JP2594694B2 - Oscillating device for polishing dish in polishing machine - Google Patents
Oscillating device for polishing dish in polishing machineInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レンズ等の研磨によって生ずる研磨皿の摩
耗を補正かつ変化させる機能を有し、これによりレンズ
等の被研磨材の球面精度を保持できる研磨装置における
研磨皿の揺動装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention has a function of correcting and changing abrasion of a polishing dish caused by polishing of a lens or the like. The present invention relates to a swinging device for a polishing dish in a polishing device that can be held.
〔従来の技術〕 従来から一般的に使用されているレンズ等の被研磨材
の研磨加工は、第4図(1)に示すような研磨装置1aを
用いて、予めレンズ5等に適した研磨皿3の揺動幅(例
えば、角度5度〜15度位)を設定し、研磨皿3を回転か
つ揺動させて研磨皿3にて研磨する方法が採用されてい
る。すなわち、研磨装置1aは研磨皿3上のレンズ5等を
ホルダー4にて加圧しており、この研磨皿3をスウィン
グベース7に回転可能となるように取り付けられてい
る。このスウィングベース7の揺動中心軸8を中心に揺
動可能となるようにフレーム(図示せず)に取付けてス
ウィングベース7がクランクアーム30を介してクランク
31によって揺動されるように構成されている。更に、研
磨装置1aはハンドル32を回動してクランク31を前後移動
させてスウィングベース8の揺動角度を変えると共に、
この角度変化によって研磨皿3上のレンズ5等の位置も
変えることができる構成になっている。従って、この研
磨装置1aの研磨皿3は第5図(2)に示すようなサイク
ルによって揺動運動をさせて被研磨材であるレンズ5等
が研磨されていた。[Prior Art] Polishing of a material to be polished such as a lens which has been generally used in the past is performed by using a polishing apparatus 1a as shown in FIG. A method of setting the swing width (for example, an angle of about 5 to 15 degrees) of the plate 3 and rotating and swinging the polishing plate 3 to perform polishing with the polishing plate 3 is adopted. That is, the polishing apparatus 1a presses the lens 5 and the like on the polishing plate 3 with the holder 4, and the polishing plate 3 is attached to the swing base 7 so as to be rotatable. The swing base 7 is mounted on a frame (not shown) so as to be swingable about the swing center axis 8 of the swing base 7 so that the swing base 7
It is configured to be swung by 31. Further, the polishing apparatus 1a changes the swing angle of the swing base 8 by rotating the handle 32 to move the crank 31 back and forth,
The position of the lens 5 and the like on the polishing plate 3 can be changed by this angle change. Therefore, the polishing plate 3 of the polishing apparatus 1a is caused to oscillate in a cycle as shown in FIG.
しかしながら、上述の研磨装置1aでレンズ5等を研磨
すると、レンズ5等と共に研磨皿3も少しずつ摩耗され
てレンズ5等の球面精度に変化が生ずることになる。こ
のためオペレーターは、研磨皿3の変化を考慮しながら
ハンドル32を回動して、クランク31を前後移動させてス
ウィングベース7の揺動角度を変えると共に、レンズ5
等が当たる研磨皿3の位置も少しずつ替えてレンズ5等
の球面精度を追求しなければならず、その取扱操作が複
雑となり高度の熟練が要求されていた。However, when the lens 5 and the like are polished by the above-described polishing apparatus 1a, the polishing plate 3 is gradually worn together with the lens 5 and the like, and the spherical accuracy of the lens 5 and the like changes. For this reason, the operator turns the handle 32 while considering the change of the polishing plate 3, moves the crank 31 back and forth to change the swing angle of the swing base 7, and
It is necessary to change the position of the polishing plate 3 to be applied to the lens 5 little by little in order to pursue the spherical precision of the lens 5 and the like, and the handling operation becomes complicated, and a high degree of skill is required.
また、レンズ5等が当たる研磨皿3の位置を移動させ
ることによりレンズ5等が正しい球面にならなくなって
しまう、いわゆるクセ・アス(クセはレンズの角の部分
が欠けたようになる現象のことをいい、アスはレンズの
球面が楕円状になる現象のことをいう。)等の現象が生
ずることになる。Also, by moving the position of the polishing plate 3 on which the lens 5 or the like hits, the lens 5 or the like does not have a correct spherical surface. And ass means a phenomenon in which the spherical surface of the lens becomes elliptical.)
