JP2551335B2 - Blade cutter fixing device - Google Patents
Blade cutter fixing deviceInfo
- Publication number
- JP2551335B2 JP2551335B2 JP5174480A JP17448093A JP2551335B2 JP 2551335 B2 JP2551335 B2 JP 2551335B2 JP 5174480 A JP5174480 A JP 5174480A JP 17448093 A JP17448093 A JP 17448093A JP 2551335 B2 JP2551335 B2 JP 2551335B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- holder
- blade cutter
- cutter
- outer peripheral
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D61/00—Tools for sawing machines or sawing devices; Clamping devices for these tools
- B23D61/02—Circular saw blades
- B23D61/10—Circular saw blades clamped between hubs; Clamping or aligning devices therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣのウェハや積層セ
ラミックコンデンサなどのワークを賽の目状に切断する
ダイシング装置、特にブレードカッターの固着構造に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dicing apparatus for cutting a work such as an IC wafer or a laminated ceramic capacitor into a dice pattern, and more particularly to a blade cutter fixing structure.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のブレードカッター固着装
置の構成は、特開昭６３−２５６３５７号に開示されて
いる。即ち、図３に示す通り、高速で回転する駆動源
（図示省略）と連結するシャフトの外周にはホイールマ
ウント２が嵌挿されており、ホイールマウント２の外周
にはブレードホルダー８のボス部８ｃが嵌挿され、その
ボス部８ｃの外周にはブレードホルダー９が取付けられ
ている。薄厚の円板状ブレードカッター５は、対向する
ブレードホルダー８とブレードホルダー９のそれぞれの
フランジ部８ａ，９ａで挾み込まれ、ブレードホルダー
８のボス部８ｃに設けたネジとナット１０の締結によ
り、ブレードホルダー８とブレードホルダー９の中央部
がホイールマウント２とナット１０で締め付けられると
ともに、ナット７がシャフト１のネジに締結され、ブレ
ードカッター５がシャフト１に固着される。この状態で
図示しない駆動源によりシャフト１を高速回転させる
と、ブレードカッター５が回転され、図２に示す通りワ
ーク１１をブレードカッター５の矢印Ｘ方向に接触移動
させ、ワーク１１に切断溝１２を刻設してワーク１１の
切断を行っていた。2. Description of the Related Art Conventionally, the construction of a blade cutter fixing device of this type is disclosed in JP-A-63-256357. That is, as shown in FIG. 3, the wheel mount 2 is fitted into the outer periphery of the shaft that is connected to the drive source (not shown) that rotates at a high speed, and the boss portion 8 c of the blade holder 8 is attached to the outer periphery of the wheel mount 2. Is inserted and the blade holder 9 is attached to the outer periphery of the boss portion 8c. The thin disk-shaped blade cutter 5 is sandwiched between the respective flange portions 8a and 9a of the blade holder 8 and the blade holder 9 which face each other, and the screw and nut 10 provided on the boss portion 8c of the blade holder 8 are fastened together. The central portions of the blade holder 8 and the blade holder 9 are tightened with the wheel mount 2 and the nut 10, the nut 7 is fastened to the screw of the shaft 1, and the blade cutter 5 is fixed to the shaft 1. In this state, when the shaft 1 is rotated at a high speed by a drive source (not shown), the blade cutter 5 is rotated, and the work 11 is contact-moved in the arrow X direction of the blade cutter 5 as shown in FIG. The work 11 was cut by engraving.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】この従来のブレードカ
ッター固着装置では、ブレードホルダー８，９のブレー
ドカッター５を挟持する接触面８ａ，９ａが２〜３ｍｍ
と広く、かつ、ナット１０の締結する作用点がブレード
ホルダー８，９の中央部付近にあるので、ブレードホル
ダー８，９のフランジ部８ｂ，９ｂが前述のブレードカ
ッター５の挟持面の内端を支点に外周端が開く方向に撓
みが発生し、ブレードカッターの保持力が弱まることに
なる。よって、ブレードカッター５の刃先となる外周の
うねりが大きくなり、この状態でワークを切断すると、 （１）ブレードカッター５の刃厚以上にワーク１１の切
断溝１２の切り代が広くなり、ワーク材料費が無駄であ
ったり、製品不良を発生し易い。 （２）ブレードカッター５に偏芯荷重がかかり、ブレー
ドカッターが破損するなど寿命が短い。 （３）切断位置精度を必要とする精密電子部品には切断
不可。 といった問題を生じていた。In this conventional blade cutter fixing device, the contact surfaces 8a and 9a of the blade holders 8 and 9 for holding the blade cutter 5 are 2 to 3 mm.
