JP2592484B2 - Method of manufacturing magnetic head slider - Google Patents
Method of manufacturing magnetic head sliderInfo
- Publication number
- JP2592484B2 JP2592484B2 JP63038601A JP3860188A JP2592484B2 JP 2592484 B2 JP2592484 B2 JP 2592484B2 JP 63038601 A JP63038601 A JP 63038601A JP 3860188 A JP3860188 A JP 3860188A JP 2592484 B2 JP2592484 B2 JP 2592484B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- head slider
- magnetic
- oxide
- height
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ヘッドスライダの製造方法に係り、特
に磁気記録媒体との粘着を低減した磁気ヘッドのスライ
ダの製造方法に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head slider, and more particularly to a method of manufacturing a magnetic head slider with reduced adhesion to a magnetic recording medium.
近年、磁気記録媒体の記録密度の増大に伴い、磁気ヘ
ッドと磁気記録媒体との間隙が狭くなる方向にある。そ
のため、例えば、いわゆるコンタクト・スタート・スト
ップ型(以下CSS型と略す)、すなわち磁気ヘッドと磁
気記録媒体とが相対運動を停止しているときは両者が接
触し、相対運動中は磁気ヘッドが媒体から離れて浮上し
ている型においては、磁気ヘッドと磁気記録媒体との接
触や摺動による双方の損傷を軽減するため、磁気記録媒
体の表面には潤滑剤が塗布されているのが一般的であ
る。しかしながら、潤滑剤で塗布された磁気記録媒体と
磁気ヘッドの間では、両者が相対運動を行わずに接触し
ているときに互いに吸着する現象が生じ、そのため相対
運動を開示する際に磁気ヘッドが媒体から速やかに離れ
ることができないという問題が生じる。両者の粘着力が
大きい場合は、相対運動の開始を阻害するばかりでな
く、磁気ヘッドや媒体に損傷を与える。この粘着力は、
磁気ヘッドや媒体の面精度や潤滑剤の性質や量によって
も影響を受ける。In recent years, as the recording density of a magnetic recording medium has increased, the gap between a magnetic head and a magnetic recording medium has been decreasing. Therefore, for example, a so-called contact start / stop type (hereinafter abbreviated as CSS type), that is, when the magnetic head and the magnetic recording medium stop relative movement, they contact each other, and during relative movement, the magnetic head In the case of a type floating away from the magnetic recording medium, a lubricant is generally applied to the surface of the magnetic recording medium in order to reduce both damage caused by contact and sliding between the magnetic head and the magnetic recording medium. It is. However, between the magnetic recording medium coated with the lubricant and the magnetic head, a phenomenon occurs in which the magnetic recording medium and the magnetic head adhere to each other when they are in contact with each other without performing relative movement. A problem arises that the user cannot quickly leave the medium. If the adhesive strength between the two is large, not only does it hinder the start of relative movement, but also damages the magnetic head and the medium. This adhesive strength
It is also affected by the surface accuracy of the magnetic head and medium and the nature and amount of the lubricant.
前述のように記録密度の向上に伴って、磁気ヘッドと
媒体の空隙はより狭くなるため、磁気ヘッドや媒体の面
精度はより向上させる必要があるが、両者の面精度を上
げれば粘着力がより増大する傾向にある。As described above, as the recording density increases, the gap between the magnetic head and the medium becomes narrower. Therefore, it is necessary to further improve the surface accuracy of the magnetic head and the medium. It tends to increase.
この問題の解決のため、特開昭61−204384には、磁気
ヘッドスライダの端部を除いた浮上面をエッチングして
凹部を形成させることが記載されている。また、特開昭
56−107363には、磁気ヘッドスライダ面にスパッタ面は
蒸着により微小な突起を複数個設けることが記載されて
いる。To solve this problem, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-204384 describes that a concave portion is formed by etching the flying surface excluding the end of a magnetic head slider. In addition,
56-107363 describes that a plurality of minute projections are formed on a magnetic head slider surface by vapor deposition on a sputtering surface.
