JP2595492B2 - Liquid discharge device - Google Patents

Liquid discharge device

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JP2595492B2 JP5043756A JP4375693A JP2595492B2 JP 2595492 B2 JP2595492 B2 JP 2595492B2 JP 5043756 A JP5043756 A JP 5043756A JP 4375693 A JP4375693 A JP 4375693A JP 2595492 B2 JP2595492 B2 JP 2595492B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、樹脂の塗布などのため
に用いられる液状物吐出装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid ejecting apparatus used for applying a resin or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より樹脂の塗布などのために用いら
れている液状物吐出装置は、一回の吐出工程において一
定の温度の下では常に一定量の液状物が吐出されるよう
に設定されているが、外気の温度変化に応じて液状物の
粘度が変化し、そのために一回あたりの吐出量に変動を
生じるおそれがある。
2. Description of the Related Art A liquid discharge apparatus conventionally used for applying a resin or the like is set such that a constant amount of liquid is always discharged at a constant temperature in one discharge step. However, the viscosity of the liquid material changes in accordance with a change in the temperature of the outside air, which may cause a change in the discharge amount per operation.

【0003】そこで、ディスペンサーの容器部の外周に
温度調節手段を設け、容器内の液状物の温度を一定に保
つようにした液状物吐出装置がある。また他には、例え
ば基板に液状物を吐出する場合、この基板上での液状物
の状態を一定に保つため、基板を加熱するホットプレー
トを設けてこのホットプレート上に基板を載置した状態
で液状物吐出を行なうようにした装置がある。
Therefore, there is a liquid discharging apparatus in which a temperature control means is provided on the outer periphery of a container portion of a dispenser so as to keep the temperature of the liquid in the container constant. In addition, for example, when a liquid material is discharged onto a substrate, a hot plate for heating the substrate is provided to keep a state of the liquid material on the substrate constant, and the substrate is placed on the hot plate. There is an apparatus that discharges a liquid material.

【0004】[0004]

【解決しようとする課題】ディスペンサーの容器部の外
周に温度調節手段を設けた場合、容器部内の液状物は一
定の状態(粘度)に保たれるが、この容器部からノズル
部へ供給され、実際に吐出される時点では液状物の温度
はコントロールされておらず、ノズル部において液状物
の粘度が変わりノズル部の内壁に付着する割合が変動す
るなどのため、吐出量の変動を生じ所望の吐出特性が得
られなくなる。そして、基板を載置するためのホットプ
レートを設けた場合、このホットプレートの熱がノズル
部内の液状物に伝わり、粘度が変化して吐出量が変わる
おそれがある。
When temperature control means is provided on the outer periphery of the container of the dispenser, the liquid material in the container is maintained in a constant state (viscosity), but is supplied from the container to the nozzle. At the time of actual discharge, the temperature of the liquid material is not controlled, and the viscosity of the liquid material changes at the nozzle portion, and the rate of adhesion to the inner wall of the nozzle portion fluctuates. Discharge characteristics cannot be obtained. When a hot plate for mounting a substrate is provided, the heat of the hot plate is transmitted to the liquid material in the nozzle portion, and the viscosity may change to change the discharge amount.

【0005】このように、実際に液状物を吐出するディ
スペンサーのノズル部において温度調節が行なわれない
ため、液状物を常に安定的に等量吐出することは困難で
ある。
As described above, since the temperature is not adjusted in the nozzle portion of the dispenser that actually discharges the liquid material, it is difficult to always stably discharge the liquid material in the same amount.

【0006】そこで本発明の目的は、吐出時の液状物の
温度を一定に保ち、安定的に等量の吐出が行なえる液状
物吐出装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a liquid discharge apparatus capable of stably discharging an equal amount of liquid while maintaining a constant temperature of the liquid during discharge.

【0007】[0007]

【課題を解決する手段】上記目的を達成するために、本
発明の液状物吐出装置は、液状物を収容する容器部とこ
の容器部と連通しており液状物を吐出するノズル部とを
含むディスペンサーと、ノズル部の外周部に設けられて
いる第1の温度調節手段とを有している。
In order to achieve the above object, a liquid discharge apparatus according to the present invention includes a container for storing a liquid and a nozzle communicating with the container and discharging the liquid. It has a dispenser and first temperature control means provided on the outer periphery of the nozzle portion.

