JP2536063B2 - Cold plate cooling structure - Google Patents

Cold plate cooling structure

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JP2536063B2 JP63128086A JP12808688A JP2536063B2 JP 2536063 B2 JP2536063 B2 JP 2536063B2 JP 63128086 A JP63128086 A JP 63128086A JP 12808688 A JP12808688 A JP 12808688A JP 2536063 B2 JP2536063 B2 JP 2536063B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、コールドプレートの冷却構造に関し、特に
半導体を実装した電子装置のマルチチップモジュールを
直接冷却するために便利なコールドプレートの冷却構造
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cold plate cooling structure, and more particularly to a cold plate cooling structure that is convenient for directly cooling a multi-chip module of an electronic device on which a semiconductor is mounted. It is one.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

大型情報処理装置で高速性を実現するものは、LSI当
りの発熱量が飛躍的に増加する。このため、直接水冷式
を採用しているが、ここで問題となることは、冷却水の
要求流量、配管方式および冷却能力である。配管方式を
複雑にしないためには、モジュールを直列に接続して各
々に冷却水を流せば流量が節約できるが、各モジュール
間の水温の不均一化が問題となる。
Large-scale information processing equipment that achieves high speed dramatically increases the amount of heat generated per LSI. Therefore, the direct water cooling type is adopted, but the problems here are the required flow rate of the cooling water, the piping system and the cooling capacity. In order to keep the piping system simple, the flow rate can be saved by connecting the modules in series and flowing cooling water to each, but the non-uniform water temperature between the modules becomes a problem.

従来のコールドプレート冷却構造は、例えば、『NEC
技報 Vol.39 No.1(1986)』に記載されているよう
に、コールドプレートは冷却液の出入口を各々1つずつ
持っており、配管でこれらを直列に接続していた。すな
わち、第5図に示すように、複数個のコールドプレート
71,72,73,74はそれぞれ直列に接続され、冷却液を入口
から流すと、プレート71,72,73,74の順序で流れて、出
口から流れ出るため、水温はプレート71より72の方が高
くなり、72より73の方が高く、73より74の方が高くなる
という現象が生じていた。
The conventional cold plate cooling structure is, for example, “NEC
As described in “Technical Report Vol.39 No.1 (1986)”, the cold plate had one inlet and one outlet for the cooling liquid, and these were connected in series by piping. That is, as shown in FIG. 5, a plurality of cold plates are used.
71, 72, 73, 74 are respectively connected in series, and when the cooling liquid is flown from the inlet, the plates 71, 72, 73, 74 flow in the order, and the water flows out from the outlet. There was a phenomenon that 73 was higher than 72 and 74 was higher than 73.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

このように、従来の冷却構造では、複数のコールドプ
レートを直列に接続していく場合、後段のコールドプレ
ートほど前段のコールドプレートの吸熱による水温上昇
の影響を積み重ねて受けていくので、後段のマルチチッ
プモジュールほど冷却上不利になっていた。しかし、こ
のような不具合点については、従来は何も配慮されてお
らず、改善が望まれていた。
In this way, in the conventional cooling structure, when multiple cold plates are connected in series, the cold plate in the latter stage is more affected by the rise in water temperature due to the heat absorption of the cold plate in the former stage. The chip module had a cooling disadvantage. However, in the past, no consideration was given to such problems, and improvement was desired.

本発明の目的は、このような従来の課題を解決し、直
列に接続された複数のコールドプレートにそれぞれ冷却
されているマルチチップモジュールのうち、冷却上不利
となるマルチチップモジュールをなくし、全てのマルチ
チップモジュールを平均して冷却することが可能なコー
ルドプレートの冷却構造を提供することにある。
An object of the present invention is to solve such a conventional problem and eliminate a multi-chip module that is disadvantageous in terms of cooling among multi-chip modules that are respectively cooled by a plurality of cold plates connected in series. An object of the present invention is to provide a cold plate cooling structure capable of cooling a multi-chip module on average.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

上記目的を達成するため、本発明によるコールドプレ
ートの冷却構造は、発熱する半導体を複数個搭載したマ
ルチチップモジュールをマザーボード上に複数個実装し
た実装架と、該マルチチップモジュールに組み込まれ、
かつ冷却液の流路を設けたコールドプレートとを含む電
子装置の直接冷却構造において、該コールドプレートの
流路を複数のブロックに分割し、該ブロックのそれぞれ
に冷却液の出入口を設け、各ブロックには隣接するブロ
ックと相対向する方向に冷却液を流すことに特徴があ
る。
In order to achieve the above object, the cold plate cooling structure according to the present invention includes a mounting rack in which a plurality of multi-chip modules having a plurality of semiconductors that generate heat are mounted on a motherboard, and the multi-chip module is incorporated into the mounting rack.
In a direct cooling structure of an electronic device including a cold plate provided with a cooling liquid flow path, the flow path of the cold plate is divided into a plurality of blocks, each block is provided with a cooling liquid inlet / outlet, and each block is Is characterized in that the cooling liquid flows in the direction opposite to the adjacent block.

