JP2641257B2 - Method for producing ceramic-BN composite material - Google Patents

Method for producing ceramic-BN composite material

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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、摺動特性、耐摩耗性、加工性に優れたセラ
ミックス−BN系複合材料の製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for producing a ceramic-BN composite material having excellent sliding properties, wear resistance and workability.

[従来の技術及び解決すべき課題] セラミックスは優れた耐熱性、耐食性を持ち、高硬
度、高強度であるため、スラリー輸送パイプ内張り、メ
カニカルシール等、耐蝕耐摩耗材料として広く利用され
ている。しかしながら、軸受けのボール、リテーナー、
磁気ヘッド基材、スライダー等の精密摺動材料あるいは
エンジン部材として利用する場合、その摩耗係数が大き
い、加工面精度が低い等で、広く実用化には至っていな
い。
[Prior art and problems to be solved] Ceramics have excellent heat resistance and corrosion resistance, and have high hardness and high strength. Therefore, ceramics are widely used as corrosion and wear resistant materials such as slurry transport pipe linings and mechanical seals. However, bearing balls, retainers,
When used as a precision sliding material such as a magnetic head base material or a slider, or as an engine member, it has not been put to practical use because of its large wear coefficient and low machining surface accuracy.

これを解決する手段として、特開昭61−281086号公報
に「セラミックス多孔体にフッ素オイルを含浸する方
法」、特開昭61−251586号公報に「セラミックス多孔体
に樹脂を含浸する方法」が開示されているが、いずれも
セラミックス−有機物複合系で、セラミックスの優れた
耐熱性を発現できない。また、セラミックス多孔体に有
機物を含浸しただけなので、強度、硬度、加工表面精度
が不十分である。
As means for solving this, JP-A-61-281086 discloses a method of impregnating a porous ceramic body with fluorine oil, and JP-A-61-251586 discloses a method of impregnating a porous ceramic body with a resin. Although all are disclosed, they are ceramic-organic composite systems and cannot exhibit excellent heat resistance of ceramics. Further, since the ceramic porous body is simply impregnated with an organic substance, the strength, hardness, and processed surface accuracy are insufficient.

更に、特開昭61−51614号公報に「ZrO2とカーボンと
の混合物を焼結する方法」が開示されているが、複合成
分が炭素であるため、耐熱性が不十分である。
Furthermore, although in JP-A-61-51614 "Method of sintering a mixture of ZrO 2 and the carbon" is disclosed, for composite component is carbon is insufficient heat resistance.

また、特開昭62−56376号および同62−56377号公報に
「複合焼結体の製造方法」が開示されているが、窒化ア
ルミニウム粉末とBN粉末の混合物を成形、焼成するもの
で、結晶化したBN粉末を使用するため、セラミックス種
が限定され、かつ、分散性が悪く、焼成体の加工面精度
は低い。
Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 62-56376 and 62-56377 disclose "a method for producing a composite sintered body", which comprises molding and firing a mixture of an aluminum nitride powder and a BN powder. Since the BN powder is used, the types of ceramics are limited, the dispersibility is poor, and the processed surface accuracy of the fired body is low.

一方、現在、表面に磁性層を塗布したり、薄膜形成し
た磁性層を有するフレキシブルデスクやハードデスクま
たは磁気テープを用いて記録再生を行なうため、種々の
磁性媒体装置が市販され、さらに高密度化に向けて開発
が進められている。これらの記録再生装置は、磁気媒体
と常時または一時的に相対して摺動する部品が数多く使
用されている。これらの部品は耐久性に優れ、かつ相対
的に摺接する記録媒体を損傷させないことが必要であ
る。特に高速、高密度化の傾向が高く、媒体との摺接部
品にはより厳しい制約が課せられ従来のセラミックスに
変わる材料が要望されている。
On the other hand, at present, various magnetic media devices are commercially available for performing recording and reproduction using a flexible desk, a hard desk or a magnetic tape having a magnetic layer coated on the surface or a magnetic layer formed as a thin film, and further increased in density. Development is under way. These recording / reproducing devices use many components that slide constantly or temporarily relative to a magnetic medium. It is necessary that these components have excellent durability and do not damage the recording medium that slides relatively. In particular, there is a high tendency for high speed and high density, and stricter restrictions are imposed on parts that are in sliding contact with the medium, and there is a demand for a material that can replace conventional ceramics.

