JP2539500B2 - 顕微方式分光光度計 - Google Patents
顕微方式分光光度計Info
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- JP2539500B2 JP2539500B2 JP63241096A JP24109688A JP2539500B2 JP 2539500 B2 JP2539500 B2 JP 2539500B2 JP 63241096 A JP63241096 A JP 63241096A JP 24109688 A JP24109688 A JP 24109688A JP 2539500 B2 JP2539500 B2 JP 2539500B2
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- microscopic
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は極微小部分の赤外吸収スペクトルを測定する
装置に係り、とくに測定部位の観察も同時に行なう事が
出来、極微部分の物質の分析が的確に行なうに好適な赤
外吸収スペクトル測定用顕微鏡装置に関する。
装置に係り、とくに測定部位の観察も同時に行なう事が
出来、極微部分の物質の分析が的確に行なうに好適な赤
外吸収スペクトル測定用顕微鏡装置に関する。
一般に赤外吸収スペクトル測定装置は既に知られてお
り、赤外線光源、赤外線の各波長成分毎の赤外線強度を
得るためのモノクロメータ、又は干渉計及び赤外線検出
器、試料室等から構成されている。極微小部分の赤外吸
収スペクトルの測定は干渉計を用いたフーリエ赤外分光
光度計が高感度であるがゆえに従来、ロバードG ミッ
サーシュミットがASTMスタンダード949 ザ デザイン、
サンプル ハンドリング アンド アプリケイション
オブ インフラレッド マイクロスコープス〔The Desi
gn,Sample Handling and Aplication of Infrared Micr
oscopes,ASTMSTD 949,American Society for Testing a
nd Materials,Philadelphia(1987).〕の27頁〜31頁
やマーシャル デッカー社出版のインフラレッド マイ
クロスコピー〔Pratical Spectroscopy Series Volume
6 Infrared Microspectroscopy Edited by Robart G Me
sserschmidt MARCEL DEKKER INC.(1988)〕の85〜87頁
に論じているような顕微鏡装置との組合せで行なわれて
いる。
り、赤外線光源、赤外線の各波長成分毎の赤外線強度を
得るためのモノクロメータ、又は干渉計及び赤外線検出
器、試料室等から構成されている。極微小部分の赤外吸
収スペクトルの測定は干渉計を用いたフーリエ赤外分光
光度計が高感度であるがゆえに従来、ロバードG ミッ
サーシュミットがASTMスタンダード949 ザ デザイン、
サンプル ハンドリング アンド アプリケイション
オブ インフラレッド マイクロスコープス〔The Desi
gn,Sample Handling and Aplication of Infrared Micr
oscopes,ASTMSTD 949,American Society for Testing a
nd Materials,Philadelphia(1987).〕の27頁〜31頁
やマーシャル デッカー社出版のインフラレッド マイ
クロスコピー〔Pratical Spectroscopy Series Volume
6 Infrared Microspectroscopy Edited by Robart G Me
sserschmidt MARCEL DEKKER INC.(1988)〕の85〜87頁
に論じているような顕微鏡装置との組合せで行なわれて
いる。
これらには第4,5図に示した様な顕微鏡の概略図画記
載されている。第4図の1及び第5図の1は試料ステー
ジ、第4図の2,3および第5図の2は反射対物レンズ、
第5図の3は試料を照明するための楕円面反射集光鏡、
第4図の4、4及び第5図の4、1は測定視野を制限す
るためのアパチャ(孔)第5図の5は集光用の反射対物
レンズ、第4図の6及び第5図の6は赤外線検出器であ
