JP2590733Y2 - Film thickness measuring device - Google Patents

Film thickness measuring device

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JP2590733Y2
JP2590733Y2 JP1993042827U JP4282793U JP2590733Y2 JP 2590733 Y2 JP2590733 Y2 JP 2590733Y2 JP 1993042827 U JP1993042827 U JP 1993042827U JP 4282793 U JP4282793 U JP 4282793U JP 2590733 Y2 JP2590733 Y2 JP 2590733Y2
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movable case
metal tube
sensor
movable
coil spring
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保広 大橋
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Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本考案は金属管表面に付着した酸
化膜、等の被膜の厚さを計測する被膜厚さ測定装置に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for measuring the thickness of a coating such as an oxide film adhered to the surface of a metal tube.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、金属管表面の酸化膜等の厚さを測
定するには金属管を測定用に支持し、観察するための装
置は開発されておらず、そのため、金属管をそのままの
状態で測定することはできず、従来は金属管を輪切りに
し、顕微鏡観察することにより膜厚を測定していた。
又、接触式センサで測定する場合にも、特別に管を測定
できるように支持するような装置もなく、金属管が曲が
っていたり、変化していると、センサを管表面に接触
し、測定するのにかなりの時間を要していた。
2. Description of the Related Art Conventionally, no apparatus has been developed for measuring and measuring the thickness of an oxide film or the like on the surface of a metal tube by supporting the metal tube for measurement and observing the metal tube. It is not possible to measure in a state, and conventionally, the metal tube was cut into slices and the film thickness was measured by microscopic observation.
Also, when measuring with a contact type sensor, there is no special support for measuring the pipe, and if the metal pipe is bent or changed, the sensor contacts the pipe surface and the measurement is performed. It took a lot of time to do that.

【0003】[0003]

【考案が解決しようとする課題】前述のように従来、管
表面の酸化膜、等の厚さを測定するには、かなりの時間
を必要とし、又、管そのものを破壊して測定しており、
破壊した管は再使用が不可能であった。又、接触式セン
サで管を破壊せず厚さを測定する場合でも前述のように
管が曲がっていたり、変形している場合には測定に工夫
を要し、かなりの時間と労力が必要であった。
[Problems to be Solved by the Invention] As described above, conventionally, it takes a considerable amount of time to measure the thickness of an oxide film or the like on the surface of a tube, and the measurement is performed by destroying the tube itself. ,
The broken tube could not be reused. Also, even if the thickness is measured without destroying the tube with a contact-type sensor, if the tube is bent or deformed as described above, the measurement needs to be devised, requiring considerable time and labor. there were.

【0004】本考案は、このような課題に対処するため
に、金属管表面の酸化等による被膜の厚さを接触式セン
サを用いて管を破壊せずに測定するものとして、金属管
が直線状のもののみならず、曲ったり、変形したりする
管にも容易にセンサが追従できるような測定装置を実現
することを目的としてなされたものである。
In order to solve such a problem, the present invention measures the thickness of a coating caused by oxidation or the like of the surface of a metal tube using a contact type sensor without breaking the tube. It is an object of the present invention to realize a measuring device in which a sensor can easily follow a tube which is bent or deformed as well as a tube.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本考案ではハウジング内部に可動ケースをコイルば
ねで浮動支持し、可動ケースの上下に配置した一組の固
定及び可動ガイドローラの間に金属管を挿入して金属管
が曲っても常にこれらガイドローラと接触し保持される
様に構成する。上下のガイドローラの間には被膜厚さ計
測用センサを収納したセンサ取付金具とこの金具を保持
するセンサガイドを設けてセンサが軸方向に移動可能と
し、センサ先端が常に金属管と接触する様に配置する。
更に、上下方向に関しては、可動ケースの上下に押え
板、スペーサ及びスペーサに設けた小孔に入れた鋼球を
介してコイルばねで支持して可動ケースを移動可能に構
成して金属管にわん曲があっても可動ケースが追従し、
金属管の被膜の厚さを安定かつ確実に測定できるように
したものである。
In order to solve the above-mentioned problems, in the present invention, a movable case is floated and supported by a coil spring inside a housing, and a pair of fixed and movable guide rollers arranged above and below the movable case is provided. Even if the metal tube is bent by inserting the metal tube, the guide roller is always in contact with and held by these guide rollers. Between the upper and lower guide rollers, a sensor mounting bracket containing a sensor for measuring film thickness and a sensor guide holding this bracket are provided so that the sensor can move in the axial direction and the sensor tip always contacts the metal tube. To place.
Further, in the vertical direction, the movable case is supported by a coil spring via a holding plate, a spacer, and a steel ball inserted in a small hole provided in the spacer on the upper and lower sides of the movable case, and the movable case is configured to be movable, and the metal tube is moved. Even if there is a song, the movable case follows,
This enables stable and reliable measurement of the thickness of the coating on the metal tube.

