JP2585007B2 - Electrical component measuring device - Google Patents
Electrical component measuring deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明はバイアス電圧(あるいは電流)を印加して、
電気部品の特性を高速で測定する電気部品測定装置に関
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention applies a bias voltage (or current),
The present invention relates to an electric component measuring device for measuring characteristics of electric components at high speed.
電気部品に直流バイアスを印加して交流インピーダン
スを測定する、などのように、信号源と測定部と逐次設
定して測定を行うことがしばしば行われる。Measurement is often performed by sequentially setting a signal source and a measurement unit, such as applying a DC bias to an electric component to measure an AC impedance.
それらの一例として以下に電圧可変容量ダイオード
(以下バリキャップと称す)測定を例に説明するが、よ
り多数の信号源や測定点をもつものについても同様の考
え方が適用される。As an example of them, a measurement of a voltage variable capacitance diode (hereinafter referred to as a varicap) will be described as an example, but the same concept is applied to a device having a larger number of signal sources and measurement points.
バリキャップの容量を印加電圧の関数として求めるC
−V特性測定の基本動作は、次のようであった。(イ)
直流バイアス値の設定、(ロ)直流バイアス電圧の整
定、(ハ)容量測定レンジの設定、(ニ)ブリッジ部の
平衡、(ホ)ブリッジ部出力のアナログ/デジタル変
換、(ヘ)該デジタル値のデジタル演算およびその結果
としての測定値出力を順次くり返す。これらの各処理は
直列的に実行されるから、1つの直流バイアスに対する
容量値の測定に要する時間は、前記(イ)〜(ヘ)の各
処理に必要な時間の和であった。Find the capacitance of the varicap as a function of applied voltage C
The basic operation of the −V characteristic measurement was as follows. (I)
DC bias value setting, (B) DC bias voltage setting, (C) Capacity measurement range setting, (D) Bridge section balance, (E) Bridge section output analog / digital conversion, (F) Digital value , And the resulting measured value output is sequentially repeated. Since each of these processes is executed in series, the time required for measuring the capacitance value for one DC bias is the sum of the time required for each of the processes (a) to (f).
ところが近年、測定システムがマイクロプロセッサで
制御され、かつその性能の向上に伴い、マルチタスキン
グや並列制御機能が用いられるようになったため、前記
(イ)〜(ヘ)のいくつかの処理を並列処理することに
より、測定時間の短縮を達成することができるようにな
った。However, in recent years, the measurement system has been controlled by a microprocessor, and with the improvement of its performance, multitasking and parallel control functions have come to be used. By processing, the measurement time can be shortened.
たとえば、横河・ヒューレット・パッカード株式会社
発行のアプリケーションノート321“4277ALCZメータオ
プションH03/H04バリキャップダイオード高速選別への
応用”に詳述される測定システムでは、第4図に示すよ
うに、前記(ヘ)の処理時間内に、並行して前記
(イ),(ロ),(ニ)の処理を行っている。第4図の
例は、直流バイアスを順次掃引して、それに対するバリ
キャップの容量値を測定してゆく多点測定において効果
を発揮する。For example, in the measurement system described in detail in Application Note 321 “4277ALCZ Meter Option H03 / H04 Application to Varicap Diode High-speed Sorting” issued by Yokogawa-Hewlett-Packard Co., Ltd., as shown in FIG. The processes (a), (b), and (d) are performed in parallel within the processing time of (f). The example of FIG. 4 is effective in a multi-point measurement in which the DC bias is sequentially swept and the capacitance value of the varicap corresponding thereto is measured.
前記従来例においては、(ハ)の処理を並行させてい
ないため、測定容量レンジを切り換える必要がある場合
は、容量レンジ変更後(ハ)の処理からやり直す必要が
あった。In the above conventional example, since the processing of (c) is not performed in parallel, if it is necessary to switch the measurement capacity range, it is necessary to start over from the processing of (c) after changing the capacity range.
従って、高速測定をおこなう必要があると、使用者は
直流バイアス掃引中の最大容量に合わせて測定レンジを
選択して、一連の多点測定中レンジ切り換えが行われな
いようにしていた。Therefore, when it is necessary to perform high-speed measurement, the user selects a measurement range according to the maximum capacity during the DC bias sweep so that the range is not switched during a series of multi-point measurements.
