JP2551249Y2 - Pyroelectric device - Google Patents

Pyroelectric device

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JP2551249Y2
JP2551249Y2 JP1993064554U JP6455493U JP2551249Y2 JP 2551249 Y2 JP2551249 Y2 JP 2551249Y2 JP 1993064554 U JP1993064554 U JP 1993064554U JP 6455493 U JP6455493 U JP 6455493U JP 2551249 Y2 JP2551249 Y2 JP 2551249Y2
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electrode
electrodes
pyroelectric
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film
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Inventor
愛作 永井
記一 村田
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呉羽化学工業株式会社
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Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本考案は、焦電体膜と、この焦電
体膜の一方の面に設けられた第1の電極と、上記焦電体
膜の他方の面に設けられた第2の電極とを備え、上記第
1の電極は、複数個の電極から成り、これら複数個の第
1の電極のおのおのは、有効受光電極面積を与えるため
の電極本体と、他の電気回路とのリード接続を行うため
に、上記電極本体と一体に形成されている端子部とをそ
れぞれ有し、上記第2の電極は、上記第1の電極の上記
電極本体と対向して有効受光電極面積を与えるための電
極本体を少くとも有し、上記第1および第2の電極と、
これら第1および第2の電極の間に介在する上記焦電体
膜とによって、複数個の単位焦電素子が構成されている
焦電素子装置、特にその電極構造に関し、この焦電素子
装置は、焦電型赤外線センサに用いるのに好適なもので
ある。
The present invention relates to a pyroelectric film, a first electrode provided on one surface of the pyroelectric film, and a first electrode provided on the other surface of the pyroelectric film. Two electrodes, wherein the first electrode comprises a plurality of electrodes, each of the plurality of first electrodes being provided with an electrode body for providing an effective light receiving electrode area, and another electric circuit. And a terminal portion integrally formed with the electrode body, and the second electrode faces the electrode body of the first electrode and has an effective light receiving electrode area. Having at least an electrode body for providing said first and second electrodes;
Regarding a pyroelectric device in which a plurality of unit pyroelectric elements are constituted by the pyroelectric film interposed between the first and second electrodes, and particularly to an electrode structure thereof, the pyroelectric device is This is suitable for use in a pyroelectric infrared sensor.

【0002】[0002]

【従来の技術】セキュリティや自動ドアなどの分野で使
用される侵入者検知用の焦電型赤外線センサには高い信
頼性が求められており、このために、以下に述べるよう
に、このようなセンサについて各種の研究・開発がなさ
れている。例えば、米国特許第3,839,640号明
細書には、一対の単位焦電素子をこれらの極性が互いに
逆向きになるように直列または並列に接続して対焦電素
子を構成することによって、室温の変化や外乱光の入射
などで誤検出が生ずる欠陥を改善するようにした焦電素
子装置が開示されている。また、特開昭61−1755
83号公報、実開昭58−32337号公報およびヨー
ロッパ特許公開第131996号公報には、本願の添付
図面中の図1(A)、図2(A)および図3(A)にそ
れぞれ示すように、上述のような対焦電素子から成る焦
電素子装置の電極構造が開示されている。
2. Description of the Related Art A pyroelectric infrared sensor for detecting an intruder used in the fields of security and automatic doors is required to have high reliability. Various researches and developments have been made on sensors. For example, U.S. Pat. No. 3,839,640 discloses that a pair of unit pyroelectric elements are connected in series or in parallel so that their polarities are opposite to each other to form a pyroelectric element. There is disclosed a pyroelectric element device in which a defect that is erroneously detected due to a change in room temperature or the incidence of disturbance light is improved. Also, JP-A-61-1755
No. 83, Japanese Unexamined Utility Model Publication No. 58-32337 and European Patent Publication No. 131996, as shown in FIGS. 1 (A), 2 (A) and 3 (A) in the accompanying drawings of the present application, respectively. Discloses an electrode structure of a pyroelectric device comprising the above-described pyroelectric element.

【0003】次に、これらの図1(A)、図2(A)お
よび図3(A)に示す対焦電素子から成る焦電素子装置
の電極構造について説明する。なお、これらの図におい
て、互いに対応する部分には、同一の符号が付されてい
る。
Next, the electrode structure of the pyroelectric element device including the anti-pyroelectric element shown in FIGS. 1A, 2A and 3A will be described. In these drawings, parts corresponding to each other are denoted by the same reference numerals.

【0004】これらの図において、符号1は焦電体膜、
符号2、3は焦電体膜1の表面上に形成された表面電極
である。そして、これらの電極2、3は、有効受光電極
面積を与えるための電極本体2a、3aと、これらの電
極本体2a、3aから引き出されて延在する引き出し部
2b、3bと、これらの引き出し部2b、3bの先端部
分で構成される端子部2c、3cとから成っている。ま
た、符号4、5は、焦電体膜1の裏面上に形成された裏
面電極である。そして、これらの電極4、5は、有効受
光電極面積を与えるための電極本体4a、5aと、これ
らの電極本体4a、5aから引き出されて延在する引き
出し部4b、5bと、これらの引き出し部4b、5bの
先端部分で構成される端子部4c、5cとから成ってい
る。また、電極2と電極3とは、焦電体膜1の表面上に
点対称的に配置され、電極4と電極5とは、焦電体膜1
の裏面上に点対称的に配置されている。そして、電極2
および3と、電極4および5とは、焦電体膜1の表裏で
同一形状となるように配置されている。
In these figures, reference numeral 1 denotes a pyroelectric film,
Reference numerals 2 and 3 are surface electrodes formed on the surface of the pyroelectric film 1. These electrodes 2 and 3 are provided with electrode main bodies 2a and 3a for providing an effective light receiving electrode area, lead portions 2b and 3b drawn out from these electrode main bodies 2a and 3a and extending, and these lead portions. 2b, 3b, and terminal portions 2c, 3c. Reference numerals 4 and 5 denote back electrodes formed on the back surface of the pyroelectric film 1. These electrodes 4 and 5 are provided with electrode main bodies 4a and 5a for providing an effective light receiving electrode area, lead portions 4b and 5b drawn out and extending from the electrode main bodies 4a and 5a, and these lead portions. 4b, 5b, and terminal portions 4c, 5c. The electrodes 2 and 3 are arranged point-symmetrically on the surface of the pyroelectric film 1, and the electrodes 4 and 5 are
Are arranged point-symmetrically on the back surface of the. And electrode 2
And 3 and the electrodes 4 and 5 are arranged so as to have the same shape on both sides of the pyroelectric film 1.