【0006】即ち、本考案は、金属管を上下に挿通して
同金属管表面の酸化膜等の被膜検査を行うためのハウジ
ングの内部に設けられ、一方の側面に開放部を有する箱
状の可動ケースと、同可動ケースの各側面を前記ハウジ
ング内へ支持する側面用コイルばねと、同可動ケースの
上面及び下面を押え板、スペーサ及び鋼球とを介して前
記ハウジング内へ支持する上下用コイルばねと、前記可
動ケース内上下に夫々配設され、前記金属管を挟んで支
持するための一組の固定及び可動ガイドローラと、該各
上下の可動ガイドローラを同固定ガイドローラ側に引き
寄せて前記金属管を挟むための引張りコイルばねと、前
記上下のガイドローラの間で前記可動ケースの開放部に
スライドブッシュを介して取付けられ、被膜の厚さ計測
用センサを前記金属管表面に接するように収納するセン
サ取付金具と、前記可動ケースに固定したばね支持棒
と、一端を前記センサ取付金具に接続してこれを保持
し、他端を前記ばね支持棒にコイルばねを介して接続し
たセンサガイドと、前記可動ケース側面の開口部分に設
けた同センサガイドの廻り止め用ストッパとを具備して
なることを特徴とする被膜厚さ測定装置を提供するもの
である。
That is, the present invention provides a box-like shape which is provided inside a housing for inserting a metal tube up and down to inspect a film such as an oxide film on the surface of the metal tube, and having an open portion on one side surface. A movable case, a side surface coil spring for supporting each side surface of the movable case in the housing, and a vertical coil spring for supporting the upper and lower surfaces of the movable case in the housing via a holding plate, a spacer and a steel ball. A coil spring, a pair of fixed and movable guide rollers disposed respectively above and below the movable case for holding the metal tube therebetween, and pulling the upper and lower movable guide rollers toward the fixed guide roller side A tension coil spring for sandwiching the metal tube, and a slide bush between the upper and lower guide rollers at an open portion of the movable case. A sensor mounting bracket housed so as to be in contact with the tube surface, a spring support bar fixed to the movable case, and one end connected to and held by the sensor mounting bracket, and a coil spring attached to the other end of the spring support bar. And a stopper for stopping the rotation of the sensor guide provided at an opening of the side surface of the movable case.

【0007】[0007]

【作用】本考案は前述の様に構成されているため、測定
のためハウジング内に金属管が挿通され、可動ケースが
ハウジングに対し、側面用及び上下用のコイルばねで浮
動支持されており、且つ上下の固定及び可動ガイドロー
ラが常に金属管と接触しているため金属管が軸方向に変
形しても可動ケースがこの変化に追従し、被膜の厚さを
測定するセンサも常に追従出来る。
Since the present invention is constructed as described above, a metal tube is inserted into the housing for measurement, and the movable case is floatingly supported by the housing with side and vertical coil springs. In addition, since the upper and lower fixed and movable guide rollers are always in contact with the metal tube, even if the metal tube is deformed in the axial direction, the movable case can follow this change, and the sensor for measuring the thickness of the coating can always follow.

【0008】又、可動ケース内に移動可能に取付けられ
ているセンサガイドにセンサ取付金具が連結しており、
このセンサ取付金具に挿入されている被膜の厚さ測定用
センサはセンサガイドと共に常に管の移動、変化に追従
し、管表面にセンサを接触せしめるので安定、かつ確実
に管の被膜の厚さの測定ができる。
Further, a sensor mounting bracket is connected to a sensor guide movably mounted in the movable case,
The sensor for measuring the thickness of the coating inserted into this sensor mounting bracket always follows the movement and change of the pipe together with the sensor guide, and makes the sensor contact the pipe surface, so that the thickness of the coating of the pipe is stable and sure. Can measure.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本考案の実施例を図面に基づいて具体
的に説明する。図1は本考案の一実施例に係る被膜厚さ
測定装置の断面図、図2は図1のP−P断面図、図3は
図1のQ−Q断面図、図4は図1のR−R断面図であ
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings. 1 is a sectional view of a film thickness measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line PP of FIG. 1, FIG. 3 is a sectional view taken along line QQ of FIG. 1, and FIG. It is RR sectional drawing.

