JP2541993Y2 - Chemiluminescence gas analyzer - Google Patents
Chemiluminescence gas analyzerInfo
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、大気や排気ガスその他に含まれるガスを分
析する分析計、特に、試料ガスとオゾンとの反応によっ
て、分析成分の一部が励起状態となり、その励起成分が
遷移するときに発する光を検出して、そのガスを分析す
る化学発光式ガス分析計(Chemical Luminescence Dete
cter,以下、CLDと云う)の改良に関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The invention is an analyzer that analyzes gas contained in the atmosphere, exhaust gas, and the like. A chemiluminescent gas analyzer (Chemical Luminescence Dete) that detects the light emitted when the excited component transitions to an excited state and analyzes the gas.
cter, hereinafter referred to as CLD).
第3図は従来のCLDを概略的に示すもので、図におい
て、1は反応槽で、NO(一酸化窒素)などを含む試料ガ
スを導入するための試料ガス導入口2と、反応ガスとし
てのオゾンを導入するためのオゾン導入口3と、ガス排
出口4とを備えると共に、一側に光透過窓5が形成され
ている。6は光透過窓5の略全体を覆うようにして設け
られるフォトセルなどによりなる光検出器、7はこの光
検出器6を冷却するためのサーモモジュールなどよりな
る冷却素子、8は光検出器6の出力信号を増幅するプリ
アンプ、9は出力端子である。なお、前記オゾンは例え
ば図外のオゾン発生器によって生成され、オゾンライン
を介して供給される。FIG. 3 schematically shows a conventional CLD. In the figure, reference numeral 1 denotes a reaction tank, and a sample gas inlet 2 for introducing a sample gas containing NO (nitrogen monoxide) and the like, and a reaction gas as a reaction gas. An ozone inlet 3 for introducing ozone and a gas outlet 4 are provided, and a light transmitting window 5 is formed on one side. Reference numeral 6 denotes a photodetector such as a photocell provided so as to cover substantially the entire light transmitting window 5, reference numeral 7 denotes a cooling element such as a thermo module for cooling the photodetector 6, and reference numeral 8 denotes a photodetector. Reference numeral 6 denotes a preamplifier for amplifying the output signal, and reference numeral 9 denotes an output terminal. The ozone is generated, for example, by an ozone generator (not shown) and supplied via an ozone line.
上記のように構成された化学発光式ガス分析計におい
ては、試料ガスおよびオゾンをそれぞれ反応槽1内に導
入すると、試料ガス中の測定対象成分としてのNOとオゾ
ンとが反応して光を発する。そして、この光を光検出器
6によって検出し、その光量に基づいて試料ガス中のNO
の濃度が測定されるのである。In the chemiluminescence gas analyzer configured as described above, when a sample gas and ozone are respectively introduced into the reaction tank 1, NO and ozone as the components to be measured in the sample gas react to emit light. . Then, this light is detected by the photodetector 6, and the NO in the sample gas is determined based on the amount of light.
Is measured.
而して、上記CLDにおいて、直線性および安定性に優
れた指示を得るには、オゾン濃度に対し試料ガス中のNO
を一定比率以下にする必要があり、高濃度測定において
は、オゾンラインにおける発生濃度や流量によっては、
試料ガスの流量を制限する必要がある。そして、この条
件で例えば1/100以下といった低濃度の測定を行うと、
出力信号が少なすぎることがあった。Thus, in the above CLD, in order to obtain an indication excellent in linearity and stability, the NOx in the sample gas with respect to the ozone concentration is
Must be kept at a certain ratio or less, and in high-concentration measurement, depending on the generated concentration and flow rate in the ozone line,
It is necessary to limit the flow rate of the sample gas. Then, when measuring low concentrations such as 1/100 or less under these conditions,
The output signal was sometimes too small.
ところで、出力信号を多くするためには発光量を増せ
ばよく、この発光量を増やす方法の一つに、試料ガスと
オゾンの流量を増やす方法があるが、この場合、反応槽
1を大きくしないと、槽外での発光によって直線性や安
定性などの出力特性が悪くなる。そして、反応槽1を大
きくすると、光検出器6の受光面積を大きくしないと、
バックグラウンドの影響が増える。また、受光面積の大
きな光検出器6は特殊なため、それだけコストがアップ
する。By the way, in order to increase the output signal, it is sufficient to increase the light emission amount. One method of increasing the light emission amount is to increase the flow rates of the sample gas and ozone, but in this case, the reaction tank 1 is not enlarged. Then, output characteristics such as linearity and stability deteriorate due to light emission outside the tank. And if the reaction tank 1 is enlarged, unless the light receiving area of the photodetector 6 is increased,
Background effects increase. Further, since the photodetector 6 having a large light receiving area is special, the cost increases accordingly.
