JP2577651B2

JP2577651B2 - 欠陥検査装置

Info

Publication number: JP2577651B2
Application number: JP2162589A
Authority: JP
Inventors: 克己小代田; 正和岩佐
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1990-06-22
Filing date: 1990-06-22
Publication date: 1997-02-05
Anticipated expiration: 2012-02-05
Also published as: JPH0454443A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、鋼板、紙、プラスチックフィルム、ICウェ
ーハ等の表面を走査して欠陥を含む画像をモニタに表示
し、欠陥を目視可能にする欠陥検査装置に関するもので
ある。

（従来技術）鋼板や紙等の表面を光学的に走査して、その表面に現
れるキズなどの欠陥をモニタテレビに表示し、モニタで
欠陥を目視することにより欠陥の有無、大きさ、種類等
を判別できるようにした表面検査装置が従来よりある。

例えば特公昭63−43685号には、光学的走査により被
検査材の表面の画像を読取り、被検査材の全幅がモニタ
の表面画面の幅内に現れるように表示する表面検査装置
が示されている。ここに表面に欠陥があると、この欠陥
がモニタの検査材送り方向の中央に来るようにして画像
を一時停止させ、目視できるようにしたものである。

第13図はこの従来装置のブロック図、第14図はモニタ
に表示される被検査材の表示領域を示す図である。

第13図において符号10は画像検出手段であり、被検査
材表面を光学的に走査することによりアナログ画像信号
ａを出力するものである。この画像検出手段10は、例え
ば回転ミラーにより光を被検査材上で走査させ、この光
の反射光を受光器で集めるフライングスポット方式のも
のが使用できる。また被検査材表面をその幅方向に配置
した棒状光源で照射し、その反射光を回転ミラーを介し
て受光器に取り込んでゆくフライングイメージ方式のも
のが使用可能である。

このアナログ画像信号ａはA/D変換器12によりデジタ
ル画像信号ｂに変換され、一走査ラインごとにフレーム
メモリ14に記憶される。このフレームメモリ14には最先
の内容が最新のデータにより順次書き換えられ、常に後
記モニタ24の走査線数と同数あるいはそれ以上の走査ラ
インが記憶されている。

またアナログ画像信号ａは欠陥判別手段16に入力さ
れ、ここで欠陥の有無が判断される。すなわちアナログ
画像信号ａは被検査材の表面のキズ等があると出力レベ
ルが急変するから、この信号を微分回路を含む信号処理
回路で処理することによりキズなどの欠陥を判別でき
る。このようにして欠陥が検出されるとアドレス判別手
段18はこの欠陥の送り方向の位置（アドレス）を被検査
材の送り量に基づいて判別する。この欠陥の送り方向の
アドレスが求まると、書込み制御手段20はこの欠陥がモ
ニタ24の画面の画像送り方向の中央に対応するフレーム
メモリ14内の記憶位置に来るとフレームメモリ14にデジ
タル信号ｂの読込みを禁止させる。そしてこのフレーム
メモリ14の内容がD/A変換器22でアナログ信号に戻され
た後、CRTなどのモニタテレビ24に表示させる。この結
果モニタ24には画像送り方向の中央に欠陥部分が現れる
ことになる。検査者はこの画像を目視して検査装置が欠
陥と判断した部分が本当に欠陥か否か、また欠陥だとす
ればその大きさ、種類などを判別する。そして必要に応
じ検査者の指令に基づき、あるいは自動でこの欠陥のア
ドレスを別の図示しないプリンタなどの記録手段に記録
し、またその画像をビデオ装置に記録する。

（従来装置の問題点）このように従来装置は被検査材の全幅をモニタテレビ
に表示するものであるため、欠陥を検出してこの欠陥を
テレビ画面の画像送り方向の中央に位置させたとして
も、特に被検査材の幅が広い場合には欠陥部分が非常に
小さく現れることになる。このため欠陥の大きさ、種類
などを目視で判別することが困難であった。