【0010】図1において、本考案の被膜厚さ測定装置
は、ハウジング1内に可動ケース2の側面を支持するコ
イルばね3,4で両側面で保持し(コイルばね4は図3
参照)、上下方向は押え板5、スペーサ6及び同スペー
サ6に設けた小孔6aに入れた鋼球7を介して上下用の
コイルばね8によって保持している。ハウジング1の上
部には金属等の管9用の挿入ガイド10が設けられてお
り、スペーサ6と挿入ガイド10は摩擦を小さくするた
め合成樹脂(例えばテフロン)製とする。
In FIG. 1, the film thickness measuring apparatus of the present invention is held on both sides by coil springs 3 and 4 supporting the side surface of a movable case 2 in a housing 1 (the coil spring 4 is shown in FIG. 3).
The upper and lower directions are held by a coil spring 8 for up and down through a holding plate 5, a spacer 6, and a steel ball 7 inserted into a small hole 6a provided in the spacer 6. An insertion guide 10 for a pipe 9 made of metal or the like is provided at an upper portion of the housing 1. The spacer 6 and the insertion guide 10 are made of a synthetic resin (for example, Teflon) to reduce friction.

【0011】可動ケース2は箱状で左端にはセンサ取付
金具13の取付用開放部があり、内部には上下に1組づ
つ固定及び可動ガイドローラ11及び12が左右に設け
られ、これら2組のガイドローラ間で、可動ケース2の
開放部にはセンサ取付金具13がスライドブッシュ14
を介して摺動可能に取付けられている。センサ取付金具
13の先端は管9が通過し易い様に曲面に加工してあ
る。センサ取付金具13内には管9の被膜の厚さを測定
する接触式センサ15が挿入されている。センサ15の
先端は管9と接触するように上述の曲面と同一面になる
様に取付けられている。センサ取付金具13はナット1
6によりセンサガイド17の左端に取付けられ、センサ
ガイド17の右端は可動ケース2に固定されたばね支持
棒18にコイルばね19によって弾性支持されている。
The movable case 2 is box-shaped and has an opening for mounting a sensor mounting bracket 13 on the left end. Inside the movable case 2, fixed and movable guide rollers 11 and 12 are provided on the left and right, respectively, and these two sets are provided. Between the guide rollers, the sensor mounting bracket 13 is provided at the open portion of the movable case 2 with a slide bush 14.
Is slidably mounted via the. The tip of the sensor mounting bracket 13 is formed into a curved surface so that the pipe 9 can easily pass through. A contact sensor 15 for measuring the thickness of the coating of the tube 9 is inserted into the sensor mounting bracket 13. The tip of the sensor 15 is mounted so as to be in contact with the pipe 9 so as to be flush with the above-mentioned curved surface. Sensor mounting bracket 13 is nut 1
6, the sensor guide 17 is attached to the left end of the sensor guide 17, and the right end of the sensor guide 17 is elastically supported by a coil spring 19 on a spring support rod 18 fixed to the movable case 2.

【0012】図2は、図1のP−P断面図であり、可動
ケース2の側面開口部分20にはストッパ21が取付け
られており、センサガイド17がセンサ取付金具13の
中心線廻りに回転しない様にしている。センサ取付金具
13はスライドブッシュ14により保持され、センサの
挿入する軸方向には自由に移動可能で、センサガイド1
7はコイルばね19により常に右方に引張られているた
め、センサ取付金具13に挿入されているセンサ15の
先端は常に管9と接触している。
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line PP of FIG. 1. A stopper 21 is attached to the side opening 20 of the movable case 2, and the sensor guide 17 rotates around the center line of the sensor mounting bracket 13. I try not to. The sensor mounting bracket 13 is held by a slide bush 14 and is freely movable in the axial direction in which the sensor is inserted.
Since the coil 7 is always pulled to the right by the coil spring 19, the tip of the sensor 15 inserted into the sensor mounting bracket 13 is always in contact with the tube 9.

【0013】図3は図1のQ−Q断面図であり、前述の
様に可動ケース2は各側面を各々4個のコイルばね3、
及び4で支持されていて、通常は中立位置に保持されて
いる。なお、このコイルばね3,4は本実施例では各々
4個で支持しているが、この数に限定するものではな
く、可動ケース2が安定に保持されれば良くこれよりも
多くても良いものである。
FIG. 3 is a sectional view taken along line Q--Q of FIG. 1. As described above, the movable case 2 has four coil springs 3 on each side surface.
And 4 and is normally held in a neutral position. In this embodiment, each of the coil springs 3 and 4 is supported by four pieces. However, the number is not limited to this number, and may be larger as long as the movable case 2 is stably held. Things.

