JP2616469B2 - Semiconductor laser module - Google Patents

Semiconductor laser module

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JP2616469B2
JP2616469B2 JP29661994A JP29661994A JP2616469B2 JP 2616469 B2 JP2616469 B2 JP 2616469B2 JP 29661994 A JP29661994 A JP 29661994A JP 29661994 A JP29661994 A JP 29661994A JP 2616469 B2 JP2616469 B2 JP 2616469B2
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semiconductor laser
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laser module
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光ファイバ伝送システム
等に使用される半導体レーザを備えた半導体レーザモジ
ュールに係わり、特に20GHz以上の変調周波数帯域
を有する場合に好適な半導体レーザモジュールに関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor laser module having a semiconductor laser used in an optical fiber transmission system and the like, and more particularly to a semiconductor laser module suitable for a case having a modulation frequency band of 20 GHz or more.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体レーザモジュールは、例えば光フ
ァイバ伝送システムで電気信号を光信号に変換するため
に使用されている。半導体レーザモジュール内には半導
体レーザや半導体レーザ駆動回路が配置されており、半
導体レーザを所定の電気信号で駆動することにより変調
された信号光を得ることができる。
2. Description of the Related Art Semiconductor laser modules are used to convert electric signals into optical signals in, for example, an optical fiber transmission system. A semiconductor laser and a semiconductor laser drive circuit are arranged in the semiconductor laser module, and a modulated signal light can be obtained by driving the semiconductor laser with a predetermined electric signal.

【0003】図3は従来提案された半導体レーザモジュ
ールの一例を表わしたものである。例えば特開昭62−
205683号公報や特開平4−101484号公報に
開示されたこのような半導体レーザモジュールでは、モ
ジュールパッケージ11の図で中央よりもやや右側に片
寄って基板等からなるキャリア12が配置されており、
その上には半導体レーザ13が配置されている。半導体
レーザ13から出力されるレーザ光はレンズ14によっ
て集光されて、その光軸に軸心を一致させた光ファイバ
15と結合するようになっている。また、このモジュー
ルパッケージ11の外部端子の1つと共用されているマ
イクロストリップ線路17と半導体レーザ13はボンデ
ィングワイヤ18によって接続されており、図示しない
変調回路から供給される変調信号19によって半導体レ
ーザ13の変調が行われるようになっている。
FIG. 3 shows an example of a conventionally proposed semiconductor laser module. For example, JP-A-62-2
In such a semiconductor laser module disclosed in JP-A-205683 and JP-A-4-101484, a carrier 12 made of a substrate or the like is arranged slightly off to the right of the center of the module package 11 in the drawing.
A semiconductor laser 13 is disposed thereon. Laser light output from the semiconductor laser 13 is condensed by a lens 14 and coupled to an optical fiber 15 whose axis coincides with its optical axis. Further, the microstrip line 17 shared with one of the external terminals of the module package 11 and the semiconductor laser 13 are connected by a bonding wire 18, and a modulation signal 19 supplied from a modulation circuit (not shown) allows the semiconductor laser 13 to be driven. Modulation is performed.

【0004】なお、この図ではモジュールパッケージ1
1に植設された他の外部端子や、これらの外部端子に接
続されたモジュールパッケージ11内の他の回路部分は
煩雑さを避けるため図示していない。
FIG. 1 shows a module package 1
The other external terminals implanted in the device 1 and other circuit portions in the module package 11 connected to these external terminals are not shown in order to avoid complexity.

【0005】このような従来の半導体レーザモジュール
では、マイクロストリップ線路17と半導体レーザ13
をボンディングワイヤ18によって接続する関係でマイ
クロストリップ線路17が光ファイバ15の取り付けら
れた側のパッケージ側壁やレンズ14と近接して配置さ
れている。このため、ワイヤボンディングが困難である
という問題があった。また、モジュールパッケージ11
の図で左側に寄った位置に配置されている図示しない外
部端子から変調信号を印加するようにピン配置を変更す
ることができず、設計上の自由度が少ないという問題も
あった。
In such a conventional semiconductor laser module, the microstrip line 17 and the semiconductor laser 13
The microstrip line 17 is arranged close to the side wall of the package on which the optical fiber 15 is attached and the lens 14 in such a manner that the optical fiber 15 is attached to the lens 14. For this reason, there has been a problem that wire bonding is difficult. Also, the module package 11
In this figure, the pin arrangement cannot be changed so that the modulation signal is applied from an external terminal (not shown) arranged at a position closer to the left side, and there is a problem that the degree of freedom in design is small.