[課題を解決するための手段] 本発明者らは、前述の課題を解決するため鋭意研究を
重ねた結果、摺動特性、加工性に優れ、しかも材料が本
来的に持っている強度、硬度を十分引出し得るセラミッ
クス−BN系複合材料の製造方法を完成するに至った。
[Means for Solving the Problems] The inventors of the present invention have conducted intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, have excellent sliding characteristics and workability, and have the strength and hardness inherent to the material. A method for producing a ceramic-BN-based composite material that can sufficiently extract the above has been completed.

即ち、本発明は、セラミックス−BN系複合材料の製法
において、BN源として特定のBN前駆体を用いることを特
徴とするものである。ここで用いられるBN前駆体はX線
回折によるBN(002)面間隔が2.15〜2.40Åかつ結晶子
の大きさが50〜2000Åのものであり、本発明ではこれを
焼成前のセラミックス配合物中5〜50wt%含むセラミッ
クス−BN前駆体組成物を予備成型した後、10〜120MPa、
好ましくは20〜100MPaの圧力下で焼成することを特徴と
するセラミックス−BN系複合材料の製造方法に関するも
のである。本発明にいう(002)面間隔及び結晶子の大
きさは、X線回折によるCuKα回折ピークの半価幅中点
法により求めた2θ値と半価幅とから、それぞれブラッ
クの式及びシェラーの式から計算したものである。
That is, the present invention is characterized in that a specific BN precursor is used as a BN source in a method for producing a ceramics-BN composite material. The BN precursor used here has a BN (002) plane spacing of 2.15 to 2.40Å and a crystallite size of 50 to 2000Å by X-ray diffraction. After pre-forming the ceramic-BN precursor composition containing 5 to 50 wt%, 10 to 120 MPa,
The present invention relates to a method for producing a ceramic-BN composite material, which is preferably fired under a pressure of 20 to 100 MPa. The (002) plane spacing and crystallite size referred to in the present invention can be calculated from the 2θ value and the half width of the CuKα diffraction peak by X-ray diffraction obtained by the midpoint method of half width at half maximum, respectively, from the black formula and Scherrer's formula. It is calculated from the formula.

本発明に用いられるセラミックス粒子として好ましく
は、Al2O3、ZrO2、TiO2、MgO、SrO2、NiO、MnO等の酸化
物;SiC、TiC、WC、B4C、ZrC等の炭化物;Si3N4、AlN、Ti
N、ZrN等の窒化物;ZrB2、CrB、TiB2等のホウ化物から選
ばれる1種あるいは2種以上のものが挙げられる。ま
た、これらの化合物の固溶体を使用してもよい。これら
粉末の純度はセラミックス成分が90wt%以上、粒径は0.
05〜5.00μmのものが好ましい。純度90wt%未満では、
セラミックスの耐熱性、高硬度という特性が発現しな
い。粒系が上記範囲以下では、粉末が凝集体を形成して
均一な複合組織とならず、上記範囲以上では、焼結性が
悪くなり、強度が低く、高密度とならない。セラミック
ス粒子の使用量は、50〜95wt%が望ましい。50%以下で
は、セラミックスのもつ耐熱性、高強度、高硬度特性を
発現させるのが困難で、96wt%以上ではBN複合による複
合効果が十分でない。
Preferably the ceramic particles used in the present invention, Al 2 O 3, ZrO 2 , TiO 2, MgO, SrO 2, NiO, oxides such as MnO; SiC, TiC, WC, B 4 C, carbides such as ZrC; Si 3 N 4 , AlN, Ti
Nitrides such as N and ZrN; and one or more kinds selected from borides such as ZrB 2 , CrB and TiB 2 . Further, solid solutions of these compounds may be used. The purity of these powders is 90% by weight or more for the ceramic component, and the particle size is 0.
It is preferably from 05 to 5.00 μm. If the purity is less than 90 wt%,
The properties of ceramics such as heat resistance and high hardness are not exhibited. When the particle size is below the above range, the powder forms aggregates and does not have a uniform composite structure. When the particle size is above the above range, the sinterability is poor, the strength is low, and the high density is not achieved. The use amount of the ceramic particles is desirably 50 to 95 wt%. If it is less than 50%, it is difficult to exhibit the heat resistance, high strength, and high hardness characteristics of ceramics, and if it is more than 96 wt%, the composite effect of the BN composite is not sufficient.