そこで、本発明は上記事情に鑑みてなされたものであ
り、特に複雑な操作や熟練を必要とせずにレンズ等の被
研磨材の曲面精度を保持することができると共に、クセ
・アス等の発生を未然に防止することができる揺動装置
にしたことを目的とするものである。Accordingly, the present invention has been made in view of the above circumstances, and can maintain the curved surface accuracy of a material to be polished such as a lens without particularly complicated operation and skill, and can generate a habit and the like. It is an object of the present invention to provide a rocking device capable of preventing the occurrence of the vibration.
本発明は上記の如き課題をを解決するために開発した
ものであって、研磨皿に被研磨材を加圧状態で該研磨皿
を回転かつ揺動させて被研磨材を研磨する研磨装置の従
動部、駆動部及び制御部から構成される揺動装置であっ
て、前記従動部にプーリーが使用されかつ揺動中心軸に
固定されて駆動部に正逆回転及び該正逆回転中に任意点
において設定時間停止可能なサーボモータを有し、該サ
ーボモーターの回転軸に前記従動部のプーリーよりも小
径のプーリーを固定させる構成かなり、更に前記制御部
は前記駆動部の制御回転サイクル設定部及び研磨に伴っ
て摩耗した研磨皿の状況により揺動軌跡の所定位置で研
磨皿の揺動運動を設定時間停止させる停止レンジ設定部
が演算部に接続され、かつ該演算部に出力部が接続され
る構成からなることを特徴とする研磨装置における研磨
皿の揺動装置の提供にあり、また前記制御部の正逆回転
サイクル及び停止レンジ設定部にこれらを表示させる表
示部が付設され、更に前記制御部の正逆回転サイクル設
定部がサーボモータの正逆回転量及び正逆回転速度を自
由に設定できる研磨装置における研磨皿の揺動装置の提
供にある。The present invention has been developed in order to solve the problems as described above, and a polishing apparatus for polishing and polishing a workpiece by rotating and swinging the polishing dish while pressing the workpiece on the polishing dish. A swinging device comprising a driven portion, a driving portion, and a control portion, wherein a pulley is used for the driven portion and fixed to a swinging central axis, and the driving portion is capable of rotating during forward and reverse rotations and during the forward and reverse rotation. A servomotor that can be stopped for a set time at a point, and a pulley having a smaller diameter than the pulley of the driven unit is fixed to the rotation axis of the servomotor. Further, the control unit is a control rotation cycle setting unit of the drive unit. A stop range setting unit for stopping the swinging motion of the polishing dish at a predetermined position on the swing locus for a set time depending on the condition of the polishing dish worn due to the polishing is connected to the arithmetic unit, and the output unit is connected to the arithmetic unit. Configuration The present invention provides a polishing dish swinging device in a polishing apparatus, and further includes a display unit for displaying these in a forward / reverse rotation cycle and a stop range setting unit of the control unit, and further includes a forward / reverse rotation of the control unit. It is an object of the present invention to provide a polishing plate swinging device in a polishing device in which a cycle setting unit can freely set a forward / reverse rotation amount and a forward / reverse rotation speed of a servomotor.
上記構成になる研磨装置における研磨皿の揺動装置に
よれば、研磨皿の揺動幅を設定して研磨皿を回転かつ揺
動させて被研磨材を研磨し、この研磨に伴って摩耗した
研磨皿の状況により揺動軌跡の設定位置で研磨皿の揺動
運動を設定時間停止させると共に、その停止位置の研磨
皿を摩耗させて研磨皿の球面精度を維持かつ補正して被
研磨材の球面精度を維持し補正することができる。According to the swinging device of the polishing dish in the polishing apparatus having the above configuration, the swinging width of the polishing dish is set, and the polishing dish is rotated and swung to grind the material to be polished. Depending on the condition of the polishing plate, the swinging motion of the polishing plate is stopped for a set time at the set position of the swing locus, and the polishing plate at the stop position is worn to maintain and correct the spherical accuracy of the polishing plate and to correct the workpiece. The spherical accuracy can be maintained and corrected.
