JP2535303B2 - Ultra fine particle dispersed glass and its manufacturing method - Google Patents
Ultra fine particle dispersed glass and its manufacturing methodInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は超微粒子分散ガラス状物
とその製造方法に係り、詳しくは非線形光学効果を利用
した赤外透過フィルターガラス、着色ガラス、ガラス用
発色剤等の光デバイス等の光学および電子材料に適用で
きる超微粒子分散ガラス状物とその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrafine particle-dispersed glass material and a method for producing the same, and more particularly to an infrared transmission filter glass, a colored glass, an optical device such as a coloring agent for glass, etc., which utilizes a nonlinear optical effect The present invention relates to an ultrafine particle-dispersed glassy material applicable to optical and electronic materials and a method for producing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】金属のサイズが数10nmより小さい超
微粒子になると、構造、格子比熱、スピン帯磁率等にバ
ルク金属とは全く異なる性質が出現することは良く知ら
れている。この中で金、銀の金属やCdSx Se1-x の
半導体の超微粒子をガラスに分散したものとして着色ガ
ラスやフィルターガラスがある。また、この種の着色ガ
ラスである色ガラスフィルターが非線形光学特性を示す
ことも知られており、光スイッチや光コンピュータの電
子材料に適用できるものとして注目を集めている。この
着色ガラスが非線形光学特性を有する原因として、量子
閉じ込め効果によるエネルギーバンドの離散化が観測さ
れ、バンドの充満効果もしくは励起子閉じ込め効果によ
り3次の非線形特性が増大すると解釈されている。2. Description of the Related Art It is well known that ultrafine particles having a size of metal smaller than several tens of nanometers have properties which are completely different from those of bulk metal, such as structure, lattice specific heat and spin susceptibility. Among these, there are colored glass and filter glass as a dispersion of ultrafine particles of gold or silver metal or CdS x Se 1-x semiconductor in glass. It is also known that a colored glass filter, which is a colored glass of this type, exhibits a non-linear optical characteristic, and is attracting attention as a material applicable to electronic materials for optical switches and optical computers. The reason why the colored glass has the nonlinear optical property is that the energy band is discretized due to the quantum confinement effect, and it is interpreted that the third-order nonlinear property is increased due to the band filling effect or the exciton confinement effect.
【0003】このような微粒子分散ガラスの製造方法と
しては、一般にゾル−ゲル法、溶解析出法、スパッタリ
ング法、イオン注入法が知られている。As a method for producing such fine particle-dispersed glass, generally known are a sol-gel method, a dissolution precipitation method, a sputtering method and an ion implantation method.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、一般にゾル−
ゲル法は、微粒子分散ガラスを得るにおいて非常に長時
間を要するだけでなく、金属あるいは半導体のコロイド
粒子の凝集を防ぐことが困難であり、更に大きな問題点
としては微粒子の含有濃度に限界があり、高濃度にする
ことが困難であった。また、ゾル−ゲル−燃焼法でも微
粒子の含有濃度を高めるのが困難であった。さらに、析
出法やスパッタリング法でも、微粒子の粒径を制御する
ことが困難であるばかりか、微粒子の含有濃度を高める
のが困難であった。そして、イオン注入法においては、
装置が大型で大量生産には不向きであり、しかも微粒子
の含有濃度を高めるのが困難であった。しかも、Cu2
O微粒子を析出させたガラスを得る方法については、未
だ実用化されておらず、またCu2 O微粒子を析出させ
たガラスについては、提案されていない。However, in general, the sol-
The gel method not only takes a very long time to obtain fine particle-dispersed glass, but it is difficult to prevent the aggregation of metal or semiconductor colloidal particles, and a further serious problem is that the concentration of fine particles is limited. It was difficult to obtain a high concentration. Further, it is difficult to increase the content concentration of fine particles even by the sol-gel-combustion method. Furthermore, not only is it difficult to control the particle size of the fine particles by the precipitation method and the sputtering method, but it is also difficult to increase the content concentration of the fine particles. And in the ion implantation method,
The device was large and not suitable for mass production, and it was difficult to increase the concentration of fine particles. Moreover, Cu 2
A method for obtaining a glass in which O fine particles are deposited has not yet been put into practical use, and a glass in which Cu 2 O fine particles are deposited has not been proposed.
【0005】このように従来の方法では、金属あるいは
半導体の微粒子の含有濃度が低いために、三次の非線形
感受率χ(3) が小さい材料になっていた。一般に三次の
非線形感受率χ(3) の大きい材料になると、光双安定応
答を引き起こすのに必要な入射光強度も小さくてすみ、
高集積化を可能にするばかりでなく、速い応答のスイッ
チが可能になると言われている。このため、微粒子の含
有濃度が高くて、三次の非線形感受率χ(3) の大きいも
のに注目が集まっている。As described above, in the conventional method, since the content concentration of the metal or semiconductor fine particles is low, the material has a small third-order nonlinear susceptibility χ (3) . Generally, for materials with a large third-order nonlinear susceptibility χ (3) , the incident light intensity required to induce an optical bistable response can be small,
It is said that not only high integration is possible, but also fast response switches are possible. For this reason, attention is focused on particles having a high concentration of fine particles and a large third-order nonlinear susceptibility χ (3) .
【0006】また、半導体の超微粒子において非線形性
に効果が大きいとされている閉じ込められる励起子は、
そのボーア半径の3〜4倍以上の空間でしか存在しな
い。よく検討されている半導体として、超微粒子のサイ
ズが数十nmであるCdS−CdSeは、ボーア半径が
数nm程度であるため、超微粒子である利点を最大限利
用できていない。超微粒子を最大限利用するためにも、
あるいはより多くの励起子を得るためにも、ボーア半径
が小さいことが望まれる。このため、ボーア半径の小さ
いCuBr(1.25nm)、CuCl(0.7nm)
が最近注目されて検討されている。同様に、ボーア半径
が小さい半導体としてCu2 O(0.7nm)が脚光を
浴びているが、Cuはガラス中で反応しやすいため、C
uO、Cu2+、Cu+ 、Cuなどを生成するため、高濃
度のCu2 Oの超微粒子が析出し分散したガラスは未だ
得ることが出来ていない。 本発明は、このような問題点
を改善するものであり、とくにCu2 Oの超微粒子を独
立して分散させるとともにこれらの超微粒子の含有濃度
を高めてなる非線形光学特性を有する超微粒子分散ガラ
ス状物とその製造方法を提供する。In addition, in the ultrafine particles of semiconductor, non-linearity
The trapped excitons, which are said to have a large effect on
It only exists in a space that is 3-4 times the Bohr radius.
