JP2577038B2

JP2577038B2 - 圧力センサ

Info

Publication number: JP2577038B2
Application number: JP63080398A
Authority: JP
Inventors: 正喜江刺
Original assignee: Shingijutsu Kaihatsu Jigyodan
Current assignee: Shingijutsu Kaihatsu Jigyodan
Priority date: 1988-04-01
Filing date: 1988-04-01
Publication date: 1997-01-29
Anticipated expiration: 2012-01-29
Also published as: JPH01253627A

Description

【発明の詳細な説明】（技術分野）この発明は、圧力センサに関するものである。さらに
詳しくは、この発明は、臨床医学における血管圧や心臓
内圧や脳内圧、膀胱内圧などの生体圧を連続的にモニタ
リングすることのできる体内埋め込み型の圧力センサに
関するものである。

（背景技術）医療技術の進歩にともなって、生体の諸機能をモニタ
リングする機器を体内に埋め込む方式が注目されてい
る。

しかしながら、体内センサを埋め込むためには、従来
にもまして、小型・低消費電力であり、信号線の取り出
しが容易であることと同時に、長期的にも安定であるこ
とが必要になっている。

従来より知られている圧力センサとしては、シリコン
基板上に形成したダイヤフラムを用いて、その圧力によ
る変形量をシリコン素子のピエゾ抵抗効果により測定す
るものが一般的であった。しかしながら、この従来測定
法においては、消費電力が大きく、小型化には限界があ
るという基本的な問題があった。また一方、従来公知の
容量型圧力センサの場合には、低消費電力であり、小型
化に有利であることが知られていたが、製造技術の面で
の制約が大きく、さらにはインピーダンスが高くなるこ
とから雑音に弱いという問題があった。

（発明の目的）この発明は、以上の通りの問題点に鑑みてなされたも
のであり、信号処理回路を圧力センサと一体とすること
により低雑音化を実現し、また２線式出力方式を採用す
ることによりテレメトリーシステムを容易とし、かつ体
内埋め込みを可能とする容量型圧力センサを提供するこ
とを目的としている。

（発明の開示）この発明は、上記の目的を実現するために、シリコン
基板とガラル基板とが接合され、シリコン基板の一部に
設けられたダイヤフラムとガラス基板との間に圧力検出
用の気密封止ギャップが形成されており、圧力の変化に
よって発生する前記ダイヤフラムの変形を容量変化とし
て検出する容量型の体内埋め込み型圧力センサであっ
て、前記ダイヤフラムに対向したガラス基板上には、一
方の電極が配設され、シリコン基板の一部に設けられた
ダイヤフラムの面が他方の電極を構成するものであり、
シリコン基板とガラス基板との間に前記気密封止ギャッ
プとは独立して気密封止された基準圧室が形成されてな
り、シリコン基板の基準圧室を形成する部分には圧力セ
ンサの信号を処理する信号処理回路が集積されており、
ガラス基板の基準圧室を形成する部分には信号線取り出
し用貫通穴が上下方向に設けられ、該貫通穴より信号線
を取り出し、貫通穴を接着剤で密封し信号線をガラス基
板に一体化して固定してなることを特徴とする体内埋め
込み型の圧力センサを提供する。

以下、図面に沿ってこの発明について詳しく説明す
る。

第１図は、この発明の基本的な構造を断面として例示
したものである。

この例においては、シリコン基板（１）上に、ダイヤ
フラム（２）を有する容量型圧力センサと、容量を検出
するシリコン基板（１）とガラス基板（４）との間の空
隙に配設した基準圧室のシリコン基板（１）に設けた信
号処理回路（３）とを集積化しており、またこれらを有
する素子を完全に封止するために、ガラス基板（４）を
シリコン基板（１）と接合し、信号処理回路（３）から
の信号線（５）はガラス基板（４）に開孔した上下方向
の貫通穴に接着剤（６）により密着固定され外部に取り
出す構成としている。この信号線の取り出し構造は極め
て特徴的なものであって、高精度の信号処理を可能とす
る手段となっている。