る。フーリエ変換赤外分光器からの赤外線は第4図の
5、及び第5図の7である。試料の赤外吸収スペクトル
の測定は一般に透過又は反射のいずれかのモードで測定
される。透過測定モードのフーリエ変換赤外分光器から
の赤外線は第4,5図の7に、また反射モード測定赤外線
は第4図では5に図示されているが、第5図にはない。
おそらく第5図の8の楕円面反射鏡を介して第5図の2
の反射対物レンズ照射させて行なわせると考えられるが
詳細は記述されていない。以上のように従来の装置では
通常使われている光学顕微鏡の光学システムを利用して
いるので測定対象物の大きさ等に対する配慮がなされて
ない。即ち、試料ステージ(第4,5図の1)の下への移
動は試料への赤外線集光鏡に(第4,5図の2)にまた上
への移動は反射対物レンズ(第4,5図の3)で制限され
るため、試料ステージに搭載出来る試料の大きさに制限
が生じる欠点がある。透過方式による分光測定の場合、
測定出来る試料の厚さは赤外分光測定では10〜20μmで
あり、また通常の可視部の分光測定でも数cmであり、も
ともと大きな試料測定出来ないため対象外であるが、反
射方式による分光測定の場合は試料表面を測定の対象と
するため対象となるが、試料ステージの上下動に制限が
あるこのような装置では、大きな試料の測定の場合試料
ステージに搭載出来ない問題が生じる。また測定のため
のいろいろな分光測定治具を用いこの装置で測定する際
にまた大きな欠点となる。
載されている。第4図の1及び第5図の1は試料ステー
ジ、第4図の2,3および第5図の2は反射対物レンズ、
第5図の3は試料を照明するための楕円面反射集光鏡、
第4図の4、4及び第5図の4、1は測定視野を制限す
るためのアパチャ(孔)第5図の5は集光用の反射対物
レンズ、第4図の6及び第5図の6は赤外線検出器であ
る。フーリエ変換赤外分光器からの赤外線は第4図の
5、及び第5図の7である。試料の赤外吸収スペクトル
の測定は一般に透過又は反射のいずれかのモードで測定
される。透過測定モードのフーリエ変換赤外分光器から
の赤外線は第4,5図の7に、また反射モード測定赤外線
は第4図では5に図示されているが、第5図にはない。
おそらく第5図の8の楕円面反射鏡を介して第5図の2
の反射対物レンズ照射させて行なわせると考えられるが
詳細は記述されていない。以上のように従来の装置では
通常使われている光学顕微鏡の光学システムを利用して
いるので測定対象物の大きさ等に対する配慮がなされて
ない。即ち、試料ステージ(第4,5図の1)の下への移
動は試料への赤外線集光鏡に(第4,5図の2)にまた上
への移動は反射対物レンズ(第4,5図の3)で制限され
るため、試料ステージに搭載出来る試料の大きさに制限
が生じる欠点がある。透過方式による分光測定の場合、
測定出来る試料の厚さは赤外分光測定では10〜20μmで
あり、また通常の可視部の分光測定でも数cmであり、も
ともと大きな試料測定出来ないため対象外であるが、反
射方式による分光測定の場合は試料表面を測定の対象と
するため対象となるが、試料ステージの上下動に制限が
あるこのような装置では、大きな試料の測定の場合試料
ステージに搭載出来ない問題が生じる。また測定のため
のいろいろな分光測定治具を用いこの装置で測定する際
にまた大きな欠点となる。
上記問題は第4,5図の3の試料への赤外線集光鏡への
赤外線の光路について、この鏡を下にさげる事が出来る
ように配慮するか、あるいは第4,5図の2の反射対物レ
ンズを上にあげることが出来る様に配慮するかがなされ
てないため試料ステージの上下動が制限されていた。ま
た、赤外吸収スペクトル測定等の分光測定では大気中の
水蒸気や炭酸ガス等の影響を強く受ける。このため赤外
線の全て光路は雰囲気の経時的変化を極力少なくする必
要がある。この点に対する配慮がなされてなく、試料内
の極微小領域の高感度測定には光路の水蒸気や炭酸ガス
等の経時的変化がノイズの原因となる。本発明の目的は
色々な大きさの試料特に大きな試料の極微小領域の分光
測定を反射法で高感度に行なうことが出来る装置を提供
することにある。
赤外線の光路について、この鏡を下にさげる事が出来る
ように配慮するか、あるいは第4,5図の2の反射対物レ
ンズを上にあげることが出来る様に配慮するかがなされ
てないため試料ステージの上下動が制限されていた。ま
た、赤外吸収スペクトル測定等の分光測定では大気中の
水蒸気や炭酸ガス等の影響を強く受ける。このため赤外