Yes. A well-studied semiconductor is the ultrafine particle size.
CdS-CdSe with a diameter of several tens of nm has a Bohr radius
Since it is about several nanometers, you can take full advantage of the advantages of ultrafine particles.
Not available. To maximize the use of ultrafine particles,
Or to get more excitons, Bohr radius
Is desired to be small. Therefore, the Bohr radius is small
CuBr (1.25 nm), CuCl (0.7 nm)
Has been recently noticed and studied. Similarly, Bohr radius
Cu as a small semiconductor2O (0.7 nm) is the spotlight
Although it is bathed, since Cu easily reacts in glass, C
uO, Cu2+, Cu+, Cu, etc.
Degree Cu2Glass with ultrafine O particles deposited and dispersed
I haven't been able to get it. The present invention has such problems
Of Cu, especially Cu2O ultrafine particles
Concentrate these ultrafine particles while standing and dispersing
Particle Dispersion Glass with Nonlinear Optical Properties
A strip and a method for producing the same are provided.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】即ち、本発明の特徴とす
るところは、金属酸化物の超微粒子とMOxとからなる
超微粒子分散ガラス状物において、上記超微粒子が粒径
1〜50nmのCu2Oであり、該超微粒子の各々がM
Ox(MはAl,Ge,Sn,Sb,Ga,Pbから選
ばれてなる両性元素あるいはTi,Fe,Nb,Ta,
Cd,In,Cr,Mnから選ばれてなる金属元素、x
は0.1〜3である)からなる非晶質の無機物に包囲さ
れ、上記超微粒子の含有率が最大90モル%である超微
粒子分散ガラス状物にある。That is, a feature of the present invention is that in an ultrafine particle-dispersed glassy material comprising ultrafine particles of metal oxide and MO x , the ultrafine particles have a particle size of 1 to 50 nm. Cu 2 O, and each of the ultrafine particles is M
O x (M is an amphoteric element selected from Al, Ge, Sn, Sb, Ga, Pb or Ti, Fe, Nb, Ta,
Metal element selected from Cd, In , Cr and Mn , x
Is 0.1 to 3) and is surrounded by an amorphous inorganic substance, and the content of the ultrafine particles is 90 mol% at the maximum.
【0008】 また、本発明は金属酸化物の超微粒子、
MOx、そしてガラス骨格を形成する第3成分である
M’Oyからなる超微粒子分散ガラス状物において、上
記超微粒子が粒径1〜50nmのCu2Oであり、該超
微粒子の各々がMOx(MはAl,Ge,Sn,Sb,
Ga,Pbから選ばれてなる両性元素あるいはTi,F
e,Nb,Ta,Cd,In,Cr,Mnから選ばれて
なる金属元素、xは0.1〜3である)からなる非晶質
の無機物とM’Oy(M’はSi,B,Pから選ばれた
元素であり、yは0.1〜3である)に包囲され、上記
超微粒子の含有率が最大90モル%である超微粒子分散
ガラス状物を含む。また、本発明は、超微粒子化したC
u2Oを高分子内に凝集させることなく分散させて得ら
れた高分子複合物と、有機金属化合物との混合物を有機
溶剤に溶解させ、これを基板上に塗布、乾燥して膜を作
製した後、焼結した超微粒子分散ガラス状物の製造方法
も含む。The present invention also provides ultrafine particles of metal oxide,
In an ultrafine particle-dispersed glassy material comprising MO x and M′O y which is a third component forming a glass skeleton, the ultrafine particles are Cu 2 O having a particle size of 1 to 50 nm, and each of the ultrafine particles is MO x (M is Al, Ge, Sn, Sb,
Amphoteric element selected from Ga and Pb or Ti and F
e, Nb, Ta, Cd, In , Cr, Mn, an amorphous inorganic substance composed of a metal element, x is 0.1 to 3 and M′O y (M ′). Is selected from Si, B, P
It is an element , and y is 0.1 to 3), and includes the ultrafine particle-dispersed glassy material in which the content of the ultrafine particles is 90 mol% at the maximum. In addition, the present invention provides ultrafine particles of C
A mixture of a polymer composite obtained by dispersing u 2 O in a polymer without agglomerating it and an organometallic compound is dissolved in an organic solvent, applied on a substrate, and dried to form a film. The method also includes a method for producing a glassy material in which ultrafine particles are dispersed after sintering.
【0009】 また、高分子複合物が、融解した高分子
を蒸発固化させるかあるいは超急冷させることによって
得られる熱力学的に準安定な高分子層を作製し、この高
分子層の表面に銅層を密着した後、上記高分子層を該融
解温度以下で加熱して高分子層を安定化させることで銅
層から超微粒子化したCu2Oを高分子内に凝集させる
ことなく分散させて得られたものである。そして、上記
高分子複合物と有機金属化合物との混合物に、M’
(M’はSi,B,Pから選ばれた元素である)で表示
されるガラス骨格を形成する第3成分を混入してもよ
い。In addition, the polymer composite forms a thermodynamically metastable polymer layer obtained by evaporating and solidifying a melted polymer or super-quenching, and copper is formed on the surface of the polymer layer. After the layers are brought into close contact with each other, the polymer layer is heated at a temperature not higher than the melting temperature to stabilize the polymer layer, whereby Cu 2 O which is made into ultrafine particles from the copper layer is dispersed in the polymer without agglomeration. It was obtained. Then, M'is added to the mixture of the polymer composite and the organometallic compound.
A third component forming a glass skeleton represented by (M ′ is an element selected from Si, B and P) may be mixed.