またこの従来装置は、欠陥を検出すると書込み制御手
段20によりフレームメモリ14への新たなデジタル画像信
号ｂの読込みを禁止する必要がある。このため複数の欠
陥が接近して連続して現れる場合に、先頭から二番目以
降の欠陥を見逃すことになる。そこでこれを避けるため
に第11図に仮想線で示すように複数の主要部26、26A、
…を用いて並列作動させることが考えられる。この場
合、例えば第12図で被検査材28の欠陥D₁が送り方向の中
央に来る領域A₁を主要部26を用いてモニタ24に表示さ
せ、次の欠陥D₂が続いて現れると領域A₂を他の主要部26
Aを用いてモニタ24に表示させることになる。しかしこ
のように複数の主要部26、26A、…を用いる場合には装
置が大規模となり、しかも大容量のフレームメモリ14が
多数必要になる、という問題があった。

またこの第14図からも明らかなように、欠陥D₁および
D₂は領域A₁およびA₂に共に含まれている。このため主要
部26、26Aを用いてそれぞれ領域A₁、A₂を表示した場合
に、両方のモニタに欠陥D₁、D₂が表示され、欠陥の表示
位置は異なるが同じ画面が２回続くことになる、という
問題があった。

さらにこの従来装置は、欠陥は画像検出手段10で読み
取った画像をそのままモニタに表示しているため、画像
が欠陥なのか否か、単なる潤滑オイルや表面保護材の縞
模様なのか、欠陥の種類、大きさなどを明確に判別しに
くいという問題もあった。

さらにまた欠陥は点状に現れるもの、線状に現れるも
のなど、被検査材の種類により特徴がある。しかしこの
従来装置では例えば送り方向に長い欠陥ではその先端部
が画面内の送り方向中央に現れるため、長い欠陥の末尾
が画面から外れ易いという問題もあった。

（発明の目的）本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、
欠陥部分をモニタ画面の中央付近などの希望の位置に十
分に拡大して表示することにより、目視による欠陥の確
認がし易くなる欠陥検査装置を提供することを第１の目
的とする。

また、欠陥が連続する場合にも欠陥を見逃すことなく
対応でき、装置を大きくすることなく少ないメモリ容量
を有効利用することができる欠陥検査装置を提供するこ
とを第２の目的とする。

さらに欠陥を目視し易く倍率変更して、欠陥の種類等
も性格に認定できるようにした欠陥検査装置を提供する
ことを第３の目的とする。

さらにまた欠陥の形状に対応して欠陥を画面の中央に
現わしたり、あるいは長い欠陥が画面から外へ出ないよ
うにして視認し易くした欠陥検査装置を提供することを
第４の目的とする。

（発明の構成）本発明によれば第１の目的は、被検査材の表面を走査
して得た画像信号から、被検査材の欠陥を検出してモニ
タに表示する欠陥検査装置において、被検査材の連続す
る所定数の走査ラインを順次読込んで記憶するバルクメ
モリと、前記画像信号から被検査材の欠陥を判別する欠
陥判別手段と、前記バルクメモリに記憶された前記被検
査材の表面を複数のブロックに分け前記検出した欠陥を
含むブロックを求めるブロック判別手段と、前記欠陥を
含むブロックを含み所定数のブロックの走査ラインを読
み込むとバルクメモリの書き込みを一時停止させる書き
込み制御手段と、このバルクメモリのデータから欠陥を
含むブロックを含む所定数のブロックを切り出してフレ
ームメモリに移す切出し制御手段と、前記フレームメモ
リの内容を表示するモニタ手段とを備えることを特徴と
する欠陥検査装置、により達成される。

第２の目的はバルクメモリを複数とし、一方が読込み
・読出しのために停止している間に他方を作動させるこ
とにより達成できる。ここにフレームメモリも複数にす
ればモニタ表示の自由度が増える。