〔作用〕[Action]

本発明においては、冷却液の流路を増加すること、お
よびその場合に、後段の水温の比較的高い冷却液が流れ
る箇所に、水温の比較的低い冷却水が流れるように増設
路を設けることにより、後段のマルチチップモジュール
の温度上昇を救済する。すなわち、各マルチチップモジ
ュールに組み込むコールドプレートの冷却液流路を複数
のブロックに分割し、かつこれらのブロックごとに冷却
液の出入口を取り付けて、隣接するブロック内には相対
向する方向に冷却水を流すように配管を組み上げる。
In the present invention, the number of flow paths of the cooling liquid is increased, and in that case, an additional passage is provided at a subsequent stage where the cooling liquid having a relatively high water temperature flows so that the cooling water having a relatively low water temperature flows. As a result, the temperature rise of the multi-chip module in the subsequent stage is relieved. That is, the cooling liquid flow path of the cold plate incorporated in each multi-chip module is divided into a plurality of blocks, and the cooling liquid inlet / outlet is attached to each of these blocks, so that cooling water flows in opposite directions in adjacent blocks. Assemble the piping so that the water flows.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を、図面により詳細に説明す
る。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第3図は、本発明の構造の原理を示す図である。 FIG. 3 is a diagram showing the principle of the structure of the present invention.

コールドプレートに冷却液の出入口をそれぞれ1個ず
つ設けた場合、このコールドプレートを取り付けたマル
チチップモジュールの発熱により冷却液の温度はその発
熱量に応じて上昇する。このため、このコールドプレー
トより下流に位置するコールドプレートに対しては、こ
の温度上昇がそのまま加わり、冷却能力上不利になる。
When the cold plate is provided with one inlet and one outlet for the cooling liquid, the temperature of the cooling liquid rises according to the amount of heat generated by the heat generation of the multichip module to which the cold plate is attached. Therefore, this temperature rise is directly applied to the cold plate located downstream of this cold plate, which is disadvantageous in terms of cooling capacity.

第3図に示すように、コールドプレート1を複数のブ
ロック1A,1B,1C,1Dに分割する。ここで、このようなコ
ールドプレートをn個(第3図では3個)用意し、k番
目のブロックをkA,kB,kC,kDと記載することにする。こ
れらのコールドプレート1,2,3,・・・k,を直列に接続し
て、冷却液を次のように流す。
As shown in FIG. 3, the cold plate 1 is divided into a plurality of blocks 1A, 1B, 1C, 1D. Here, n such cold plates (three in FIG. 3) are prepared, and the k-th block is described as kA, kB, kC, kD. These cold plates 1, 2, 3, ..., K are connected in series and the cooling liquid is flown as follows.

(冷却液)→1A→2A→3A→・・kA→・・ →nA→(回収) ←nB←(冷却液) (回収) ←1A←2B←3B←・・kB←・・ (冷却液)→1C→2C→3C→・・kC→・・ →nC→(回収) ←nD←(冷却液) (回収) ←1D←2D←3D←・・kD←・・ すなわち、同一ブロック間で直列に冷却液が流れるよ
うに接続するとともに、同一コールドプレート内の隣接
するブロック間では対向する方向で交互に冷却液が流れ
るように接続する。
(Coolant) → 1A → 2A → 3A → ・ ・ kA → ・ ・ → nA → (Recovery) ← nB ← (Coolant) (Recovery) ← 1A ← 2B ← 3B ← ・ ・ kB ← ・ ・ (Coolant) → 1C → 2C → 3C → ・ ・ kC → ・ ・ → nC → (recovery) ← nD ← (coolant) (recovery) ← 1D ← 2D ← 3D ← ・ ・ kD ← ・ ・ That is, in series between the same blocks The cooling liquid is connected so that it flows, and the adjacent blocks in the same cold plate are connected so that the cooling liquid flows alternately in opposite directions.

