JPH01217234A

JPH01217234A - ポンプの液漏洩検知装置

Info

Publication number: JPH01217234A
Application number: JP4391188A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Ono; 洋一小野; Toshiyuki Fukumoto; 敏行福元; Nobuhiro Munetomo; 宗友　宣浩
Original assignee: Nippon Pillar Packing Co Ltd
Current assignee: Nippon Pillar Packing Co Ltd
Priority date: 1988-02-25
Filing date: 1988-02-25
Publication date: 1989-08-30
Anticipated expiration: 2012-07-16
Also published as: JP2631298B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野この発明は、例えば半導体製造に用いられる薬液や、医
薬品、食品、バイオケミカル、化学薬品等の各種液体を
移送するベローズ内蔵型ポンプやダイヤフラム内蔵型ポ
ンプ等に利用されるポンプの液漏性検知装置に関する。

（ロ）従来の技術従来、上述のような各種液体の移送に利用されるポンプ
は、例えばポンプに内装したベローズ又はダイヤフラム
等を圧縮空気の加圧、負圧により吸排動作さぜ、負圧作
用でポンプの液吸入口に接続された液吸入管から液体を
一旦吸入した後、加圧作用でポンプの液吐出口から液体
を吐出すると共に、この液吐出口に接続された液吐出管
を介して液体を順次移送するポンプ構造である。

（ハ）発明が解決しようとする問題点上述の先行技術で述べたポンプには液漏洩を検知する為
の機能が備えられていないので、ポンプの破損により駆
動音が変調することで液漏洩を判断しなければならず、
点検整備係の豊富な経験と勘に判断が委ねられているた
め、点検整備係によって液漏洩の判定基準にばらつきが
あり、一定の基準に基づいて液漏洩を判定することがで
きない。

従って、液漏洩を検知した直後、直ちにポンプを停止さ
せるという緊急処置の立ち遅れが起き、例えば半導体製
造に於いて、ポンプで移送される薬液が液漏洩によって
侵入した塵埃等で汚染され、製造する製品の品質や精度
を劣化させたり、或いは、装置の一部を破損させてしま
う等の問題点を有している。

この発明は、ポンプの破損時に発生する液体中の気泡を
検出することで、ポンプの油漏洩を確実に検出すること
ができるポンプの液漏洩検知装置の提供を目的とする。

（ニ）問題点を解決するための手段上述の問題点を解決するために、このポンプの液漏洩検
知装置は、ポンプの液吐出口に透明又は半透明の部材で
形成した液吐出管を接続し、上記液吐出管の周面径方向
に光電センサを対設すると共に、前記液吐出管を移送さ
れる液体中の気泡を光電センサが検出することに基づき
油漏洩信号を出力する液漏洩検知手段を備えて構成して
いる。

（ホ）作用この発明は、ポンプの破損により油漏洩が発生ずると、
移送される液体中に気泡が混入し、この気泡を光電セン
サで検出して液漏洩検知手段より油漏洩信号を出力する
。

（へ）発明の効果この発明によれば、液吐出管を移送される液体中の気泡
を光電センサで検出するので、一定の判定基準に基づい
て、ポンプの破損による油漏洩を正確に且つ確実に検知
することができる。

この結果、液漏洩検知手段より出力される油漏洩信号に
基づいてポンプを即停止することで、汚染液体が誤って
移送されるようなことが防止でき、同時に、警告ランプ
や警報器等により油漏洩を点検整備係に知らせるべく構
成すれば、ポンプの停止や油漏洩を知らせる等の緊急処
置を速やかに実行することができる。

（１〜）発明の実施例この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述する。

図面はベローズ内蔵型ポンプの油漏洩を検知する液漏洩
検知装置を示し、第１図に於いて、このベローズ内蔵型
のポンプ１は、コンプレッサ等のエア供給装置（図示省
略）と接続されたエア供給管２を、コントロールユニッ
ト３と接続された電磁パルプ４を介してエア切換装置５
（エアパルスタイマ）に接続すると共に、このエア切換
装置５より分岐した２本の各エア供給管６．６をポンプ
１の各エア供給ロア、７に夫々接続している。

そして、エア切換装置５で設定された時間（ｓｅＣ）の
切換動作により、エア供給管２より供給される圧縮空気
を各エア供給管６，６を介してポンプ１内に交互に供給
し、図示を省略した各エア排気口より交互に排気して、
ポンプ１に内装した一対のベローズ（図示省略）を交互
に伸縮動作させ、ポンプ１の各液吸入口８．８に接続さ
れた液吸入管９を介して透明又は半透明の液体を一旦吸
入した後、ポンプ１の各液吐出口１０．１０に接続され
た液吐出管１１を介して液体を順次移送する。

前述の液吐出管１１は、第３図にも示すように、透明又
は半透明の合成樹脂（例えばＰＦＡやＦＥＰ等）やガラ
ス等で形成され、ポンプ１の各液吐出口１０．１０より
所定距離を隔てた液吐出管１１の周面上には、光電セン
サ１２を構成する発光素子１３と受光素子１４とを液吐
出管１１の周面径方向に対向して配設している。

この光電センサ１２は、発光素子１３からの投光が、液
移送中の液吐出管１１を通過して受光素子１４で受光さ
れることで、光電センサ１２が受光信号を出力して、こ
の光電センサ１２と接続されたコントロールユニット３
に入力する。