【0006】図4は、このような問題点を解決するため
に提案された他の半導体レーザモジュールの構造を表わ
したものである。図3と同一部分には同一の符号を付し
ており、これらの説明を適宜省略する。また、この図で
も外部端子やモジュールパッケージ11内の本発明と関
係ない部分の図示は省略している。
FIG. 4 shows a structure of another semiconductor laser module proposed to solve such a problem. The same parts as those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate. Also in this figure, illustration of the external terminals and parts of the module package 11 not related to the present invention are omitted.

【0007】この図4に示した半導体レーザモジュール
は、例えば特開平5−110210号公報に開示されて
いるものである。このモジュールでは、モジュールパッ
ケージ11内のほぼ中央位置にキャリア21が配置され
ている。キャリア21の表面には変調信号の伝送路とし
ての第1のマイクロストリップ線路22が形成されてい
る。この第1のマイクロストリップ線路22上には半導
体レーザ13が配置されている。第1のマイクロストリ
ップ線路22はその方向変換部24の箇所で直角に折れ
曲がっており、変調信号の伝搬方向を直角に変換してい
る。
The semiconductor laser module shown in FIG. 4 is disclosed, for example, in JP-A-5-110210. In this module, a carrier 21 is arranged at a substantially central position in the module package 11. A first microstrip line 22 is formed on the surface of the carrier 21 as a transmission path for a modulation signal. The semiconductor laser 13 is arranged on the first microstrip line 22. The first microstrip line 22 is bent at a right angle at the direction changing portion 24 to change the propagation direction of the modulated signal to a right angle.

【0008】この直角に折れ曲がった第1のマイクロス
トリップ線路22の端部と対向するように第2のマイク
ロストリップ線路25がモジュールパッケージ11を貫
通しており外部端子と共用されている。第2のマイクロ
ストリップ線路25には、モジュールパッケージ11の
外部から変調信号19が入力されるようになっている。
また、第2のマイクロストリップ線路25の内部側の端
部と第1のマイクロストリップ線路22のこれに対向す
る端部は、ボンディングワイヤ26によって接続されて
おり、変調信号19が第2のマイクロストリップ線路2
5から第1のマイクロストリップ線路22へと伝達され
るようになっている。そして、この変調信号19によっ
て半導体レーザ14が変調され、変調信号光は光ファイ
バ15と結合して矢印で示す光軸方向27に進行するよ
うになっている。
A second microstrip line 25 passes through the module package 11 so as to face the end of the first microstrip line 22 bent at a right angle, and is shared with an external terminal. The modulation signal 19 is input to the second microstrip line 25 from outside the module package 11.
Further, an inner end of the second microstrip line 25 and an opposite end of the first microstrip line 22 are connected by a bonding wire 26, and the modulation signal 19 is supplied to the second microstrip line 22. Track 2
5 to the first microstrip line 22. The semiconductor laser 14 is modulated by the modulation signal 19, and the modulation signal light is coupled to the optical fiber 15 and travels in the optical axis direction 27 shown by the arrow.

【0009】このように図4に示した半導体レーザモジ
ュールでは、第1のマイクロストリップ線路22におけ
る光ファイバ15の光軸と平行な部分の長さ分だけ第2
のマイクロストリップ線路25をモジュールパッケージ
11の図で左側に寄せて配置することができる。これに
より、ワイヤボンディングが容易になると共に、変調信
号19を印加するための外部端子の配置の自由度が増
す。
As described above, in the semiconductor laser module shown in FIG. 4, the second microstrip line 22 has a length corresponding to the length of the portion parallel to the optical axis of the optical fiber 15 in the second microstrip line 22.
Of the microstrip line 25 can be arranged on the left side in the drawing of the module package 11. This facilitates wire bonding and increases the degree of freedom in arranging external terminals for applying the modulation signal 19.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで光ファイバ伝
送システムでは、その高速化の要求に対応して、半導体
レーザモジュールの高速化が求められている。特にG
(ギガ)Hz帯のように高速の半導体レーザモジュール
を実現するためには、半導体レーザ駆動回路と半導体レ
ーザの間の電気的な接続における損失や反射を抑える必
要がある。このためには、図3および図4で示したよう
にストリップ線路17、22、25を用いることが有効
である。
By the way, in the optical fiber transmission system, the speed of the semiconductor laser module has been demanded in response to the demand for the speed. Especially G
In order to realize a high-speed semiconductor laser module in the (giga) Hz band, it is necessary to suppress loss and reflection in electrical connection between the semiconductor laser drive circuit and the semiconductor laser. For this purpose, it is effective to use the strip lines 17, 22, 25 as shown in FIGS.