【0008】第1の温度調節手段は、ノズル部の外周近
傍に位置するノズル受けと、このノズル受けに設けられ
ており温度調節用流体を通す連通孔とによって構成され
ているものである。
The first temperature adjusting means comprises a nozzle receiver located near the outer periphery of the nozzle portion, and a communication hole provided in the nozzle receiver and through which a temperature adjusting fluid is passed.

【0009】また、容器部の外周には、第2の温度調節
手段が設けられている。
A second temperature control means is provided on the outer periphery of the container.

【0010】[0010]

【実施例】図1〜4に本発明に係る液状物吐出装置の一
実施例を示している。この液状物吐出装置は、ディスペ
ンサーA,第2の温度調節手段B,第1の温度調節手段
C,エアー噴射手段Dを有するものであり、図1にその
側面図を、図2に断面図を示している。ディスペンサー
Aは、内部に液状物が収容される中空円筒状の容器部1
と、この容器部1の先端に設けられて連通する小径のノ
ズル部2とからなり、図示しないシリンダ機構によっ
て、容器部1内の液状物(溶融状態の樹脂)がノズル部
2を通過して外部に吐出されるものである。本実施例で
は、ノズル部2は内部を液状物が流通するニードル2a
と、このニードル2aの外周に位置するパイプ2bとか
らなっている。なお、シリンダ機構の1回の駆動により
吐出される液状物の量が、一定温度の下で常に一定とな
るように設定されている。
1 to 4 show one embodiment of a liquid discharging apparatus according to the present invention. This liquid material discharge device has a dispenser A, a second temperature control means B, a first temperature control means C, and an air injection means D. FIG. 1 is a side view and FIG. Is shown. Dispenser A is a hollow cylindrical container portion 1 in which a liquid material is stored.
And a small-diameter nozzle portion 2 provided at the end of the container portion 1 and communicating therewith. The liquid material (the molten resin) in the container portion 1 passes through the nozzle portion 2 by a cylinder mechanism (not shown). It is discharged to the outside. In this embodiment, the nozzle 2 is a needle 2a through which a liquid material flows.
And a pipe 2b located on the outer periphery of the needle 2a. The amount of the liquid discharged by one drive of the cylinder mechanism is set to be always constant at a constant temperature.

【0011】このディスペンサーAの外周を取り囲むよ
うに、第2の温度調節手段Bが設けられている。第2の
温度調節手段Bの構成について説明すると、内側円筒体
3と外側円筒体4とが密着した状態でボルト5により互
いに固定されている。そしてこの内側円筒体3の外周面
(外側円筒体4との対接面)には螺旋状の溝が刻設して
あり、外側円筒体4の内周面と接合されて螺旋状水管6
が形成されている。螺旋状水管6は、第2の温度調節手
段B上部から下部へ向かって蛇行した後、再び上部へ向
かうように形成されており、第2の温度調節手段Bの上
端付近に1対の開口端6a,6bが設けられている。こ
の開口端6a,6bには、チューブ7a、7bが連結さ
れており、一方のチューブ7aから開口端6aに温度調
節用流体(加熱した油や湯など)が流入され、この流体
は螺旋状に蛇行しながら下降した後再び上昇して、他方
の開口端6bからチューブ7bへ流出する。両円筒体6
a,6bの接合部の上端と下端には、シールリング8が
取り付けられている。
A second temperature control means B is provided so as to surround the outer periphery of the dispenser A. The configuration of the second temperature adjusting means B will be described. The inner cylindrical body 3 and the outer cylindrical body 4 are fixed to each other by bolts 5 in a state of being in close contact with each other. A spiral groove is engraved on the outer peripheral surface of the inner cylindrical body 3 (the surface in contact with the outer cylindrical body 4), and is joined to the inner peripheral surface of the outer cylindrical body 4 to form a spiral water pipe 6.
Are formed. The spiral water pipe 6 is formed so as to meander from the upper part of the second temperature control means B to the lower part and then to the upper part again, and a pair of open ends near the upper end of the second temperature control means B. 6a and 6b are provided. Tubes 7a and 7b are connected to the open ends 6a and 6b, and a temperature control fluid (such as heated oil or hot water) flows into the open end 6a from one of the tubes 7a. After falling while meandering, it rises again and flows out of the other open end 6b into the tube 7b. Both cylinders 6
Seal rings 8 are attached to the upper and lower ends of the joints a and 6b.