線の全て光路は雰囲気の経時的変化を極力少なくする必
要がある。この点に対する配慮がなされてなく、試料内
の極微小領域の高感度測定には光路の水蒸気や炭酸ガス
等の経時的変化がノイズの原因となる。本発明の目的は
色々な大きさの試料特に大きな試料の極微小領域の分光
測定を反射法で高感度に行なうことが出来る装置を提供
することにある。
上記目的には第4,5図の1の試料ステージの上下へ動
きの幅を大きくし大きな試料でも試料ステージに搭載出
来る様にする必要がある。このためには、鏡への赤外線
の光路について、この鏡を試料ステージと共に上下動出
来るように考案すしたものである。第5図の1の試料へ
の赤外線集光鏡を試料ステージと共に上下動しても試料
ステージ面上に赤外線の焦点が常に再現出来る様にする
事により可能である。このためには第5図の3の集光鏡
と第5図の9の反射鏡を同時に上下動するようにしたも
のである。第5図では、3の集光鏡は楕円面反射であ
る。またこの鏡の焦点100はフーリエ変換赤外分光光度
計からの赤外線を集光した焦点でもある。試料ステージ
の幅を広げるため第5図の3の集光鏡を下にさげるとこ
の鏡の焦点100の位置も下がる事になりフーリエ変換赤
外分光光度計からの赤外線を集光した焦点から外れてし
まい試料ステージ面上に赤外線の焦点が出来なくなる。
この問題を解決するに第5図の7の赤外線を平行光線と
し、またフーリエ変換赤外分光光度計からの赤外線も平
行光線とすることにより達成したものである。こうする
事により第5図の3の集光鏡は下にさげても赤外線の焦
点は常に試料ステージ面上にあるようになる。このため
には第5図の3の集光鏡は放物面反射鏡にするか、第5
図の9の反射鏡を放物面反射鏡にし第5図の3の集光鏡
を楕円面反射鏡にする事により可能にしたものである。
即ち、第5図の9の反射鏡が平行な光路上移動し、しか
も反射鏡の移動軸と該光路を平行にすることにより達成
できる。また本発明は第5図の2の反射対物レンズ側の
顕微鏡を上下動して試料ステージと反射対物レンズとの
間隔を広げる事によっても達成した。この場合も顕微鏡
の移動軸と平行になるような赤外線の平行光線を作り、
顕微鏡をこの平行光線に沿って上下動することにより可
能としたものである。こうする事により常に対物レンズ
の特定の場所に焦点を結ぶ様に成しえたものである。
きの幅を大きくし大きな試料でも試料ステージに搭載出
来る様にする必要がある。このためには、鏡への赤外線
の光路について、この鏡を試料ステージと共に上下動出
来るように考案すしたものである。第5図の1の試料へ
の赤外線集光鏡を試料ステージと共に上下動しても試料
ステージ面上に赤外線の焦点が常に再現出来る様にする
事により可能である。このためには第5図の3の集光鏡
と第5図の9の反射鏡を同時に上下動するようにしたも
のである。第5図では、3の集光鏡は楕円面反射であ
る。またこの鏡の焦点100はフーリエ変換赤外分光光度
計からの赤外線を集光した焦点でもある。試料ステージ
の幅を広げるため第5図の3の集光鏡を下にさげるとこ
の鏡の焦点100の位置も下がる事になりフーリエ変換赤
外分光光度計からの赤外線を集光した焦点から外れてし
まい試料ステージ面上に赤外線の焦点が出来なくなる。
この問題を解決するに第5図の7の赤外線を平行光線と
し、またフーリエ変換赤外分光光度計からの赤外線も平
行光線とすることにより達成したものである。こうする
事により第5図の3の集光鏡は下にさげても赤外線の焦
点は常に試料ステージ面上にあるようになる。このため
には第5図の3の集光鏡は放物面反射鏡にするか、第5
図の9の反射鏡を放物面反射鏡にし第5図の3の集光鏡
を楕円面反射鏡にする事により可能にしたものである。
即ち、第5図の9の反射鏡が平行な光路上移動し、しか
も反射鏡の移動軸と該光路を平行にすることにより達成
できる。また本発明は第5図の2の反射対物レンズ側の
顕微鏡を上下動して試料ステージと反射対物レンズとの
間隔を広げる事によっても達成した。この場合も顕微鏡
の移動軸と平行になるような赤外線の平行光線を作り、
顕微鏡をこの平行光線に沿って上下動することにより可
能としたものである。こうする事により常に対物レンズ
の特定の場所に焦点を結ぶ様に成しえたものである。
また、大気中の水蒸気や炭酸ガス等の経時的変化を極
力少なくする目的を達成するために、赤外線の光路の外
側を出来るだけ密閉することにしたものである。とくに
