JP2593769Y2 - 流体圧シリンダ用のピストン位置検出装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は空気圧や油圧等の流体圧
によりシリンダ内を往復動するピストンの位置を検出す
るための流体圧シリンダ用のピストン位置検出装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】空気圧シリンダ内に往復動自在に装着さ
れたピストンの位置を検出するために、ピストンに取付
けられた永久磁石が発生した磁界を検出するセンサをシ
リンダに取付けるようにした流体圧シリンダ用のピスト
ン位置検出装置が用いられている。

【０００３】このようなピストン位置検出装置を有する
空気圧シリンダは、種々の産業用機器を製造するための
製造工場において使用されるため、空気圧シリンダの周
りに他の製造装置等に設けられた永久磁石が空気圧シリ
ンダに接近することがあったり、あるいは他の製造装置
等に電力を供給するための電線ケーブルが空気圧シリン
ダに隣接して配置されることがある。

【０００４】このような場合には、前記永久磁石の磁界
や電線ケーブルに流れる電流により発生する磁界が、セ
ンサに影響を与えてセンサの誤動作が発生する恐れがあ
る。そこで、従来では実公平５−１５０４２号公報に記
載されるようなピストン位置検出装置が開発されてい
る。

【０００５】この装置は、電線ケーブルを流れる電流に
よって発生する交流磁界つまり周期的に変化する外部磁
界によってセンサが誤動作しないようにするために、外
部磁界を検出する外部センサの感度を、ピストンの永久
磁石の磁界を検出するピストンセンサの感度よりも高く
設定している。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】このように２つのセン
サに感度差を持たせるために、ピストンセンサをシール
ド内に配置するようにしており、センサをシリンダに取
付ける構造が複雑化してしまうのみならず、外部磁界の
加わり方によっては２つのセンサの感度が逆転して誤動
作が発生してしまうことがある。

【０００７】また、前記公報に記載されたピストン位置
検出装置にあっては、磁界の強度が一定であるＤＣ磁界
が影響した場合には、センサの誤動作を防止することが
できない。

【０００８】本考案の目的は、外部から作用する磁界が
周期的に変化するＡＣ磁界が外乱として作用した場合、
および磁界が周期的に変化しないＤＣ磁界が外乱として
作用した場合の何れの場合でも、ピストン位置を誤動作
なく検出し得るようにすることである。

【０００９】本考案の前記ならびに他の目的と新規な特
徴は、本願明細書の記述および添付図面から明らかにな
るであろう。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
考案のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１１】すなわち、ピストンに設けられた磁界発生
部材の磁界を検出するピストン磁界検出手段からのオン
オフ信号は、オフからオンに変化したときに第１の遅延
時間後にオン信号を出力するオンディレイ手段と、オン
からオフに変化したときに第２の遅延時間後にオフ信号
を出力する第１オフディレイ手段とを介して出力され、
外部磁界を検出する外部磁界検出手段は、オンからオフ
に変化したときに第１および第２の遅延時間よりも長く
設定された第３の遅延時間後にオフ信号を出力する第２
オフディレイ手段を介して出力される。これらの出力信
号はホールド回路に入力され、このホールド回路は、外
部磁界検出手段が外部磁界を検出していない場合には、
ピストン磁界検出手段からに基づく信号によりオンオフ
の出力信号を出力する。

【００１２】外部磁界検出手段のオン信号と、ピストン
磁界検出手段のオン信号がホールド回路への同時入力と
ならないためにディレイ回路を介した信号がホールド回
路に入力した場合には、ホールド回路はオフの信号を出
力する。一方、同時にオン信号が入力しない場合には、
外部磁界検出手段からのオン信号が入力される前におけ
るピストン磁界検出手段のオンオフ状態に対応したオン
オフの出力信号をホールド回路は出力する。

【００１３】

【作用】上述した構成を有する本考案にあっては、ピス
トン磁界検出手段からのオン信号を同時に出力する第１
オフディレイ手段からと、遅延させて出力するオンディ
レイ手段とからの信号および外部磁界検出手段から検出
と同時に出力される信号に基づいて、外部磁界が作用し
たか否かを検出することができる。

【００１４】しかも、外部磁界が作用したことが検出さ
れた場合には、ホールド回路によりピストン磁界検出手
段のオンオフ状態に対応したオンオフ信号が出力される
ので、外部磁界の影響がなくなるまで、ピストン磁界検
出手段の検出結果が保持されることになり、ピストン磁
界検出手段の誤動作が防止される。

