JP2630109B2 - Magnetostatic wave element - Google Patents

Magnetostatic wave element

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JP2630109B2
JP2630109B2 JP12477691A JP12477691A JP2630109B2 JP 2630109 B2 JP2630109 B2 JP 2630109B2 JP 12477691 A JP12477691 A JP 12477691A JP 12477691 A JP12477691 A JP 12477691A JP 2630109 B2 JP2630109 B2 JP 2630109B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は静磁波素子に関し、特
に、たとえば共振器として用いられ、たとえば発振器に
利用される、静磁波素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetostatic wave element, and more particularly, to a magnetostatic wave element used, for example, as a resonator, for example, used as an oscillator.

【0002】[0002]

【従来の技術】この発明の背景となる従来の静磁波共振
器を用いた可変周波数発振器が、昭和63年電子情報通
信学会春季全国大会のC−688に開示されている。図
12はこの可変周波数発振器を示す図解図である。この
可変周波数発振器1は、静磁波共振器2を含む。
2. Description of the Related Art A conventional variable frequency oscillator using a magnetostatic wave resonator as a background of the present invention is disclosed in C-688 of the Spring Meeting of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers in 1988. FIG. 12 is an illustrative view showing this variable frequency oscillator. This variable frequency oscillator 1 includes a magnetostatic wave resonator 2.

【0003】静磁波共振器2は、図13および図14に
示すように、縦1mm,横1mmのGGG(ガドリニウ
ム,ガリウム,ガーネット)基板2aを含み、GGG基
板2aの一方主面全面には、厚さ18μmのYIG(イ
ットリウム,アイアン,ガーネット)薄膜3が形成され
る。このYIG薄膜3上には、その一方向の中央に、幅
0.05mmのストリップ導体4が形成される。さら
に、GGG基板2aの他方主面全面には、たとえば金属
からなる接地導体5が形成される。また、ストリップ導
体4の一端および他端には、図12に示すように、入出
力端子6aおよび6bがそれぞれ接続される。なお、Y
IG薄膜3には、その主面に対して直角な方向に、たと
えば2つの電磁石7aおよび7bによって、直流磁界が
印加される。この静磁波共振器2の一方の入出力端子6
aは接地され、他方の入出力端子6bはFET8のソー
スに接続される。このFET8のゲートは、帰還用イン
ダクタを介して接地される。また、FET8のドレイン
は、整合回路9を介して、負荷に接続される。
As shown in FIGS. 13 and 14, the magnetostatic wave resonator 2 includes a 1 mm long and 1 mm wide GGG (gadolinium, gallium, garnet) substrate 2a. A YIG (yttrium, iron, garnet) thin film 3 having a thickness of 18 μm is formed. On this YIG thin film 3, a strip conductor 4 having a width of 0.05 mm is formed at the center in one direction. Further, ground conductor 5 made of, for example, metal is formed on the entire other main surface of GGG substrate 2a. As shown in FIG. 12, input / output terminals 6a and 6b are connected to one end and the other end of the strip conductor 4, respectively. Note that Y
A DC magnetic field is applied to the IG thin film 3 in a direction perpendicular to its main surface, for example, by two electromagnets 7a and 7b. One input / output terminal 6 of the magnetostatic wave resonator 2
a is grounded, and the other input / output terminal 6b is connected to the source of the FET8. The gate of the FET 8 is grounded via a feedback inductor. The drain of the FET 8 is connected to a load via the matching circuit 9.

【0004】この可変周波数発振器1の静磁波共振器2
では、その共振モードにおける静磁波の定在波の分布を
図15(a)〜(d)に示すように、YIG薄膜3はそ
の一方向の両端が節となって共振し、YIG薄膜3には
その両端を節とする定在波が発生する。この静磁波共振
器2では、ストリップ導体4がYIG薄膜3の一方向の
中央に配置されているため、YIG薄膜3の一方向の中
央に対して奇対称であるモード(m=2,4,6,・・
・)は励振されず、偶対称であるモード(m=1,3,
5,・・・)が励振される。なお、この静磁波共振器2
では、モード(m=1)が基本モードとなり、モード
(m=3,5,・・・)が高次モードとなる。
The magnetostatic wave resonator 2 of the variable frequency oscillator 1
Then, as shown in FIGS. 15A to 15D, the distribution of the standing wave of the magnetostatic wave in the resonance mode is such that both ends in one direction of the YIG thin film 3 resonate, and the YIG thin film 3 Generates a standing wave with nodes at both ends. In the magnetostatic wave resonator 2, since the strip conductor 4 is arranged at the center of the YIG thin film 3 in one direction, the mode (m = 2, 4, 4) that is oddly symmetric with respect to the center of the YIG thin film 3 in one direction. 6, ...
•) are not excited and are even symmetric modes (m = 1, 3,
5,...) Are excited. Note that this magnetostatic wave resonator 2
, The mode (m = 1) becomes the basic mode, and the modes (m = 3, 5,...) Become higher-order modes.