第３の目的は、さらにフレームメモリの内容を受け取
って倍率変更する倍率変更手段と、表示メモリとを備え
ることにより達成される。

第４の目的は、欠陥を含むブロックがモニタの画面の
中央に現れるようにしたり、欠陥を含む先頭のブロック
がモニタの主・副走査の支点側の隅に偏位させて、その
周囲の複数のブロックと共に現わすようにすることによ
り達成される。ここに複数の欠陥が接近して現れる場合
には、欠陥同志の大きさを比較して、最大の欠陥を含む
ブロックがモニタの中央などの希望の位置に来るように
してもよい。

（実施例１）第１図は本発明の第１の実施例のブロック図、第２図
は画像領域の対応関係を示す概念図、第３図は画像信号
等の出力波形図である。

第１図において、符号50は鋼板、紙、プラスチックフ
ィルムなどの被検査材であり、この被検査材50は供給ロ
ール52から巻取りロール54に送られる。この巻取りロー
ル54は巻取りモータ56により駆動される。この被検査材
50の送り中にフライングスポット方式による画像検出手
段58によって表面の画像が読取られる。この画像検出手
段58は、レーザー光源60から射出されるレーザ光を、モ
ータ62により回転される回転ミラー（ポリゴナルミラ
ー）64によって被検査材50の幅方向に走査（主走査）す
る一方、被検査材50の表面による反射光を受光ロッド66
によって一対の受光器68（68a、68b）に導いて受光する
ものである。すなわち受光ロッド66はレーザー光の主走
査ライン70に近接してこれに平行に配設され、反射光は
受光すると受光ロッド66の内面で全反射させてその両端
に導き、フォトマルチプライヤ（光電子倍増管）などの
受光器68により受光量が検出される。各受光器68が出力
する画像信号はプリアンプ、メインアンプで増幅され、
また波形整形されて第３図に示すアナログ画像信号a₁、
a₂となる。この図で各信号a₁、a₂には、連続する異なる
主走査ライン70に対応する信号が、時間軸方向に一定時
間毎に現れている。この図でd₁₁、d₁₂、d₂₁、d₂₂は被検
査材50の表面の欠陥に対応する。このように各信号a₁、
a₂は受光器68a、68bからレーザー光の主走査ライン70上
の走査位置が遠くなるとレベルが低下し、反対に走査位
置に近くなるとレベルが上昇するように変化する。そこ
でこの実施例では、両信号a₁、a₂は加算回路72で加算さ
れ、主走査ライン70上の走査位置の変化による影響が除
去されてアナログ画像信号ａとされる。そしてその後信
号処理回路74において微分され、アナログ画像信号a₃と
される。この信号a₃は欠陥があると正負に変化するパル
スd₃₁、d₃₂を含んだものとなる。

76は欠陥判別手段であり、信号a₃を所定レベルの比較
電圧υ（第３図）と比較することにより欠陥の有無を検
出するものである。すなわち欠陥を示すパルスd₃₁、d₃₂
が比較電圧υを超えて小さくなる時にパルスとなる欠陥
信号ｄを出力する。

78はブロック判別手段であり、この欠陥信号ｄのパル
スが出力された時点のレーザー光の走査位置、すなわち
走査により現れた欠陥の先頭部の座標（アドレス）を求
め、この座標が含まれるブロックを求める。すなわち被
検査材50の表面は第２図に示すように幅方向に並んだ多
数の同形状の領域であるブロックに区分けされ、その中
の欠陥Ｄを含むブロックB_ijを求め、このブロックを示
すブロック信号b_ijを出力するものである。ここにレー
ザー光の主走査方向の座標は回転ミラー64の回転角度、
または主走査方向にフォトセンサなどの始点検出器を設
け、この点をレーザー光が通過してからの経過時間に基
づいて検出され、また被検査材50の送り方向の位置であ
る副走査方向の座標は巻取りロール54の回転量に基づい
て検出される。

