JP2550661B2 - Composite magnetic head - Google Patents

Composite magnetic head

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JP2550661B2
JP2550661B2 JP13392788A JP13392788A JP2550661B2 JP 2550661 B2 JP2550661 B2 JP 2550661B2 JP 13392788 A JP13392788 A JP 13392788A JP 13392788 A JP13392788 A JP 13392788A JP 2550661 B2 JP2550661 B2 JP 2550661B2
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    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/1875"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は複合磁気ヘッドに関し、特に主コア部の材料
として軟磁性の金属磁性薄膜を、補助コア部の材料とし
て単結晶フェライトを用い、高周波記録・再生に適する
複合磁気ヘッドに関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a composite magnetic head, and in particular, a soft magnetic metal magnetic thin film is used as a material of a main core portion, and a single crystal ferrite is used as a material of an auxiliary core portion. The present invention relates to a composite magnetic head suitable for recording and reproduction.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、磁気記録の分野においては、記録信号の高密度
化が進行しており、高い抗磁力と残留磁束密度を有する
磁気記録媒体が使用されるようになっている。これに伴
って、磁気ヘッドのコア材料には高い飽和磁束密度およ
び透磁率を有することが要求されている。
In recent years, in the field of magnetic recording, the density of recording signals has been increasing, and magnetic recording media having high coercive force and residual magnetic flux density have been used. Accordingly, the core material of the magnetic head is required to have high saturation magnetic flux density and magnetic permeability.

このコア材料としては一般的に酸化物磁性材料が用い
られ、中でもフェライトが最も広く使用されているが、
上述の要求に対応するためには飽和磁束密度がまだ不足
している。そこで、磁気ヘッドを補助コア部、および該
補助コア部に積層され磁気ギャップ部に臨んで形成され
る主コア部の二部分から構成し、上記補助コア部の材料
としてフェライト等の酸化物磁性材料、上記主コア部の
材料として高飽和磁束密度を有する軟磁性合金を使用し
た、いわゆるメタル・イン・ギャップ型の複合磁気ヘッ
ドが以前から提案されている。ここで上記主コア部は、
軟磁性合金からなる金属磁性薄膜として形成されてい
る。このような複合磁気ヘッドは既に一部の消去用ヘッ
ドに採用されている。
As the core material, an oxide magnetic material is generally used, and among them, ferrite is most widely used.
The saturation magnetic flux density is still insufficient to meet the above requirements. Therefore, the magnetic head is composed of two parts, an auxiliary core part and a main core part which is laminated on the auxiliary core part and faces the magnetic gap part. The auxiliary core part is made of an oxide magnetic material such as ferrite. A so-called metal-in-gap type composite magnetic head using a soft magnetic alloy having a high saturation magnetic flux density as a material for the main core has been proposed. Here, the main core part is
It is formed as a metal magnetic thin film made of a soft magnetic alloy. Such a composite magnetic head has already been adopted for some erasing heads.

ところで、このようなメタル・イン・ギャップ型の複
合磁気ヘッドにおいては、再生信号の周波数特性が周期
的に変動する、いわゆるうねりが観測されていた。これ
は、複合磁気ヘッドの製造工程において不可欠なスパッ
タリングやガラス融着工程時の高温加熱により、上記金
属磁性薄膜と酸化物磁性材料とがその界面において反応
し、著しく透磁率の低下した領域、すなわち反応層が形
成されるためである。上記酸化物磁性材料の研削面のう
ち磁気ギャップに臨む部分が該磁気ギャップと略平行な
主面となされているような複合磁気ヘッドにおいては、
反応層のうち該主面に沿って形成された部分が疑似ギッ
ャプとして作用する可能性がある。この疑似ギッャプ
は、本来の磁気ギャップを通過する磁束と干渉を起こし
て疑似信号を生成し、再生出力のS/N比を低下させる。
かかる欠点が、複合磁気ヘッドの記録・再生兼用ヘッド
としての実用化を妨げる原因となっていた。
By the way, in such a metal-in-gap type composite magnetic head, a so-called swell, in which the frequency characteristics of a reproduced signal periodically fluctuates, has been observed. This is a region where the metal magnetic thin film and the oxide magnetic material react at the interface due to high temperature heating during the sputtering or glass fusing step which is indispensable in the manufacturing process of the composite magnetic head, that is, a region where the magnetic permeability is significantly lowered, that is, This is because a reaction layer is formed. In the composite magnetic head in which a portion of the ground surface of the oxide magnetic material facing the magnetic gap is a main surface substantially parallel to the magnetic gap,
A portion of the reaction layer formed along the main surface may act as a pseudo gap. This pseudo gap causes interference with the magnetic flux passing through the original magnetic gap to generate a pseudo signal, which reduces the S / N ratio of the reproduction output.
Such a defect has been a cause of impeding the practical application of the composite magnetic head as a recording / reproducing head.

