JP2612111B2 - Grid type electron gun and manufacturing method thereof - Google Patents

Grid type electron gun and manufacturing method thereof

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JP2612111B2 JP15738691A JP15738691A JP2612111B2 JP 2612111 B2 JP2612111 B2 JP 2612111B2 JP 15738691 A JP15738691 A JP 15738691A JP 15738691 A JP15738691 A JP 15738691A JP 2612111 B2 JP2612111 B2 JP 2612111B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明はマイクロ波管等に使用
される電子ビーム流の制御が可能なグリッド型電子銃お
よびその製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a grid type electron gun used for a microwave tube or the like, which can control an electron beam flow, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】図3は、例えば米国特許4321505
号に示された従来のグリッド型電子銃を示す図であり、
図4は、図3の縦断面図である。図において、1は電子
ビームを放射するカソード、2はカソード1に接近して
配設されたシャドーグリッド、3は電子ビーム流5を制
御する制御グリッド、4はビームを加速するアノードで
ある。前記両グリッド2,3は中心より放射状及び同心
円状に、かつ、球面状に形成されており、円周外部で支
持されている。特にシャドーグリッド2はカソード外周
溶接部6で、溶接・固定されている。
2. Description of the Related Art FIG.
FIG. 1 is a diagram showing a conventional grid type electron gun shown in FIG.
FIG. 4 is a longitudinal sectional view of FIG. In the figure, 1 is a cathode that emits an electron beam, 2 is a shadow grid arranged close to the cathode 1, 3 is a control grid that controls the electron beam flow 5, and 4 is an anode that accelerates the beam. The two grids 2 and 3 are formed radially and concentrically from the center and spherically, and are supported outside the circumference. In particular, the shadow grid 2 is welded and fixed at the cathode outer peripheral welding portion 6.

【0003】次に動作について説明する。加熱されたカ
ソード1より発生した熱電子は、制御グリッド3との間
で作られる電界によって引き出される。加速された電子
流は制御グリッド3を通りぬけて、アノード4に向って
更に加速され、有効な電子ビーム流5となる。カソード
1より発生した電子流が制御グリッド3に衝突しないよ
うに、カソード1の表面に接近して、制御グリッド3に
対して電子流の影を作る役割をする為に、シャドーグリ
ッド2が設けられている。前記各グリッド2,3は一般
的には、モリブデン等の高融点金属で作られており、高
精度に目合わせされている。
Next, the operation will be described. Thermoelectrons generated from the heated cathode 1 are extracted by an electric field created between the cathode 1 and the control grid 3. The accelerated electron flow passes through the control grid 3 and is further accelerated toward the anode 4, resulting in an effective electron beam current 5. A shadow grid 2 is provided so as to approach the surface of the cathode 1 and create a shadow of the electron flow on the control grid 3 so that the electron flow generated from the cathode 1 does not collide with the control grid 3. ing. Each of the grids 2 and 3 is generally made of a high melting point metal such as molybdenum, and is aligned with high precision.

【0004】カソード1より引き出される電子ビーム流
5の量は、アノード4と制御グリッド3への印加電圧
と、カソード1、シャドーグリッド2、制御グリッド
3、アノード4の各電極の配置寸法により決定される。
特にグリッド−カソード間寸法は重要であり、さらに、
シャドーグリッド2はカソード1に非常に近い位置に配
設されているので、カソード1との間隔が変化すると電
子ビーム流5の量が大きく変化する。
The amount of the electron beam flow 5 extracted from the cathode 1 is determined by the voltage applied to the anode 4 and the control grid 3 and the arrangement dimensions of the cathode 1, the shadow grid 2, the control grid 3 and the anode 4. You.
In particular, the dimension between the grid and the cathode is important.
Since the shadow grid 2 is arranged at a position very close to the cathode 1, the amount of the electron beam flow 5 changes greatly when the distance from the cathode 1 changes.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来のグリッド型電子
銃は、以上のように構成されているので、動作時、シャ
ドーグリッド2、制御グリッド3とも、熱膨張による応
力が中心に向って集中し、変形を起こし、電子ビーム流
を乱してしまう。特にシャドーグリッド2はカソード1
に最も近いので、温度が高くなり変形しやすい。変形
は、カソード中心部で、シャドーグリッド2がカソード
1から離れる方向に発生し、これによりカソードをかく
す方向になり、電子ビーム流5の量が低下するなどの課
題があった。
Since the conventional grid type electron gun is constructed as described above, during operation, the stress due to thermal expansion concentrates on the shadow grid 2 and the control grid 3 toward the center. , Causing deformation and disrupting the electron beam flow. In particular, the shadow grid 2 is the cathode 1
, The temperature rises and it is easy to deform. The deformation occurs in the direction in which the shadow grid 2 moves away from the cathode 1 at the center of the cathode, thereby causing the cathode to be hidden, thereby causing a problem that the amount of the electron beam flow 5 is reduced.