一方、アナログ画像信号ａはA/D変換器80においてデ
ジタル画像信号ｂに変換され、バルクメモリ82に入力さ
れる。このバルクメモリ82は主走査ラインの画素数Ｎと
１つの前記ブロックに含まれる走査線ｎとの積（Ｎ×
ｎ）、またはその整数倍（第２図の実施例では２倍）の
記憶容量を持ち、検査幅ゲート信号に同期して一主走査
毎にデジタル画像信号ｂを記憶する。すなわちバルクメ
モリ82の記憶領域が一杯になると最も古いデータの上に
順次上書きしてゆくリングバッファ構造を持つ。ここに
検査幅ゲート信号は回転ミラー64の回転に同期して一主
走査内の検査幅を示すものである。

この結果バルクメモリ82に記憶されるのは、第２図に
おいて被検査材50の送り方向に並んだ２つのブロック分
の走査ラインに含まれる画像信号ｂであり、換言すれば
領域ABCEの範囲で示される被検査材50の表面画像であ
る。

このバルクメモリ82へのデータの書込みは、書込み制
御手段84により制御される。すなわちこの手段84は、欠
陥Ｄを有するブロックB_ijを示すブロック信号b_ijに基づ
いて、このブロックB_ijに含まれる領域の走査が終了す
るまで書き換えを行い、この位置に来ると書込みを一時
停止させる。

86はフレームメモリである。このフレームメモリ86へ
のデータの書込みは切出し制御手段88によって制御され
る。すなわちこの手段88はブロック信号b_ijに基づいて
このブロックB_ijがモニタ92の所定位置、例えばモニタ9
2の画面左側に来るように、ブロックB_ijに含まれる画像
のデータをバルクメモリ82からフレームメモリ86に移送
させるものである。

またフレームメモリのデータは必要に応じて光磁気デ
ィスク、フロッピーディスク、ハードディスク、メモリ
ーテープ等の記録手段91に記録される。

このフレームメモリ86のデータはD/A変換器90におい
てアナログ画像信号ｃに変換され、CRTなどのモニタ92
に表示される。また必要に応じてビデオテープやビデオ
プリンタなどの画像記録手段94に記録される。

また必要に応じて欠陥判別情報やブロック情報を欠陥
画像と同時にモニタに表示する。

検査者はこのモニタ92を監視する。そして欠陥Ｄを含
むブロックB_ijが拡大された静止画像を見て、欠陥Ｄと
判断された部分が真実の欠陥か否か、例えば表面に不均
一に付着したオイルや保護材等の縞模様等か否かを判別
する。そして真実の欠陥と判断した時には検査者は記録
指令スイッチボタン96を押す。このスイッチボタン96に
より記録指令が出力されると、プリント制御手段98はブ
ロック信号b_ijを読込んでプリンタ100にこのブロック信
号b_ijを出力させる。そして書込み制御手段84は再びバ
ルクメモリ82にデータの書込みを開始させ、次の欠陥Ｄ
があるとモニタ92に表示させる。

このように第１〜３図により説明した実施例によれ
ば、欠陥Ｄを含むブロックB_ijをモニタ92の所定位置、
例えば左側に拡大して表示するから、欠陥Ｄの存否、種
類、大きさ等を目視により確認し易くなる。

なおこの実施例で欠陥判別手段76はアナログ画像信号
a₃に代えて、A/D変換されたデジタル画像信号ｂを用い
て欠陥Ｄを判別するようにしてもよい（第１図仮想線参
照）。

（実施例２）第４図は第２の実施例のブロック図、第５図は画像領
域の対応関係を示す概念図である。

この実施例は前記第１の実施例に対して、バルクメモ
リ182およびフレームメモリ186がそれぞれ複数個のメモ
リ182a、ｂ、…、および186a、ｂ、…で構成される点
と、画像処理手段102および表示メモリ104を備える点が
異なる。