上記従来技術において、エッチングにより磁気ヘッド
スライダ浮上面に凹部を形成した場合は、潤滑剤がその
凹部に浸入すると、凹部を形成した効果が減少する。そ
のため凹部の大きさ、潤滑剤の種類や量を十分配慮して
定めても、長期間の使用中に環境の変化等により、潤滑
剤が凹部に侵入して凹部を形成した効果が失われるとい
う問題があった。In the above-described prior art, when a recess is formed on the air bearing surface of a magnetic head slider by etching, the effect of the formation of the recess decreases when the lubricant enters the recess. Therefore, even if the size of the concave portion and the type and amount of the lubricant are sufficiently determined, the effect of the lubricant entering the concave portion and forming the concave portion due to an environmental change during long-term use is lost. There was a problem.
また、磁気ヘッドスライダ浮上面にスパッタ又は蒸着
により微小突起を形成する場合は、浮上面と微小突起と
の境界面が必ずしも強度が十分でないということについ
て配慮されておらず、長期間の使用中に何らかの衝撃に
より微小突起が脱落し、磁気記録媒体面を損傷するとい
う問題があった。In the case of forming minute projections on the flying surface of the magnetic head slider by sputtering or vapor deposition, consideration is not given to the fact that the boundary surface between the flying surface and the minute projections is not necessarily strong enough, and during use for a long period of time. There has been a problem that the fine projections fall off due to some impact and damage the surface of the magnetic recording medium.
本発明の目的は、十分な強度を持ち、媒体との粘着性
を低減した磁気ヘッドスライダの製造方法を提供するこ
とにある。An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a magnetic head slider having sufficient strength and reduced adhesiveness to a medium.
上記目的は、遷移金属炭化物で、該遷移金属の酸化物
より体積が小さい遷移金属炭化物をセラミックスに0.5
〜30容量%混合して磁気ヘッドスライダを形成する工程
及び該磁気ヘッドスライダを酸化し、上記遷移金属炭化
物を酸化物とすることによって上記磁気ヘッドスライダ
の少なくともエアベアリング面に上記酸化物を突出さ
せ、高さ3nm以上、磁気ヘッドの浮上量の1/10以下の突
起を形成する工程を有することを特徴とする磁気ヘッド
スライダの製造方法によって達成される。The purpose of the present invention is to provide a transition metal carbide having a volume smaller than that of an oxide of the transition metal to a ceramic by 0.5%.
Forming a magnetic head slider by mixing up to 30% by volume, and oxidizing the magnetic head slider to convert the transition metal carbide into an oxide so that the oxide protrudes from at least the air bearing surface of the magnetic head slider. Forming a projection having a height of 3 nm or more and a height of 1/10 or less of the flying height of the magnetic head.
遷移金属炭化物としては、例えば炭化チタンや炭化ジ
ルコニウム等が好ましい。これらの化合物は酸化物の硬
度が優れるためである。As the transition metal carbide, for example, titanium carbide or zirconium carbide is preferable. This is because these compounds have excellent oxide hardness.
遷移金属炭化物は、0.5〜30容量%の範囲で含まれて
いることが好ましい。0.5容量%未満では効果が顕著で
なく、30容量%を越えると磁気ヘッドスライダとしての
材料の性質が多少変化するためである。The transition metal carbide is preferably contained in the range of 0.5 to 30% by volume. If the content is less than 0.5% by volume, the effect is not remarkable, and if the content exceeds 30% by volume, the properties of the material as the magnetic head slider slightly change.
酸化物の突起の高さは、3nm以上で、磁気ヘッドの浮
上高さの約1/10の高さ以下であることが好ましい。現
在、磁気ヘッドの浮上高さは約200nmであるので、この
ような磁気ヘッドを用いるときは酸化物の突起の高さは
3〜20nmの範囲が好ましいことになる。酸化物の突起の
高さが3nm未満では効果が顕著でない。The height of the oxide projection is preferably 3 nm or more and about 1/10 or less of the flying height of the magnetic head. At present, the flying height of the magnetic head is about 200 nm, so when such a magnetic head is used, the height of the oxide protrusion is preferably in the range of 3 to 20 nm. If the height of the oxide protrusion is less than 3 nm, the effect is not remarkable.