上述のような欠点を回避するための一方法として、反
応層が仮に形成されたとしてもこれが磁気ギッャプと略
平行な面を持たないようにする方法が従来提案されてい
る。たとえば特開昭55-58824号公報には、補助コア部と
して使用されるフェライトの裏面のうち上記界面に露出
する面をラッピングにより粗面化した後、主コア部とな
る金属磁性薄膜をスパッタリングにより被着形成するこ
とにより、補助コア部と主コア部との界面の中で磁気ギ
ャップと平行となる部分を少なくする技術が開示されて
いる。また、この技術において発生する虞れのある加工
変質層の問題を解決するために、特開昭62-102409号公
報には単結晶フェライトの表面のうち上記界面に露出す
る面を{100}面以外の結晶面方位を有する面とし、こ
の面に対してラッピングおよびエッチングを行う技術が
開示されている。
As one method for avoiding the above-mentioned drawbacks, there has been conventionally proposed a method in which even if a reaction layer is formed, it does not have a surface substantially parallel to the magnetic gap. For example, in Japanese Patent Laid-Open No. 55-58824, the surface of the ferrite used as the auxiliary core portion, which is exposed at the above interface, is roughened by lapping and then the metal magnetic thin film to be the main core portion is sputtered. A technique is disclosed in which the portion formed in parallel with the magnetic gap in the interface between the auxiliary core portion and the main core portion is reduced by forming the film by deposition. Further, in order to solve the problem of a work-affected layer which may occur in this technique, Japanese Unexamined Patent Publication No. 62-102409 discloses a surface of a single crystal ferrite which is exposed at the above interface as a {100} plane. There is disclosed a technique in which a plane having a crystal plane orientation other than the above is used and lapping and etching are performed on this plane.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

上述の従来の技術によれば、補助コア部と主コア部と
の界面に磁気ギッャプと平行な面が発生する割合は確か
に低くなるので疑似ギャップの影響は低減させることが
できる。しかしながら、反応層の形成自体が抑制される
わけではないので、磁気抵抗の増大や透磁率の低下を防
止することは依然として困難である。
According to the above-mentioned conventional technique, the rate of occurrence of a plane parallel to the magnetic gap at the interface between the auxiliary core portion and the main core portion is certainly low, so that the influence of the pseudo gap can be reduced. However, since the formation of the reaction layer itself is not suppressed, it is still difficult to prevent an increase in magnetic resistance and a decrease in magnetic permeability.

そこで本発明は、疑似ギャップの影響を低減させると
共に、磁気抵抗の増大や透磁率の低下をも防止すること
の可能な複合磁気ヘッドの提供を目的とする。
Therefore, an object of the present invention is to provide a composite magnetic head capable of reducing the influence of the pseudo gap and preventing an increase in magnetic resistance and a decrease in magnetic permeability.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明者らは上述の課題を解決すべく鋭意研究を行っ
た結果、補助コア部と主コア部との界面における反応層
の形成速度が補助コア部の材料である単結晶フェライト
の表面の結晶面方位に依存することを見出し、本発明に
到ったものである。
As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that the rate of formation of the reaction layer at the interface between the auxiliary core portion and the main core portion is a crystal of the surface of the single crystal ferrite that is the material of the auxiliary core portion. The present invention has been completed by finding that it depends on the plane orientation.

