JP2542011B2 - 真空装置の材料貫通部 - Google Patents

真空装置の材料貫通部

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JP2542011B2 JP62266171A JP26617187A JP2542011B2 JP 2542011 B2 JP2542011 B2 JP 2542011B2 JP 62266171 A JP62266171 A JP 62266171A JP 26617187 A JP26617187 A JP 26617187A JP 2542011 B2 JP2542011 B2 JP 2542011B2
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    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、処理さるべき線材を真空装置に連続的に
送給するための貫通部で、貫通される材料の外径より大
きな内径を有する管状ケーシングを含むものである。
この種貫通部は、英国特許第１、428、933号公報によ
り公知である。これでは、貫通部は真空処理装置の外壁
又はチャンバ間に仕切り壁に取り付けられるようになっ
ている。この管状貫通部は、ケーシングと、処理さるべ
きワイヤが通る孔を有する端部フランジとから構成され
ている。ケーシングの内側に、摩擦係数が小さい耐熱材
料からなる孔付きシール部があり、この孔の内面は処理
さるべきワイヤの外面に密接するようになっている。
この発明での“真空処理”とは、線材の真空下での各
種処理に関するもので、例えば真空蒸着、スパッタリン
グ、プラズマプレシピテーション、イオンインプランテ
ーション、熱処理、プラズマ洗浄等を含むものである。
“線材”とは、単線材及びコード、ロープ等の組合せ
線材を言う。
上述の公知の貫通部には、次にような問題がある。貫
通部はシールのために、線材に密着しているので、高い
摩耗を受け、シール効果は時間と共に減少する。次に、
このシール部により線材が破断して、装置を完全に停止
させることがあり、また再スタートに多くの手間がかか
る。第３に、シール部と線材との接触により好ましくな
い汚染が生ずる。更に、この貫通部は同じワイヤを処理
するのには適しているが、径の異なるワイヤに変更する
場合には、シール部を交換する必要がある。
この発明は、径の異なるワイヤにも適用できるユニバ
ーサルな貫通部で、線材表面の汚染を生ずることなく、
線材破断が減少できる貫通部を提供することを目的とす
るものである。
この目的を達成するために、この発明の貫通部は、貫
通材と管状ケーシング内側との間の自由面積が管状ケー
シング内側の全面積の30％以下で、且つ管状ケーシング
の長さをLmmとし、自由面積をSmm2とした場合、L/Sの値
が500mm-1以上であることを特徴とするものである。
驚くべきことに、上述のシール部がない場合でも、貫
通材と管状ケーシング内側との間の自由面積が管状ケー
シング内側の全面積の30％以下とし、且つ管状ケーシン
グの長さを自由面積に対して特定の関係に保ことによ
り、ガス流れに対して有効な抵抗が得られることが明ら
かになった。
後述する実施例に示すように、固定自由面積に対し
て、管状ケーシングの長さを長くすることにより、得ら
れる真空度が漸近的に減少している。言い換えれば、あ
る最低長さより長くしても、真空度の改善は望めない。
この装置で、適当な容量のポンプが必要であることは
勿論である。
この発明の貫通部では、線材の貫通供給は極めて簡単
である。ポンプを起動すると、空気が外から管状ケーシ
ングを通って装置内に入る。線材を貫通部に導くと、線
材が中に吸い込まれる。装置内の案内装置が、線材を他
の貫通部に対して正しく位置ぎめする。
特に、貫通部の自由面積を15％未満とし、L/Sの値を1
000mm-1にするように管状ケーシングの長さを少なくと
も200mmとする。
貫通部を仕切り壁に着脱可能に取り付けることが好ま
しい。仕切り壁は装置を外界と仕切り壁または装置を異
なったチャンバに仕切る壁である。貫通部を着脱可能に
取り付けることにより、線径が異なり他の貫通部に取り
換えることが必要な場合に、簡単に迅速に交換すること
ができる。貫通部が故障した場合も同様である。
好ましくは、貫通部が、管状ケーシングが挿入される
孔を有して仕切り壁に固定される部材を介して着脱可能
に取り付けられ、管状ケーシングの外周面、部材の孔及
びセットに密着するシールリングを圧縮変形させて部材
の孔と管状ケーシングの外周との間をシールするように
する。
管状ケーシングが上記固定手段により固定されること
により、管状ケーシングの外周と仕切り壁に固定される
部材の孔との間の優れたシールが得られ、このシールは
正常な使用のもとでは、長い寿命を有する。
この発明は、また処理さるべき線材を真空装置に連続
的に送給、貫通させて真空処理する装置で、１以上のチ
ャンバと、線材の送給手段と、真空発生装置と、貫通部
とからなり、貫通部の少なくとも一部が上述の構成にな
っている真空処理装置にも関するものである。
［実施例］ 第１図に、チヤンバ１〜５を備えた線材の真空処理装
置が示されている。線材は、装置に６から入り、12から
出る、真空装置、例えばルーツポンプ、油拡散ポンプが
７〜11で示されている。
貫通部14〜17が、チヤンバの仕切り壁に設けられてい
る。処理される線材の軌跡が13で示されている。
特に、６及び12の貫通部は本発明の貫通部になってい
る。14〜17の貫通部も同様の構成になっている。しか
し、これは必ずしも必要ではない。即ち、装置内全体が
真空状態になっているから、チャンバ間のガス流れに対
する要求はそれほど厳しくない。
特に、14〜17の貫通部の管状ケーシングの長さは短い
もので充分である。
第２図に、管状ケーシングが装置の仕切り壁、例えば
外壁に着脱可能に取り付けられている状況を示す。管状
ケーシング21は、壁22に固定される部材24の孔内に装着
されている。部材24は部材23を介して壁22に取付けら
れ、管状ケーシング21を例えば大径用に換える場合に、
交換できるようになっている。部材24はセット25、26と
共にリング27を押圧して、管状ケーシング21の外周と部
材24の孔内側との間のシールをする。部材25は部材24に
ねじ係合している。
第３図に、貫通部の試験装置が示されている。チヤン
バ30の外壁に貫通部31、32が取り付けられている。33は
真空ポンプへの接続部を示し、34は真空計である。
試験の結果を表１に示す。
第１行は、径1.18mmのロープが径1.395mmのパイプに
挿通された場合のもので、パイプ長さを300mm以上にし
ても真空度が殆ど改善されないことを示している。第２
行と第３行は、それぞれ径1.30mmのロープと単線の場合
である。真空度は、ロープの場合の方が単線の場合より
少し劣っている。これは、ロープの場合、芯線間に隙間
があることによるものと思われる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の貫通部を備えた装置の説明図、第２図
は貫通部を仕切り壁に着脱可能に取り付ける手段の説明
図、第３図は貫通部の試験装置の説明図である。

