JP2571393B2 - 絶対値型磁気スケール装置 - Google Patents

絶対値型磁気スケール装置

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JP2571393B2
JP2571393B2 JP62237057A JP23705787A JP2571393B2 JP 2571393 B2 JP2571393 B2 JP 2571393B2 JP 62237057 A JP62237057 A JP 62237057A JP 23705787 A JP23705787 A JP 23705787A JP 2571393 B2 JP2571393 B2 JP 2571393B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は直線移動物体の絶対位値又は変位検出の計測
等に用いられる絶対値型磁気スケール装置に関する。
〔発明の概要〕
本発明は直線移動物体の絶対位置の計測等に用いられ
る絶対値型磁気スケール装置に関し、同一ビットの組み
合せコードが発生しない様にトラック上へ直列的にコー
ドの磁気パターンを記録した磁気スケールと、磁気スケ
ールの磁気パターンを検出すると共に該磁気パターンの
1ピッチ間隔内に対向して配された少なくとも3個以上
の検出ヘッド群と、磁気パターンの1ピッチ間隔と次の
1ピッチ間隔の隣接境界に持ち来された上記検出ヘッド
群の1つを選択して切換データを出力する比較手段と、
少なくとも3個以上の検出ヘッド群のうち磁気パターン
の1ピッチ間隔内にある検出ヘッド側に上記切換データ
で切換えられる切換手段とを具備し、検出ヘッド群と、
得られた不連続な非繰り返しコード信号をトラックの全
長にわたり連続的なデジタルデータ信号に変換するデコ
ーダにより磁気スケールの全長にわたって絶対値位置信
号を発生させることで、磁気スケールの幅を小さくし、
トラック間干渉がない様にすると共に磁気パターンの1
ピッチ間隔と次の1ピッチ間隔の隣接境界で発生する不
確定な信号の発生を回避し、正確な絶対位置信号を得る
様にしたものである。
〔従来の技術〕
計測や位置決め制御等に用いられる磁気スケール装置
には絶対値型磁気スケール装置と、インクリメンタル型
(Incremental type:増分型)磁気スケール装置が知ら
れている。インクリメンタル型磁気スケール装置では移
動物体の単位変位毎に1単位のパルスを指令数値の与え
らえた係数回路にフィードバックさせるものであり、絶
対値型磁気スケール装置は移動物体の位置座標値即ち、
原点が常に固定されたものである。この絶対値型磁気ス
ケール装置は、各種産業用機械において直線移動物体の
位置、或いは絶対位置の計測等に多用されている。特
に、インクリメンタル型磁気スケール装置と異なり、一
旦電源を切っても原点に戻す必要性がなく、始動時、或
いは非常時からの起動が早い、外部からのノイズの影響
による累積誤差が発生しない、検出ヘッドがスケールか
ら外れてもスケール上に戻すことにより、その点の絶対
位置が即座に得られる。その上、磁気式であることなど
から、各種産業用機械等の悪環境の使用に於ても、高い
信頼性が得られる特長を有する。
従来の絶対値型磁気スケール装置の基本的構成を第9
図に示す。同図で、磁気スケール(1)上には計測に必
要なnビット(第9図では5ビットを示す)のビット数
と同数の磁気トラック(2)を所定のトラック間隔
(3)を介して磁気スケール(1)の幅方向に並列的に
設ける。この磁気トラック(2)上に並列2進コードの
論理値“0"を磁気パターン磁極のS極に、論理値“1"を
磁気パターン磁極のN極に対応させて記録する。検出ヘ
ッド(4)はn個の磁気ヘッドa〜n(第9図では5個
の磁気ヘッドa〜e)から成り、磁気トラック(2)に
ヘッドギャップが対向している。この検出ヘッドは静磁
界検出が可能な磁束密度反応型の磁気ヘッドで並列2進
コードを検出する。検出ヘッド(4)で検出された検出
信号a′〜e′はデテクタ(5)内の零クロス点を閾値
として+−検出信号を“1",“0"とする比較器(6a)〜