すなわち本発明にかかる複合磁気ヘッドは、少なくと
も一方の磁気コア半体が単結晶フェライトと該単結晶フ
ェライトに積層される金属磁性薄膜から構成される一対
の磁気コア半体が突き合わされ、上記金属磁性薄膜の突
き合わせ面に磁気ギッャプが形成されてなる複合磁気ヘ
ッドであって、上記単結晶フェライトの研削面のうち磁
気ギャップに臨む部分は該磁気ギッャプと略平行な主面
となされ、かつ上記主面が{100}面から〈110〉方向へ
10〜30度傾斜した面、または{110}面から〈110〉方向
へ10〜30度傾斜した面、または{100}面から〈100〉方
向へ10〜30度傾斜した面のいずれかであることを特徴と
するものである。
That is, in the composite magnetic head according to the present invention, at least one of the magnetic core halves is made up of a pair of magnetic core halves made of a single crystal ferrite and a metal magnetic thin film laminated on the single crystal ferrite. A composite magnetic head having a magnetic gap formed on the abutting surface of a thin film, wherein a portion of the ground surface of the single crystal ferrite facing the magnetic gap is a main surface substantially parallel to the magnetic gap, and the main surface. From the {100} plane to the <110> direction
Either a surface inclined by 10 to 30 degrees, a surface inclined by 10 to 30 degrees from the {110} surface in the <110> direction, or a surface inclined by 10 to 30 degrees from the {100} surface in the <100> direction. It is characterized by that.

〔作用〕[Action]

本発明においては、補助コア部の材料となる単結晶フ
ェライトの表面のうち、磁気ギャップに臨みかつ該磁気
ギャップと略平行な主面の結晶面方位が{100}面から
〈110〉方向へ10〜30度傾斜した面、または{110}面か
ら〈110〉方向へ10〜30度傾斜した面、または{100}面
から〈100〉方向へ10〜30度傾斜した面のいずれかひと
つに選ばれている。これらの面を第3図に示す面心立方
晶の極点図を参照しながら説明する。これらの面はおお
よそ図中の破線で囲んだ領域に存在し、たとえば{10
0}面から〈110〉方向へ10〜30度傾斜した面には{11
5}面や{113}面等が、{110}面から〈110〉方向へ10
〜30度傾斜した面には{133}面や{122}面等が、また
{100}面から〈100〉方向へ10〜30度傾斜した面には
{013}面や{012}面等が含まれる。これらの面は、高
温下でも主コア部として積層される軟磁性金属との間で
反応を起こしにくい性質を有している。したがってこれ
らの面を単結晶フェライトの主面とした場合、該主面に
沿った軟磁性金属との界面が磁気ギャップと略平行であ
っても、この部分には透磁率低下の原因となる反応層が
形成されにくくなり、疑似ギャップによる悪影響を低減
させることができる。
In the present invention, of the surface of the single crystal ferrite that is the material of the auxiliary core portion, the crystal plane orientation of the main surface that faces the magnetic gap and is substantially parallel to the magnetic gap is from the {100} plane to the <110> direction. -30 degree inclined surface, {110} surface to <110> direction inclined 10 to 30 degree, or {100} surface inclined to <100> direction inclined to 10 to 30 degree. Has been. These planes will be described with reference to the pole figure of the face-centered cubic crystal shown in FIG. These planes roughly exist in the area surrounded by the broken line in the figure, for example, {10
{11} on a surface inclined by 10 to 30 degrees from the 0} surface in the <110> direction
5} plane or {113} plane, etc. from the {110} plane in the <110> direction 10
{133} or {122} planes are inclined by -30 degrees, and {013} or {012} planes are inclined by 10-30 degrees from {100} to <100>. Is included. These surfaces have the property that they do not easily react with the soft magnetic metal laminated as the main core portion even at high temperatures. Therefore, when these planes are used as the main planes of the single crystal ferrite, even if the interface with the soft magnetic metal along the main planes is substantially parallel to the magnetic gap, the reaction that causes the decrease in the magnetic permeability will occur in this portion. The layer is less likely to be formed, and the adverse effect of the pseudo gap can be reduced.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の好適な実施例を実験例にもとづいて説
明する。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described based on experimental examples.

本実施例は、補助コア部の材料となる酸化物磁性材料
としてMn-Zn系フェライトを、主コア部となる金属磁性
薄膜に使用される軟磁性合金としてFe-Ga-Si-Ru系合金
を使用した複合磁気ヘッドの例である。
In this embodiment, Mn-Zn ferrite is used as the oxide magnetic material that is the material of the auxiliary core portion, and Fe-Ga-Si-Ru alloy is the soft magnetic alloy that is used for the metal magnetic thin film that is the main core portion. It is an example of the composite magnetic head used.