本発明で使用するBN前駆体は、X線回折によるBNの
(002)面間隔が、2.15〜2.40Åの範囲のもので、結晶
子の大きさが50〜2000Åであることが必要である。望ま
しくはBN前駆体は不純物として含まれるB2O3の含有率が
5wt%以下のものである。BN前駆体のX線回折による(0
02)面間隔が2.40Åを越えた場合または結晶子の大きさ
が50Åに足りない場合は、焼成による結晶化が難しくは
り、複合による特性向上、例えば摺動性、加工性向上が
発現できない。(002)面間隔が2.15Å未満の場合また
は結晶子の大きさが2000Åを越えるときは、BN粒子とセ
ラミックス粒子との均一混合が困難となり、複合するセ
ラミックス種が限定される上、焼成体の強度、加工面精
度が劣るものとなる。BN前駆体中のB2O3成分が5wt%以
上の場合、焼成体中にB2O3成分が残留し、強度、加工
性、摺動特性に劣る場合がある。
The BN precursor used in the present invention must have a (002) plane spacing of BN in the range of 2.15 to 2.40 ° by X-ray diffraction and a crystallite size of 50 to 2000 °. Desirably, the BN precursor has a B 2 O 3 content contained as an impurity.
It is less than 5 wt%. X-ray diffraction of BN precursor (0
02) If the plane spacing exceeds 2.40 ° or the crystallite size is less than 50 °, crystallization by sintering becomes difficult, and the improvement of properties by composite, for example, the improvement of slidability and workability, cannot be realized. If the (002) spacing is less than 2.15 mm or the crystallite size exceeds 2000 mm, uniform mixing of the BN particles and the ceramic particles becomes difficult, and the types of ceramics to be composited are limited. The strength and precision of the machined surface are inferior. When the B 2 O 3 component in the BN precursor is 5 wt% or more, the B 2 O 3 component remains in the fired body, and the strength, workability, and sliding characteristics may be poor.

本発明に係わるBN前駆体は、BN結晶の発達が不十分で
結晶子の小さいものであるが、このため活性に優れ、一
般的にセラミックスとの馴染みや分散性がよく、用いる
セラミックスの焼成温度で容易にBNに結晶化する。この
ようなBN前駆体の合成法は、具体的には従来から知られ
ている合成方法、例えば、ホウ酸、酸化ホウ素、ホウ酸
アンモニウム等をホウ酸源とし、尿素、メラミン、ジシ
アンジアミド等の窒素を含む有機物を用いて窒化還元す
る方法、ジボランを分解する方法、CVD法等によって得
られるが、工業的には還元窒化法が好ましい。これらの
方法において、上述のBN前駆体条件を満たすためには特
定の条件を選ぶことが必要である。
The BN precursor according to the present invention has insufficient development of BN crystal and small crystallites, but therefore has excellent activity, generally has good compatibility and dispersibility with ceramics, and has a firing temperature of ceramics to be used. Easily crystallizes into BN. The method for synthesizing such a BN precursor is, specifically, a conventionally known synthesis method, for example, using boric acid, boron oxide, ammonium borate or the like as a boric acid source, urea, melamine, nitrogen such as dicyandiamide, or the like. Can be obtained by a method of nitriding reduction using an organic substance containing, a method of decomposing diborane, a CVD method, or the like, but a reduction nitriding method is industrially preferable. In these methods, it is necessary to select specific conditions in order to satisfy the above BN precursor conditions.