これに対して、試料ガスの条件に見合った検出部(反
応槽1を含む)を複数個用意することが考えられるが、
この場合においても、やはりコストがアップし、個々の
検出部における出力特性が不揃いになるといった問題点
がある。On the other hand, it is conceivable to prepare a plurality of detection units (including the reaction tank 1) corresponding to the conditions of the sample gas.
Also in this case, there is a problem that the cost is increased and the output characteristics of the individual detection units are not uniform.
本考案は、上述の事柄に留意してなされたもので、そ
の目的とするところは、低濃度から高濃度までの広い範
囲を精度よく測定することができる化学発光式ガス分析
計を提供することにある。The present invention has been made in consideration of the above, and an object of the present invention is to provide a chemiluminescent gas analyzer capable of accurately measuring a wide range from a low concentration to a high concentration. It is in.
上述の目的を達成するため、本考案に係る化学発光式
ガス分析計は、反応槽の上流側端部に試料ガス導入口お
よびオゾン導入口を、下流側端部にガス排出口を設け、
反応槽内に試料ガスとオゾンとを導入し、反応槽内にお
いて発せられる光を検出するようにした化学発光式ガス
分析計において、前記反応槽に形成された光透過窓に沿
って複数の光検出器を設け、更に、これら光検出器を試
料ガスとオゾンが合流する上流側から下流側にかけて、
かつ、これら光検出器の受光面によって前記光透過窓の
略全面を覆うように設け、各光検出器の出力を加算する
加算器を設け、しかも、各光検出器の出力および加算器
の出力を入力して各光検出器の異常の有無を判定する異
常判定器を設けた点に特徴がある。In order to achieve the above object, the chemiluminescence gas analyzer according to the present invention is provided with a sample gas inlet and an ozone inlet at an upstream end of a reaction tank, and a gas outlet at a downstream end,
In a chemiluminescence gas analyzer in which a sample gas and ozone are introduced into a reaction vessel and light emitted in the reaction vessel is detected, a plurality of light beams are transmitted along a light transmission window formed in the reaction vessel. Detectors are provided, and further, these photodetectors are arranged from the upstream side where the sample gas and the ozone merge to the downstream side,
Further, the light receiving surfaces of these photodetectors are provided so as to cover substantially the entire surface of the light transmitting window, and adders are provided for adding the outputs of the photodetectors. Further, the outputs of the photodetectors and the outputs of the adders are provided. This is characterized in that an abnormality determiner for determining whether or not there is an abnormality in each photodetector by inputting is input.
例えば反応槽に対して、2個の光検出器を設けた場
合、試料ガスとオゾンとの反応が比較的速やかに行われ
る上流側に設けられた光検出器の出力は、第2図(A)
に示すようになり、また、下流側に設けられた光検出器
の出力は同図(B)のようになる。そして、これら両光
検出器の出力を加算すると、同図(C)に示すように、
低濃度から高濃度に至る広い範囲において、直線性に優
れた出力が得られる。また、各光検出器の出力を加算す
る加算器を設け、各光検出器のそれぞれの出力ならびに
加算器の出力を異常判定器に入力するので、各光検出器
に異常が生じてないか否かを検出することができる。For example, when two photodetectors are provided for the reaction tank, the output of the photodetector provided on the upstream side where the reaction between the sample gas and ozone is performed relatively quickly is shown in FIG. )
, And the output of the photodetector provided on the downstream side is as shown in FIG. Then, when the outputs of these two photodetectors are added, as shown in FIG.
An output with excellent linearity can be obtained in a wide range from low density to high density. Further, an adder for adding the outputs of the respective photodetectors is provided, and the respective outputs of the respective photodetectors and the output of the adder are input to the abnormality determiner. Can be detected.
以下、本考案の一実施例を、図面に基づいて説明す
る。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図は本考案に係る化学発光式ガス分析計の一構成
例を示す。この図において、第3図に示す符号と同一の
符号は同一物または相当物を示し、その説明は省略す
る。FIG. 1 shows a configuration example of a chemiluminescence gas analyzer according to the present invention. In this figure, the same reference numerals as those shown in FIG. 3 denote the same or corresponding components, and a description thereof will be omitted.