【0005】したがって、電極2と、電極4と、焦電体
膜1のうちのこれらの電極2および4の間に介在する部
分とによって、第1の単位焦電素子が構成されている。
また、電極3と、電極5と、焦電体膜1のうちのこれら
の電極3および5の間に介在する部分とによって、第2
の単位焦電素子が構成されている。そして、これら第1
および第2の単位焦電素子をこれらの極性が互いに逆向
きになるように直列または並列に接続することによっ
て、対焦電素子が構成されている。例えば、これら第1
および第2の単位焦電素子をこれらの極性が互いに逆向
きになるように並列に接続する場合には、引き出し部2
bの先端部分で構成される端子部2cと、引き出し部5
bの先端部分で構成される端子部5cとは、共通のリー
ド線(図示せず)にそれぞれ電気的に接続される。そし
て、引き出し部3bの先端部分で構成される端子部3c
と、引き出し部4bの先端部分で構成される端子部4c
とは、上述の端子部2cおよび5cの場合と同様に、別
の共通のリード線(図示せず)にそれぞれ電気的に接続
される。
Therefore, the first unit pyroelectric element is constituted by the electrode 2, the electrode 4, and the portion of the pyroelectric film 1 interposed between the electrodes 2 and 4.
The electrode 3, the electrode 5, and the portion of the pyroelectric film 1 interposed between these electrodes 3 and 5 form the second
Are constituted. And these first
By connecting the second pyroelectric element and the second unit pyroelectric element in series or in parallel such that their polarities are opposite to each other, a pyroelectric element is configured. For example, these first
And the second unit pyroelectric element are connected in parallel such that their polarities are opposite to each other,
b, a terminal portion 2c composed of the tip of
The terminal portion 5c constituted by the tip portion of b is electrically connected to a common lead wire (not shown). Then, a terminal portion 3c constituted by a tip portion of the drawer portion 3b
And a terminal portion 4c constituted by a tip portion of the drawer portion 4b
Is electrically connected to another common lead wire (not shown) as in the case of the terminal portions 2c and 5c described above.

【0006】[0006]

【考案が解決しようとする課題】以上に述べたように、
第1および第2の単位焦電素子を対にして構成した対焦
電素子から成る焦電素子装置に関する多くの研究・開発
がなされているにもかかわらず、このような対焦電素子
から成る焦電素子装置の技術を用いて、焦電型赤外線セ
ンサを実際に製造した場合、外乱光に対する電気的特性
が期待どおりに優れているセンサは必ずしも得られず、
また、製造ロット間でその外乱光に対する電気的特性に
ばらつきが見られる。
[Problem to be solved by the invention] As described above,
Despite much research and development on a pyroelectric device comprising a pair of first and second unit pyroelectric elements, the pyroelectric element is composed of such a pyroelectric element. When a pyroelectric infrared sensor is actually manufactured using the pyroelectric device technology, a sensor having excellent electrical characteristics against disturbance light as expected is not necessarily obtained.
Further, there are variations in the electrical characteristics with respect to the disturbance light among the manufacturing lots.

【0007】上述の点についてさらに詳述すると、第1
および第2の単位焦電素子をこれらの極性が互いに逆向
きになるように直列または並列に接続することによって
構成した対焦電素子において、外乱光に対する誤検出を
生じないようにするためには、第1および第2の単位焦
電素子の外乱光に対する電気的特性が互いに揃っている
ことが必要である。さらに具体的に言えば、これら第1
および第2の単位焦電素子を逆並列に接続した場合に
は、外乱光である赤外光が2つの単位焦電素子に同時に
入射したときのこれら両単位焦電素子の発生電荷量が互
いに等しいことが必要であり、また、逆直列に接続した
場合には、赤外光が2つの単位焦電素子に同時入射した
ときのこれら両単位焦電素子の発生電位が互いに等しい
ことが必要である。
The above points will be described in more detail.
In order to prevent erroneous detection of disturbance light from occurring in a pyroelectric element constituted by connecting the second unit pyroelectric elements in series or parallel so that their polarities are opposite to each other, , The first and second unit pyroelectric elements must have the same electrical characteristics with respect to disturbance light. More specifically, these first
When the second unit pyroelectric element and the second unit pyroelectric element are connected in anti-parallel, when the infrared light, which is disturbance light, is simultaneously incident on the two unit pyroelectric elements, the amounts of charges generated by these two unit pyroelectric elements are mutually different. When connected in anti-series, it is necessary that when infrared light is simultaneously incident on the two unit pyroelectric elements, the generated potentials of these two unit pyroelectric elements are equal to each other. is there.

【0008】しかし、実際に製造される対焦電素子は、
これら2つの単位焦電素子の厚み、誘電率および焦電係
数のばらつきを小さくしても、それだけでは外乱光に対
する電気的特性は改善されなかった。
However, the actually manufactured pyroelectric element is:
Even if the variations in the thickness, the dielectric constant and the pyroelectric coefficient of these two unit pyroelectric elements were reduced, the electrical characteristics against disturbance light alone were not improved.

【0009】本考案者は、その原因を鋭意調査・検討し
た結果、通常の製造時の機械的精度では、焦電体膜の表
裏両面にそれぞれ形成される表面電極のパターンと裏面
電極のパターンとの間に互いに位置ずれが生じ、この結
果、各単位焦電素子間で有効受光電極面積に違いが生じ
るためであることを見出した。
As a result of intensive investigation and examination of the cause, the present inventor has found that the mechanical accuracy during normal manufacturing is different from the pattern of the front electrode and the pattern of the back electrode formed on both the front and back surfaces of the pyroelectric film. Are found to be different from each other, and as a result, the effective light receiving electrode area is different between the unit pyroelectric elements.

【0010】次に、この現像を、従来の電極構造を有す
る焦電素子装置について、図1(A)〜図3(B)を参
照してさらに説明する。
Next, this development will be further described with reference to FIGS. 1A to 3B for a pyroelectric device having a conventional electrode structure.

【0011】図1(A)、図2(A)および図3(A)
に示す焦電素子装置において、焦電体膜1の表側の表面
電極2、3のパターンと裏側の裏面電極4、5のパター
ンとが上下および左右方向に若干互いに位置ずれした場
合が、図1(B)、図2(B)および図3(B)にそれ
ぞれ示されている。なお、これらの図1(B)、図2
(B)および図3(B)においては、焦電体膜1の図示
は省略されている。また、斜線部分7aおよび7bは、
電極2と電極4との重なり部分および電極3と電極5と
の重なり部分をそれぞれ示している。そして、矢印は、
引き出し部2b、3b、4b、5bが各電極本体2a、
3a、4a、5aからそれぞれ引き出されて延在し始め
る方向を示している。
FIGS. 1A, 2A and 3A
In the pyroelectric element device shown in FIG. 1, the pattern of the front surface electrodes 2 and 3 of the pyroelectric film 1 and the pattern of the back electrodes 4 and 5 on the back side are slightly displaced from each other in the vertical and horizontal directions. (B), FIG. 2 (B) and FIG. 3 (B). 1 (B) and FIG.
In FIG. 3B and FIG. 3B, illustration of the pyroelectric film 1 is omitted. The hatched portions 7a and 7b are
The overlapping portions of the electrodes 2 and 4 and the overlapping portions of the electrodes 3 and 5 are shown. And the arrow
The lead portions 2b, 3b, 4b, and 5b are the respective electrode main bodies 2a,
3A, 3A, 4A, and 5A show directions in which each of them is drawn out and starts to extend.