【0011】ところが図4に示した従来提案の半導体レ
ーザモジュールでは、図3に示した半導体レーザモジュ
ールに存在する問題を解決するために、第1のマイクロ
ストリップ線路22に方向変換部24が設けられてお
り、変調信号の伝搬方向を直角に変換している。このた
め、この部分で変調信号の反射や損失が生じるおそれが
ある。したがって、このような問題を避けるためには半
導体レーザモジュールの変調周波数を20GHz程度よ
りも低い周波数にする必要があり、高速化を図る上での
重大な障害となっていた。
However, in the conventional semiconductor laser module shown in FIG. 4, in order to solve the problem existing in the semiconductor laser module shown in FIG. 3, a direction changing section 24 is provided in the first microstrip line 22. The direction of propagation of the modulated signal is changed to a right angle. For this reason, reflection or loss of the modulation signal may occur in this portion. Therefore, in order to avoid such a problem, it is necessary to set the modulation frequency of the semiconductor laser module to a frequency lower than about 20 GHz, which has been a serious obstacle in increasing the speed.

【0012】そこで本発明の目的は、変調周波数が高い
場合でもモジュール内で変調信号の反射や損失を低下さ
せることができ、高速化に十分対処することのできる半
導体レーザモジュールを提供することにある。
An object of the present invention is to provide a semiconductor laser module that can reduce the reflection and loss of a modulation signal in a module even when the modulation frequency is high, and can sufficiently cope with high speed operation. .

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明で
は、(イ)モジュールパッケージと、(ロ)このモジュ
ールパッケージ内部に設けられた直線状の第1のマイク
ロストリップ線路と、(ハ)この第1のマイクロストリ
ップ線路上に配置されこの信号伝搬方向とレーザ光の射
出する方向を一致させた半導体レーザと、(ニ)第1の
マイクロストリップ線路の信号伝搬方向と異なった方向
に信号伝搬方向を設定しモジュールパッケージの外部か
ら供給される半導体レーザ変調信号を内部に伝達する直
線状の第2のマイクロストリップ線路と、(ホ)モジュ
ールパッケージ外部に配置された光ファイバと、(ヘ)
半導体レーザとこの光ファイバを結合する結合手段と、
(ト)第1のマイクロストリップ線路と第2のマイクロ
ストリップ線路の間を接続したボンディングワイヤとを
半導体レーザモジュールに具備させる。
According to the first aspect of the present invention, there are provided (a) a module package, (b) a first linear microstrip line provided inside the module package, and (c) a first microstrip line. A semiconductor laser which is disposed on the first microstrip line and whose signal propagation direction matches the direction in which laser light is emitted; and (d) a signal propagation direction different from the signal propagation direction of the first microstrip line. (E) an optical fiber disposed outside the module package, (e) an optical fiber disposed outside the module package, and (f) an optical fiber disposed outside the module package.
Coupling means for coupling the semiconductor laser and the optical fiber;
(G) A semiconductor laser module is provided with a bonding wire connecting between the first microstrip line and the second microstrip line.

【0014】すなわち請求項1記載の発明では、第1の
マイクロストリップ線路上に信号伝搬方向とレーザ光の
射出する方向を一致させて半導体レーザを配置する一方
で、これとは異なった方向に第2のマイクロストリップ
線路を配置し、これらの間をボンディングワイヤで接続
することで、折れ曲がった方向変換部を不要とし、変調
周波数が高い場合でもモジュール内で変調信号の反射や
損失を低下させることを可能にした。
That is, according to the first aspect of the invention, while the semiconductor laser is arranged on the first microstrip line so that the signal propagation direction and the laser light emission direction coincide with each other, the semiconductor laser is arranged in a direction different from this. By disposing two microstrip lines and connecting them with a bonding wire, a bent direction conversion unit is not required, and even if the modulation frequency is high, the reflection and loss of the modulation signal in the module can be reduced. Made it possible.

【0015】請求項2記載の発明では、第1のマイクロ
ストリップ線路に対して第2のマイクロストリップ線路
はほぼ直角方向に配置されていることとし、外部端子と
の接続あるいは第2のマイクロストリップ線路と外部端
子との共用を容易にした。
According to the second aspect of the present invention, the second microstrip line is disposed substantially perpendicular to the first microstrip line, and is connected to an external terminal or the second microstrip line. And external terminals are easily shared.

