JP2580487Y2 - ガスクロマトグラフ質量分析計 - Google Patents
ガスクロマトグラフ質量分析計Info
- Publication number
- JP2580487Y2 JP2580487Y2 JP36392U JP36392U JP2580487Y2 JP 2580487 Y2 JP2580487 Y2 JP 2580487Y2 JP 36392 U JP36392 U JP 36392U JP 36392 U JP36392 U JP 36392U JP 2580487 Y2 JP2580487 Y2 JP 2580487Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- airtight tube
- mass spectrometer
- vacuum chamber
- gas chromatograph
- column
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、ガスクロマトグラフと
質量分析計を結合したガスクロマトグラフ質量分析計に
係り、特には、両者間を結合するインターフェイス部分
の改善に関する。
質量分析計を結合したガスクロマトグラフ質量分析計に
係り、特には、両者間を結合するインターフェイス部分
の改善に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のガスクロマトグラフ質量分析計の
インターフェイス部分には、図２に示す構成を採用した
ものがある。
インターフェイス部分には、図２に示す構成を採用した
ものがある。
【０００３】同図において、符号１は質量分析計の真空
チャンバ、２はこの真空チャンバ１を構成するための隔
壁、３は真空チャンバ１内に配置されたイオン源ボック
スで、その内部に中空のイオン化室３aが形成されてい
る。４はガスクロマトグラフのオーブン、５はこのオー
ブン４を構成するための隔壁、６はインターフェイスブ
ロックである。このインターフェイスブロック６は、そ
の中央に貫通孔６aが形成され、その貫通孔６aにガイド
パイプ８が挿着されている。また、インターフェイスブ
ロック６の貫通孔６aに沿って試料ガスの吸着防止のた
めの加熱ヒータと、温度制御用の温度センサの各収納部
１０，１２がそれぞれ配置されている。そして、このイ
ンターフェイスブロック６が質量分析計の隔壁２に固定
されるとともに、ガイドパイプ８の一端が前記イオン化
室３a内に開口し、さらに、ガイドパイプ８と隔壁２と
の間に断熱ブロック１４が介設されている。
チャンバ、２はこの真空チャンバ１を構成するための隔
壁、３は真空チャンバ１内に配置されたイオン源ボック
スで、その内部に中空のイオン化室３aが形成されてい
る。４はガスクロマトグラフのオーブン、５はこのオー
ブン４を構成するための隔壁、６はインターフェイスブ
ロックである。このインターフェイスブロック６は、そ
の中央に貫通孔６aが形成され、その貫通孔６aにガイド
パイプ８が挿着されている。また、インターフェイスブ
ロック６の貫通孔６aに沿って試料ガスの吸着防止のた
めの加熱ヒータと、温度制御用の温度センサの各収納部
１０，１２がそれぞれ配置されている。そして、このイ
ンターフェイスブロック６が質量分析計の隔壁２に固定
されるとともに、ガイドパイプ８の一端が前記イオン化
室３a内に開口し、さらに、ガイドパイプ８と隔壁２と
の間に断熱ブロック１４が介設されている。
【０００４】１６はガス試料の成分分離用のカラム(主
にキャピラリカラム)であり、このカラム１６がガイド
パイプ８内に挿通されている。そして、このカラム１６
は、フェルール１８、ワッシャ２０、および袋ナット２
２によってインターフェイスブロック６に固定されると
ともに、真空チャンバ１およびガイドパイプ８の内部が
気密封止されるようになっている。
にキャピラリカラム)であり、このカラム１６がガイド
パイプ８内に挿通されている。そして、このカラム１６
は、フェルール１８、ワッシャ２０、および袋ナット２
２によってインターフェイスブロック６に固定されると
ともに、真空チャンバ１およびガイドパイプ８の内部が
気密封止されるようになっている。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】ところで、このガスク
ロマトグラフ質量分析計を用いて試料ガスを分析する場
合、その試料ガスの種類に応じてそれぞれ最適の分配特
性をもつカラム１６を選択することが必要となる。
ロマトグラフ質量分析計を用いて試料ガスを分析する場
合、その試料ガスの種類に応じてそれぞれ最適の分配特
性をもつカラム１６を選択することが必要となる。
【０００６】このような場合には、真空チャンバ１内を
大気圧になるまでリークした後、袋ナット２２を緩めて
カラム１６をガイドパイプ８から引き出して交換してい
る。
大気圧になるまでリークした後、袋ナット２２を緩めて
カラム１６をガイドパイプ８から引き出して交換してい
る。