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】処理さるべき線材を真空装置に連続的に送
    給するための貫通部で、貫通される材料の外径より大き
    な内径を有する管状ケーシングからなり、貫通材と上記
    管状ケーシング（21）内側との間の自由面積が管状ケー
    シング（21）内側の全面積の30％以下で、且つ管状ケー
    シング（21）の長さをLmmとし、自由面積をSmm2とした
    場合、L/Sの値が500mm-1以上であることを特徴とする真
    空装置の材料貫通部。
  2. 【請求項２】自由面積が15％未満で、管状ケーシング
    （21）の長さが少なくとも200mmで、L/Sの値が1000mm-1
    である特許請求の範囲第１項に記載の真空装置の材料貫
    通部。
  3. 【請求項３】貫通部が仕切り壁（22）に着脱可能に設け
    られている特許請求の範囲第１項または第２項に記載の
    真空装置の材料貫通部。
  4. 【請求項４】貫通部が、管状ケーシング（21）が挿入さ
    れる孔を有して仕切り壁に固定される部材（24）に装着
    され、管状ケーシング（21）の外周面、部材（24）の孔
    及びセット（25、26）に密着するシールリング（27）を
    圧縮変形させて部材（24）の孔と管状ケーシング（21）
    の外周との間をシールする特許請求の範囲第３項に記載
    の真空装置の材料貫通部。
  5. 【請求項５】処理さるべき線材を連続的に送給、貫通さ
    せて真空処理する装置で、１以上のチャンバと、線材の
    送給手段と、真空発生装置と、貫通部とからなり、少な
    くとも貫通部（６、12、14〜17）が特許請求の範囲第１
    項ないし第４項のいずれかに記載の材料貫通部となって
    いる真空処理装置。
JP62266171A 1986-10-23 1987-10-21 真空装置の材料貫通部 Expired - Lifetime JP2542011B2 (ja)

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NL8602661A NL8602661A (nl) 1986-10-23 1986-10-23 Doorvoerelement voor vacuuminrichting alsmede inrichting voorzien van dergelijke doorvoerelementen.
NL8602661 1986-10-23

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CA (1) CA1274799A (ja)
DE (1) DE3764924D1 (ja)
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NL8602661A (nl) 1988-05-16
US4811583A (en) 1989-03-14
EP0266818B1 (en) 1990-09-12
CA1274799A (en) 1990-10-02
DE3764924D1 (de) 1990-10-18
JPS63158379A (ja) 1988-07-01
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EP0266818B2 (en) 1994-09-14
ES2018252T5 (es) 1995-08-16
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