JP2569968B2 - 電子ビーム加工機のビームアライメント調整方法 - Google Patents
電子ビーム加工機のビームアライメント調整方法Info
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims description 87
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 1
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- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電子ビーム加工機の
幾何光学的中心と、実際の電子ビームの中心とのずれを
検出して、このずれを補正、調整する電子ビームの加工
機のビームアライメント調整方法に関するものである。
幾何光学的中心と、実際の電子ビームの中心とのずれを
検出して、このずれを補正、調整する電子ビームの加工
機のビームアライメント調整方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は例えば特開昭60-92089号公報に示
された従来のビームアライメント調整方法を適用した電
子ビーム加工機を示す構成図である。図において、１は
高電圧電源、２はこの高電圧電源１に接続された電子
銃、３はこの電子銃２から発射される電子ビーム、４は
この電子ビーム３の照射経路沿いに配置された集束コイ
ル、５はこの集束コイル４のための電源、６は集束コイ
ル４と電源５との間に設けられて集束コイル４に流す直
流電流の極性を切換えるための極性切換スイッチであ
る。
された従来のビームアライメント調整方法を適用した電
子ビーム加工機を示す構成図である。図において、１は
高電圧電源、２はこの高電圧電源１に接続された電子
銃、３はこの電子銃２から発射される電子ビーム、４は
この電子ビーム３の照射経路沿いに配置された集束コイ
ル、５はこの集束コイル４のための電源、６は集束コイ
ル４と電源５との間に設けられて集束コイル４に流す直
流電流の極性を切換えるための極性切換スイッチであ
る。
【０００３】７は継目7aを有した試験片であり、電子銃
２からの電子ビーム３が集束コイル４によって集束され
て表面に照射される。８は試験片７を固定するためのタ
ーンテーブル、９はこのターンテーブル８を駆動するた
めのターンテーブル用モータ、10はターンテーブル用モ
ータ電源、11，12はターンテーブル８が取付けられそれ
ぞれＸ軸およびＹ軸方向に移動可能なＸ軸テーブルおよ
びＹ軸テーブル、13，14はこれらＸ軸テーブル11および
Ｙ軸テーブル12を駆動するためのＸ軸テーブル用モータ
およびＹ軸テーブル用モータ、15，16はそれぞれＸ軸テ
ーブル用モータ電源およびＹ軸テーブル用モータ電源で
ある。
２からの電子ビーム３が集束コイル４によって集束され
て表面に照射される。８は試験片７を固定するためのタ
ーンテーブル、９はこのターンテーブル８を駆動するた
めのターンテーブル用モータ、10はターンテーブル用モ
ータ電源、11，12はターンテーブル８が取付けられそれ
ぞれＸ軸およびＹ軸方向に移動可能なＸ軸テーブルおよ
びＹ軸テーブル、13，14はこれらＸ軸テーブル11および
Ｙ軸テーブル12を駆動するためのＸ軸テーブル用モータ
およびＹ軸テーブル用モータ、15，16はそれぞれＸ軸テ
ーブル用モータ電源およびＹ軸テーブル用モータ電源で
ある。
【０００４】そして、これら各電源10，15，16はそれぞ
れインターフェース17，18，19を介して計算機20に接続
されている。21は電子ビーム３の照射経路沿いに配置さ
れ交流電流が流されると、電子ビーム３が、その走査方
向と直交するように配置された試験片７の継目7aを横切
るように電子ビーム３を走査させるための偏向コイル、
22は試験片７の近傍に設けられ、反射電子、二次電子ま
たはＸ線等のような二次エネルギ23を捕捉するコレク
タ、24は三角波のような信号を発生する信号発生器、25
はこの信号発生器24からの信号を偏向コイル21に印加す
るための電流増幅器、Ｒ1 およびＲ2 は抵抗器である。
れインターフェース17，18，19を介して計算機20に接続
されている。21は電子ビーム３の照射経路沿いに配置さ
れ交流電流が流されると、電子ビーム３が、その走査方
向と直交するように配置された試験片７の継目7aを横切
