JP2545834Y2 - Low temperature valve - Google Patents
Low temperature valveInfo
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- JP2545834Y2 JP2545834Y2 JP1991016460U JP1646091U JP2545834Y2 JP 2545834 Y2 JP2545834 Y2 JP 2545834Y2 JP 1991016460 U JP1991016460 U JP 1991016460U JP 1646091 U JP1646091 U JP 1646091U JP 2545834 Y2 JP2545834 Y2 JP 2545834Y2
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本考案はＬＳＩ素材の洗浄手段ま
たは製造工程中の雰囲気ガス等として用いられる超高純
度窒素ガスの液化ガス（液体窒素Ｎ ２ −１９６゜Ｃ、１
０ｋｇｆ／ｃｍ２）を制御する弁等に使用して好適な低
温弁に関するものである。This invention relates to a liquefied gas (liquid nitrogen N 2 -196 ° C in ultra high purity nitrogen gas used as an atmosphere gas and the like in the cleaning means or the manufacturing process of LSI material 1
The present invention relates to a low-temperature valve suitable for use as a valve for controlling 0 kgf / cm 2 ).
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、液体窒素等の低温流体の制御に用
いられる低温弁においては、操作器部における温度低下
による動作不良を避けるために上蓋長さを非常に長くす
ると共に、上蓋外周に気密性のジャケットを取付け、そ
の内部を真空に引くことにより、上蓋部の断熱を行って
いた（例：実開昭６２−９２３７８号公報等）。上蓋を
長くする理由は、バルブプラグが貫通するため弁内部と
上蓋内部とは完全に分離されておらず、低温流体の一部
がバルブステムガイド部を通って上蓋内部に侵入する
と、操作器部の温度を低下させるため、操作器を弁本体
から離す必要があるからである。2. Description of the Related Art Conventionally, in a low-temperature valve used for controlling a low-temperature fluid such as liquid nitrogen, the length of an upper lid is made extremely long in order to avoid a malfunction due to a temperature drop in an operating unit, and an airtight seal is provided around the upper lid. The upper cover was insulated by attaching a flexible jacket and evacuating the inside of the jacket (eg, Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 62-92378) . The reason for lengthening the upper lid is that the valve plug is penetrated and the interior of the valve and the interior of the upper lid are not completely separated from each other. This is because it is necessary to separate the operating device from the valve body in order to lower the temperature of the valve.
【０００３】[0003]
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の低温弁にあっては、上蓋のため配管取付上大
きな制約を受け、また真空ジャケットにより上蓋がかさ
ばり、重量が増加すると云う問題があった。However, in such a conventional low-temperature valve, there is a problem in that the upper lid is greatly restricted in piping installation, and the upper lid is bulky due to the vacuum jacket, which increases the weight. Was.
【０００４】したがって、本考案は上記したような従来
の問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするとこ
ろは、比較的簡単な構成で上蓋内への流体の侵入を防止
すると共に、真空ジャケットを上蓋の外部に設けないで
も上蓋を良好に断熱することができ、上蓋の短縮化およ
び弁自体の簡素化、小型軽量化を図るようにした低温弁
を提供することにある。Accordingly, the present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and has as its object to prevent the intrusion of fluid into the upper lid with a relatively simple structure and to provide a vacuum. Don't put the jacket outside the top lid
Also the upper lid satisfactorily can insulate a shortening of the top cover and valve simplification of itself, it is to provide a low-temperature valve so as reduce the size and weight.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本考案は上記目的を達成
するため、弁本体の開口部に取付けられる上蓋を筒体と
この筒体の両端開口部に一体に設けた鍔部とで構成し、
この上蓋の両端開口部をそれぞれダイヤフラムによって
気密に閉鎖して上蓋内部を気密室とし、前記上蓋を貫通
するバルブステムの上下端部を前記ダイヤフラムによっ
て保持し、前記気密室を真空排気して真空室としたもの
である。According to the present invention, in order to achieve the above object, an upper lid attached to an opening of a valve body is formed as a cylindrical body.