【０００７】つまり、従来のものでは、カラム１６を取
り外す際には、予め２００℃以上に加熱されていたイオ
ン源ボックス３を冷やしてから、真空チャンバ１内をリ
ークする必要があり、そのため、カラム１６を交換した
後に分析を再開するには、真空チャンバ１内を大気圧状
態から高真空状態になるまで再度真空引きしてから、イ
オン源ボックス３を２００℃以上に再加熱しなければな
らなくなり、分析に手間がかかるという不具合があっ
た。
り外す際には、予め２００℃以上に加熱されていたイオ
ン源ボックス３を冷やしてから、真空チャンバ１内をリ
ークする必要があり、そのため、カラム１６を交換した
後に分析を再開するには、真空チャンバ１内を大気圧状
態から高真空状態になるまで再度真空引きしてから、イ
オン源ボックス３を２００℃以上に再加熱しなければな
らなくなり、分析に手間がかかるという不具合があっ
た。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本考案は、上述した課題
を解決するためになされたものであって、ガスクロマト
グラフと質量分析計とを結合するインターフェイス部分
の構造を改良することにより、質量分析計の真空チャン
バ内をリークしなくても、カラムの交換を容易に行える
ようにするものである。
を解決するためになされたものであって、ガスクロマト
グラフと質量分析計とを結合するインターフェイス部分
の構造を改良することにより、質量分析計の真空チャン
バ内をリークしなくても、カラムの交換を容易に行える
ようにするものである。
【０００９】そのため、本考案のガスクロマトグラフ質
量分析計においては、ガスクロマトグラフのオーブンを
構成する隔壁と、質量分析計の真空チャンバを構成する
隔壁との間を気密管で接続して前記気密管内と真空チャ
ンバとを互いに連通し、この気密管には、該気密管を開
閉する真空バルブを配置するとともに、この真空バルブ
よりも大気側の位置に気密管内を予備排気する予備排気
手段を接続する一方、カラム装填用のインターフェイス
挿着具を備え、このインターフェイス装填具は、前記オ
ーブンから気密管を通って真空チャンバに至る長さを有
し、かつ、その内部に前記長さ方向に沿ってカラム挿通
孔を形成するとともに、大気側から気密管に対して挿脱
可能に設けたことを特徴としている。
量分析計においては、ガスクロマトグラフのオーブンを
構成する隔壁と、質量分析計の真空チャンバを構成する
隔壁との間を気密管で接続して前記気密管内と真空チャ
ンバとを互いに連通し、この気密管には、該気密管を開
閉する真空バルブを配置するとともに、この真空バルブ
よりも大気側の位置に気密管内を予備排気する予備排気
手段を接続する一方、カラム装填用のインターフェイス
挿着具を備え、このインターフェイス装填具は、前記オ
ーブンから気密管を通って真空チャンバに至る長さを有
し、かつ、その内部に前記長さ方向に沿ってカラム挿通
孔を形成するとともに、大気側から気密管に対して挿脱
可能に設けたことを特徴としている。
【００１０】
【作用】上記構成において、カラム交換の際には、予備
排気手段を起動して、気密管内を予備排気する。この状
態で、インターフェイス挿着具を引き出して、気密管を
真空バルブで閉鎖する。そして、インターフェイス挿着
具を取り出した後、カラムを引き出して交換する。
排気手段を起動して、気密管内を予備排気する。この状
態で、インターフェイス挿着具を引き出して、気密管を
真空バルブで閉鎖する。そして、インターフェイス挿着
具を取り出した後、カラムを引き出して交換する。
【００１１】また、カラムを新たに装填する場合には、
予備排気手段を起動して、気密管内を予備排気する。こ
の状態で、インターフェイス挿着具にカラムを挿入した
後、真空バルブを開いてインターフェイス挿着具をオー
ブン側から気密管に向けて挿入する。
予備排気手段を起動して、気密管内を予備排気する。こ
の状態で、インターフェイス挿着具にカラムを挿入した
後、真空バルブを開いてインターフェイス挿着具をオー
ブン側から気密管に向けて挿入する。
【００１２】したがって、質量分析計の真空チャンバ内
をリークすることなくカラムの交換を行うことができ
る。
をリークすることなくカラムの交換を行うことができ
る。
【００１３】
【実施例】図１は本考案の実施例に係るガスクロマトグ
ラフ質量分析計のインターフェイス部分の縦断面図であ
り、図２に示した従来例に対応する部分には、同一の符
号を付す。
ラフ質量分析計のインターフェイス部分の縦断面図であ
り、図２に示した従来例に対応する部分には、同一の符
号を付す。
【００１４】図１において、符号１は質量分析計の真空
チャンバ、２はこの真空チャンバ１を構成するための隔
壁、３は真空チャンバ１内に配置されたイオン源ボック
スで、その内部に中空のイオン化室２aが形成されてい
る。４はガスクロマトグラフのオーブン、５はこのオー
ブン４を構成するための隔壁である。
チャンバ、２はこの真空チャンバ１を構成するための隔
壁、３は真空チャンバ１内に配置されたイオン源ボック
スで、その内部に中空のイオン化室２aが形成されてい