【0012】第2の温度調節手段Bの下方であってディ
スペンサーAのノズル部2の外側には、図3に示す第1
の温度調節手段Cが設けられている。この第1の温度調
節手段Cは、第2の温度調節手段Bの下端部に取り付け
られ先端部がノズル部2のパイプ2bの外周を覆う円筒
状に形成されているノズル受け13と、連通孔(水管)
9とから構成されている。この連通孔9の構成について
説明すると、ノズル受け13の両側部(図3における左
右)には開口部9a、9bが設けられており、この開口
部9a,9bから下方(ノズル部2先端方向)へ向けて
細孔部9c,9dがそれぞれ穿設され、この細孔部9
c,9dが、パイプ2bの外表面に半周(図4左方)だ
け刻設してある溝部9eの両端とそれぞれ連通してい
る。そして、一方の開口部9aには温度調節用流体の供
給管10aが、他方の開口部9bには排出管10bがそ
れぞれ連結されている。従って温度調節用流体は、供給
管10aから開口部9aを介して細孔部9cに流入し、
溝部9eを通ってパイプ2bを半周した後、細孔部9d
を経て開口部9bより排出管10bへ排出される。この
ように温度調節用流体が溝部9eを通過する際に、パイ
プ2bの内側に位置するニードル2a内の液状物が加熱
または冷却される。
Below the second temperature control means B and outside the nozzle portion 2 of the dispenser A, the first temperature control means shown in FIG.
Is provided. The first temperature control means C is attached to a lower end of the second temperature control means B, and has a communication end with a nozzle receiver 13 which is formed in a cylindrical shape and has a front end covering the outer periphery of the pipe 2b of the nozzle part 2. (Water pipe)
9. Describing the structure of the communication hole 9, openings 9 a and 9 b are provided on both sides (left and right in FIG. 3) of the nozzle receiver 13, and downward from the openings 9 a and 9 b (toward the tip of the nozzle 2). Pores 9c and 9d are respectively formed toward
c and 9d communicate with both ends of a groove 9e formed on the outer surface of the pipe 2b by a half circumference (left side in FIG. 4). A supply pipe 10a for a temperature controlling fluid is connected to one opening 9a, and a discharge pipe 10b is connected to the other opening 9b. Therefore, the temperature control fluid flows from the supply pipe 10a into the pores 9c through the openings 9a,
After passing around the pipe 2b halfway through the groove 9e, the fine hole 9d
Through the opening 9b to the discharge pipe 10b. As described above, when the temperature control fluid passes through the groove 9e, the liquid material in the needle 2a located inside the pipe 2b is heated or cooled.

【0013】また本実施例では、図4に示すエアー噴射
手段Dが設けられている。このエアー噴射手段Dは、上
述のノズル受け13と、エアー通路11とから構成され
ている。エアー通路11は、ノズル受け13の溝部9e
形成位置と反対側(図4右側)に設けられており、開口
部11aと、この開口部11aとパイプ2b内部とを連
通する流通孔11bとからなるものである。開口部11
aには、エアー供給管12が連結されている。従って、
エアー供給管12から開口部11aを介して供給される
エアーは、流通孔11bを通過した後パイプ2b内部に
入り、パイプ2b内周面とニードル2a外周面との間に
形成される円環状の空隙内を下方へ向かって噴射され
る。
In this embodiment, an air injection means D shown in FIG. 4 is provided. The air jetting means D includes the above-described nozzle receiver 13 and the air passage 11. The air passage 11 is provided with the groove 9e of the nozzle receiver 13.
It is provided on the opposite side (the right side in FIG. 4) from the formation position, and includes an opening 11a and a communication hole 11b communicating the opening 11a with the inside of the pipe 2b. Opening 11
The air supply pipe 12 is connected to a. Therefore,
The air supplied from the air supply pipe 12 through the opening 11a enters the inside of the pipe 2b after passing through the flow hole 11b, and has an annular shape formed between the inner peripheral surface of the pipe 2b and the outer peripheral surface of the needle 2a. It is injected downward in the gap.