It is composed of flanges integrally provided at both ends of the cylindrical body,
Open both ends of this upper lid with diaphragm
Airtightly closed and the inside of the upper lid as an airtight chamber, penetrating the upper lid
The upper and lower ends of the valve stem to be
The airtight chamber is evacuated to a vacuum chamber.
【０００６】[0006]
【作用】本考案において、ダイヤフラムは上蓋の上下両
開口端部を気密に閉鎖し、上蓋内部を弁内部と外気から
分離する。上蓋内部は真空排気されることにより真空室
を形成し、上蓋を断熱する。In the present invention, the diaphragm closes the upper and lower open ends of the upper lid in an airtight manner, and separates the inside of the upper lid from the inside of the valve and the outside air. The inside of the upper lid is evacuated to form a vacuum chamber to insulate the upper lid.
【０００７】[0007]
【実施例】以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。図１は本考案に係る低温弁の一実施例
を示す断面図である。同図において、１は弁本体で、こ
の弁本体１の内部には、両側面下部においてそれぞれ開
口し、中央部において逆Ｖ字状に折れ曲がった流路２が
形成されており、また上面中央には上蓋３の取付用孔４
が開設されている。この上蓋取付用孔４は、前記流路２
の屈曲部２ａと連通している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail based on an embodiment shown in the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing one embodiment of the low-temperature valve according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a valve body. Inside the valve body 1, a flow path 2 which is open at lower portions on both sides and is bent in an inverted V-shape at a center portion is formed. Is a mounting hole 4 for the upper lid 3
Has been established. The hole 4 for mounting the upper lid is provided in the flow path 2.
Is communicated with the bent portion 2a.
【０００８】前記上蓋３は、両端開放の筒体３ａとこの
筒体３ａの両端開口部に一体に設けた下側の鍔部３ｂ，
上側の鍔部３ｃとで構成され、下側の鍔部３ｂの下面に
突設された嵌合部５が前記弁本体１の上蓋取付用孔４に
嵌合され、且つ前記下側の鍔部３ｂが弁本体１の上面に
複数個のボルト６によりガスケット７を介して締結固定
されている。前記上蓋３の内孔は、バルブステム８が貫
通するステム貫通孔９とされ、その下端側開口部には前
記バルブステム８を摺動自在に保持するガイドブッシュ
１０が圧入され、前記上側の鍔部３ｃの上端開口部はキ
ャップ１１がボルト（図示せず）によりダイヤフラム１
２を介して固定されている。ダイヤフラム１２は、合成
樹脂、ステンレス鋼等によって波形に形成されて前記上
蓋３の上端開口部を気密に閉鎖しており、その中央部が
前記バルブステム８に固定されている。前記バルブステ
ム８の上端部は前記キャップ１１の中心孔を摺動自在に
貫通して外部へ突出し、この突出端部が操作器に連結さ
れて駆動されるか、ハンドルにより手動操作される。一
方、バルブステム８の下端部には、バルブプラグ１３が
ステムガイド１４を介して同軸に連結されている。The upper lid 3 has a cylindrical body 3a open at both ends and
A lower flange portion 3b integrally provided at both ends of the cylindrical body 3a,
A fitting portion 5 , which is constituted by an upper flange portion 3 c and protrudes from the lower surface of the lower flange portion 3 b , is fitted into the upper cover mounting hole 4 of the valve body 1 , and the lower flange portion is provided. 3 b is fastened and fixed to the upper surface of the valve body 1 by a plurality of bolts 6 via a gasket 7. Inner hole of the upper lid 3 is a stem through hole 9 the valve stem 8 to pass through, that is the lower end opening guide bushing 10 for holding the valve stem 8 slidably is press-fitted, the upper flange The upper end opening of the portion 3c is provided with a cap 11 by a bolt (not shown).