【0014】固定ガイドローラ11は管9を挟む様にV
型形状のローラになっていて、可動ケース2に固定され
た軸22にベアリング23を介して支持されている。可
動ガイドローラ12は可動軸24にベアリング23を介
して支持され、そのローラ面は平滑になっている。この
可動軸24はばね金具25に取付けられた引張りコイル
ばね26により常に固定ガイドローラ11側に引寄せら
れている。又、可動軸24は可動ケース2の側面に設け
た長円孔27内に摺動自在に支持されている。
The fixed guide roller 11 has a V
The roller is a mold-shaped roller and is supported via a bearing 23 on a shaft 22 fixed to the movable case 2. The movable guide roller 12 is supported by a movable shaft 24 via a bearing 23, and has a smooth roller surface. The movable shaft 24 is always drawn toward the fixed guide roller 11 by a tension coil spring 26 attached to a spring fitting 25. The movable shaft 24 is slidably supported in an oblong hole 27 provided on the side surface of the movable case 2.

【0015】図4は図1のR−R断面図であり、鋼球7
はスペーサ6に設けた小孔に入れてあり、スペーサ6の
厚さは鋼球7の直径より僅か小さくしてあるため、押え
板5とハウジング1の内面とはコイルばね8で押されて
鋼球7で接触しており可動ケース2は上下端の側面で鋼
球7で円滑に摺動出来る。
FIG. 4 is a sectional view taken along line RR of FIG.
Is placed in a small hole provided in the spacer 6, and the thickness of the spacer 6 is slightly smaller than the diameter of the steel ball 7, so that the pressing plate 5 and the inner surface of the housing 1 are pressed by the coil spring 8 to The movable case 2 can be smoothly slid by the steel balls 7 on the upper and lower side surfaces.

【0016】なお、上記に説明の実施例において、可動
ケース2の形状は箱形のケースとして説明したが、図1
乃至図4に示す形状に限定されるものではなく、ハウジ
ング1内でコイルばねで支持され浮動支持が可能で、セ
ンサガイド17、センサ取付金具13等が取付けられる
ような構造であれば良いものである。
In the embodiment described above, the movable case 2 has been described as a box-shaped case.
The shape is not limited to the shape shown in FIG. 4, but may be any structure as long as it is supported by a coil spring in the housing 1 and can be floatingly supported, and the sensor guide 17, the sensor mounting bracket 13 and the like can be mounted. is there.

【0017】以上説明の実施例によれば、管9は常に可
動ケース2に支持された一組の上下固定ガイドローラ1
1及び可動ガイドローラ12により保持され、可動ケー
ス2はハウジング1に対して上下方向では押え板5、ス
ペーサ6、鋼球7を介してコイルばね8で、水平方向で
はコイルばね3,4により弾性支持されており、更に、
センサガイド17にコイルばね19を介して取付けられ
たセンサ取付金具13に挿入されたセンサ15の先端
は、管9が湾曲したり、変形していても常に管9の変形
に追従して可動ケース2と共に移動するので、管9に接
触することになり、管9の被膜の厚さが安定かつ、確実
に測定でき、測定作業が容易となり、測定時間も大幅に
短縮できるものである。
According to the embodiment described above, the pipe 9 is always a set of the upper and lower fixed guide rollers 1 supported by the movable case 2.
The movable case 2 is held by the coil spring 8 in the vertical direction via the holding plate 5, the spacer 6 and the steel ball 7 with respect to the housing 1, and is elastically moved in the horizontal direction by the coil springs 3, 4. Supported, and
The tip of the sensor 15 inserted into the sensor mounting bracket 13 attached to the sensor guide 17 via the coil spring 19 always moves following the deformation of the tube 9 even if the tube 9 is curved or deformed. Since it moves together with the tube 2, it comes into contact with the tube 9, so that the thickness of the coating on the tube 9 can be measured stably and reliably, the measuring operation becomes easy, and the measuring time can be greatly reduced.

【0018】[0018]