赤外線の集光鏡試料ステージを前記目的のためには一体
化したため開放部が広くなる。動かない部分は単に遮蔽
板を被せ、摺動する部分は摺動遮蔽膜により大気中の水
蒸気や炭酸ガス等の混入やそとの光の混入を防止するよ
うにしたものである。
力少なくする目的を達成するために、赤外線の光路の外
側を出来るだけ密閉することにしたものである。とくに
赤外線の集光鏡試料ステージを前記目的のためには一体
化したため開放部が広くなる。動かない部分は単に遮蔽
板を被せ、摺動する部分は摺動遮蔽膜により大気中の水
蒸気や炭酸ガス等の混入やそとの光の混入を防止するよ
うにしたものである。
本発明に係る作用を第1図及び第2図,第3図でもっ
て説明する。10はフーリエ変換赤外分光光度計の干渉計
によって周波数に変調された赤外線の平行光線を受ける
2枚の平面反射鏡であり一方は反射(落射)測定モード
のための光学系で11の放物面反射鏡方向に赤外線を向け
るための鏡である。他方な透過測定モードの光学系で12
の平面反射鏡方向に赤外線を受けるための鏡である。こ
れらはレーバにより切り替えることができる。この赤外
線を13の反射対物レンズと14の楕円面反射鏡により試料
15に集光して照射する。反射測定モードの場合は、16は
エッジ鏡で11の放物面反射鏡からきた赤外線はこの鏡で
13の反射対物レンズ方向に反射すし、試料からの赤外線
はこのエッジ鏡の裏側を通り17の赤外線検出器に至る。
透過測定モードの場合はこの16のエッジ鏡は光路から外
して測定する。
て説明する。10はフーリエ変換赤外分光光度計の干渉計
によって周波数に変調された赤外線の平行光線を受ける
2枚の平面反射鏡であり一方は反射(落射)測定モード
のための光学系で11の放物面反射鏡方向に赤外線を向け
るための鏡である。他方な透過測定モードの光学系で12
の平面反射鏡方向に赤外線を受けるための鏡である。こ
れらはレーバにより切り替えることができる。この赤外
線を13の反射対物レンズと14の楕円面反射鏡により試料
15に集光して照射する。反射測定モードの場合は、16は
エッジ鏡で11の放物面反射鏡からきた赤外線はこの鏡で
13の反射対物レンズ方向に反射すし、試料からの赤外線
はこのエッジ鏡の裏側を通り17の赤外線検出器に至る。
透過測定モードの場合はこの16のエッジ鏡は光路から外
して測定する。
18は放物面反射鏡で14の楕円面反射鏡と19,20の平面
反射鏡は21の舟型ステージ内に搭載してある。またこの
21の舟型ステージの楕円面反射鏡も上には試料ステージ
23がある。この舟型ステージ21は22の駆動装置により上
下動するようになっている。10で反射した赤外線24は12
の平面反射鏡で下方に直角に反射する赤外線25となる。
また18の放物面反射鏡でも直角に反射した赤外線26とな
る。また25の赤外線は平行光線であるので21の舟型ステ
ージを上下しても舟型ステージ及びその後の光学系に影
響を与えない作用がある。この様にすることにより試料
ステージの下に固定の赤外線照射集光鏡を廃止すること
が可能となりこの試料ステージは下方向には自由駆動で
きる作用がある。
反射鏡は21の舟型ステージ内に搭載してある。またこの
21の舟型ステージの楕円面反射鏡も上には試料ステージ
23がある。この舟型ステージ21は22の駆動装置により上
下動するようになっている。10で反射した赤外線24は12
の平面反射鏡で下方に直角に反射する赤外線25となる。
また18の放物面反射鏡でも直角に反射した赤外線26とな
る。また25の赤外線は平行光線であるので21の舟型ステ
ージを上下しても舟型ステージ及びその後の光学系に影
響を与えない作用がある。この様にすることにより試料
ステージの下に固定の赤外線照射集光鏡を廃止すること
が可能となりこの試料ステージは下方向には自由駆動で
きる作用がある。
第2図は舟型ステージの拡大図である。この舟型ステ
ージの顕微鏡本体から露出する部分は、集光した赤外線
を通る試料に照射するための孔124のほかは全て塞いで
ある。
ージの顕微鏡本体から露出する部分は、集光した赤外線
を通る試料に照射するための孔124のほかは全て塞いで
ある。
125,126は舟型ステージの上,下に取付けた遮蔽膜
で、舟型ステージの上下動に従って上下する様になって
いる。即ち27はこれを引っ張るワイヤで28の分銅が他端
に取付けてあるまた、もう一方の下方向の遮蔽膜には29
のスプリングばねで引っ張っておいて、両者のバランス