【0012】図1(B)の場合には、一対の斜線部分7
a、7bのうちの右側の斜線部分7aの方が、左側の斜
線部分7bよりも、斜線部分7aの上下端において2重
斜線で示す部分8a、8bだけ大きくなっている。図2
(B)の場合には、左側の斜線部分7bの方が、右側の
斜線部分7aよりも、斜線部分7bの上下端において2
重斜線で示す部分8a、8bだけ大きくなっている。図
3(B)の場合には、左側の斜線部分7bの方が、右側
の斜線部分7aよりも、電極3の引き出し部3bの基端
部において2重斜線で示す部分8だけ大きくなってい
る。なお、上記2重斜線部分8a、8b、8は、引き出
し部2b〜5bの何れかが焦電体膜1を介して反対側に
ある電極2〜5の何れかと重なった部分である。そし
て、上記2重斜線部分8a、8b、8が第1および第2
の単位焦電素子の有効受光電極面積を互いに相違させて
いることが判る。
In the case of FIG. 1B, a pair of hatched portions 7
The hatched portion 7a on the right side of a and 7b is larger than the left hatched portion 7b by the portions 8a and 8b indicated by double oblique lines at the upper and lower ends of the hatched portion 7a. FIG.
In the case of (B), the left-side hatched portion 7b is lower at the upper and lower ends of the right-side hatched portion 7b than the right-side hatched portion 7a.
Only the portions 8a and 8b indicated by heavy oblique lines are larger. In the case of FIG. 3 (B), the shaded portion 7b on the left is larger than the shaded portion 7a on the right by the portion 8 indicated by double oblique lines at the base end of the lead portion 3b of the electrode 3. . The double-hatched portions 8a, 8b, 8 are portions where any of the lead portions 2b to 5b overlaps with any of the electrodes 2 to 5 on the opposite side via the pyroelectric film 1. The double hatched portions 8a, 8b, 8 correspond to the first and second portions.
It can be seen that the effective light receiving electrode areas of the unit pyroelectric elements are different from each other.

【0013】上述のように、2重斜線部分8a、8b、
8が生じる理由は、図1(B)、図2(B)および図3
(B)において、引き出し部2b〜5bが電極本体2a
〜5aから引き出されて延在し始める方向(すわなち、
引き出し開始方向)が互いに異なっているために、電極
2〜5のパターンが焦電体膜1の表裏で上下および/ま
たは左右方向に位置ずれすると、電極2と電極4との間
の位置ずれの状態と、電極3と電極5との間の位置ずれ
の状態とが互いに異なって来るためである。
As described above, the double hatched portions 8a, 8b,
The reason why 8 occurs is that FIGS. 1 (B), 2 (B) and 3
In (B), the lead portions 2b to 5b are connected to the electrode body 2a.
~ 5a, the direction in which it begins to extend (that is,
When the patterns of the electrodes 2 to 5 are displaced in the vertical and / or horizontal directions on the front and back surfaces of the pyroelectric film 1 because the drawing start directions are different from each other, the displacement between the electrodes 2 and 4 is This is because the state and the state of displacement between the electrode 3 and the electrode 5 are different from each other.

【0014】このような問題を解決するために、焦電体
膜1の表面電極2、3を裏面電極4、5よりも小さくし
て、電極のパターンが表裏で多少ずれても良いように設
計する方法も、図3(A)に示すように、すでに知られ
ている。しかし、このように設計した場合でも、やは
り、上述のような理由から、図3(B)に示すように、
第1および第2の単位焦電素子で有効受光電極面積が相
違してしまう。
In order to solve such a problem, the surface electrodes 2 and 3 of the pyroelectric film 1 are designed to be smaller than the back electrodes 4 and 5 so that the electrode patterns may be slightly shifted between the front and back sides. As shown in FIG. 3 (A), a method for performing this is already known. However, even in the case of such a design, as shown in FIG.
The effective light receiving electrode area differs between the first and second unit pyroelectric elements.

【0015】本考案者は、上述の知見に基づいて、次に
述べるような焦電素子装置(以下、「参考例装置」とい
う)を本考案とは別に案出した。
The present inventor has devised a pyroelectric element device (hereinafter referred to as a "reference device") described below separately from the present invention based on the above findings.

【0016】すなわち、この参考例装置は、焦電体膜
と、この焦電体膜の一方の面に設けられた第1グループ
の複数個の電極と、上記焦電体膜の他方の面に設けられ
た第2グループの複数個の電極とを備えている。また、
この参考例装置においては、上記第1および第2グルー
プのそれぞれの電極は、有効受光電極面積を与えるため
の電極本体と、他の電気回路とのリード接続を行うため
に、上記電極本体から一体に引き出されて延在する引き
出し部とをそれぞれ有し、上記第1グループの複数個の
電極と、上記第2グループの複数個の電極と、これら第
1および第2グループのそれぞれの複数個の電極の間に
介在する上記焦電体膜とによって、複数個の単位焦電素
子が構成されている。
That is, this reference example device has a pyroelectric film, a plurality of electrodes of a first group provided on one surface of the pyroelectric film, and a pyroelectric film on the other surface of the pyroelectric film. A plurality of electrodes of a second group provided. Also,
In this reference example device, each electrode of the first and second groups is integrally formed from the electrode body for providing an effective light receiving electrode area and the electrode body for lead connection to another electric circuit. A plurality of electrodes of the first group, a plurality of electrodes of the second group, and a plurality of electrodes of each of the first and second groups. A plurality of unit pyroelectric elements are constituted by the pyroelectric film interposed between the electrodes.

【0017】さらに、上記参考例装置においては、上記
第1グループの第1の電極と上記第2グループの第1の
電極とこれら2つの第1の電極の間に介在する上記焦電
体膜とにより第1の単位焦電素子が構成されると共に、
上記第1グループの第2の電極と上記第2グループの第
2の電極とこれら2つの第2の電極の間に介在する上記
焦電体膜とにより第2の単位焦電素子が構成されてい
る。また、この参考例装置においては、上記第1の単位
焦電素子が上記第2の単位焦電素子にそれらの分極方向
を互いに逆にして並列接続されるように上記第1および
第2の単位焦電素子のそれぞれの上記第1および第2の
電極を上記他の電気回路にリード接続するために、上記
第1グループの上記第1の電極の上記引き出し部の先端
部分は、上記第2グループの上記第2の電極の上記引き
出し部の先端部分と上記焦電体膜を挾んでほゞ対向する
と共に、上記第1グループの上記第2の電極の上記引き
出し部の先端部分は、上記第2グループの上記第1の電
極の上記引き出し部の先端部分と上記焦電体膜を挾んで
ほゞ対向している。また、この参考例装置においては、
これら第1グループの上記複数個の電極のパターンが上
記第2グループの上記複数個の電極のパターンに対して
多少位置ずれして形成されていても、上記第1グループ
の上記第1および第2の電極と上記第2グループの上記
第1および第2の電極とのそれぞれの重なり部分により
構成される有効受光電極面積が各単位焦電素子間で実質
的に相違しないように、上記第1グループの複数個の電
極のそれぞれの引き出し部は、上記電極本体から引き出
されて延在し始める方向が実質的に互いに同一の方向で
あり、また、この延在し始める部分の幅も実質的に互い
に同一の大きさであると共に、上記第2グループの複数
個の電極のそれぞれの引き出し部は、上記電極本体から
引き出されて延在し始める方向が実質的に互いに同一の
方向であり、また、この延在し始める部分の幅も実質的
に互いに同一の大きさである。
Further, in the reference example device, the first electrode of the first group, the first electrode of the second group, and the pyroelectric film interposed between the two first electrodes may be provided. Constitutes a first unit pyroelectric element by
A second unit pyroelectric element is constituted by the second electrode of the first group, the second electrode of the second group, and the pyroelectric film interposed between the two second electrodes. I have. Further, in this reference example device, the first and second units are connected such that the first unit pyroelectric element is connected in parallel to the second unit pyroelectric element with their polarization directions reversed. In order to lead-connect each of the first and second electrodes of the pyroelectric element to the other electric circuit, the leading end of the lead portion of the first electrode of the first group is connected to the second group. The tip portion of the lead portion of the second electrode is substantially opposed to the pyroelectric film across the pyroelectric film, and the tip portion of the lead portion of the second electrode of the first group is the second electrode. The tip of the lead portion of the first electrode of the group is substantially opposed to the pyroelectric film. In this reference example device,
Even if the patterns of the plurality of electrodes of the first group are formed to be slightly displaced from the patterns of the plurality of electrodes of the second group, the first and second patterns of the first group are formed. So that the effective light receiving electrode area formed by the respective overlapping portions of the electrodes and the first and second electrodes of the second group does not substantially differ between the unit pyroelectric elements. The direction in which the lead portions of the plurality of electrodes are drawn out from the electrode body and start to extend is substantially the same as each other, and the widths of the portions to start extending are also substantially the same. Each of the lead portions of the plurality of electrodes of the second group has the same size, and the directions in which the lead portions are drawn out of the electrode body and start to extend are substantially the same as each other; Width of the portion begins Mashimashi this extension is also substantially the same size with each other.

