JP2646901B2 - Substrates for magnetic recording media - Google Patents
Substrates for magnetic recording mediaInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば磁気ディスク
などの磁気記録媒体の基体にかかり、特に加熱が必要と
される場合に好適な磁気記録媒体用基体に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate for a magnetic recording medium such as a magnetic disk, and more particularly to a substrate for a magnetic recording medium suitable for a case where heating is required.
【0002】[0002]
【従来の技術】磁気ディスクなどの磁気記録媒体として
は、種々のものが提案されており、また実用化されてい
る。たとえば、特開昭61−13434号公報にはセラ
ミックやサーメットを用いた磁気ディスク用基板が開示
されており、特開昭61−188733号公報には非磁
性硬化層と磁性媒体層との間に非磁性下地層が設けられ
た磁気記録媒体が開示されている。2. Description of the Related Art Various types of magnetic recording media such as magnetic disks have been proposed and put into practical use. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-13434 discloses a magnetic disk substrate using ceramic or cermet, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-188733 discloses a method in which a nonmagnetic hardened layer and a magnetic medium layer are interposed. A magnetic recording medium provided with a non-magnetic underlayer is disclosed.
【0003】また、特開昭62−20128号公報に
は、基板と磁性層との間に非磁性層が設けられた磁気デ
ィスクが開示されており、IEEE TRANSACTIONS ON MAGNE
TICS,VOL.24,NO.6,NOVEMBER 1988には2つに分けられた
磁性層間にクロム(Cr)による中間層を形成した磁気
フィルムが開示されている。Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-20128 discloses a magnetic disk having a non-magnetic layer provided between a substrate and a magnetic layer, and discloses IEEE TRANSACTIONS ON MAGNE.
TICS, VOL. 24, NO. 6, November 1988 discloses a magnetic film in which an intermediate layer of chromium (Cr) is formed between two separate magnetic layers.
【0004】ところで、現在ハードディスクなどは、非
磁性基板上にクロム,コバルト(Co)などによる磁性
合金を成膜して作製されている。そして、その磁性合金
の磁気配向性促進や高保磁力(Hc)化のため、クロム
成膜前に加熱プロセスによる加熱処理が行われている。At present, hard disks and the like are manufactured by forming a magnetic alloy of chromium, cobalt (Co) or the like on a non-magnetic substrate. In order to promote the magnetic orientation of the magnetic alloy and increase the coercive force (Hc), a heat treatment by a heating process is performed before the chromium film is formed.
【0005】一方、近年では、磁気記録の高密度化など
のため磁気ヘッドは低浮上化の傾向にある。このため、
磁気ヘッドとディスクとの衝突を防止する必要性から平
滑なガラス基板が用いられつつある。On the other hand, in recent years, the magnetic head tends to have a low flying height in order to increase the density of magnetic recording. For this reason,
Smooth glass substrates are being used because of the need to prevent collision between the magnetic head and the disk.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなガラス基板を用いた場合、特にそれが透明であっ
て、上述した磁気特性改善のための加熱プロセスが遠赤
外線加熱,ハロゲンランプ加熱などの場合には、光がガ
ラス基板を透過してしまい、加熱効率が著しく低下する
という不都合が生ずる。However, when such a glass substrate is used, especially when it is transparent and the heating process for improving the magnetic characteristics described above is far-infrared heating, halogen lamp heating, etc. However, there is a disadvantage that light passes through the glass substrate and the heating efficiency is significantly reduced.
【0007】加熱効率を高めるためには、たとえば透明
ガラス基体を黒色にすればよい。しかし、この手法で
は、透明ガラス基板に添加物を混入して黒色としなけら
ばならず、無色透明ガラス基板と比較して製造上大幅な
コスト増となる。In order to increase the heating efficiency, for example, the transparent glass substrate may be made black. However, in this method, the additive must be mixed into the transparent glass substrate to make it black, which results in a significant increase in manufacturing cost as compared with the colorless transparent glass substrate.