(6e)でデジタル化され、これにより、検出ヘッドの現
在位置の2進絶対値デジタル信号(第9図では“00111"
=7を示す)を得ることが出来る。尚第9図で矢印±は
磁気スケール(1)又は検出ヘッド(4)の計測方向を
示す。又、上述の例では磁気スケール(1)に記録され
る磁気パターンを2進コードで説明したが、その他、一
般にはBCD(2進化10進数)、交番2進などのコードが
用いられている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来の絶対値型磁気スケール装置はインクリメント型
に比べて優れた点を有するが、磁気スケール(1)の幅
方向に並列的に磁気トラック(2)を並べるために磁気
トラック(2)間での磁気的干渉を防止するためにトラ
ック間隔(3)を設ける必要がある。このため磁気スケ
ール(1)の全幅が非常に大きくなり、実用に際してト
ラック間隔(3)が問題となる。
更に、磁気スケール(1)を長尺物にしようとする
と、計測に必要なビット数が増加するために磁気トラッ
ク(2)の数を増やさなければならず、磁気スケール
(1)の全幅が非常に大きくなる問題が生ずる。ここで
磁気スケールの全幅を小さくすると、各ビットの磁気ト
ラック(2)の幅とトラック間隔(3)が極端に小さく
なり、磁気ヘッドa〜eのギャップが磁気トラック
(2)からずれる問題と磁気トラック(2)間のトラッ
ク間隔(3)の余裕度が小さくなる等の欠点が発生す
る。更に、磁気スケールのパターンの1ピッチ間隔間で
の記録コードの切り換え点で不確定な信号を発生する問
題があった。
本発明は叙上の欠点に鑑みなされたものであり、その
目的とするところは磁気トラック数を減らして磁気スケ
ール(1)の全幅を小さくし、磁気トラック数を増加す
ることなく、長尺な絶対値型磁気スケール装置を得ると
共に磁気パターンの1ピット間隔間で発生する絶対位置
不正確部分を回避した絶対位置信号を得ようとするもの
である。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の絶対値型磁気スケール装置は第1図に示す様
に同一ビットの組み合わせコードが発生しない様に磁気
トラック(2)上へ直列的に該コードの磁気パターンを
記録した磁気スケール(1)と、磁気スケール(1)の
磁気パターン(8)を検出すると共に該磁気パターン
(8)の1ピッチ間隔P内に対向して配された少なくと
も3個以上の検出ヘッド群Aa〜Ag,Ba〜Bg,Ca〜Cgと、磁
気パターン(8)の1ピッチ間隔Pと次の1ピッチ間隔
Pの隣接境界に持ち来された上記検出ヘッド群Aa〜Ag,B
a〜Bg,Ca〜Cgの1つを選択して切換データを出力する比
較手段(9)と、少なくとも3個以上の検出ヘッド群Aa
〜Ag,Ba〜Bg,Ca〜Cgのうち磁気パターン(8)の1ピッ
チ間隔P内にある検出ヘッド群Aa〜Ag,Ba〜Bg,Ca〜Cg側
に切換データで切換えられる切換手段(10)とを具備
し、検出ヘッド群Aa〜Ag,Ba〜Bg,Ca〜Cgで得られた不連
続な非繰り返し位置信号コードを磁気トラック(2)全
長にわたり連続的なデジタルデータ信号に変換するデコ
ーダ(7)とにより磁気スケール(1)の全長にわたっ
て絶対値位置信号を発生させる様にしたものである。
〔作用〕
磁気スケール(1)に記録された同一ビットの組み合
せコードが発生しない磁気パターンは検出ヘッド(4)
によってアナログ信号として検出され、このアナログ信
号はデジタル化されて不連続な非繰り返しコード信号と
成されて、デコーダ(7)に供給される、デコーダ
(7)では不連続な非繰り返しコード信号を連続な数に
並び変えて絶対値不確定部分を回避したデジタル絶対値
位置信号に変換される。
〔実施例〕
以下、本発明の絶対値型磁気スケール装置の1実施例
を第1図乃至第4図を参照して説明する。
第1図は本発明の1実施例の系統図を示す。第1図で
磁気スケール(1)は全長がLmmの1本の磁気トラック
(2)を有し、この磁気トラック(2)にはnビットの
組合せシリアルコードが磁気スケール(1)の全長Lに
わたって一度しか発生しないように組合されると共に1