以下、本実施例にかかる複合磁気ヘッドの構成を第1
図を参照しながら説明する。この図は、いわゆるメタル
・イン・ギャップ型の複合磁気ヘッドの外観を示すもの
である。このような複合磁気ヘッドは、記録媒体対接面
(1)の中央に位置する磁気ギャップ(2)を境として
左右別々の磁気コア半体(I),(II)として作成さ
れ、最後にガラス融着等により該磁気コア半体(I),
(II)が対向して接合される。上記磁気コア半体
(I),(II)の少なくとも一方には、コイルを巻装す
るための巻線溝(11)が穿設されている。各磁気コア半
体(I),(II)はMn-Zn系フェライトからなる補助コ
ア部(3),(4)とFe-Ga-Si-Ru系合金からなる主コ
ア部である金属磁性薄膜(5),(6)とに大別され
る。上記磁気ギャップ(2)の両端にはトラック幅Tw
(第2図参照。)を規制するための略円弧状の切溝
(7),(8)が設けられており、該切溝(7),
(8)には磁気記録媒体との当たり特性を確保するとと
もに磁気記録媒体の摺接により偏摩耗を防止するために
ガラス等の非磁性材料が充填され、ガラス充填層(9)
となっている。さらに本実施例にかかる複合磁気ヘッド
においては、上記金属磁性薄膜(5),(6)の中で磁
気ギャップ(2)が形成される部分、および該金属磁性
薄膜(5),(6)とガラス充填層(9)との界面とな
る部分に酸化シリコン層が(10)が被着形成されてお
り、ギャップ・スペーサーとして機能するようになって
いる。ここで、酸化シリコン層(10)を使用せずに、融
着ガラスをギャップ・スペーサーとして使用しても良
い。
Hereinafter, the configuration of the composite magnetic head according to the present embodiment will be first described.
This will be described with reference to the drawings. This figure shows the appearance of a so-called metal-in-gap type composite magnetic head. Such a composite magnetic head is created as separate magnetic core halves (I) and (II) with a magnetic gap (2) located at the center of the recording medium contact surface (1) as a boundary, and finally, a glass core. The magnetic core half body (I) by fusion or the like,
(II) is joined facing each other. A winding groove (11) for winding a coil is formed in at least one of the magnetic core halves (I) and (II). Each of the magnetic core halves (I) and (II) is a metal magnetic thin film that is a main core part composed of auxiliary core parts (3) and (4) composed of Mn-Zn ferrite and Fe-Ga-Si-Ru alloy. It is roughly divided into (5) and (6). A track width Tw is provided at both ends of the magnetic gap (2).
(See FIG. 2) are provided with substantially arcuate cut grooves (7), (8) for restricting the cut grooves (7),
(8) is filled with a non-magnetic material such as glass in order to secure the contact property with the magnetic recording medium and prevent uneven wear due to sliding contact with the magnetic recording medium, and the glass filling layer (9)
Has become. Further, in the composite magnetic head according to the present embodiment, a portion of the metal magnetic thin films (5) and (6) where the magnetic gap (2) is formed, and the metal magnetic thin films (5) and (6). A silicon oxide layer (10) is deposited on a portion which becomes an interface with the glass filling layer (9) and functions as a gap spacer. Here, fused glass may be used as a gap spacer without using the silicon oxide layer (10).

上述のような複合磁気ヘッドの構成においては、上記
金属磁性薄膜(5),(6)が上記切溝(7),(8)
に沿い、かつ磁気ギャップ(2)を囲むように形成さ
れ、磁気ギャップ(2)へ向かって収束する形状を有し
ているので、磁束を集中的に該磁気ギャップ(2)へ導
くことができる。
In the structure of the composite magnetic head as described above, the metal magnetic thin films (5) and (6) are the cut grooves (7) and (8).
Is formed so as to surround the magnetic gap (2) and has a shape that converges toward the magnetic gap (2), so that the magnetic flux can be intensively guided to the magnetic gap (2). .

上記金属磁性薄膜(5),(6)としては、上述のFe
-Ga-Si-Ru系合金以外にも軟磁気特性に優れた結晶質軟
磁性合金材料を使用することができ、例えばFe-Al-Si系
合金、Fe-Ga-Si系合金、Fe-Al-Ge系合金、Fe-Ga-Ge系合
金、Fe-Si-Ge系合金、Fe-Co-Si系合金、Fe-Co-Si-Al系
合金等が使用される。
As the metal magnetic thin films (5) and (6), the above-mentioned Fe is used.
In addition to -Ga-Si-Ru alloys, crystalline soft magnetic alloy materials with excellent soft magnetic properties can be used. For example, Fe-Al-Si alloys, Fe-Ga-Si alloys, Fe-Al alloys. -Ge alloys, Fe-Ga-Ge alloys, Fe-Si-Ge alloys, Fe-Co-Si alloys, Fe-Co-Si-Al alloys, etc. are used.

