JP2631298B2

JP2631298B2 - ポンプの液漏洩検知装置

Info

Publication number: JP2631298B2
Application number: JP4391188A
Authority: JP
Inventors: 洋一小野; 敏行福元; 宣浩宗友
Original assignee: Nippon Pillar Packing Co Ltd
Current assignee: Nippon Pillar Packing Co Ltd
Priority date: 1988-02-25
Filing date: 1988-02-25
Publication date: 1997-07-16
Anticipated expiration: 2012-07-16
Also published as: JPH01217234A

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野この発明は、例えば半導体製造に用いられる薬液や、
医薬品、食品、バイオケミカル、化学薬品等の各種液体
を移送するベローズ内蔵型ポンプやダイヤフラム内蔵型
ポンプ等に利用されるポンプの液漏洩検知装置に関す
る。

（ロ）従来の技術従来、上述のような各種液体の移送に利用されるポン
プは、例えばポンプに内装したベローズ又はダイヤフラ
ム等を圧縮空気の加圧、負圧により吸排動作させ、負圧
作用でポンプの液吸入口に接続された液吸入管から液体
を一旦吸入した後、加圧作用でポンプの液吐出口から液
体を吐出すると共に、この液吐出口に接続された液吐出
管を介して液体を順次移送するポンプ構造である。

（ハ）発明が解決しようとする問題点上述の先行技術で述べたポンプには液漏洩を検知する
為の機能が備えられていないので、ポンプの破損により
駆動音が変調することで液漏洩を判断しなければなら
ず、点検整備係の豊富な経験と勘に判断が委ねられてい
るため、点検整備係によって液漏洩の判定基準にばらつ
きがあり、一定の基準に基づいて液漏洩を判定すること
ができない。

従って、液漏洩を検知した直後、直ちにポンプを停止
させるという緊急処理の立ち遅れが起き、例えば半導体
製造に於いて、ポンプで移送される薬液が液漏洩によっ
て侵入した塵埃等で汚染され、製造する製品の品質や精
度を劣化させたり、或いは、装置の一部を破損させてし
まう等の問題点を有している。

この発明は、ポンプの破損時に発生する液体中の気泡
を検出することで、ポンプの液漏洩を確実に検出するこ
とができるポンプの液漏洩検知装置の提供を目的とす
る。

（ニ）問題点を解決するための手段上述の問題点を解決するために、このポンプの液漏洩
検知装置は、ポンプの液吐出口に透明又は半透明の部材
で形成した液吐出管を接続し、上記液吐出管の周面径方
向に光電センサを対設すると共に、前記液吐出管を移送
される液体中の気泡を光電センサが検出することに基づ
き液漏洩信号を出力する液漏洩検知手段を備えて構成し
ている。

（ホ）作用この発明は、ポンプの破損により液漏洩が発生する
と、移送される液体中に気泡が混入し、この気泡を光電
センサで検出して液漏洩検知手段より液漏洩信号を出力
する。

（ヘ）発明の効果この発明によれば、液吐出管を移送される液体中の気
泡を光電センサで検出するので、一定の判定基準に基づ
いて、ポンプの破損による液漏洩を正確に且つ確実に検
知することができる。

この結果、液漏洩検知手段より出力される液漏洩信号
に基づいてポンプを即停止することで、汚染液体が誤っ
て移送されるようなことが防止でき、同時に、警告ラン
プや警報器等により液漏洩を点検整備係に知らせるべく
構成すれば、ポンプの停止や液漏洩を知らせる等の緊急
処置を速やかに実行することができる。

（ト）発明の実施例この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述する。

図面はベローズ内蔵型ポンプの液漏洩を検知する液漏
洩検知装置を示し、第１図に於いて、このベローズ内蔵
型のポンプ１は、コンプレッサ等のエア供給装置（図示
省略）と接続されたエア供給管２を、コントロールユニ
ット３と接続された電磁バルブ４を介してエア切換装置
５（エアパルスタイマ）に接続すると共に、このエア切
換装置５より分岐した２本の各エア供給管6,6をポンプ
１の各エア供給口7,7に夫々接続している。

そして、エア切換装置５で設定された時間（sec）の
切換動作により、エア供給管２より供給される圧縮空気
を各エア供給管6,6を介してポンプ１内に交互に供給
し、図示を省略した各エア排気口より交互に排気して、
ポンプ１に内装した一対のベローズ（図示省略）を交互
に伸縮動作させ、ポンプ１の各液吸入口8,8に接続され
た液吸入管９を介して透明又は半透明の液体を一旦吸入
した後、ポンプ１の各液吐出口10,10に接続された液吐
出管11を介して液体を順次移送する。

前述の液吐出管11は、第３図にも示すように、透明又
は半透明の合成樹脂（例えばPFAやFEP等）やガラス等で
形成され、ポンプ１の各液吐出口10,10より所定距離を
隔てた液吐出管11の周面上には、光電センサ12を構成す
る発光素子13と受光素子14とを液吐出管11の周面径方向
に対向して配設している。

この光電センサ12は、発光素子13からの投光が、液移
送中の液吐出管11を通過して受光素子14で受光されるこ
とで、光電センサ12が受光信号を出力して、この光電セ
ンサ12と接続されたコントロールユニット３に入力す
る。