第6図は、後述する実施例1及び2で作成した磁気ヘ
ッドスライダを用いた磁気ヘッドの粘着力測定結果であ
る。粘着力の測定は、磁気ヘッドを80℃−60%RHの環境
下に荷重10gの条件で5時間磁気ディスクに接触させた
後移動させ得る最大荷重の値である。なお測定に用いた
磁気ディスクの面粗さは約1nmRaである。図に示したよ
うに、酸化物の突起の高さが3nm以上において粘着力低
減の効果が顕著に見られ、突起の低いものに比較して最
大1/3に粘着力が減少している。なお、突起高さが12〜1
4nmにおいて、粘着力低減の効果が飽和する傾向にある
が、磁気ディスクの潤滑剤塗布量が多い場合、突起高さ
が約20nm程度迄粘着力低減の効果が増加する。突起高さ
は例えば酸化条件を変えることにより制御できる。FIG. 6 shows the results of measuring the adhesive strength of a magnetic head using the magnetic head slider prepared in Examples 1 and 2 described later. The measurement of the adhesive force is the maximum load value that can be moved after the magnetic head is brought into contact with the magnetic disk for 5 hours under the condition of a load of 10 g in an environment of 80 ° C. and 60% RH. The surface roughness of the magnetic disk used for the measurement is about 1 nmRa. As shown in the figure, when the height of the oxide protrusion is 3 nm or more, the effect of reducing the adhesive force is remarkably observed, and the adhesive force is reduced to a maximum of 1/3 as compared with those having the low protrusion. The projection height is 12 to 1
At 4 nm, the effect of reducing the adhesive strength tends to saturate, but when the amount of lubricant applied to the magnetic disk is large, the effect of reducing the adhesive strength increases up to a protrusion height of about 20 nm. The projection height can be controlled, for example, by changing the oxidation conditions.
一例を挙げて本発明の作用を説明する。第1図に示す
ように、薄膜ヘッド型磁気ヘッドスライダ1は、回転し
ている磁気ディスク上に浮上してこれを支えるためのエ
アベアリング面2を有する。第2図は表面を平滑に加工
したエアベアリング面の部分拡大断面図である。その表
面にはマトリックに分散させた炭化チタンの一部が露出
している。磁気ヘッドスライダを酸化すると、第3図に
示すように、炭化チタンが酸化チタンに変質し、それに
よる体積膨張により酸化チタンがエアベアリング面より
突出する。酸化チタンは磁気ヘッドスライダ中に一部分
が埋め込まれているので強度に優れる。The operation of the present invention will be described by way of an example. As shown in FIG. 1, a thin film head type magnetic head slider 1 has an air bearing surface 2 for floating above and supporting the rotating magnetic disk. FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view of the air bearing surface whose surface has been smoothed. Part of the matrix dispersed titanium carbide is exposed on the surface. When the magnetic head slider is oxidized, as shown in FIG. 3, the titanium carbide changes into titanium oxide, and the volume expansion causes the titanium oxide to protrude from the air bearing surface. Since titanium oxide is partially embedded in the magnetic head slider, it has excellent strength.
以下、本発明を実施例を用いて説明する。 Hereinafter, the present invention will be described using examples.
実施例1 9モル%のY2O3を固溶したZrO2に5容量%のTiCを添
加して磁気ヘッドスライダを形成した。この磁気ヘッド
スライダを大気中で30分間加熱した。その結果を第4図
に示す。図に示したように加熱温度が300℃までは酸化
チタンへの変質はほとんど生ぜず、従って突出も生じて
いない。320℃近傍から突出量は顕著となり、400℃でほ
ぼ突出量を飽和する。Example 1 A magnetic head slider was formed by adding 5% by volume of TiC to ZrO 2 in which 9 mol% of Y 2 O 3 was dissolved. The magnetic head slider was heated in the atmosphere for 30 minutes. The result is shown in FIG. As shown in the figure, up to a heating temperature of 300 ° C., almost no alteration to titanium oxide occurs, and thus no protrusion occurs. The protruding amount becomes remarkable from around 320 ° C., and almost saturates at 400 ° C.
