JP2536435B2 - Semiconductor package lead molding method and apparatus - Google Patents

Semiconductor package lead molding method and apparatus

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JP2536435B2
JP2536435B2 JP5282203A JP28220393A JP2536435B2 JP 2536435 B2 JP2536435 B2 JP 2536435B2 JP 5282203 A JP5282203 A JP 5282203A JP 28220393 A JP28220393 A JP 28220393A JP 2536435 B2 JP2536435 B2 JP 2536435B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、表面実装型半導体パッ
ケージを得るための、半導体パッケージのリード成形方
法及びその装置に関し、特に、半導体パッケージの外部
リードをガルウィング形状に成形することにより表面実
装型半導体パッケージが得られる、半導体パッケージの
リード成形方法及び装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor package lead forming method and apparatus for obtaining a surface mount type semiconductor package, and more particularly, to a surface mount type package by molding the external leads of the semiconductor package into a gull wing shape. The present invention relates to a semiconductor package lead forming method and device, which can obtain a semiconductor package.

【0002】[0002]

【従来の技術】図3は、従来の表面実装型半導体パッケ
ージの製造工程図である。
2. Description of the Related Art FIG. 3 is a manufacturing process diagram of a conventional surface mount semiconductor package.

【0003】図3(a)に示すように半導体素子109
は、リードフレーム110のアイランド部111に搭載
され、図3(b)に示すように半導体素子109の電極
とリードフレーム110に形成されたインナーリード部
110aとの間は金属ワイヤー112を用いて接続され
る。次に、図3(c)に示すように半導体素子109及
びインナーリード部110a全体はエポキシ樹脂113
で覆い固められる。その後、リードフレーム110上に
設けられた樹脂流出防止のタイバーを切断する工程(不
図示)と、外部リード114のメッキ工程(不図示)等
をへて、図3(d)に示すように外部リード114の成
形が行われる。
As shown in FIG. 3A, the semiconductor element 109
Is mounted on the island portion 111 of the lead frame 110, and the electrode of the semiconductor element 109 and the inner lead portion 110a formed on the lead frame 110 are connected using a metal wire 112 as shown in FIG. 3B. To be done. Next, as shown in FIG. 3C, the semiconductor element 109 and the inner lead portion 110a are entirely made of epoxy resin 113.
It is covered with and hardened. After that, a step (not shown) of cutting the resin outflow preventing tie bar provided on the lead frame 110 and a step (not shown) of plating the external leads 114 are performed, and as shown in FIG. The lead 114 is molded.

【0004】ここで、上記外部リード114の成形方法
について説明する。
Now, a method of molding the external lead 114 will be described.

【0005】図4は、従来の表面実装型半導体パッケー
ジを得るための、外部リード114の成形方法を示す概
略図である。
FIG. 4 is a schematic view showing a method of molding the external leads 114 to obtain a conventional surface mount semiconductor package.

【0006】図4に示すように、半導体パッケージ11
0の半導体封入部101は、ダイ104に形成された溝
部104aに供給され、上方よりパッケージ押え106
によって固定保持される。このダイ104には、外部リ
ード102の根元を下面より支持する突起部104bが
形成されている。次に、外部リード102上部より適当
な軌跡をもったポンチ103が下降し、外部リード10
2をダイ104上面に押し付け変形させることで、ガル
ウィング形状に外部リード102の先端付近が成形され
る。尚、上述の成形動作は全ての外部リード102を一
括して行われている。
As shown in FIG. 4, the semiconductor package 11
The semiconductor encapsulating portion 101 of 0 is supplied to the groove portion 104a formed in the die 104, and the package holder 106 is pressed from above.
Is held fixed by. The die 104 is formed with a protrusion 104b that supports the root of the external lead 102 from the lower surface. Next, the punch 103 having an appropriate trajectory descends from the upper part of the outer lead 102, and the outer lead 10
By pressing and deforming 2 onto the upper surface of the die 104, the vicinity of the tip of the external lead 102 is formed into a gull wing shape. The above-described molding operation is collectively performed on all the external leads 102.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のリード成形方法においては、上記半導体パッケ
ージ110の半導体封入部101に反り、ねじれがある
場合、コンプラナリティが悪化する。
However, in the above-described conventional lead forming method, when the semiconductor encapsulation portion 101 of the semiconductor package 110 is warped or twisted, the complanarity is deteriorated.