【0016】請求項3記載の発明では、第2のマイクロ
ストリップ線路はモジュールパッケージから外部に突出
している外部端子の1つと一体的に構成されていること
にし、構成を簡略化した。
According to the third aspect of the present invention, the second microstrip line is formed integrally with one of the external terminals protruding from the module package to the outside, thereby simplifying the configuration.

【0017】[0017]

【実施例】以下実施例につき本発明を詳細に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below with reference to embodiments.

【0018】図1は本発明の一実施例における半導体レ
ーザモジュールの構成を表わしたものである。図3およ
び図4と同一部分には同一の符号を付しており、これら
の説明を適宜省略する。本実施例の半導体レーザモジュ
ールでは、モジュールパッケージ11内におけるレンズ
14の入射側には図示しないペルチエ素子の上に金属板
等からなるキャリア31が配置されており、その上には
セラミック板と金属板を重ね合わせた形の第1のマイク
ロストリップ線路32が光ファイバ15の光軸方向と平
行に配置されている。更に、この第1のマイクロストリ
ップ線路32のレンズ14側の端部近傍の表面には、レ
ンズ14の光軸と射出方向を一致させるようにして半導
体レーザ13が配置されている。
FIG. 1 shows the configuration of a semiconductor laser module according to an embodiment of the present invention. 3 and 4 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate. In the semiconductor laser module of this embodiment, a carrier 31 made of a metal plate or the like is disposed on a Peltier element (not shown) on the incidence side of the lens 14 in the module package 11, and a ceramic plate and a metal plate are placed thereon. Are arranged in parallel with the optical axis direction of the optical fiber 15. Further, a semiconductor laser 13 is disposed on the surface near the end of the first microstrip line 32 on the side of the lens 14 so that the light axis of the lens 14 coincides with the emission direction.

【0019】また、第1のマイクロストリップ線路32
の他端部と近接させて、かつ第1のマイクロストリップ
線路32と直角になるようにして、第2のマイクロスト
リップ線路34の一端部が配置されている。第2のマイ
クロストリップ線路34は、モジュールパッケージ11
の側壁を貫通して外部に突き出しており、このパッケー
ジ11の両側部から突出している複数の外部端子の1つ
(他の外部端子およびこれらに関連する回路部分は図示
せず)を構成している。この第2のマイクロストリップ
線路34には、外部から変調信号19が印加されるよう
になっている。前記した第1のマイクロストリップ線路
32の他端部と第2のマイクロストリップ線路34の内
部側の端部の間は、ボンディングワイヤ36によって接
続されている。
The first microstrip line 32
And one end of a second microstrip line 34 is arranged so as to be close to the other end of the second microstrip line 32 and perpendicular to the first microstrip line 32. The second microstrip line 34 is a module package 11
One of a plurality of external terminals (other external terminals and circuit parts related to them are not shown) projecting to the outside through the side wall of the package 11 and projecting from both sides of the package 11. I have. The modulation signal 19 is externally applied to the second microstrip line 34. The other end of the first microstrip line 32 and the inner end of the second microstrip line 34 are connected by a bonding wire 36.

【0020】なお、第2のマイクロストリップ線路34
と変調信号19を印加する外部端子は一体に構成される
必要はなく、別々に構成されていてもよい。
The second microstrip line 34
The external terminal for applying the modulation signal 19 and the external signal need not be formed integrally, but may be formed separately.

【0021】このような構成の本実施例の半導体レーザ
モジュールでは、第2のマイクロストリップ線路34に
外部から印加された変調信号はボンディングワイヤ36
によって第1のマイクロストリップ線路32に伝搬され
る。そして、第1のマイクロストリップ線路32によっ
て変調信号の伝搬する方向が90度回転させられ、半導
体レーザ13に伝達される。半導体レーザ13はこの変
調信号を印加され、変調信号光を出力する。この変調信
号光は、レンズ14によって集光され、光ファイバ15
に結合することになる。
In the semiconductor laser module of this embodiment having such a configuration, the modulation signal applied from the outside to the second microstrip line 34 is
Accordingly, the light is propagated to the first microstrip line 32. Then, the direction in which the modulated signal propagates is rotated by 90 degrees by the first microstrip line 32 and transmitted to the semiconductor laser 13. The semiconductor laser 13 receives the modulation signal and outputs a modulation signal light. This modulated signal light is condensed by the lens 14 and
Will be combined.