この磁気ヘッドスライダを用いた磁気ヘッドとし、第
6図の測定と同じ方法で粘着力を測定した。突出量(突
起の高さ)約3nm以上のものは、いずれも粘着力が突起
のないものより低減し、長時間作動させても磁気ヘッド
にも磁気ディスクにも損傷は認められなかった。またこ
のような磁気ヘッドスライダは安いコストで製造でき
た。Using this magnetic head slider as a magnetic head, the adhesive force was measured by the same method as the measurement in FIG. In the case of the protrusion amount (projection height) of about 3 nm or more, the adhesive strength was lower than that without the protrusion, and no damage was observed on the magnetic head or the magnetic disk even after long-time operation. Also, such a magnetic head slider could be manufactured at low cost.
実施例2 実施例1と同じ磁気ヘッドスライダを用い、下記の条
件でプラズマエッチングした。その結果を第5図に示
す。Example 2 Using the same magnetic head slider as in Example 1, plasma etching was performed under the following conditions. The results are shown in FIG.
プラズマ O2 流 量 18cc/分 ガス圧 4×10-3Torr 投入パワー 1.3KW 電 極 SiO2 この磁気ヘッドスライダを用いて磁気ヘッドとし、実
施例1と同様に粘着力を測定した。突出量が約3nm以上
のものはいずれも粘着力が突起のないものより低減し、
長時間作動させても磁気ヘッドにも磁気ディスクにも損
傷は認められなかった。また、このような磁気ヘッドス
ライダは安いコストで製造できた。Plasma O 2 flow rate 18 cc / min Gas pressure 4 × 10 −3 Torr Input power 1.3 kW Electrode SiO 2 Using this magnetic head slider as a magnetic head, the adhesion was measured in the same manner as in Example 1. For those with a protrusion amount of about 3 nm or more, the adhesive strength is lower than that without protrusions,
No damage was observed on the magnetic head or the magnetic disk even after a long operation. Also, such a magnetic head slider could be manufactured at low cost.
なお、炭化ジルコニウムを用いても、炭化チタンの場
合とほぼ同様の効果を得た。It should be noted that even when zirconium carbide was used, substantially the same effect as in the case of titanium carbide was obtained.
〔発明の効果〕 本発明によれば、安いコストで磁気記録媒体との粘着
力を低減した磁気ヘッドのスライダを製造することがで
きる。本発明の方法により製造した磁気ヘッドスライダ
の突起は極めて強固である。[Effects of the Invention] According to the present invention, it is possible to manufacture a slider of a magnetic head with reduced adhesion to a magnetic recording medium at low cost. The protrusion of the magnetic head slider manufactured by the method of the present invention is extremely strong.