【0005】ところが、この可変周波数共振器1では、
その静磁波共振器2の共振特性を図16に示すように、
基本モード共振R1以外に不要共振Rが発生する。その
ため、この可変周波数発振器1では、不要共振時に発振
条件を満たし、スプリアス発振の可能性がある。
However, in this variable frequency resonator 1,
The resonance characteristics of the magnetostatic wave resonator 2 are shown in FIG.
An unnecessary resonance R occurs in addition to the fundamental mode resonance R1. Therefore, the variable frequency oscillator 1 satisfies the oscillation condition at the time of unnecessary resonance, and may cause spurious oscillation.

【0006】また、静磁波共振器2における不要共振R
を抑制するために、ストリップ導体4の幅をたとえば
0.4mmに広げることが提案されている。ストリップ
導体4の幅を0.4mmに広げると、その共振特性を図
17に示すように、不要共振Rが抑制され、基本モード
共振R1が発振条件を満足する。
The unnecessary resonance R in the magnetostatic wave resonator 2 is
In order to suppress this, it has been proposed to increase the width of the strip conductor 4 to, for example, 0.4 mm. When the width of the strip conductor 4 is increased to 0.4 mm, as shown in FIG. 17, the unnecessary resonance R is suppressed, and the fundamental mode resonance R1 satisfies the oscillation condition.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ストリ
ップ導体4の幅を広げた場合でも、高次モードにおける
不要共振が大きいので、高次モードにおいて発振する可
能性があった。
However, even when the width of the strip conductor 4 is widened, unnecessary resonance in the higher-order mode is large, so that oscillation may occur in the higher-order mode.

【0008】それゆえに、この発明の主たる目的は、高
次モードにおける不要共振の小さい、静磁波素子を提供
することである。
[0008] Therefore, a main object of the present invention is to provide a magnetostatic wave device having a small unnecessary resonance in a higher-order mode.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】この発明は、矩形のフェ
リ磁性基体と、フェリ磁性基体の一方主面上に間隔を隔
てて配置される2つのトランスデューサとを含み、2つ
のトランスデューサは、フェリ磁性基体をその一方向に
ほぼ1対2対1に分割するそれぞれの位置に配置され、
2つのトランスデューサは、それぞれ、フェリ磁性基体
の一方向の長さのほぼ1/3の幅を有し、さらに2つ
のトランスデューサに流れる高周波信号の向きが逆向き
なるようにした、静磁波素子である。
SUMMARY OF THE INVENTION This invention includes a rectangular ferrimagnetic base, and two transducers being spaced apart on one major surface of the full E Li magnetic substrate, the two transducers, The ferrimagnetic substrate is disposed at each position where the ferrimagnetic substrate is divided substantially one-to-two to one in one direction,
Each of the two transducers has a width approximately one-third of the length in one direction of the ferrimagnetic substrate, and further , the directions of the high-frequency signals flowing through the two transducers are opposite.
This is a magnetostatic wave element.

【0010】[0010]

【作用】この静磁波素子をたとえば静磁波共振器として
用いた場合、フェリ磁性基体はその一方向の両端が節と
なって共振し、その両端を節とする静磁波の定在波が生
じる。この場合、2つのトランスデューサがフェリ磁性
体の一方向にほぼ1対2対1に分割するそれぞれの位
置に配置され、かつ、2つのトランスデューサに流れる
高周波信号の向きが逆向きになるようにすることによ
り、2つのトランスデューサに流れる信号の位相がほぼ
180°異なるようになるので、m=1,3,5,・・
・の不要共振モードは、2つのトランスデューサで相殺
されほとんど励振されない。
When the magnetostatic wave element is used, for example, as a magnetostatic wave resonator, the ferrimagnetic base resonates at both ends in one direction as nodes, and a standing wave of a magnetostatic wave having the both ends as nodes is generated . In this case, two transducers are disposed in respective positions to divide substantially 1: 2: 1 in one direction ferrimagnetic <br/> group members, and flows to the two transducers
The direction of the high-frequency signal is reversed.
Since the phases of the signals flowing through the two transducers are different from each other by approximately 180 °, m = 1, 3, 5,.
The unnecessary resonance mode is canceled out by the two transducers and is hardly excited.