【0010】 本発明の超微粒子分散ガラス状物の製造
方法においては、Cu2Oの超微粒子を高分子中に均一
に分散させた高分子複合物を得る工程とこれに有機金属
化合物との混合物を有機溶剤に溶解させ、これを基板上
に塗布して乾燥した膜を作製した後、焼結する工程から
なる。まず、高分子複合物を得る場合において、第1に
高分子層を熱力学的に準安定な状態に成形することであ
る。具体的には、これは高分子を真空中で加熱して融解
し蒸発させて基板の上に高分子層を固化する真空蒸着方
法、高分子を融解温度以上で融解し、この状態のまま直
ちに液体窒素等に投入して急冷し、基板の上に高分子層
を付着させる融解急冷固化方法、また高分子を溶剤に溶
かし(濃度60%以下、好ましくは20%以下)、基板
上に塗布した後、密閉容器の中で一定温度に保ちつつ、
高速(240l/min以上)で脱気して溶剤を除去す
る高速脱溶剤法、また低温(20°C以下、好ましくは
0゜C以下)で、かつ高速で脱気して溶剤を除去する凍
結乾燥法がある。この高速脱溶剤法や凍結乾燥法では、
溶剤が減るとともに高分子が安定構造にもどろうとする
が、脱溶媒速度が速いと、安定構造にもどることができ
ず、熱力学的に準安定な状態に成型することができる。In the method for producing a glassy material in which ultrafine particles are dispersed according to the present invention, a step of obtaining a polymer composite in which ultrafine particles of Cu 2 O are evenly dispersed in a polymer and a mixture thereof with an organometallic compound Is dissolved in an organic solvent, coated on a substrate to form a dried film, and then sintered. First, in obtaining a polymer composite, the first is to form the polymer layer into a thermodynamically metastable state. Specifically, this is a vacuum evaporation method in which a polymer is heated in a vacuum to melt and evaporate to solidify a polymer layer on a substrate, and the polymer is melted at a melting temperature or higher and immediately kept in this state. A method of melting and quenching by pouring into liquid nitrogen or the like to rapidly cool and then depositing a polymer layer on the substrate, or dissolving the polymer in a solvent (concentration 60% or less, preferably 20% or less) and coating it on the substrate Later, while maintaining a constant temperature in a closed container,
High-speed desolvation method to remove solvent by degassing at high speed (240 l / min or more) and freezing to remove solvent by degassing at low temperature (20 ° C or less, preferably 0 ° C or less) at high speed There is a drying method. In this high-speed solvent removal method and freeze-drying method,
As the amount of solvent decreases, the polymer tries to return to a stable structure, but if the desolvation rate is high, it cannot return to a stable structure, and thermodynamically metastable molding is possible.
【0011】 真空蒸着方法の場合には、通常の真空蒸
着装置を使用して10−4〜10−6Torrの真空
度、蒸着速度0.1〜100μm/分、好ましくは0.
5〜5μm/分で、ガラス等の基板の上に高分子層を得
ることができる。融解急冷固化方法では、高分子を融解
し、該高分子固有の臨界冷却速度以上の速度で冷却し、
高分子層を得る。得られた高分子層は熱力学的に準安定
な状態におかれ、時間の経過につれて安定状態へ移行す
る。In the case of the vacuum deposition method, a vacuum degree of 10 −4 to 10 −6 Torr and a deposition rate of 0.1 to 100 μm / min, preferably 0.
At 5 to 5 μm / min, a polymer layer can be obtained on a substrate such as glass. In the melt-quenching and solidification method, a polymer is melted and cooled at a rate equal to or higher than a critical cooling rate specific to the polymer,
Obtain a polymer layer. The resulting polymer layer is placed in thermodynamically metastable <br/> state, shifts over time to a stable state.
【0012】本発明で使用する高分子は、例えばナイロ
ン6、ナイロン66、ナイロン11、ナイロン12、ナ
イロン69、ポリエチレンテレフタレート(PET)、
ポリビニルアルコール、ポリフェニレンスルフィド(P
PS)、ポリスチレン(PS)、ポリカーボネート、ポ
リメチルメタクリレート等であり、分子凝集エネルギー
として2000cal/mol以上有するものが好まし
い。この高分子は、通常言われている結晶性高分子や非
晶性高分子も含む。尚、分子凝集エネルギーについて
は、日本化学会編 化学便覧応用編(1974年発行)
の第890頁に詳細に定義されている。The polymer used in the present invention is, for example, nylon 6, nylon 66, nylon 11, nylon 12, nylon 69, polyethylene terephthalate (PET),
Polyvinyl alcohol, polyphenylene sulfide (P
PS), polystyrene (PS), polycarbonate, polymethylmethacrylate, etc., and those having a molecular cohesive energy of 2000 cal / mol or more are preferable. This polymer includes a crystalline polymer and an amorphous polymer which are usually called. Regarding the molecular cohesive energy, the Chemical Handbook, edited by the Chemical Society of Japan (edited in 1974)
890, page 890.
【0013】 続いて、前記熱力学的に準安定にある高
分子層は、その表面に銅層を密着させる工程へと移され
る。この工程では真空蒸着装置によって銅を高分子層に
蒸着させるか、もしくは銅板を直接高分子層に密着させ
る等の方法で銅層を高分子層に積層させる。Subsequently, the thermodynamically metastable polymer layer is transferred to the step of bringing a copper layer into close contact with the surface of the polymer layer. In this step, copper is vapor-deposited on the polymer layer by a vacuum vapor deposition apparatus, or the copper layer is laminated on the polymer layer by a method of directly adhering a copper plate to the polymer layer.
【0014】上記銅層と高分子層とが密着した複合物
を、高分子のガラス転移点以上で融解温度以下の温度で
加熱して高分子層を安定状態へ移行させる。その結果、
銅は、100nm以下で、1〜10nmの領域に粒子径
分布の最大をもつCu2 Oの超微粒子となって高分子層
内へ拡散浸透し、この状態は高分子層が完全に緩和する
まで続き、高分子層に付着している銅層はその厚さも減
少して最終的に無くなる。上記超微粒子は凝集すること
なく高分子層内に分布している。The composite in which the copper layer and the polymer layer are in close contact is heated at a temperature not lower than the glass transition point of the polymer and not higher than the melting temperature to bring the polymer layer into a stable state. as a result,
Copper is 100 nm or less and becomes Cu 2 O ultrafine particles having a maximum particle size distribution in the range of 1 to 10 nm and diffuses and permeates into the polymer layer. This state is maintained until the polymer layer is completely relaxed. Subsequently, the copper layer adhering to the polymer layer also decreases in thickness and eventually disappears. The ultrafine particles are distributed in the polymer layer without being aggregated.