バルクメモリ182a、ｂ、…は、第５図に示すように、
欠陥D₁、D₂、D₃…が検出された場合に、それぞれの欠陥
D₁、D₂、D₃…を含む領域ABCE、Ａ′Ｂ′Ｃ′Ｅ′、…を
記憶する。またフレームメモリ186a、ｂ、…は各欠陥
D₁、D₂、D₃…を含むブロックB₁、B₂、B₃…を記憶する。
書込み制御手段184、切出し制御手段188は、ブロック判
別手段78が欠陥D₁、D₂、D₃…を示すブロック信号b₁、
b₂、b₃を出力すると順次異なるバルクメモリ182a、ｂ、
…およびフレームメモリ186a、ｂ、…に記憶させる。ま
た切出し制御手段188は、記録指令スイッチボタン96の
記録指令信号に基づいて、モニタ92に表示すべきフレー
ムメモリ186a、ｂ、…を順番に選択して倍率変更手段10
2に出力する。この倍率変更手段102は、画像の倍率変更
を行って表示メモリ104に記憶し、モニタ92に表示させ
る。また第５図に示すように複数のフレームメモリ186
a、ｂ、…の画像をモニタ92の画面上に分割して多画面
表示を行うことができる。

この第２の実施例によれば、複数のバルクメモリ182
a、ｂ、…を備えるので、連続して現れる欠陥も見落す
ことなくモニタ92に表示することができる。

また複数のフレームメモリ186a、ｂ、…を備えるか
ら、連続して現れるそれぞれの欠陥をモニタ92に十分な
時間をかけて表示させることが可能になる。

さらに倍率変更手段102、表示メモリ104に設けること
により、さらに欠陥を発見し易い画像を得るように倍率
変更することが可能になる。

（実施例３）第６図は第３の実施例を示すブロック図、第７図はそ
の表示領域の対応を示す概念図である。この実施例は隣
接する複数のブロックをモニタ92に同時に表示するもの
で、複数の欠陥D₁、D₂を含むブロックB₁、B₂が現れた場
合に、欠陥のレベルを比較し、レベルの大きい欠陥D₂を
含むブロックB₂がモニタ92の中央に来るように画像を移
動させるようにしたものである。

すなわちブロック判別手段178はモニタ92の表示領域
内に複数の欠陥D₁、D₂が現れた時に、最先に現れた欠陥
D₁を含むブロックB₁とレベルM₁と欠陥メモリ178aにメモ
リし、比較器178bによって次の欠陥D₂のレベルM₂とを比
較する。比較の結果M₁＜M₂であれば後の欠陥D₂を含むブ
ロックB₂とレベルM₂とで欠陥メモリ178aの内容を書き換
える。この動作を繰り返すことにより最もレベルの大き
い欠陥D₂を含むブロックB₂をモニタ92内の希望位置、例
えば中央に移して表示することができる。

（実施例４）第８図は第４の実施例のモニタ表示例を示す図であ
る。

この実施例はモニタ92に隣接する４つのブロックＩ、
II、III、IVを表示可能とし、欠陥D₁を含むブロックＩ
を検出すると、この欠陥D₁が位置するブロックＩ内の象
限を判断する。そしてこの象限に隣接する他のブロック
II、III、IVを同時に表示するものである。この実施例
では第４象限に位置するから、ブロック２の第３象限、
ブロックIIIの第１象限、ブロックIVの第２象限が互い
に隣接してモニタの中央に現れる。

この実施例によれば４つのブロックの中央付近に欠陥
D₁が位置することになり、また近接のブロックも同時に
表示されるのでこの欠陥の周辺の微細な欠陥などの分布
状況も確認し易くなる。

（実施例５）第９図は第５の実施例を示すブロック図、第10図はそ
のモニタ表示例を示す図である。

この実施例はモニタ92上に欠陥を含む静止画と共に欠
陥の有無と関係なく連続して変化する動画を表示するよ
うにしたものである。すなわち動画用フレームメモリ20
0を設け、ここに読取った画像の信号を連続的に取り込
み、この画像をモニタ92の一定範囲内に連続して表示す
る。そして他の範囲には静止画用フレームメモリ186の
内容が順次静止画として表示される。