【0008】本発明は、この点に着目したもので、透明
ガラス基板を用いた場合であっても効率的に加熱を行っ
て良好な磁気特性を得ることができる量産性に優れた磁
気記録媒体用基体を提供することを、その目的とする。The present invention pays attention to this point, and provides a magnetic recording medium excellent in mass productivity capable of efficiently heating and obtaining good magnetic characteristics even when a transparent glass substrate is used. It is an object of the present invention to provide a substrate for use.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、磁気的に情報
が記録される磁性膜がその表面に形成される磁気記録媒
体用基体において、透明ガラス基板上に、100Å以上
の厚さの金属層及び400Å以上の厚さのカーボン層を
各々形成したことを特徴とする。According to the present invention, there is provided a magnetic recording medium substrate having a magnetic film on which magnetic information is recorded formed on a transparent glass substrate. And a carbon layer having a thickness of 400 ° or more.
【0010】[0010]
【作用】本発明によれば、透明ガラス基板上にクロムな
どによる100Å以上の厚さの金属層と400Å以上の
厚さのカーボン層が各々形成される。これらによって加
熱は良好に行われ、磁性膜の磁気配向性促進や高保磁力
化が効率的に行われる。 According to the present invention, the carbon layer of the metal layer and 400Å or more thick, such as by 100Å or more thick chrome transparency glass substrate are respectively formed. By these, heating is performed well, and promotion of magnetic orientation of the magnetic film and high coercive force are efficiently performed.
【0011】[0011]
【実施例】以下、本発明による磁気記録媒体用基体の一
実施例について、添付図面を参照しながら説明する。a,透明ガラス基板の黒色化 最初に、透明ガラス基板の黒色化について説明する。本
実施例では、以下に示す3種類の方法で黒色化を行っ
た。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention. a, Blackening of transparent glass substrate First, the blackening of the transparent glass substrate will be described. In this example, blackening was performed by the following three methods.
【0012】(A)カーボン単体による黒色化 最初に、図2(A)に示すように、非磁性基体である透
明ガラス基板10上にカーボン層12のみを形成して黒
色化を試みた。カーボン層12は、300〜1100Å
の間において5段階の膜厚でスパッタリング法により形
成した。その結果、表1に示すように、膜厚が厚くなる
に従って濃度は濃くなるものの、いずれも黒色透明であ
った。(A) Blackening with carbon alone First, as shown in FIG. 2 (A), blackening was attempted by forming only the carbon layer 12 on a transparent glass substrate 10 which was a non-magnetic substrate. The carbon layer 12 is 300-1100Å
The film was formed by a sputtering method with a film thickness of five steps between the steps. As a result, as shown in Table 1, although the density increased as the film thickness increased, all were black and transparent.
【0013】[0013]
【表1】 [Table 1]
【0014】(B)クロムによる下地金属層とカーボン
層による黒色化 次に、図2(B)に示すように、透明ガラス基板10上
に、まずクロムによる金属層14を形成し、その上にカ
ーボン層12を形成して黒色化を試みた。下地金属層1
4としてのクロム層は、100〜450Åの間において
4段階の膜厚でスパッタリング法により形成した。そし
て、各膜厚のクロム層それぞれの上に、300〜600
Åの間において4段階の膜厚でスパッタリング法により
カーボン層12を形成した。(B) Blackening by Chromium Base Metal Layer and Carbon Layer Next, as shown in FIG. 2B, first, a metal layer 14 of chromium is formed on a transparent glass substrate 10, and The carbon layer 12 was formed and blackening was attempted. Base metal layer 1
The chromium layer as No. 4 was formed by a sputtering method in four stages of film thickness between 100 and 450 °. Then, on each of the chromium layers of each thickness, 300 to 600
The carbon layer 12 was formed by a sputtering method with a four-stage film thickness between Å.
