JP2574019Y2 - IC test equipment handler - Google Patents

IC test equipment handler

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JP2574019Y2
JP2574019Y2 JP1992062696U JP6269692U JP2574019Y2 JP 2574019 Y2 JP2574019 Y2 JP 2574019Y2 JP 1992062696 U JP1992062696 U JP 1992062696U JP 6269692 U JP6269692 U JP 6269692U JP 2574019 Y2 JP2574019 Y2 JP 2574019Y2
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JP
Japan
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data
tray
strobe
board
handler
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昭雄 小島
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Advantest Corp
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Advantest Corp
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Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この考案は、IC試験装置ハンド
に関し、特にハンドラによるIC搬送用トレイの搬送
工程において光学式センサにより搬送用トレイ或はボー
ドの認識を行うIC試験装置ハンドラに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to an IC testing device hand.
In particular, the present invention relates to an IC test apparatus handler for recognizing a transfer tray or a board by an optical sensor in a process of transferring the IC transfer tray by the handler .

【0002】[0002]

【従来の技術】ICについての高低温試験を実施するに
際して、ハンドラの内部においてユーザトレイに載置さ
れているICをハンドラ内の専用トレイに転送載置し直
し、この専用トレイを恒温槽に送り込んでICについて
の高低温試験を実施する。高低温試験実施後、当該IC
を再び先のユーザトレイ或はユーザボードに転送載置し
直す訳であるが、これら搬送工程において搬送用トレイ
或はボードの現在位置の認識およびその存否の管理を実
施する必要がある。
2. Description of the Related Art When conducting a high / low temperature test on an IC, the IC placed on a user tray inside the handler is transferred and placed again on a dedicated tray in the handler, and the dedicated tray is sent to a thermostat. Performs a high / low temperature test on the IC. After conducting the high / low temperature test, the IC
Is transferred again to the previous user tray or user board. However, in these transfer steps, it is necessary to recognize the current position of the transfer tray or board and manage the presence or absence thereof.

【0003】[0003]

【考案が解決しようとする課題】IC搬送用トレイ或は
ボードの存否はセンサを具備することによりその認識を
することができる。しかし、搬送工程において、何等か
の理由により搬送用トレイ或はボードが入れ替わってし
まっている場合は、もはや存否を認識するセンサのみに
依っては真の搬送用トレイ或はボードの認識をすること
はできない。
The presence or absence of an IC transfer tray or board can be recognized by providing a sensor. However, in the transport process, if the transport tray or board is replaced for any reason, the true transport tray or board must be recognized only by the sensor that recognizes the presence or absence. Can not.

【0004】IC搬送用トレイ或はボードにバーコード
を付してこれを認識管理する試みもなされた。しかし、
ハンドラは−55℃から+150℃に亘る高低温の温度
範囲を取り扱うものであるところから、付されるバーコ
ードがこの温度範囲に耐えられない。また、ハンドラ内
におけるIC搬送用トレイ或はボードに付されたバーコ
ードとバーコードリーダーとの間の距離はバーコードの
読み取りには不適である上に、バーコードリーダーの形
状寸法もこれらの認識には不向きであった。
Attempts have also been made to attach a bar code to an IC transport tray or board and recognize and manage the bar code. But,
Since the handler handles a high and low temperature range from -55 ° C to + 150 ° C, the attached barcode cannot withstand this temperature range. Further, the distance between the bar code reader and the bar code attached to the IC transport tray or board in the handler is not suitable for reading the bar code, and the shape and dimensions of the bar code reader are also recognized. Was unsuitable for

