉光の複素スペクトラ
ムを補正することが提案されている。しかしそのような
補正を行うには、その位相差情報を読み手専用メモリに
格納しておくことが安価な装置を構成する上で好ましい
が、温度変動によって前記位相差が変動する場合は正し
い補正を行うことはできない。一方、このような位相差
を補正するため、前記位相差を測定する光源や光スイッ
チなどを設けると測定装置の価格が高くなることにな
る。
や、光学系の光非対称性などによって前記基準時点にお
いて両反射鏡13,14とビームスプリッター12との光路差
が等しくならず、このため干渉光はその基準位置に対し
て最大とならず、基準時点に対してずれた状態となる。
このような状態で取込んだデータを高速フーリエ変換す
ると、その基準時点に対して対称波形にないため誤差が
生じる。この誤差を補正するため、従来においては干渉
光の最大値から得られる時点と基準時点とのずれと対応
する光路差に対する位相差で、干渉光の複素スペクトラ
ムを補正することが提案されている。しかしそのような
補正を行うには、その位相差情報を読み手専用メモリに
格納しておくことが安価な装置を構成する上で好ましい
が、温度変動によって前記位相差が変動する場合は正し
い補正を行うことはできない。一方、このような位相差
を補正するため、前記位相差を測定する光源や光スイッ
チなどを設けると測定装置の価格が高くなることにな
る。
「問題点を解決するための手段」 この発明によれば、光干渉計よりの干渉光を電気信号
に変換してその電気信号を標本化してデジタル信号とし
て取込み、そのデジタル信号を倍率変更回路に供給し
て、上記デジタル信号と、互いに位相が90度ずれた同一
周波数の搬送波とをそれぞれ乗算し、これら両乗算結果
をそれぞれ低域通路ろ波器に通し、その各ろ波出力を、
上記標本化の周期より長い周期でそれぞれ実部及び虚部
として出力してバッファメモリに取込み、そのバッファ
メモリに取込んだデータを取出して高速フーリェ変換し
て、上記搬送波の乗算に応じて周波数分解能の倍率を上
げる光デジタルスペクトルアナライザにおいて、上記倍
率変更回路の出力中の実数部と虚数部とをそれぞれ自乗
し、その各自乗値を加算し、その加算値が最大となるデ
ータを検出し、そのデータを中心として上記バッファメ
モリより高速フーリエ変換に必要とするデータを取出し
て高速フーリエ変換する。このようにすることによって
常に中心時点で最大となり、かつ波形がほぼ対称となり
正しい高速フーリエ変換結果が得られる。
に変換してその電気信号を標本化してデジタル信号とし
て取込み、そのデジタル信号を倍率変更回路に供給し
て、上記デジタル信号と、互いに位相が90度ずれた同一
周波数の搬送波とをそれぞれ乗算し、これら両乗算結果
をそれぞれ低域通路ろ波器に通し、その各ろ波出力を、
上記標本化の周期より長い周期でそれぞれ実部及び虚部
として出力してバッファメモリに取込み、そのバッファ
メモリに取込んだデータを取出して高速フーリェ変換し
て、上記搬送波の乗算に応じて周波数分解能の倍率を上
げる光デジタルスペクトルアナライザにおいて、上記倍
率変更回路の出力中の実数部と虚数部とをそれぞれ自乗
し、その各自乗値を加算し、その加算値が最大となるデ
ータを検出し、そのデータを中心として上記バッファメ
モリより高速フーリエ変換に必要とするデータを取出し
て高速フーリエ変換する。このようにすることによって
常に中心時点で最大となり、かつ波形がほぼ対称となり
正しい高速フーリエ変換結果が得られる。
「実施例」 第１図はこの発明による光デジタルスペクトルアナラ
イザを示し、光干渉計21は例えば先に述べたマイケルソ
ン干渉計であり、光源11よりの光信号が入射され、光干
渉計21よりの干渉光は光検波器15において電気信号に変
換され、その電気信号は必要に応じて増幅器22で増幅さ
れ、更に不要な高周波分を除去する低域通過濾波器23を
通ってAD変換器24において一定周期でデジタル信号に変
換される。
イザを示し、光干渉計21は例えば先に述べたマイケルソ
ン干渉計であり、光源11よりの光信号が入射され、光干
渉計21よりの干渉光は光検波器15において電気信号に変
換され、その電気信号は必要に応じて増幅器22で増幅さ
れ、更に不要な高周波分を除去する低域通過濾波器23を
通ってAD変換器24において一定周期でデジタル信号に変
換される。
AD変換器24の出力は倍率変更回路（いわゆるズームプ
ロセッサ）25へ供給されて倍率変更の処理がなされる。
即ち25においてデジタル乗算器26でcos2πfcnΔｔの搬
送波と乗算され、その乗算出力はデジタル低域通過濾波
器27に供給されて不要な高周波成分が除去される。また
AD変換器24の出力はデジタル乗算器28でsin2πfcnΔｔ
の搬送波、つまり乗算器26に供給される搬送波と直交関
係の搬送波と掛算され、その出力はデジタル低域通過濾
波器29にて不要な高周波成分が除去される。このデジタ
ル低域通過濾波器27,29はサンプリングスイッチ31,32に
よりAD変換器24におけるサンプリング周期よりも遅い周
期で取出されて、バッファメモリ33に取込まれる。バッ