【００１５】検出することができる外部磁界としては、
周期的に磁力が変化するＡＣ磁界のみならず、周期的な
変化がないＤＣ磁界に対しても、誤動作を防止すること
ができる。

【００１６】

【実施例】以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【００１７】図１は空気圧シリンダ内に設けられたピス
トンの位置を検出するために本考案のピストン位置検出
装置を組み付けた場合を示す図であり、空気圧シリンダ
１内にはピストン２が空気圧により往復動自在に装着さ
れている。ピストン２の外周部に形成された溝内には、
磁界発生部材としての永久磁石３が取り付けられてい
る。

【００１８】このピストン２の位置を検出するための検
出装置は、ケーシング４を有しており、このケーシング
４内にはセンサ基板５が設けられている。このセンサ基
板５には、永久磁石の磁界を検出する第１センサつまり
ピストン位置検出センサＳ１がピストン位置検出手段Ｓ
１としてシリンダ１側に位置させて取付けられ、この第
１センサＳ１よりもシリンダ１から離れた位置に、第２
センサつまり外部磁界検出センサＳ２が外部磁界検出手
段として取付けられている。

【００１９】図２はセンサ基板５に設けられた検出回路
を示すブロック図であり、第１センサＳ１はオンディレ
イ手段としてのオンディレイ回路１０と、第１オフディ
レイ手段としてのオフディレイ回路１１に接続され、第
２センサＳ２は第２オフディレイ手段としてのオフディ
レイ回路１２に接続されている。

【００２０】オンディレイ回路１０の出力信号Ａ１、オ
フディレイ回路１１の出力信号Ａ２、そしてオフディレ
イ回路１２の出力信号Ｂはそれぞれホールド回路１３に
入力され、このホールド回路１３の出力信号Ｆは出力回
路１４に出力されるようになっている。この出力回路１
４からオン信号が出力されるときには、ピストン２が第
１センサＳ１により検出されたことになり、図示しない
制御回路にケーブル６を介して検出信号が送られる。

【００２１】オンディレイ回路１０は、第１センサＳ１
がオフからオンに変化したときには遅延時間（第１遅延
時間）Ｄ１の後にオン信号を出力し、第１センサＳ１が
オンからオフに変化したときには直ちにオフ信号を出力
する。

【００２２】オフディレイ回路１１は、第１センサＳ１
がオンからオフに変化したときには遅延時間（第２遅延
時間）Ｄ２の後にオフ信号を出力し、第１センサＳ１が
オフからオンに変化したときには直ちにオン信号を出力
する。

【００２３】オフディレイ回路１２は、第２センサＳ２
がオンからオフに変化したときには遅延時間（第３遅延
時間）Ｅの後にオフ信号を出力し、第２センサＳ２がオ
フからオンに変化したときには直ちにオン信号を出力す
る。

【００２４】ホールド回路１３は、第２センサＳ２がオ
フの状態のもとで、第１センサＳ１がオンしたときにオ
ン信号を出力し、第１センサＳ１がオフしたときにオフ
信号を出力する。つまり、外部磁界が検出されずに、オ
フディレイ回路１２の出力信号Ｂがオフ信号を出力して
いることを条件に、永久磁石３の磁界を第１センサＳ１
が検出すると、まずオフディレイ回路１１からオン信号
が出力され、次いで遅延時間Ｄ１が経過した後にオンデ
ィレイ回路１０からオン信号が出力された場合には、オ
ン信号を出力する。そして、同様にオフディレイ回路１
２の出力信号Ｂがオフ信号を出力していることを条件
に、まずオンディレイ回路１０からオフ信号が出力さ
れ、次いで遅延時間Ｄ２が経過した後にオフディレイ回
路１１からのオフ信号が出力された場合には、オフ信号
を出力する。

【００２５】またホールド回路１３は、第２センサＳ２
がオフからオンに変化したときには、その変化前におけ
る第１センサＳ１のオンオフに対応してオンオフ信号を
出力する。つまり、第１センサＳ１が永久磁石３の磁界
を検出しておらず、第１センサＳ１がオフ信号を出力し
ていれば、第２センサＳ２が外部磁界を検出してオン信
号を出力してもホールド回路１３はオフ信号を出力す
る。そして、第２センサＳ２がオフからオンに変化する
前に第１センサＳ１がオン信号を出力していれば、その
変化の後にもホールド回路１３はオン信号を出力する。