Since the action point where the nut 10 is fastened is near the central portion of the blade holders 8 and 9, the flange portions 8b and 9b of the blade holders 8 and 9 are located at the inner end of the sandwiching surface of the blade cutter 5 described above. Bending occurs at the fulcrum in the direction in which the outer peripheral edge opens, weakening the holding force of the blade cutter. Therefore, when the work is cut in this state, the undulation of the outer circumference, which is the cutting edge of the blade cutter 5, becomes large. (1) The cutting margin of the cutting groove 12 of the work 11 becomes wider than the blade thickness of the blade cutter 5, and the work material Cost is wasted and product defects are likely to occur. (2) An eccentric load is applied to the blade cutter 5, and the blade cutter is damaged, so that the life is short. (3) Cutting is not possible for precision electronic parts that require cutting position accuracy. Was causing problems.
【０００４】本発明の目的は、ブレードカッターの刃先
のうねりを防止したブレードカッター固着装置を提供す
ることにある。It is an object of the present invention to provide a blade cutter fixing device which prevents the blade edge of the blade cutter from waviness.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るブレードカッター固着装置は、ブレー
ドカッターと、一対のブレードホルダーと、ナットとを
有し、一対のブレードホルダーに挟持してブレードカッ
ターをシャフトに取付けるブレードカッター固着装置で
あって、ブレードカッターは、リング状をなし、内周端
縁側が一対のブレードホルダー間に挟持されるものであ
り、外周端縁にワーク切断用の刃先を有し、一対のブレ
ードホルダーは、中心部がシャフトに軸支される円板状
をなし、対向内面にブレードカッターをはさむ外周ホル
ダー部を有し、一方のブレードホルダーは、外周ホルダ
ー部の内周側に設けられた内周ホルダー部を有し、内周
ホルダー部は、ブレードカッターの内周開口縁を支持す
る嵌合座であり、外周ホルダー部は、ブレードカッター
の側面に当接させるリング状突縁であり、ナットは、ブ
レードをはさんだ一対のブレードホルダー間を締付け固
定するものであり、ブレードホルダーの外形寸法とほぼ
同径の円形をなし、緊締部を有し、 緊締部は、円形ナッ
トの外周側側面にブレードホルダーの外周ホルダー部側
に迫り出してリング状に形成され、外周ホルダー部に集
中させて緊締力を付与する突縁である。In order to achieve the above object, a blade cutter fixing device according to the present invention has a blade cutter, a pair of blade holders, and a nut, and is sandwiched between a pair of blade holders. A blade cutter fixing device for attaching a blade cutter to a shaft, wherein the blade cutter has a ring shape, and the inner peripheral edge side is sandwiched between a pair of blade holders, and the outer peripheral edge has a cutting edge for cutting a workpiece. And a pair of blade holders, each of which has a disk shape whose central portion is axially supported by a shaft, and which has an outer peripheral holder portion that sandwiches a blade cutter on the inner surface facing each other, and one blade holder is an outer peripheral holder portion. It has an inner peripheral holder part provided on the peripheral side, and the inner peripheral holder part is a fitting seat for supporting the inner peripheral opening edge of the blade cutter, Holder is a ring-shaped flange to abut the side of the blade cutter, nut state, and are not fixed clamping between a pair of blades holder across the blade, substantially the external dimensions of the blade holder
It has a circular shape with the same diameter and has a tightening part.
On the outer peripheral side of the blade holder
It is formed into a ring shape that protrudes to the outside and gathers in the outer holder.