また、制御部にて正逆回転サイクルを指定して駆動部
を作動させ、更にこの作動を従動部及びスウィングベー
スを介して伝達して研磨皿を揺動させて被研磨材を研磨
し、更に研磨皿の摩耗状況に応じて制御部にて正逆回転
サイクル中の停止時間を指定して駆動部を作動させ、研
磨皿の球面精度を維持かつ補正して被研磨材の球面精度
を維持し補正することができる。Further, the control unit specifies the forward / reverse rotation cycle to operate the driving unit, and further transmits this operation via the driven unit and the swing base to swing the polishing plate to polish the workpiece, and The control unit specifies the stop time during the forward / reverse rotation cycle according to the wear condition of the polishing plate and operates the drive unit to maintain and correct the spherical accuracy of the polishing plate to maintain the spherical accuracy of the workpiece. Can be corrected.
以下、本発明の実施例について第1図乃至第4図に基
づいて説明する。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4.
第1図は本発明の研磨装置における研磨皿の揺動装置
(以下、単に揺動装置という。)の機構を示す一部を断
面した側面図、第2図は揺動装置の制御部の構成図、第
3図と第4図は揺動装置の運転状態をそれぞれ示す説明
図である。図中1は研磨装置であり、この研磨装置1に
は研磨皿3の揺動装置2を組込まれている。FIG. 1 is a partial cross-sectional side view showing a mechanism of a swinging device (hereinafter simply referred to as a swinging device) of a polishing dish in a polishing device of the present invention, and FIG. 2 is a configuration of a control unit of the swinging device. FIG. 3, FIG. 3 and FIG. 4 are explanatory diagrams each showing an operating state of the rocking device. In the figure, reference numeral 1 denotes a polishing device, in which a swinging device 2 for a polishing plate 3 is incorporated.
研磨装置1は、研磨皿3上にホルダー4により保持さ
れるレンズ(被研磨材)5を加圧し、この状態で研磨皿
3に螺着されているスピンドル6を回転させると共に、
このスピンドル6を回転自在に保持しているスウィング
ベース7を有する揺動装置2によりレンズ(被研磨材)
5を研磨するものである。この揺動装置2には、前記研
磨皿3を回転自在に保持するスウィングベース7の揺動
中心軸8に設けた従動部9と、該従動部9を正逆回転及
び設定時間停止可能にする駆動部10と、該駆動部10の作
動を伝達するベルト11と、前記駆動部10の正逆回転サイ
クル及び停止レンジをそれぞれ任意に制御する制御部12
とから構成されている。The polishing apparatus 1 presses a lens (a material to be polished) 5 held on a polishing plate 3 by a holder 4, rotates a spindle 6 screwed to the polishing plate 3 in this state,
A lens (a material to be polished) is formed by a swinging device 2 having a swing base 7 which rotatably holds the spindle 6.
5 is to be polished. The swinging device 2 has a driven portion 9 provided on a swinging central shaft 8 of a swing base 7 for rotatably holding the polishing plate 3, and enables the driven portion 9 to rotate forward and reverse and stop for a set time. A drive unit 10, a belt 11 for transmitting the operation of the drive unit 10, and a control unit 12 for arbitrarily controlling the forward / reverse rotation cycle and the stop range of the drive unit 10, respectively.
It is composed of
前記従動部9は、本実施例ではプーリーが使用され
る。この従動部9は、前述のとおり揺動中心軸8に固定
されて、駆動部10の正逆回転を受けてスウィングベース
7を揺動させるものである。In the present embodiment, a pulley is used for the driven portion 9. The follower 9 is fixed to the swing center shaft 8 as described above, and swings the swing base 7 by receiving forward and reverse rotations of the drive unit 10.
前記駆動部10は、正逆回転及びその正逆回転中の任意
点において設定時間停止可能なサーボモータ13を有して
おり、このサーボモータ13の回転軸14は、前記従動部9
であるプーリーにその作動を伝達するためにプーリー15
を固定している。このプーリー15は、通常の従動部9で
あるプーリーよりも径の小さなものを使用している。こ
れは、研磨皿3の揺動運動がああまりスピードを必要と
しないことによるものである。The drive unit 10 has a servomotor 13 that can be stopped for a set time at any point during forward / reverse rotation and forward / reverse rotation, and a rotation shaft 14 of the servomotor 13
Pulley 15 to transmit its operation to the pulley that is
Is fixed. The pulley 15 is smaller in diameter than the pulley that is the normal driven portion 9. This is because the swinging movement of the polishing dish 3 does not require much speed.