さて、第1図において、10,11は光透過窓5の外部に
設けられたフォトセルなどよりなる光検出器で、反応槽
1内のガスの流れに沿うようにして設けられており、例
えば一方の光検出器10は、反応槽1内において試料ガス
とオゾンとの反応が比較的早く生ずる、試料ガス導入口
2とオゾン導入口3の近傍に対応するべく設けてあり、
他方の光検出器11は光検出器10よりも下流側の領域に対
応するべく設けてある。そして、これら光検出器10,11
の受光面によって、光透過窓5の略全面を覆うようにし
てある。In FIG. 1, reference numerals 10 and 11 denote photodetectors such as photocells provided outside the light transmission window 5, which are provided along the flow of gas in the reaction tank 1. One photodetector 10 is provided to correspond to the vicinity of the sample gas inlet 2 and the ozone inlet 3 where the reaction between the sample gas and ozone occurs relatively quickly in the reaction tank 1.
The other photodetector 11 is provided so as to correspond to a region downstream of the photodetector 10. And these photodetectors 10, 11
The light receiving surface covers substantially the entire surface of the light transmission window 5.
12は光検出器10,11に共通に設けられる冷却素子で、
例えばサーモモジュールよりなる。13,14は光検出器10,
11のそれぞれ出力側に設けられるプリアンプ、15はプリ
アンプ13,14の出力を加算する加算器、16は出力端子で
ある。そして、17は異常判定器で、プリアンプ13,14の
出力および加算器15の出力がそれぞれ入力されるように
してあり、前記プリアンプ13,14の出力を比較するなど
により、光検出器10,11に異常が生じてないか否かを判
定することができる。12 is a cooling element provided commonly to the photodetectors 10 and 11,
For example, it consists of a thermo module. 13, 14 are photodetectors 10,
A preamplifier provided on each output side of 11, an adder 15 for adding the outputs of the preamplifiers 13 and 14, and an output terminal 16 are provided. Reference numeral 17 denotes an abnormality determiner, to which the outputs of the preamplifiers 13 and 14 and the output of the adder 15 are respectively input, and by comparing the outputs of the preamplifiers 13 and 14, the photodetectors 10 and 11 are used. It can be determined whether or not an abnormality has occurred.
而して、上記構成よりなる化学発光式ガス分析計にお
いては、試料ガスおよびオゾンをそれぞれ反応槽1内に
導入すると、試料ガス中の測定対象成分としてのNOとオ
ゾンとが反応して光を発し、この光は光検出器10,11に
よってそれぞれ受光される。この場合、試料ガス導入口
2とオゾン導入口3の近傍においては、試料ガスとオゾ
ンとの反応が速やかに行われるため、この領域に対応す
る位置に設けられた光検出器10からの出力は、第2図
(A)において曲線aで示すようになる。また、反応槽
1内の下流側においては、前記両ガスは前記反応よりや
や遅れてゆるやかに反応するため、この領域に対応する
位置に設けられた光検出器11からの出力は、同図(B)
において曲線bで示すようになる。そして、これら両光
検出器10,11からの出力を加算器15において加算するこ
とにより、同図(C)において直線に略近い曲線cで示
すような出力が得られる。Thus, in the chemiluminescent gas analyzer having the above configuration, when the sample gas and ozone are respectively introduced into the reaction tank 1, the NO and ozone as the components to be measured in the sample gas react to emit light. This light is received by the photodetectors 10 and 11, respectively. In this case, in the vicinity of the sample gas inlet 2 and the ozone inlet 3, the reaction between the sample gas and the ozone is promptly performed, so that the output from the photodetector 10 provided at a position corresponding to this region is , The curve a in FIG. 2 (A). Further, on the downstream side in the reaction tank 1, the two gases react slowly with a slight delay from the reaction, and the output from the photodetector 11 provided at a position corresponding to this region is shown in FIG. B)
Is as shown by the curve b. Then, by adding the outputs from the two photodetectors 10 and 11 in the adder 15, an output as shown by a curve c that is substantially linear in FIG.
つまり、上記構成によれば、低濃度から高濃度までの
広い範囲に亘って直線性と安定性に優れた出力特性が得
られ、これら高範囲を精度よく測定することができるの
である。That is, according to the above configuration, output characteristics with excellent linearity and stability can be obtained over a wide range from a low concentration to a high concentration, and these high ranges can be accurately measured.