【0014】上記の実施例の作動について以下に説明す
る。ディスペンサーAの容器部1a内に、吐出すべき液
状物(溶融状態の樹脂)を予め収容しておき、第2の温
度調節手段Bの螺旋状水管6に所定温度の流体(油また
は湯など)を循環させることにより、容器内の温度を一
定に保ち液状物の粘度を一定にする。それと同時に、第
1の温度調節手段Cの連通孔9にも、螺旋状水管6に供
給するのと同様な温度調節用流体を循環させておく。こ
のような状態で図示しないシリンダ機構を駆動し、容器
部1内の液状物を、ノズル部2のニードル2a内を通過
させその先端より図示しない基板などに吐出させる。連
通孔9内を循環する温度調節用流体によって、ニードル
2aを通過する液状物は吐出直前まで温度が一定に保た
れ粘度が変化しないため、常に同じ条件で等量ずつ吐出
することができる。
The operation of the above embodiment will be described below. A liquid material to be discharged (a resin in a molten state) is stored in advance in the container portion 1a of the dispenser A, and a fluid (oil, hot water, or the like) having a predetermined temperature is supplied to the spiral water pipe 6 of the second temperature control means B. Is circulated to keep the temperature inside the container constant and the viscosity of the liquid material constant. At the same time, the same temperature control fluid as that supplied to the spiral water pipe 6 is circulated through the communication hole 9 of the first temperature control means C. In this state, a cylinder mechanism (not shown) is driven to cause the liquid material in the container portion 1 to pass through the needle 2a of the nozzle portion 2 and to be discharged from its tip onto a substrate (not shown). By the temperature adjusting fluid circulating in the communication hole 9, the liquid material passing through the needle 2a is kept at a constant temperature and does not change in viscosity until immediately before the discharge, so that the same amount can be always discharged under the same conditions.

【0015】上記工程により液状物の吐出が完了した
ら、ディスペンサーAを基板載置位置から離れた位置に
設けられているクリーニングポジションに移動し、図示
しないポンプなどによりエアー供給管12を介してエア
ー通路11にエアーが供給される。ニードル2a先端か
ら吐出しきれずに液状物が残留し、液だれ状になったり
液状物が付着したまま固化している場合、エアー通路1
1から噴射されニードル2aの外周面とパイプ2bの内
周面との間隙において下方に排出されるエアーによっ
て、ニードル2aの先端に残っている液状物が吹き飛ば
されて落下する。これにより、ニードル2a先端に液状
物が付着することに起因するノズル詰まりや吐出量およ
び吐出特性のばらつきといった不良を防止することがで
きる。なお、実際の作業を行なう上では、作業開始時ま
たは作業終了時に必ずエアー噴射を行なうようにした
り、所定回数の液状物吐出を行なった後定期的にエアー
噴射を行なうように設定される。
When the discharge of the liquid material is completed by the above-described process, the dispenser A is moved to a cleaning position provided at a position distant from the substrate mounting position, and the air passage is passed through the air supply pipe 12 by a pump (not shown) or the like. Air is supplied to 11. If the liquid material remains without being completely discharged from the tip of the needle 2a and becomes solid or solid with the liquid material attached, the air passage 1
The liquid remaining at the tip of the needle 2a is blown off and dropped by the air ejected from 1 and discharged downward in the gap between the outer peripheral surface of the needle 2a and the inner peripheral surface of the pipe 2b. Thereby, it is possible to prevent defects such as nozzle clogging and variations in discharge amount and discharge characteristics caused by the liquid material adhering to the tip of the needle 2a. In performing the actual work, it is set so that air injection is always performed at the start or end of the work, or air injection is performed periodically after performing a predetermined number of discharges of the liquid material.

【0016】本発明の第1の温度調節手段Cは、温度調
節用流体の温度を任意に設定することによって液状物の
温度調節が自在に行なえる。例えば、上記実施例では連
通孔9に加熱した油などを供給してノズル部2内の液状
物を加熱するようにしたが、ホットプレートを用いる場
合はそのホットプレートの熱がノズル部2に伝わって高
温になるおそれがあるため、連通孔9に冷水を供給する
などして上記実施例とは逆に液状物の温度上昇を抑制す
るために用いられる。
The first temperature adjusting means C according to the present invention comprises a temperature adjusting means.
The temperature of the liquid can be freely adjusted by arbitrarily setting the temperature of the nodal fluid. For example, in the above-described embodiment, the oil or the like heated to the communication hole 9 is supplied to heat the liquid material in the nozzle portion 2. However, when a hot plate is used, the heat of the hot plate is transmitted to the nozzle portion 2. Therefore, it is used to supply a cold water to the communication hole 9 to suppress a rise in the temperature of the liquid material contrary to the above embodiment.