ビット長のピッチがPと成る様に非繰り返し磁気パター
ンとして記録される。本例では第2図に示すように7ビ
ット非繰り返しシリアルコードの配列で論理値“1"“0"
を磁極N,Sに対応させて磁気スケール(1)の1本の磁
気トラック(2)上に非繰り返し磁気パターン(8)と
して記録する。検出ヘッド(4)としては、第1図に示
されるように1組nビット(本例ではn=7)の磁気ヘ
ッドa,b,c,d,e,f,gを用いる。磁気ヘッドa〜gを磁気
パターン(8)のピッチ間隔Pで直列に配置し、各磁気
ヘッドの検出面をトラックに非接触で対向させ、同図に
示す磁気スケール又は検出ヘッドを計測方向に移動して
計測を行なう。又、検出ヘッド(4)としては、磁気ス
ケール又は磁気ヘッドが静止していても検出可能な静磁
界検出アナログ出力型磁気ヘッドを用いる。検出ヘッド
(4)は磁気スケール(1)の磁気トラック(2)に記
録された非繰り返し磁気パターン(8)のS磁極(コー
ド論理値“0"に対応)ではマイナス電圧、N磁極(コー
ド論理値“1"に対応)ではプラス電圧のnビットに対応
するアナログ信号を検出する。第1図に示す検出ヘッド
(4)のi点での7つの磁気ヘッドa〜gの1ピッチP
変化毎の出力磁極を第4図Aに示す。検出ヘッド(4)
で得られた第4図Aに示す出力磁極はプラス・マイナス
のアナログ電圧に変換され、このアナログ信号はデテク
タ(5)内のn個の比較器(6a)〜(6n)に供給され、
マイナス電圧(S磁極)を論理値“0"にプラス電圧(N
磁極)では論理値“1"となる様なnビットの非繰り返し
デジタルコード出力と成されて次段のデコーダ(7)に
供給される。比較器(6a)〜(6g)からの7ビットの非
繰り返しデジタルコード出力を第4図Bに示す。この7
ビットの非繰り返しデジタルコード出力は第3図のコー
ド表に示される様に磁気スケール(1)の全長にわたっ
て1度しか発生されないため、磁気スケール(1)全長
Lに対応するnビットの非連続な絶対値デジタル信号と
考えてよい。デテクタ(5)内のデコーダ(7)にはRO
M、EPROM(書込み消去可能読取専用メモリ)等の記憶手
段又はハード構成のデコーダ回路を有し、この記憶手段
内に書き込まれた変換用デコードデータで非連続コード
は連続な(順列化)数に並び変え(再配置)ることによ
ってデコーダ(7)の出力r点には第4図Cに示す様に
Kビットの連続なデジタル絶対値位置信号が磁気スケー
ル(1)の全長にわたって得られる。
尚、本発明に用いられる磁気スケール(1)の全長Lm
mは磁気スケール(1)に書き込まれた非繰り返しコー
ドのビット数nと、このビットのピッチ長Pで定められ
下式から求められる。
Lmm=2n×P……(1) 上述の如く本例では、絶対値コードを磁気トラック上
に並列に並べる従来方式とは異なり、絶対値コードを直
列に並べるため、磁気スケール(1)上の磁気トラック
(2)の数は常に1本で済み、このことから、磁気スケ
ール(1)の幅を極端に小さくすることが可能となる。
又、磁気スケール(2)の長さを長くするために、計測
に必要なビットが増えて、非繰り返しコードピット数n
が変化しても、磁気トラック(2)の数は常に一本であ
り、並列トラックの数を増やすことなく長尺な磁気スケ
ールを得ることが出来る。更に、デテクタ(5)内のデ
コーダ(7)を用いて再配置を行なうため、同一磁気ス
ケール装置でデコーダ(7)のROM、EPROM等の記憶手段
の内容を変えるだけで、任意の関数(2進、BCD、交番
2進、等)及び、コードを出力することが可能となる。
第5図及び第6図は本発明の他の実施例を示すもので
ある。第1図〜第4図で示した実施例では第1図での比
較器(6a)〜(6g)の出力であるJ点波形のコード信号
の変化点では、即ち、1ビット長のピッチPと次のピッ
チPとの境界近傍を磁気ヘッドが移動する際に、各磁気
ヘッド間の物理的なずれなどの要因により、個々のヘッ
ド信号が多少前後することにより不確定な信号が発生
し、最終出力として連続的な絶対値信号が得られなくな
る。この様な要因を避けるための系統図及びタイムチャ
ートで第5図及び第6図に示されている。第5図で磁気