【0015】得られた高分子複合物は、メタクレゾー
ル、ジメチルホルムアミド、ジクロロメタン、ギ酸等の
有機溶剤からなる溶媒に混合し溶解させ、Cu2 Oの超
微粒子を均一に分散させた超微粒子分散ペーストにす
る。超微粒子は粒径が小さく高分子との相互作用が存在
するためにペースト中で高分子との分離、沈澱および超
微粒子同志の凝集が生じない。この場合、Cu2 Oの超
微粒子の含有量は0.01〜80重量%である。The obtained polymer composite is mixed and dissolved in a solvent consisting of an organic solvent such as metacresol, dimethylformamide, dichloromethane, formic acid and the like, and an ultrafine particle dispersion paste in which ultrafine particles of Cu 2 O are uniformly dispersed To Since the ultrafine particles have a small particle size and have an interaction with the polymer, separation, precipitation and aggregation of the ultrafine particles do not occur in the paste. In this case, the content of Cu 2 O ultrafine particles is 0.01 to 80% by weight.
【0016】 続いて、金属アルコキシド、有機金属錯
体、有機酸金属塩から選ばれてなる有機金属化合物を準
備し、これをメタクレゾール、ジメチルホルムアミド、
ジクロロメタン、ギ酸等の有機溶剤に溶解し、これをC
u2Oの超微粒子分散ペーストとを混合する。むろん、
本発明の場合、高分子複合物と有機金属化合物との混合
物を同時に有機溶剤に溶解することもできる。Subsequently, an organometallic compound selected from metal alkoxides , organometallic complexes, and organic acid metal salts is prepared, and metacresol, dimethylformamide,
Dissolve in an organic solvent such as dichloromethane or formic acid, and add C
mixing the u 2 O ultrafine particles dispersed paste. Of course,
In the case of the present invention, the mixture of the polymer composite and the organometallic compound may be simultaneously dissolved in the organic solvent.
【0017】 上記有機金属化合物の金属アルコキシド
は、一般式 M−(O−CnH2n+1)mで表示さ
れ、具体的にはテトラエトキシチタン、トリエトキシア
ルミニウム、トリエトキシアンチモン、テトラエトキシ
ゲルマニウム、テトラエトキシタンタル、ジエトキシ
錫、テトラi−プロポキシチタン、トリi−プロポキシ
アルミニウム、トリi−ブトキシアルミニウム、ペンタ
n−ブトキシタンタル、テトラi−アミノキシ錫等があ
る。また、有機金属化合物の有機金属錯体は、エチルア
セトアセテートアルミニウムジイソプロピレート、アル
ミニウムトリス(アセチルアセテート)、アルミニウム
オキシン錯体等がある。また、有機金属化合物の有機酸
金属塩は、安息香酸アルミニウム、ナフテン酸鉄塩等が
ある。[0017] Metal alkoxide <br/> of the organic metal compound is displayed in the general formula M- (O-C n H 2n + 1) m, tetraethoxy titanium Specifically, triethoxy aluminum, triethoxy antimony, tetra There are ethoxy germanium, tetraethoxy tantalum, diethoxy tin, tetra i-propoxy titanium, tri i-propoxy aluminum, tri i-butoxy aluminum, penta n-butoxy tantalum, tetra i-aminoxy tin and the like. Examples of the organometallic complex of the organometallic compound include ethyl acetoacetate aluminum diisopropylate, aluminum tris (acetylacetate), and aluminum oxine complex. Examples of organic acid metal salts of organic metal compounds include aluminum benzoate and iron naphthenate.
【0018】 また、本発明では、上記高分子複合物と
有機金属化合物とともに、第3成分としてM’で表示さ
れる元素を含む有機化合物(ただし、M’はSi,B,
Pから選ばれた元素でガラス骨格を形成する元素であ
る)も使用可能であり、これによって作製した膜の強度
を向上させることができる。具体的には、テトラi−プ
ロポキシシラン、ほう酸トリエチル、ほう酸トリステア
リル、ほう酸トリフェニル、リン酸トリクレジル、リン
酸トリフェニル、リン酸イプロニアジド、リン酸ジフェ
ニル、ホスホノ酢酸、ホスホラミドン、リン酸ジn−ブ
チル、リン酸トリエチル、リン酸トリn−アミル等があ
る。上記第3成分は膜の強度を高めるだけでなく、化学
的な耐久性を向上させる。この添加量は0.1〜90モ
ル%である。In addition, in the present invention, an organic compound containing an element represented by M ′ as a third component (where M ′ is Si, B,
It is also possible to use an element selected from P, which is an element that forms a glass skeleton), and this can improve the strength of the produced film. Specifically, tetra i-propoxysilane, triethyl borate, tristearyl borate, triphenyl borate, tricresyl phosphate, triphenyl phosphate, iproniazide phosphate, diphenyl phosphate, phosphonoacetic acid, phosphoramidon, di n-butyl phosphate. , Triethyl phosphate, tri-n-amyl phosphate and the like. The third component not only increases the strength of the film, but also improves the chemical durability. This addition amount is 0.1 to 90 mol%.
【0019】このように作製された高分子複合物と有機
金属化合物とを有機溶剤に溶かした混合物あるいは高分
子複合物、有機金属化合物そしてガラス骨格を形成する
有機化合物とを有機溶剤に溶かした混合物を良く攪拌し
た後、ガラス板等の基板に塗布し、60〜120°Cで
大気中で10分間有機溶剤を除去して乾燥、あるいは密
閉容器中で脱気しながら乾燥した。続いて、このように
して得られた試料を3つの方法によって焼結した。A mixture obtained by dissolving the polymer composite thus prepared and an organometallic compound in an organic solvent or a mixture obtained by dissolving the polymer composite, the organometallic compound and the organic compound forming the glass skeleton in an organic solvent Was thoroughly stirred and then applied to a substrate such as a glass plate and dried by removing the organic solvent in the air at 60 to 120 ° C. for 10 minutes, or dried in a closed container while degassing. Subsequently, the sample thus obtained was sintered by three methods.