上述のコントロールユニット３は、第２図に示すように
、内蔵したＣＰＵ１５によって制御され、このＣＰＵ１
５は、ＲＯＭ１６に格納されたプログラムに沿ってこの
ＣＰＵ１５に接続される各回路装置を制御すると共に、
発光素子１３からの投光が液吐出管１１を通過し、且つ
液吐出管１１を移送される気泡Ｇが混入していない液体
を通過して受光素子１４で受光されて、このときの受光
素子１４の出力、すなわち光電センサ１２の出力を正常
とＣＰＵ１５は判定し、ＲＡＭ１７は受光信号等の必要
なデータを記憶する。

一方、液体中の気泡Ｇで発光素子１３からの投光が偏光
及び反射され、受光素子１４で受光されるべき透過光量
が、平常時の透過光量よりも減少するとき、これを気泡
Ｇの検出とし、この出力を光電センサ１２の油漏洩信号
としてＣＰＵ１５は判定する。

なお、光電センサ１２の油漏洩信号は油漏洩と認定する
所定量の気泡Ｇが混入したときの出力を基準検出値と設
定し、この基準検出値以上のとき油漏洩信号として判定
する。

すなわち、光電センサ１２の出力レベルが油漏洩として
設定したシキイ値を越えるとき、その出力を油漏洩信号
としている。

そして、光電センサ１２の出力が前述の基準検出値Ｊ：
りも以下であるときＣＰＵ１５は液漏洩無しと判定する
。

前述の気泡Ｇの通過により光電センサ１２が出力する油
漏洩信号の検知時間（ｓｅｃ）をＣＰＵ１５は計時して
、この計時時間を油漏洩時間として判定する。

コントロールユニット３には、光電センサ１２の感度調
整、すなわち、この光電センサ１２が検出した信号のシ
キイ値を調整するだめの感度調整ツマミ１８を有する。

なお、ＣＰＵ１５には電磁バルブ４と、警報器１９と、
警告ランプ２０とを駆動制御すべく夫々接続している。

また、上述のＣＰＵ１５及び各構成要素１６〜２０、及
び電磁バルブ４と光電センサ１２は内蔵したバッテリー
又は外部電源と電源スィッチ２１のスイッチ操作により
接続される。

図示実施例は上記の如く構成するものとして以下作用動
作を説明する。

第１図に示すように、仮にポンプ１に内装したベローズ
（図示省略）が破損して油漏洩が発生すると、駆動時の
ポンプ１の液吐出口１０より吐出される液体中に粒状の
気泡Ｇが混入する。

この液体は液吐出管１１を移送され、移送途中に於いて
、第３図に示ずように、光電セン４ノー１２を構成する
発光素子１３からの投光が、液体中に混入した気泡Ｇに
より偏光又は反射され、受光素子１４で受光されるべき
受光量、すなわち、液吐出管１１を通過する透過光量が
平常時よりも減少することで気泡Ｇを検出する。

第２図に示すように、この検出により光電センサ１２か
ら出力される油漏洩信号がＣＰＵ１５に入力されると、
このＣＰＵ１５は液漏波布りと判定して、これをＲＡＭ
１７に記憶し、同時に、油漏洩信号の出力時間を計時し
て、その液漏波状態を判定する。

次いで、ＣＰＵ１５は電磁バルブ４を開閉作動させるべ
く制御して、エア供給管２を閉鎖して圧縮空気の供給を
遮断することでポンプ１を停止し、汚染液体が誤って移
送されるのを防止する。

同じく、ＣＰＵ１５は警報器１９を作動制御して、この
警報器１９の警笛によりポンプ１の油漏洩を知らせ、且
つ、警告ランプ２０を点滅制御することにより油漏洩を
点検整備係に知らせる。

このように液吐出管１１を移送される液体中の気泡Ｇを
光電センサ１２で検出するので、ＣＰＵ１５による一定
の判定基準に基づいて、ポンプ１の破損による油漏洩を
正確且つ確実に検知することができる。

しかも、気泡Ｇの検出により光電センサ１２が出力する
油漏洩信号に基づいて、ＣＰＵ１５が電磁バルブ４を閉
鎖し、エア供給管２からの圧縮空気の供給をストップさ
せ、油漏洩と同時にポンプ１を即停止することで、汚染
液体が誤って移送されるようなことが確実に防止でき、
同時に、ＣＰＵ１５によって制御される警報器１９の警
笛や、警告ランプ２０の点滅等によりポンプ１の油漏洩
を点検整備係に素早く知らせ、ポンプ１の停止や油漏洩
を知らせる等の緊急処置を速やかに実行することができ
る。

なお、この発明を構成する油漏洩検知手段は、上述の実
施例の光電センサ１２と、ＣＰＵ１５とに対応するも、この発明は、上述の実施例の構成のみに限定されるもの
ではない。

例えば、上述の液吐出管１１に反射型の光電センサ１２
を対設して気泡Ｇを検出するもよく、また、不透明の液
体を移送する場合、光電センサ１２の発光素子１３から
の投光が、油漏洩により発生した液体中の気泡Ｇにより
通過を許容され、この投光を受光素子１４で受光するこ
とで気泡Ｇを検出するもよい。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示し、第１図はポンプと液漏洩検知装置の制御系構成図、第２
図は液漏洩検知装置のブロック図、第３図は気泡と光電
センサとの関係を示す液吐出管の部分拡大縦断面図であ
る。１・・・ポンプ　　　　３・・・コントロールユニット
１０・・・液吐出口　　１１・・・液吐出管１２・・・
光電センサ　１５・・・ＣＰＵＧ・・・気泡

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ポンプの液吐出口に透明又は半透明の部材で形成
した液吐出管を接続し、上記液吐出管の周面径方向に光電センサを対設すると共
に、前記液吐出管を移送される液体中の気泡を光電センサが
検出することに基づき液漏洩信号を出力する液漏洩検知
手段を備えたポンプの液漏洩検知装置。