をとっておく、こうする事により舟型ステージの上下動
を負荷なく出来き、また、顕微鏡外の空気や光が混入す
る事を防止する作用がある。
で、舟型ステージの上下動に従って上下する様になって
いる。即ち27はこれを引っ張るワイヤで28の分銅が他端
に取付けてあるまた、もう一方の下方向の遮蔽膜には29
のスプリングばねで引っ張っておいて、両者のバランス
をとっておく、こうする事により舟型ステージの上下動
を負荷なく出来き、また、顕微鏡外の空気や光が混入す
る事を防止する作用がある。
顕微鏡本体を上下動する場合の作用を第3図でもって
説明する。この場合も赤外線の11の放物面反射鏡への入
射角と反射角は45度で、即ち、この11の放物面反射鏡に
よって赤外線は直角に曲げられる。また11の放物面反射
鏡への入射光線とこの顕微鏡の上下動の移動軸は平行し
ておく事により、顕微鏡の上下に動かしても13の反射対
物レンズにより赤外線が集光する光学系は不変である作
用がある。この光学系が顕微鏡の上下動により変わる事
による赤外線の反射対物レンズへの入射効率の著しい低
下を防止する作用もある。
説明する。この場合も赤外線の11の放物面反射鏡への入
射角と反射角は45度で、即ち、この11の放物面反射鏡に
よって赤外線は直角に曲げられる。また11の放物面反射
鏡への入射光線とこの顕微鏡の上下動の移動軸は平行し
ておく事により、顕微鏡の上下に動かしても13の反射対
物レンズにより赤外線が集光する光学系は不変である作
用がある。この光学系が顕微鏡の上下動により変わる事
による赤外線の反射対物レンズへの入射効率の著しい低
下を防止する作用もある。
〔実施例1〕 以下、本発明の実施例1を第1図により説明する。第
1図(b)は透過測定モードと反射測定モードの2つの
方式で試料のフーリエ変換赤外吸収スペクトルの測定が
出来るの装置である。切り替え平面反射鏡10は2群の鏡
からなりフーリエ変換赤外分光光度計の平行な赤外線を
反射(落射)測定モードのための放物面反射鏡11に赤外
線を向けるための反射鏡と透過測定モードための平面反
射鏡12に赤外線を向けるための鏡からなり、これらの鏡
はレーバにより切り替えることが出来る様にした。
1図(b)は透過測定モードと反射測定モードの2つの
方式で試料のフーリエ変換赤外吸収スペクトルの測定が
出来るの装置である。切り替え平面反射鏡10は2群の鏡
からなりフーリエ変換赤外分光光度計の平行な赤外線を
反射(落射)測定モードのための放物面反射鏡11に赤外
線を向けるための反射鏡と透過測定モードための平面反
射鏡12に赤外線を向けるための鏡からなり、これらの鏡
はレーバにより切り替えることが出来る様にした。
まず反射モード測定の光学系について第1図(a)に
基づいて説明する。分光光度計34からの平行な赤外線35
を放物面反射鏡11で楕円面反射鏡32の第1焦点に集光さ
せた。この操作は赤外線検知板を使い放物面反射鏡11の
焦点を予め設計した光軸上に正確に調整し、その後楕円
面反射鏡32の第2焦点がアパチャ33に結ぶ様に赤外線検
知板を使い調整した。以下赤外線の光学系の焦点の一の
調整は赤外線検知板を使い行なった。エッジ鏡16の部分
は上半分が鏡で下半分は素透視にした。楕円面反射鏡32
のからきた赤外線はこの鏡で反射対物レンズ方向13に反
射するようにした。さらに試料ステージ15上の試料で反
射した赤外線はこのエッジ鏡16の裏側を通り赤外線検出
器17に至るようにした。
基づいて説明する。分光光度計34からの平行な赤外線35
を放物面反射鏡11で楕円面反射鏡32の第1焦点に集光さ
せた。この操作は赤外線検知板を使い放物面反射鏡11の
焦点を予め設計した光軸上に正確に調整し、その後楕円
面反射鏡32の第2焦点がアパチャ33に結ぶ様に赤外線検
知板を使い調整した。以下赤外線の光学系の焦点の一の
調整は赤外線検知板を使い行なった。エッジ鏡16の部分
は上半分が鏡で下半分は素透視にした。楕円面反射鏡32
のからきた赤外線はこの鏡で反射対物レンズ方向13に反
射するようにした。さらに試料ステージ15上の試料で反
射した赤外線はこのエッジ鏡16の裏側を通り赤外線検出
器17に至るようにした。
次に透過モード測定の光学系について説明する。切り
替え平面反射鏡10を切り替えて分光器からの平行な赤外
線35を平面反射鏡12方向に向け、さらに、放物面反射鏡
18により楕円面反射鏡14の焦点距離の長い方の焦点に集
光させた。楕円面反射鏡14の短い方の焦点を試料ステー