【0020】第1は、試料を弱酸化雰囲気中で一度で焼
結する方法であり、具体的にはN2、CO2 、Ar等の
不活性ガスと酸素濃度0.01〜1.0%のO2 とから
なる雰囲気中で、300°C以上の温度で焼結する方法
であり、一度の焼成でCu2O微粒子をガラスマトリッ
クスに固定するものである。The first is a method in which the sample is sintered at once in a weakly oxidizing atmosphere. Specifically, an inert gas such as N 2 , CO 2 , Ar or the like and an oxygen concentration of 0.01 to 1.0% are used. This is a method of sintering at a temperature of 300 ° C. or higher in an atmosphere consisting of O 2 and the Cu 2 O fine particles are fixed to the glass matrix by one firing.
【0021】第2は、上記Cu2 Oを含む試料をN2 、
CO2 、Ar等の不活性ガスと酸素濃度0.01%以下
のO2 とからなる雰囲気中、もしくは減圧下で300°
C以上の温度で加熱して還元したCu微粒子をガラスマ
トリックス内に固定化焼成し、続いてこの試料を酸化雰
囲気中で100〜300°Cの温度で熱処理してCu微
粒子をCu2 O微粒子へ酸化する方法である。Secondly, the sample containing Cu 2 O is added with N 2 ,
300 ° in an atmosphere consisting of an inert gas such as CO 2 and Ar and O 2 with an oxygen concentration of 0.01% or less, or under reduced pressure.
Cu fine particles reduced by heating at a temperature of C or higher are fixed and baked in a glass matrix, and then this sample is heat-treated at a temperature of 100 to 300 ° C. in an oxidizing atmosphere to convert Cu fine particles into Cu 2 O fine particles. It is a method of oxidizing.
【0022】第3は、上記Cu2 Oを含む試料をN2 、
CO2 、Ar等の不活性ガスと酸素濃度1.0%以上、
あるいは大気中で300°C以上の温度で焼結し、有機
成分を分解除去してCu2 O微粒子をCuO微粒子へ酸
化してガラスマトリックス内に固定化焼成し、続いてこ
の試料をN2 、CO2 、Ar等の不活性ガスと還元性ガ
スとして濃度0.01%以上のH2 やCH4 、COとの
混合ガス中で100〜300°Cの温度で熱処理して、
CuO微粒子をCu2 O微粒子へ還元する方法である。Thirdly, the sample containing Cu 2 O is added with N 2 ,
Inert gas such as CO 2 and Ar and oxygen concentration of 1.0% or more,
Alternatively, by sintering in air at a temperature of 300 ° C. or higher, organic components are decomposed and removed to oxidize Cu 2 O fine particles into CuO fine particles, which are fixed and baked in a glass matrix, and then this sample is N 2 , Heat treatment is performed at a temperature of 100 to 300 ° C. in a mixed gas of H 2 or CH 4 or CO having a concentration of 0.01% or more as a reducing gas such as an inert gas such as CO 2 or Ar,
This is a method of reducing CuO fine particles to Cu 2 O fine particles.
【0023】 得られた超微粒子分散ガラス状物では、
Cu2Oの超微粒子はAl−O−あるいはTi−O−な
どとの相互作用のために超微粒子同志が凝集せず、また
大きく粒成長せずに膜中に固定される。周りのAl−O
−あるいはTi−O−は超微粒子との相互作用のために
自由に結晶化できず、非晶質のガラスを生成する。即
ち、超微粒子分散ガラス状物の組成は、Cu2Oの超微
粒子の各々がMOx(MはAl,Ge,Sn,Sb,G
a,Pbから選ばれてなる両性元素あるいはTi,F
e,Nb,Ta,Cd,In,Cr,Mnから選ばれて
なる金属元素、xは0.1〜3である)からなる非晶質
の無機物に包囲され、上記超微粒子の含有率が1〜90
モル%である。更に、3成分の場合には、Cu2Oの超
微粒子、MOx、そしてガラス骨格を形成する第3成分
であるM’Oy(M’はSi,B,Pから選ばれた元素
であり、yは0.1〜3である)からなり、Cu2Oの
超微粒子の含有率が1〜90モル%である。In the obtained ultrafine particle-dispersed glassy material,
The ultrafine particles of Cu 2 O are fixed in the film without causing agglomeration of the ultrafine particles due to the interaction with Al-O- or Ti-O-, and causing large grain growth. Surrounding Al-O
-Or-Ti-O-cannot be crystallized freely due to the interaction with ultrafine particles and forms amorphous glass. That is, the composition of the ultrafine particle-dispersed glassy material is such that each of the Cu 2 O ultrafine particles has MO x (M is Al, Ge, Sn, Sb, G).
Amphoteric element selected from a and Pb or Ti and F
e, Nb, Ta, Cd, In , Cr, Mn , x is 0.1 to 3) surrounded by an amorphous inorganic material, Content rate is 1 to 90
Mol%. Further, in the case of three components, Cu 2 O ultrafine particles, MO x , and M′O y (M ′ is an element selected from Si, B, and P, which is the third component forming the glass skeleton And y is 0.1 to 3), and the Cu 2 O ultrafine particle content is 1 to 90 mol%.
【0024】[0024]
【作用】本発明においては、Cu2 Oの超微粒子を分散
させて得られた高分子複合物と有機金属化合物との混合
物を焼成するために、超微粒子がM−O−(Mは両性元
素あるいは金属元素)との相互作用のために超微粒子同
志が凝集せず、また大きく粒成長せずにその中に固定さ
れ、そして周りのM−O−は超微粒子の存在とそれとの
相互作用のために自由に結晶化できず、非晶質のガラス
を生成する。このため、焼成物では超微粒子の濃度を高
めることができ、非線形感受率の大きな材料を得ること
ができる。また、本発明においては、焼成温度を比較的
低くすることができるため、基板をいためることはな
い。In the present invention, since the mixture of the polymer composite obtained by dispersing the Cu 2 O ultrafine particles and the organometallic compound is fired, the ultrafine particles are MO- (M is an amphoteric element). Alternatively, the ultrafine particles do not agglomerate due to the interaction with the metal element) and are fixed therein without large grain growth, and the surrounding M-O- is due to the existence of the ultrafine particles and their interaction. As a result, it cannot be crystallized freely, and an amorphous glass is produced. Therefore, in the fired product, the concentration of ultrafine particles can be increased, and a material having a high nonlinear susceptibility can be obtained. Further, in the present invention, since the firing temperature can be made relatively low, the substrate is not damaged.