【００２６】さらにホールド回路１３は、第２センサＳ
２がオンの状態のもとで第１センサＳ１からの出力信号
がオンからオフあるいはオフからオンに変化した場合に
は、第２センサＳ２がオフ状態に戻り、遅延時間Ｅが経
過した後に第１センサＳ１の変化後のオンオフ状態に対
応したオンオフ信号を出力する。

【００２７】前述した遅延時間Ｄ１とＤ２はほぼ同様の
時間に設定されており、遅延時間Ｅは前記遅延時間Ｄ
１、Ｄ２よりも長い時間に設定されている。商用電流の
周波数が５０または６０Ｈｚであることから、Ｅは１０
ｍｓｅｃよりも長い時間に設定されている。

【００２８】次に、第１および第２センサＳ１、Ｓ２の
オンオフに応じた出力回路１４へのホールド回路１３か
らの出力信号Ｆの変化について、図３〜図８を参照しつ
つ説明する。

【００２９】図３は外部磁界が影響を与えない状態のも
とで第１センサＳ１がオンオフした場合の出力信号Ｆの
オンオフを示す図であり、第１センサＳ１がピストン２
の永久磁石３の磁界を検出すると、それと同時にオフデ
ィレイ回路１１からの出力信号Ａ２はオフからオンに変
化し、次いで遅延時間Ｄ１が経過した後に、オンディレ
イ回路１０からの出力信号Ａ１がオフからオンに変化す
る。このようにして、時間差Ｄ１で第１センサＳ１から
オン信号がホールド回路１３に入力されると、ホールド
回路１３は出力回路１４に向けてオン信号を出力する。

【００３０】ピストン２が逆方向に駆動されて、第１セ
ンサＳ１が永久磁石３の磁界を検知しなくなると、オン
ディレイ回路１０からの出力信号Ａ１はオンからオフに
変化し、次いで遅延時間Ｄ２が経過した後にオフディレ
イ回路１１からの出力信号Ａ２がオンからオフに変化す
る。このようにして、時間差Ｄ２で第１センサＳ１から
のオン信号がホールド回路１３に入力されると、ホール
ド回路１３からは出力回路１４に向けてオフ信号を出力
する。

【００３１】図４は第１センサＳ１がオフとなっている
状態のもとで、外部ＤＣ磁界がシリンダに影響を与えた
場合を示す図であり、この場合には第１センサＳ１も作
動する程度の強い外部ＤＣ磁界が作用しているものとす
る。

【００３２】この場合には外部ＤＣ磁界の作用により、
両方のセンサＳ１、Ｓ２が同時にオンオフすることにな
り、第２センサＳ２のオンにより直ちにオフディレイ回
路１２からの出力信号Ｂがオフからオンに変化すると同
時に、第１センサＳ１のオンにより直ちにオフディレイ
回路１１からの出力信号Ａ２がオフからオンに変化す
る。しかし、その時点ではオンディレイ回路１０からの
出力信号Ａ１はオフのままであるので、ホールド回路１
３からの出力信号Ｆはオフのままを保持する。オフディ
レイ回路１２からの出力信号Ｂは、外部ＤＣ磁界が作用
しなくなってから、遅延時間Ｅが経過した後に、オンか
らオフに切り換わる。

【００３３】このように、両方の出力信号Ａ２、Ｂが同
時にオフからオンに切り換わった場合には、ホールド回
路１３からの出力信号Ｆはオフを保持する。

【００３４】図５は第１センサＳ１がオンとなっている
状態のもとで、外部ＤＣ磁界がシリンダに影響を与えた
場合を示す図であり、この場合も図４の場合と同様に、
強い外部磁界が作用したものとする。

【００３５】この場合には、外部磁界が作用してオフデ
ィレイ回路１２がオンに変化する以前は、オンディレイ
回路１０およびオフディレイ回路１１からの出力信号Ａ
１、Ａ２は何れもオンとなっており、外部磁界の作用に
よりオフディレイ回路１２からの出力信号Ｂがオフから
オンに変化しても、ホールド回路１３からの出力信号Ｆ
は外部磁界が作用する前の状態であるオン状態を保持す
る。つまり、出力信号Ａ２とＢが同時にオンしないの
で、出力信号Ｆはオンの状態を保持する。