【0006】この発明は上記のような課題を解消するた
めになされたもので、シャドーグリッド2の変形を起し
にくいグリッド型電子銃およびその製造方法を得ること
を目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to provide a grid-type electron gun in which the deformation of the shadow grid 2 is less likely to occur and a method of manufacturing the same.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明に係
るグリッド型電子銃は、カソードに周辺部で支持されて
いるグリッドの更にその外周端部に、前記グリッド材質
と同じ若しくは熱膨張係数の小さな材料で作られた固定
用金属リングを具備させたものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a grid-type electron gun, wherein a grid supported at a peripheral portion by a cathode is further provided on an outer peripheral end thereof with the same material as that of the grid material or with a thermal expansion coefficient. With a fixing metal ring made of a small material.

【0008】更に、請求項2記載の発明に係る製造方法
は前記固定用金属リングを高温での圧入・焼きばめによ
り、前記グリッドの外周端部に挿入した後、ろう付接合
又は溶接により、接合するものである。
Further, in the manufacturing method according to the second aspect of the present invention, the fixing metal ring is inserted into the outer peripheral end of the grid by press-fitting and shrink fitting at a high temperature, and then brazed or welded. It is to join.

【0009】[0009]

【作用】請求項1記載の発明におけるグリッド型電子銃
は、グリッドの外周端部を、該グリッド材質と同じ若し
くは熱膨張係数の小さな材料で作られた固定用金属リン
グで固定したため、熱変形は縮少し、シャドーグリッド
がカソードから離れる方向の変形は発生せず、発生して
も、シャドーグリッド2とカソード1が接近する方向の
変形となる。このため、特性の安定したグリッド型電子
銃が得られる。
In the grid type electron gun according to the first aspect of the present invention, the outer peripheral end of the grid is fixed by a fixing metal ring made of a material having the same or a smaller coefficient of thermal expansion as the material of the grid. Slightly, the deformation of the shadow grid in the direction away from the cathode does not occur, and even if it occurs, the deformation is in the direction in which the shadow grid 2 and the cathode 1 approach. For this reason, a grid-type electron gun having stable characteristics can be obtained.

【0010】又、請求項2記載の発明による方法によれ
ば、高温での圧入・焼きばめにより、高温時での固定用
金属リングの緩みをなくし、グリッドの外方方向への熱
応力を押え込むことが出来、又ろう付接合又は溶接によ
り固定用金属リングとグリッドとカソードとを接合する
ことにより、固定用金属リングによるグリッドの保持を
確実にしている。
Further, according to the method of the present invention, the press-fitting and shrink-fitting at a high temperature eliminates the loosening of the fixing metal ring at a high temperature and reduces the thermal stress in the outward direction of the grid. It can be pressed down, and the fixing metal ring is joined to the grid and the cathode by brazing or welding, so that the holding of the grid by the fixing metal ring is ensured.

【0011】[0011]

【実施例】【Example】

実施例1.以下この発明の一実施例を図について説明す
る。図1において、1はカソード、2はシャドーグリッ
ドであり、カソード外周溶接部6で、溶接固定されてい
る。7aはグリッド2の外周端部にろう付接合された固
定用金属リングである。3は電子ビーム流5を制御する
制御グリッド、4はアノード、8はビーム形成電極であ
る。
Embodiment 1 FIG. An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a cathode, 2 denotes a shadow grid, and a cathode outer peripheral welding portion 6 is welded and fixed. 7a is a fixing metal ring brazed to the outer peripheral end of the grid 2. 3 is a control grid for controlling the electron beam flow 5, 4 is an anode, and 8 is a beam forming electrode.