【0005】この考案は、上述の通りの問題を解消した
IC試験装置ハンドラを提供するものである。
[0005] This invention provides an IC test equipment handler which solves the above-mentioned problems.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】認識コードのデータ用の
データ穴12および認識コードのデータを取り込むパル
スを発生するストローブ穴11が形成されたIC搬送用
トレイ或はボード10を具備し、データ穴12のパター
ンに対応するデータ信号を発生するデータ検出光学式セ
ンサ40およびストローブ穴11に対応するストローブ
信号を発生するストローブ検出光学式センサ30を1組
具備し、これらの信号の検出はトレイ或はボード10の
搬送に対応して順次に実施され、ストローブ信号に同期
してデータ信号により順次にシフトされるシフトレジス
タ52を具備し、予めセットしておいたカウントデータ
をストローブ信号によりカウントダウンしてカウント0
になったところでCPUに対して割り込み信号を発生す
るアップ/ダウンカウンタ54を具備し、シフトレジス
タ52のデータ内容を読みだしてこれをトレイ或はボー
10の認識コードとするIC試験装置ハンドラを構成
した。
An IC transport tray or board is provided with a data hole for recognition code data and a strobe hole for generating a pulse for taking in the recognition code data. the strobe detection optical sensor 30 that generates a strobe signal corresponding to the data detection optical sensor 40 and strobe hole 11 to generate a data signal corresponding to the 12 patterns of the set <br/> provided, the detection of these signals Is the tray or board 10
It has a shift register 52 which is sequentially executed according to the transport and is sequentially shifted by a data signal in synchronization with a strobe signal.
Comprises an up / down counter 54 for generating an interrupt signal to the CPU upon reaching, this tray or baud read the data content of the shift register 52
Thus , an IC test apparatus handler used as a recognition code of the code 10 was constructed.

【0007】[0007]

【実施例】ICについての高低温試験を実施するに際し
て、ハンドラの内部においてユーザトレイに載置されて
いるICをハンドラ内の専用トレイに転送載置し直し、
この専用トレイを恒温槽に送り込んでICについての高
低温試験を実施する。高低温試験実施後、当該ICを再
び先のユーザトレイに転送載置し直す訳であるが、これ
ら搬送工程において専用トレイに認識(ID)コードを
付して当該トレイの現在位置の認識およびその存否の管
理を実施する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In conducting a high / low temperature test on an IC, an IC placed on a user tray inside the handler is transferred and placed on a dedicated tray inside the handler,
The exclusive tray is sent to a thermostat to perform a high / low temperature test on the IC. After performing the high / low temperature test, the IC is transferred and placed again on the previous user tray. In these transport processes, the identification (ID) code is attached to the dedicated tray to recognize the current position of the tray and to recognize the current position of the tray. Implement presence / absence management.

【0008】この考案の実施例を図1を参照して説明す
る。図1において、10はハンドラ内の専用トレイ或は
専用ボードを示す。トレイ10には予め2種類の穴が形
成されている。その内の一方は認識コードのデータ用の
データ穴12でり、各トレイ毎に相異なるパターンに形
成されている。他方は認識コードのデータを取り込むパ
ルスを発生するストローブ穴11であり、各トレイに共
通するものである。
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a dedicated tray or a dedicated board in the handler. Two kinds of holes are formed in the tray 10 in advance. One of them is a data hole 12 for data of a recognition code, and is formed in a different pattern for each tray. The other is a strobe hole 11 for generating a pulse for taking in the data of the recognition code, which is common to each tray.

【0009】トレイ10が矢印方向に走行する場合、図
示されない光源から送り出される光線を上述の穴11お
よび12により断続してLow レベルおよびHighレベルの
信号をそれぞれ発生し、これらをそれぞれのコンパレー
タ51およびコンパレータ53に入力する。データ穴1
2のパターンにより得られるデータ信号は、ストローブ
穴11により得られるストローブ信号に同期して、ラッ
チおよびシフトレジスタ52のデータを順次にシフトす
る。そして、ストローブ信号はアップ/ダウンカウンタ
54に予めセットしておいたカウントデータをカウント
ダウンし、カウント0になったところでCPUに対して
割り込み信号を発生する。割り込み信号発生後は、デー
タエラーの検査をしてラッチされたシフトレジスタ52
のデータ内容を読みだし、これをトレイ10の認識コー
ドとするものである。
When the tray 10 travels in the direction of the arrow, the light emitted from a light source (not shown) is intermittently transmitted through the holes 11 and 12 to generate low-level and high-level signals, respectively. Input to the comparator 53. Data hole 1
The data signal obtained by the pattern 2 shifts the data of the latch and shift register 52 sequentially in synchronization with the strobe signal obtained by the strobe hole 11. The strobe signal counts down the count data set in the up / down counter 54 in advance, and generates an interrupt signal to the CPU when the count reaches 0. After the occurrence of the interrupt signal, the shift register 52 latched by checking for a data error and
Is read out, and this is used as the identification code of the tray 10.