It is a rim that gives a tightening force by making it inside .
【０００６】[0006]
【０００７】[0007]
【作用】ブレードカッターの内周開口縁を一方のブレー
ドホルダーの嵌合座で支持するとともに、その内周開口
縁から外周側に離れた側面を一対のブレードホルダーの
リング状突縁で挟持することにより、ブレードカッター
の刃先のうねりを防止する。Function: The inner peripheral opening edge of the blade cutter is supported by the fitting seat of one blade holder, and the side surface distant from the inner peripheral opening edge to the outer peripheral side is sandwiched by the ring-shaped projecting edges of the pair of blade holders. This prevents the blade edge of the blade cutter from waviness.
【０００８】[0008]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図により説明す
る。図１は、本発明の一実施例を示す断面図である。図
１において、本発明に係るブレードカッター固着装置
は、ブレードカッター５と、一対のブレードホルダー
３，４と、ナット６とを有している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the blade cutter fixing device according to the present invention includes a blade cutter 5, a pair of blade holders 3 and 4, and a nut 6.
【０００９】シャフト１は、図示しない駆動源により高
速回転されるものであり、その軸端側は緩やかなテーパ
状となっており、そのテーパ状嵌合面にホイールマウン
ト２が嵌合されている。The shaft 1 is rotated at a high speed by a drive source (not shown), its shaft end side has a gentle taper shape, and the wheel mount 2 is fitted to its tapered fitting surface. .
【００１０】ブレードカッター５は、リング状をなし、
内周端縁側が一対のブレードホルダー３，４間に挟持さ
れ、外周端縁にワーク切断用の刃先５ａが形成されてい
る。The blade cutter 5 has a ring shape,
The inner peripheral edge side is sandwiched between a pair of blade holders 3 and 4, and the outer peripheral edge has a cutting edge 5a for cutting a work.
【００１１】一方のブレードホルダー３は、ボス部３ｃ
と、フランジ部３ｂとを有している。ブレードホルダー
３のボス部３ｃは、中空構造をなし、ホイールマウント
２の外周に一体に嵌合され、ホイールマウント２と一体
にシャフト１にナット７の締付けにより固定されるよう
になっている。One blade holder 3 has a boss portion 3c.
And a flange portion 3b. The boss portion 3c of the blade holder 3 has a hollow structure, is integrally fitted to the outer periphery of the wheel mount 2, and is fixed to the shaft 1 integrally with the wheel mount 2 by tightening a nut 7.
【００１２】また、他方のブレードホルダー４は、一方
のブレードホルダー３と組み合わされてブレードカッタ
ー５を挟持するものであり、内周ホルダー部を有し、ブ
レードホルダー３のボス部３ｃに嵌合される。対をなす
ブレードホルダー３，４は、中心部がシャフト１に軸支
される円板状をなし、内周ホルダー部の外周側に設けら
れた外周ホルダー部を有している。The other blade holder 4 is combined with the one blade holder 3 to sandwich the blade cutter 5, has an inner peripheral holder portion, and is fitted to the boss portion 3c of the blade holder 3. It The blade holders 3, 4 forming a pair have a disk-like shape whose center is supported by the shaft 1 and have an outer peripheral holder portion provided on the outer peripheral side of the inner peripheral holder portion.
【００１３】内周ホルダー部は、ブレードカッター５の
内周開口縁５ｂを支持する嵌合座４ｃであり、嵌合座４
ｃは、ブレードホルダー４の側面に設けられている。ブ
レードカッター５は、内周開口縁５ｂが嵌合座４ｃに支
持された状態で、その刃先５ａがブレードホルダー３，
４間から径方向に突出するようになっている。The inner circumference holder portion is a fitting seat 4c for supporting the inner circumference opening edge 5b of the blade cutter 5, and the fitting seat 4c.
c is provided on the side surface of the blade holder 4. The blade cutter 5 has a blade tip 3a whose blade edge 5a is in a state in which the inner peripheral opening edge 5b is supported by the fitting seat 4c.
It is designed so as to project radially from between the four.