【0008】図5は、半導体パッケージ110の半導体
封入部101にそり、ねじれがある場合の外部リード1
02の成形工程を示す図である。
FIG. 5 shows the external lead 1 when it is twisted along the semiconductor encapsulation portion 101 of the semiconductor package 110.
It is a figure which shows the shaping | molding process of 02.

【0009】図5(a)に示すように、反り、ねじれが
ある半導体パッケージ110の半導体封入部101がダ
イ104上の溝部104aに供給され、図5(b)に示
すようにポンチ103が下降してリード成形が完了す
る。ここで、半導体パッケージ110の半導体封入部1
01の反り、ねじれは、リード成形時の圧力により平坦
に矯正されている。次に、図5(c)に示すように、ポ
ンチ103が上昇し、外部リード102にかかる圧力が
なくなると、半導体パッケージ110の半導体封入部1
01の反り、ねじれの復元に伴ってリード先端のコンプ
ラナリティが悪化する。
As shown in FIG. 5A, the semiconductor encapsulation portion 101 of the semiconductor package 110 which is warped or twisted is supplied to the groove portion 104a on the die 104, and the punch 103 is lowered as shown in FIG. 5B. Then, the lead forming is completed. Here, the semiconductor enclosure 1 of the semiconductor package 110
The warp and twist of No. 01 are straightened by the pressure during lead molding. Next, as shown in FIG. 5C, when the punch 103 rises and the pressure applied to the external lead 102 is released, the semiconductor encapsulation portion 1 of the semiconductor package 110 is removed.
The warp of No. 01 and the restoration of the twist deteriorate the complanarity of the lead tip.

【0010】コンプラナリティが悪化する半導体パッケ
ージの半導体封入部の反り、ねじれは、半導体封入部の
内部構造及び半導体封入部の上部と下部の厚さの違い等
により、樹脂封入が行われた後、樹脂温度が低下する際
に発生する。これは、半導体封入部の上部と下部の樹脂
容量の差で樹脂の収縮量が異なることが原因で、半導体
パッケージの構造上、これを回避することは困難であ
る。
The warp and twist of the semiconductor encapsulation portion of the semiconductor package that deteriorates the complanarity are caused by resin encapsulation after the resin encapsulation is performed due to the internal structure of the semiconductor encapsulation portion and the difference in the thickness between the upper and lower portions of the semiconductor encapsulation portion. It occurs when the resin temperature drops. This is because the amount of resin shrinkage differs due to the difference in resin capacity between the upper portion and the lower portion of the semiconductor encapsulation portion, and it is difficult to avoid this due to the structure of the semiconductor package.

【0011】表面実装型半導体パッケージは、プリント
配線板等の表面に赤外線リフロー等の方法で半田付けに
より実装されるが、外部リードのコンプラナリティが悪
いと、リードの浮きが生じ、半田付け不良が発生する。
こうした不良は、自動化されたラインにおいて、品質の
低下、コストアップを招く。近年、パッケージサイズの
大型化及びリード本数の増加と、リードピッチの縮小化
に伴い、コプラナリティの向上が重要となってきてい
る。
The surface mount type semiconductor package is mounted on the surface of a printed wiring board or the like by soldering by a method such as infrared reflow. However, if the external leads have poor complanarity, the leads may float, resulting in poor soldering. appear.
Such defects lead to quality deterioration and cost increase in an automated line. In recent years, with an increase in package size, an increase in the number of leads, and a reduction in lead pitch, it has become important to improve coplanarity.