2 is fixed. The diaphragm 12 is formed in a corrugated shape with a synthetic resin, stainless steel, or the like, and hermetically closes an upper end opening of the upper lid 3, and a central portion thereof is fixed to the valve stem 8. The upper end of the valve stem 8 slidably penetrates the center hole of the cap 11 and protrudes to the outside. The protruding end is connected to an operating device and driven or manually operated by a handle. On the other hand, a valve plug 13 is coaxially connected to a lower end of the valve stem 8 via a stem guide 14.
【０００９】前記バルブプラグ１３の下端面は、前記上
蓋取付用孔４の底面中央部に開口する前記流路２の上流
側開口部に設けられた弁座部１５に全閉時において着座
し流路２を遮断する着座部１６とされ、またこの着座部
１６の中央にはテーパ状の突起からなり前記通路２に挿
入される特性部１７が一体に突設されている。前記ステ
ムガイド１４は、前記ガイドブッシュ１０の中心孔によ
り案内保持されている。When the valve plug 13 is fully closed, the lower end surface of the valve plug 13 is seated on a valve seat 15 provided at an upstream opening of the flow path 2 which is opened at the center of the bottom surface of the upper cover mounting hole 4 when the valve plug 13 is fully closed. A seat 16 for blocking the passage 2 is provided. A characteristic portion 17 formed of a tapered projection and inserted into the passage 2 is integrally provided at the center of the seat 16 to project therefrom. The stem guide 14 is guided and held by a center hole of the guide bush 10.
【００１０】１８は、前記上蓋３の下端開口部を気密に
閉鎖するダイヤフラムで、前記ダイヤフラム１２ととも
に上蓋３を気密に閉鎖し、上蓋３内部を気密室としてい
る。このダイヤフラム１８は低温でも延性が低下せず、
また流体の高い圧力（１０ｋｇｆ／ｃｍ２）にも破壊さ
れないオーステナイト系ステンレス鋼等によって円板状
に形成されている。この場合、大きな変位が得られるよ
うに大変位形ダイヤフラム（球殻の座屈）を用いること
が望ましい。ダイヤフラム１８の外周縁部は、ダイヤフ
ラム押え１９に接合固定される一方、中央部は前記バル
ブプラグ１３に接合固定されている。前記ダイヤフラム
押え１９は、リング状に形成されたレバー押え２０の下
端面にガスケット２１を介して固定されている。前記レ
バー押え２０は、前記上蓋取付用孔４に嵌合されて前記
上蓋３の嵌合部５下面によりガスケット２２を介して押
圧され、これによって前記ダイヤフラム押え１９を前記
上蓋取付用孔４の内周面下部に設けた段差面２３にガス
ケット２４を介して圧接している。Reference numeral 18 denotes a diaphragm for hermetically closing the lower end opening of the upper lid 3 together with the diaphragm 12.
The upper lid 3 is closed in an airtight manner, and the inside of the upper lid 3 is used as an airtight chamber.
You. This diaphragm 18 does not decrease in ductility even at a low temperature,
Further, it is formed in a disk shape by austenitic stainless steel or the like which is not broken even by a high pressure of a fluid (10 kgf / cm 2 ). In this case, it is desirable to use a large displacement form diaphragm (buckling spherical shells) so large displacement is obtained. The outer peripheral edge of the diaphragm 18 is joined and fixed to the diaphragm presser 19, while the center is joined and fixed to the valve plug 13. The diaphragm retainer 19 is fixed to a lower end surface of a lever retainer 20 formed in a ring shape via a gasket 21. The lever retainer 20 is fitted into the upper lid mounting hole 4 and is pressed by the lower surface of the fitting portion 5 of the upper lid 3 via the gasket 22, whereby the diaphragm retainer 19 is inserted into the upper lid mounting hole 4. It is in pressure contact with a step surface 23 provided at the lower part of the peripheral surface via a gasket 24.