【００１４】外周ホルダー部は、一対のブレードホルダ
ー３，４のフランジ３ｂ，４ｂの外周側対向面に向き合
わせに迫り出してリング状に形成されてブレードカッタ
ー５との接触面幅を狭くした突縁３ａ，４ａからなって
いる。The outer peripheral holder portion is formed in a ring shape so as to face the outer peripheral side facing surfaces of the flanges 3b and 4b of the pair of blade holders 3 and 4 and is formed in a ring shape so that the contact surface width with the blade cutter 5 is narrowed. It is composed of edges 3a and 4a.
【００１５】ナット６は、一対のブレードホルダー３，
４の突縁３ａ，４ａ間を締付け固定するものであり、ブ
レードホルダー３，４の外形寸法とほぼ同径の円形をな
し、緊締部を有している。緊締部は、円形ナット６の外
周側側面にブレードホルダー３，４の突縁３ａ，４ａ側
に迫り出してリング状に形成され、突縁３ａ，４ａ間に
集中させて締付け力を付与する突縁６ａからなってい
る。The nut 6 includes a pair of blade holders 3,
The protrusions 3a and 4a of the blade holder 4 are clamped and fixed to each other. The tightening portion is formed in a ring shape on the outer peripheral side surface of the circular nut 6 so as to protrude toward the projecting edges 3a, 4a of the blade holders 3, 4 and to provide a tightening force by concentrating between the projecting edges 3a, 4a. It is composed of a rim 6a.
【００１６】まず、高速回転する駆動源（図示省略）と
連結したシャフト１にホイールマウント２を嵌挿する。
このシャフト１とホイールマウント２の嵌め合い面は、
緩やかなテーパ状になっており、嵌挿した際、所定の位
置で止まり嵌め合い隙間が全く無いようになっている。
次に、ブレードカッター５の内周開口をブレードホルダ
ー４の嵌合座４ｃに嵌め込み、ブレードホルダー４を、
ブレードホルダー３のボス部３ｃに嵌挿する。この時、
ブレードホルダー３とブレードホルダー４の対峙する面
側の全外周端には、それぞれブレードカッター５と接す
る部分が先端から０．５ｍｍ幅程度の対称同形状である
突縁３ａ，４ａが設けられている。First, the wheel mount 2 is inserted into the shaft 1 connected to a drive source (not shown) that rotates at high speed.
The fitting surface of the shaft 1 and the wheel mount 2 is
It has a gradual taper shape, and when it is inserted, it stops at a predetermined position and there is no fitting gap.
Next, the inner peripheral opening of the blade cutter 5 is fitted into the fitting seat 4c of the blade holder 4, and the blade holder 4 is
The blade holder 3 is fitted into the boss portion 3c. This time,
The entire outer peripheral edges of the opposing surfaces of the blade holder 3 and the blade holder 4 are provided with ridges 3a, 4a having a symmetrical shape with a width of about 0.5 mm from the tip at the portions in contact with the blade cutter 5, respectively. .
【００１７】ブレードホルダー３のボス部３ｃにあるネ
ジに、ブレードホルダー４と接する面側で、かつブレー
ドホルダーの突縁３ａ，４ａと同径位置に突縁６ａを設
けたナット６をネジ込む。ブレードカッター５は、ナッ
ト６の締結によりブレードホルダー３とブレードホルダ
ー４とで挟持される。次に、このブレードホルダー３を
ホイールマウント２のボス部に嵌挿した後、シャフト１
の先端に設けたネジ部１ａにナット７を締結してブレー
ドカッター５のシャフト１への固着は完了する。A nut 6 provided with a projecting edge 6a at the same side as the projecting edges 3a, 4a of the blade holder 4 is screwed into the screw on the boss portion 3c of the blade holder 3 on the side contacting the blade holder 4. The blade cutter 5 is sandwiched between the blade holder 3 and the blade holder 4 by fastening the nut 6. Next, after inserting this blade holder 3 into the boss portion of the wheel mount 2, the shaft 1
The nut 7 is fastened to the threaded portion 1a provided at the tip of the blade 1 to complete the fixing of the blade cutter 5 to the shaft 1.