【0012】本発明は、上記従来技術の実情に鑑みてな
されたものであって、表面実装型半導体パッケージ製造
時における外部リードのコンプラナリティの悪化を防ぐ
ための半導体パッケージのリード成形方法及び装置を提
供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional circumstances, and provides a semiconductor package lead forming method and apparatus for preventing deterioration of external lead complanarity during surface mount semiconductor package manufacturing. The purpose is to provide.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、半導体素子を封入する半導体封入部より突
出した外部リードをガルウィング形状に成形することに
より表面実装型半導体パッケージを得るための、半導体
パッケージのリード成形方法において、所定の位置に固
定保持した半導体パッケージの半導体封入部より突出し
た外部リードの、該半導体パッケージのねじれや反りに
よる上下方向の位置情報を検出し、該位置情報に基づく
移動量でリード支持部を前記外部リード1本または数本
の根元下面に移動させた後、該リード支持を支点とし
て前記外部リード1本毎または数本毎にガルウィング形
状にリード成形することを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION To achieve the above object, the present invention provides a surface mount type semiconductor package by molding an external lead protruding from a semiconductor encapsulation portion encapsulating a semiconductor element into a gull wing shape. In the method of forming leads of a semiconductor package, the external leads protruding from the semiconductor encapsulation portion of the semiconductor package fixed and held at a predetermined position are prevented from twisting or warping of the semiconductor package.
It detects the position information of the vertical direction by, based on the position information
Depending on the amount of movement, one or several external leads can be used as the lead support part.
After being moved to the lower surface of the root of the , the lead support is formed into a gull-wing shape for each or every external lead with the lead support portion as a fulcrum.

【0014】また、半導体素子を封入する半導体封入部
より突出した外部リードをガルウィング形状に成形する
ことにより表面実装型半導体パッケージを得るための、
半導体パッケージのリード成形装置において、前記半導
体パッケージの半導体封入部を固定保持する、平面内に
て移動可能なステージと、前記ステージに固定保持され
る半導体パッケージの外部リードの上方に設置され、前
記外部リードの、前記半導体パッケージのねじれや反り
による上下方向の位置情報を検出する検出手段と、前記
外部リード根元の下方に前記検出手段に相対して設置さ
れ、前記検出手段により検出された位置情報に基づく移
動量で前記外部リード1本または数本の下面位置まで移
動されるリード支持部と、前記リード支持を支点とし
て前記外部リード1本毎または数本毎にガルウィング形
状にリード成形する成形手段と、を有することを特徴と
する。
In order to obtain a surface mount type semiconductor package by molding the external leads protruding from the semiconductor encapsulation portion encapsulating the semiconductor element into a gull wing shape,
In a lead molding device for a semiconductor package, the stage is fixed above the semiconductor encapsulation portion of the semiconductor package and is movable in a plane, and the external lead of the semiconductor package fixedly held by the stage is installed above the external stage. Twist or warp of the semiconductor package of the lead
Detecting means for detecting position information in the up-down direction by means of, and a transfer device based on the position information detected by the detecting means, which is installed below the root of the external lead so as to face the detecting means.
Move to the bottom position of one or several external leads by
It is characterized in that it has a moved lead supporting portion and a forming means for forming a lead into a gull wing shape for each one or every several external leads with the lead supporting portion as a fulcrum.

【0015】[0015]

【作用】上記のとおりに構成された本発明では、所定の
位置に固定保持した半導体パッケージの半導体封入部よ
り突出した外部リードの上下方向の位置情報を検出し、
該位置情報に応じて前記外部リード1本または数本の根
元下面にリード支持部を移動させて支持することによ
り、半導体パッケージの半導体封入部に反り、ねじれが
あった場合でも、リード成形時に支点となるリード支持
部と外部リードとの隙間がなくなる。そして、この状態
にて前記リード支持部を支点としてリード成形を行うこ
とにより、リード成形時の圧力により半導体封止部を平
坦に矯正することなく外部リードが成形されるので、半
導体封止部の反り、ねじれの復元も起こらなくなる。し
たがって、半導体封止部の反り、ねじれの復元に伴うリ
ード先端のコンプラナリティの悪化が防止される。
In the present invention configured as described above, the vertical position information of the external lead protruding from the semiconductor enclosing portion of the semiconductor package fixedly held at a predetermined position is detected,
Even if the semiconductor encapsulation portion of the semiconductor package is warped or twisted, a fulcrum is formed at the time of molding the lead by moving and supporting the lead supporting portion on the lower surface of the root of one or several external leads according to the position information. There is no gap between the lead support and the external lead. Then, by performing lead molding in this state with the lead supporting portion as a fulcrum, the external lead is molded without straightening the semiconductor sealing portion by the pressure during lead molding. The warp and twist will not be restored. Therefore, it is possible to prevent the deterioration of the planarity of the lead tip due to the restoration of the warp and the twist of the semiconductor sealing portion.