なお、本実施例の揺動装置2において、従動部9はプ
ーリー、駆動部10はサーボモータ13及びプーリー15をそ
れぞれ使用しているが、これらに限定されることはな
い。In the oscillating device 2 of the present embodiment, the driven portion 9 uses a pulley, and the driving portion 10 uses a servomotor 13 and a pulley 15, but the present invention is not limited to these.
また、従動部9は、スウィングベース7の揺動中心軸
8を正逆回転させ研磨皿3を揺動運動させ得るものであ
れば良く、また駆動部10は正逆回転及びその正逆回転中
の任意点において設定時間停止可能であれば良く、更に
サーボモータ以外にパルスモータを使用しても良い。従
って、従動部9及び駆動部10のプーリー15がスプロケッ
トであっても良く、この場合ベルト11はチェーンとな
る。また従動部9及び駆動部10のプーリー15が歯車であ
っても良く、この場合ベルト11が中間歯車となる。ま
た、従動部9である歯車とプーリー15である歯車とが直
接かみ合う場合は、ベルト11に相当する中間歯車は必要
としない。The driven unit 9 may be any unit that can rotate the swing center axis 8 of the swing base 7 in the normal and reverse directions to cause the polishing plate 3 to swing, and the drive unit 10 performs the normal and reverse rotations and the normal and reverse rotations thereof. It is sufficient that the motor can be stopped for a set time at an arbitrary point, and a pulse motor may be used in addition to the servo motor. Therefore, the pulley 15 of the driven portion 9 and the drive portion 10 may be a sprocket, and in this case, the belt 11 becomes a chain. Further, the pulley 15 of the driven unit 9 and the driving unit 10 may be a gear, and in this case, the belt 11 is an intermediate gear. When the gear as the driven portion 9 and the gear as the pulley 15 directly mesh with each other, the intermediate gear corresponding to the belt 11 is not required.
前記制御部12は、第2図に示すように駆動部10の正逆
回転サイクル設定部16及び停止レンジ設定部(タイマ
ー)17が演算部18に電気的に接続され、更に演算部18に
は出力部19が接続されている。なお、正逆回転サイクル
及び停止レンジ設定部16及び17には、これらの表示部16
a及び17aが付設されている。正逆回転サイクル設定部16
は、第5図(2)、第3図(2)及び第4図(2)の縦
軸にそれぞれ示すような揺動幅l(mm)、すなわちサー
ボモータ13の正逆回転量を自由に設定でき、更に横軸の
揺動運動サイクル(秒)、すなわちサーボモータ13の正
逆回転スピードを自由に設定できるように構成されてい
る。また停止レンジ設定部17は、これに内蔵されるタイ
マーにより第3図(2)と第4図(2)にそれぞれ示す
ように、揺動運動の反復点においてサーボモータ13を一
定時間停止させることが設定できるようになっている。
本図の例では反復点においてサーボモータ13を一定時間
停止するようになっているが、揺動運動中の反復点以外
の任意点においてサーボモータ13を一定時間停止するよ
うにしても良い。このようにすれば、揺動装置2につい
て一層レンズ研磨の完全自動化が図られる。更に、この
制御部12は駆動部10を第3図(2)及び第4図(2)に
示すような運動を行わせるために正逆回転サイクル及び
停止レンジ設定部16及び17を設定し、これにより入力し
た情報を基づいて演算部18で計算して駆動部10を設定ど
おり動かすための制御信号を出力部19から発信させて駆
動部10を作動させる構成になっている。なお、第1図中
20は研磨容器21及び22はスピンドル6を回転させるため
のプーリー及びベルトである。As shown in FIG. 2, the control unit 12 includes a forward / reverse rotation cycle setting unit 16 and a stop range setting unit (timer) 17 of the driving unit 10 electrically connected to a calculation unit 18. The output unit 19 is connected. The forward and reverse rotation cycle and stop range setting sections 16 and 17 have these display sections 16
a and 17a are attached. Forward / reverse rotation cycle setting section 16
Is the swing width l (mm) as shown on the vertical axis of FIGS. 5 (2), 3 (2) and 4 (2), that is, the forward / reverse rotation amount of the servo motor 13 can be freely adjusted. The servomotor 13 can be set freely, and the swinging motion cycle (second) of the horizontal axis, that is, the forward / reverse rotation speed of the servomotor 13 can be set freely. The stop range setting unit 17 stops the servomotor 13 for a certain period of time at the repetition point of the oscillating motion, as shown in FIGS. 3 (2) and 4 (2), respectively, by a timer built therein. Can be set.