るように電子ビーム３を走査させるための偏向コイル、
22は試験片７の近傍に設けられ、反射電子、二次電子ま
たはＸ線等のような二次エネルギ23を捕捉するコレク
タ、24は三角波のような信号を発生する信号発生器、25
はこの信号発生器24からの信号を偏向コイル21に印加す
るための電流増幅器、Ｒ1 およびＲ2 は抵抗器である。
【０００５】26は集束コイル４および偏向コイル21と同
様に、電子ビーム３の照射経路沿いに配置されたアライ
メントコイルであって、Ｘ軸コイルおよびＹ軸コイルか
ら成る。27，28はアライメントコイル２６のそれぞれＸ
軸コイル用電源およびＹ軸コイル用電源であり、それぞ
れインターフェース29，30を介して計算機20に接続され
ている。信号発生器24、極性切換スイッチ６もまた、そ
れぞれインターフェース31，32を介して計算機20に接続
されている。33は電子ビーム３が偏向されない時の電子
ビーム照射位置と試験片継目位置との位置ずれを検出す
る位置ずれ検出装置であって計算機20に接続されてい
る。
様に、電子ビーム３の照射経路沿いに配置されたアライ
メントコイルであって、Ｘ軸コイルおよびＹ軸コイルか
ら成る。27，28はアライメントコイル２６のそれぞれＸ
軸コイル用電源およびＹ軸コイル用電源であり、それぞ
れインターフェース29，30を介して計算機20に接続され
ている。信号発生器24、極性切換スイッチ６もまた、そ
れぞれインターフェース31，32を介して計算機20に接続
されている。33は電子ビーム３が偏向されない時の電子
ビーム照射位置と試験片継目位置との位置ずれを検出す
る位置ずれ検出装置であって計算機20に接続されてい
る。
【０００６】次に動作について説明する。ビームアライ
メントが調整されていない電子ビーム加工機の場合、電
子ビーム３の走査中に集束コイル４に流れる電流の極性
を極性切換スイッチ６で切換えると、その正極性、負極
性に応じて図４または図５に示すように電子ビーム３の
照射位置が変る。例えば、集束コイル４の電流が正極性
の場合には線34のように、また負極性の場合には線35の
ように、試験片７上での走査電子ビームの照射位置が異
なる。
メントが調整されていない電子ビーム加工機の場合、電
子ビーム３の走査中に集束コイル４に流れる電流の極性
を極性切換スイッチ６で切換えると、その正極性、負極
性に応じて図４または図５に示すように電子ビーム３の
照射位置が変る。例えば、集束コイル４の電流が正極性
の場合には線34のように、また負極性の場合には線35の
ように、試験片７上での走査電子ビームの照射位置が異
なる。
【０００７】図４において、各極性での走査電子ビーム
の中心位置36，37は、電子ビーム走査方向と直角に配置
された試験片７の継目7aからそれぞれｙ1 ，ｙ2 だけず
れていることが位置ずれ検出装置33によって計測され
る。今、継目7aとアライメントコイル26のＸ軸が一致し
ているので、走査電子ビームの中心位置36，37のＹ座標
値がそれぞれｙ1 ，ｙ2 となる。次にターンテーブル８
によって試験片７を90°回転させ、図５の状態にする。
そして、電子ビーム３をＸ軸方向に走査させると、図４
の場合と同様に、走査電子ビーム中心位置36，37のＸ座
標値がそれぞれｘ1 ，ｘ2 となる。
の中心位置36，37は、電子ビーム走査方向と直角に配置
された試験片７の継目7aからそれぞれｙ1 ，ｙ2 だけず
れていることが位置ずれ検出装置33によって計測され
る。今、継目7aとアライメントコイル26のＸ軸が一致し
ているので、走査電子ビームの中心位置36，37のＹ座標
値がそれぞれｙ1 ，ｙ2 となる。次にターンテーブル８
によって試験片７を90°回転させ、図５の状態にする。
そして、電子ビーム３をＸ軸方向に走査させると、図４
の場合と同様に、走査電子ビーム中心位置36，37のＸ座
標値がそれぞれｘ1 ，ｘ2 となる。
【０００８】したがって、正極性、負極性の電流を集束
コイル４に流すことによる電子ビーム３の照射位置38，
39は、図６に示すように、走査電子ビームの中心位置3
6，37と一致するのでアライメントコイル26の座標軸表
示によって、それぞれｘ1 ，ｙ1 ，ｘ2 ，ｙ2 となる。
前述したように、38は集束コイル４を流れる電流が正極
性の時の電子ビーム照射位置であり、39は負極性の時の
電子ビーム照射位置であり、電子ビーム加工機の幾何光
学的中心は電子ビーム照射位置38と39の垂直２等分線上
にある。