【0016】[0016]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0017】図1は本発明の半導体パッケージのリード
成形方法を好適に実施する装置の第1の実施例を示す図
であり、(a)はリード成形の様子を示す概略側面図、
(b)は概略斜視図である。
FIG. 1 is a view showing a first embodiment of an apparatus for suitably carrying out the method of forming leads of a semiconductor package of the present invention. FIG. 1 (a) is a schematic side view showing a state of lead forming,
(B) is a schematic perspective view.

【0018】表面実装型半導体パッケージを得るため
の、半導体パッケージのリード成形装置は、図1に示す
ように、半導体パッケージ10の半導体封入部1を載置
する溝部2aが形成されたステージとしてのパッケージ
テーブル2を備えている。パッケージテーブル2は、駆
動モータ(不図示)に連結され、これにより平面内にて
X、Y、θ方向に駆動可能となっている。パッケージテ
ーブル2の上方には、半導体パッケージ10の半導体封
入部1を固定保持するパッケージ押え3が設けられてい
る。パッケージテーブル2より水平方向に突出する半導
体パッケージ10の外部リード4の上方には、外部リー
ド4の上下方向の位置情報を検出する検出手段としての
センサー6が設置されている。パッケージテーブル2の
外側端面近傍の、外部リード4を挟んでセンサー6と相
対する位置には、外部リード4の根元を下面より支持す
るリード支持台5が上下移動可能に設置されている。リ
ード支持台5には、上下駆動モータ7が取り付けられて
おり、この上下駆動モータ7は、センサー6により検出
された位置情報に応じてリード支持台5を外部リード下
面位置まで動作させるものである。リード支持台5に隣
接した位置にはダイ8が、このダイ8の上方には所定の
軌跡を持つポンチ9が設けられており、これらダイ8及
びポンチ9からなる成形手段により外部リード4の先端
付近は、リード支持台5を支点としてガルウィング形状
にリード成形される。
As shown in FIG. 1, a lead forming apparatus for a semiconductor package for obtaining a surface-mounting type semiconductor package is a package as a stage in which a groove portion 2a for mounting a semiconductor enclosing portion 1 of a semiconductor package 10 is formed. It has a table 2. The package table 2 is connected to a drive motor (not shown), so that it can be driven in the X, Y, and θ directions in a plane. Above the package table 2, a package retainer 3 for fixing and holding the semiconductor enclosing portion 1 of the semiconductor package 10 is provided. Above the outer leads 4 of the semiconductor package 10 protruding in the horizontal direction from the package table 2, a sensor 6 is installed as a detection means for detecting the vertical position information of the outer leads 4. In the vicinity of the outer end surface of the package table 2 and at a position facing the sensor 6 with the external lead 4 sandwiched therebetween, a lead support base 5 that supports the root of the external lead 4 from the lower surface is vertically movable. A vertical drive motor 7 is attached to the lead support base 5, and the vertical drive motor 7 operates the lead support base 5 to the external lead lower surface position according to the position information detected by the sensor 6. . A die 8 is provided at a position adjacent to the lead support 5, and a punch 9 having a predetermined locus is provided above the die 8. The tip of the external lead 4 is formed by a molding means including the die 8 and the punch 9. In the vicinity, the lead support 5 is used as a fulcrum to form a lead in a gull wing shape.

【0019】次に、上記装置に基づく外部リードの成形
方法について説明する。
Next, a method of forming the external lead based on the above apparatus will be described.

【0020】まず、半導体パッケージ10の半導体封入
部1をパッケージテーブル2の溝部2aに供給し、パッ
ケージ押え3によって固定する。このとき、リード支持
台5は下降しており、その上部には任意の外部リード4
が位置している。ここで半導体パッケージ1のセット完
了が確認されると、リード支持台5上部の外部リード4
の位置がリード上方に設けられたセンサー6によって検
出され、基準位置(半導体封入部1に反りやねじれが無
い場合の外部リード4の位置)からの変動量が算出され
る。
First, the semiconductor enclosing portion 1 of the semiconductor package 10 is supplied to the groove 2a of the package table 2 and fixed by the package retainer 3. At this time, the lead support base 5 is descending, and an arbitrary external lead 4 is placed on top of it.
Is located. When it is confirmed that the semiconductor package 1 has been set, the external leads 4 on the lead support base 5 are confirmed.
Is detected by the sensor 6 provided above the lead, and the amount of variation from the reference position (the position of the external lead 4 when the semiconductor encapsulation portion 1 is not warped or twisted) is calculated.