【００１８】図２を用いて動作概要を説明する。図２
は、本発明の実施例を用いてワークを切断している斜視
図である。An outline of the operation will be described with reference to FIG. Figure 2
FIG. 4 is a perspective view of cutting a work by using the embodiment of the present invention.
【００１９】まず、ブレードカッター５の下端縁がワー
ク１１の下端と一致する位置となるようにシャフト１の
高さを設定しておく。次に、真空吸着などのワーク１１
の保持機能を有し矢印Ｘ方向に可動する機構と連結した
テーブル（図示省略）上に、切断用のワーク１１をセッ
トする。それから、シャフト１を高速回転させてブレー
ドカッター５を回転させ、ワーク１１の切断したい位置
にシャフト１又はワーク１１を矢印Ｙ方向に移動させて
から、ワーク１１に切断溝１２をブレードカッター５に
より刻設し、ワークの切断を実行する。切断したい方向
と直交する方向を切断する場合は、前述のテーブルを９
０度回転させて、同様に切断する。First, the height of the shaft 1 is set so that the lower edge of the blade cutter 5 is located at the same position as the lower edge of the work 11. Next, the workpiece 11 such as vacuum suction
The cutting work 11 is set on a table (not shown) that is connected to a mechanism having a holding function for moving in the arrow X direction. Then, the shaft 1 is rotated at high speed to rotate the blade cutter 5 to move the shaft 1 or the work 11 in the arrow Y direction to the position where the work 11 is to be cut, and then the cutting groove 12 is cut on the work 11 by the blade cutter 5. And cut the work. When cutting in the direction orthogonal to the desired direction, use the table above.
Rotate 0 degrees and cut similarly.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上説明したように本発明のブレード固
着装置は、ブレードホルダーのブレードカッターを挟持
する部分がブレードホルダー外周端の非常に狭い面であ
ること、ナットによる締結の作用点がブレードカッター
を挟持している点と同じであるため、ナットを締め付け
てもブレードホルダーによるブレートカッターの挟持面
間に隙間が形成されず、ブレードカッターの外周端のう
ねりを大幅に低減できる。As described above, in the blade fixing device of the present invention, the portion of the blade holder that holds the blade cutter is a very narrow surface at the outer peripheral end of the blade holder, and the action point of fastening with the nut is the blade cutter. Since it is the same as the case where the blade is clamped, no gap is formed between the clamping surfaces of the blade cutter by the blade holder even when the nut is tightened, and the waviness of the outer peripheral edge of the blade cutter can be significantly reduced.
【００２１】したがって、 （１）刃厚０．１５ｍｍのブレードカッターで切断した
切断溝の切り代が、従来０．２ｍｍ前後あったものが刃
厚と同程度と狭くなり、製品不良の発生低減やワーク材
料費の節減ができる。 （２）高速回転時の切断負荷が軽減することにより、ブ
レードカッターの寿命が２〜３倍長くなり経済的であ
る。 （３）高い切断位置精度が得られ、電子部品などの軽薄
短小化が可能となる。 といった大きな効果をもたらす。Therefore, (1) the cutting margin of the cutting groove cut with a blade cutter having a blade thickness of 0.15 mm is about 0.2 mm in the past, and the cutting margin is as narrow as the blade thickness. Work material cost can be reduced. (2) Since the cutting load at the time of high speed rotation is reduced, the life of the blade cutter is extended 2-3 times, which is economical. (3) A high cutting position accuracy can be obtained, and it is possible to reduce the size and weight of electronic parts. It brings great effects such as.
【図１】本発明の一実施例に係るブレードカッター固着
装置を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a blade cutter fixing device according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明のブレードカッター固着装置を用いたワ
ーク切断状態を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a work cutting state using the blade cutter fixing device of the present invention.
【図３】従来のブレードカッター固着装置を示す断面図
である。FIG. 3 is a sectional view showing a conventional blade cutter fixing device.