このような状態では、各ブロックを1段経過した後の
冷却液の温度上昇をΔt0とすれば、k番目のコールドプ
レートのブロックkA,kCのグループには(k−1)・Δt
0の温度上昇を伴った冷却液が流れる一方、ブロックkB,
kDのグループには(n−k)・Δt0の温度上昇を伴った
冷却液が流入することになる。この両グループが交互に
混在することにより、両グループ間の熱交換が行われ
て、それらの冷却温度は干渉し合って平均化され、各コ
ールドプレートの感じる温度上昇は次式のようになる。
In such a state, if the temperature rise of the cooling liquid after passing one stage through each block is Δt 0 , (k−1) · Δt for the group kA, kC of the kth cold plate.
While the cooling liquid flows with a temperature rise of 0 , the block kB,
The coolant with a temperature rise of (n−k) · Δt 0 flows into the kD group. Since the two groups are alternately mixed, heat exchange between the two groups is performed, their cooling temperatures interfere with each other and are averaged, and the temperature rise felt by each cold plate is as follows.

{(k−1)・Δt0+(n−k)・Δt0}÷2=(n−
1)・Δt0/2 …(1) 実際には、上式(1)の温度上昇に分布係数αを乗じ
た値、α(n−1)・Δt0/2の温度上昇をコールドプレ
ートは感じる。
{(K−1) · Δt 0 + (n−k) · Δt 0 } / 2 = (n−
1) · Δt 0/2 ... (1) In practice, the value obtained by multiplying the temperature rise distribution coefficient alpha in the above equation (1), α (n- 1) · Δt 0/2 cold plate temperature rise of feel.

すなわち、kに無関係に、つまりコールドプレートの
位置にかかわらず、α(n−1)・Δt0/2の温度上昇を
伴った冷却液が流入することと等価になる。
That is, regardless of k, i.e. regardless of the position of the cold plate, α (n-1) · Δt 0/2 cooling liquid with a temperature increase of the is equivalent to that the flows.

従来の冷却構造では、最下流に属するコールドプレー
トは、(n−1)・Δt0の温度上昇が直接加わっていた
わけであるが、本発明の冷却構造では、前述のように、
最下流も最上流も全てのコールドプレートの温度上昇を
平均化することにより、最下流に属するコールドプレー
トの冷却上の不利をなくすことができる。
In the conventional cooling structure, the cold plate belonging to the most downstream is directly subjected to the temperature increase of (n-1) .Δt 0 , but in the cooling structure of the present invention, as described above,
By averaging the temperature rises of all the cold plates in both the most downstream and the most upstream, the cooling disadvantage of the cold plates belonging to the most downstream can be eliminated.

第1図は、本発明の一実施例を示すコールドプレート
の冷却構造の斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a cold plate cooling structure showing an embodiment of the present invention.

第1図のマルチチップモジュール11,12は発熱する半
導体を実装しており、かつ各マルチチップモジュール1
1,12はコールドプレート21,22に取り付けられている。
冷却装置から供給された左側冷却液51は、配管4を通り
コールドプレート21内のブロック31に入る。次段のコー
ルドプレート22のブロック33には、ブロック31を通過し
た冷却液が入るように配管4を接続してある。一方、ブ
ロック33に隣接するブロック34には、冷却装置からの右
側冷却液流52が冷却装置から直接入るように、配管4を
接続してある。
The multi-chip modules 11 and 12 in FIG. 1 are mounted with a semiconductor that generates heat, and each multi-chip module 1
1, 12 are attached to cold plates 21, 22.
The left side cooling liquid 51 supplied from the cooling device passes through the pipe 4 and enters the block 31 in the cold plate 21. The pipe 4 is connected to the block 33 of the cold plate 22 in the next stage so that the cooling liquid passing through the block 31 enters. On the other hand, the pipe 34 is connected to the block 34 adjacent to the block 33 so that the right side cooling liquid flow 52 from the cooling device directly enters from the cooling device.

第1図の実施例において、ブロック31で吸収した熱に
よりブロック33に流入する冷却液は温度上昇を伴ってい
るが、ブロック34には温度上昇の伴なわない冷却液が、
冷却装置から直接供給される。これらの温度上昇の関係
について、次に考える。
In the embodiment of FIG. 1, the cooling liquid flowing into the block 33 due to the heat absorbed in the block 31 is accompanied by a temperature increase, but the cooling liquid not accompanied by the temperature increase is contained in the block 34.
It is supplied directly from the cooling device. The relationship between these temperature increases will be considered next.

第2図は、第1図の各ブロック位置における温度上昇
の状態を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a temperature rising state at each block position in FIG.

第2図のブロック位置として、A,A′,B,B′は第1図
におけるコールドプレート21と22の各入出口を切断した
位置である。
As block positions in FIG. 2, A, A ′, B, B ′ are positions where the inlets and outlets of the cold plates 21 and 22 in FIG. 1 are cut.