【0021】そして、前記変動量に対応して上下駆動モ
ータ7が駆動されて、リード支持台5が外部リード4下
面に接する位置まで上昇される。
Then, the vertical drive motor 7 is driven in accordance with the variation amount, and the lead support base 5 is raised to a position in contact with the lower surface of the external lead 4.

【0022】その後、外部リード2先端付近がリード上
方よりポンチ9で押し込まれる。ポンチ9の動作は適当
な軌跡を有し、外部リード4がダイ8に接した後、さら
に押し込むことにより、外部リード2がガルウィング形
状に形成される。パッケージテーブル5は、上下駆動モ
ータ7に連結されて、平面内にてX、Y、θ方向に移動
可能であるので、1本の外部リード4のリード形成が完
了すると、次に成形すべき外部リード4がリード支持台
5上に位置するようにパッケージテーブル2が移動す
る。この時の移動動作は、リード支持台5が下降した状
態で行われる。このようにして、全ての外部リードのリ
ード成形が完了する。
Then, the tip of the outer lead 2 is pushed by the punch 9 from above the lead. The operation of the punch 9 has an appropriate locus, and after the outer lead 4 contacts the die 8 and is further pushed, the outer lead 2 is formed in a gull wing shape. The package table 5 is connected to the vertical drive motor 7 and is movable in the X, Y, and θ directions within a plane, so that when the lead formation of one external lead 4 is completed, the external table to be molded next is formed. The package table 2 moves so that the leads 4 are located on the lead support 5. The moving operation at this time is performed in a state where the lead support base 5 is lowered. In this way, lead forming for all external leads is completed.

【0023】上述の実施例では、外部リード個々にリー
ド成形を行っているが、数本の外部リードをまとめてリ
ード成形することも可能である。
In the above-described embodiment, lead molding is performed for each external lead, but it is also possible to collectively form several external leads.

【0024】図2は、外部リード2本を一度にリード成
形する場合の第2の実施例を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment in which two external leads are lead-formed at one time.

【0025】図2に示すリード支持台5aは、外部リー
ド4を2本一度に支持し、このリード支持台5aによる
成形動作は、上述した第1の実施例と同様である。本実
施例においては、リード成形にかかる処理能力が向上す
る効果がある。
The lead support base 5a shown in FIG. 2 supports two external leads 4 at a time, and the molding operation by the lead support base 5a is the same as in the first embodiment described above. In this embodiment, there is an effect that the processing capacity for lead molding is improved.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、所定の位
置に固定保持した半導体パッケージの半導体封入部より
突出した外部リードの上下方向の位置情報を検出し、該
位置情報に応じて前記外部リード1本または数本の根元
下面に支持部を移動させて支持した後、該支持部を支点
として前記外部リード1本毎または数本毎にガルウィン
グ形状にリード成形する方法及び装置であるので、半導
体封入部にそり、ねじれをもった半導体パッケージのリ
ード成形時に生じるコプラナリティの悪化を防止するこ
とができる。すなわち、リード成形をリード1本もしく
は数本で行うことにより、成形圧力が減少し、パッケー
ジを平坦に矯正することなく、その復元も起こらなくな
る。また、リード支持台とリードの隙間をなくし、リー
ド成形が可能となる為、一定条件のもとで全てのリード
を成形できるという効果を有する。
As described above, according to the present invention, the position information in the vertical direction of the external lead protruding from the semiconductor enclosing portion of the semiconductor package fixedly held at a predetermined position is detected, and the external information is detected according to the position information. Since a supporting part is moved and supported on the lower surface of the root of one lead or several leads, and a method and an apparatus for forming a lead into a gull wing shape for each external lead or for every several leads with the supporting part as a fulcrum, It is possible to prevent deterioration of coplanarity that occurs during lead molding of a semiconductor package having a twist along the semiconductor encapsulation portion. That is, by performing the lead forming with one or several leads, the forming pressure is reduced, and the package is not flattened and its restoration does not occur. Further, since it is possible to form the lead by eliminating the gap between the lead support and the lead, there is an effect that all the leads can be formed under a certain condition.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の半導体パッケージのリード成形方法を
好適に実施する装置の第1の実施例を示す図であり、
(a)はリード成形の様子を示す概略側面図、(b)は
概略斜視図である。
FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of an apparatus for suitably implementing the semiconductor package lead forming method of the present invention,
(A) is a schematic side view showing a state of lead molding, and (b) is a schematic perspective view.