このように被検査材の広い面積の表面状態を同時に表
示することにより、欠陥周囲の広い範囲の表面状態を把
握して欠陥画像をより正確に確認し判断することができ
る。

以上の各実施例においては欠陥Ｄは点状ないしは小さ
いものと仮定しているが、実際には欠陥の形状は長い場
合もある。特に鋼板やフィルムなどの製品では、被検査
材50の送り方向あるいはこれに直交する方向に長い形状
の第11図に示すような欠陥D₃、D₄が現れ易い。

第11図はこのような場合における表示領域と欠陥の形
状との関係を示す図、第12A図はこの欠陥がモニタから
飛び出した状態を、第12B図はモニタにおさめた状態を
示す。

前記した各実施例では、欠陥の形状を問題とせず、最
初に走査ライン上に検出した欠陥を含むブロックをモニ
タ92上の例えば中央に表示してしまう。このため第11図
のように被検査材50を上へ送りつつ左から右に主走査し
ている場合には、欠陥の左上端の点Ｐを欠陥として例え
ば第12A図に示すように点Ｐを含むブロックB_pをモニタ9
2の中央付近に表示してしまう。この時欠陥D₃のように
主走査方向に形状が長い時には、欠陥D₃の右端がモニタ
92から外れることになる。同様に被検査材50の送り方向
に長い欠陥D₄の場合には、モニタ92上で欠陥D₄の下部が
モニタ92から外れてしまう。

このような場合には検出した欠陥Ｐを含むブロックB_p
をモニタ92上の左上、すなわちモニタの画像表示エリア
の主・副走査の始点側の隅に寄せて表示させることによ
り、第12B図のように欠陥D₃、D₄のほぼ全体をモニタ92
に表示させることが可能になる。

以上の実施例において、ブロックの大きさは一般の場
合モニタの画像表示エリア（ｍ画素×ｎ画素）の１分割
〜36分割、すなわち（ｍ〜m/6）画素×（ｎ〜n/6）画素
が好ましく、更に好ましくは１分割〜16分割、すなわち
（ｍ〜m/4）画素×（ｎ〜n/4）画素が良い。これは、欠
陥の大きさのうちほとんどのものが１つのブロックに入
ること、ブロックの切り出し等の制御をなるべくシンプ
ルにさせることを目的とした場合容易に結論づけられ
る。

一方、特殊ではあるが、非常に有効なブロックの大き
さの設定として、被検査材を最終的にスリットして製品
とする場合や、被検査材を縦横一定寸法の大きさによっ
て切り出して製品とする場合には、ブロックの巾をスリ
ット巾／切り出し巾の1/mまたはｍ倍（ｍは整数）に
し、ブロックの長さを切り出し長さの1/n倍またはｎ倍
（ｎは整数）にすることが好ましい。これにより最終製
品の良品／不良品管理が容易になる。

以上の各実施例では被検査材50の表面に現れた欠陥Ｄ
を検出するものとして説明しているが、本発明は表面を
走査することにより内部の欠陥を検出するものも包含す
る。例えば鋼板の内部欠陥を磁気光学効果を用いて検出
するものであってもよい。これは、被検査材を交流磁界
で磁化した時の欠陥からの漏れ磁界を反射光の偏光の変
化として検出するものである。

また以上の実施例では、被検査材の表面の巾方向の主
走査をレーザースキャンにより行うとして説明している
が、例えばフライングイメージ方式、CCD1次元ラインセ
ンサカメラ、CCD2次元カメラ等で撮影し、電気的走査に
より画像信号を得ることも可能であり、これらの方法も
包含される。

（発明の効果）請求項（１）の発明は以上のように、欠陥を含むブロ
ックの画像をモニタ上の所定の位置に拡大して表示する
ものであるから、欠陥の有無、大きさ、種類等を目視に
より確認し易くなる。