【0025】[0025]
【実施例】次に、本発明を具体的な実施例により更に詳
細に説明する。尚、本実施例における評価方法は以下の
通りである。Next, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples. The evaluation method in this example is as follows.
【0026】1.ガラス状物中の超微粒子の化学状態 ガラス状物中の超微粒子の化学状態の測定は、Cu2 O
の超微粒子が結晶体であるのでX線回折法を用いる。こ
のX線回折装置は薄膜アタッチメントを装着したリガク
社製、RINT1200で、入射固定角1°で2θ法に
よってX線回折パターンを求めて化合物を判定する。1. Chemical state of ultrafine particles in glassy material The chemical state of ultrafine particles in glassy material was measured with Cu 2 O.
The X-ray diffraction method is used because the ultrafine particles of are crystalline. This X-ray diffractometer is a RINT 1200 manufactured by Rigaku Corporation equipped with a thin film attachment, and the compound is determined by obtaining an X-ray diffraction pattern by the 2θ method at an incident fixed angle of 1 °.
【0027】2.超微粒子、生成物の含有率 これは、原料の混合物からモル%に換算して求めた。焼
結の過程で有機成分は全て分解除去され、無機成分は全
て気化、消失の無いものとした。2. Ultrafine particles, product content This was calculated from the mixture of raw materials in terms of mol%. All organic components were decomposed and removed during the sintering process, and all inorganic components were not vaporized or lost.
【0028】3.粒子の粒径 これは、1で得られたX線回折パターンに見られる化合
物のメインピークの半値幅を求め、シェラーの式から結
晶体のサイズを計算した値である。3. Particle size This is a value obtained by calculating the full width at half maximum of the main peak of the compound seen in the X-ray diffraction pattern obtained in 1 and calculating the size of the crystal body from Scherrer's formula.
【0029】4.ガラス質成分の構造 1で得られたX線回折パターンによって、超微粒子以外
の回折ピークが有るか、無いかを判定した。回折ピーク
が無い場合もしくはブロードなハローが観察される時
は、非晶構造であるとした。4. Based on the X-ray diffraction pattern obtained in Structure 1 of glassy component, it was determined whether or not there were diffraction peaks other than ultrafine particles. When there is no diffraction peak or when a broad halo is observed, it is assumed to have an amorphous structure.
【0030】5.光学特性 ソーダガラス基板上に成膜した試料の光吸収スペクトル
をU3300型分光光度計(日立製作所社製)を用いて
評価した。5. Optical characteristics The optical absorption spectrum of the sample formed on the soda glass substrate was evaluated using a U3300 type spectrophotometer (manufactured by Hitachi, Ltd.).
【0031】実施例1、比較例1 真空蒸着装置を用いて、ナイロン11のポリマーペレッ
ト5gをタングステンボード中に入れ、10-6Torr
に減圧する。次いで、電圧を印加してタングステンボー
ドを真空中で加熱してポリマーを融解させ、タングステ
ンボードの上部に設置した基板(ガラス板)上に、10
-4〜10-6Torrの真空度で約1μm/分の速度で厚
さ約5μmの蒸着膜の高分子層を得た。この高分子層の
分子量は前記ポリマーペレットの1/2〜1/10程度
になっている。Example 1 and Comparative Example 1 Using a vacuum vapor deposition apparatus, 5 g of polymer pellets of nylon 11 were placed in a tungsten board and 10 −6 Torr.
Depressurize to. Then, a voltage is applied to heat the tungsten board in a vacuum to melt the polymer, and the polymer is melted on the substrate (glass plate) placed on the top of the tungsten board.
A polymer layer of a vapor deposited film having a thickness of about 5 μm was obtained at a rate of about 1 μm / min at a degree of vacuum of −4 to 10 −6 Torr. The molecular weight of this polymer layer is about 1/2 to 1/10 of that of the polymer pellet.
【0032】 更に、銅チップをタングステンボード中
に入れて加熱融解して10−4〜10−6Torrの真
空度で蒸着を行って高分子層の上に銅蒸着膜を付着させ
た。これを真空蒸着装置から取り出し、120°Cに保
持した恒温槽中に10分間放置して複合物を得た。その
結果、この高分子複合物にはCu2Oの超微粒子を約6
0重量%含有し、その大きさは4〜8nmであった。Further, the copper chip was put in a tungsten board, heated and melted, and vapor deposition was performed at a vacuum degree of 10 −4 to 10 −6 Torr to deposit a copper vapor deposition film on the polymer layer. This was taken out from the vacuum vapor deposition apparatus and left in a constant temperature bath kept at 120 ° C. for 10 minutes to obtain a composite. As a result, this polymer composite contained about 6 Cu 2 O ultrafine particles.
The content was 0% by weight, and the size was 4 to 8 nm.
【0033】 上記高分子複合物と有機金属化合物とし
てテトラi−プロポキシチタン(実施例)、テトラプロ
ポキシシラン(比較例)を所定の重量比でメタクレゾー
ルに溶解させて良く攪拌し、これをソーダガラスの基板
上に塗布した後、密閉容器に入れ、これを120°Cに
て10分間、ロータリーポンプで脱気しながら溶剤を除
去するとともに乾燥した。The tetra i- propoxytitanium (Example) As the polymer composite and an organometallic compound, well stirred tetra profile <br/> Pokishishiran (Comparative Example) was dissolved in meta-cresol at a predetermined weight ratio After applying this on a soda glass substrate, it was placed in a closed container, and this was dried at 120 ° C for 10 minutes while degassing with a rotary pump to remove the solvent.
【0034】続いて、方法1として上記試料をO2 濃度
0.05%のN2 ガス中で、500°C、20分間焼成
する。また方法2として、まず10-5Torrの減圧下
で300°C、20分間減圧焼成し、Cuの状態の微粒
子でガラスマトリックス中に固定し、有機成分を除去し
た後、大気中で150°C、60分間熱処理を行いCu
をCu2 Oまで酸化させる。そして、方法3として、ま
ず上記試料を大気中で500°C、20分焼成してCu
Oの状態の微粒子でガラスマトリックス中に固定し、有
機成分を除去した後、H2 濃度0.1%のN2 雰囲気中
で150°C、10分間熱処理を行ってCuOをCu2
Oまで還元させる。このようにして得られたガラス状物
の特性を表1に示す。Then, as Method 1, the sample is fired in N 2 gas having an O 2 concentration of 0.05% at 500 ° C. for 20 minutes. As Method 2, first, the mixture was baked under reduced pressure of 10 −5 Torr at 300 ° C. for 20 minutes under reduced pressure, fixed in a glass matrix with Cu fine particles to remove organic components, and then at 150 ° C. in the atmosphere. , Heat treatment for 60 minutes, Cu
To Cu 2 O. Then, as Method 3, first, the above sample was fired in the atmosphere at 500 ° C. for 20 minutes to form Cu.