ジ15上に結ぶせるために2枚の平面反射鏡19,20により
光路をひきあげた。また放物面反射鏡18と楕円面反射鏡
14及び2,枚の平面反射鏡は舟型ステージの上に搭載し、
この舟型ステージに試料ステージ15をボルトで固定し
た。またこの舟型ステージ21は上下動駆動装置22により
反射モード測定、透過モード測定のいずれの場合も焦点
合わせが出来るようにした。
替え平面反射鏡10を切り替えて分光器からの平行な赤外
線35を平面反射鏡12方向に向け、さらに、放物面反射鏡
18により楕円面反射鏡14の焦点距離の長い方の焦点に集
光させた。楕円面反射鏡14の短い方の焦点を試料ステー
ジ15上に結ぶせるために2枚の平面反射鏡19,20により
光路をひきあげた。また放物面反射鏡18と楕円面反射鏡
14及び2,枚の平面反射鏡は舟型ステージの上に搭載し、
この舟型ステージに試料ステージ15をボルトで固定し
た。またこの舟型ステージ21は上下動駆動装置22により
反射モード測定、透過モード測定のいずれの場合も焦点
合わせが出来るようにした。
以上のようにすることにより試料ステージと反射対物
レンズとの間隔を自由に広げる事が出来るようになり、
大きな試料でも試料ステージに搭載可能となった。これ
により従来出来なかったような大形試料の極微小部分の
表面の反射赤外吸収スペクトルの測定が可能となった。
レンズとの間隔を自由に広げる事が出来るようになり、
大きな試料でも試料ステージに搭載可能となった。これ
により従来出来なかったような大形試料の極微小部分の
表面の反射赤外吸収スペクトルの測定が可能となった。
又、透過モードの測定の場合測定出来る試料の厚さに
は分光測定の場合制限がもともとある。特に赤外分光法
の場合は試料の厚さは20ミクロンメータ以下であり、
又、赤外線自体波長が長いので焦点深度深く予め光学系
を最高の感度に試料ステージを上下動して調整しておけ
ばの試料の違いにより焦点会わせの必要度は小さい。反
射対物レンズ13を異なった倍率のものに交換して測定す
る場合、反射対物レンズにより焦点距離が異なりその都
度下部からの赤外線照明光の集光鏡の位置も調整する必
要がある。しかし従来装置ではこれが出来なかったが、
本発明により初めて可能となった。
は分光測定の場合制限がもともとある。特に赤外分光法
の場合は試料の厚さは20ミクロンメータ以下であり、
又、赤外線自体波長が長いので焦点深度深く予め光学系
を最高の感度に試料ステージを上下動して調整しておけ
ばの試料の違いにより焦点会わせの必要度は小さい。反
射対物レンズ13を異なった倍率のものに交換して測定す
る場合、反射対物レンズにより焦点距離が異なりその都
度下部からの赤外線照明光の集光鏡の位置も調整する必
要がある。しかし従来装置ではこれが出来なかったが、
本発明により初めて可能となった。
〔実施例2〕 つぎに本発明の実施例2を第2図により説明する。第
2図は舟型ステージと試料ステージの拡大図である。こ
の舟型ステージ21の顕微鏡本体から露出する部分は、集
光した赤外線を通す試料に照射するための孔124のほか
は全て塞いでだ。黒色化処理したステンレス製の遮蔽膜
125,126を舟型ステージの上、下に取付けた。上側の遮
蔽膜126の他端にはワイヤ27を取り付けた。またこのワ
イヤ27の先には分銅28を取付けた。舟型ステージ21の下
側の他端にはスプリング29ばねを取り付け舟型ステージ
21の上下動に従って上下する様にした。両者のバランス
をとっておき、舟型ステージ21の上下動が負荷なく操作
出来るようにした。
2図は舟型ステージと試料ステージの拡大図である。こ
の舟型ステージ21の顕微鏡本体から露出する部分は、集
光した赤外線を通す試料に照射するための孔124のほか
は全て塞いでだ。黒色化処理したステンレス製の遮蔽膜
125,126を舟型ステージの上、下に取付けた。上側の遮
蔽膜126の他端にはワイヤ27を取り付けた。またこのワ
イヤ27の先には分銅28を取付けた。舟型ステージ21の下
側の他端にはスプリング29ばねを取り付け舟型ステージ
21の上下動に従って上下する様にした。両者のバランス
をとっておき、舟型ステージ21の上下動が負荷なく操作
出来るようにした。
以上により顕微鏡外の空気や光の混入を防ぐことが出
来るようになり、水蒸気や炭酸ガス等や、外光によるノ
イズの影響のない赤外吸収スペクトルの測定が出来る様
になった。
来るようになり、水蒸気や炭酸ガス等や、外光によるノ