【0011】また、2つのトランスデューサがフェリ磁
性基体をその一方向にほぼ1対2対1に分割する位置に
それぞれ配置されるので、m=4,8,・・・の不要共
振モードは、それぞれのトランスデューサに対してほぼ
点対称となりほとんど励振されない。
Since the two transducers are arranged at positions that divide the ferrimagnetic substrate approximately one-to-two to one in one direction, the unnecessary resonance modes of m = 4, 8,. Are almost point symmetric with respect to the transducer of the first embodiment and are hardly excited.

【0012】さらに、2つのトランスデューサがそれぞ
れフェリ磁性基体の一方向の長さのほぼ1/3の幅を有
するので、トランスデューサの実効幅がm=6のモード
の波長とほぼ同じになり、m=6の不要共振モードは、
ほとんど励振されない。
Further, since each of the two transducers has a width substantially one-third of the length in one direction of the ferrimagnetic substrate, the effective width of the transducer becomes substantially equal to the wavelength of the mode of m = 6, and m = The unnecessary resonance mode of No. 6 is
Hardly excited.

【0013】なお、m=10以上の不要共振モードは、
微小であるため、共振にはほとんど影響を及ぼさない。
一方、m=2のモードは、基本モードとして励振され共
振する。
Incidentally, the unnecessary resonance mode of m = 10 or more is
Since it is minute, it hardly affects resonance.
On the other hand, the mode of m = 2 is excited as a fundamental mode and resonates.

【0014】[0014]

【発明の効果】この発明によれば、基本モードに対して
共振し、かつ高次モードに対して不要共振の小さい、静
磁波素子が得られる。
According to the present invention, it is possible to obtain a magnetostatic wave element which resonates with the fundamental mode and has small unnecessary resonance with respect to the higher-order mode.

【0015】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
The above and other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the accompanying drawings.

【0016】[0016]

【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
り、図2は図1の線II−IIにおける断面図である。
また、図3は図1および図2に示す静磁波素子を用いた
発振装置の一例を示す図解図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.
FIG. 3 is an illustrative view showing one example of an oscillation device using the magnetostatic wave element shown in FIGS. 1 and 2.

【0017】図3に示す発振装置10は、共振器として
用いられる静磁波素子12を含む。静磁波素子12は、
図1および図2に示すように、たとえば縦1mm,横1
0mmの長方形のGGG(ガドリニウム,ガリウム,ガ
ーネット)基板14を含む。GGG基板14の一方主面
には、フェリ磁性基体としてたとえば厚さ113μmの
YIG(イットリウム,アイアン,ガーネット)薄膜1
6が形成される。なお、このYIG薄膜16は、たとえ
ば1.78kGaussの飽和磁化を有する。
The oscillation device 10 shown in FIG. 3 includes a magnetostatic wave element 12 used as a resonator. The magnetostatic wave element 12
As shown in FIG. 1 and FIG.
It includes a 0 mm rectangular GGG (gadolinium, gallium, garnet) substrate 14. On one main surface of the GGG substrate 14, for example, a 113 μm-thick YIG (yttrium, iron, garnet) thin film 1 is used as a ferrimagnetic substrate.
6 are formed. The YIG thin film 16 has, for example, a saturation magnetization of 1.78 kGauss.