【0015】また、クロム層を500〜1000Åの間
において5段階の膜厚に設定し、各膜厚のクロム層上に
500Åのカーボン層を成膜した。更に、クロム層を4
50Åの膜厚に固定し、カーボン層を500〜1000
Åの間において5段階の膜厚で成膜した。以上のように
して得たサンプルにつき、その黒色化の程度を調べる
と、表2のようになった。The thickness of the chromium layer was set to five levels between 500 and 1000 Å, and a 500 Å carbon layer was formed on the chromium layer of each thickness. In addition, 4 chrome layers
The thickness is fixed at 50 ° and the carbon layer is 500 to 1000
The film was formed in five steps between Å. Table 2 shows the degree of blackening of the sample obtained as described above.
【0016】[0016]
【表2】 [Table 2]
【0017】この表2に示すように、クロム層の膜厚が
ほぼ100Å以上、カーボン層の膜厚が400Å以上で
黒色透明の基体が得られている。特に、クロム層が45
0Å以上,カーボン層が500Å以上の場合には、いず
れも黒色不透明となっている。このとき、カーボン厚を
厚くするに従ってやや青みが入るようになるが、いずれ
も黒色不透明と呼んで差し支えない色であった。As shown in Table 2, a black transparent substrate having a thickness of the chromium layer of about 100 ° or more and a thickness of the carbon layer of 400 ° or more was obtained. In particular, if the chrome layer is 45
When the carbon layer is 0 ° or more and the carbon layer is 500 ° or more, all are black and opaque. At this time, as the carbon thickness was increased, the color became slightly bluish, but all of them were black opaque colors.
【0018】(C)他の金属による下地金属層とカーボ
ン層による黒色化 次に、クロムの代わりにアルミニウム(Al),銅(C
u),マンガン(Mn)を用いて膜厚をいずれも450
Åに設定し、その上にカーボン層を500Å成膜した。
その結果は、表3に示す通りであり、いずれも黒色不透
明となった。(C) Blackening by base metal layer and carbon layer of other metal Next, instead of chromium, aluminum (Al), copper (C
u) and manganese (Mn) to a thickness of 450
カ ー ボ ン was set, and a carbon layer was formed thereon by 500 Å.
The results are as shown in Table 3, and all were black and opaque.
【0019】[0019]
【表3】 [Table 3]
【0020】b,磁気特性 次に、以上のようにして黒色化が行われたガラス基板を
用いてハードディスクを作製し、その磁気特性を測定し
た。なお、特性比較のため、表4に示すようなA,B,
Cの基板を用意した。 B, Magnetic Characteristics Next, a hard disk was manufactured using the glass substrate blackened as described above, and its magnetic characteristics were measured. For comparison of characteristics, A, B, and
A substrate C was prepared.
【0021】[0021]
【表4】 [Table 4]
【0022】まず、A基板は、透明ガラス基板上にクロ
ム層を450Å形成し、その上にカーボン層を580Å
形成して黒色不透明化した基板である。次に、B基板
は、透明ガラス基板上にカーボン層のみを580Å成膜
した黒色透明基板である。更に、C基板は、透明ガラス
基板そのものである。このような各基板に対し、表5に
示すような条件でスパッタリング法によって磁性膜を成
膜し、ハードディスクを作製した。First, the A substrate has a chromium layer formed on a transparent glass substrate at 450 ° and a carbon layer formed thereon at 580 °.
This is a black opaque substrate formed. Next, the B substrate is a black transparent substrate in which only a carbon layer is formed at 580 ° on a transparent glass substrate. Further, the C substrate is the transparent glass substrate itself. A magnetic film was formed on each of these substrates by sputtering under the conditions shown in Table 5 to produce a hard disk.