コイル４に流すことによる電子ビーム３の照射位置38，
39は、図６に示すように、走査電子ビームの中心位置3
6，37と一致するのでアライメントコイル26の座標軸表
示によって、それぞれｘ1 ，ｙ1 ，ｘ2 ，ｙ2 となる。
前述したように、38は集束コイル４を流れる電流が正極
性の時の電子ビーム照射位置であり、39は負極性の時の
電子ビーム照射位置であり、電子ビーム加工機の幾何光
学的中心は電子ビーム照射位置38と39の垂直２等分線上
にある。
【０００９】したがって、アライメントコイル26のＸ軸
コイルに（ｘ1 ＋ｘ2 ）／２・Ｋ（Ａ）の電流を、又、
アライメントコイル26のＹ軸コイルに（ｙ1 ＋ｙ2 ）／
２・Ｋ（Ａ）の電流をそれぞれ流せば、電子ビーム照射
位置38および39は電子ビーム加工機の幾何光学的中心に
一致させることができる。ここでＫは定数であり、それ
ぞれのワークデイスタンスにおける電子ビーム照射位置
を単位ベクトルだけ移動させるのに必要な電流値であ
る。
コイルに（ｘ1 ＋ｘ2 ）／２・Ｋ（Ａ）の電流を、又、
アライメントコイル26のＹ軸コイルに（ｙ1 ＋ｙ2 ）／
２・Ｋ（Ａ）の電流をそれぞれ流せば、電子ビーム照射
位置38および39は電子ビーム加工機の幾何光学的中心に
一致させることができる。ここでＫは定数であり、それ
ぞれのワークデイスタンスにおける電子ビーム照射位置
を単位ベクトルだけ移動させるのに必要な電流値であ
る。
【００１０】したがって、計算機20にワークデイスタン
スを入力するとともに、ターンテーブル８およびアライ
メントコイル26のＸ軸、Ｙ軸制御を、それぞれインター
フェース17，29，30を通して自動的に行うことによりビ
ームアライメントを調整できる。
スを入力するとともに、ターンテーブル８およびアライ
メントコイル26のＸ軸、Ｙ軸制御を、それぞれインター
フェース17，29，30を通して自動的に行うことによりビ
ームアライメントを調整できる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】従来の電子ビーム加工
機のビームアライメント調整方法は以上のようになされ
ているので、この調整方法を適用すると試験片７を駆動
するためのターンテーブル８にＸ軸テーブル、Ｙ軸テー
ブル等が必要であり、装置が複雑になるとともに高価に
なるという問題点があった。
機のビームアライメント調整方法は以上のようになされ
ているので、この調整方法を適用すると試験片７を駆動
するためのターンテーブル８にＸ軸テーブル、Ｙ軸テー
ブル等が必要であり、装置が複雑になるとともに高価に
なるという問題点があった。
【００１２】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、この調整方法が適用される装置
の構成が簡単で安価となる電子ビーム加工機のビームア
ライメント調整方法を提供することを目的とするもので
ある。
ためになされたもので、この調整方法が適用される装置
の構成が簡単で安価となる電子ビーム加工機のビームア
ライメント調整方法を提供することを目的とするもので
ある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この発明に係る電子ビー
ム加工機のビームアライメント調整方法は、試験片にセ
ンシング用の微細穴を設け、この微細穴を通過する電子
ビーム量を検出して、アライメントコイルにより通過す
る電子ビーム量が最大となるように調整するものであ
る。
ム加工機のビームアライメント調整方法は、試験片にセ
ンシング用の微細穴を設け、この微細穴を通過する電子
ビーム量を検出して、アライメントコイルにより通過す
る電子ビーム量が最大となるように調整するものであ
る。
【００１４】
【作用】この発明における電子ビーム加工機のビームア
ライメント調整方法の微細穴は、試験片上を走査する電
子ビームを電子ビーム軸の軸ずれに反比例した量だけ通
過させることにより、軸ずれ量を検出することを可能に
する。
ライメント調整方法の微細穴は、試験片上を走査する電
子ビームを電子ビーム軸の軸ずれに反比例した量だけ通
過させることにより、軸ずれ量を検出することを可能に
する。
【００１５】
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図１はこの発明の一実施例におけるビームアライメ
ント調整方法を適用した電子ビーム加工機を示す構成図