【0022】図2は、本実施例の半導体レーザモジュー
ルの変調周波数特性を図4に示した従来の半導体レーザ
モジュールと対比して表わしたものである。この図で横
軸はモジュールパッケージ11の該当するピンに印加さ
れる変調周波数(GHz)を示しており、縦軸は周波数
が比較的低い場合の光強度を共に“0”に設定した場合
の相対強度をdB(デシベル)で表わしたものである。
一方の特性曲線41が本実施例の半導体レーザモジュー
ルの特性を示しており、他方の特性曲線42が図4に示
した従来の半導体レーザモジュールの特性を示してい
る。
FIG. 2 shows the modulation frequency characteristics of the semiconductor laser module of this embodiment in comparison with the conventional semiconductor laser module shown in FIG. In this figure, the horizontal axis shows the modulation frequency (GHz) applied to the corresponding pin of the module package 11, and the vertical axis shows the relative intensity when the light intensity is set to "0" when the frequency is relatively low. The intensity is expressed in dB (decibel).
One characteristic curve 41 shows the characteristics of the semiconductor laser module of the present embodiment, and the other characteristic curve 42 shows the characteristics of the conventional semiconductor laser module shown in FIG.

【0023】この図で破線で示したように、図4に示し
た従来の半導体レーザモジュールの3dB帯域は18G
Hzである。これに対して、本実施例の半導体レーザモ
ジュールは25GHzとなっている。前者については、
図4に示した第1のマイクロストリップ線路22の方向
変換部24で変調信号の反射や損失が生じるための影響
で変調周波数帯域がこのように20GHz以下に制限さ
れている。
As shown by the broken line in this figure, the 3 dB band of the conventional semiconductor laser module shown in FIG.
Hz. On the other hand, the semiconductor laser module of this embodiment has a frequency of 25 GHz. For the former,
The modulation frequency band is thus limited to 20 GHz or less due to the influence of reflection and loss of the modulation signal in the direction conversion unit 24 of the first microstrip line 22 shown in FIG.

【0024】これに対して本実施例の半導体レーザモジ
ュールでは、第1および第2のマイクロストリップ線路
32、34をボンディングワイヤ36で接続している。
このため変調信号の方向変換はこのボンディングワイヤ
36の部分で行われる。ボンディングワイヤ36は、3
0GHz程度まで変調信号の伝搬方向にほとんど依存し
ないという伝送特性を有している。したがって、第1お
よび第2のマイクロストリップ線路32、34が互いに
直角になるように配置されていても、伝送特性の劣化を
生じることなく変調信号の方向変換が行われる。この結
果、本実施例の半導体レーザモジュールでは20GHz
以上の変調周波数帯域を得ることができる。
On the other hand, in the semiconductor laser module of the present embodiment, the first and second microstrip lines 32 and 34 are connected by bonding wires 36.
Therefore, the direction change of the modulation signal is performed at the bonding wire 36. The bonding wire 36 is 3
It has a transmission characteristic that hardly depends on the propagation direction of the modulated signal up to about 0 GHz. Therefore, even if the first and second microstrip lines 32 and 34 are arranged so as to be perpendicular to each other, the direction conversion of the modulated signal is performed without deteriorating the transmission characteristics. As a result, in the semiconductor laser module of the present embodiment, 20 GHz
The above modulation frequency band can be obtained.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上説明したように請求項1記載の発明
では、第1のマイクロストリップ線路上に信号伝搬方向
とレーザ光の射出する方向を一致させて半導体レーザを
配置する一方で、これとは異なった方向に第2のマイク
ロストリップ線路を配置し、これらの間をボンディング
ワイヤで接続することにしたので、マイクロストリップ
線路から折れ曲がった方向変換部がなくなり、変調周波
数が高い場合でもモジュール内で変調信号の反射や損失
を低下させることができる。したがって、方向変換部が
存在した場合と比べて、ボンディングワイヤ部分の変調
信号の伝送特性によって受ける変調信号の周波数の上限
まで変調周波数を高めることができ、変調周波数帯域が
広くなるという効果がある。
As described above, according to the first aspect of the present invention, while the semiconductor laser is arranged on the first microstrip line so that the signal propagation direction and the laser light emission direction are matched, Arranged the second microstrip lines in different directions and connected them with bonding wires, so that there was no direction change part bent from the microstrip lines, and even if the modulation frequency was high, The reflection and loss of the modulation signal can be reduced. Therefore, the modulation frequency can be increased to the upper limit of the frequency of the modulation signal received due to the transmission characteristics of the modulation signal at the bonding wire portion, as compared with the case where the direction conversion unit is present, and the modulation frequency band is widened.