この場合バルクメモリおよびフレームメモリをそれぞ
れ１個づつ設けてもこの効果は得られるが（請求項
（２））、バルクメモリを複数個設け、その１つのバル
クメモリが欠陥の検出によりデータの読込みを停止して
いる間には他のバルクメモリにデータの読込みを継続さ
せることにより、連続する欠陥にも対応できる（請求項
（３））。またフレームメモリを複数個設ければ（請求
項（４））、各フレームメモリに異なる欠陥を含むブロ
ックを記憶させておき、モニタには十分な時間間隔をも
って表示を切換えることが可能になり、欠陥の観察が一
層容易になる。このようにメモリを複数個に増やすだけ
で連続する欠陥を見落すことなく検出することが可能に
なり、前記した従来装置のように複数の主要部を並列に
設ける必要がなくなり、装置を簡単にし、かつメモリの
容量を有効に利用することが可能になる。

一方フレームメモリの内容を倍率変更して表示メモリ
にメモリするようにした場合には（請求項（５））、欠
陥を一層発見し易い画像にすることが可能になる。

またバルクメモリからフレームメモリに切出すブロッ
クは、欠陥を含むブロック１つだけとしてこれをモニタ
に表示するようにすれば（請求項（６））、欠陥は十分
に大きく拡大できる。欠陥を含むブロックを囲むように
合計９、25、…個のブロックを同時に表示するようにし
たり（請求項（７））、ブロック内の欠陥がある象限が
モニタ中央付近に来るようにしてこれに隣接する他のブ
ロックを同時に表示するようにすれば（請求項
（８））、欠陥の位置がモニタ中央付近に集中すると共
に、その周辺の様子も同時に観察できる。

点状の欠陥はモニタの中央付近に表示するのが望まし
いが（請求項（７））、長い欠陥に対しては最初に検出
した欠陥を含むブロックをモニタの主・副走査の始点側
の隅に偏位させて表示させれば（請求項（９））、長い
欠陥全体をモニタに表示することが可能になり、欠陥が
見易くなる。

この発明は欠陥を含むブロックが離散している場合に
は、これらのブロックのみを集めてモニタに表示するこ
とができる（請求項（10））。

この発明はさらに欠陥を含むブロックをモニタに表示
するだけでなく、このブロックの位置をプリンタなどに
記録するようにしたり（請求項（11））、フレームメモ
リの内容あるいはモニタ表示画面などの画像データを記
憶するようにしてもよい（請求項（15））。ここに記録
は検査者の指令に基づき手動で行うもの（請求項（1
2））、自動で行うものが可能である（請求項（1
3））。

さらに複数の欠陥のうち最大の欠陥を含むブロックが
モニタの所定位置に来るようにすれば（請求項（1
4））、１つのモニタ画面内に複数の欠陥を同時に表示
することにより、バルクメモリやフレームメモリなどの
必要数を減らしたり、多数の欠陥を比較しながら欠陥を
監視し易くすることができる。