ファメモリ33に取込まれたデータは、高速フーリエ変換
演算部34に取込まれて高速フーリエ変換され、その変換
結果はCRT表示器35に表示され、その他、更に必要に応
じて演算処理される。演算に必要なデータの保持なとの
ためにメモリ36が設けられ、更に全体の制御は中央処理
装置37によって行われる。
ロセッサ）25へ供給されて倍率変更の処理がなされる。
即ち25においてデジタル乗算器26でcos2πfcnΔｔの搬
送波と乗算され、その乗算出力はデジタル低域通過濾波
器27に供給されて不要な高周波成分が除去される。また
AD変換器24の出力はデジタル乗算器28でsin2πfcnΔｔ
の搬送波、つまり乗算器26に供給される搬送波と直交関
係の搬送波と掛算され、その出力はデジタル低域通過濾
波器29にて不要な高周波成分が除去される。このデジタ
ル低域通過濾波器27,29はサンプリングスイッチ31,32に
よりAD変換器24におけるサンプリング周期よりも遅い周
期で取出されて、バッファメモリ33に取込まれる。バッ
ファメモリ33に取込まれたデータは、高速フーリエ変換
演算部34に取込まれて高速フーリエ変換され、その変換
結果はCRT表示器35に表示され、その他、更に必要に応
じて演算処理される。演算に必要なデータの保持なとの
ためにメモリ36が設けられ、更に全体の制御は中央処理
装置37によって行われる。
高速フーリエ変換に用いるデータ数を、例えば1024と
すると、従来においては可動反射鏡14が基準位置（基準
時点）、つまり可動反射鏡14と固定反射鏡13とのビーム
スプリッター12に対する距離差が等しい状態を中心とし
て、そのデータを除いてその前後に511,512のデータを
バッファメモリ33に取込んでそのデータを高速フーリエ
変換していた。しかし先に述べたように位相誤差が生じ
て、例えば第２図Ａに示すように基準時点P0で干渉光の
レベルが最大とならないような干渉光が得られる。この
ような状態でこのデータをフーリエ変換するとこれが誤
差となって現われる。
すると、従来においては可動反射鏡14が基準位置（基準
時点）、つまり可動反射鏡14と固定反射鏡13とのビーム
スプリッター12に対する距離差が等しい状態を中心とし
て、そのデータを除いてその前後に511,512のデータを
バッファメモリ33に取込んでそのデータを高速フーリエ
変換していた。しかし先に述べたように位相誤差が生じ
て、例えば第２図Ａに示すように基準時点P0で干渉光の
レベルが最大とならないような干渉光が得られる。この
ような状態でこのデータをフーリエ変換するとこれが誤
差となって現われる。
このためこの発明においては、倍率変更回路25のスイ
ッチ31,32の出力である実部と虚部とを、それぞれ第３
図に示すように自乗器41,42で自乗し、その各自乗値を
加算器43で加算し、その加算結果の最大値を最大検出器
44で検出する。この最大値が得られた点のデータを基準
時点として、バッファメモリ33から高速フーリエ変換に
必要とするデータを取込んで高速フーリエ変換する。こ
のためバッファメモリ33には、高速フーリエ変換に用い
るデータ数、例えば1024よりも多くのデータ1024±２α
だけ取込み、これは先に述べたように基準時点を中心に
その前後にαずつ多く取るようにする。このαとしては
64,128,256などを用いことができる。これは光学系の非
対称性に対応して選定する。加算回路43の加算値が最大
となる時のバッファメモリ33に取込んだデータの番地を
基準として、バッファメモリ33へのデータ取込みを０番
地から行い1024＋２α番地まで取込む場合はその中央番
地、即ち０番地から数えて511＋αに対し±αの範囲内
に、前記最大となるデータ取込み番地が在る時はその最
大値の番地を中心としてその前に511のデータ、その後
に512のデータをバッファメモリ33から取出し、全体と
して1024のデータを高速フーリエ演算部へ供給する。ま
た前記最大値が得られる番地が511＋α±α番地の範囲
から外れる場合で、その最大値が得られる番地が511よ
り小さい時は511番地を中心として1024のデータを取出
し、また最大値が得られる番地が511＋２αよりも大き
い時は511＋２αを中心として1024のデータを取出して
高速フーリエ変換を行う。
ッチ31,32の出力である実部と虚部とを、それぞれ第３
図に示すように自乗器41,42で自乗し、その各自乗値を
加算器43で加算し、その加算結果の最大値を最大検出器
44で検出する。この最大値が得られた点のデータを基準
時点として、バッファメモリ33から高速フーリエ変換に
必要とするデータを取込んで高速フーリエ変換する。こ
のためバッファメモリ33には、高速フーリエ変換に用い
るデータ数、例えば1024よりも多くのデータ1024±２α
だけ取込み、これは先に述べたように基準時点を中心に
その前後にαずつ多く取るようにする。このαとしては
64,128,256などを用いことができる。これは光学系の非
対称性に対応して選定する。加算回路43の加算値が最大
となる時のバッファメモリ33に取込んだデータの番地を
基準として、バッファメモリ33へのデータ取込みを０番