【考案の効果】以上、具体的に説明したように、本考案
の被膜厚さ測定装置によれば、表面の被膜の厚さを測定
する管は可動ケースの上下に設けられた固定ガイドロー
ラと可動ガイドローラとにより常に保持され、可動ケー
スはハウジングに対し、上下、及び4側面共コイルばね
により浮動支持されると共に測定用センサはセンサ取付
金具、これに接続するセンサガイドと共に軸方向に移動
可能であるため、管に湾曲があっても可動ケースが追従
して移動出来るので可動ケースに設けたセンサは常に管
と接触する構造になっており、被膜の厚さ計測が安定且
つ確実に実施出来る。又、測定作業が管の形状にとらわ
れることなく容易にできるようになり、測定時間が短縮
されたものである。
As specifically described above, according to the coating thickness measuring apparatus of the present invention, the pipe for measuring the thickness of the coating on the surface is composed of the fixed guide rollers provided above and below the movable case. The movable case is always held by the movable guide roller, and the movable case is floatingly supported by the coil spring on the upper, lower, and four sides with respect to the housing, and the sensor for measurement can move in the axial direction together with the sensor mounting bracket and the sensor guide connected to it Therefore, even if the tube has a curve, the movable case can follow and move, so the sensor provided on the movable case is always in contact with the tube, and the thickness measurement of the coating can be performed stably and reliably. . In addition, the measuring operation can be easily performed without depending on the shape of the tube, and the measuring time is shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本考案の一実施例に係る被膜厚さ測定装置の断
面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a film thickness measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1のP−P断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line PP of FIG. 1;

【図3】図1のQ−Q断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line QQ of FIG. 1;

【図4】図1のR−R断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line RR of FIG. 1;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ハウジング 2 可動ケース 3 コイルばね 4 コイルばね 5 押え板 6 スペーサ 7 鋼球 8 コイルばね 9 管 11 固定ガイドローラ 12 可動ガイドローラ 13 センサ取付金具 14 スライドブッシュ 15 センサ 17 センサガイド 18 ばね支持棒 19 コイルばね 24 可動軸 Reference Signs List 1 housing 2 movable case 3 coil spring 4 coil spring 5 holding plate 6 spacer 7 steel ball 8 coil spring 9 tube 11 fixed guide roller 12 movable guide roller 13 sensor mounting bracket 14 slide bush 15 sensor 17 sensor guide 18 spring support rod 19 coil Spring 24 movable shaft

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−8511(JP,A) 特開 平3−84693(JP,A) 特開 平4−65621(JP,A) 特開 昭59−57109(JP,A) 特開 昭52−87092(JP,A) 実開 平4−96004(JP,U) 実公 昭61−1490(JP,Y1) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 21/00 G01B 21/08Continuation of front page (56) References JP-A-63-8511 (JP, A) JP-A-3-84693 (JP, A) JP-A-4-65621 (JP, A) JP-A-59-57109 (JP) JP-A-52-87092 (JP, A) JP-A-4-96004 (JP, U) JP-A-61-1490 (JP, Y1) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB G01B 21/00 G01B 21/08

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項1】 金属管を上下に挿通して同金属管表面の
酸化膜等の被膜検査を行うためのハウジングの内部に設
けられ、一方の側面に開放部を有する箱状の可動ケース
と、同可動ケースの各側面を前記ハウジング内へ支持す
る側面用コイルばねと、前記可動ケースの上面及び下面
を押え板、スペーサ及び鋼球とを介して前記ハウジング
内へ支持する上下用コイルばねと、前記可動ケース内上
下に夫々配設され、前記金属管を挟んで支持するための
一組の固定及び可動ガイドローラと、該各上下の可動ガ
イドローラを同固定ガイドローラ側に引き寄せて前記金
属管を挟むための引張りコイルばねと、前記上下のガイ
ドローラの間で前記可動ケースの開放部にスライドブッ
シュを介して取付けられ、被膜の厚さ計測用センサを前
記金属管表面に接するように収納するセンサ取付金具
と、前記可動ケースに固定したばね支持棒と、一端を前
記センサ取付金具に接続してこれを保持し、他端を前記
ばね支持棒にコイルばねを介して接続したセンサガイド
と、前記可動ケース側面の開口部分に設けた同センサガ
イドの廻り止め用ストッパとを具備してなることを特徴
とする被膜厚さ測定装置。
1. A box-shaped movable case provided inside a housing for vertically penetrating a metal tube to inspect a film such as an oxide film on the surface of the metal tube, and having an open portion on one side surface; A side surface coil spring that supports each side surface of the movable case into the housing, and a vertical coil spring that supports the upper surface and the lower surface of the movable case into the housing via a holding plate, a spacer, and a steel ball, A set of fixed and movable guide rollers respectively disposed above and below the movable case for supporting the metal tube with the metal tube interposed therebetween; and pulling the upper and lower movable guide rollers toward the fixed guide roller side to form the metal tube. Between the tension coil spring for sandwiching and the upper and lower guide rollers via a slide bush at an open portion of the movable case, and contacting a film thickness measuring sensor with the surface of the metal tube. Mounting bracket, a spring support bar fixed to the movable case, and one end connected to and holding the sensor mounting bracket, and the other end connected to the spring support bar via a coil spring. And a stopper for preventing rotation of the sensor guide provided at an opening of the side surface of the movable case.
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