である。図において、高電圧電源１、電子銃２、電子ビ
ーム３、集束コイル４、電源５、極性切換スイッチ６、
計算機20、アライメントコイル26、Ｘ軸コイル用電源2
7、Ｙ軸コイル用電源28、各インターフェース29，30，3
2および位置ずれ検出装置33は、図３に示した従来の電
子ビーム加工機のものと同様である。
る。図１はこの発明の一実施例におけるビームアライメ
ント調整方法を適用した電子ビーム加工機を示す構成図
である。図において、高電圧電源１、電子銃２、電子ビ
ーム３、集束コイル４、電源５、極性切換スイッチ６、
計算機20、アライメントコイル26、Ｘ軸コイル用電源2
7、Ｙ軸コイル用電源28、各インターフェース29，30，3
2および位置ずれ検出装置33は、図３に示した従来の電
子ビーム加工機のものと同様である。
【００１６】40は例えば直径0.2m/m程度の微細穴40ａが
形成された試験片であり、電子銃２からの電子ビーム３
が集束コイル４によって表面に集束される。41は試験片
40の下方で且つ微細穴40ａに対応する位置に載置された
コレクタで、微細穴40ａを通過する電子ビーム量を計測
し位置ずれ検出装置33にその信号を送出する。
形成された試験片であり、電子銃２からの電子ビーム３
が集束コイル４によって表面に集束される。41は試験片
40の下方で且つ微細穴40ａに対応する位置に載置された
コレクタで、微細穴40ａを通過する電子ビーム量を計測
し位置ずれ検出装置33にその信号を送出する。
【００１７】次に動作について説明する。ビームアライ
メントが調整されていない電子ビーム加工機の場合、電
子ビーム３の走査中に集束コイル４に流れる電流の極性
を極性切換スイッチ６で切換えると、その正極性、負極
性に応じて図２に示すように電子ビーム３の照射位置が
変る。例えば、集束コイル４の電流が正極性の場合には
電子ビーム照射位置のビーム中心42のように、又、負極
性の場合には電子ビーム照射位置のビーム中心43のよう
に、試験片40上での照射位置が異なる。この時の電子ビ
ーム加工機の幾何光学的中心は電子ビーム照射位置のビ
ーム中心42と43を結ぶ直線の垂直２等分線上、例えば点
44にあることが知られている。
メントが調整されていない電子ビーム加工機の場合、電
子ビーム３の走査中に集束コイル４に流れる電流の極性
を極性切換スイッチ６で切換えると、その正極性、負極
性に応じて図２に示すように電子ビーム３の照射位置が
変る。例えば、集束コイル４の電流が正極性の場合には
電子ビーム照射位置のビーム中心42のように、又、負極
性の場合には電子ビーム照射位置のビーム中心43のよう
に、試験片40上での照射位置が異なる。この時の電子ビ
ーム加工機の幾何光学的中心は電子ビーム照射位置のビ
ーム中心42と43を結ぶ直線の垂直２等分線上、例えば点
44にあることが知られている。
【００１８】この状態でビームアライメントを調整する
場合、まず、試験片40の微細穴40ａを通過する電子ビー
ム量をコレクタ41で検出する。次に、集束コイル４の電
流が正極性の場合は電子ビーム照射位置のビーム中心42
が試験片７の微細穴7aの中心になるように、アライメン
トコイル26のＸ軸コイルおよびＹ軸コイルに各電源27，
28により電流を供給する。そして、電子ビーム照射位置
のビーム中心42が試験片40の微細穴40ａの中心に限りな
く接近し、一致したところで試験片40の微細穴40ａを通
過する電子ビーム量が最大となる。
場合、まず、試験片40の微細穴40ａを通過する電子ビー
ム量をコレクタ41で検出する。次に、集束コイル４の電
流が正極性の場合は電子ビーム照射位置のビーム中心42
が試験片７の微細穴7aの中心になるように、アライメン
トコイル26のＸ軸コイルおよびＹ軸コイルに各電源27，
28により電流を供給する。そして、電子ビーム照射位置
のビーム中心42が試験片40の微細穴40ａの中心に限りな
く接近し、一致したところで試験片40の微細穴40ａを通
過する電子ビーム量が最大となる。
【００１９】このコレクタ41で検出される電子ビーム量
は位置ずれ検出装置33に入力され、その検出量が最大と
なった時に一致信号が計算機20に送出される。計算機20
はこの時のＸ軸コイルおよびＹ軸コイルに供給される電
流を位置データに変換処理して記憶する。
は位置ずれ検出装置33に入力され、その検出量が最大と
なった時に一致信号が計算機20に送出される。計算機20
はこの時のＸ軸コイルおよびＹ軸コイルに供給される電