第2図に示すように、ブロック31からブロック33に流
れる冷却液の温度曲線63は、入口のAにおける冷却温度
t0から出口のB′における上昇された温度まで直線的に
上昇する。一方、ブロック34からブロック32に流れる冷
却液の温度曲線64は、入口のB′における冷却温度t0
ら出口のAにおける高温まで直線的に上昇する。同一の
コールドプレートのブロック間で熱交換が行われるの
で、理論的には両曲線63,64の中間値をとった曲線とな
るが、実際には種々の状態で第2図の斜線で示す領域内
の曲線となる。
As shown in FIG. 2, the temperature curve 63 of the cooling liquid flowing from the block 31 to the block 33 is the cooling temperature at the inlet A.
It rises linearly from t 0 to the elevated temperature at the outlet B ′. On the other hand, the temperature curve 64 of the cooling liquid flowing from the block 34 to the block 32 linearly rises from the cooling temperature t 0 at the inlet B ′ to the high temperature at the outlet A. Since heat is exchanged between the blocks of the same cold plate, the curve theoretically takes an intermediate value between the curves 63 and 64, but in actuality, the shaded area in Fig. 2 shows various conditions. It becomes the inside curve.

すなわち、ブロック33と34はコールドプレート22に属
する2つのブロックであるが、ブロック33に流入する冷
却液の温度上昇は隣接するブロック34に流入する冷却液
が温度上昇を伴なわないため、コールドプレート22の全
体で見た時、相互の冷却の温度が平均化され、Δtだけ
液温が下がることになる。コールドプレート21でも同じ
ような状態が起こり、その結果としてコールドプレート
に上流と下流の区別がなくなる。
That is, the blocks 33 and 34 are two blocks belonging to the cold plate 22, but the temperature rise of the cooling liquid flowing into the block 33 is not accompanied by the temperature rise of the cooling liquid flowing into the adjacent block 34, so that the cold plate When viewed as a whole of 22, the mutual cooling temperatures are averaged and the liquid temperature is lowered by Δt. A similar situation occurs in the cold plate 21 and, as a result, the cold plate has no distinction between upstream and downstream.

なお、第1図の実施例では、コールドプレートのブロ
ック数を2個にして説明しているが、勿論、これを増加
してもよい。また、直列に接続するコールドプレートの
数を2個にして説明しているが、この数をさらに増加さ
せても同じ効果が期待できる。
In the embodiment shown in FIG. 1, the number of blocks of the cold plate is two, but of course, the number may be increased. Although the number of cold plates connected in series has been described as two, the same effect can be expected even if the number is further increased.

第4図(a)(b)は、本発明の他の実施例を示すコ
ールドプレートの冷却構造の図である。
FIGS. 4A and 4B are views of a cold plate cooling structure showing another embodiment of the present invention.

第4図(a)では、直列に接続された4個のブロック
を第1図に示すように全部にわたって互いに逆方向に2
本の冷却液を流す配管を施こすことはせずに、1本の冷
却液の配管を施こしており、その際に途中で1本の配管
を折れ曲げることにより互いに逆方向の冷却液が流れる
ようにしている。
In FIG. 4 (a), four blocks connected in series are connected to each other in the opposite directions as shown in FIG.
The pipes for flowing the cooling liquid are not applied, but the pipes for the one cooling liquid are applied. At that time, by bending the one pipe in the middle, the cooling liquids in the opposite directions are generated. I am making it flow.

すなわち、ブロック81から82に流れるように接続され
た配管を、ブロック82で折れ曲げて再度同じブロック82
と81に流すのである。同じように、ブロック84と83につ
いても、ブロック84から入った冷却液をブロック83の出
口において折れ曲げて再度、ブロック83,84に流す。こ
のようにしても、第1図の場合と全く同じようにして、
冷却液の温度が平均化される。
That is, the pipes connected so as to flow from the blocks 81 to 82 are bent at the block 82, and the same block 82 is again made.
And it is passed to 81. Similarly, regarding the blocks 84 and 83, the cooling liquid that has entered from the block 84 is bent at the exit of the block 83 and flows again to the blocks 83 and 84. Even in this case, in the same manner as in the case of FIG. 1,
The temperature of the cooling liquid is averaged.