また、上記構成においては、光検出器10,11のそれぞ
れの出力ならびに加算器15の出力を異常判定器17に入力
するようにしているので、光検出器10,11に異常が生じ
てないか否かを検出することができる。例えば一つの手
法として、光検出器10,11の個々の出力を最終濃度出力
に基づいて、本来出力されるべき各信号量と比較し、そ
れぞれ一定範囲を超えたとき、前記光検出器10,11が異
常であると判定する。また、他の手法として、光検出器
10,11の出力の相関曲線を異常判定器17に予め記憶させ
ておき、光検出器10の出力を光検出器11の出力と比較す
るか、或いは、光検出器11の出力を光検出器10の出力と
比較し、その相関性が一定範囲を超えたとき、前記光検
出器10,11が異常であると判定するなどである。Further, in the above configuration, since the respective outputs of the photodetectors 10 and 11 and the output of the adder 15 are input to the abnormality determiner 17, whether an abnormality has occurred in the photodetectors 10 and 11 or not. Can be detected. For example, as one method, based on the final density output, the individual outputs of the photodetectors 10 and 11 are compared with the respective signal amounts to be output, and when each exceeds a certain range, the photodetectors 10 and 11 are used. 11 is determined to be abnormal. Another approach is to use a photodetector
The correlation curves of the outputs of 10 and 11 are stored in the abnormality determiner 17 in advance, and the output of the photodetector 10 is compared with the output of the photodetector 11, or the output of the photodetector 11 is For example, when the correlation exceeds a certain range, it is determined that the photodetectors 10 and 11 are abnormal.
従って、従来のこの種CLDにおいては、光検出器6や
反応槽1において異常が発生しても、定期的に行われる
校正時までその発見がなされないことがあり、指示不良
が継続した状態で測定が行われることがあったが、上記
構成によれば、このようなことは未然に防止され、光検
出器10,11などの異常による指示不良を効果的になくす
ことができる。Therefore, in this type of conventional CLD, even if an abnormality occurs in the photodetector 6 or the reaction tank 1, the abnormality may not be discovered until calibration is performed periodically, and the indication failure may continue. Although the measurement is sometimes performed, according to the above-described configuration, such a situation is prevented beforehand, and an indication defect due to an abnormality of the photodetectors 10 and 11 can be effectively eliminated.
本考案は、上記実施例に限られるものではなく、例え
ば反応槽1に3以上の光検出器を設けるようにしてもよ
い。また、本考案は、一酸化窒素以外のガスを測定対象
とするものにも適用することができることは云うまでも
ない。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, three or more light detectors may be provided in the reaction tank 1. Needless to say, the present invention can be applied to a case where a gas other than nitric oxide is measured.
以上説明したように、本考案によれば、複数の光検出
器の出力を加算器で加算するだけでよいから、構成が簡
単かつ安価でありながらも、低濃度から高濃度までの広
い範囲を精度よく測定することができる。As described above, according to the present invention, since it is only necessary to add the outputs of the plurality of photodetectors with the adder, the configuration is simple and inexpensive, but the wide range from low density to high density can be obtained. It can be measured accurately.
というのは、試料ガス導入口およびオゾン導入口の近
傍においては、つまり、反応槽の上流側領域では、試料
ガスとオゾンとの反応が速やかに行われるため、この領
域に対応する位置に設けられた光検出器からの出力は、
例えば、第2図(A)において曲線aで示すようにな
る。また、反応槽内の下流側領域においては、試料ガス
とオゾンは上流側領域よりやや遅れてゆるやかに反応す
るため、この下流側領域に対応する位置に設けられた光
検出器からの出力は、例えば、第2図(B)において曲
線bで示すようになる。そして、これら光検出器からの
出力を加算器において加算することにより、第2図
(C)において直線に略近い曲線cで示すような出力が
得られるからである。したがって、従来のように、低濃
度測定を行うと出力信号が少なすぎるといったことや、
出力信号を多くしたいがために試料流量を多くして発光
量の増大を得る反面、高濃度域での直線性が悪くなった
り、反応槽を大きくする必要があってコストアップに陥
ったり、反応槽を複数個用意する必要があったりする種
々の問題点を一度に解消できる。That is, in the vicinity of the sample gas inlet and the ozone inlet, that is, in the upstream region of the reaction tank, the reaction between the sample gas and ozone is rapidly performed, so that the gas is provided at a position corresponding to this region. The output from the photodetector
For example, it is as shown by a curve a in FIG. Further, in the downstream region in the reaction vessel, the sample gas and ozone react slowly and slightly later than the upstream region, so the output from the photodetector provided at a position corresponding to this downstream region is: For example, it becomes as shown by a curve b in FIG. 2 (B). Then, by adding the outputs from these photodetectors in the adder, an output as shown by a curve c that is substantially linear in FIG. 2 (C) is obtained. Therefore, as in the past, when the low concentration measurement was performed, the output signal was too small,
To increase the output signal, the sample flow rate is increased to increase the luminescence, but on the other hand, the linearity in the high concentration range deteriorates, and the necessity of increasing the size of the reaction tank leads to an increase in cost, Various problems such as the necessity of preparing a plurality of tanks can be solved at once.