このようにすると、バリキャップの容量が小さいとき
(即ち印加逆電圧が大きいとき)は、容量の測定精度が
劣化してしまっていた。In this case, when the capacitance of the varicap is small (that is, when the applied reverse voltage is large), the measurement accuracy of the capacitance is degraded.
従って本発明の目的は、高速測定でも精度劣化の少い
電気部品測定装置を提供することである。Accordingly, it is an object of the present invention to provide an electric component measuring apparatus with less deterioration in accuracy even at high speed measurement.
本発明の一実施例では、測定装置は典型的なマイクロ
プロセッサ制御装置であり、信号源や測定部の設定は、
それらに付属するレジスタに対応するデータを入力する
ことによっておこなわれる。また、測定装置の構成は横
河・ヒューレット・パッカード株式会社より市販されて
いる測定器HP4278AやHP4277A等と同一の原理に基き、前
述の設定の方法とともに当業者に周知であるから、説明
を省略する。In one embodiment of the present invention, the measurement device is a typical microprocessor controller, and the settings of the signal source and the measurement unit are:
This is performed by inputting data corresponding to registers attached to them. The configuration of the measuring device is based on the same principle as the measuring device HP4278A or HP4277A commercially available from Yokogawa Hewlett-Packard Co., Ltd. I do.
また、本発明では、被測定バリキャップの特性があら
かじめ予測できることを有効に活用する。バリキャップ
の製造ライン等でおこなわれる測定のように、同一仕様
のバリキャップを多量に連続して測定する場合は、直流
バイアスから一定の許容差をみこんで測定レンジの設定
をおこなえば、精度の高い測定をおこなうことができ
る。In the present invention, the fact that the characteristics of the measured varicap can be predicted in advance is effectively used. When measuring a large number of varicaps of the same specification continuously, as in the measurement performed on a varicap production line, etc., setting the measurement range within a certain tolerance from the DC bias will improve the accuracy. High measurement can be performed.
第1図は本発明の一実施例のブロック図、第2図は第
1図の実施例のタイミング図である。第1図において、
被測定バリキャップ1は測定用交流電源2、および交流
阻止装置4を介して直流バイアス源3により付勢されブ
リッジ回路5により、バリキャップ1の印加交流電圧、
電流に対応した出力を発生する。その出力はA/D変換器
(アナログ/デジタル変換器)6によってデジタル値に
変換される。FIG. 1 is a block diagram of one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a timing chart of the embodiment of FIG. In FIG.
The varicap 1 to be measured is energized by a DC bias source 3 via an AC power supply 2 for measurement and an AC blocking device 4, and a bridge circuit 5 applies an AC voltage applied to the varicap 1,
Generates an output corresponding to the current. The output is converted to a digital value by an A / D converter (analog / digital converter) 6.
該デジタル値は演算装置7で処理されて容量値が求め
られる。The digital value is processed by the arithmetic unit 7 to obtain a capacitance value.
これらの装置は、マイクロプロセッサ10、メモリ11に
よりバス12を介して制御される。また、外部よりのデジ
タル信号はインターフェース13を介して入力される。These devices are controlled by a microprocessor 10 and a memory 11 via a bus 12. Further, an external digital signal is input via the interface 13.
第2図から明らかなように、測定レンジ設定も直流バ
イアス設定と並行して、前の測定のデジタル演算と出力
処理中に行われる。図中のN,N+1はN回目及びそれに
つづくN+1回目の測定に属することを示す。このよう
に時間的に並行して行われる測定レンズ設定と直流バイ
アス設定は、デジタル演算処理時間に匹敵する時間内に
これら設定とブリッジ平衡が行われることを意図するも
のである。従って、これらの処理が時間的に同時である
とか、オーバラップすることが必須条件ではない。As is apparent from FIG. 2, the measurement range setting is also performed in parallel with the DC bias setting during the digital calculation and output processing of the previous measurement. N and N + 1 in the figure indicate that the measurement belongs to the N-th measurement and the N + 1-th measurement. The measurement lens setting and the DC bias setting performed in parallel in time in this way are intended to perform the bridge equilibrium with these settings within a time equivalent to the digital processing time. Therefore, it is not essential that these processes be simultaneously performed in time or overlap.