【００３６】図６は外部ＤＣ磁界が作用している状態の
もとで、第１センサＳ１が永久磁石３の磁界を検出した
場合を示す図であり、この場合の外部ＤＣ磁界は第１セ
ンサＳ１に影響を与えない程度の磁力となっているもの
とする。

【００３７】この場合には外部磁界により第２センサＳ
２はオフからオンに変化するが、出力信号Ａ１、Ａ２は
オフとなっているので、ホールド回路１３からの出力信
号Ｆはオフの状態を保持する。このように外部磁界が作
用している状態のもとでは、第１センサＳ１が永久磁石
３の磁界を検出してオンディレイ回路１０とオフディレ
イ回路１１からの出力信号Ａ１、Ａ２がともにオンに変
化しても、ホールド回路１３からの出力信号Ｆはオフ状
態を保持する。

【００３８】ホールド回路１３からの出力信号Ｆがオン
に変化するのは、外部磁界の影響が解除されたことを第
２センサＳ２が検出し、第２センサＳ２の出力信号Ｂが
オフに変化した状態で第１センサＳ１からの出力信号Ａ
１、Ａ２がオンとなっている場合となる。

【００３９】図７は第１センサＳ１がオフとなっている
状態のもとで、外部ＡＣ磁界がシリンダに影響を与えた
場合を示す図であり、この場合の外部ＡＣ磁界は第１セ
ンサＳ１にも影響を与える程度の強さを有しているもの
とする。この外部ＡＣ磁界は５０HZの商用電流が流れる
電線ケーブルによって発生したものとし、影響を与える
程度の磁界の周期Ｈが１０msecとなっているものとす
る。

【００４０】この場合には両方のセンサＳ１、Ｓ２は外
部ＡＣ磁界の変化に対応してオンオフを繰り返すことに
なり、両方のオフディレイ回路１１、１２からの出力信
号Ａ２、Ｂは同時にオフからオンに変化する。そして、
オフディレイ回路１２における遅延時間Ｅは遅延時間Ｄ
１、Ｄ２よりも長くしかも周期Ｈよりも長い時間に設定
されているので、第２センサＳ２の出力がオンオフを繰
り返しても、オフディレイ回路１２の出力信号Ｂはオン
のままとなり、ホールド回路１３の出力信号Ｆはオフの
ままを保持することになる。

【００４１】図８は第１センサＳ１がオンとなっている
状態のもとで、外部ＡＣ磁界がシリンダに影響を与えた
場合を示す図であり、この場合の外部ＡＣ磁界も図７の
場合と同様の強さを有するものとする。

【００４２】この場合には、外部磁界が作用する以前に
第１センサＳ１がオンとなっており、オンディレイ回路
１０およびオフディレイ回路１１からの出力信号Ａ１、
Ａ２は何れも既にオンとなっている。外部ＡＣ磁界が周
期的に変化することにより、第２センサＳ２は外部磁界
に対応して周期的にオンオフを繰り返すが、出力信号Ｂ
と同時には出力信号Ａ２がオンしない。しかもオフディ
レイ回路１２の遅延時間Ｅは周期Ｈよりも長く設定され
ており、この出力信号Ｂが遅延時間Ｅを過ぎてオフにな
る前に、外部ＡＣ磁界を検出する第２センサＳ２がオフ
からオンに変化するので、図７の場合と同様に、オフデ
ィレイ回路１２からの出力信号Ｂはオンのままとなる。

【００４３】以上のように、ホールド回路１３は、オフ
ディレイ回路１２の出力信号Ｂがオフ（Ｈｉ）であるこ
とを前提として、第１センサＳ１に基づく出力信号Ａ１
のオン（Ｌｏ）に続いて出力信号Ａ２がオン（Ｈｉ）と
なれば、出力回路１４にオンの出力信号Ｆを出力する。
第１センサＳ１に基づく出力信号Ａ２が第２センサＳ２
に基づく出力信号Ｂと同時にオン（Ｌｏ）した場合に
は、ホールド回路１３は出力回路１４に対する出力信号
Ｆはオフとなる。第１センサＳ１に基づく出力信号Ａ
１、Ａ２がともにオンの状態のもとで、第２センサＳ２
に基づく出力信号Ｂがオンとなった場合には、ホールド
回路１３はオンの出力信号Ｆを出力し、出力信号Ａ１、
Ａ２がともにオフの状態のもとで、出力信号Ｂがオンと
なった場合には、ホールド回路１３はオフの出力信号Ｆ
を出力する。