また、第4図(b)においても、2個のブロックをブ
ロック91に対しては入口から冷却液を流して出力におい
て配管を折れ曲げて再度ブロック91に流す。同じよう
に、ブロック92に対しても入口から冷却液を流して出力
において配管を折れ曲げて再度ブロック92に流してい
る。この場合にも、同一ブロック内を互いに逆方向に冷
却液を流しているため、冷却液の温度が平均化される。
Also in FIG. 4B, two blocks are made to flow the cooling liquid from the inlet to the block 91, bend the pipe at the output, and flow again to the block 91. Similarly, the cooling liquid is made to flow from the inlet to the block 92, the pipe is bent at the output, and the cooling liquid is made to flow again to the block 92. Also in this case, since the cooling liquids flow in opposite directions in the same block, the temperatures of the cooling liquids are averaged.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように、本発明によれば、直列にコール
ドプレートを接続したとき下流になるに伴って冷却液の
温度が高くなるが、この温度上昇を左右の冷却液相互で
干渉させて平均化するので、冷却上不利となるマルチチ
ップモジュールをなくすことができ、経済性、保守性の
点でその効果は大である。
As described above, according to the present invention, when the cold plates are connected in series, the temperature of the cooling liquid increases as it goes downstream, but this temperature increase is averaged by causing the left and right cooling liquids to interfere with each other. Therefore, the multi-chip module which is disadvantageous in cooling can be eliminated, and the effect is great in terms of economical efficiency and maintainability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の一実施例を示すコールドプレートの冷
却構造図、第2図は第1図における各ブロックに流れる
冷却液の温度上昇の状態図、第3図は本発明の原理説明
図、第4図は本発明の他の実施例を示すコールドプレー
トの冷却構造図、第5図は従来のコールドプレートの冷
却構造図である。 11,12:マルチチップモジュール、21,22:コールドプレー
ト、31,34:低温冷却液流入ブロック、32,33:高温冷却液
流入ブロック、4:配管、61:冷却装置が供給する冷却液
温度、62:コールドプレートの温度分布、63:左側冷却液
の温度分布、64:右側冷却液の温度分布、51:左側冷却
流、52:右側冷却液流、1A〜1D,2A〜2D,3A〜3D,4A〜4D:
各コールドプレートを分割したブロック、71〜74,81〜8
4,91,92:それぞれブロック。
FIG. 1 is a cooling structure diagram of a cold plate showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a state diagram of temperature rise of a cooling liquid flowing through each block in FIG. 1, and FIG. 3 is an explanatory view of the principle of the present invention. FIG. 4 is a cooling structure diagram of a cold plate showing another embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cooling structure diagram of a conventional cold plate. 11, 12: Multi-chip module, 21, 22: Cold plate, 31, 34: Low temperature coolant inflow block, 32, 33: High temperature coolant inflow block, 4: Piping, 61: Coolant temperature supplied by the cooling device, 62: Cold plate temperature distribution, 63: Left side cooling liquid temperature distribution, 64: Right side cooling liquid temperature distribution, 51: Left side cooling flow, 52: Right side cooling liquid flow, 1A-1D, 2A-2D, 3A-3D , 4A-4D:
Blocks that divide each cold plate, 71-74, 81-8
4,91,92: Blocks respectively.

フロントページの続き (72)発明者 小林 二三幸 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社 日立製作所神奈川工場内 (56)参考文献 特開 昭59−200495(JP,A) 特開 昭61−102799(JP,A) 実開 昭59−58992(JP,U)Front page continuation (72) Inventor Fumiyuki Kobayashi 1 Horiyamashita, Hadano City, Kanagawa Prefecture Kanagawa Plant, Hitachi, Ltd. (56) References JP-A-59-200495 (JP, A) JP-A-61-102799 (JP, A) Actual development Sho 59-58992 (JP, U)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】発熱する半導体を複数個搭載したマルチチ
ップモジュールをマザーボード上に複数個実装した実装
架と、該マルチチップモジュールに組み込まれ、かつ冷
却液の流路を設けたコールドプレートとを含む電子装置
の直接冷却構造において、該コールドプレートの流路を
複数のブロックに分割し、該ブロックのそれぞれに冷却
液の出入口を設け、各ブロックには隣接するブロックと
相対向する方向に冷却液を流すことを特徴とするコール
ドプレートの冷却構造。
1. A mounting rack in which a plurality of multi-chip modules having a plurality of heat-generating semiconductors are mounted on a mother board, and a cold plate incorporated in the multi-chip modules and provided with a cooling liquid flow path. In a direct cooling structure of an electronic device, the flow path of the cold plate is divided into a plurality of blocks, each block is provided with a coolant inlet / outlet, and each block is provided with a coolant in a direction opposite to an adjacent block. Cold plate cooling structure characterized by flowing.
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