地から行い1024＋２α番地まで取込む場合はその中央番
地、即ち０番地から数えて511＋αに対し±αの範囲内
に、前記最大となるデータ取込み番地が在る時はその最
大値の番地を中心としてその前に511のデータ、その後
に512のデータをバッファメモリ33から取出し、全体と
して1024のデータを高速フーリエ演算部へ供給する。ま
た前記最大値が得られる番地が511＋α±α番地の範囲
から外れる場合で、その最大値が得られる番地が511よ
り小さい時は511番地を中心として1024のデータを取出
し、また最大値が得られる番地が511＋２αよりも大き
い時は511＋２αを中心として1024のデータを取出して
高速フーリエ変換を行う。
即ち例えば第２図Ｂに示すように1000＋２αのデータ
を取込み、そのデータについてその中心を含む1000分に
つての実部分、つまり干渉光のレベルのピーク値を見る
と、第２図Ａに示したようにその基準点とピーク値とが
ずれている場合において、前述したように実数部と虚数
部の自乗の和の開平値を求めると、第２図Ｃに示すよう
にピーク値が基準時点となり、対称の波形が得られれ
る。
を取込み、そのデータについてその中心を含む1000分に
つての実部分、つまり干渉光のレベルのピーク値を見る
と、第２図Ａに示したようにその基準点とピーク値とが
ずれている場合において、前述したように実数部と虚数
部の自乗の和の開平値を求めると、第２図Ｃに示すよう
にピーク値が基準時点となり、対称の波形が得られれ
る。
なお倍率変更回路25を通さない場合において、つまり
AD変換器24の出力をバッファメモリ33に直接取込む場合
においては、その最大値が得られる番地を中心としてそ
の前後の所定数のデータを取出して高速フーリエ変換を
行えばよい。しかし倍率変更回路25を通してバッファメ
モリ33に取込む場合において、つまり高分解能に測定を
行う場合においては、そのデータが複素変調されるた
め、その実部分、または虚部分のみの最大値を検出して
も不十分であり、実数部と虚数部のベクトル和の最大値
を検出することによって正しい基準点を求めることがで
きる。
AD変換器24の出力をバッファメモリ33に直接取込む場合
においては、その最大値が得られる番地を中心としてそ
の前後の所定数のデータを取出して高速フーリエ変換を
行えばよい。しかし倍率変更回路25を通してバッファメ
モリ33に取込む場合において、つまり高分解能に測定を
行う場合においては、そのデータが複素変調されるた
め、その実部分、または虚部分のみの最大値を検出して
も不十分であり、実数部と虚数部のベクトル和の最大値
を検出することによって正しい基準点を求めることがで
きる。
「発明の効果」 以上述べたようにこの発明によれば、複雑な位相差を
求める必要がなく、その位相差情報をメモリに記憶して
おいた場合においては温度変化などによって正しい補正
ができなくなり、またその位相差を測定する手段を設け
ると高価なものとなるが、この発明においては自乗演算
と加算演算を行って最大値を求めることによって容易に
正しいピーク位置をフーリエ変換の際の中心点に一致さ
せることができ、正しいフーリエ変換を行うことが可能
である。しかも面倒な測定を行う必要がなく、また温度
変動などによってそのずれが変化した場合などにおいて
もその都度その最高値を求めることによって正しく補正
を行うことができる。なおこの発明は時間的干渉縞の出
力に対する場合に限らず、空間的干渉縞を入力して高速
フーリエ変換する場合にも適用できる。
求める必要がなく、その位相差情報をメモリに記憶して
おいた場合においては温度変化などによって正しい補正
ができなくなり、またその位相差を測定する手段を設け
ると高価なものとなるが、この発明においては自乗演算
と加算演算を行って最大値を求めることによって容易に
正しいピーク位置をフーリエ変換の際の中心点に一致さ
せることができ、正しいフーリエ変換を行うことが可能
である。しかも面倒な測定を行う必要がなく、また温度
変動などによってそのずれが変化した場合などにおいて
もその都度その最高値を求めることによって正しく補正
を行うことができる。なおこの発明は時間的干渉縞の出
力に対する場合に限らず、空間的干渉縞を入力して高速
フーリエ変換する場合にも適用できる。
第１図はこの発明による光デジタルスペクトルアナライ
ザを示すブロック図、第２図はその動作の説明に供する
ための波形図、第３図はその基準位置を求めるための手
段を示すブロック図、第４図は従来の時間的コヒーレン
スを測定する装置を示すブロック図である。
ザを示すブロック図、第２図はその動作の説明に供する
ための波形図、第３図はその基準位置を求めるための手
段を示すブロック図、第４図は従来の時間的コヒーレン
スを測定する装置を示すブロック図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 紳一 東京都練馬区旭町１丁目32番１号 株式 会社アドバンテスト内 (72)発明者 仁木 尚治 東京都練馬区旭町１丁目32番１号 株式 会社アドバンテスト内 (56)参考文献 特開 昭61−99825（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−3226（ＪＰ，Ａ) 朝倉書店「応用光学ハンドブック」 （昭48−11−25）吉永弘編集、Ｐ．420 −431