【００４４】このような機能を有するホールド回路１３
は、上述した条件に合致した出力信号Ｆを出力するよう
に、公知のコンパレータを組み合わせることにより構成
することができる。

【００４５】図９（Ａ）は第１センサＳ１の詳細構造を
示し、図９（Ｂ）は第２センサＳ２の詳細構造を示す図
である。

【００４６】それぞれのセンサＳ１、Ｓ２は、磁気によ
って抵抗値が変化する公知のＭＲ素子を複数個組み合わ
せることにより形成されており、両方のセンサＳ１、Ｓ
２はセンサ基板５にそれぞれ同一面に位置させて取付け
られている。

【００４７】第１センサＳ１は２つのＭＲ素子２１、２
２と図示しないコンパレータとを有しており、２つのＭ
Ｒ素子２１、２２は相互に電気的に直列に接続され、こ
れらの中間の接続点からコンパレータに出力信号を送る
ようにしている。そして、それぞれのＭＲ素子２１、２
２は検知し得る磁界に対して方向性をもっており、作用
する磁界の方向が０°の方向のときにはプラス側に抵抗
値が変化し、９０°の方向のときにはマイナス側に変化
する。また、作用する磁界の方向によって抵抗値の変化
率が相違しており、各ＭＲ素子２１、２２に対して磁界
の方向が０°のときと９０°のときは変化する抵抗値の
絶対値がほぼ同一となる。

【００４８】永久磁石３により形成される磁界の方向は
予め定まっているので、第１センサＳ１を形成する２つ
のＭＲ素子２１、２２は、磁界に対する方向性を相互に
９０°の位相をもってセンサ基板５に取付けられてい
る。なお、図９において、それぞれのＭＲ素子２１、２
２の方向性はハッチングの方向により示されている。

【００４９】このように相互に９０°の位相で２つのＭ
Ｒ素子２１、２２を配置すると、両方のＭＲ素子に対し
て４５°の位相で磁界が作用すると、両方の素子に対し
て同等の磁界が加わるので、両方の素子は抵抗値が変化
しても変化量が同等となるために、中間点の電位は変化
しなくなる。

【００５０】そのために、磁界の方向が予測できない外
部磁界に対しては、センサ基板５に対して３６０°の方
向つまり全方向に対して、外部磁界を検出することがで
きるようにする必要がある。そこで、第２センサＳ２は
第１センサＳ１における２つのＭＲ素子２１、２２と同
様に配列された２つのＭＲ素子２３、２４に加えて、そ
れぞれに対して４５°の位相で２つのＭＲ素子２５、２
６をセンサ基板５に配置している。これら４つのＭＲ素
子２３〜２６によりブリッジ回路を形成するようにし、
中間点の電位をコンパレータに送り、第２センサＳ２を
構成するようにしている。

【００５１】このようにして、第２センサＳ２を構成す
ることにより、第１センサＳ１に影響を与えることにな
る方向の外部磁界が第１センサＳ１に作用した場合に
は、第１センサＳ１と同一面となって配置された第２セ
ンサＳ２は確実に外部磁界を検出することができる。第
２センサＳ２が検出することができないような方向に外
部磁界が作用しても、その方向の外部磁界は第２センサ
Ｓ２と同一面に配置された第１センサＳ１も検出するこ
とがないので、第１センサつまりピストン位置検出用の
センサＳ１が誤動作することはない。

【００５２】以上、本考案者によってなされた考案を実
施例に基づき具体的に説明したが、本考案は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００５３】たとえば、図示する場合は空気圧シリンダ
のピストンの位置を検出するために本考案を適用してい
るが、油圧シリンダに対しても本考案を適用することが
できる。

【００５４】

【考案の効果】本願において開示される考案のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００５５】(1).以上のように、本考案によれば、ピス
トン磁界検出手段からの検出信号をオンディレイ手段と
第１オフディレイ手段とを介して相互に時間差をもたせ
て出力するとともに、外部磁界検出手段からの検出信号
と前記検出信号とを時間差を持たせて出力するようにし
たので、ホールド回路を介して外部磁界によりピストン
磁界検出手段が作動したのであるかを検知して、ピスト
ン検出手段の誤動作を確実に防止することができる。