またモニタには、欠陥を含む画像の静止画と共に動画
として表面画像を連続的に表示するようにすれば（請求
項（16））、欠陥周囲の表面状態を比較することによ
り、より正確な判断が行える。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例のブロック図、第２図は
画像領域の対応関係を示す概念図、第３図は画像信号等
の出力波形図である。第４図は第２の実施例のブロック図、第５図は画像領域
の対応関係を示す概念図である。第６図は第３の実施例を示すブロック図、第７図はその
表示領域の対応を示す概念図である。第８図は第４の実施例のモニタ表示例を示す図である。第９図は第５の実施例を示すブロック図、第10図はその
モニタ表示例を示す図である。第11図はこのような場合における表示領域と欠陥の形状
との関係を示す図、第12A図はこの欠陥がモニタから飛
び出した状態を、また第12B図はモニタに入るようにし
た状態を示す。第13図は従来装置のブロック図、第14図はモニタに表示
される被検査材の表示領域を示す図である。 50……被検査材、 58……画像検出手段、 70……主走査ライン、 76……欠陥判別手段、 78、178……ブロック判別手段、 82、182……バルクメモリ、 84……書込み制御手段、 86、186……切出し制御手段、 92……モニタ、 102……倍率変更手段、 104……表示メモリ、 178a……欠陥メモリ、 200……動画用フレームメモリ。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査材の表面を走査して得た画像信号か
ら、被検査材の欠陥を検出してモニタに表示する欠陥検
査装置において、被検査材の連続する所定数の走査ラインを順次読込んで
記憶するバルクメモリと、前記画像信号から被検査材の
欠陥を判別する欠陥判別手段と、前記バルクメモリに記
憶された前記被検査材の表面を複数のブロックに分け前
記検出した欠陥を含むブロックを求めるブロック判別手
段と、前記欠陥を含むブロックを含み所定数のブロック
の走査ラインを読み込むとバルクメモリの書き込みを一
時停止させる書き込み制御手段と、このバルクメモリの
データから欠陥を含むブロックを含む所定数のブロック
を切り出してフレームメモリに移す切出し制御手段と、
前記フレームメモリの内容を表示するモニタ手段とを備
えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】バルクメモリおよびフレームメモリをそれ
ぞれ１個づつ備える請求項（１）の欠陥検査装置。
【請求項３】バルクメモリを複数個備え、書き込み制御
手段はその一方が書き込み停止中に他方に書き込みを継
続させる請求項（１）の欠陥検査装置。
【請求項４】フレームメモリを複数個備え、モニタに順
次表示する画像を異なるフレームメモリに順次メモリし
ておく請求項（１）の欠陥検査装置。
【請求項５】請求項（１）において、フレームメモリの
内容を受け取って表示倍率を変更する倍率変更手段と、
倍率変更済みのデータを記憶する表示メモリとを備え、
表示メモリの内容をモニタに表示する欠陥検査装置。
【請求項６】切出し制御手段は、欠陥を含むブロックの
みを切出してフレームメモリに移す請求項（１）の欠陥
検査装置。
【請求項７】切出し制御手段は、欠陥を含むブロックと
それを囲むブロックとを切出し、欠陥を含むブロックを
モニタ中央付近に表示させる請求項（１）の欠陥検査装
置。
【請求項８】ブロック判別手段は、欠陥を含むブロック
内の欠陥が位置する象限を判別し、切出し制御手段はこ
の欠陥を含む象限に隣接する他の３つのブロックを共に
切出してフレームメモリに移す請求項（１）の欠陥検査
装置。
【請求項９】切出し制御手段は、バルクメモリ内の最初
の欠陥を含むブロックをモニタの画像表示エリアの走査
開始側の隅に偏位させて複数のブロックをフレームメモ
リに移す請求項（１）の欠陥検査装置。
【請求項１０】切出し制御手段は、欠陥を含む複数のブ
ロックをそれぞれ異なるフレームメモリに移し、モニタ
手段はこれらの欠陥を含む複数のブロックを同時に表示
する請求項（１）の欠陥検査装置。
【請求項１１】欠陥を含むブロックの位置を記録する記
録手段を持つ請求項（１）の欠陥検査装置。
【請求項１２】記録手段は、検査者の指令に基づいてブ
ロックの位置を記録する請求項（10）の欠陥検査装置。
【請求項１３】記録手段は、欠陥を含むブロックを自動
で記録し出力する請求項（10）の欠陥検査装置。
【請求項１４】ブロック判別手段は、バルクメモリに記
憶されたデータに含まれる複数の欠陥のレベルを比較
し、大きいレベルの欠陥を含むブロックを優先させて切
出しまたモニタに表示する請求項（１）の欠陥検査装
置。
【請求項１５】フレームメモリの記録内容およびモニタ
表示画面との少くとも一方を記録する記録手段を備える
ことを特徴とする請求項（１）の欠陥検査装置。
【請求項１６】請求項（１）において、検出された画像
信号によってデータを連続して書き換える動画用フレー
ムメモリを備え、前記モニタにはバルクメモリから切出
した欠陥を含む画像を静止画として、また前記動画用フ
レームメモリの内容を動画として並べて表示することを
特徴とする欠陥検出装置。