After fixing in a glass matrix with fine particles in the state of O to remove organic components, heat treatment was performed at 150 ° C. for 10 minutes in an N 2 atmosphere having a H 2 concentration of 0.1% to convert CuO to Cu 2
Reduce to O. The properties of the glassy material thus obtained are shown in Table 1.
【0035】[0035]
【表1】 [Table 1]
【0036】図1は実施例1−2と比較例1−2の焼成
膜のX線回折パターンを示す。実施例1−2と比較例1
−2のいずれもCu(111)の回折ピークがみられ、
Cu2 OがCuに還元されたことを示している。更に、
比較例1−2ではCu(111)ピークがシャープにな
り、これは還元されたCuが粒成長し、超微粒子状態で
ガラスマトリックス中に固定できなかったことを示して
いる。一方、実施例1−2では、Cu(111)ピーク
はブロードであり、焼成後も超微粒子状態を維持してガ
ラスマトリックス中に固定されていることが判る。そし
て、図1ではSi、Tiの酸化物に帰属する回折ピーク
がみられないことから、これらの酸化物は非晶構造を有
していると考えられる。FIG. 1 shows the X-ray diffraction patterns of the fired films of Example 1-2 and Comparative Example 1-2. Example 1-2 and Comparative Example 1
-2, the diffraction peak of Cu (111) is seen in each of
It shows that Cu 2 O was reduced to Cu. Furthermore,
In Comparative Example 1-2, the Cu (111) peak became sharp, which indicates that the reduced Cu particles grew and could not be fixed in the glass matrix in the state of ultrafine particles. On the other hand, in Example 1-2, it is found that the Cu (111) peak is broad and is fixed in the glass matrix while maintaining the ultrafine particle state even after firing. Since no diffraction peaks attributed to oxides of Si and Ti are seen in FIG. 1, these oxides are considered to have an amorphous structure.
【0037】図2は実施例1−2における焼成膜の低温
酸化処理前後のX線回折パターンを示す。この焼成膜は
Cuを超微粒子状態でガラスマトリックス中に固定して
いる。大気中、150°C、60分間の熱処理により、
CuはCu2 Oに酸化され、依然として超微粒子状態を
維持している。また、処理時間を15時間まで延長して
も、回折パターンに変化はみられず、Cu2 OからCu
Oへの酸化や、超微粒子の凝集等は生じていない。FIG. 2 shows X-ray diffraction patterns before and after the low temperature oxidation treatment of the fired film in Example 1-2. In this fired film, Cu is fixed in the glass matrix in the form of ultrafine particles. By heat treatment in air at 150 ° C for 60 minutes,
Cu is oxidized to Cu 2 O and still maintains an ultrafine particle state. Also, be extended processing time up to 15 hours, changes in the diffraction pattern is not observed, Cu from Cu 2 O
Oxidation to O and aggregation of ultrafine particles did not occur.
【0038】図3は実施例1−2と比較例1−2の焼成
膜の光吸収スペクトルを示すが、比較例1−2の焼成膜
ではCu2 Oが粒成長し、高分子複合物の長波長側の6
00nm付近から立ち上がりショルダー(図中矢印)も
長波長側に移行している。これはバルクCu2 O薄膜の
吸収スペクトルに類似している。そして、Cu2 O超微
粒子をガラスマトリックス中に固定することができた実
施例1−2では、ショルダー(図中矢印)は高分子複合
物と変わらず、長波長側の吸収は緩やかに低下し、長波
長側の吸光度が増加することによって赤味が増すことを
示している。この変化はCu2 O微結晶とこれを取り囲
む酸化物の相互作用によると考えられる。FIG. 3 shows the optical absorption spectra of the fired films of Example 1-2 and Comparative Example 1-2. In the fired film of Comparative Example 1-2, Cu 2 O grains grow and the polymer composites are formed. 6 on the long wavelength side
The rising shoulder (arrow in the figure) also shifts to the long wavelength side from around 00 nm. This is similar to the absorption spectrum of bulk Cu 2 O thin films. Then, in Example 1-2 in which the Cu 2 O ultrafine particles could be fixed in the glass matrix, the shoulder (arrow in the figure) was the same as that of the polymer composite, and absorption on the long wavelength side was gradually decreased. , Shows that the redness increases as the absorbance on the long wavelength side increases. This change is considered to be due to the interaction between Cu 2 O microcrystals and the oxide surrounding them.
【0039】実施例2 実施例1で得た高分子複合物の配合量を変化させ、そし
て焼成方法として方法2によって膜状のガラス状物を得
た。このようにして得られたガラス状物の特性を表2に
示す。Example 2 A film-like glassy material was obtained by the method 2 in which the compounding amount of the polymer composite obtained in Example 1 was changed and the baking method was used. The properties of the glassy material thus obtained are shown in Table 2 .
【0040】[0040]
【表2】 [Table 2]
【0041】この結果、本実施例では、Cu2 O微粒子
を高濃度にガラスマトリックス中に固定できることが判
る。As a result, in this example, it is understood that Cu 2 O fine particles can be fixed in the glass matrix at a high concentration.
【0042】[0042]
【発明の効果】以上のように本発明では、Cu2 Oの超
微粒子を分散させて得られた高分子複合物と有機金属化
合物との混合物を焼成することにより、超微粒子がMO
X からなる非晶質の無機物に包囲されM−O−との相互
作用のために超微粒子同志が凝集せず、原料時の粒径に
保たれたままその中に固定される。ここで、周りのM−
O−は超微粒子の存在とそれとの相互作用のために自由
に結晶化できず、非晶質のガラスを生成する。このた
め、焼成物では超微粒子の濃度を高めることができ、極
めて短時間で簡単に非線形感受率の大きな材料を得るこ
とができる。INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, according to the present invention, by firing a mixture of a polymer composite obtained by dispersing ultrafine particles of Cu 2 O and an organometallic compound, the ultrafine particles are converted into MO particles.