イズの影響のない赤外吸収スペクトルの測定が出来る様
になった。
〔実施例3〕 つぎに本発明の実施例3を第2図により説明する。第
3図は顕微鏡本体を上下動する場合の実施例である。フ
ーリエ変換赤外線分光光度計からの集光赤外線は放物面
反射鏡30により平行光線に変換され、放物面反射鏡11入
射する様にした。赤外線は放物面反射鏡11で楕円面反射
鏡32の第1焦点に集光させた。放物面反射鏡11の焦点を
予め設計した光軸上に正確に調整し、その後楕円面反射
鏡32の第2焦点がアパチャ33に結ぶ様に赤外線検知板を
使い調整した。エッジ鏡16の部分は上半分が鏡で下半分
は素透視にした。楕円面反射鏡32のからきた赤外線はこ
の鏡で反射対物レンズ方向13に反射するようにした。さ
らに試料36で反射した赤外線はこのエッジ鏡16の裏側を
通り赤外線検出器17のに至るようにした。
3図は顕微鏡本体を上下動する場合の実施例である。フ
ーリエ変換赤外線分光光度計からの集光赤外線は放物面
反射鏡30により平行光線に変換され、放物面反射鏡11入
射する様にした。赤外線は放物面反射鏡11で楕円面反射
鏡32の第1焦点に集光させた。放物面反射鏡11の焦点を
予め設計した光軸上に正確に調整し、その後楕円面反射
鏡32の第2焦点がアパチャ33に結ぶ様に赤外線検知板を
使い調整した。エッジ鏡16の部分は上半分が鏡で下半分
は素透視にした。楕円面反射鏡32のからきた赤外線はこ
の鏡で反射対物レンズ方向13に反射するようにした。さ
らに試料36で反射した赤外線はこのエッジ鏡16の裏側を
通り赤外線検出器17のに至るようにした。
フーリエ変換赤外線分光光度計からの集光赤外線は放
物面反射鏡30は顕微鏡の架台に取り付け、又顕微鏡は架
台に対して垂直方向に駆動装置31を介して上下動出来る
ようにしたが、又、放物面反射鏡30と放物面反射鏡11と
の間は蛇腹状のゴム製の円筒37により外部空気及び外部
光と遮断した。
物面反射鏡30は顕微鏡の架台に取り付け、又顕微鏡は架
台に対して垂直方向に駆動装置31を介して上下動出来る
ようにしたが、又、放物面反射鏡30と放物面反射鏡11と
の間は蛇腹状のゴム製の円筒37により外部空気及び外部
光と遮断した。
以上のようにしたことにより顕微鏡の反射対物レンズ
の下に広い空間を作ることが出来るようになり適当な試
料保持具さえ準備する事により以下なる大きさの試料で
もその極小部分の表面の赤外吸収スペクトルの測定は出
来る様になった。
の下に広い空間を作ることが出来るようになり適当な試
料保持具さえ準備する事により以下なる大きさの試料で
もその極小部分の表面の赤外吸収スペクトルの測定は出
来る様になった。
本発明によれば顕微鏡の反射対物レンズの下の空間を
自由に大きく取る事ができるので測定する試料の大きさ
の制限がなく分光光度の測定が出来る様になる。また、
反射対物レンズを交換してもその焦点距離にあった位置
にただちに光学系を調整出来るので、極微小部分の赤外
吸収スペクトルが簡易な操作でしかも高感度に測定出来
る。顕微方式の分光光度計を提供出来る効果がある。
自由に大きく取る事ができるので測定する試料の大きさ
の制限がなく分光光度の測定が出来る様になる。また、
反射対物レンズを交換してもその焦点距離にあった位置
にただちに光学系を調整出来るので、極微小部分の赤外
吸収スペクトルが簡易な操作でしかも高感度に測定出来
る。顕微方式の分光光度計を提供出来る効果がある。
第1図(a),(b)は本発明に係る分光顕微鏡の詳細
を示した図である。第2図は本発明に係る試料ステージ
透過照明光学系を搭載する舟形ステージの詳細を示した
図である。第3図は顕微鏡本体が上下動出来る装置に関
する説明図である。第4図及び第5図は本発明に係る従
来例を説明するための図である。 符号の説明 10……切り替え平面反射鏡 11,18……放物面反射鏡 12……平面反射鏡 15……試料ステージ 16……エッジ鏡 14……楕円面反射鏡 21……舟型ステージ 22……上下動駆動装置 125,126……遮蔽膜 37……蛇腹状ゴム製円筒。
を示した図である。第2図は本発明に係る試料ステージ
透過照明光学系を搭載する舟形ステージの詳細を示した
図である。第3図は顕微鏡本体が上下動出来る装置に関
する説明図である。第4図及び第5図は本発明に係る従