更に、各光検出器のそれぞれの出力ならびに加算器の
出力を異常判定器に入力するので、各光検出器に異常が
生じてないか否かを検出することができる。Further, since the output of each photodetector and the output of the adder are input to the abnormality determiner, it is possible to detect whether or not each photodetector is abnormal.
第1図は本考案に係る化学発光式ガス分析計の一例を示
す構成図、第2図は濃度と出力との関係を示す特性図
で、同図(A),(B)はそれぞれ2個の光検出器の出
力特性図、同図(C)は2個の光検出器の出力を加算し
た後の出力特性図である。第3図は従来例を示す構成図
である。 1……反応槽、2……試料ガス導入口、3……オゾン導
入口、4……ガス排出口、5……光透過窓、10,11……
光検出器、15……加算器、17……異常判定器。FIG. 1 is a configuration diagram showing an example of a chemiluminescence gas analyzer according to the present invention, and FIG. 2 is a characteristic diagram showing a relationship between concentration and output. FIGS. (C) is an output characteristic diagram after adding the outputs of the two photodetectors. FIG. 3 is a configuration diagram showing a conventional example. 1 ... Reaction tank, 2 ... Sample gas inlet, 3 ... Ozone inlet, 4 ... Gas outlet, 5 ... Light transmission window, 10, 11 ...
Photodetector, 15: Adder, 17: Abnormality detector.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−147794(JP,A) 特開 昭57−53646(JP,A) 特開 昭60−228941(JP,A) 特開 昭58−160850(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-50-147794 (JP, A) JP-A-57-53646 (JP, A) JP-A-60-2288941 (JP, A) JP-A-58-1983 160850 (JP, A)
Claims (1)
びオゾン導入口を、下流側端部にガス排出口を設け、反
応槽内に試料ガスとオゾンとを導入し、反応槽内におい
て発せられる光を検出するようにした化学発光式ガス分
析計において、前記反応槽に形成された光透過窓に沿っ
て複数の光検出器を設け、更に、これら光検出器を試料
ガスとオゾンが合流する上流側から下流側にかけて、か
つ、これら光検出器の受光面によって前記光透過窓の略
全面を覆うように設け、各光検出器の出力を加算する加
算器を設け、しかも、各光検出器の出力および加算器の
出力を入力して各光検出器の異常の有無を判定する異常
判定器を設けてあることを特徴とする化学発光式ガス分
析計。A sample gas inlet and an ozone inlet are provided at an upstream end of a reaction tank, and a gas outlet is provided at a downstream end of the reaction tank. A sample gas and ozone are introduced into the reaction tank. In a chemiluminescence gas analyzer configured to detect light emitted in the above, a plurality of light detectors are provided along a light transmission window formed in the reaction tank, and these light detectors are further combined with a sample gas and ozone. From the upstream side to the downstream side where they merge, and provided so as to cover substantially the entire surface of the light transmitting window by the light receiving surfaces of these photodetectors, and an adder for adding the output of each photodetector is provided. A chemiluminescence gas analyzer, comprising: an abnormality determiner that receives an output of a photodetector and an output of an adder to determine whether each photodetector is abnormal.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988123329U JP2541993Y2 (en) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | Chemiluminescence gas analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988123329U JP2541993Y2 (en) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | Chemiluminescence gas analyzer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0243646U JPH0243646U (en) | 1990-03-26 |
JP2541993Y2 true JP2541993Y2 (en) | 1997-07-23 |
Family
ID=31372079
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988123329U Expired - Lifetime JP2541993Y2 (en) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | Chemiluminescence gas analyzer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2541993Y2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2596793Y2 (en) * | 1993-07-16 | 1999-06-21 | 日本トムソン株式会社 | Linear DC motor |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50147794A (en) * | 1974-05-17 | 1975-11-27 | ||
DE3029092C2 (en) * | 1980-07-31 | 1984-09-06 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Detector for chemiluminescence gas analysis |
-
1988
- 1988-09-19 JP JP1988123329U patent/JP2541993Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0243646U (en) | 1990-03-26 |
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