【図2】外部リード2本を一度にリード成形する場合の
第2の実施例を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment in which two external leads are lead-formed at one time.

【図3】従来の表面実装型半導体パッケージの製造工程
図である。
FIG. 3 is a manufacturing process diagram of a conventional surface mount semiconductor package.

【図4】従来の表面実装型半導体パッケージを得るため
の、外部リードの成形方法を示す概略図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing a method of molding external leads for obtaining a conventional surface mount semiconductor package.

【図5】半導体パッケージの半導体封入部にそり、ねじ
れがある場合の外部リードの成形工程を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a molding process of the external lead when there is a twist along the semiconductor enclosing portion of the semiconductor package.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 半導体封入部 2 パッケージテーブル 2a 溝部 3 パッケージ押え 4 外部リード 5,5a リード支持台 6 センサー 7 上下駆動モータ 8 ダイ 9 ポンチ 10 半導体パッケージ 1 Semiconductor Enclosure 2 Package Table 2a Groove 3 Package Presser 4 External Leads 5, 5a Lead Support 6 Sensor 7 Vertical Drive Motor 8 Die 9 Punch 10 Semiconductor Package

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 半導体素子を封入する半導体封入部より
突出した外部リードをガルウィング形状に成形すること
により表面実装型半導体パッケージを得るための、半導
体パッケージのリード成形方法において、 所定の位置に固定保持した半導体パッケージの半導体封
入部より突出した外部リードの、該半導体パッケージの
ねじれや反りによる上下方向の位置情報を検出し、該位
置情報に基づく移動量でリード支持部を前記外部リード
1本または数本の根元下面に移動させた後、該リード支
持部を支点として前記外部リード1本毎または数本毎に
ガルウィング形状にリード成形することを特徴とする半
導体パッケージのリード成形方法。
1. A method of forming a lead of a semiconductor package for obtaining a surface mounting type semiconductor package by forming an external lead projecting from a semiconductor encapsulation portion for encapsulating a semiconductor element into a gull wing shape, which is fixedly held at a predetermined position. External leads protruding from the semiconductor encapsulation portion of the semiconductor package
Vertical position information due to twisting or warping is detected, and the lead support portion is moved to the external lead by the amount of movement based on the position information.
A lead forming method for a semiconductor package, comprising moving one or several bottom surfaces of the roots , and then forming a gull-wing lead for each or every one of the external leads with the lead support portion as a fulcrum.
【請求項2】 半導体素子を封入する半導体封入部より
突出した外部リードをガルウィング形状に成形すること
により表面実装型半導体パッケージを得るための、半導
体パッケージのリード成形装置において、 前記半導体パッケージの半導体封入部を固定保持する、
平面内にて移動可能なステージと、 前記ステージに固定保持される半導体パッケージの外部
リードの上方に設置され、前記外部リードの、前記半導
体パッケージのねじれや反りによる上下方向の位置情報
を検出する検出手段と、 前記外部リード根元の下方に前記検出手段に相対して設
置され、前記検出手段により検出された位置情報に基づ
く移動量で前記外部リード1本または数本の下面位置ま
で移動されるリード支持部と、 前記リード支持を支点として前記外部リード1本毎ま
たは数本毎にガルウィング形状にリード成形する成形手
段と、 を有することを特徴とする半導体パッケージのリード成
形装置。
2. A semiconductor package lead molding apparatus for obtaining a surface mount type semiconductor package by molding an external lead protruding from a semiconductor encapsulation portion encapsulating a semiconductor element into a gull wing shape. Hold the part fixed,
A stage movable in a plane, disposed above the outer leads of the semiconductor package is fixed and held on the stage, of the external leads, the semiconductor
A detection means for detecting position information in the vertical direction due to twisting or warping of the body package, and a detection means installed below the root of the external lead so as to face the detection means, and based on the position information detected by the detection means.
Depending on the amount of movement,
A lead supporting unit that is moved by means of a lead supporting unit, and a forming unit that forms a lead into a gull wing shape for each external lead or for every several external leads with the lead supporting unit as a fulcrum. .
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