【0012】尚、固定用金属リング7aの内径は、シャ
ドーグリッド2の外周端部の外径より、わずかに(数μ
m程度)小さ目に加工されており、この固定用金属リン
グ7aを高温にした状態で、シャドーグリッド2を挿入
する焼きばめ法にて組立後、ろう付接合又は溶接で固定
される。固定用金属リング7aの材質は、シャドーグリ
ッド2と同じモリブデン若しくは、モリブデンの熱膨張
係数により小さな材料とする。
The inner diameter of the fixing metal ring 7a is slightly (several μ) larger than the outer diameter of the outer peripheral end of the shadow grid 2.
The fixing metal ring 7a is assembled at a high temperature with the shadow grid 2 inserted, and then fixed by brazing or welding. The material of the fixing metal ring 7a is the same molybdenum as that of the shadow grid 2, or a material having a smaller thermal expansion coefficient than molybdenum.

【0013】次に動作について説明する。加熱されたカ
ソード1より発生した熱電子は制御グリッド3との間で
作られる電界によって引き出される。加速された電子流
は、制御グリッド3を通りぬけて、アノード4に向って
更に加速され、有効な電子ビーム流5となる。シャドー
グリッド2は、カソード1より発生した電子流が制御グ
リッド3に衝突しないようにカソード1の表面に接近し
て、制御グリッド3に対して電子流の影を作る役割を果
している。
Next, the operation will be described. Thermions generated from the heated cathode 1 are extracted by an electric field created between the cathode 1 and the control grid 3. The accelerated electron stream passes through the control grid 3 and is further accelerated toward the anode 4, resulting in an effective electron beam stream 5. The shadow grid 2 has a role of forming a shadow of the electron flow on the control grid 3 by approaching the surface of the cathode 1 so that the electron flow generated from the cathode 1 does not collide with the control grid 3.

【0014】シャドーグリッド2での熱変形は電子ビー
ム流5の変化につながるが、その外周端部に、該グリッ
ド材質と同じ若しくは熱膨張係数の小さな材料、例えば
タングステンで作られた固定用金属リング7aが固定さ
れている為、熱変形は縮少し、シャドーグリッドがカソ
ードから離れる方向の変形は発生せず、発生しても、シ
ャドーグリッド2とカソード1が接近する方向の変形と
なるので、電子ビーム流5の低下も起こらず、特性の安
定したグリッド型電子銃となる。
Although the thermal deformation in the shadow grid 2 leads to a change in the electron beam flow 5, a fixing metal ring made of a material having the same or a smaller coefficient of thermal expansion as the material of the grid, for example, tungsten, is provided on the outer peripheral end thereof. 7a is fixed, the thermal deformation is small, the deformation of the shadow grid in the direction away from the cathode does not occur, and even if it occurs, the deformation is in the direction in which the shadow grid 2 and the cathode 1 approach each other. The grid type electron gun has stable characteristics without a decrease in the beam flow 5.

【0015】又、この固定用金属リング7aの内径が、
シャドーグリッド2の外周端部の外径より数μm小さ目
で、焼きばめされており、シャドーグリッド2が使用中
高温になっても、この関係はかわらず、又ろう付接合又
は溶接により、前記固定用金属リング7aと前記グリッ
ド2とカソード1とを接合することにより、固定用金属
リング7aによるグリッド1の保持を確実なものとして
いる。
The inner diameter of the fixing metal ring 7a is
The outer diameter of the shadow grid 2 is smaller than the outer diameter of the outer peripheral edge by several μm and is shrink-fitted. Even if the shadow grid 2 becomes hot during use, this relationship does not change. By joining the fixing metal ring 7a, the grid 2 and the cathode 1, the holding of the grid 1 by the fixing metal ring 7a is ensured.