たとえばFe-Ga-Si系合金を使用する場合、その組成は
次式 FexGaySiz (ただし、式中のx,y,zは各元素の組成を原子%で表
す。) で表され、その組成範囲は 68≦x≦84 1≦y≦23 6≦z≦31 であることが望ましい。上記合金の耐蝕性,耐摩耗性を
向上させるために、Feの15原子%までをCo,Ni,Ruのいず
れか、あるいはこれらの組み合わせにより置換しても良
く、本実施例において使用したFe-Ga-Si-Ru系合金はRu
で置換した場合に相当している。実際に使用して好結果
をもたらした典型的な組成としては、Fe74Ga9Si8Ru9
が挙げられる。
For example, when an Fe-Ga-Si alloy is used, its composition is represented by the following formula Fe x Ga y Si z (where x, y, z represent the composition of each element in atomic%). The composition range is preferably 68 ≦ x ≦ 84 1 ≦ y ≦ 23 6 ≦ z ≦ 31. In order to improve the corrosion resistance and wear resistance of the above alloy, up to 15 atomic% of Fe may be replaced by any of Co, Ni, Ru, or a combination thereof. Ga-Si-Ru alloy is Ru
This is equivalent to replacing with. Fe 74 Ga 9 Si 8 Ru 9 and the like are typical compositions that have been successfully used in practice.

なお、補助コア部(3),(4)と上記金属磁性薄膜
(5),(6)との間にはさらにこの両者の間の反応を
防止するために下地層を設けると一層効果的に疑似ギャ
ップの形成を抑制することができる。このような下地層
の材料としては、1〜30原子%の耐蝕性金属を含有する
磁性金属や磁性合金、あるいは非磁性酸化物や非磁性窒
化物等が使用される。
It is more effective to provide an underlayer between the auxiliary core portions (3) and (4) and the metal magnetic thin films (5) and (6) in order to prevent reaction between the two. The formation of the pseudo gap can be suppressed. As a material for such an underlayer, a magnetic metal or magnetic alloy containing 1 to 30 atomic% of a corrosion-resistant metal, or a nonmagnetic oxide or a nonmagnetic nitride is used.

上記金属磁性薄膜(5),(6)および必要に応じて
設けられる下地層は、各種スパッタリング,イオン・プ
レーティング,真空蒸着法,クラスター・イオン・ビー
ム蒸着法等の従来公知の方法により形成することができ
る。
The metal magnetic thin films (5) and (6) and the underlying layer provided as necessary are formed by a conventionally known method such as various sputtering, ion plating, vacuum vapor deposition method, cluster ion beam vapor deposition method and the like. be able to.

本発明者らは上述のような複合磁気ヘッドを作成する
に際し、まずMn-Zn系単結晶フェライトを研削して第2
図に示すような補助コア部(3)を作成した。この補助
コア部(3)の研削面のうち、磁気ギャップに臨みかつ
トラック幅Twを規制する面が主面(12)である。本発明
は、この主面の結晶面方位を従来最も一般的に使用され
ている{100}面あるいは{110}面等から角度θだけ傾
けた面とすることを主旨としており、第2図には{10
0}面を〈110〉方向へ15〜25度傾けてこれを{115}面
ないし{113}面とした場合が図示されている。ただし
図中ではこれらの面は方向ベクトルで説明されており、
実線は〈100〉方向を、また主面(12)の法線である点
線は〈115〉方向ないし〈113〉方向を表す。本実施例に
おいては、主面(12)をそれぞれ{511}面,{311}
面,{221}面および{331}面とした4種類の補助コア
部を作成した。これらの主面に対して鏡面研磨を行った
後、金属磁性薄膜としてFe-Ga-Si-Ru系合金の薄膜をス
パッタリングにより被着形成した。次にガラス融着工程
を想定して650℃,1時間の熱処理を行い、Ar+イオンスパ
ッタリングを併用したオージェ電子分光法により深さ方
向分析を行った。これらの結果を第4図(A)ないし第
4図(D)にそれぞれ示す。
The inventors of the present invention firstly grind the Mn-Zn-based single crystal ferrite to form the composite magnetic head as described above.
An auxiliary core portion (3) as shown in the figure was created. Of the ground surface of the auxiliary core portion (3), the surface facing the magnetic gap and regulating the track width T w is the main surface (12). The present invention is aimed at setting the crystal plane orientation of this principal plane to be a plane inclined by an angle θ from the {100} plane or {110} plane, which is most commonly used in the past, and is shown in FIG. Is {10
It is illustrated that the 0} plane is tilted in the <110> direction by 15 to 25 degrees to form the {115} plane or the {113} plane. However, in the figure, these planes are explained by the direction vector,
The solid line represents the <100> direction, and the dotted line which is the normal to the principal surface (12) represents the <115> direction or the <113> direction. In the present embodiment, the main surface (12) has a {511} surface and a {311} surface, respectively.
We prepared four types of auxiliary core parts, which are the plane, the {221} plane, and the {331} plane. After mirror-polishing these major surfaces, a Fe-Ga-Si-Ru alloy thin film was deposited by sputtering as a metal magnetic thin film. Next, assuming a glass fusion process, heat treatment was performed at 650 ° C for 1 hour, and depth direction analysis was performed by Auger electron spectroscopy combined with Ar + ion sputtering. These results are shown in FIGS. 4 (A) to 4 (D), respectively.