スケール(1)には、強磁性体のスケールベースにバリ
ウムフェライト系のゴム磁石テープを貼り付け、磁気ト
ラック(2)に例えば第2図で示す7ビットの非繰り返
しシリアルコードの磁気パターン(8)を記録する。こ
の場合に7ビットの非繰り返しシリアルコードを20mmの
ピッチPで記録する。又検出ヘッド(4)としては第5
図に示されるように、A組Aa〜Ag,B組Ba〜Bg,C組Ca〜C
g、各7ビット3組の磁気ヘッドをP/3ピッチ(20/3mm)
ずらせて配置してある。
検出ヘッド(4)のA〜C組の磁気ヘッドAa〜Ag,Ba
〜Bg,Ca〜Cgの7本のアナログ出力は各々7ビットの入
出力を持つ比較器(6a),(6b),(6c)に入力され、
比較器(6a),(6b),(6c)はプラス電圧(N磁極)
で“1"マイナス電圧(S磁極)で“0"を7ビットのデジ
タル信号として出力する。比較器(6a),(6b),(6
c)のl,n,p点の出力を第6図A,B,Cに示す。比較器(6
a),(6b)の7ビットのデジタル出力はデジタルスイ
ッチ(10)に供給される。このデジタルスイッチ(10)
の入力は7ビット×2、出力は7ビットで構成され、そ
の出力はデコーダ(7)に供給される。比較器(6b),
(6c)の各7ビットの出力はデジタル比較器(9)に供
給されて、デジタル比較器(9)内では7ビットの2組
の入力比較を行ない2組の信号が等しい時は“1"を出力
し、異なるときは“0"を出力する。デジタルスイッチ
(10)は7ビットの2組の比較器(6a),(6b)の出力
をデジタル比較器(9)からの1ビットのコントロール
信号Mで選択する。デコーダ(7)としては入力が7ビ
ット、出力が16ビットのEPROM等の記憶手段を用いる。
この記憶手段内には後述する再配置、順序化のためのデ
コードデータが書き込まれている。
上述のデテクタ(5)内のデジタル比較器(9)とデ
ジタルスイッチ(10)の動作を説明する。先ずB組磁気
ヘッドBa〜Bgから得られた7つのアナログ信号とC組磁
気ヘッドCa〜Cgから得られた7つのアナログ信号が比較
器(6b),(6c)でデジタル化され、コード信号として
比較器(9)に供給される。B,C組磁気ヘッドBa〜Bg,Ca
〜Cgから得られるこれら両コードの出力点n,pの信号が
等しいときにはデジタル比較器(9)は1ビットの“1"
のコントロール信号Mを出力し、デジタルスイッチ(1
0)はコントロール信号Mによって切換えられ、B組の
磁気ヘッドBa〜Bgから得られる比較器(6b)のn点で示
す出力を選択する。B,C組磁気ヘッドBa〜Bg,Ca〜Cgから
得られるこれら両コードの出力点n,pの信号が異なると
きは比較器(9)は1ビットの“0"のコントロール信号
Mを出力し、デジタルスイッチ(10)はコントロール信
号Mによって切換えられ、A組の磁気ヘッドAa〜Agから
得られる比較器(6a)のl点で示す出力を選択する。
これを第6図のl,n,p点の出力である非繰り返しコー
ド信号のピッチPのP/3=20/3の範囲のデータで考える
と、第6図Bの領域(14)と第6図Cに示す領域(15)
の7ビットのコードデータは「0000000」と「0000001」
と異なる、この場合デジタル比較器(9)のコントロー
ル信号Mは第6図Dに示す様に“0"となり、デジタルス
イッチ(10)は第6図Aに示す安定したA組の磁気ヘッ
ドのデータ「0000001」を選択する。次に第6図Bの領
域(17),(19)と第6図Cに示す領域(18),(20)
では7ビットのコードデータは「0000001」と「000000
1」で共に等しい。よってこの場合、デジタル比較器
(9)のコントロール信号Mは第6図Dに示す様に“1"
となりデジタルスイッチ(10)は第6図Bに示すB組の
磁気ヘッドBa〜Bgの7ビットコードデータ「0000001」
を選択する。その結果、デジタルスイッチ(10)の出力
であるq点のデータは第6図Eに示す様に「0000001」
となる。
即ち、A組磁気ヘッドAa〜Agが1ピッチPずれる不安
定な変化点(21)(第6図A参照)ではB組磁気ヘッド