流を位置データに変換処理して記憶する。
【００２０】同様にして、集束コイル４の電流が負極性
の場合について、電子ビーム照射位置のビーム中心43が
試験片40の微細穴40ａの中心になる時のＸ軸コイルおよ
びＹ軸コイルに供給される電流を計算機20で位置データ
に変換処理して記憶する。このように、正極性、負極性
の電流を集束コイル４に流すことによる電子ビーム３の
照射位置42，43は、図６に示すように走査電子ビームの
中心位置36，37と一致するので、アライメントコイル26
の座標軸表示によってそれぞれ（ｘ1 ，ｙ1 ）（ｘ2 ，
ｙ2 ）となる。
の場合について、電子ビーム照射位置のビーム中心43が
試験片40の微細穴40ａの中心になる時のＸ軸コイルおよ
びＹ軸コイルに供給される電流を計算機20で位置データ
に変換処理して記憶する。このように、正極性、負極性
の電流を集束コイル４に流すことによる電子ビーム３の
照射位置42，43は、図６に示すように走査電子ビームの
中心位置36，37と一致するので、アライメントコイル26
の座標軸表示によってそれぞれ（ｘ1 ，ｙ1 ）（ｘ2 ，
ｙ2 ）となる。
【００２１】従って、前述したように、電子ビーム加工
機の幾何光学的中心は、電子ビーム照射位置のビーム中
心42と43を結ぶ直線の垂直２等分線上にあるので、アラ
イメントコイル26のＸ軸コイルに（ｘ1 ＋ｘ2 ）／２・
Ｋ（Ａ）の電流を、又、アライメントコイル26のＹ軸コ
イルに（ｙ1 ＋ｙ2 ）／２・Ｋ（Ａ）の電流をそれぞれ
流せば、電子ビーム照射位置のビーム中心42，43は電子
ビーム加工機の幾何光学的中心に一致させることができ
る。
機の幾何光学的中心は、電子ビーム照射位置のビーム中
心42と43を結ぶ直線の垂直２等分線上にあるので、アラ
イメントコイル26のＸ軸コイルに（ｘ1 ＋ｘ2 ）／２・
Ｋ（Ａ）の電流を、又、アライメントコイル26のＹ軸コ
イルに（ｙ1 ＋ｙ2 ）／２・Ｋ（Ａ）の電流をそれぞれ
流せば、電子ビーム照射位置のビーム中心42，43は電子
ビーム加工機の幾何光学的中心に一致させることができ
る。
【００２２】ここでＫは定数であり、それぞれのワーク
デイスタンスにおける電子ビーム照射位置を単位ベクト
ルだけ移動させるのに必要な電流値である。この定数Ｋ
は、予め実験的に求めておいた値を使っても良いし、Ｋ
を逐次増加または減少させて前記一連の手順を繰り返す
ことによってもビームアライメントの調整ができる。
デイスタンスにおける電子ビーム照射位置を単位ベクト
ルだけ移動させるのに必要な電流値である。この定数Ｋ
は、予め実験的に求めておいた値を使っても良いし、Ｋ
を逐次増加または減少させて前記一連の手順を繰り返す
ことによってもビームアライメントの調整ができる。
【００２３】このように、計算機(20)にワークデイタン
スを入力するとともに、アライメントコイル26のＸ軸お
よびＹ軸の制御を、それぞれ各インターフェース29，30
を介して自動的に行うことにより、ビームアライメント
を調整できる。
スを入力するとともに、アライメントコイル26のＸ軸お
よびＹ軸の制御を、それぞれ各インターフェース29，30
を介して自動的に行うことにより、ビームアライメント
を調整できる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、この発明のよれば試験片
にシンシング用の微細穴を設け、この微細穴を通過する
電子ビーム量を検出して、この通過する電子ビーム量が
最大となるようにアライメントコイルを調整するように
したので、この調整方法が適用される装置の構成が簡単
で安価となる、電子ビーム加工機のビームアライメント
調整方法を提供することが可能となる。
にシンシング用の微細穴を設け、この微細穴を通過する
電子ビーム量を検出して、この通過する電子ビーム量が
最大となるようにアライメントコイルを調整するように
したので、この調整方法が適用される装置の構成が簡単
で安価となる、電子ビーム加工機のビームアライメント
調整方法を提供することが可能となる。
【図１】この発明の一実施例におけるビームアライメン
ト調整方法を適用した電子ビーム加工機を示す構成図で
ある。
ト調整方法を適用した電子ビーム加工機を示す構成図で
ある。
【図２】集中コイルを流れる電流の極性が正極および負
極の場合の電子ビーム照射位置をそれぞれ示す図であ
る。
極の場合の電子ビーム照射位置をそれぞれ示す図であ
る。
【図３】従来のビームアライメント調整方法を適用した