る。４はガスクロマトグラフのオーブン、５はこのオー
ブン４を構成するための隔壁である。
【００１５】そして、本例では、上記のオーブン４を構
成する隔壁５と、真空チャンバ１を構成する隔壁２との
間が気密管３０で接続されて気密管３０内と真空チャン
バ１とが互いに連通されている。この気密管３０には、
該通路３０を開閉する真空バルブ３２が配置されるとと
もに、この真空バルブ３２よりも大気側の位置に気密管
３０内を予備排気する手段としての排気管３２が設けら
れており、この排気管３２に図示省略したロータリポン
プが接続されている。
成する隔壁５と、真空チャンバ１を構成する隔壁２との
間が気密管３０で接続されて気密管３０内と真空チャン
バ１とが互いに連通されている。この気密管３０には、
該通路３０を開閉する真空バルブ３２が配置されるとと
もに、この真空バルブ３２よりも大気側の位置に気密管
３０内を予備排気する手段としての排気管３２が設けら
れており、この排気管３２に図示省略したロータリポン
プが接続されている。
【００１６】３６はカラム装填用のインターフェイス挿
着具であり、このインターフェイス装填具３６は、オー
ブン４から気密管３０を通って真空チャンバ１に至る長
さを有し、その内部には長さ方向に沿って貫通孔３６が
形成され、その貫通孔３６にカラム挿通孔となるガイド
パイプ８が挿着されている。また、このガイドパイプ８
の外周部には紐状の加熱ヒータ３８が巻回されるととも
に、温度制御用の温度センサ４０が設けられており、さ
らに、外ケース４２とガイドパイプ８との間に断熱材４
４が充填されている。そして、このインターフェイス挿
着具３６は、真空チャンバ１側において外ケース４２と
ガイドパイプ８とが互いに熔接されて真空シールされる
一方、オーブン４側においてはフェルール１８、ワッシ
ャ２０、および袋ナット２２が設けられ、これら１８，
２０，２２によって、ガイドパイプ８内に挿入されるカ
ラム１６がインターフェイス挿着具３６に固定されると
ともに、ガイドパイプ８の内部が気密封止されるように
なっている。
着具であり、このインターフェイス装填具３６は、オー
ブン４から気密管３０を通って真空チャンバ１に至る長
さを有し、その内部には長さ方向に沿って貫通孔３６が
形成され、その貫通孔３６にカラム挿通孔となるガイド
パイプ８が挿着されている。また、このガイドパイプ８
の外周部には紐状の加熱ヒータ３８が巻回されるととも
に、温度制御用の温度センサ４０が設けられており、さ
らに、外ケース４２とガイドパイプ８との間に断熱材４
４が充填されている。そして、このインターフェイス挿
着具３６は、真空チャンバ１側において外ケース４２と
ガイドパイプ８とが互いに熔接されて真空シールされる
一方、オーブン４側においてはフェルール１８、ワッシ
ャ２０、および袋ナット２２が設けられ、これら１８，
２０，２２によって、ガイドパイプ８内に挿入されるカ
ラム１６がインターフェイス挿着具３６に固定されると
ともに、ガイドパイプ８の内部が気密封止されるように
なっている。
【００１７】そして、インターフェイス挿着具３６は、
大気側から気密管３０に対して挿脱可能に設けられてお
り、この挿着具３６の挿着状態においては、図示のよう
に、ガイドパイプ８の真空チャンバ１側の一端がイオン
化室３a内に開口する一方、オーブン４側では、その隔
壁５に取り付けられたＯリング４６に外ケース４２が当
接して、気密管３０が密閉されるようになっている。
大気側から気密管３０に対して挿脱可能に設けられてお
り、この挿着具３６の挿着状態においては、図示のよう
に、ガイドパイプ８の真空チャンバ１側の一端がイオン
化室３a内に開口する一方、オーブン４側では、その隔
壁５に取り付けられたＯリング４６に外ケース４２が当
接して、気密管３０が密閉されるようになっている。
【００１８】上記構成において、カラム１６を交換する
際には、ロータリポンプを起動して排気管３４を通じて
気密管３０内を予備排気する。この状態で、インターフ
ェイス挿着具３６を真空バルブ３２を通過する位置まで
引き出した後、気密管３０を真空バルブ３２で閉鎖す
る。そして、インターフェイス挿着具３６全体を取り出
した後、袋ナット２２を緩めてカラム１６をガイドパイ
プ８から引き出して交換する。
際には、ロータリポンプを起動して排気管３４を通じて
気密管３０内を予備排気する。この状態で、インターフ
ェイス挿着具３６を真空バルブ３２を通過する位置まで
引き出した後、気密管３０を真空バルブ３２で閉鎖す
る。そして、インターフェイス挿着具３６全体を取り出
した後、袋ナット２２を緩めてカラム１６をガイドパイ
プ８から引き出して交換する。
【００１９】また、カラム１６を新たに装填する場合に
は、インターフェイス挿着具３６のガイドパイプ８内に
カラム１６を挿入した後、袋ナット２２を締めた状態で
オーブン４と真空バルブ３２の間までインターフェイス
挿着具３６を挿入し、次に、ロータリポンプを起動し
て、排気管３４を通じて気密管３０内を予備排気する。
この状態で、真空バルブ３２を開いてインターフェイス