第3図はバリキャップの特性の一例と、測定レンジを
示す。測定は直流バイアス電圧を0V,1V,2V,4V,6V,10Vと
変えて、それに従って測定レンジを512pF,512pF,128pF,
32pF,32pF,8pFに設定して行う。直流バイアス電圧と対
応する測定レンジの設定を行うためのデータは、本発明
の一実施例の装置を制御するマイクロプロセッサがアク
セスするメモリにテーブル形式で格納されている。これ
らの設定内容は装置のキーボードや外部通信機能を介し
て周知の方法で書き換えることができる。FIG. 3 shows an example of the characteristics of the varicap and the measurement range. For the measurement, change the DC bias voltage to 0V, 1V, 2V, 4V, 6V, 10V, and change the measurement range accordingly to 512pF, 512pF, 128pF,
Perform by setting to 32pF, 32pF, 8pF. Data for setting the measurement range corresponding to the DC bias voltage is stored in a table format in a memory accessed by a microprocessor that controls the apparatus according to the embodiment of the present invention. These setting contents can be rewritten by a known method via the keyboard of the apparatus or an external communication function.
本装置を通信機能を介して(例えばGP−IBバスを用い
て)使用する場合は、被測定バリキャップの品種名を指
定することにより、測定点が自動的に選択され、直流バ
イアスと測定レンジが自動的に設定されるようにして用
いることも容易である。When this device is used via a communication function (for example, using a GP-IB bus), the measurement point is automatically selected by specifying the type of the varicap to be measured, and the DC bias and the measurement range Can be easily set and used automatically.
以上実施例から明らかなように、あらかじめ予定され
たレンジが直流バイアスとともに設定され、特に連続的
に多点測定をおこなうときは、前の測定のデジタル演算
中に設定されるから、測定に要する時間が短縮され、し
かも精度の劣化が少ない。従って実用に供して至便であ
る。As is clear from the above embodiment, the predetermined range is set together with the DC bias, and particularly when performing continuous multipoint measurement, the range is set during the digital calculation of the previous measurement. Is shortened, and the deterioration of accuracy is small. Therefore, it is convenient for practical use.
第1図は本発明の一実施例のブロック図、第2図は該実
施例のタイミング図、第3図はバリキャップの特性の一
例と測定レンジを示す図。第4図は従来技術の測定タイ
ミング図。FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a timing chart of the embodiment, and FIG. 3 is a diagram showing an example of characteristics of a varicap and a measurement range. FIG. 4 is a measurement timing chart of the prior art.
Claims (2)
部品の交流インピーダンスをマイクロプロセッサ制御に
より多点測定する測定装置において、複数の直流バイア
スを設定するためのデータと該直流バイアスに対応する
測定レンジの設定をするためのデータとをメモリに格納
し、マイクロプロセッサがメモリから前記データを読み
だして直流バイアスと測定レンジとを自動的に設定する
ようにしたことを特徴とする電気部品測定装置。1. A measuring apparatus for measuring the AC impedance of an electric component to be measured, which varies in accordance with a DC bias, at multiple points under microprocessor control, and data for setting a plurality of DC biases and a measurement corresponding to the DC bias. Data for setting a range is stored in a memory, and a microprocessor reads out the data from the memory to automatically set a DC bias and a measurement range. .
て、前記直流バイアスが該バリキャップに印加される電
圧であって、前記測定レンジが容量レンジである特許請
求の範囲第1項記載の電気部品測定装置。2. The device according to claim 1, wherein the electric component to be measured is a varicap, the DC bias is a voltage applied to the varicap, and the measurement range is a capacitance range. Electric component measuring device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62188383A JP2585007B2 (en) | 1987-07-28 | 1987-07-28 | Electrical component measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62188383A JP2585007B2 (en) | 1987-07-28 | 1987-07-28 | Electrical component measuring device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6431064A JPS6431064A (en) | 1989-02-01 |
JP2585007B2 true JP2585007B2 (en) | 1997-02-26 |
Family
ID=16222664
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62188383A Expired - Lifetime JP2585007B2 (en) | 1987-07-28 | 1987-07-28 | Electrical component measuring device |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2585007B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6783120B2 (en) * | 2016-11-17 | 2020-11-11 | 日置電機株式会社 | Measuring device and measuring method |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59166181U (en) * | 1983-04-20 | 1984-11-07 | ロ−ム株式会社 | classification device |
JPS61142471A (en) * | 1984-12-17 | 1986-06-30 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | Impedance measuring apparatus |
-
1987
- 1987-07-28 JP JP62188383A patent/JP2585007B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6431064A (en) | 1989-02-01 |
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