上述のコントロールユニット３は、第２図に示すよう
に、内蔵したCPU15によって制御され、このCPU15は、RO
M16に格納されたプログラムに沿ってこのCPU15に接続さ
れる各回路装置を制御する共に、発光素子13からの投光
が液吐出管11を通過し、且つ液吐出管11を移送される気
泡Ｇが混入していない液体を通過して受光素子14で受光
されて、このときの受光素子14の出力、すなわち光電セ
ンサ12の出力を正常とCPU15は判定し、RAM17は受光信号
等の必要なデータを記憶する。

一方、液体中の気泡Ｇで発光素子13からの投光が偏光
及び反射され、受光素子14で受光されるべき透過光量
が、平常時の透過光量よりも減少するとき、これを気泡
Ｇの検出とし、この出力を光電センサ12の液漏洩信号と
してCPU15は判定する。

なお、光電センサ12の液漏洩信号は液漏洩と認定する
所定量の気泡Ｇが混入したときの出力を基準検出値と設
定し、この基準検出値以上のとき液漏洩信号として判定
する。

すなわち、光電センサ12の出力レベルが液漏洩として
設定したシキイ値を越えるとき、その出力を液漏洩信号
としている。

すなわち、光電センサ12の出力が前述の基準検出値よ
りも以下であるときCPU15は液漏洩無しと判定する。

前述の気泡Ｇの通過により光電センサ12が出力する液
漏洩信号の検知時間（sec）をCPU15を計時して、この計
時時間を液漏洩時間として判定する。

コントロールユニット３には、光電センサ12の感度調
整、すなわち、この光電センサ12が検出した信号のシキ
イ値を調整するための感度調整ツマミ18を有する。

なお、CPU15には電磁バルブ４と、警報器19と、警告
ランプ20とを駆動制御すべく夫々接続している。

また、上述のCPU15及び各構成要素16〜20、及び電磁
バルブ４と光電センサ12は内蔵したバッテリー又は外部
電源と電源スイッチ21のスイッチ操作により接続され
る。

図示実施例は上記の如く構成するものとして以下作用
動作を説明する。

第１図に示すように、仮にポンプ１に内装したベロー
ズ（図示省略）が破損して液漏洩が発生すると、駆動時
のポンプ１の液吐出口10より吐出される液体中に粒状の
気泡Ｇが混入する。

この液体は液吐出管11が移送され、移送途中に於い
て、第３図に示すように、光電センサ12を構成する発光
素子13からの投光が、液体中に混入した気泡Ｇにより偏
光又は反射され、受光素子14で受光されるべき受光量、
すなわち、液吐出管11を通過する透過光量が平常時より
も減少することで気泡Ｇを検出する。

第２図に示すように、この検出により光電センサ12か
ら出力される液漏洩信号がCPU15に入力されると、このC
PU15は液漏洩有りと判定して、これをRAM17に記憶し、
同時に、液漏洩信号の出力時間を計時して、その液漏洩
状態を判定する。

次いで、CPU15は電磁バルブ４を開閉作動させるべく
制御して、エア供給管２を閉鎖して圧縮空気の供給を遮
断することでポンプ１を停止し、汚染液体が誤って移送
されるのを防止する。

同じく、CPU15は警報器19を作動制御して、この警報
器19の警苗によりポンプ１の液漏洩を知らせ、且つ、警
告ランプ20を点滅制御することにより液漏洩を点検整備
係に知らせる。

このように液吐出管11を移送される液体中の気泡Ｇを
光電センサ12で検出するので、CPU15による一定の判定
基準に基づいて、ポンプ１の破損による液漏洩を正確且
つ確実に検知することができる。

しかも、気泡Ｇの検出により光電センサ12が出力する
液漏洩信号に基づいて、CPU15が電磁バルブ４を閉鎖
し、エア供給管２からの圧縮空気の供給をストップさ
せ、液漏洩と同時にポンプ１を即停止することで、汚染
液体が誤って移送されるようなことが確実に防止でき、
同時に、CPU15によって制御される警報器19の警苗や、
警告ランプ20の点滅等によりポンプ１の液漏洩を点検整
備係に素早く知らせ、ポンプ１の停止や液漏洩を知らせ
る等の緊急処置を速やかに実行することができる。

なお、この発明を構成する液漏洩検知手段は、上述の
実施例の光電センサ12と、CPU15とに対応するも、この発明は、上述の実施例の構成のみに限定されるも
のではない。

例えば、上述の液吐出管11に反射型の光電センサ12を
対設して気泡Ｇを検出するもよく、また、不透明の液体を移送する場合、光電センサ12の
発光素子13からの投光が、液漏洩により発生した液体中
の気泡Ｇにより通過を許容され、この投光を受光素子14
で受光することで気泡Ｇを検出するもよい。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示し、第１図はポンプと液漏洩検知装置の制御系構成図、第２図は液漏洩検知装置のブロック図、第３図は気泡と光電センサとの関係を示す液吐出管の部
分拡大縦断面図である。１……ポンプ、３……コントロールユニット 10……液吐出口、11……液吐出管 12……光電センサ、15……CPU Ｇ……気泡

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ポンプの液吐出口に透明又は半透明の部材
で形成した液吐出管を接続し、上記液吐出管の周面径方向に光電センサを対設すると共
に、前記液吐出管を移送される液体中の気泡を光電センサが
検出することに基づき液漏洩信号を出力する液漏洩検知
手段を備えたポンプの液漏洩検知装置。