Ba〜Bgの7ビットコードデータ「0000001」を選択し、
第6図Cに示すC組磁気ヘッドCa〜Cgの変化点(23)で
はA組の磁気ヘッド又はB組磁気ヘッドのどちらの7ビ
ットコードデータ「0000001」を選択しても、同じコー
ドデータが得られる。依ってデジタルスイッチ(10)の
出力点qのデータはB組磁気ヘッド出力のデータ及び位
相と同じになるが、第6図Bに示すB組磁気ヘッドBa〜
Bgの変化点(22)ではC組磁気ヘッドCa〜Cgの1ビット
でも異なるとA組ヘッドAの7ビットコードデータ「00
00001」を選択する。この場合に検出ヘッド(4)が
“+”方向へ計測していたものが、“−”方向に戻った
時などはB組磁気ヘッドBa〜Bgの7ビットコードデータ
とC組磁気ヘッドCa〜Cgの7ビットコードデータは等し
くなり、B組自身の7ビットコードデータを選択する
が、この信号はすでに確定されたC組磁気ヘッド及びB
組磁気ヘッドの7ビットコードデータで保証されている
ので選択後信号の変化点では不確定状態の発生しないス
ムーズな変化を行うことが可能となる。
この様にデジタルスイッチ(10)で選択された7ビッ
トのデータはデコーダ(7)の記憶手段(7a)に書き込
まれたデコード内容により、再配置、順序化されて第6
図Fに示す連続的なデジタル絶対値信号Rを得る。本例
ではデコーダ入力であるデジタルスイッチ(10)で選択
されたデータは第3図に示されるように磁気スケール
(1)の全長Lにわたり同一コードが1度した発生しな
い非繰り返しコードであるから、第6図Fに示すデコー
ダ(7)の出力点rの波形の様に1ピッチPを20mmと
し、16ビット2進信号を出力するように記憶手段(EPRO
M)(7a)に上述の個々の不連続コードを連続数に並び
変える(順列化、再配置)出力が得られるデコードデー
タを書き込んでおく、この様な動作によりデコーダの最
終出力には磁気スケール(1)の全長L=2560mm(27×
20mm)にわたり20mmピッチの分解能で16ビットの2進の
連続な絶対値位置信号が得られる。
第7図及び第8図は本発明の更に他の実施例を示すも
のであり、第5図及び第6図に示すものより分解能を向
上させたものである。本例では第5図と略同様の構成を
有するが、検出ヘッド(4)内の3組の磁気ヘッドの間
隔を異らせている。磁気スケール(1)に7ビットの非
繰り返しコードを使用し、磁気スケール(1)の1ビッ
トのピッチ長Pを20mmとするが、A組の磁気ヘッドAa〜
Agに対してB組の磁気ヘッドBa〜BgがP/4=20/4=5mmと
し、B組磁気ヘッドBa〜Bgに対してC組磁気ヘッドCa〜
CgがP/2=20/2=10mmにずらせてある。又デコーダ
(7)の記憶手段(7a)で順列化再配置した出力をスイ
ッチ手段(11)及び加算回路(12),(13)を介してデ
コーダ(7)の出力として出力する様に成されている。
スイッチ手段(11)はデジタル比較器(9)のコントロ
ール信号Mで制御される。B組磁気ヘッドBa〜BgとC組
磁気ヘッドCa〜Cgの出力データが等しくなかったら(B
≠C)には加算回路(12)では加算されず0mmを加算す
る。B組磁気ヘッドBa〜BgとC組磁気ヘッドCa〜Cgの出
力データ(B=C)が等しい時には加算回路(13)で10
mmを加算する。
記憶手段(7a)の中に順列化と再配置及び定数加算が
一括して行なえる様なデコード内容を書き込む様にする
を可とする。
この様にすれば第8図Fに示す様に再配置順列化した
20mmの分解能を有する絶対値位置信号に第8図Gに示す
加算回路(13)で10mmピッチで10mmのデータが加算さ
れ、その結果第8図Hに示す様にスケール全長Lにわた
り16ビット2進で分解能10mmピッチの連続的な絶対値位
置信号Rが得られることになる。
尚、第8図A〜Fは第6図A〜Fと対応するので説明
は省略する。本発明は上述の各実施例に限らず発明の要
旨を逸脱しない範囲で種々の変更し得ることは勿論であ
る。
〔発明の効果〕
本発明は叙上の様に構成させたので次の如き顕著な効
果が得られる。
(A)従来の方式では、磁気スケール上に並列にトラッ
クを設け、且つ、全トラック間に干渉防止のためのトラ