【0018】したがって、上述のように構成された参考
例装置(すなわち、焦電素子装置)を用いて従来の手法
に従って焦電型赤外線センサを製造した場合、電極のパ
ターンが焦電体膜の両側面で互いに多少位置ずれしてい
ても、上記焦電素子装置を構成する複数個の単位焦電素
子の有効受光電極面積が各単位焦電素子間で実質的に互
いに同一となるので、外乱光に対する電気的特性の優れ
たセンサを得ることができる。
Therefore, when a pyroelectric infrared sensor is manufactured in accordance with the conventional method using the reference device (that is, the pyroelectric device) configured as described above, the electrode pattern is formed on both sides of the pyroelectric film. Even if the surfaces are slightly displaced from each other, the effective light receiving electrode area of the plurality of unit pyroelectric elements constituting the pyroelectric element device becomes substantially the same between the unit pyroelectric elements, so that disturbance light A sensor having excellent electrical characteristics with respect to.

【0019】次に、上述のように構成された参考例装置
の具体例を図4(A)および図4(B)について説明す
る。なお、これらの図において、図1(A)〜図3
(B)と共通の部分には、同一の符号が付されている。
Next, a specific example of the reference device constructed as described above will be described with reference to FIGS. 4 (A) and 4 (B). In these figures, FIGS.
Parts common to those in FIG. 1B are denoted by the same reference numerals.

【0020】図4(A)において、符号1は焦電体膜で
あり、この焦電体膜1の表面上には、表面電極2、3が
形成され、裏面上には、裏面電極4、5が形成されてい
る。
In FIG. 4A, reference numeral 1 denotes a pyroelectric film, on the surface of which the front electrodes 2 and 3 are formed, and on the back surface, the back electrodes 4 and 5 are formed.

【0021】電極2〜5は、有効受光電極面積を与える
ためのほぼ長方体形状の電極本体2a〜5aと、他の電
気回路(図示せず)とリード接続を行うために、これら
の電極本体2a〜5aから一体に引き出されて延在する
引き出し部2b〜5bと、これらの引き出し部2b〜5
bの先端部分で構成される端子部2c〜5cとから成っ
ている。そして、この引き出し部2b〜5bは、その幅
が電極本体2a〜5aの幅よりも小さい細幅に構成され
ている。また、電極2と電極3の電極本体2a、3aは
ほぼ同形であり、電極4と電極5の電極本体4a、5a
もほぼ同形である。しかし、電極本体4a、5aは、電
極本体2a、3aとの間に位置ずれを生じていない図4
(A)に示す場合に、電極本体2a、3aらはみ出して
いる部分11をそのほぼ全周囲に亘って備えるように構
成されている。
The electrodes 2 to 5 have a substantially rectangular parallelepiped electrode body 2a to 5a for providing an effective light receiving electrode area, and these electrodes for lead connection with other electric circuits (not shown). Drawer portions 2b to 5b which are integrally pulled out from main bodies 2a to 5a and extend therefrom, and these drawer portions 2b to 5b
b of terminal portions 2c to 5c. The width of each of the lead portions 2b to 5b is smaller than the width of each of the electrode main bodies 2a to 5a. The electrode bodies 2a and 3a of the electrodes 2 and 3 have substantially the same shape, and the electrode bodies 4a and 5a of the electrodes 4 and 5 have the same shape.
Are almost identical. However, the electrode main bodies 4a, 5a do not have any positional deviation from the electrode main bodies 2a, 3a.
In the case shown in (A), the electrode body 2a, 3a is configured to have a protruding portion 11 over substantially the entire periphery thereof.

【0022】引き出し部2b〜5bは、電極本体2a〜
5aら引き出されて延在し始める方向が互いにほぼ同一
の方向でかつこの延在し始める基端部分9の幅も互いに
ほゞ同一である。なお、本文において、「同一方向」と
は、平行な方向または完全に同一の方向でかつ向きも同
じ側であることを意味している。
The lead portions 2b to 5b are connected to the electrode main bodies 2a to 2b.
The directions in which the base portions 9 are drawn out from 5a and start to extend are almost the same as each other, and the widths of the proximal end portions 9 which start to extend are almost the same as each other. In the text, the “same direction” means a parallel direction or a completely same direction and the same direction.

【0023】引き出し部2b〜5bは、短い長さだけ上
記同一の方向に延びる基端部分9とこの基端部分9から
ほぼ直角の方向に引き出されてほゞL字状に延在する部
分10とから成っている。そして、こられの部分10の
先端部分で端子部2c〜5cが構成されている。また、
引き出し部2b〜5bは、その基端部分9が互いに重な
らないようにそれぞれ形成されている。そして、電極2
と5の端子部2cと5cは、焦電体膜1の縁部において
この焦電体膜1を挾んで表裏で互いに対向すると共に、
電極3と4の端子部3cと4cは、これと同様に、焦電
体膜1の縁部においてこの焦電体膜1を挟んで表裏で互
いに対向している。また、表面電極2、3のパターンと
裏面電極4、5のパターンとは、はみ出し部分11が存
在することを除いて、焦電体膜1の表裏でほぼ対称的に
なっている。
The draw-out portions 2b to 5b have a base portion 9 extending in the same direction by a short length and a portion 10 which is pulled out from the base portion 9 in a direction substantially perpendicular to and extends substantially in an L-shape. And consists of The terminal portions 2c to 5c are formed by the tip portions of these portions 10. Also,
The drawers 2b to 5b are formed such that their base end portions 9 do not overlap each other. And electrode 2
The terminal portions 2c and 5c are opposed to each other on both sides of the pyroelectric film 1 at the edge of the pyroelectric film 1.
Similarly, the terminals 3c and 4c of the electrodes 3 and 4 are opposed to each other on the front and back sides of the pyroelectric film 1 at the edge of the pyroelectric film 1. The patterns of the front electrodes 2 and 3 and the patterns of the back electrodes 4 and 5 are almost symmetrical on the front and back of the pyroelectric film 1 except for the protruding portion 11.