来例を説明するための図である。 符号の説明 10……切り替え平面反射鏡 11,18……放物面反射鏡 12……平面反射鏡 15……試料ステージ 16……エッジ鏡 14……楕円面反射鏡 21……舟型ステージ 22……上下動駆動装置 125,126……遮蔽膜 37……蛇腹状ゴム製円筒。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若菜 茂 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日 立製作所茂原工場内 (56)参考文献 実開 昭63−81245(JP,U) 実開 昭50−124980(JP,U)
Claims (8)
- 【請求項1】分光光度計、顕微鏡及び検出器からなり、
透過及び反射の両分光測定方式並びに観察可能な顕微方
式分光光度計において、該分光光度計または、該分光光
度計の光源と上下可変試料ステージとの間の分析用光線
を平行光線に変換するための光学手段(1)と、また該
光線を受光し試料に照射するための光学手段(2)を内
蔵した試料ステージを用いたことを特徴とする顕微方式
分光光度計。 - 【請求項2】該光学手段(1)及び(2)として放物面
反射鏡を用いたことを特徴とする請求項1記載の顕微方
式分光光度計。 - 【請求項3】該光学手段(2)として放物面反射鏡と楕
円面反射鏡の組合せ又は、これらの反射鏡の光路上に2
枚又は、複数枚の平面反射鏡用いたことを特徴とする請
求項1記載の顕微方式分光光度計。 - 【請求項4】該光学手段(1)を経て該光学手段(2)
へ入射する光線の光軸と試料ステージの移動軸とが平行
であることを特徴とする請求項1記載の顕微方式分光光
度計。 - 【請求項5】該上下可変試料ステージは外部空気及び光
の混入を防止するための顕微鏡の内外との間に上下動出
来る遮蔽膜有し、また光路以外は遮蔽したことを特徴と
する請求項1記載の顕微方式分光光度計。 - 【請求項6】該上下可変試料ステージは試料への照射口
に開閉可能なシャッタを有することを特徴としる請求項
5記載の顕微方式分光光度計。 - 【請求項7】固定の試料ステージと上下動する対物レン
ズ及び検出器からなり、反射方式の分光測定及び観察が
出来る顕微方式分光光度計において、該分光光度計また
は、該分光光度計の光源と該上下動する対物レンズ及び
検出器との間の分析用光線を平行光線に変換するための
光学手段(1)、また該光線を受光し試料に照射するた
めの光学手段(3)を内蔵した落射方式顕微鏡であっ
て、これらの光軸は平行であることを特徴とする顕微方
式分光光度計。 - 【請求項8】請求項1から7記載のいずれかの分光光度
計はフーリエ変換分光光度計であることを特徴とする顕
微方式分光光度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63241096A JP2539500B2 (ja) | 1988-09-28 | 1988-09-28 | 顕微方式分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63241096A JP2539500B2 (ja) | 1988-09-28 | 1988-09-28 | 顕微方式分光光度計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0290040A JPH0290040A (ja) | 1990-03-29 |
JP2539500B2 true JP2539500B2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=17069228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63241096A Expired - Lifetime JP2539500B2 (ja) | 1988-09-28 | 1988-09-28 | 顕微方式分光光度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2539500B2 (ja) |
-
1988
- 1988-09-28 JP JP63241096A patent/JP2539500B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0290040A (ja) | 1990-03-29 |
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