また比較のために、主面に{100}面,{111}面,
{110}面および{112}面を有する補助コア部も作成
し、同様に金属磁性薄膜を被着形成して熱処理を行い、
深さ方向分析を行った。特に上記{112}面は、{100}
面から〈110〉方向に傾いた面ではあるが、その傾斜角
が10〜30度の範囲に含まれないような面の代表例として
挙げたものである。これらの結果を第5図(A)ないし
第5図(D)にそれぞれ示す。
For comparison, the main surface is {100} surface, {111} surface,
An auxiliary core portion having {110} planes and {112} planes was also created, and similarly, a metal magnetic thin film was formed by deposition and heat treatment was performed.
Depth profile analysis was performed. In particular, the {112} plane above is {100}
Although it is a surface inclined in the <110> direction from the surface, it is a representative example of the surface whose inclination angle is not included in the range of 10 to 30 degrees. These results are shown in FIGS. 5 (A) to 5 (D), respectively.

これらの第4図(A)ないし第4図(D)、および第
5図(A)ないし第5図(D)において、縦軸はオージ
ェピーク高さを任意単位にて表し、各元素の濃度の尺度
を提供するものである。また、横軸は表面からの深さを
スパッタリング時間(分)により表すものである。した
がって各図の左端は磁気ギャップ側に対応し、そこから
右方向にたどってゆくと金属磁性薄膜,界面領域,Mn-Zn
系フェライトの各相が順次現れることになる。
In these FIGS. 4 (A) to 4 (D) and FIGS. 5 (A) to 5 (D), the vertical axis represents the Auger peak height in arbitrary units, and the concentration of each element. It provides a measure of. The horizontal axis represents the depth from the surface by the sputtering time (minutes). Therefore, the left end of each figure corresponds to the magnetic gap side, and if you trace from there to the right direction, the metallic magnetic thin film, the interface region, and Mn-Zn
Each phase of the system ferrite will appear in sequence.

まず第4図(A)ないし第4図(D)をみると、各図
の左端,すなわち金属磁性薄膜の表面においてOの値が
急激に高くなっているのは、熱処理時に表面酸化が起こ
ったためである。スパッタリング時間でみておおよそ70
〜110分付近を金属磁性薄膜とMn-Zn系フェライトとの界
面領域とみなすことができ、金属磁性薄膜側からMn-Zn
系フェライト側へのSiおよびGaの拡散、およびMn-Znフ
ェライト側から金属磁性薄膜側への酸素の拡散が若干み
られる。しかし、上記界面領域以外の領域では各元素に
対応するオージェピーク高さが比較的一定であることか
ら、該界面領域を境として左側では金属磁性薄膜の、右
側ではMn-Zn系フェライトの組成がそれぞれ良好に保持
されていることがわかる。したがって、Mn-Zn系フェラ
イトの{115}面,{113}面,{122}面および{133}
面における金属磁性薄膜との反応速度は十分に遅いと言
える。
First, referring to FIGS. 4 (A) to 4 (D), the value of O sharply increases at the left end of each figure, that is, at the surface of the metal magnetic thin film, because the surface oxidation occurs during the heat treatment. Is. Approximately 70 in terms of sputtering time
About 110 minutes can be regarded as the interface region between the metal magnetic thin film and the Mn-Zn system ferrite, and the Mn-Zn from the metal magnetic thin film side
There is some diffusion of Si and Ga to the ferrite side of the system, and diffusion of oxygen from the Mn-Zn ferrite side to the metallic magnetic thin film side. However, since the Auger peak height corresponding to each element is relatively constant in the region other than the interface region, the composition of the metallic magnetic thin film on the left side of the interface region and the composition of the Mn-Zn-based ferrite on the right side are the boundaries. It can be seen that each is well retained. Therefore, the {115} plane, {113} plane, {122} plane and {133} plane of Mn-Zn ferrite
It can be said that the reaction rate with the metal magnetic thin film on the plane is sufficiently slow.