【００１１】２５は流体圧によるダイヤフラム１８の弾
性変形を制限し、耐圧強度を向上させるサポートリング
で、このサポートリング２５は前記ダイヤフラム１８の
上面に設置され、サポートレバー２６により上方への移
動を制限されている。前記サポートレバー２６は、板状
もしくは棒状に形成されて前記バルブプラグ１３の周囲
に円周方向に等間隔をおいて複数個、例えば４つ配設さ
れ、外端が前記ダイヤフラム押え１９の上面と前記レバ
ー押え２０の内側面間にて保持され、内端は前記バルブ
プラグ１３の外周に設けられた上下一対の鍔２７ａ、２
７ｂ間により保持されている。そして、サポートレバー
２６の内、外端は、前記バルブプラグ１３の上下動に伴
い前記ダイヤフラム押え１９の上面と前記レバー押え２
０の内側面間および鍔２７ａ、２７ｂ間において円滑に
回動しまた摺動し得るよう断面形状が円形とされてい
る。Reference numeral 25 denotes a support ring for limiting elastic deformation of the diaphragm 18 due to fluid pressure and improving pressure resistance. The support ring 25 is provided on the upper surface of the diaphragm 18 and is restricted from moving upward by a support lever 26. Have been. The support lever 26 is formed in a plate shape or a rod shape, and a plurality, for example, four, of the support levers are disposed around the valve plug 13 at equal intervals in the circumferential direction, and the outer end thereof is in contact with the upper surface of the diaphragm retainer 19. It is held between the inner side surfaces of the lever retainer 20, and the inner end is a pair of upper and lower flanges 27 a, 2 a provided on the outer periphery of the valve plug 13.
7b. The outer end of the support lever 26 is connected to the upper surface of the diaphragm holder 19 and the lever holder 2 as the valve plug 13 moves up and down.
The cross-sectional shape is circular so as to be able to smoothly rotate and slide between the inner side surfaces and between the flanges 27a and 27b.
【００１２】前記バルブステム８が貫通される上蓋３の
内部は、両端開口部が前記ダイヤフラム１２、１８によ
って気密にシールされることにより、外部および弁内部
と完全に分離されると共に、不図示の真空ポンプにパイ
プ２８を介して接続され真空排気されることにより、真
空室（−１ｍｍＨｇ〜−６０ｍｍＨｇ程度）２９を形成
し、これによって上蓋３の断熱を図っている。The inside of the upper lid 3 through which the valve stem 8 penetrates is completely airtightly sealed by the diaphragms 12 and 18 at both ends, thereby completely separating the inside from the outside and the inside of the valve. A vacuum chamber (approximately -1 mmHg to -60 mmHg ) 29 is formed by being connected to a vacuum pump via a pipe 28 and being evacuated, whereby the upper lid 3 is insulated.
【００１３】かくして、このような構成からなる低温弁
にあっては上蓋３内部を上下２つのダイヤフラム１２、
１８によって気密に封止して気密室としているので、流
路２中を流れる流体が上蓋３内部に侵入するのを確実に
防止することができ、操作器部の温度低下による動作不
良を防止することができる。また、流体の侵入がなけれ
ば、上蓋３自体を短縮することができ、弁の小型軽量化
を図ることが可能である。さらに、上蓋３内部を真空排
気し、真空室２９としているので、真空ジャケットを上
蓋３の外周に設ける必要がなく、この点からも弁を小型
軽量化でき、配管取付上の制約から解放される。Thus, in the low-temperature valve having such a configuration, the inside of the upper cover 3 is divided into two upper and lower diaphragms 12,
Since the airtight chamber 18 is used to hermetically seal the airtight chamber, it is possible to reliably prevent the fluid flowing in the flow path 2 from entering the inside of the upper lid 3 and to prevent operation failure due to a decrease in the temperature of the operation unit. be able to. If there is no intrusion of fluid, the upper lid 3 itself can be shortened, and the size and weight of the valve can be reduced. Further, since the inside of the upper cover 3 is evacuated to form the vacuum chamber 29, there is no need to provide a vacuum jacket on the outer periphery of the upper cover 3, and in this regard, the valve can be reduced in size and weight, and the restriction on piping installation is released. .