【0018】このYIG薄膜16上には、たとえば矩形
のストリップ導体からなる2つのトランスデューサ18
および20が、間隔を隔てて平行に形成される。この場
合、これらのトランスデューサ18および20の幅方向
の中心線は、YIG薄膜16を長手方向にほぼ1対2対
1に分割するそれぞれの線L1およびL2上に配置され
る。また、これらのトランスデューサ18および20
は、それぞれ、YIG薄膜16の長手方向の長さの1/
3の幅を有する。
On the YIG thin film 16, two transducers 18 made of, for example, rectangular strip conductors are provided.
And 20 are formed parallel and spaced apart. In this case, the center lines in the width direction of these transducers 18 and 20 are arranged on respective lines L1 and L2 that divide the YIG thin film 16 in a lengthwise direction substantially 1: 2: 1. Also, these transducers 18 and 20
Are respectively 1 / the length of the YIG thin film 16 in the longitudinal direction.
It has a width of 3.

【0019】一方、GGG基板14の他方主面には、た
とえば金属からなる接地導体22が形成される。
On the other hand, a ground conductor 22 made of, for example, a metal is formed on the other main surface of the GGG substrate 14.

【0020】また、図3に示すように、一方のトランス
デューサ18は、その一端が線路23aで入出力端子2
4に接続され、その他端が接地される。さらに、他方の
トランスデューサ20は、その一端が接地され、その他
端が線路23bで入出力端子24に接続される。この場
合、一方のトランスデューサ18の一端から入出力端子
24までの線路23aの長さは、他方のトランスデュー
サ20の他端から入出力端子24までの線路23bの長
さとほぼ同一に選ばれる。そのため、一方のトランスデ
ューサ18の一端と他方のトランスデューサ20の他端
とにおける位相がほぼ0°となる。したがって、トラン
スデューサ18および20に流れる信号の位相がほぼ1
80°となる。
As shown in FIG. 3, one end of one transducer 18 is connected to the input / output terminal 2 via a line 23a.
4 and the other end is grounded. Further, one end of the other transducer 20 is grounded, and the other end is connected to the input / output terminal 24 via the line 23b. In this case, the length of the line 23a from one end of one transducer 18 to the input / output terminal 24 is selected to be substantially the same as the length of the line 23b from the other end of the other transducer 20 to the input / output terminal 24. Therefore, the phase at one end of one transducer 18 and the other end of the other transducer 20 becomes substantially 0 °. Therefore, the phase of the signal flowing through the transducers 18 and 20 is approximately 1
80 °.

【0021】さらに、この静磁波共振器12では、YI
G薄膜16の一方主面の上方および他方主面の下方に、
電磁石26aおよび26bがそれぞれ配置される。それ
らの電磁石26aおよび26bによって、この静磁波共
振器12には、YIG薄膜16の主面に対して垂直な方
向に、磁界が印加される。
Further, in this magnetostatic wave resonator 12, YI
Above one main surface and below the other main surface of the G thin film 16,
Electromagnets 26a and 26b are arranged respectively. A magnetic field is applied to the magnetostatic wave resonator 12 by the electromagnets 26a and 26b in a direction perpendicular to the main surface of the YIG thin film 16.

【0022】また、この静磁波共振器12の入力端子2
4は、FET28のソースSに接続される。このFET
28のゲートGは、帰還用インダクタ30を介して接地
される。また、FET28のドレインDは、整合回路3
2を介して、負荷34に接続される。
The input terminal 2 of the magnetostatic wave resonator 12
4 is connected to the source S of the FET 28. This FET
The gate G of 28 is grounded via the feedback inductor 30. The drain D of the FET 28 is connected to the matching circuit 3
2 and connected to a load 34.

【0023】この発振装置10では、図4(a)〜
(f)に示すように、静磁波共振器12のYIG薄膜1
6の長手方向の両端が節となって共振し、定在波が発生
する。この場合、2つのトランスデューサ18および2
0がYIG薄膜16をその一方向にほぼ1対2対1に分
割するそれぞれの位置に配置され、かつ、それらのトラ
ンスデューサ18および20に流れる信号の位相がほぼ
180°異なるようにされているので、m=1,3,
5,・・・の不要共振モードは、それらのトランスデュ
ーサ18および20で相殺されほとんど励振されない。
In this oscillation device 10, FIGS.
As shown in (f), the YIG thin film 1 of the magnetostatic wave resonator 12
6, the both ends in the longitudinal direction resonate as nodes, and a standing wave is generated. In this case, the two transducers 18 and 2
0 are located at respective positions that divide the YIG thin film 16 approximately one-to-two to one in one direction, and the phases of the signals flowing through the transducers 18 and 20 are made to differ by approximately 180 °. , M = 1,3,
The unwanted resonance modes of 5,... Are canceled out by the transducers 18 and 20 and are hardly excited.