In the example of this drawing, the servo motor 13 is stopped for a certain time at the repetition point, but the servo motor 13 may be stopped for a certain time at any point other than the repetition point during the rocking motion. In this way, the swinging device 2 is further fully automated in lens polishing. Further, the control unit 12 sets forward / reverse rotation cycle and stop range setting units 16 and 17 so as to cause the driving unit 10 to perform the movement as shown in FIGS. 3 (2) and 4 (2). As a result, a control signal for causing the arithmetic unit 18 to calculate based on the input information and to move the drive unit 10 as set is transmitted from the output unit 19 to operate the drive unit 10. In addition, in FIG.
Reference numeral 20 denotes polishing vessels 21 and 22, which are pulleys and belts for rotating the spindle 6.
次に、上記構成からなる揺動装置2の使用方法につい
て説明する。Next, a method of using the swing device 2 having the above configuration will be described.
まず、被研磨材であるレンズ5をホルダー4に保持さ
せて電源をオンする。ついで、正逆回転サイクル設定部
16の表示部16aを見ながら、例えば第5図(2)に示す
ように揺動幅l(mm)及び4秒間1サイクルの揺動運動
となるように設定する。その跡、スピンドル6を回転す
ることにより研磨皿3を回転させてホルダー4を徐々に
加圧すると共に、レンズ5の研磨を開始して前記駆動部
10のサーボモータ13を設定どおりに正逆回転させる。更
に、プーリー15、ベルト11及び従動部9を介してスウィ
ングベース7を揺動して、研磨皿3を回転かつ揺動させ
て本格的な研磨を開始する。この研磨過程において、研
磨皿3の周縁部が先に摩耗して相対的に軸心部が高くな
ると共に曲率半径が小さくなる現象が生ずる。この場合
には、制御部12の停止レンジ設定部17の表示部17aを見
ながら、例えば第3図(2)に示すように研磨皿3の軸
心部にて1秒間停止させかつ5秒間1サイクルの揺動運
動となるように設定する。このように設定すれば、研磨
皿3の軸心部の研磨が早まりα分摩耗して研磨皿3の曲
率半径が大きくなり、それに伴ってレンズ5の曲率半径
も大きくすることが可能になる。First, the lens 5 which is a material to be polished is held by the holder 4 and the power is turned on. Next, the forward / reverse rotation cycle setting section
While observing the 16 display sections 16a, for example, as shown in FIG. 5 (2), the swing width l (mm) and the swing movement for one cycle for 4 seconds are set. At that point, the polishing plate 3 is rotated by rotating the spindle 6 to gradually pressurize the holder 4, and the polishing of the lens 5 is started to start the driving unit.
Rotate the 10 servo motors 13 forward and backward as set. Further, the swing base 7 is swung via the pulley 15, the belt 11, and the driven portion 9, and the polishing plate 3 is rotated and swung to start full-scale polishing. In the polishing process, a phenomenon occurs in which the peripheral portion of the polishing plate 3 is worn first, so that the axial center portion becomes relatively high and the radius of curvature becomes small. In this case, while watching the display unit 17a of the stop range setting unit 17 of the control unit 12, for example, as shown in FIG. Set so as to make the cycle swing. With such a setting, the polishing of the axial center portion of the polishing plate 3 is accelerated and abrasion is performed by α, so that the radius of curvature of the polishing plate 3 is increased, and accordingly, the radius of curvature of the lens 5 can be increased.
また、逆に研磨皿3の軸心部が先に摩耗すれば相対的
に周縁部が高くなり曲率半径が大きくなる現象が生ず
る。この場合には、制御部12の停止レンジ設定部17の表
示部17aを見ながら、例えば第4図(2)に示すように
研磨皿3の周縁部にて1秒間停止させかつ5秒間1サイ
クルの揺動運動となるように設定する。このように設定
すれば、研磨皿3の周縁部の摩耗が早まりβ分摩耗して
研磨皿3の曲率半径が小さくなり、それに伴ってレンズ
5の曲率半径も小さくすることが可能になる。Conversely, if the axial center portion of the polishing plate 3 is worn first, the peripheral portion becomes relatively high and the radius of curvature becomes large. In this case, while watching the display unit 17a of the stop range setting unit 17 of the control unit 12, for example, as shown in FIG. It is set so that the rocking motion of. With this setting, the peripheral edge of the polishing plate 3 is worn faster, and is worn by β, so that the radius of curvature of the polishing plate 3 is reduced, and accordingly, the radius of curvature of the lens 5 can be reduced.