本発明で使用するBN前駆体の量は5〜50wt%が望まし
い。5wt%以下では前述と同様にBN複合による複合効果
が不十分となることがあり、50wt%以上ではセラミック
ス本体の高強度、高硬度特性が発現しないためである。
The amount of the BN precursor used in the present invention is desirably 5 to 50% by weight. If the content is 5 wt% or less, the composite effect of the BN composite may be insufficient as described above, and if the content is 50 wt% or more, the high strength and high hardness characteristics of the ceramic body are not exhibited.

本発明のセラミックス−BN系複合材料の製造方法は、
前述の限定したセラミックス粒子とBN前駆体を混合した
後、金型プレス、鋳込み成型、射出成型等で予備成型す
る。必要に応じて、脱脂した後、熱間ダイス、ガラスカ
プセル、金属カプセル等中に前記予備成形体を挿入し、
10〜120MPa、好ましくは20〜100MPaの圧力で、該セラミ
ックスの焼成温度のもとで、非酸化性雰囲気中で焼成し
て得られる。
The method for producing a ceramic-BN composite material of the present invention comprises:
After mixing the above-mentioned limited ceramic particles and the BN precursor, they are preformed by die pressing, casting, injection molding or the like. If necessary, after degreasing, insert the preform into a hot die, glass capsule, metal capsule, etc.,
It is obtained by firing in a non-oxidizing atmosphere at a pressure of 10 to 120 MPa, preferably 20 to 100 MPa, at the firing temperature of the ceramic.

一般的には熱間ダイスの場合はホットプレス、カプセ
ルの場合はHIP(熱間静水圧プレス)が用いられる。雰
囲気ガスは、セラミックス種により、Ar、He、N2、CO等
が1種または2種以上混合して用いられる。
Generally, hot pressing is used for hot dies, and HIP (hot isostatic pressing) is used for capsules. As the atmosphere gas, Ar, He, N 2 , CO, or the like is used alone or in combination of two or more, depending on the type of ceramic.

[実施例] 次に本発明によって得られたセラミックス−BN系複合
材料の特徴を実施例で詳述する。
[Examples] Next, the features of the ceramics-BN composite material obtained by the present invention will be described in detail in Examples.

実施例1〜10および比較例1〜6 実施例1〜10は、第1表に示すセラミックス粒子とBN
前駆体をエタノール中で湿式混合、乾燥し、金形プレス
で予備成形した後、所定の雰囲気、温度で10〜60MPaの
圧力でホットプレスしたものである。
Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 6 Examples 1 to 10 correspond to the ceramic particles and BN shown in Table 1.
The precursor is wet-mixed in ethanol, dried, preformed by a die press, and then hot-pressed at a predetermined atmosphere and temperature at a pressure of 10 to 60 MPa.

比較例1は所定の温度で、無加圧真空焼成したもので
ある。比較例2〜6は実施例と同様の条件で焼成したも
のである。
Comparative Example 1 was obtained by sintering without pressure at a predetermined temperature. Comparative Examples 2 to 6 were fired under the same conditions as the examples.

上記複合材料について強度等を測定して、第1表に示
す。曲げ強度は、JIS1604Rに基づき、硬度は、ビッカー
ス硬度計により10Kgfの荷重で、摩擦係数、摩耗量はピ
ン−オンディスク法により、3kgfの荷重で、相手材に該
セラミックス単味焼結体を選び、300rpmの回転数で測定
した。加工面精度は、平面研削盤でRmax=1.20sまで研
削した後、研磨盤で、3μmのダイヤモンドペーストで
ラッピング、1μmのダイヤモンドペーストでポリッシ
ングした後、レーダー式非接触表面粗さ計で測定した。
Table 1 shows the strength and the like of the composite material. Flexural strength is based on JIS1604R, hardness is 10 kgf load by Vickers hardness tester, friction coefficient and wear amount are 3 kgf load by pin-on-disc method, and the plain ceramic sintered body is selected as the mating material. At 300 rpm. The precision of the machined surface was measured by grinding with a surface grinder to Rmax = 1.20 s, lapping with a polishing machine with 3 μm diamond paste, polishing with 1 μm diamond paste, and measuring with a radar type non-contact surface roughness meter.