【0024】また、2つのトランスデューサ18および
20がYIG薄膜16をその一方向にほぼ1対2対1に
分割するそれぞれの位置に配置されるので、m=4,
8,・・・の不要共振モードは、それぞれのトランスデ
ューサ18および20に対してほぼ点対称となりほとん
ど励振されない。
Also, since the two transducers 18 and 20 are arranged at respective positions that divide the YIG thin film 16 approximately one-to-two in one direction, m = 4
The unnecessary resonance modes of 8,... Are almost point-symmetric with respect to the respective transducers 18 and 20, and are hardly excited.

【0025】さらに、2つのトランスデューサ18およ
び20がそれぞれYIG薄膜16の一方向の長さの1/
3の幅を有するので、トランスデューサ18および20
の実効幅がm=6のモードの波長とほぼ同じになり、m
=6の不要共振モードは、ほとんど励振されない。な
お、トランスデューサ18および20とYIG薄膜16
とは、トランスデューサ18および20の周囲に励磁さ
れる高周波磁界で結合される。この場合、高周波磁界
は、トランスデューサ18および20の幅よりも広い範
囲に生じ、トランスデューサ18および20とYIG薄
膜16とは、トランスデューサ18および20の幅より
広い範囲で結合する。したがって、m=6のモードの不
要共振モードをほとんど励振させないためには、トラン
スデューサ18および20の幅は、YIG薄膜16の一
方向の長さのほぼ1/3であればよく、YIG薄膜16
の一方向の長さのほぼ1/3よりも短くてもよい。ま
た、m=10以上の不要共振モードは、微小であるた
め、共振にはほとんど影響を及ぼさない。一方、m=2
のモードは、基本モードとして励振され共振する。
Further, the two transducers 18 and 20 each have a length of 1 / one of the length in one direction of the YIG thin film 16.
3 so that transducers 18 and 20
Becomes substantially the same as the wavelength of the mode where m = 6, and m
The unnecessary resonance mode of = 6 is hardly excited. The transducers 18 and 20 and the YIG thin film 16
Are coupled by a high frequency magnetic field excited around the transducers 18 and 20. In this case, the high-frequency magnetic field is generated in a range wider than the width of the transducers 18 and 20, and the transducers 18 and 20 are coupled to the YIG thin film 16 in a range wider than the width of the transducers 18 and 20. Therefore, in order to hardly excite the unnecessary resonance mode of the mode of m = 6, the width of the transducers 18 and 20 may be approximately ほ ぼ of the length in one direction of the YIG thin film 16.
May be shorter than approximately 1/3 of the length in one direction. In addition, since the unnecessary resonance mode of m = 10 or more is very small, it hardly affects the resonance. On the other hand, m = 2
Mode is excited as a fundamental mode and resonates.

【0026】すなわち、この静磁波素子12では、その
周波数特性を図5に示すように、m=2の基本モードに
対して共振の度合いが大きく、かつm=4,6,8,・
・・の高次モードに対しての不要共振が小さいことが明
らかである。さらに、この静磁波素子12では、その共
振特性を図6に示すように、図17に共振特性を示す図
13および図14の従来の静磁波共振器2と比較して、
不要共振が抑制され、高次モードでの不要共振が小さく
なっていることが明らかである。したがって、この静磁
波共振器12を用いた発振装置10では、高次モードで
の不要共振が起こりにくい。
That is, in the magnetostatic wave element 12, as shown in FIG. 5, the degree of resonance is large with respect to the fundamental mode of m = 2, and m = 4, 6, 8,.
It is clear that the unwanted resonance for the higher-order modes is small. Further, in the magnetostatic wave element 12, as shown in FIG. 6, the resonance characteristics are compared with those of the conventional magnetostatic wave resonator 2 shown in FIGS.
It is clear that unnecessary resonance is suppressed and unnecessary resonance in the higher-order mode is reduced. Therefore, in the oscillation device 10 using the magnetostatic wave resonator 12, unnecessary resonance in the higher-order mode hardly occurs.