【００５６】(2).ピストン磁界検出手段の感度と外部磁
界検出手段の感度とに差を持たせることなく、同一感度
のものを使用して装置を構成することが可能となる。

【００５７】(3).また、磁気シールド材を使用する必要
がなく、装置の構造が簡単になる。

【００５８】(4).外部磁界としてはＡＣ磁界のみなら
ず、ＤＣ磁界をも検出してピストン磁界検出手段の誤検
出を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例のピストン位置検出装置が搭
載された空気圧シリンダを示す断面図である。

【図２】本考案のピストン位置検出装置の回路構成を示
すブロック図である。

【図３】外部磁界が作用しない場合における装置の作動
状態を示すタイムチャートである。

【図４】第１センサがオフの状態で外部ＤＣ磁界が作用
した場合における装置の作動状態を示すタイムチャート
である。

【図５】第１センサがオンの状態で外部ＤＣ磁界が作用
した場合における装置の作動状態を示すタイムチャート
である。

【図６】外部ＣＤ磁界が作用しているときに第１センサ
がオンオフした場合における装置の作動状態を示すタイ
ムチャートである。

【図７】第１センサがオフの状態で外部ＡＣ磁界が作用
した場合における装置の作動状態を示すタイムチャート
である。

【図８】第１センサがオンの状態で外部ＡＣ磁界が作用
した場合における装置の作動状態を示すタイムチャート
である。

【図９】（Ａ）は第１センサの構成を示す平面図であ
り、（Ｂ）は第２センサの構成を示す平面図である。

【符号の説明】

１ シリンダ ２ ピストン ３ 永久磁石（磁界発生部材） ４ ケーシング ５ センサ基板 ６ ケーブル Ｓ１ 第１センサ（ピストン磁界検出手段） Ｓ２ 第２センサ（外部磁界検出手段） １０ オンディレイ回路（オンディレイ手段） １１ オフディレイ回路（第１オフディレイ手段） １２ オフディレイ回路（第２オフディレイ手段） １３ ホールド回路 １４ 出力回路 ２１〜２６ ＭＲ素子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01B 7/00 - 7/34

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体圧シリンダ内に往復動自在に装着さ
   れたピストンに磁界発生部材を取付け、前記磁界発生部
   材の磁界を検出して前記ピストンの位置を検出する流体
   圧シリンダ用のピストン位置検出装置であって、 前記磁界発生部材の磁界を検出するピストン磁界検出手
   段と、 前記流体圧シリンダの外部から作用する外部磁界を検出
   する外部磁界検出手段と、 前記ピストン磁界検出手段がオフからオンに変化したと
   きには第１遅延時間の後にオン信号を出力しかつ前記ピ
   ストン磁界検出手段がオンからオフに変化したときには
   直ちにオフ信号を出力するオンディレイ手段と、 前記ピストン磁界検出手段がオンからオフに変化したと
   きには第２遅延時間の後にオフ信号を出力しかつ前記ピ
   ストン磁界検出手段がオフからオンに変化したときには
   直ちにオン信号を出力する第１オフディレイ手段と、 前記外部磁界検出手段がオンからオフに変化したときに
   は第３遅延時間の後にオフ信号を出力しかつ前記外部磁
   界検出手段がオフからオンに変化したときには直ちにオ
   ン信号を出力する第２オフディレイ手段と、 前記オンディレイ手段と前記第１オフディレイ手段と前
   記第２オフディレイ手段からの出力信号が入力され、前
   記外部磁界検出手段がオフの状態のもとで前記ピストン
   磁界検出手段がオンしたときにオン信号を出力しかつオ
   フしたときにオフ信号を出力する一方、前記外部磁界検
   出手段がオフからオンに変化したときにはその変化前の
   状態における前記ピストン磁界検出手段のオンオフに対
   応したオンオフ信号を出力し、さらに前記外部磁界検出
   手段がオンの状態のもとで前記ピストン磁界検出手段か
   らの出力信号が変化した場合には前記外部磁界検出手段
   がオフを出力した後に前記変化後の前記ピストン磁界検
   出手段のオンオフ状態に対応した出力信号を出力するホ
   ールド回路とを有し、 前記第３遅延時間を前記第１遅延時間および前記第２遅
   延時間よりも長い時間に設定したことを特徴とする 流体
   圧シリンダ用のピストン位置検出装置。