ック間隔を必要とするため、磁気スケールの全幅が非常
に大きくなってしまうが、本発明では、トラック数は1
本しかないためにスケール幅を小さくすることができ、
その上、隣接トラックからの磁気的干渉がない。
(B)従来の磁気スケールでは長尺物になると、計測に
必要なビット数だけ並列にトラックを増加させなければ
ならず、磁気スケールの全幅が非常に大きくなってしま
うが、本発明では、必要ビット数が増えても検出ヘッド
及び、コード長のビット数のみが変化するだけで、トラ
ックの数は常に1本であり、トラックの数を増やすこと
なく長尺な磁気スケールが得られる。
(C)デテクタ内にデコーダを用いているため、同一ス
ケール装置でありながらデコーダ内の記憶手段の内容を
変えるだけで、BCD・2進・交番2進コード及び、その
他独自のコードを自由自在に出力することができる。更
に、磁気スケール全長に対してデコーダ出力が一対一で
対応しているため、ヘッドの移動に対して任意の関数曲
線を出力したり、リニア補正を加えたりすることができ
る。
(D)磁気パターンの1ピッチ間隔の境界近傍で発生す
るコードが不確定となる要因を回避し、スケール全長の
如何なる場所でも絶対値位置信号が得られる。
(E)磁気スケールの記録ピッチを細かくすることなく
磁気スケールの記録ピッチの2倍の分解能の出力信号が
得られる。即ち、磁気スケールと磁気ヘッド間のクリア
ランスを大きく保ったまま高い分解能を得ることが出来
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の絶対値型磁気スケール装置の1実施例
を示す系統図、第2図は本発明の説明に供する7ビット
の非繰り返しコード配列図、第3図は本発明の説明に供
する7ビットの非繰り返しコード表、第4図は第1図の
動作説明用タイムチャート、第5図及び第7図は本発明
の絶対値型磁気スケール装置の他の実施例を示す系統
図、第6図及び第8図は第5及び第7図の動作説明用タ
イムチャート、第9図は従来の絶対値型磁気スケール装
置の系統図である。 (1)は磁気スケール、(2)は磁気トラック、(4)
は検出ヘッド、(5)はデテクタ、(6a)〜(6n)は比
較器、(7)はデコーダ、(9)はデジタル比較器、
(10)はデジタルスイッチ、(12),(13)は加算回路
である。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】同一ビットの組み合せコードが発生しない
    様に磁気トラック上に直列的に該コードの磁気パターン
    を記録した磁気スケールと、 上記磁気スケールの磁気パターンを検出すると共に該磁
    気パターンの1ピッチ間隔内に対向して配された少なく
    とも3個以上の検出ヘッド群と、 上記磁気パターンの1ピッチ間隔と次の1ピッチ間隔の
    隣接境界に持ち来された上記検出ヘッド群の1つを選択
    して切換データを出力する比較手段と、 上記少なくとも3個以上の検出ヘッド群のうち磁気パタ
    ーンの1ピッチ間隔内にある検出ヘッド群側に上記切換
    データで切換えられる切換手段とを具備し、 上記検出ヘッド群で得られた不連続な非繰り返しコード
    信号を上記磁気トラックの全長にわたり連続的なデジタ
    ルデータ信号に変換するデコーダにより磁気スケールの
    全長にわたって絶対値位置信号を発生させて成ることを
    特徴とする絶対値型磁気スケール装置。
  2. 【請求項2】前記磁気パターンの1ピッチ間隔P内に対
    向配置される少なくとも3つ以上の検出ヘッド群の間隔
    をP/4:P/2に選択して成ることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項記載の絶対値型磁気スケール装置。
JP62237057A 1987-09-21 1987-09-21 絶対値型磁気スケール装置 Expired - Lifetime JP2571393B2 (ja)

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