【0026】また、請求項2記載の発明によれば、第1
のマイクロストリップ線路に対して第2のマイクロスト
リップ線路をほぼ直角方向に配置することにしたので、
外部端子との接続あるいは第2のマイクロストリップ線
路と外部端子との共用を容易にすることができる。
According to the second aspect of the present invention, the first
Since the second microstrip line is arranged in a direction substantially perpendicular to the microstrip line,
Connection with the external terminal or sharing of the second microstrip line with the external terminal can be facilitated.

【0027】更に請求項3記載の発明によれば、第2の
マイクロストリップ線路はモジュールパッケージから外
部に突出している外部端子の1つと一体的に構成されて
いるので、半導体レーザモジュールのコストダウンを図
ることができる。
According to the third aspect of the present invention, the second microstrip line is integrally formed with one of the external terminals protruding from the module package to the outside, so that the cost of the semiconductor laser module can be reduced. Can be planned.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例における半導体レーザモジュ
ールの要部の構成を表わした断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a main part of a semiconductor laser module according to an embodiment of the present invention.

【図2】本実施例の半導体レーザモジュールの変調周波
数特性を従来の半導体レーザモジュールと対比して表わ
した特性図である。
FIG. 2 is a characteristic diagram showing a modulation frequency characteristic of the semiconductor laser module of the present embodiment in comparison with a conventional semiconductor laser module.

【図3】従来提案された半導体レーザモジュールの一例
についてその構成を表わした断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating the configuration of an example of a conventionally proposed semiconductor laser module.

【図4】従来提案された半導体レーザモジュールの他の
例についてその構成を表わした断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing the configuration of another example of a conventionally proposed semiconductor laser module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 モジュールパッケージ 13 半導体レーザ 14 レンズ 15 光ファイバ 19 変調信号 31 キャリア 32 第1のマイクロストリップ線路 34 第2のマイクロストリップ線路 36 ボンディングワイヤ 11 Module Package 13 Semiconductor Laser 14 Lens 15 Optical Fiber 19 Modulated Signal 31 Carrier 32 First Microstrip Line 34 Second Microstrip Line 36 Bonding Wire

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 モジュールパッケージと、 このモジュールパッケージ内部に設けられた直線状の第
1のマイクロストリップ線路と、 この第1のマイクロストリップ線路上に配置されこの信
号伝搬方向とレーザ光の射出する方向を一致させた半導
体レーザと、 前記第1のマイクロストリップ線路の信号伝搬方向と異
なった方向に信号伝搬方向を設定し前記モジュールパッ
ケージの外部から供給される半導体レーザ変調信号を内
部に伝達する直線状の第2のマイクロストリップ線路
と、 前記モジュールパッケージ外部に配置された光ファイバ
と、 前記半導体レーザとこの光ファイバを結合する結合手段
と、 前記第1のマイクロストリップ線路と第2のマイクロス
トリップ線路の間を接続したボンディングワイヤとを具
備することを特徴とする半導体レーザモジュール。
1. A module package, a first linear microstrip line provided inside the module package, a signal propagation direction and a laser light emitting direction disposed on the first microstrip line. And a linear shape for setting a signal propagation direction to a direction different from the signal propagation direction of the first microstrip line and transmitting a semiconductor laser modulation signal supplied from outside the module package to the inside. A second microstrip line, an optical fiber disposed outside the module package, coupling means for coupling the semiconductor laser to the optical fiber, and a first microstrip line and a second microstrip line. And a bonding wire connected between them. Conductor laser module.
【請求項2】 前記第1のマイクロストリップ線路に対
して第2のマイクロストリップ線路はほぼ直角方向に配
置されていることを特徴とする請求項1記載の半導体レ
ーザモジュール。
2. The semiconductor laser module according to claim 1, wherein the second microstrip line is disposed substantially perpendicular to the first microstrip line.
【請求項3】 前記第2のマイクロストリップ線路はモ
ジュールパッケージから外部に突出している外部端子の
1つと一体的に構成されていることを特徴とする請求項
1記載の半導体レーザモジュール。
3. The semiconductor laser module according to claim 1, wherein said second microstrip line is integrally formed with one of external terminals projecting outside from a module package.
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