The ultrafine particles are surrounded by an amorphous inorganic substance composed of X and do not aggregate due to the interaction with MO-, and are fixed in the ultrafine particles while keeping the particle size at the time of the raw material. Where M-
O-cannot be crystallized freely due to the presence of ultrafine particles and the interaction with them, and forms amorphous glass. Therefore, in the fired product, the concentration of ultrafine particles can be increased, and a material having a large nonlinear susceptibility can be easily obtained in an extremely short time.
【図1】実施例1−2と比較例1−2の焼成膜のX線回
折パターンを示す。FIG. 1 shows X-ray diffraction patterns of fired films of Example 1-2 and Comparative example 1-2.
【図2】実施例1−2における焼成膜の低温酸化処理前
後のX線回折パターンを示す。FIG. 2 shows X-ray diffraction patterns of a fired film in Example 1-2 before and after low temperature oxidation treatment.
【図3】実施例1−2と比較例1−2の焼成膜の光吸収
スペクトルを示す。FIG. 3 shows light absorption spectra of fired films of Example 1-2 and Comparative example 1-2.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 出来 成人 神戸市東灘区住吉台41−1−807 審査官 三崎 仁 (56)参考文献 特開 平5−270861(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor, adult, 4-11-807, Sumiyoshidai, Higashinada-ku, Kobe City Jin Misaki, Examiner (56) Reference JP-A-5-270861 (JP, A)
Claims (6)
る超微粒子分散ガラス状物において、上記超微粒子が粒
径1〜50nmのCu2Oであり、該超微粒子の各々が
MOx(MはAl,Ge,Sn,Sb,Ga,Pbから
選ばれてなる両性元素あるいはTi,Fe,Nb,T
a,Cd,In,Cr,Mnから選ばれてなる金属元
素、xは0.1〜3である)からなる非晶質の無機物に
包囲され、上記超微粒子の含有率が最大90モル%であ
ることを特徴とする超微粒子分散ガラス状物。1. An ultrafine particle-dispersed glassy material comprising ultrafine particles of metal oxide and MO x , wherein the ultrafine particles are Cu 2 O having a particle size of 1 to 50 nm, and each of the ultrafine particles has MO x ( M is an amphoteric element selected from Al, Ge, Sn, Sb, Ga, Pb or Ti, Fe, Nb, T
a, Cd, In , Cr, Mn , x is 0.1 to 3) surrounded by an amorphous inorganic substance, and the content of the ultrafine particles is 90 mol% at maximum. An ultrafine particle-dispersed glassy material characterized by being present.
ガラス骨格を形成する第3成分であるM’Oyからなる
超微粒子分散ガラス状物において、上記超微粒子が粒径
1〜50nmのCu2Oであり、該超微粒子の各々がM
Ox(MはAl,Ge,Sn,Sb,Ga,Pb,C
r,Mnから選ばれてなる両性元素あるいはTi,F
e,Nb,Ta,Cd,Inから選ばれてなる金属元
素、xは0.1〜3である)からなる非晶質の無機物と
M’Oy(M’はSi,B,Pから選ばれた元素であ
り、yは0.1〜3である)に包囲され、上記超微粒子
の含有率が最大90モル%であることを特徴とする超微
粒子分散ガラス状物。2. An ultrafine particle-dispersed glassy material comprising ultrafine particles of metal oxide, MO x , and M′O y which is a third component forming a glass skeleton, wherein the ultrafine particles have a particle size of 1 to 50 nm. Cu 2 O, and each of the ultrafine particles is M
O x (M is Al, Ge, Sn, Sb, Ga, Pb, C
Amphoteric element selected from r and Mn or Ti and F
e, Nb, Ta, Cd, In, an amorphous inorganic substance made of a metal element, x is 0.1 to 3, and M′O y (M ′ is selected from Si, B and P). And y is 0.1 to 3), and the content of the ultrafine particles is 90 mol% at maximum.
集させることなく分散させて得られた高分子複合物と、
有機金属化合物との混合物を有機溶剤に溶解させ、これ
を基板上に塗布、乾燥して膜を作製した後、焼結するこ
とを特徴とする超微粒子分散ガラス状物の製造方法。3. A polymer composite obtained by dispersing ultrafine particles of Cu 2 O in a polymer without aggregating,
A method for producing an ultrafine particle-dispersed glassy material, which comprises dissolving a mixture with an organometallic compound in an organic solvent, coating the solution on a substrate, drying the film to produce a film, and then sintering the film.
機金属錯体、有機酸金属塩から選ばれてなる請求項3記
載の超微粒子分散ガラス状物の製造方法。4. The method for producing an ultrafine particle-dispersed glassy material according to claim 3, wherein the organometallic compound is selected from metal alkoxides , organometallic complexes, and organic acid metal salts.
固化させるかあるいは超急冷させることによって得られ
る熱力学的に不安定な高分子層を作製し、この高分子層
の表面に銅層を密着した後、上記高分子層を該融解温度
以下で加熱して高分子層を安定化させることで銅層から
超微粒子化したCu2Oを高分子内に凝集させることな
く分散させて得られたものである請求項3記載の超微粒
子分散ガラス状物の製造方法。5. A polymer composite forms a thermodynamically unstable polymer layer obtained by evaporating and solidifying a melted polymer or super-quenching, and copper is formed on the surface of the polymer layer. After the layers are brought into close contact with each other, the polymer layer is heated at a temperature not higher than the melting temperature to stabilize the polymer layer, whereby Cu 2 O which is made into ultrafine particles from the copper layer is dispersed in the polymer without agglomeration. The method for producing an ultrafine particle-dispersed glassy material according to claim 3, which is obtained.
混合物に、M’(M’はSi,B,Pから選ばれた元素
である)で表示されるガラス骨格を形成する第3成分を
混入してなる請求項3記載の超微粒子分散ガラス状物の
製造方法。6. A glass skeleton represented by M ′ (M ′ is an element selected from Si, B and P) is formed in the mixture of the polymer composite and the organometallic compound. 4. The method for producing an ultrafine particle-dispersed glassy material according to claim 3, wherein the third component is mixed.
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