実施例1の複合材料をメカニカルシールに適用したと
ころ、従来材料に較べ、シール性も良好で長時間の耐久
性を示した。
When the composite material of Example 1 was applied to a mechanical seal, the sealability was better and the durability for a long time was shown as compared with the conventional material.

実施例4の複合材料の転がり軸受リテーナに精密加工
し、使用したところ、無潤滑で長時間の耐久性を示し
た。
When the rolling bearing retainer of the composite material of Example 4 was precision machined and used, it showed no lubrication and long-term durability.

実施例5の複合材料を撚糸リングとして使用したとこ
ろ、従来材料に較べ、低摩擦係数、高耐久性を示した。
When the composite material of Example 5 was used as a twisted yarn ring, it exhibited a lower coefficient of friction and higher durability than the conventional material.

実施例7の複合材料を磁気ヘッドスタビライダーとし
て、使用したところ、無潤滑で長時間の耐久性を示し
た。
When the composite material of Example 7 was used as a magnetic head stabilizer, it exhibited no lubrication and long-term durability.

実施例10の複合材料を鋼線の線びきダイスに適用した
ところ、鋼線の焼き付きも無く、長時間の耐久性を示し
た。
When the composite material of Example 10 was applied to a wire drawing die for a steel wire, there was no seizure of the steel wire and a long-term durability was exhibited.

さらに本発明を用いた部品を上述の磁気媒体と摺接す
る各種接触部分に用いることにより、媒体との摺動特性
を向上させ、摩擦係数を少なく媒体を傷つけることな
く、長時間にわたり安定した記録再生特性をもたせるこ
とができた。
Further, by using the parts using the present invention in various contact portions that are in sliding contact with the above-described magnetic medium, the sliding characteristics with the medium are improved, the friction coefficient is small, and the recording / reproduction is stable for a long time without damaging the medium. Characteristic was able to be given.

[発明の効果] 以上述べたごとく、本発明により調製されたセラミッ
クス−BN系複合材料は、セラミックスとBN前駆体の種の
複合割合、焼成条件を限定してあるため、セラミックス
本来の強度、硬度を保ったまま、摺動特性、加工面精度
に優れる材料である。従って軸受、メカニカルシール、
磁気ヘッドスライダー等の無潤滑摺動部材として、極め
て好適な材料である。本発明の複合材料を用いると、装
置の耐久性、信頼性が著しく向上し、産業上有用であ
る。
[Effects of the Invention] As described above, in the ceramic-BN composite material prepared according to the present invention, the composite ratio of the ceramic and the BN precursor is limited, and the firing conditions are limited. It is a material that is excellent in sliding characteristics and processed surface accuracy while maintaining the same. Therefore, bearings, mechanical seals,
It is a very suitable material for a non-lubricated sliding member such as a magnetic head slider. The use of the composite material of the present invention significantly improves the durability and reliability of the device, and is industrially useful.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】X線回折によるBN(002)面間隔が2.15〜
2.40Åかつ結晶子の大きさが50〜2000ÅのBN前駆体5〜
50wt%と、セラミックス粒子95〜50wt%とからなる混合
物を予備成型した後、10〜120MPaの圧力下で焼成するこ
とを特徴とするセラミックス−BN系複合材料の製造方
法。
1. The BN (002) plane spacing by X-ray diffraction is 2.15 to
2.40Å and BN precursor 5 with a crystallite size of 50Å2000Å
A method for producing a ceramic-BN composite material, comprising preforming a mixture of 50 wt% and ceramic particles of 95 to 50 wt%, followed by firing at a pressure of 10 to 120 MPa.
【請求項2】該セラミックス粒子が酸化物、炭化物、窒
化物、またはホウ化物の内の一種または二種以上の粒子
からなり、かつそれらの含有量が50〜95wt%であること
を特徴とする、請求項1記載のセラミックス−BN系複合
材料の製造方法。
2. The ceramic particles are characterized in that they are composed of one or more particles of oxides, carbides, nitrides or borides, and their content is 50 to 95% by weight. A method for producing a ceramic-BN composite material according to claim 1.
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