また図示されてはいないが、{012}面及び{013}面
をMn−Zn系がフェライトの主面とした場合にも同様の効
果が確認された。
Although not shown in the drawing, the same effect was confirmed when the {012} plane and the {013} plane were used as the ferrite main surfaces of the Mn-Zn system.

なお、上述のような界面領域における元素の拡散は、
従来公知の反応防止層を設けることにより一層効果的に
抑制された。
The diffusion of elements in the interface region as described above is
It was more effectively suppressed by providing a conventionally known reaction-preventing layer.

これに対し、第5図(A)ないし第5図(D)をみる
と、いずれもMn-Zn系フェライト側からFeとOが大幅に
金属磁性薄膜側へ拡散しており、これにともなって金属
磁性薄膜の組成も変動している。これらの場合には界面
領域において著しく透磁率が低下し、複合磁気ヘッドと
された際に疑似ギャップの問題を生ずる原因となる。
On the other hand, as shown in FIGS. 5 (A) to 5 (D), Fe and O are greatly diffused from the Mn-Zn system ferrite side to the metal magnetic thin film side. The composition of the metal magnetic thin film is also changing. In these cases, the magnetic permeability is remarkably reduced in the interface region, which causes a problem of pseudo gap when the composite magnetic head is formed.

このように、主コア部と補助コア部の界面における反
応あるいは成分元素の拡散は、磁気ギャップに臨む主面
の結晶面方位を適切に選ぶことにより大幅に低減され得
ることが明らかとなった。
As described above, it has been clarified that the reaction or the diffusion of the constituent element at the interface between the main core portion and the auxiliary core portion can be significantly reduced by appropriately selecting the crystal plane orientation of the main surface facing the magnetic gap.