【0017】第2の温度調節手段Bは流体を用いるもの
に限定されず、加熱を行う場合には容器部1の外周に電
熱線を配設する構成としたり、冷却を行なう場合にはペ
ルチェ素子(半導体熱交換素子)を用いる構成とするな
ど様々な構成を採用することができる。
The second temperature adjusting means B is not limited to the one using a fluid, and is configured to arrange a heating wire on the outer periphery of the container portion 1 for heating, or to a Peltier device for cooling. Various configurations such as a configuration using a (semiconductor heat exchange element) can be adopted.

【0018】また上記実施例では、第2の温度調節手段
Bと第1の温度調節手段Cとを完全に独立した構成とし
たが、例えば螺旋状水管6を循環した温度調節用流体を
直接連通孔9に供給するなど、両者を連結させた構成と
することも可能である。
In the above embodiment, the second temperature control means B and the first temperature control means C are completely independent from each other. For example, the temperature control fluid circulating through the spiral water pipe 6 is directly connected. It is also possible to adopt a configuration in which both are connected, for example, by supplying the holes 9.

【0019】上記実施例において、エアー噴射手段D
は、図示しないエアーポンプなどから細孔状のエアー通
路11を通ってノズル部2先端にエアーを吹き付ける構
成としたが、これに限定されるものではなく、エアー通
路を設けなくてもエアーポンプの吹き出し口がクリーニ
ングポジションにおいてノズル部近傍に位置するように
配置するなどの様々な変更例が可能である。
In the above embodiment, the air injection means D
Has a configuration in which air is blown from a not-shown air pump or the like to the tip of the nozzle portion 2 through the fine air passage 11, but is not limited to this. Various modifications are possible, such as arranging the outlet so as to be located near the nozzle portion at the cleaning position.

【0020】[0020]

【発明の効果】本発明の液状物吐出装置によると、ノズ
ル部外周に設けられた第1の温度調節手段により、ノズ
ル部から吐出する直前まで液状物の温度をコントロール
することができるため、外気の温度に左右されることな
く常に液状物を等量ずつ吐出することができる。
According to the liquid discharging apparatus of the present invention, the temperature of the liquid can be controlled until immediately before the liquid is discharged from the nozzle by the first temperature control means provided on the outer periphery of the nozzle. Liquid material can always be discharged in equal amounts without being influenced by the temperature of the liquid.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る液状物吐出装置の一実施例の側面
FIG. 1 is a side view of an embodiment of a liquid discharge device according to the present invention.

【図2】図1のX−X線断面図FIG. 2 is a sectional view taken along line XX of FIG.

【図3】図2の要部拡大図FIG. 3 is an enlarged view of a main part of FIG. 2;

【図4】図3のY−Y線断面図FIG. 4 is a sectional view taken along line YY of FIG. 3;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A ディスペンサー B 第2の温度調節装置 C 第1の温度調節装置 1 容器部 2 ノズル部 9 連通孔(水管) 13 ノズル受け Reference Signs List A dispenser B second temperature control device C first temperature control device 1 container part 2 nozzle part 9 communication hole (water pipe) 13 nozzle receiver

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 液状物を収容する容器部と、上記容器部
から上記液状物を吐出するノズル部とを含むディスペン
サーと、 上記ノズル部の外周近傍に位置するノズル受けと、上記
ノズル受けに設けられている温度調節用流体を通す連通
孔とによって構成されている第1の温度調節手段とを有
することを特徴とする液状物吐出装置。
A dispenser including a container for storing the liquid material, a nozzle for discharging the liquid from the container , a nozzle receiver positioned near an outer periphery of the nozzle,
Communication for passing the temperature control fluid provided in the nozzle receiver
And a first temperature control means constituted by a hole .
【請求項2】 上記容器部の外周に第2の温度調節手段
が設けられている請求項1に記載の液状物吐出装置。
2. A temperature control means on the outer periphery of the container.
Liquid material discharge device according to claim 1 is provided.
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