【0010】次に、図2のフローチャートおよび図3の
タイミングチャートについて説明する。 最初に、カウンタおよびシフトレジスタをクリアす
る(カウンタ、各種ステータスのクリア)。 アップ/ダウンカウンタ54のカウント数をセット
する。このセット数はストローブ穴11の数と同数とす
るが、これはトレイ10走行中の最後のストローブ穴1
1を検出したときに割り込み信号を発生するためであ
る。
Next, the flowchart of FIG. 2 and the timing chart of FIG. 3 will be described. First, the counter and the shift register are cleared (counter and various statuses are cleared). The count number of the up / down counter 54 is set. The number of the sets is the same as the number of the strobe holes 11, but this is the number of the last strobe holes 1 while the tray 10 is running.
This is because an interrupt signal is generated when 1 is detected.

【0011】 図示されないアクチュエータを動作させ、トレイ1
0を走行させる。 割り込み信号が発生したら、IDコードが発生した
か否かのReady チェックをする。IDINT は正規のID COU
NTで設定したストローブの数だけ入力されたとき発生す
る。 オーバーフローしているか否かをチェックする(ID
RDY はIDIDT と同一タイミングで変化するので、割り込
み発生後は必ず何れかのchのIDRDY が立っていること
になる)。
By operating an actuator (not shown), the tray 1
Run 0. When an interrupt signal is generated, a Ready check is performed to determine whether an ID code has been generated. IDINT is the regular ID COU
Occurs when the number of strobes set in NT is input. Check for overflow (ID
Since RDY changes at the same timing as IDIDT, IDRDY of any channel always stands after an interrupt occurs.)

【0012】 IDコードを読み込む。 * データ入力(IDD) 多く入力された場合・・・必ずオ
ーバーフローのステータスが立つ。 * ストローブ入力(IDE) が多く入力された場合・・・
最後の16ビット分のデータが残る。
The ID code is read. * Data input (IDD) When a large number of data are input: The overflow status always appears. * When many strobe inputs (IDE) are input ...
The last 16 bits of data remain.

【0013】[0013]

【考案の効果】以上の通りであって、この考案のIC
験装置ハンドラはトレイ或はボード自体を認識するもの
であるので、搬送工程において何等かの理由によりトレ
イ或はボードが入れ替わってしまっている場合も、当該
トレイ或は当該ボードの存否の判断よび認識をするこ
とは容易である。そして、付された認識コードは高低温
の温度範囲において充分に耐え得るトレイそのものに形
成された穴であるので、ハンドラの−55℃から+15
0℃に亘る高低温の温度範囲においても、この温度範囲
に充分に耐え得るものであることは言うまでもない。ま
た、この考案のデータ穴12のパターンに対応するデー
タ信号を発生するデータ検出光学式センサ40およびス
トローブ穴11検出センサは30は光学式のものであっ
て、IC試験装置ハンドラと言う特殊な用途における読
み取り、認識に好適である。更に、時間あたりの処理個
数を問題とし、トレイ或はボード検出にこれを停止せし
めるという余分な時間をできる限り削減したいIC試験
装置ハンドラにおいては、一度トレイ或はボードが停止
した後にセンサ検出を行う同時検出装置は不利となり、
トレイ或はボードを確認するに1組のセンサを使用して
信号を順次に検出していくこの発明のIC試験装置ハン
ドラは大きな効果を発揮する。 また、1組のセンサによ
り順次検出することにより、認識装置のデータ穴、スト
ローブ穴の数に関係なく、センサはそれぞれ1組ずつあ
れば事足りることになるので同時検出の如くデータ穴、
ストローブ穴の数に対応するセンサ数は必要としない。
これにより、低コストで高信頼性のIC試験装置ハンド
ラを実現することが出来る。 ここで、この出願の明細書
に記載されるとおり、この考案のトレイ或はボードの認
識装置は、常温雰囲気だけでなく、低温高温雰囲気にお
いても使用することも考慮したものである。特に、低温
から高温へと高範囲な温度雰囲気状態を実現するIC試
験装置ハンドラのチェンバ部内においてトレイ或はボー
ドの認識を行う場合に、光ファイバを使用することによ
りセンサ部をチェンバ外部に設けることが出来、装置の
設計、信号の認識をする上において好都合である。
[Effect of the Invention] As described above, the IC test of the present invention is performed.
Since test device handler is one that recognizes the tray or board itself, even if the tray or board by something like of reasons in the transport process has gone interchanged, and your judgment of existence of the tray or the board It is easy to recognize. Since the attached recognition code is a hole formed in the tray itself which can sufficiently withstand a high and low temperature range, the handler can be used from -55 ° C to + 15 ° C.
Needless to say, even in a high / low temperature range of 0 ° C., the material can sufficiently withstand this temperature range. The data detection optical sensor 40 and the strobe hole 11 detection sensor 30 for generating a data signal corresponding to the pattern of the data hole 12 of the present invention are optical type and are specially called IC test equipment handler. It is suitable for reading and recognition in. In addition, the number of pieces processed per hour
Count the number and stop this for tray or board detection.
IC test that wants to reduce extra time as much as possible
In equipment handler, tray or board stops once
The simultaneous detection device that performs sensor detection after
Use a set of sensors to identify a tray or board
The IC test equipment of the present invention which detects signals sequentially.
Dora is very effective. Also, one set of sensors
Data holes and strikes in the recognition device
Regardless of the number of lobe holes, each set of sensors
Data holes like simultaneous detection,
The number of sensors corresponding to the number of strobe holes is not required.
As a result, a low-cost and highly reliable IC test equipment hand
Can be realized. Here, the specification of this application
As described in the above, the tray or board of this invention is approved.
The sensing device can be used not only at normal temperature but also at low temperature and high temperature.
However, it is also possible to use them. Especially at low temperatures
IC test that realizes a wide range of temperature and ambient conditions from temperature to high temperature
Tray or board in the chamber of the test equipment handler.
The use of optical fibers when recognizing
The sensor section can be installed outside the chamber,
This is convenient for design and signal recognition.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この考案の実施例を説明する図。FIG. 1 is a diagram illustrating an embodiment of the present invention.