なお、本実施例においては両方の磁気コア半体に金属
磁性薄膜が形成された複合磁気ヘッドについて説明した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、たとえば
片方の磁気コア半体のみに金属磁性薄膜が形成された複
合磁気ヘッドにも応用できることは言うまでもない。
In this embodiment, the composite magnetic head in which the magnetic metal thin films are formed on both magnetic core halves has been described, but the present invention is not limited to this, and for example, only one magnetic core half is provided. It goes without saying that it can be applied to a composite magnetic head having a metal magnetic thin film formed thereon.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上の説明からも明らかなように、本発明にかかる複
合磁気ヘッドにおいては、補助コア部となる単結晶フェ
ライトの研削面のうち磁気ギャップに臨む部分の結晶面
方位が適切に選ばれることにより、主コア部と補助コア
部の界面における反応が効果的に抑制される。この技術
によれば、従来のような反応防止層を設けなくとも疑似
ギャップの形成に伴う諸影響を排除することができ、製
造コストおよび製造時間の観点からも有利である。した
がって、記録・再生特性の良好な複合磁気ヘッドを経済
的に提供することが可能となる。
As is apparent from the above description, in the composite magnetic head according to the present invention, by appropriately selecting the crystal plane orientation of the portion facing the magnetic gap in the ground surface of the single crystal ferrite that becomes the auxiliary core portion, The reaction at the interface between the main core portion and the auxiliary core portion is effectively suppressed. According to this technique, it is possible to eliminate various influences associated with the formation of the pseudo gap without providing a conventional reaction preventive layer, which is also advantageous from the viewpoint of manufacturing cost and manufacturing time. Therefore, it is possible to economically provide a composite magnetic head having excellent recording / reproducing characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明を適用した複合磁気ヘッドの一実施例を
示す外観斜視図であり、第2図はその補助コア部を示す
要部拡大斜視図である。第3図は本発明に適用されるフ
ェライトの結晶面を説明するための面心立方晶の極点図
である。第4図(A)ないし第4図(D)は本発明を適
用した複合磁気ヘッドのオージェ電子分光法による深さ
方向分析結果を示す特性図であり、第4図(A)はMn-Z
n系フェライトの主面が{115}面である場合、第4図
(B)は{113}面である場合、第4図(C)は{122}
面である場合、第4図(D)は{133}面である場合を
それぞれ表す。第5図(A)ないし第5図(D)は比較
例となる複合磁気ヘッドのオージェ電子分光法による深
さ方向分析結果を示す特性図であり、第5図(A)はMn
-Zn系フェライトの主面が{100}面である場合、第5図
(B)は{111}面である場合、第5図(C)は{110}
面である場合、第5図(D)は{211}面である場合を
それぞれ表す。 I,II……磁気コア半体 1……記録媒体対接面 2……磁気ギャップ 3,4……補助コア部 5,6……金属磁性薄膜 12……主面
FIG. 1 is an external perspective view showing an embodiment of a composite magnetic head to which the present invention is applied, and FIG. 2 is an enlarged perspective view of an essential part showing its auxiliary core portion. FIG. 3 is a pole figure of a face-centered cubic crystal for explaining a crystal plane of ferrite applied to the present invention. FIGS. 4 (A) to 4 (D) are characteristic diagrams showing depth direction analysis results of Auger electron spectroscopy of the composite magnetic head to which the present invention is applied, and FIG. 4 (A) is Mn-Z.
When the main surface of the n-type ferrite is the {115} plane, Fig. 4 (B) is the {113} plane, and Fig. 4 (C) is the {122} plane.
In the case of the plane, FIG. 4D shows the case of the {133} plane. 5 (A) to 5 (D) are characteristic diagrams showing the results of depth direction analysis by Auger electron spectroscopy of a composite magnetic head as a comparative example. FIG. 5 (A) shows Mn.
-If the main surface of the Zn-based ferrite is the {100} plane, Fig. 5 (B) is the {111} plane, and Fig. 5 (C) is the {110} plane.
In the case of the plane, FIG. 5D shows the case of the {211} plane. I, II …… Magnetic core half 1 …… Recording medium contact surface 2 …… Magnetic gap 3,4 …… Auxiliary core 5,6 …… Metal magnetic thin film 12 …… Main surface

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 頼住 美根生 東京都品川区北品川6丁目5番6号 ソ ニー・マグネ・プロダクツ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−102409(JP,A) 特開 昭61−115204(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Mineo Yorisumi 6-5 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Magne Products Co., Ltd. (56) Reference JP-A-62-102409 ( JP, A) JP 61-115204 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】少なくとも一方の磁気コア半体が単結晶フ
ェライトと該単結晶フェライトに積層される金属磁性薄
膜から構成される一対の磁気コア半体が突き合わされ、
上記金属磁性薄膜の突き合わせ面に磁気ギッャプが形成
されてなる複合磁気ヘッドであって、上記単結晶フェラ
イトの研削面のうち磁気ギッャプに臨む部分は該磁気ギ
ッャプと略平行な主面となされ、かつ上記主面が{10
0}面から〈110〉方向へ10〜30度傾斜した面、または
{110}面から〈110〉方向へ10〜30度傾斜した面、また
は{100}面から〈100〉方向へ10〜30度傾斜した面のい
ずれかであることを特徴とする複合磁気ヘッド。
1. A pair of magnetic core halves, at least one magnetic core half of which is composed of a single crystal ferrite and a metal magnetic thin film laminated on the single crystal ferrite, are butted against each other,
A composite magnetic head having a magnetic gap formed on the abutting surface of the metal magnetic thin film, wherein a portion of the ground surface of the single crystal ferrite facing the magnetic gap is a main surface substantially parallel to the magnetic gap, and The above main surface is {10
A surface inclined from the 0} plane to the <110> direction by 10 to 30 degrees, a surface inclined from the {110} plane to the <110> direction by 10 to 30 degrees, or a surface inclined from the {100} plane to the <100> direction by 10 to 30 degrees. A composite magnetic head characterized in that it is one of the surfaces inclined at an angle.
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