【0023】[0023]
【表5】 [Table 5]
【0024】この表において、A,B,Cの各基板とし
ては、平坦で表面にテクスチャ処理が施されていないも
のが使用されている。そして、それらの基板上に、クロ
ムによる下地層が450Å,CoCr14Ta4合金(原
子%)による磁性層が540Å各々形成されている。磁
気特性改善のための基板加熱は、IR(赤外線)ヒータ
によって行なっている。そして、そのヒートタイム(加
熱時間)を0〜12secの範囲で変化させて各サンプ
ルの保磁力Hcを測定し、図1のグラフを得た。なお、
ここでヒートタイム12secは、たとえばAl基板を
用いた場合にその基板表面が280℃の温度となる加熱
処理に相当する。In this table, the substrates A, B, and C are flat and have no surface textured. Then, on these substrates, the base layer by chromium 450 Å, a magnetic layer by CoCr 14 Ta 4 Alloy (atomic%) is 540Å respectively formed. Substrate heating for improving magnetic properties is performed by an IR (infrared) heater. Then, the coercive force Hc of each sample was measured while changing the heat time (heating time) in the range of 0 to 12 sec, and the graph of FIG. 1 was obtained. In addition,
Here, the heat time of 12 sec corresponds to, for example, a heat treatment in which, when an Al substrate is used, the substrate surface has a temperature of 280 ° C.
【0025】この図1において、A,B,Cの各基板に
おける測定結果は、各々グラフGA,GB,GCに示さ
れている。同図に示すように、透明ガラス基板のみのグ
ラフGC,黒色透明基板のグラフGBに対し、黒色不透
明基板のグラフGAは、いずれに対しても保磁力Hcが
大となって良好な磁気特性となっており、本実施例によ
る黒色化が効果的に作用していることが理解される。In FIG. 1, the measurement results on the substrates A, B, and C are shown in graphs GA, GB, and GC, respectively. As shown in the figure, the graph GC of the transparent glass substrate alone and the graph GB of the black transparent substrate, whereas the graph GA of the black opaque substrate has a large coercive force Hc for both, and has good magnetic characteristics. It is understood that the blackening according to the present embodiment is effectively working.
【0026】また、グラフGA,GBの比較からすれ
ば、単にカーボン層のみを形成した場合よりもクロム層
も形成した場合の方が効果が大きいと考えられる。な
お、保磁力Hcと同時に、磁化,角型比も測定したが、
それらについてはいずれの基板についても大きな相違は
見られなかった。From the comparison of the graphs GA and GB, it is considered that the effect is larger when the chromium layer is also formed than when only the carbon layer is formed. The magnetization and squareness ratio were measured simultaneously with the coercive force Hc.
There was no significant difference between them for any of the substrates.
【0027】このように、本実施例によれば、透明ガラ
ス基板上に、金属層,カーボン層を各々形成して黒色化
を行うこととしたので、磁気特性改善のための加熱処理
が効率的に行われるようになり、短時間で良好な磁気特
性を得ることが可能となる。As described above, according to the present embodiment, since the metal layer and the carbon layer are formed on the transparent glass substrate and blackening is performed, the heat treatment for improving the magnetic characteristics is efficient. And good magnetic properties can be obtained in a short time.
【0028】特に、磁気記録媒体においてタクトタイム
(ディスク1枚当りの製造時間)は重要な要素の1つで
ある。Al基板を用いた場合、成膜速度の遅いカーボン
層の形成工程が律速となっていたが、ガラス基板を用い
た場合には加熱工程が律速となっている。本実施例によ
れば、この加熱工程が短くなり、タクトタイムのほぼ3
0〜40%の短縮が可能となって量産性が向上し、コス
ト的にも有利となる。In particular, in a magnetic recording medium, the tact time (production time per disk) is one of the important factors. In the case of using an Al substrate, the step of forming a carbon layer having a low film formation rate was rate-determining, whereas in the case of using a glass substrate, the rate of the heating step was rate-limiting. According to the present embodiment, the heating step is shortened, and the tact time is almost 3
A reduction of 0 to 40% is possible, which improves mass productivity and is advantageous in terms of cost.