第1図は、本発明の一実施例の磁気ヘッドスライダの斜
視図、第2図及び第3図は、第1図の磁気ヘッドスライ
ダのエアベアリング面の部分拡大断面図、第4図,第5
図及び第6図は本発明を説明するための図である。 1……磁気ヘッドスライダ 2……エアベアリング面 3……炭化チタン 4……酸化チタンFIG. 1 is a perspective view of a magnetic head slider according to an embodiment of the present invention. FIGS. 2 and 3 are partially enlarged sectional views of the air bearing surface of the magnetic head slider of FIG. 1, and FIGS. 5
FIG. 6 and FIG. 6 are diagrams for explaining the present invention. 1 ... magnetic head slider 2 ... air bearing surface 3 ... titanium carbide 4 ... titanium oxide
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 積田 則和 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (56)参考文献 特開 昭59−11527(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Norikazu Sumida 2880 Kozu, Odawara City, Kanagawa Prefecture Inside the Odawara Plant of Hitachi, Ltd. (56) References JP-A-59-11527 (JP, A)
Claims (1)
り体積が小さい遷移金属炭化物をセラミックスに0.5〜3
0容量%混合して磁気ヘッドスライダを形成する工程及
び該磁気ヘッドスライダを酸化し、上記遷移金属炭化物
を酸化物とすることによって上記磁気ヘッドスライダの
少なくともエアベアリング面に上記酸化物を突出させ、
高さ3nm以上、磁気ヘッドの浮上量の1/10以下の突起を
形成する工程を有することを特徴とする磁気ヘッドスラ
イダの製造方法。(1) A transition metal carbide having a volume smaller than that of an oxide of the transition metal is 0.5 to 3
0% by volume mixing to form a magnetic head slider and oxidizing the magnetic head slider to convert the transition metal carbide to an oxide so that the oxide protrudes at least on the air bearing surface of the magnetic head slider;
A method of manufacturing a magnetic head slider, comprising a step of forming a projection having a height of 3 nm or more and a flying height of a magnetic head of 1/10 or less.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63038601A JP2592484B2 (en) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | Method of manufacturing magnetic head slider |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63038601A JP2592484B2 (en) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | Method of manufacturing magnetic head slider |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01213820A JPH01213820A (en) | 1989-08-28 |
JP2592484B2 true JP2592484B2 (en) | 1997-03-19 |
Family
ID=12529793
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63038601A Expired - Lifetime JP2592484B2 (en) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | Method of manufacturing magnetic head slider |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2592484B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3466041B2 (en) | 1997-03-03 | 2003-11-10 | アルプス電気株式会社 | Magnetic head and method of manufacturing the same |
JP2000215430A (en) | 1999-01-26 | 2000-08-04 | Tdk Corp | Magnetic head and its production as well as magnetic disk device |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5911527A (en) * | 1982-07-09 | 1984-01-21 | Comput Basic Mach Technol Res Assoc | Thin film magnetic head and its manufacture |
-
1988
- 1988-02-23 JP JP63038601A patent/JP2592484B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01213820A (en) | 1989-08-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0312372B2 (en) | ||
US20020191344A1 (en) | Magnetic head slider and a magnetic disk device in which the slider is mounted | |
US5447796A (en) | Magnetic recording medium comprising a solid lubrication layer of fullerene carbon having an alkyl or allyl chain | |
JP2803651B2 (en) | Magnetic head slider and method of manufacturing the same | |
JP2592484B2 (en) | Method of manufacturing magnetic head slider | |
JP3219947B2 (en) | Floating magnetic head | |
JP3125127B2 (en) | Surface finishing method for floating magnetic head | |
JPH11185418A (en) | Floating type magnetic head | |
JP3348239B2 (en) | Magnetic head | |
JPH08147655A (en) | Magnetic head slider for contact recording and its manufacture | |
JPS61151827A (en) | Floating type magnetic head | |
JP3965257B2 (en) | Magnetic head slider and magnetic disk drive equipped with the same | |
JPS6117280A (en) | Magnetic head | |
JPS61250880A (en) | Floating type magnetic head | |
JPH10247367A (en) | Thin-film magnetic head and its production | |
JP2546383B2 (en) | Magnetic disk | |
JPH09212836A (en) | Magnetic head slider and its production | |
JPH0223517A (en) | Perpendicular magnetic recording medium | |
JP3022680B2 (en) | Magnetic disk medium and method of manufacturing the same | |
JPS615437A (en) | Manufacture of magnetic disk | |
JPH07296350A (en) | Floating magnetic head | |
JP3287063B2 (en) | Ceramic material for floating magnetic head and floating magnetic head using the same | |
JP2857136B2 (en) | Magnetic recording medium and method of manufacturing the same | |
JPH09265618A (en) | Floating type magnetic head and surface finishing method of floating type magnetic head | |
JPH0388189A (en) | Magnetic disk device |