このような操作を行ない、レンズ5の球面精度を保持
補正して所定の研磨を終了させてホルダー4からレンズ
5を取り外して製品化する。By performing such an operation, the spherical accuracy of the lens 5 is maintained and corrected, predetermined polishing is completed, and the lens 5 is removed from the holder 4 to produce a product.
また、このように研磨皿3にてレンズ5を研磨させる
過程でもって研磨皿3の摩耗によるレンズ5の球面精度
を補正させるために研磨皿3自体を摩耗させて元に戻す
ことになるので、レンズ5が当たる研磨皿3の位置を移
動させることにより発生する、いわゆるクセ・アス等の
現象は全く生じない。Further, in the process of polishing the lens 5 with the polishing plate 3, the polishing plate 3 itself is worn and returned to the original position in order to correct the spherical accuracy of the lens 5 due to the wear of the polishing plate 3. There is no phenomenon such as a so-called habit or the like that occurs when the position of the polishing plate 3 hit by the lens 5 is moved.
以上のように構成してなる揺動装置による研磨方法に
よれば、研磨皿の揺動幅を設定して研磨皿を回転かつ揺
動させて被研磨剤を研磨し、この研磨に伴って摩耗した
研磨皿の状況により揺動軌跡の設定位置で研磨皿の揺動
運動を設定時間停止させ、その位置の研磨皿を摩耗させ
て研磨皿の球面精度を維持補正することができると共
に、非研磨材の球面精度を維持補正することができる。
従って、複雑な操作や熟練を必要としないで、レンズ等
の被研磨材の曲面精度を容易に保持補正することが可能
になり、加えて被研磨材が当たる研磨皿の位置を移動さ
せないから、いわゆるクセ・アス等の被研磨材が正しい
球面にならない現象が発生しない。According to the polishing method using the oscillating device configured as described above, the oscillating width of the polishing plate is set, and the polishing plate is rotated and oscillated to polish the material to be polished. Depending on the condition of the polishing dish, the swing motion of the polishing dish is stopped for a set time at the set position of the swing locus, and the polishing dish at that position can be worn to maintain and correct the spherical accuracy of the polishing dish, and also to perform non-polishing. The spherical accuracy of the material can be maintained and corrected.
Therefore, it is possible to easily maintain and correct the curved surface accuracy of the material to be polished, such as a lens, without requiring complicated operation and skill, and in addition, since the position of the polishing plate hit by the material to be polished is not moved, A phenomenon in which a material to be polished such as a so-called habit or the like does not have a correct spherical surface does not occur.
また、本発明の研磨装置における研磨皿の揺動装置に
よれば、制御部にて正逆回転サイクルを指定して駆動部
を作動させ、この作動を従動部及びスウィングベースを
介して伝達して研磨皿に揺動させて被研磨材を研磨し、
その研磨皿の摩耗状況に応じて制御部にて正逆回転サイ
クル中の停止時間を指定し駆動部を作動させて研磨皿の
球面精度を維持補正することができると共に、被研磨材
の球面精度を維持補正することができる。Further, according to the swinging device of the polishing dish in the polishing apparatus of the present invention, the control unit specifies the forward / reverse rotation cycle to operate the drive unit, and transmits this operation via the driven unit and the swing base. Shake the polishing plate to polish the material to be polished,
The control unit specifies the stop time during the forward / reverse rotation cycle according to the wear state of the polishing plate, and operates the drive unit to maintain and correct the spherical accuracy of the polishing plate, and the spherical accuracy of the material to be polished. Can be maintained and corrected.