【0024】したがって、電極2と、電極4と、焦電体
膜1のうちのこれらの電極2および4の間に介在する部
分とによって、第1の単位焦電素子が構成されている。
また、電極3と、電極5と、焦電体膜1のうちのこれら
の電極3および5の間に介在する部分とによって、第2
の単位焦電素子が構成されている。そして、これら第1
および第2の単位焦電素子をこれらの極性が互いに逆向
きになるように並列に接続することによって、対焦電素
子から成る焦電素子装置が構成されている。なお、この
ように極性が互いに逆向きになるように並列に接続する
には、表面電極2の端子部2cと、裏面電極5の端子部
5cとが、特開昭61−175583号公報およびヨー
ロッパ特許公開第131,996号公報に開示されてい
るように、共通のリード線(図示せず)にそれぞれ電気
的に接続される。また、表面電極3の端子部3cと、裏
面電極4の端子部4cとが、電極2および5の端子部2
cおよび5cの場合と同様に、別の共通のリード線(図
示せず)にそれぞれ電気的に接続される。
Therefore, the first unit pyroelectric element is constituted by the electrode 2, the electrode 4, and the portion of the pyroelectric film 1 interposed between the electrodes 2 and 4.
The electrode 3, the electrode 5, and the portion of the pyroelectric film 1 interposed between these electrodes 3 and 5 form the second
Are constituted. And these first
By connecting the second unit pyroelectric element and the second unit pyroelectric element in parallel so that their polarities are opposite to each other, a pyroelectric element device composed of an anti-pyroelectric element is configured. In order to connect in parallel such that the polarities are opposite to each other, the terminal 2c of the front surface electrode 2 and the terminal 5c of the back surface electrode 5 must be connected to each other as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. As disclosed in Japanese Patent Publication No. 131,996, they are electrically connected to common lead wires (not shown). The terminal 3c of the front electrode 3 and the terminal 4c of the back electrode 4 are connected to the terminal 2 of the electrodes 2 and 5.
As in the case of c and 5c, each is electrically connected to another common lead wire (not shown).

【0025】図4(B)には、図4(A)に示す焦電素
子装置において表面電極2、3のパターンと裏面電極
4、5のパターンとがはみ出し部分11の幅だけ上下お
よび左右方向に互いに位置ずれしている状態を示してい
る。このような位置ずれは、焦電体膜1に電極2〜5を
形成する際の製造上の誤差によって往々にして生ずる。
FIG. 4B shows that the pattern of the front electrodes 2 and 3 and the pattern of the back electrodes 4 and 5 in the pyroelectric device shown in FIG. 2 shows a state where the positions are shifted from each other. Such misalignment often occurs due to a manufacturing error in forming the electrodes 2 to 5 on the pyroelectric film 1.

【0026】図4(B)において、電極2〜5の引き出
し部2b〜5bの基端部分9が同一方向に引き出されて
いるので、電極2と4との間の位置ずれの状態と電極3
と5との位置ずれの状態とが引き出し部2b〜5bを含
めて、点対称的に互いに類似している。このために、第
1の単位焦電素子と第2の単位焦電素子とで有効受光電
極面積は、図4(B)において斜線部分7a、7bとし
て示すように、実質的な相違が生じない。
In FIG. 4B, since the base portions 9 of the lead portions 2b to 5b of the electrodes 2 to 5 are drawn in the same direction, the state of displacement between the electrodes 2 and 4 and the position of the electrodes 3
The state of misalignment between 5 and 5 is point-symmetrically similar to each other, including the lead portions 2b to 5b. For this reason, the effective light receiving electrode area of the first unit pyroelectric element and the second unit pyroelectric element does not substantially differ from each other as shown by hatched portions 7a and 7b in FIG. 4B. .

【0027】しかし、図4(A)および図4(B)に具
体例が示されている上記参考例装置は、2つの単位焦電
素子をこれらの分極方向が互いに逆になるように並列接
続したものであるが、焦電型赤外線センサの用途によっ
ては、2つの単位焦電素子をこれらの分極方向が互いに
逆になるように直列接続またはこの直列接続に類似した
接続(後述の図5に示すような接続であって、以下、
「擬似的直列接続」という)にした焦電素子装置を必要
とする場合があり、このような場合には、上記参考例装
置を用いることができない。また、上記参考例装置の場
合には、焦電体膜の両側面にこの焦電体膜を挟んで表裏
に互いに対向するようにそれぞれ配置された一対の電極
の一対の端子部を共通のリード線に接続する必要がある
から、電極のリード線への接続作業が面倒である。
However, in the device of the reference example whose specific example is shown in FIGS. 4A and 4B, two unit pyroelectric elements are connected in parallel so that their polarization directions are opposite to each other. However, depending on the application of the pyroelectric infrared sensor, two unit pyroelectric elements are connected in series or a connection similar to this series connection such that their polarization directions are opposite to each other (see FIG. 5 described later). The connection as shown below,
In some cases, a pyroelectric element device in a “pseudo-series connection” is required, and in such a case, the above-described reference example device cannot be used. Further, in the case of the above-mentioned reference example device, a pair of terminal portions of a pair of electrodes respectively arranged on both sides of the pyroelectric film so as to face each other with the pyroelectric film interposed therebetween are connected to a common lead. Since the wires need to be connected, the work of connecting the electrodes to the lead wires is troublesome.

【0028】したがって、本考案の目的は、複数個の単
位焦電素子を直列接続または擬似的直列接続にした焦電
素子装置であって、その外乱光に対する電気的特性が優
れ、しかも、電極のリード線への接続作業が簡単なもの
を提供することを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a pyroelectric element device in which a plurality of unit pyroelectric elements are connected in series or pseudo-series, which have excellent electrical characteristics with respect to disturbance light, It is an object of the present invention to provide a simple connection work to a lead wire.

【0029】[0029]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の本考案は、冒頭に述べた焦電素子装置において、前記
端子部は、前記複数個の単位焦電素子の第1の電極を前
記焦電体膜の前記一方の面の縁部において前記他の電気
回路とリード接続するために、上記焦電体膜の上記一方
の面の上記縁部に配置され、上記複数個の第1の電極の
おのおのは、前記電極本体から一体に引き出されて上記
端子部まで延在しかつこの端子部と一体に形成されてい
る引き出し部をさらに有し、上記複数個の第1の電極の
それぞれの引き出し部は、これら第1の電極のパターン
が前記第2の電極のパターンに対して多少位置ずれして
形成されていても、上記第1の電極と上記第2の電極と
の重なり部分により構成される有効受光電極面積が各単
位焦電素子間で実質的に相違しないように、上記電極本
体から引き出されて延在し始める方向が実質的に互いに
同一の方向であり、また、この延在し始める部分の幅も
実質的に互いに同一の大きさであると共に、上記第2の
電極の電極本体は、上記複数個の第1の電極の電極本体
との重なり部分の周囲にはみ出し部分を有している。
According to the present invention, there is provided a pyroelectric element device as set forth above, wherein the terminal portion comprises a first electrode of the plurality of unit pyroelectric elements. The first plurality of first pyroelectric films are arranged at the edge of the one surface of the pyroelectric film for lead connection with the other electric circuit at the edge of the one surface of the pyroelectric film. Each of the electrodes further has a lead-out portion that is integrally pulled out from the electrode body and extends to the terminal portion and is formed integrally with the terminal portion, and each of the plurality of first electrodes has a lead-out portion. The lead portion is constituted by an overlapping portion of the first electrode and the second electrode, even if the pattern of the first electrode is formed to be slightly displaced from the pattern of the second electrode. The effective light-receiving electrode area is The directions in which the electrodes are drawn out of the electrode body and start to extend are substantially the same as each other, and the widths of the portions to start extending are also substantially the same in size. And the second
The electrode body of the electrode is an electrode body of the plurality of first electrodes.
And a protruding portion around the overlapped portion.

【0030】[0030]

【実施例】図5(A)および図5(B)には、本考案の
一実施例による焦電素子装置が示されている。なお、図
5(A)および図5(B)において、図4(A)および
図4(B)と共通の部分には、同一の符号が付されてい
る。
FIG. 5A and FIG. 5B show a pyroelectric device according to an embodiment of the present invention. Note that, in FIGS. 5A and 5B, the same reference numerals are given to portions common to FIGS. 4A and 4B.