この構造において、ダイヤフラム（２）の形成には、
マイクロマシニングの技術を用いることができる。これ
は、ある種のエッチング液を用いるとシリコン基板の結
晶軸によってエッチング速度が異なることやボロンを大
量にドープしたP⁺層でエッチングを停止することができ
ることを利用するものである。一般に、この目的のため
に用いられるエッチング液は、EPW（エチレンジアミン
−ピロカテコール−水）液やKOH液などがある。第２図
は、このマイクロマシニングプロセスによって形成した
ダイヤフラム（２）の構造を拡大して示したものであ
る。この例においては、所望のダイヤフラムの厚みと表
面からの深さを得るために、P⁺を拡散させている。

また、（100）面の基板を用い、ダイヤフラム以外の
部分を、SiO₂層をマスクとして上記のエッチング液でエ
ッチングし、（111）面のエッチング速度が遅いことを
利用して第２図のようなダイヤフラムを形成している。

たとえば、具体的には、500μｍ×500μｍ、厚み20μ
ｍのダイヤフラム（２）を形成することができ、表面か
らの深さを１μｍとすることができる。

この場合の１μｍの深さが、コンデンサを形成するギ
ャップとなり、またP⁺層をコンデンサの一方の電極とす
ることができる。この点もこの発明の大きな特徴の一つ
である。

この発明はまた、信号処理回路（３）をシリコン基板
（１）上に集積化したことも特徴としている。この点に
ついては、特に、1fF程度の微小容量を検出するために
は、容量センサとその検知回路を非常に接近させ外部か
らの雑音混入を極力減らすことが必要になってくる。ま
た、体内埋め込み型とするために信号処理回路（３）の
低消費電力化と出力線の低減化が必要となる。このた
め、この発明においては、電源供給と信号線を共用とす
る２線方式の出力線を採用することができる。低消費電
力化のためには新規な回路構成を採用することができ
る。

さらにまた、センサを体内埋め込み型とするために
は、ダイヤフラム（２）からなる容量型の圧力センサと
信号処理回路（３）が完全に気密性を保つことが必要で
ある。このためには、ガラス基板（４）とシリコン基板
（１）との接合に陽極接合を用いた完全シール装着技術
を採用することができる。この方法は、この発明によっ
て初めて実現されたものである。

すなわち、ガラス基板（４）には、コンデンサを構成
するもう一方の電極パターンをCr−Auなどの蒸着膜を用
いて形成し、位置合わせ装置のもとでシリコン基板
（１）と接合する。この際の接合技術としては、すでに
知られている種々の手法を用いることができる。このう
ちの好適なものとしては陽極接合法がある。

第３図にはこの陽極接合の一例を示している。

セラミックヒータ（７）上にシリコン基板（１）とガ
ラス基板（４）をパターン位置合わせして重ね合わせ
る。ガラス基板（４）には、Cr−Au基板（８）をあらか
じめ形成してある。電圧は、ガラス基板（４）側がマイ
ナス、シリコン基板（１）側がプラスになるように印加
する。加熱温度が、たとえば200〜600℃程度の範囲とす
ることができるが、好適には300〜500℃とする。また、
電圧はたとえば、300〜1000V程度の範囲とすることがで
きるが好適には、500Vである。

Cr−Au電極（８）は、シリコン基板（１）上に拡散し
たn⁺層（９）と接合し、信号処理回路（３）と接続す
る。従来の陽極接合法においては、内部からの電気配線
部の取り出し部（フィードスルー部）を気密封止するこ
とが難しかったが、この発明では、n⁺層（９）を用い
て、ガラス基板（１）側の電極と接続する構造とするこ
とにより、完全密閉構造の形成を実現している。

また、この陽極接合の際に用いる高電界の影響から信
号処理回路（３）を保護するために、ガラス基板（４）
の該当する部分に導電膜からなる静電シールドを設ける
ことも有利である。

次に、この発明の一つの実施例としての容量読み出し
回路の例を第４図に示す。

この回路は定電流源とフリップフロップ回路を用いて
基準容量C_Rと圧力センサの容量C_Xを交互に充放電するこ
とによって、容量をその大きさに比較する時間間隔の信
号パルスに変化する方式である。