Claims (1)
- 【請求項１】光干渉計よりの干渉光を光検波して電気信
号に変更し、その電気信号を標本化してデジタル信号と
して取込み、そのデジタル信号を倍率変更回路で、上記
デジタル信号と、互いに位相が90度ずれた同一周波数の
搬送波とをそれぞれ乗算し、これら両乗算結果をそれぞ
れ低域通過ろ波器に通し、その各ろ波出力を、上記標本
化の周期より長い周期でそれぞれ実部及び虚部として出
力して、バッファメモリに取込み、そのバッファメモリ
に取込んだデータを読出して高速フーリェ変換する光デ
ジタルスペクトルアナライザにおいて、 上記バッファメモリへの取込みは上記光干渉計の出力光
基準点を中心として、高速フーリェ変換に用いるデータ
数より多くのデータを取込み、 上記倍率変更回路の出力中の実数部と虚数部とをそれぞ
れ自乗する自乗手段と、 その各自乗値を加算する加算手段と、 その加算値の最大値を検出する最大値検出手段と、 その最大値が得られるデータ位置を中心として上記バッ
ファメモリより高速フーリェ変換に必要とするデータを
取込み、高速フーリェ変換する手段とを有することを特
徴とする光デジタルスペクトルアナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61146670A JP2649912B2 (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | 光デジタルスペクトルアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61146670A JP2649912B2 (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | 光デジタルスペクトルアナライザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS633230A JPS633230A (ja) | 1988-01-08 |
| JP2649912B2 true JP2649912B2 (ja) | 1997-09-03 |
Family
ID=15412954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61146670A Expired - Fee Related JP2649912B2 (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | 光デジタルスペクトルアナライザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2649912B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2784468B2 (ja) * | 1988-07-15 | 1998-08-06 | 株式会社アドバンテスト | 光干渉信号抽出装置 |
| JP2889248B2 (ja) * | 1988-10-11 | 1999-05-10 | 株式会社アドバンテスト | 光スペクトラムアナライザ用光干渉計 |
| CN100385213C (zh) * | 2003-09-18 | 2008-04-30 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 干涉型超光谱成像仪数据处理方法 |
| CN104662440B (zh) * | 2012-09-24 | 2017-04-19 | 三菱电机株式会社 | 激光雷达装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS593226A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-09 | Shimadzu Corp | フ−リエ変換型分光器の光路差ゼロ点自動調節装置 |
| JPS6199825A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-17 | Hitachi Ltd | フ−リエ変換多波長光度計 |
-
1986
- 1986-06-23 JP JP61146670A patent/JP2649912B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 朝倉書店「応用光学ハンドブック」（昭４８−１１−２５）吉永弘編集、Ｐ．４２０−４３１ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS633230A (ja) | 1988-01-08 |
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