【0029】なお、本発明は、何ら上記実施例に限定さ
れるものではない。たとえば、上記実施例では黒色不透
明のA基板を用いたが、黒色透明ないし茶色透明であっ
てもその濃度が高い場合には同様又は類似のの効果が得
られると考えられる。すなわち、表2におけるクロム層
の膜厚が100Å,カーボン層の膜厚が400Å以上の
範囲であれば、短時間の加熱による類似の効果が期待で
きる。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, although the black opaque A substrate is used in the above-described embodiment, it is considered that the same or similar effect can be obtained when the density is high even if the substrate is black transparent or brown transparent. That is, if the thickness of the chromium layer in Table 2 is in the range of 100 ° and the thickness of the carbon layer is in the range of 400 ° or more, a similar effect by short-time heating can be expected.
【0030】また、クロム層の代わりに他の金属層を用
いても、表3から同様の効果が得られると考えられる。
更に、本発明は、特にハードディスク用の透明ガラス基
板に有効であるが、加熱を必要とする他の磁気記録媒体
用基体として用いてもよい。[0030] Also, even if a metal layer other than the chrome layer is believed that similar effects from Table 3 is obtained.
Further , the present invention is particularly effective for a transparent glass substrate for a hard disk, but may be used as a base for other magnetic recording media requiring heating.
【0031】[0031]
【発明の効果】以上説明したように、本発明による磁気
記録媒体用基体によれば、透明ガラス基板上に金属,カ
ーボンによる層を各々形成することとしたので、効率的
に加熱を行って良好な磁気特性を得ることができ、量産
性にも優れているという効果がある。As described above, according to the magnetic recording medium substrate according to the present invention, since the layers made of metal and carbon are formed on the transparent glass substrate, respectively, the heating is performed efficiently, and the metal layer is formed. This has the effect that excellent magnetic characteristics can be obtained and mass productivity is excellent.
【図1】本発明による磁気記録媒体用基体と比較例の磁
気特性の測定例を示すグラフである。FIG. 1 is a graph showing a measurement example of magnetic properties of a magnetic recording medium substrate according to the present invention and a comparative example.
【図2】実施例におけるサンプルの構成を示す説明図で
ある。FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating a configuration of a sample in an example.
10…透明ガラス基板、12…カーボン層、14…金属
層、GA,GB,GC…グラフ。10: transparent glass substrate, 12: carbon layer, 14: metal layer, GA, GB, GC: graph.
Claims (1)
表面に形成される磁気記録媒体用基体において、透明ガ
ラス基板上に、100Å以上の厚さの金属層及び400
Å以上の厚さのカーボン層を各々形成したことを特徴と
する磁気記録媒体用基体。In a magnetic recording medium substrate having a magnetic film on which information is recorded magnetically formed on a surface thereof, a transparent film is provided.
On glass substrate, a metal layer and 400 above 100Å thick
(4) A substrate for a magnetic recording medium, wherein a carbon layer having a thickness of not less than each is formed.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3202400A JP2646901B2 (en) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | Substrates for magnetic recording media |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3202400A JP2646901B2 (en) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | Substrates for magnetic recording media |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0528455A JPH0528455A (en) | 1993-02-05 |
JP2646901B2 true JP2646901B2 (en) | 1997-08-27 |
Family
ID=16456875
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3202400A Expired - Fee Related JP2646901B2 (en) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | Substrates for magnetic recording media |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2646901B2 (en) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02132630A (en) * | 1988-11-11 | 1990-05-22 | Sekisui Chem Co Ltd | Magnetic recording medium |
-
1991
- 1991-07-17 JP JP3202400A patent/JP2646901B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH02132630A (en) * | 1988-11-11 | 1990-05-22 | Sekisui Chem Co Ltd | Magnetic recording medium |
Also Published As
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JPH0528455A (en) | 1993-02-05 |
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