【図2】この考案のフローチャート。FIG. 2 is a flowchart of the present invention.

【図3】この考案のタイミングチャート。FIG. 3 is a timing chart of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 IC搬送用トレイ 11 ストローブ穴 12 データ穴 30 ストローブ検出光学式センサ 40 データ検出光学式センサ 52 シフトレジスタ 54 アップ/ダウンカウンタ Reference Signs List 10 IC transport tray 11 Strobe hole 12 Data hole 30 Strobe detection optical sensor 40 Data detection optical sensor 52 Shift register 54 Up / down counter

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H05K 13/02 G01R 31/28 X ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI H05K 13/02 G01R 31/28 X

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項1】 認識コードのデータ用のデータ穴および
認識コードのデータを取り込むパルスを発生するストロ
ーブ穴が形成されたIC搬送用トレイ或はボードを具備
し、データ穴のパターンに対応するデータ信号を発生す
るデータ検出光学式センサおよびストローブ穴に対応す
るストローブ信号を発生するストローブ検出光学式セン
サを1組具備し、これらの信号の検出はトレイ或はボー
ドの搬送に対応して順次に実施され、ストローブ信号に
同期してデータ信号により順次にシフトされるシフトレ
ジスタを具備し、予めセットしておいたカウントデータ
をストローブ信号によりカウントダウンしてCPUに対
して割り込み信号を発生するアップ/ダウンカウンタを
具備し、シフトレジスタのデータ内容を読みだしてこれ
をトレイ或はボードの認識コードとすることを特徴とす
るIC試験装置ハンドラ。
An IC transport tray or board having a data hole for recognition code data and a strobe hole for generating a pulse for taking in the recognition code data, and a data signal corresponding to the data hole pattern. and a set including a strobe detection optical sensor for generating a strobe signal corresponding to the data detection optical sensor and strobe holes generates, detection of these signals tray or baud
A shift register that is sequentially executed in response to the transfer of data, and sequentially shifted by a data signal in synchronization with a strobe signal, and counts down preset count data by the strobe signal to the CPU. An IC test apparatus handler comprising an up / down counter for generating an interrupt signal, reading data contents of a shift register, and using the read data as a tray or board recognition code .
JP1992062696U 1992-09-07 1992-09-07 IC test equipment handler Expired - Lifetime JP2574019Y2 (en)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3246308B2 (en) * 1995-12-04 2002-01-15 日立電子エンジニアリング株式会社 IC device transfer device
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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