【0031】図5(A)において、焦電体膜1の裏面上
には、裏面電極4、5が形成されている。これらの裏面
電極4、5は、互いに平行に延在しかつ有効受光電極面
積を与えるための電極本体4a、5aと、これらの電極
本体4a、5aが延在する方向に電極本体4a、5aか
ら一体に引き出されて焦電体膜1の縁部附近まで延在す
る細幅の引き出し部4b、5bと、これらの引き出し部
4b、5bの先端部分で構成されている端子部4c、5
cとから成っている。したがって、引き出し部4b、5
bは、電極本体4a、5aの延在する方向にほゞ沿って
互いに同一の側に引き出されて延在している。
In FIG. 5A, on the back surface of the pyroelectric film 1, back electrodes 4 and 5 are formed. These back electrodes 4, 5 extend in parallel with each other and provide an effective light receiving electrode area, and an electrode main body 4a, 5a extends from the electrode main body 4a, 5a in a direction in which the electrode main bodies 4a, 5a extend. Narrow width lead portions 4b, 5b which are integrally pulled out and extend to the vicinity of the edge of pyroelectric film 1, and terminal portions 4c, 5 which are constituted by the tip portions of these lead portions 4b, 5b.
c. Therefore, the drawers 4b, 5
b are drawn out and extended to the same side substantially along the direction in which the electrode main bodies 4a, 5a extend.

【0032】端子部4c、5cは、裏面電極4、5を焦
電体膜1の裏面の縁部において他の電気回路(図示せ
ず)とリード接続するために、焦電体膜1の裏面の縁部
に互いに並置されている。そして、電極本体4a、5a
から一体に引き出された引き出し部4b、5bは、端子
部4c、5cまで延在しかつこれらの端子部4c、5c
と一体に形成されている。また、引き出し部4b、5b
の幅は電極本体4a、5aおよび端子部4c、5cのい
ずれの幅よりも小さく、端子部4c、5cの幅は、電極
本体4a、5aの幅よりも小さくなっている。
The terminal portions 4c and 5c are used to lead-connect the back electrodes 4 and 5 to another electric circuit (not shown) at the edge of the back surface of the pyroelectric film 1 so that the back electrodes 4 and 5 can be connected to other electric circuits (not shown). Are juxtaposed to each other at the edge of the. Then, the electrode main bodies 4a, 5a
The lead portions 4b, 5b integrally pulled out from the terminals extend to the terminal portions 4c, 5c, and extend to these terminal portions 4c, 5c.
And are formed integrally. Also, the drawers 4b, 5b
Is smaller than the width of any of the electrode bodies 4a, 5a and the terminal portions 4c, 5c, and the width of the terminal portions 4c, 5c is smaller than the width of the electrode bodies 4a, 5a.

【0033】焦電体膜1の表面上には、表面電極2、3
が形成されている。そして、表面電極2は、裏面電極
4、5の電極本体4a、5aが延在する第1の方向の側
の一半部分にそれぞれ重なりかつ有効受光電極面積を与
えるための電極本体2a1 、2a2 と、これらの電極本
体2a1 、2a2 を互いに接続している細幅の接続部1
2とから成っている。また、表面電極3は、裏面電極
4、5の電極本体4a、5aの上記第1の方向とは反対
側の他半部分にそれぞれ重なりかつ有効受光電極面積を
与えるための電極本体3a1 、3a2 と、これらの電極
本体3a1 、3a2を互いに接続している細幅の接続部
12とから成っている。さらに、表面電極2と3との間
には、細幅の隙間13が設けられている。したがって、
表面電極2、3は、裏面電極4、5のようには引き出し
部や端子部を有していない。
On the surface of the pyroelectric film 1, surface electrodes 2, 3
Are formed. The front electrode 2 overlaps with one half of the back electrodes 4, 5 in the first direction on which the electrode bodies 4a, 5a extend, and the electrode bodies 2a 1 , 2a 2 for providing an effective light receiving electrode area. And a narrow connecting portion 1 connecting these electrode bodies 2a 1 and 2a 2 to each other.
It consists of two. Further, the surface electrode 3, the electrode body 4a of the back electrode 4, 5, 5a of the first electrode body 3a 1 for providing respective overlap and the effective light-receiving electrode area to another half of the side opposite to the direction, 3a 2 and a narrow connecting portion 12 connecting these electrode bodies 3a 1 and 3a 2 to each other. Further, a narrow gap 13 is provided between the surface electrodes 2 and 3. Therefore,
The front electrodes 2 and 3 do not have a lead portion or a terminal portion unlike the back electrodes 4 and 5.

【0034】電極本体2a1 、2a2 、3a1 、3a2
は、電極本体4a、5aとの間に位置ずれを生じていな
い図5(A)に示す場合に、電極本体4a、5aからは
み出している部分11を、上記隙間13に臨む部分を除
くそのほぼ全周囲に亘って備えている。また、引き出し
部4bおよび5bは、電極本体4aおよび5aから引き
出されて延在し始める方向が互いにほぼ同一の方向でか
つこの延在し始める基端部分9の幅も互いにほぼ同一で
ある。
The electrode bodies 2a 1 , 2a 2 , 3a 1 , 3a 2
In the case shown in FIG. 5 (A) in which there is no displacement between the electrode main bodies 4a and 5a, the portion 11 protruding from the electrode main bodies 4a and 5a is substantially removed except for the part facing the gap 13. It is provided all around. The directions of the lead portions 4b and 5b which are pulled out from the electrode main bodies 4a and 5a and start to extend are substantially the same as each other, and the width of the base end portion 9 which starts to extend is also substantially the same.

【0035】したがって、表面電極2、3の電極本体2
1 、3a1 と、裏面電極4と、焦電体膜1のうちのこ
れらの電極本体2a1 、3a1 と電極4との間に介在す
る部分とによって、第1の単位焦電素子が構成されてい
る。また、表面電極2、3の電極本体2a2 、3a
2 と、裏面電極5と、焦電体膜1のうちのこれらの電極
本体2a2 、3a2 と裏面電極5との間に介在する部分
とによって、第2の単位焦電素子が構成されている。そ
して、裏面電極4の端子部4cは、他の電気回路とリー
ド線(図示せず)により電気的に接続され、また、裏面
電極5の端子部5cは、他の電気回路と別のリード線
(図示せず)により電気的に接続される。
Therefore, the electrode body 2 of the surface electrodes 2 and 3
a 1 , 3a 1 , the back electrode 4, and a portion of the pyroelectric film 1 interposed between the electrode main bodies 2 a 1 , 3 a 1 and the electrode 4 form a first unit pyroelectric element. It is configured. Further, the electrode bodies 2a 2 , 3a of the surface electrodes 2 , 3
2 , a back electrode 5, and a portion of the pyroelectric film 1 interposed between the electrode main bodies 2a 2 and 3a 2 and the back electrode 5 to form a second unit pyroelectric element. I have. The terminal portion 4c of the back electrode 4 is electrically connected to another electric circuit by a lead wire (not shown), and the terminal portion 5c of the back electrode 5 is connected to another electric circuit and another lead wire. (Not shown).