信号変化時のCMOS回路の消費電流が流れる特長を利用
し、集積化センサへの供給電流から上記の信号パルスを
取り出す。

信号処理回路（３）としては、もちろんこの実施例に
示したものに限定されることはない。また、誘導結合型
電源供給方式とすることにより、無線化することも可能
であり、多チャンネル化することもできる。

この発明の以上の実施例の体内埋め込み型圧力センサ
についての出力電圧と圧力との関係を具体的に例示した
ものが第５図である。8.3μV/V/mmHgという高感度を実
現していることがわかる。

（発明の効果）以上のように、この発明の体内埋め込み型圧力センサ
によれば以下のような効果が得られる。

（Ａ）シリコン基板とガラス基板との界面だけで気密封
止ギャップと基準圧室とが完全密封されることから、圧
力検出を正確に行うことができる。そして、係る密封構
造は簡単な構造であることから製造が容易でかつ確実で
あり、安定した製品を安価に製造することができる。

（Ｂ）ガラス基板の基準圧室を形成する部分に信号線取
り出し用貫通穴が上下方向に設けられ、該貫通穴より信
号線を取り出し、貫通穴を接着剤で密封し信号線をガラ
ス基板に一体化して固定するような構造を採用している
ことから、基準圧室内の気体が信号線取り出し部から漏
出したり、逆に、外部から信号線取り出し部を介して基
準圧室内へ流入したりすることがなく、とりわけ、該圧
力センサを体内に埋め込んだ状態においても、体液等が
信号線取り出し部から浸入し内部の信号処理回路に損傷
を与えたりすることがない。

また、係る信号線は、ガラス基板に設けられた上下方
向の貫通穴に接着剤により一体固定された構造であるこ
とから、簡単な構造により信号線の密封を容易に、か
つ、安価に行うことができる。

（Ｃ）基準圧室からの信号線の取り出しを、ガラス基板
の基準圧室を形成する部分に開孔した信号線取り出し用
の上下方向の貫通穴から行うようにしたことから、リー
ク電流の発生がなく信号の正確な取り出しを行うことが
できる。

従って、高感度であり、かつ小型で低消費電力の性能
を有し、長期的に安定でもある。そのため医療の高度化
への貢献は極めて大きなものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の圧力センサーの一例を示した断面
図である。第２図は、ダイヤフラムを示した拡大断面図
である。第３図は、この発明の陽極接合の一例を示した
断面図である。第４図は、容量読み出し回路を例示した回路図である。第５図は、出力電圧と圧力との相関図である。１……シリコン基板２……ダイヤフラム３……信号処理回路４……ガラス基板５……信号線６……接着相７……セラミックヒータ８……Cr−Au電極９……n⁺層

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】シリコン基板とガラス基板とが接合され、
シリコン基板の一部に設けられたダイヤフラムとガラス
基板との間に圧力検出用の気密封止ギャップが形成され
ており、圧力の変化によって発生する前記ダイヤフラム
の変形を容量変化として検出する容量型の体内埋め込み
型圧力センサであって、前記ダイヤフラムに対向したガラス基板上には、一方の
電極が配設され、シリコン基板の一部に設けられたダイ
ヤフラムの面が他方の電極を構成するものであり、シリコン基板とガラス基板との間に前記気密封止ギャッ
プとは独立して気密封止された基準圧室が形成されてな
り、シリコン基板の基準圧室を形成する部分には圧力セ
ンサの信号を処理する信号処理回路が集積されており、
ガラス基板の基準圧室を形成する部分には信号線取り出
し用貫通穴が上下方向に設けられ、該貫通穴より信号線
を取り出し、貫通穴を接着剤で密封し信号線をガラス基
板に一体化して固定してなることを特徴とする体内埋め
込み型の圧力センサ。
【請求項２】信号処理回路の出力線を、電源供給と信号
伝達の両機能を有する２線式とした請求項１記載の体内
埋め込み型の圧力センサ。