挿着具３６を大気側から気密管３０に向けて挿入する。
は、インターフェイス挿着具３６のガイドパイプ８内に
カラム１６を挿入した後、袋ナット２２を締めた状態で
オーブン４と真空バルブ３２の間までインターフェイス
挿着具３６を挿入し、次に、ロータリポンプを起動し
て、排気管３４を通じて気密管３０内を予備排気する。
この状態で、真空バルブ３２を開いてインターフェイス
挿着具３６を大気側から気密管３０に向けて挿入する。
【００２０】このようにして、質量分析計の真空チャン
バ１内をリークすることなくカラム１６の交換を行う。
バ１内をリークすることなくカラム１６の交換を行う。
【００２１】
【考案の効果】本考案によれば、質量分析計のイオン源
ボックスを冷やしたり、熱したりする必要がないばかり
か、真空チャンバ内をリークしなくても、カラムの交換
を容易に行えるので、従来よりも、分析時間の一層の効
率化が図れる等の優れた効果が発揮される。
ボックスを冷やしたり、熱したりする必要がないばかり
か、真空チャンバ内をリークしなくても、カラムの交換
を容易に行えるので、従来よりも、分析時間の一層の効
率化が図れる等の優れた効果が発揮される。
【図１】本考案の実施例に係るガスクロマトグラフ質量
分析計のインターフェイス部分の縦断面図である。
分析計のインターフェイス部分の縦断面図である。
【図２】従来のガスクロマトグラフ質量分析計のインタ
ーフェイス部分の縦断面図である。
ーフェイス部分の縦断面図である。
１…真空チャンバ、２…隔壁、４…オーブン、５…隔
壁、８…ガイドパイプ、１６…カラム、３０…気密管、
３２…真空バルブ、３４…排気管(予備排気手段)、３６
…インターフェイス挿着具。
壁、８…ガイドパイプ、１６…カラム、３０…気密管、
３２…真空バルブ、３４…排気管(予備排気手段)、３６
…インターフェイス挿着具。
Claims (1)
- 【請求項１】 ガスクロマトグラフのオーブンを構成す
る隔壁と、質量分析計の真空チャンバを構成する隔壁と
の間を気密管で接続して前記気密管内と真空チャンバと
を互いに連通し、この気密管には、該気密管を開閉する
真空バルブを配置するとともに、この真空バルブよりも
大気側の位置に気密管内を予備排気する予備排気手段を
接続する一方、 カラム装填用のインターフェイス挿着具を備え、このイ
ンターフェイス装填具は、前記オーブンから気密管を通
って真空チャンバに至る長さを有し、かつ、その内部に
前記長さ方向に沿ってカラム挿通孔を形成するととも
に、大気側から気密管に対して挿脱可能に設けたことを
特徴とするガスクロマトグラフ質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36392U JP2580487Y2 (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | ガスクロマトグラフ質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36392U JP2580487Y2 (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | ガスクロマトグラフ質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0557665U JPH0557665U (ja) | 1993-07-30 |
| JP2580487Y2 true JP2580487Y2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=11471715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36392U Expired - Lifetime JP2580487Y2 (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | ガスクロマトグラフ質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2580487Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111954811B (zh) * | 2018-04-13 | 2024-02-02 | 沃特世科技公司 | 具有集成色谱柱的质谱仪离子源 |
| CN109557217A (zh) * | 2019-01-27 | 2019-04-02 | 广西科技大学鹿山学院 | 一种气相色谱——质谱接口密封压环压紧装置 |
-
1992
- 1992-01-09 JP JP36392U patent/JP2580487Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0557665U (ja) | 1993-07-30 |
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