【0016】実施例2.また、上記実施例では、シャド
ーグリッド2のみに固定用金属リング7aを具備させる
場合について説明したが、図2に示すように、制御グリ
ッド3にも該グリッド材質と同じ若しくは熱膨張係数の
小さな材料、例えばタングステンで作られた固定用金属
リング7bを具備すれば、2枚のグリッド2,3とも、
熱変形は縮少し、両グリッド2,3がカソードから離れ
る方向の変形は発生せず、発生しても、両グリッド2,
3とカソード1が接近する方向の変形となり、より特性
の安定したグリッド型電子銃を得ることが出来る。
Embodiment 2 FIG. Further, in the above embodiment, the case where the fixing metal ring 7a is provided only in the shadow grid 2 has been described. However, as shown in FIG. 2, the control grid 3 is also made of a material having the same or smaller thermal expansion coefficient than the grid material. With the fixing metal ring 7b made of, for example, tungsten, both grids 2 and 3
Thermal deformation is small, and no deformation occurs in the direction in which both grids 2 and 3 move away from the cathode.
3 and the cathode 1 are deformed in the approaching direction, and a grid type electron gun with more stable characteristics can be obtained.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上のように、請求項1記載の発明によ
れば、グリッドの外周端部に固定用金属リングを具備さ
せたので、シャドーグリッドがカソードから離れる方向
の熱応力による変形を防ぐことができ、安定した特性の
信頼性の高いグリッド型電子銃が得られる効果がある。
As described above, according to the first aspect of the present invention, since the fixing metal ring is provided at the outer peripheral end of the grid, the shadow grid is prevented from being deformed by thermal stress in the direction away from the cathode. Thus, there is an effect that a highly reliable grid type electron gun having stable characteristics can be obtained.

【0018】又、請求項2記載の発明によれば、前記固
定用金属リングを高温での圧入・焼きばめによる前記グ
リッド外周端部への挿入とろう付接合又は溶接により、
上記の効果をさらに確実なものとしている。
According to the second aspect of the present invention, the fixing metal ring is inserted into the outer peripheral end of the grid by press fitting and shrink fitting at a high temperature and brazed or welded.
The above effects are further ensured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施例によるグリッド型電子銃の
縦断面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a grid type electron gun according to an embodiment of the present invention.

【図2】この発明の他の実施例によるグリッド型電子銃
の縦断面図である。
FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a grid type electron gun according to another embodiment of the present invention.

【図3】従来のグリッド型電子銃を示す一部断面斜視図
である。
FIG. 3 is a partially sectional perspective view showing a conventional grid-type electron gun.

【図4】図3の縦断面図である。FIG. 4 is a longitudinal sectional view of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 カソード 2 シャドーグリッド 4 アノード 7a 固定用金属リング(シャドーグリッド用) 7b 固定用金属リング(制御グリッド用) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cathode 2 Shadow grid 4 Anode 7a Metal ring for fixing (for shadow grid) 7b Metal ring for fixing (for control grid)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 球面状の電子放射面を有するカソード
と、該カソードと所定の間隔をおいて配設される複数の
グリッドと、該グリッドと各々、所定の間隔をおいて配
設されるビーム成形電極及びアノードを具備してなるグ
リッド型電子銃において、該グリッド材質と同じ若しく
は熱膨張係数の小さな材料で作られ、前記複数のグリッ
ドのうちのシャドーグリッド又は他のグリッドを外周端
部で固定する固定用金属リングを備えたことを特徴とす
るグリッド型電子銃。
1. A cathode having a spherical electron emission surface, a plurality of grids disposed at a predetermined distance from the cathode, and beams respectively disposed at a predetermined distance from the grid. In a grid-type electron gun including a molded electrode and an anode, the grid-type electron gun is made of a material having the same or a smaller coefficient of thermal expansion as the material of the grid, and a shadow grid or another grid of the plurality of grids is fixed at an outer peripheral end. A grid-type electron gun, comprising: a metal ring for fixing.
【請求項2】 固定用金属リングを高温での圧入・焼き
ばめにより、グリッドの外周端部に挿入する工程と、ろ
う付け接合又は溶接により、前記固定用金属リングと前
記グリッドとカソードとを接合する工程とを備えたグリ
ッド型電子銃製造方法。
2. A step of inserting the metal ring for fixing into the outer peripheral end of the grid by press-fitting and shrink fitting at a high temperature, and connecting the metal ring for fixing, the grid and the cathode by brazing or welding. And a joining step.
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