【0027】また、この静磁波素子12では、YIG薄
膜16の一方向の長さが10mmに形成されているの
で、m=2の基本モードにおける波長λgは、10mm
となる。そのため、β=2π/λgの式で求められる位
相定数βは、m=2の基本モードにおいて628rad
/mとなる。同様にして、この静磁波素子12では、m
=4,6および8のモードにおける位相定数βは、それ
ぞれ、1257rad/m,1885rad/mおよび
2513rad/mとなる。さらに、この静磁波素子1
2では、m=2,4,6および8の各モードにおける周
波数の実測値は、それぞれ、2.440GHz ,2.4
85GHz ,2.528GHz および2.571GHz
であった。
In the magnetostatic wave element 12, since the length in one direction of the YIG thin film 16 is formed to be 10 mm, the wavelength λg in the fundamental mode where m = 2 is 10 mm.
Becomes Therefore, the phase constant β obtained by the equation β = 2π / λg is 628 rad in the fundamental mode where m = 2.
/ M. Similarly, in this magnetostatic wave element 12, m
= 4, 6 and 8 are 1257 rad / m, 1885 rad / m and 2513 rad / m, respectively. Further, the magnetostatic wave element 1
In 2, the measured value of the frequency in each mode of the m = 2, 4, 6 and 8, respectively, 2.440GH z, 2.4
85GH z, 2.528GH z and 2.571GH z
Met.

【0028】この静磁波素子12の各モードにおける周
波数と位相定数との実測値の関係を図7のグラフに示し
た。さらに、図7のグラフには、この静磁波装置12の
周波数と位相定数との計算値の関係を示した。図7に示
すグラフから明らかなように、この静磁波素子12で
は、周波数と位相定数との関係が計算値と実測値とでほ
ぼ一致する。そのため、この静磁波素子12は、設計が
容易である。
FIG. 7 is a graph showing the relationship between the measured values of the frequency and the phase constant in each mode of the magnetostatic wave element 12. Further, the graph of FIG. 7 shows the relationship between the frequency of the magnetostatic wave device 12 and the calculated value of the phase constant. As is clear from the graph shown in FIG. 7, in the magnetostatic wave element 12, the relationship between the frequency and the phase constant is almost the same between the calculated value and the measured value. Therefore, the magnetostatic wave element 12 is easy to design.

【0029】なお、図3に示す発振装置10では、静磁
波素子12の2つのトランスデューサ18および20に
流れる信号の位相をほぼ180°にするために、一方の
トランスデューサ18の一端および他方のトランスデュ
ーサ20の他端を入出力端子24に接続し、かつ一方の
トランスデューサ18の他端および他方のトランスデュ
ーサ20の一端を接地したが、たとえば図8に示すよう
に、一方のトランスデューサ18の一端を入出力端子2
4aに接続し、他方のトランスデューサ18の一端を接
地し、かつ一方のトランスデューサ18の他端を他方の
トランスデューサ20の他端に接続してもよい。
In the oscillation device 10 shown in FIG. 3, one end of one of the transducers 18 and the other transducer 20 are used to make the phases of the signals flowing through the two transducers 18 and 20 of the magnetostatic wave element 12 approximately 180 °. Is connected to the input / output terminal 24, and the other end of the one transducer 18 and one end of the other transducer 20 are grounded. For example, as shown in FIG. 2
4a, one end of the other transducer 18 may be grounded, and the other end of one transducer 18 may be connected to the other end of the other transducer 20.

【0030】図9は図1および図2に示す実施例の変形
例を示す斜視図である。図9に示す静磁波素子12で
は、トランスデューサ18および20がそれぞれパラレ
ルストリップラインで構成される。
FIG. 9 is a perspective view showing a modification of the embodiment shown in FIGS. In the magnetostatic wave element 12 shown in FIG. 9, the transducers 18 and 20 are each configured by a parallel strip line.

【0031】図10は図1および図2に示す実施例の他
の変形例を示す斜視図である。図10に示す静磁波素子
12では、特に、YIG薄膜16の一方主面全面に誘電
体層36が形成され、誘電体層36の表面にトランスデ
ューサ18および20が形成されている。
FIG. 10 is a perspective view showing another modification of the embodiment shown in FIGS. In the magnetostatic wave element 12 shown in FIG. 10, the dielectric layer 36 is formed on one entire main surface of the YIG thin film 16, and the transducers 18 and 20 are formed on the surface of the dielectric layer 36.