第1図乃至第4図は本発明の実施例を示すもので、第1
図は本発明の研磨装置における研磨皿の揺動装置の機構
を示す一部を切断した側面図、第2図は揺動装置の制御
部の構成図、第3図と第4図は揺動装置の運転状態を示
す説明図であり、第5図(1)は従来例を示した第1図
と同様の側面図及び第5図(2)は従来例の揺動運動の
サイクル図である。 1、1a……研磨装置、2……揺動装置 3……研磨皿、5……レンズ(被研磨材) 7……スウィングベース、8……揺動中心軸 9……従動部、10……駆動部 12……制御部、13……サーボモータ1 to 4 show an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partially cut-away side view showing a mechanism of a swinging device of a polishing dish in the polishing device of the present invention, FIG. 2 is a configuration diagram of a control unit of the swinging device, and FIGS. FIG. 5 (1) is an explanatory view showing an operation state of the apparatus, FIG. 5 (1) is a side view similar to FIG. 1 showing a conventional example, and FIG. 5 (2) is a cycle diagram of a swinging motion of the conventional example. . 1, 1a: polishing device, 2: oscillating device 3, polisher, 5: lens (material to be polished) 7, ... swing base, 8, oscillating center axis 9, ... follower, 10 ... … Drive unit 12… Control unit, 13… Servo motor
Claims (3)
回転かつ揺動させて被研磨材を研磨する研磨装置の従動
部、駆動部及び制御部から構成される揺動装置であっ
て、前記従動部にプーリーが使用されかつ揺動中心軸に
固定されて駆動部に正逆回転及び該正逆回転中の任意点
において設定時間停止可能なサーボモータを有し、該サ
ーボモーターの回転軸に前記従動部のプーリーよりも小
径のプーリーを固定させる構成かなり、更に前記制御部
は前記駆動部の制御回転サイクル設定部及び研磨に伴っ
て摩耗した研磨皿の状況により揺動軌跡の所定位置で研
磨皿の揺動運動を設定時間停止させる停止レンジ設定部
が演算部に接続され、かつ該演算部に出力部が接続され
る構成からなることを特徴とする研磨装置における研磨
皿の揺動装置。An oscillating device comprising a driven portion, a drive portion, and a control portion of a polishing apparatus for polishing a material to be polished by rotating and oscillating the material to be polished on the polishing plate in a pressurized state. A pulley is used for the driven portion, and the drive portion has a servomotor that is fixed to the swinging center axis and is capable of stopping for a set time at any point during the forward / reverse rotation and the forward / reverse rotation. A configuration in which a pulley having a smaller diameter than the pulley of the driven portion is fixed to the rotating shaft of the motor considerably, and the control portion further includes a control rotation cycle setting portion of the drive portion and a swing trajectory depending on the condition of the polishing plate worn with polishing. A polishing range setting unit for stopping the swinging motion of the polishing plate at a predetermined position for a set time is connected to the calculation unit, and an output unit is connected to the calculation unit. Rocking device.
ンジ設定部に、これらを表示させる表示部が付設されて
いる請求項(1)記載の研磨装置における研磨皿の揺動
装置。2. The apparatus according to claim 1, wherein a display section for displaying the forward / reverse rotation cycle and the stop range setting section of said control section is provided.
サーボモータの正逆回転量及び正逆回転速度を自由に設
定できる請求項(2)記載の研磨装置における研磨皿の
揺動装置。3. A forward / reverse rotation cycle setting section of the control section,
The swinging device for the polishing dish in the polishing apparatus according to claim 2, wherein the forward / reverse rotation amount and forward / reverse rotation speed of the servomotor can be freely set.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2249111A JP2594694B2 (en) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | Oscillating device for polishing dish in polishing machine |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2249111A JP2594694B2 (en) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | Oscillating device for polishing dish in polishing machine |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04129658A JPH04129658A (en) | 1992-04-30 |
JP2594694B2 true JP2594694B2 (en) | 1997-03-26 |
Family
ID=17188119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2249111A Expired - Lifetime JP2594694B2 (en) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | Oscillating device for polishing dish in polishing machine |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2594694B2 (en) |
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Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6052246A (en) * | 1983-09-01 | 1985-03-25 | Mabuchi Shoten:Kk | Polishing machine |
JPH01109062A (en) * | 1987-10-20 | 1989-04-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Lens polishing device |
JPH0622799B2 (en) * | 1988-01-20 | 1994-03-30 | オリンパス光学工業株式会社 | Polishing equipment |
-
1990
- 1990-09-19 JP JP2249111A patent/JP2594694B2/en not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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