１ シャフト １ａ ネジ部 ２ ホイールマウント ３，４ ブレードホルダー ３ａ，４ａ，４ａ リング状突縁（外周ホルダー部） ３ｂ，４ｂ フランジ部 ３ｃ，８ｃ ボス部 ４ｃ 嵌合座（内周ホルダー部） ５ ブレードカッター ６，７ ナット 1 Shaft 1a Screw part 2 Wheel mount 3,4 Blade holder 3a, 4a, 4a Ring-shaped protruding edge (outer peripheral holder part) 3b, 4b Flange part 3c, 8c Boss part 4c Fitting seat (inner peripheral holder part) 5 Blade cutter 6,7 nuts
Claims (1)
ルダーと、ナットとを有し、一対のブレードホルダーに
挟持してブレードカッターをシャフトに取付けるブレー
ドカッター固着装置であって、 ブレードカッターは、リング状をなし、内周端縁側が一
対のブレードホルダー間に挟持されるものであり、外周
端縁にワーク切断用の刃先を有し、 一対のブレードホルダーは、中心部がシャフトに軸支さ
れる円板状をなし、対向内面にブレードカッターをはさ
む外周ホルダー部を有し、一方のブレードホルダーは、
外周ホルダー部の内周側に設けられた内周ホルダー部を
有し、 内周ホルダー部は、ブレードカッターの内周開口縁を支
持する嵌合座であり、外周ホルダー部は、ブレードカッ
ターの側面に当接させるリング状突縁であり、 ナットは、ブレードをはさんだ一対のブレードホルダー
間を締付け固定するものであり、ブレードホルダーの外
形寸法とほぼ同径の円形をなし、緊締部を有し、 緊締部は、円形ナットの外周側側面にブレードホルダー
の外周ホルダー部側に迫り出してリング状に形成され、
外周ホルダー部に集中させて緊締力を付与する突縁であ
ることを特徴とする ブレードカッター固着装置。1. A blade cutter fixing device having a blade cutter, a pair of blade holders, and a nut, which is sandwiched between a pair of blade holders to attach the blade cutter to a shaft, wherein the blade cutter has a ring shape. None, the inner peripheral edge side is sandwiched between a pair of blade holders, and the outer peripheral edge has a cutting edge for cutting a work. The pair of blade holders has a disk centered on a shaft. It has a shape and has an outer peripheral holder part that sandwiches a blade cutter on the opposite inner surface, and one blade holder is
It has an inner circumference holder part provided on the inner circumference side of the outer circumference holder part, the inner circumference holder part is a fitting seat for supporting the inner circumference opening edge of the blade cutter, and the outer circumference holder part is a side surface of the blade cutter. a ring-shaped flange to abut against the, nut state, and are not fixed clamping between a pair of blades holder sandwiching the blade, the outer blade holder
It has a circular shape with almost the same diameter as the shape and has a tightening part.The tightening part is a blade holder on the outer peripheral side surface of the circular nut.
It is formed into a ring shape by sticking out to the outer peripheral holder part side of
It is a flange that concentrates tightening force on the outer peripheral holder part.
A blade cutter fixing device characterized in that
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5174480A JP2551335B2 (en) | 1993-07-14 | 1993-07-14 | Blade cutter fixing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5174480A JP2551335B2 (en) | 1993-07-14 | 1993-07-14 | Blade cutter fixing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0724829A JPH0724829A (en) | 1995-01-27 |
| JP2551335B2 true JP2551335B2 (en) | 1996-11-06 |
Family
ID=15979222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5174480A Expired - Lifetime JP2551335B2 (en) | 1993-07-14 | 1993-07-14 | Blade cutter fixing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2551335B2 (en) |
Families Citing this family (3)
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| JP6698436B2 (en) * | 2016-06-14 | 2020-05-27 | 株式会社ディスコ | Blade case |
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| JPS63256357A (en) * | 1987-04-15 | 1988-10-24 | Hitachi Ltd | Fixing device for rotating blade |
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1993
- 1993-07-14 JP JP5174480A patent/JP2551335B2/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
| JPH0724829A (en) | 1995-01-27 |
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