【0032】図11はこの発明の他の実施例を示す斜視
図である。この実施例の静磁波素子12は誘電体基板3
8を含む。この誘電体基板38は、YIG薄膜16ない
しGGG基板14の主面より一回り広い主面を有する。
そして、この誘電体基板38の一方主面に、2つのトラ
ンスデューサ18および20が形成される。この場合、
2つのトランスデューサ18および20は、誘電体基板
38の幅方向の一端から他端にわたって形成される。ま
た、2つのトランスデューサ18および20は、YIG
薄膜16の幅方向の長さより長い中央部が、それぞれY
IG薄膜16の長手方向の長さの1/3の幅に形成さ
れ、それらの両端部が、それぞれ幅狭く形成される。ま
た、2つのトランスデューサ18および20は、YIG
薄膜16の長手方向の長さの1/2の間隔を隔てて平行
に形成される。
FIG. 11 is a perspective view showing another embodiment of the present invention. The magnetostatic wave element 12 of this embodiment is a dielectric substrate 3
8 inclusive. The dielectric substrate 38 has a principal surface slightly wider than the principal surface of the YIG thin film 16 or the GGG substrate 14.
Then, two transducers 18 and 20 are formed on one main surface of the dielectric substrate 38. in this case,
The two transducers 18 and 20 are formed from one end to the other end in the width direction of the dielectric substrate 38. Also, the two transducers 18 and 20 are YIG
The central portion longer than the width of the thin film 16 is Y
The IG thin film 16 is formed to have a width of 1/3 of the length in the longitudinal direction, and both ends thereof are formed to be narrow. Also, the two transducers 18 and 20 are YIG
The thin film 16 is formed in parallel with an interval of 1/2 of the length in the longitudinal direction.

【0033】そして、GGG基板16上のYIG薄膜1
4が、2つのトランスデューサ18および20を横切る
ようにして、誘電体基板38の一方主面に接着される。
この場合、YIG薄膜16をその長手方向に1対2対1
に分割するそれぞれの位置にトランスデューサ18およ
び20が配置されるように、YIG薄膜14が誘電体基
板38に接着される。また、接地導体22は、誘電体基
板38の他方主面全面に形成される。
Then, the YIG thin film 1 on the GGG substrate 16
4 is bonded to one main surface of the dielectric substrate 38 across the two transducers 18 and 20.
In this case, the YIG thin film 16 is placed one-to-two to one in the longitudinal direction.
The YIG thin film 14 is adhered to the dielectric substrate 38 so that the transducers 18 and 20 are arranged at the respective positions where the transducers are divided. The ground conductor 22 is formed on the entire other main surface of the dielectric substrate 38.

【0034】この実施例では、平面的に見てYIG薄膜
16に重ならないトランスデューサ18および20の端
部が接続部分として用いられるので、トランスデューサ
18および20の端部に線路などを接続しても、特性が
ほとんど変わらない。さらに、この実施例では、平面的
に見てYIG薄膜16の主面より広い範囲に接地導体2
2が形成されるので、トランスデューサ18および20
間の不要な直達波を抑えることができる。
In this embodiment, since the ends of the transducers 18 and 20 which do not overlap the YIG thin film 16 in plan view are used as connecting portions, even if a line or the like is connected to the ends of the transducers 18 and 20, Characteristics hardly change. Further, in this embodiment, the ground conductor 2 extends over a wider area than the main surface of the YIG thin film 16 in plan view.
2 are formed, the transducers 18 and 20
Unnecessary direct waves can be suppressed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1の線II−IIにおける断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.

【図3】図1および図2に示す静磁波素子を用いた発振
装置の一例を示す図解図である。
FIG. 3 is an illustrative view showing one example of an oscillation device using the magnetostatic wave element shown in FIGS. 1 and 2;

【図4】図1および図2に示す静磁波素子の共振モード
における静磁波の定在波分布を示す図解図である。
FIG. 4 is an illustrative view showing a standing wave distribution of a magnetostatic wave in a resonance mode of the magnetostatic wave element shown in FIGS. 1 and 2;

【図5】図1および図2に示す静磁波素子の周波数特性
を示すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing a frequency characteristic of the magnetostatic wave device shown in FIGS. 1 and 2;

【図6】図1および図2に示す静磁波素子の共振特性を
示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing resonance characteristics of the magnetostatic wave device shown in FIGS. 1 and 2;

【図7】図1および図2に示す静磁波素子の周波数と位
相定数との関係を示すグラフである。
FIG. 7 is a graph showing the relationship between the frequency and the phase constant of the magnetostatic wave device shown in FIGS. 1 and 2.