【００１４】[0014]
【考案の効果】以上説明したように本考案に係る低温弁
は、上蓋の上下両開口端をダイヤフラムによってそれぞ
れ気密に閉鎖すると共に、真空排気して真空室としたの
で、上蓋内部を流体の侵入から保護し操作器部の温度低
下による動作不良を防止することができる。また、上蓋
長さを短くすると共に、真空ジャケットをバルブステム
周りにだけ取付ければよく、低温弁の軽量小型化と配管
取付の自由度を向上させることができる。As described above, in the low-temperature valve according to the present invention, the upper and lower opening ends of the upper lid are each closed air-tightly by the diaphragm, and the vacuum chamber is evacuated, so that the inside of the upper lid is invaded by fluid. Protects the operating unit from low temperatures
It is possible to prevent a malfunction due to the following. In addition, the length of the upper lid can be shortened, and the vacuum jacket only needs to be attached around the valve stem . This makes it possible to reduce the weight and size of the low-temperature valve and improve the flexibility of pipe installation.
【図１】本考案に係る低温弁の一実施例を示す断面図で
ある。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a low-temperature valve according to the present invention.
１ 弁本体 ２ 流路 ３ 上蓋 ８ バルブステム １２ ダイヤフラム １３ バルブプラグ １８ ダイヤフラム ２９ 真空室 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Valve main body 2 Flow path 3 Top lid 8 Valve stem 12 Diaphragm 13 Valve plug 18 Diaphragm 29 Vacuum chamber
フロントページの続き (72)考案者 安保 一 神奈川県川崎市川崎区小島町６番２号 日本酸素株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−22484（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−92378（ＪＰ，Ｕ)Continuation of the front page (72) Inventor Kazuto Yashou 6-2 Kojima-cho, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Nippon Sanso Corporation (56) References Japanese Patent Laid-Open No. Sho 57-22484 (JP, A) (JP, U)
Claims (1)
体とこの筒体の両端開口部に一体に設けた鍔部とで構成
し、この上蓋の両端開口部をそれぞれダイヤフラムによ
って気密に閉鎖して上蓋内部を気密室とし、前記上蓋を
貫通するバルブステムの上下端部を前記ダイヤフラムに
よって保持し、前記気密室を真空排気して真空室とした
ことを特徴とする低温弁。An upper lid attached to an opening of a valve body is a cylinder.
Consists of a body and a flange integrally provided at both ends of the cylindrical body
Then, open both ends of the upper lid with the diaphragm.
Airtightly closed to make the inside of the upper lid an airtight chamber,
The upper and lower ends of the penetrating valve stem are attached to the diaphragm
Therefore , the low-temperature valve is held, and the airtight chamber is evacuated to a vacuum chamber.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991016460U JP2545834Y2 (en) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | Low temperature valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991016460U JP2545834Y2 (en) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | Low temperature valve |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04106578U JPH04106578U (en) | 1992-09-14 |
| JP2545834Y2 true JP2545834Y2 (en) | 1997-08-27 |
Family
ID=31903471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991016460U Expired - Lifetime JP2545834Y2 (en) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | Low temperature valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2545834Y2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7439063B2 (en) * | 2018-05-22 | 2024-02-27 | コンパート システムズ ピーティイー．リミテッド | variable control orifice valve |
| KR102509774B1 (en) * | 2022-10-12 | 2023-03-15 | 주식회사 투와이젠 | Valve for Cryogenic Liquid Gas |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4310016A (en) * | 1980-06-02 | 1982-01-12 | Borg-Warner Corporation | Differential pressure delay valve |
| JPS60183063A (en) * | 1984-02-29 | 1985-09-18 | Nec Home Electronics Ltd | Quantitative emitting apparatus |
-
1991
- 1991-02-28 JP JP1991016460U patent/JP2545834Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04106578U (en) | 1992-09-14 |
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