電子ビーム加工機を示す構成図である。
電子ビーム加工機を示す構成図である。
【図４】ビームアライメントの調整原理を示すもので、
試験片の継目をＸ軸に一致させた場合の各極性での電子
ビームの中心位置を示す図である。
試験片の継目をＸ軸に一致させた場合の各極性での電子
ビームの中心位置を示す図である。
【図５】ビームアライメントの調整原理を示すもので、
試験片の継目をＹ軸に一致させた場合の各極性での電子
ビームの中心位置を示す図である。
試験片の継目をＹ軸に一致させた場合の各極性での電子
ビームの中心位置を示す図である。
【図６】ビームアライメントの調整原理を示すもので、
電子ビームの照射位置の座標を示す図である。
電子ビームの照射位置の座標を示す図である。
２ 電子銃 ３ 電子ビーム ４ 集束コイル 26 アライメントコイル 40 試験片 40a 微細穴 41 コレクタ
Claims (1)
- 【請求項１】 電子銃が発する電子ビームの照射線路沿
いに配置された集束コイルに直流電流を流して上記電子
ビームを試験片上に集束させる手段、および上記照射線
路沿いに配置されたアライメントコイルに直流電流を流
して上記電子ビームを磁気的に偏向させ、これによって
上記電子ビームを上記試験片上を横切って走査する手段
を備えた電子ビーム加工機において、上記試験片にセン
シング用の微細穴を設け、この微細穴に上記電子ビーム
を通過させるとともに通過電子ビーム量を計測する第１
の工程と、上記集束コイルの電流を正極として、上記微
細穴を通過する電子ビーム量が上記第１の工程で計測さ
れた電子ビーム量と一致するように上記アライメントコ
イルに流す直流電流を調整し電子ビーム照射位置を判断
する第２の工程と、上記集束コイルの電流を負極とし
て、上記微細穴を通過する電子ビーム量が上記第１の工
程で計測された電子ビーム量と一致するように上記アラ
イメントコイルに流す直流電流を調整し電子ビーム照射
位置を判断する第３の工程と、上記第２および第３の工
程により判断された上記両照射位置から上記電子ビーム
加工機の幾何光学的中心を算出する第４の工程とを有す
ることを特徴とする電子ビーム加工機のビームアライメ
ント調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3001463A JP2569968B2 (ja) | 1991-01-10 | 1991-01-10 | 電子ビーム加工機のビームアライメント調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3001463A JP2569968B2 (ja) | 1991-01-10 | 1991-01-10 | 電子ビーム加工機のビームアライメント調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04262882A JPH04262882A (ja) | 1992-09-18 |
| JP2569968B2 true JP2569968B2 (ja) | 1997-01-08 |
Family
ID=11502159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3001463A Expired - Lifetime JP2569968B2 (ja) | 1991-01-10 | 1991-01-10 | 電子ビーム加工機のビームアライメント調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2569968B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19800257C1 (de) * | 1998-01-07 | 1999-02-04 | Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt | Schnellschaltendes Ventil |
-
1991
- 1991-01-10 JP JP3001463A patent/JP2569968B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04262882A (ja) | 1992-09-18 |
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