【図8】図1および図2に示す静磁波素子のトランスデ
ューサの他の接続例を示す平面図である。
8 is a plan view showing another connection example of the transducer of the magnetostatic wave element shown in FIGS. 1 and 2. FIG.

【図9】図1および図2に示す実施例の変形例を示す斜
視図である。
FIG. 9 is a perspective view showing a modification of the embodiment shown in FIGS. 1 and 2;

【図10】図1および図2に示す実施例の他の変形例を
示す斜視図である。
FIG. 10 is a perspective view showing another modified example of the embodiment shown in FIGS. 1 and 2;

【図11】この発明の他の実施例を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing another embodiment of the present invention.

【図12】この発明の背景となる従来の静磁波共振器を
用いた可変周波数発振器の一例を示す図解図である。
FIG. 12 is an illustrative view showing one example of a variable frequency oscillator using a conventional magnetostatic wave resonator as a background of the present invention.

【図13】図12に示す可変周波数発振器に用いられる
従来の静磁波共振器を示す斜視図である。
13 is a perspective view showing a conventional magnetostatic wave resonator used in the variable frequency oscillator shown in FIG.

【図14】図13の線XIV−XIVにおける断面図で
ある。
14 is a sectional view taken along line XIV-XIV in FIG.

【図15】図13および図14に示す静磁波共振器の共
振モードにおける静磁波の定在波分布を示す図解図であ
る。
FIG. 15 is an illustrative view showing a standing wave distribution of a magnetostatic wave in a resonance mode of the magnetostatic wave resonator shown in FIGS. 13 and 14;

【図16】図13および図14に示す静磁波共振器の共
振特性を示すグラフである。
FIG. 16 is a graph showing resonance characteristics of the magnetostatic wave resonator shown in FIGS. 13 and 14;

【図17】図13および図14に示す静磁波共振器にお
いて、トランスデューサの幅を広くしたときの共振特性
を示すグラフである。
FIG. 17 is a graph showing resonance characteristics of the magnetostatic wave resonator shown in FIGS. 13 and 14 when the width of the transducer is increased.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 発振装置 12 静磁波素子 14 GGG基板 16 YIG薄膜 18,20 トランスデューサ 22 接地導体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Oscillator 12 Magnetostatic wave element 14 GGG board 16 YIG thin film 18, 20 Transducer 22 Ground conductor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鎌 土 恭 秀 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株 式会社 村田製作所内 (72)発明者 金 谷 文 夫 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株 式会社 村田製作所内 (56)参考文献 特開 平3−162102(JP,A) 特開 平1−236723(JP,A) 特開 平1−233822(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto, Japan Inventor Murata Manufacturing Co., Ltd. No. 10 Inside Murata Manufacturing Co., Ltd. (56) References JP-A-3-162102 (JP, A) JP-A-1-236723 (JP, A) JP-A-1-233822 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 矩形のフェリ磁性基体、および 前記フェリ磁性基体の一方主面上に間隔を隔てて配置さ
れる2つのトランスデューサを含み、 前記2つのトランスデューサは、前記フェリ磁性基体を
その一方向にほぼ1対2対1に分割するそれぞれの位置
に配置され、 前記2つのトランスデューサは、それぞれ、前記フェリ
磁性基体の前記一方向の長さのほぼ1/3の幅を有し、
さらに 前記2つのトランスデューサに流れる高周波信号の向き
が逆向きになるようにした、静磁波素子。
1. A ferrimagnetic base comprising: a rectangular ferrimagnetic base; and two transducers arranged at an interval on one main surface of the ferrimagnetic base, wherein the two transducers move the ferrimagnetic base in one direction. Each of the two transducers is disposed at a position where the two transducers are divided substantially in a one-to-two-to-one relationship, and each of the two transducers has a width substantially one-third of a length of the ferrimagnetic substrate in the one direction;
Furthermore , the direction of the high-frequency signal flowing through the two transducers
A magnetostatic wave element in which the direction is reversed .
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