【0036】なお、これら第1および第2の単位焦電素
子は、表面電極2と3とが互いに一体に形成されていて
電気的に接続されている場合には、従来から周知のよう
に、これらの極性が互いに逆向きになるように直列に接
続されて対焦電素子を構成していることになる。しか
し、この実施例においては、表面電極2と3とが隙間1
3を介して互いに分離されているから、極性が互いに逆
向きになるように擬似的直列接続されて対焦電素子を構
成している。
When the surface electrodes 2 and 3 are formed integrally with each other and are electrically connected to each other, the first and second unit pyroelectric elements are conventionally known. These polarities are connected in series so that the polarities thereof are opposite to each other, thereby forming a pyroelectric element. However, in this embodiment, the gap between the surface electrodes 2 and 3 is 1
Since they are separated from each other via the reference numeral 3, they are connected in a quasi-series manner so that the polarities are opposite to each other, thereby forming a pyroelectric element.

【0037】図5(B)には、図5(A)に示す焦電素
子装置において表面電極2、3と裏面電極4、5とがは
み出し部分11の幅だけ上下および左右方向に互いに位
置ずれしている状態を示している。
FIG. 5B shows that the front electrodes 2 and 3 and the back electrodes 4 and 5 are displaced from each other in the vertical and horizontal directions by the width of the protruding portion 11 in the pyroelectric device shown in FIG. It shows the state that it is doing.

【0038】図5(B)において、裏面電極4、5の引
き出し部4b、5bの基端部分9が同一方向に引き出さ
れているので、表面電極2、3の電極本体2a1 、3a
1 と電極4との間の位置ずれの状態と、表面電極2、3
の電極本体2a2 、3a2 と裏面電極5との位置ずれの
状態とが、引き出し部4b、5bを含めて、互いに類似
している。このために、第1の単位焦電素子および第2
の単位焦電素子の有効受光電極面積のそれぞれの合計
は、図5(B)において斜線部分7a1 、7a2および
斜線部分7b1 、7b2 としてそれぞれ示すようになる
ので、両者の間で実質的な相違は生じない。換言すれ
ば、斜線部分7a1 と7a2 とを合計した第1の単位焦
電素子の有効受光電極面積は、焦電体膜1の表裏で電極
パターンが多少位置ずれしていても、斜線部分7b1
7b2 とを合計した第2の単位焦電素子の有効受光電極
面積と常に実質的に同一である。
In FIG. 5B, since the base portions 9 of the lead portions 4b and 5b of the back electrodes 4 and 5 are drawn in the same direction, the electrode bodies 2a 1 and 3a of the front electrodes 2 and 3 are drawn.
1 and the state of the displacement between the electrode 4 and the surface electrodes 2 and 3
Of the electrode main bodies 2a 2 , 3a 2 and the back electrode 5 are similar to each other, including the lead portions 4b, 5b. To this end, the first unit pyroelectric element and the second unit
The total sum of the effective light receiving electrode areas of the unit pyroelectric elements of FIG. 5 is shown as hatched portions 7a 1 and 7a 2 and hatched portions 7b 1 and 7b 2 in FIG. There is no significant difference. In other words, the effective light-receiving electrode area of the first unit pyroelectric element which is the sum of the hatched portion 7a 1 and 7a 2, even if the electrode patterns on the front and back sides of the pyroelectric film 1 is slightly shifted, the hatched portion effective light-receiving electrode area of the second unit which is the sum of the 7b 1 and 7b 2 pyroelectric element to be always substantially the same.

【0039】本考案は、図5に示す電極パターンのみに
限定されるものではなく、2個の引き出し部4b、5b
の引き出されて延在し始める方向が実質的に互いに同一
でその幅も実質的に同一の大きさであれば、他の電極パ
ターンであってもよい。また、本考案による焦電素子装
置は必ずしも一対の単位焦電素子のみから成っている必
要はなく、一対よりも多い単位焦電素子から成る焦電素
子装置を共通のパッケージ内に封入するようにした焦電
型赤外線センサに本考案を適用することも可能である。
The present invention is not limited to the electrode pattern shown in FIG. 5, but includes two lead portions 4b, 5b.
Other electrode patterns may be used as long as the directions in which they are drawn out and start to extend are substantially the same and their widths are also substantially the same size. Also, the pyroelectric device according to the present invention does not necessarily need to be composed of only a pair of unit pyroelectric devices, and the pyroelectric device composed of more than a pair of unit pyroelectric devices is sealed in a common package. The present invention can be applied to the pyroelectric infrared sensor described above.

【0040】[0040]

【考案の効果】本考案によれば、電極のパターンが焦電
体膜の両側面で互いに多少位置ずれしていても、複数個
の単位焦電素子を直列接続または擬似的直列接続にした
焦電素子装置を構成する上記複数個の単位焦電素子の有
効受光電極面積が各単位焦電素子間で実質的に同一とな
るので、この焦電素子装置を用いて焦電型赤外線センサ
を製造した場合、外乱光に対する電気的特性の優れたセ
ンサを得ることができる。
According to the present invention, even if the electrode patterns are slightly displaced from each other on both sides of the pyroelectric film, a plurality of unit pyroelectric elements are connected in series or pseudo series connection. Since the effective light receiving electrode area of the plurality of unit pyroelectric elements constituting the photoelectric element device is substantially the same between each unit pyroelectric element, a pyroelectric infrared sensor is manufactured using the pyroelectric element device. In this case, a sensor having excellent electric characteristics with respect to disturbance light can be obtained.

【0041】しかも、他の電気回路とリード接続する必
要がある電極は、焦電体膜の一方の面に設けられた第1
の電極のみであり、また、焦電体膜の縁部に配置された
端子部を用いてリード接続することができるから、電極
のリード接続のための作業がきわめて簡便である。さら
に、第2の電極の電極本体は、複数個の第1の電極の電
極本体との重なり部分の周囲にはみ出し部分を有してい
るから、電極のパターンが焦電体膜の両側面において上
記はみ出し部分の範囲内で互いに多少位置ずれしていて
も、複数個の単位焦電素子を直列接続または擬似的直列
接続にした焦電素子装置を構成する上記複数個の単位焦
電素子の有効受光電極面積がほとんど変化しないので、
この焦電素子装置を用いて焦電型赤外線センサを製造し
た場合、外乱光に対する電気的特性のさらに一層優れた
センサを得ることができる。
Further, the electrode which needs to be lead-connected to another electric circuit is the first electrode provided on one surface of the pyroelectric film.
And the lead connection can be performed using the terminal portion arranged at the edge of the pyroelectric film, so that the operation for connecting the electrode lead is extremely simple. Further
In addition, the electrode body of the second electrode is connected to a plurality of electrodes of the first electrode.
It has a protruding part around the overlapping part with the pole body.
Electrode pattern on both sides of the pyroelectric film
The positions are slightly shifted from each other within the protruding part.
Also, multiple unit pyroelectric elements are connected in series or pseudo series.
The plurality of unit focuses constituting the connected pyroelectric element device
Since the effective light receiving electrode area of the
A pyroelectric infrared sensor was manufactured using this pyroelectric device.
Has better electrical characteristics against disturbance light.
A sensor can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(A)は、従来の焦電素子装置の斜視図であ
り、(B)は、(A)に示す焦電素子装置において表面
電極と裏面電極とが互いに位置ずれしている状態を示す
平面図である。
FIG. 1A is a perspective view of a conventional pyroelectric device, and FIG. 1B is a state in which a front electrode and a back electrode of the pyroelectric device shown in FIG. FIG.

【図2】(A)は、従来の別の焦電素子装置の平面図で
あり、(B)は、(A)に示す焦電素子装置において表
面電極と裏面電極とが互いに位置ずれしている状態を示
す平面図である。
FIG. 2A is a plan view of another conventional pyroelectric device, and FIG. 2B is a plan view of the pyroelectric device shown in FIG. FIG.

【図3】(A)は、従来のさらに別の焦電素子装置の平
面図であり、(B)は、(A)に示す焦電素子装置にお
いて表面電極と裏面電極とが互いに位置ずれしている状
態を示す平面図である。
FIG. 3A is a plan view of still another conventional pyroelectric device, and FIG. 3B is a diagram illustrating the pyroelectric device shown in FIG. FIG.

【図4】(A)は、本考案の参考例における焦電素子装
置の平面図であり、(B)は、(A)に示す焦電素子装
置における表面電極と裏面電極とが互いに位置ずれして
いる状態を示す平面図である。
FIG. 4A is a plan view of a pyroelectric device according to a reference example of the present invention, and FIG. 4B is a plan view of the pyroelectric device shown in FIG. It is a top view showing the state where it is doing.

【図5】(A)は、本考案の一実施例による焦電素子装
置の平面図であり、(B)は、(A)に示す焦電素子装
置における表面電極と裏面電極とが互いに位置ずれして
いる状態を示す平面図である。
FIG. 5A is a plan view of a pyroelectric device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5B is a plan view of the pyroelectric device shown in FIG. It is a top view showing the state where it shifted.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 焦電体膜 2 表面電極 2a1 電極本体 2a2 電極本体 3 表面電極 3a1 電極本体 3a2 電極本体 4 裏面電極 4a 電極本体 4b 引き出し部 4c 端子部 5 裏面電極 5a 電極本体 5b 引き出し部 5c 端子部 9 基端部分 12 接続部DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pyroelectric film 2 Surface electrode 2a 1 Electrode main body 2a 2 Electrode main body 3 Surface electrode 3a 1 Electrode main body 3a 2 Electrode main body 4 Back surface electrode 4a Electrode main body 4b Leader 4c Terminal 5 Back electrode 5a Electrode main 5b Leader 5c Terminal Part 9 Base end part 12 Connection part

Claims (4)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項1】焦電体膜と、 この焦電体膜の一方の面に設けられた第1の電極と、 上記焦電体膜の他方の面に設けられた第2の電極とを備
え、 上記第1の電極は、複数個の電極から成り、これら複数
個の第1の電極のおのおのは、有効受光電極面積を与え
るための電極本体と、他の電気回路とのリード接続を行
うために、上記電極本体と一体に形成されている端子部
とをそれぞれ有し、 上記第2の電極は、上記第1の電極の上記電極本体と対
向して有効受光電極面積を与えるための電極本体を少く
とも有し、 上記第1および第2の電極と、これら第1および第2の
電極の間に介在する上記焦電体膜とによって、複数個の
単位焦電素子が構成されている焦電素子装置において、 上記端子部は、上記複数個の単位焦電素子の第1の電極
を上記焦電体膜の上記一方の面の縁部において上記他の
電気回路とリード接続するために、上記焦電体膜の上記
一方の面の上記縁部に配置され、 上記複数個の第1の電極のおのおのは、上記電極本体か
ら一体に引き出されて上記端子部まで延在しかつこの端
子部と一体に形成されている引き出し部をさらに有し、 上記複数個の第1の電極のそれぞれの引き出し部は、こ
れら第1の電極のパターンが上記第2の電極のパターン
に対して多少位置ずれして形成されていても、上記第1
の電極と上記第2の電極との重なり部分により構成され
る有効受光電極面積が各単位焦電素子間で実質的に相違
しないように、上記電極本体から引き出されて延在し始
める方向が実質的に互いに同一の方向であり、また、こ
の延在し始める部分の幅も実質的に互いに同一の大きさ
であると共に、 上記第2の電極の電極本体は、上記複数個の第1の電極
の電極本体との重なり部分の周囲にはみ出し部分を有す
ことを特徴とする焦電素子装置。
A pyroelectric film, a first electrode provided on one surface of the pyroelectric film, and a second electrode provided on the other surface of the pyroelectric film. The first electrode is composed of a plurality of electrodes, and each of the plurality of first electrodes is used for lead connection between an electrode body for providing an effective light receiving electrode area and another electric circuit. An electrode body for providing an effective light-receiving electrode area in opposition to the electrode body of the first electrode, the electrode body having a terminal portion integrally formed with the electrode body. Wherein a plurality of unit pyroelectric elements are constituted by the first and second electrodes and the pyroelectric film interposed between the first and second electrodes. In the electronic device, the terminal unit may be configured to connect the first electrodes of the plurality of unit pyroelectric elements to the focus. The lead electrode is disposed at the edge of the one surface of the pyroelectric film for lead connection with the other electric circuit at the edge of the one surface of the body film; Each of the plurality of first electrodes further includes a lead portion that is integrally pulled out from the electrode main body, extends to the terminal portion, and is formed integrally with the terminal portion. Means that the pattern of the first electrode is slightly shifted from the pattern of the second electrode.
The direction in which the effective light-receiving electrode area formed by the overlapped portion of the second electrode and the second electrode does not substantially differ between the unit pyroelectric elements and is drawn out from the electrode body and starts to extend substantially. to the same direction to each other and, together with the width of the portion begins Mashimashi this extension is also substantially the same size with each other, the electrode body of the second electrode, the first electrode of the plurality
Has a protruding part around the overlapping part with the electrode body
Pyroelectric element and wherein the that.
【請求項2】上記第1および第2の電極のおのおのは、
2個の電極から成り、 上記第2の電極のうちの一方の電極は、上記2個の第1
の電極の電極本体の一半部分とそれぞれ対向する第1お
よび第2の電極本体と、これら第1および第2の電極本
体を互いに電気的に接続する細幅の第1の接続部とを有
し、 上記第2の電極のうちの他方の電極は、上記2個の第1
の電極の電極本体の他半部分とそれぞれ対向する第1の
および第2の電極本体と、これら第1および第2の電極
本体を互いに電気的に接続する細幅の第2の接続部とを
有することを特徴とする請求項1に記載の焦電素子装
置。
2. The method according to claim 1, wherein each of said first and second electrodes is
One of the second electrodes is composed of the two first electrodes.
First and second electrode bodies respectively opposed to one half of the electrode body of the first electrode, and a narrow first connection portion for electrically connecting the first and second electrode bodies to each other. The other of the second electrodes is connected to the two first electrodes.
A first and a second electrode body respectively facing the other half of the electrode body of the first electrode and a narrow second connecting portion for electrically connecting the first and the second electrode body to each other. The pyroelectric device according to claim 1, further comprising:
【請求項3】上記第1の電極のそれぞれの引き出し部の
幅は、これら第1の電極のそれぞれの電極本体の幅より
も小さく、上記第1の電極のそれぞれの端子部の幅より
も小さいことを特徴とする請求項1または2に記載の焦
電素子装置。
3. The width of each lead portion of the first electrode is smaller than the width of each electrode body of each of the first electrodes, and is smaller than the width of each terminal portion of each of the first electrodes. The pyroelectric element device according to claim 1, wherein:
【請求項4】上記複数個の第1の電極のそれぞれの引き
出し部は、これら第1の電極のそれぞれの電極本体の延
在する方向にほゞ沿って同一の側に引き出されて延在し
ていることを特徴とする請求項1〜のうちのいずれか
に記載の焦電素子装置。
4. The respective lead-out portions of the plurality of first electrodes are pulled out to the same side substantially along the direction in which the electrode bodies of the first electrodes extend, and extend. The pyroelectric device according to any one of claims 1 to 3 , wherein
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