JP2532028B2 - Ｓｑｕｉｄ磁束計 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、心磁波、脳磁波、眼筋
磁場等の生体磁場計測、または、地磁気計測、あるいは
物質の帯磁率計測、さらには磁気的信号を伝送する通信
装置用のインターフェイス等に適したＳＱＵＩＤ（Supe
rconducting Quantum Interference Device ：超伝導量
子干渉デバイス）磁束計に関する。ここに、ＳＱＵＩＤ
とは、液体ヘリウムや液体窒素等により断熱容器（クラ
イオスタット等）内で低温状態に維持され、ループ内に
１又は複数のジョセフソン接合を含む超伝導ループであ
るＳＱＵＩＤループに直流電流をバイアス電流として印
加して駆動し、このＳＱＵＩＤループ内に、ピックアッ
プコイル（検出コイル）や入力コイル等を介して外部か
らの磁束を結合して印加すると、ＳＱＵＩＤループに周
回電流が誘起され、ループ内のジョセフソン接合におけ
る量子的な干渉効果により、印加された外部磁束の微弱
な変化を出力電圧の大きな変化に変換するトランスデュ
ーサとして動作することを利用して、微小磁束変化を測
定する素子である。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＳＱＵＩＤ磁束計は、ＳＱＵＩＤ
と、ＳＱＵＩＤを格納する容器と、このＳＱＵＩＤ格納
容器内部の先端部（底部）に検出コイルを備え、このＳ
ＱＵＩＤ格納容器内に液体ヘリウムを貯留させるなどし
て検出コイルとＳＱＵＩＤを低温状態とした上で、検出
コイルの存在するＳＱＵＩＤ格納容器の先端部を患者の
所定箇所に接近させるなどして生体磁場の測定を行なっ
ていた。しかし、上記のタイプのＳＱＵＩＤ磁束計の場
合は、ＳＱＵＩＤの低温状態を維持するため、ＳＱＵＩ
Ｄ格納容器は、ＦＲＰ（Fiber Reinforced Plastics ：
繊維強化プラスティック）等により、外殻と内殻とを有
し外殻と内殻の間を真空状態とした一種の「魔法瓶」状
の格納容器の形に形成されていた。このため、磁束計格
納容器表面と検出コイルとの距離が、少なくとも２〜３
ｃｍにもなってしまい、微小な磁場を対象とする生体磁
場測定においては、測定精度の点で非常に不利であっ
た。また、狭隘な箇所に挿入する必要がある場合などで
は、磁場測定が非常に困難であった。また、上記従来の
ＳＱＵＩＤ磁束計では、ＳＱＵＩＤの冷却剤である液体
ヘリウムを格納容器に貯留してＳＱＵＩＤを冷却する方
式を採用していたため、磁場測定を行なうためには、Ｓ
ＱＵＩＤ格納容器へ外部から液体ヘリウムを注入する時
間及びＳＱＵＩＤが所定の温度まで冷却されるまでの時
間が必要であり、緊急に測定が必要な場合であっても、
迅速に測定を行なうことができない、という問題点があ
った。この問題点を解決するため、ＳＱＵＩＤ格納容器
を予め液体窒素等により冷却しておく「予冷」等も併用
されたが、その場合でも、実際の磁場測定にあたっては
ＳＱＵＩＤ格納容器内へ液体ヘリウムを注入する作業が
必ず必要であり、測定の迅速化にも限界があった。さら
に、上記従来のＳＱＵＩＤ磁束計においては、ＳＱＵＩ
Ｄの冷却剤として液体ヘリウムを貯留する方式であるた
め、ＳＱＵＩＤ磁束計の底部を上方に向けるようなポジ
ションにすると、格納容器内に貯留された液体ヘリウム
内に外部から熱が流入し、液体ヘリウムが急速に気化し
液体ヘリウム内に気泡が発生するなどして格納容器外へ
ヘリウムガスが漏れたり、極端な場合には格納容器の破
損を生ずる危険がある、という問題点も抱えていた。上
記の問題を解消するため、冷却用の溝を設けた２枚の板
を貼り合わせ内部に冷却用の溝を形成した保持構造を構
成し、この保持構造の上に検出コイルやＳＱＵＩＤを設
置して格納容器内に密閉し、外部の液体ヘリウムタンク
から格納容器内に液体ヘリウムを連続的に送り込み、上
記の冷却用溝内に液体ヘリウムを通して冷却した後、上
記の冷却の結果気化したヘリウムガスを連続的に排気す
る、という構成を採用したＳＱＵＩＤ測定装置の冷却装
置が知られている（特開平４−３２１２８３号公報参
照）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のＳＱＵ
ＩＤ測定装置の冷却装置の場合は、ＳＱＵＩＤの低温状
態を維持するための冷却剤が通る冷却用溝は、溝を有す
る２枚の板状要素を貼り合わせて構成されているので、
継目が生じ、この継目から冷却剤が漏れたり、外部の熱
が侵入するおそれがある、という問題点があった。ま
た、平面的に蛇行配置された冷却溝の総延長距離が相当
に長くなるので、液体ヘリウム等を送り込む以前に冷却
溝内に空気等が残存していると、残存空気中の窒素が液
体ヘリウム温度程度まで冷却されて凝固し、窒素の「氷
粒」となり、冷却溝の空間を閉塞させ冷却剤の「目詰
り」を起こしてしまう可能性も高い。さらに、上記のＳ
ＱＵＩＤ測定装置の冷却装置は、１個の検出コイルと１
個の補償コイルとから成る「１次微分グラジオメータ」
を実施例に挙げているが、１個の検出コイルと２個の補
償コイルとから成る「２次微分グラジオメータ」を構成
しようとすると、２枚の冷却板内に配置された冷却溝の
総延長距離はさらに長くなるので、上記の欠点はさらに
顕著化し、その実現は非常に困難になる。本発明は、上
記の問題点を解決するためになされたものであり、継目
がなく、目詰りも起こり難い冷却剤送導路を有するＳＱ
ＵＩＤ磁束計を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明に係るＳＱＵＩＤ磁束計は、液状の冷却剤を
貯留する冷却剤貯留容器と、当該冷却剤貯留容器内の液
状冷却剤を送導する可撓性を有する冷却剤送導路と、磁
場を測定する測定器と、前記冷却剤貯留容器から前記測
定器へ前記液状冷却剤を連続的に送導し、かつ排出させ
る冷却剤送排手段と、を有するＳＱＵＩＤ磁束計であっ
て、前記測定器は、密閉された中空円柱状の格納容器
と、高熱伝導性物質により略円柱状に形成され内部に軸
方向の盲孔状開口部を有し前記格納容器内に１層の真空
層を介して格納される支持体と、当該支持体の先端部付
近に設けられる検出コイルと、前記支持体に取り付けら
れ前記検出コイルによって検出された外部磁束を電気的
データに変換するＳＱＵＩＤと、前記盲孔状開口部内に
挿入配置され前記冷却剤送排手段により連続的に送られ
てくる冷却剤を当該盲孔状開口部内に循環させた後に前
記冷却剤送排手段により連続的に排出させることにより
前記支持体を冷却し熱伝導により前記検出コイル及びＳ
ＱＵＩＤを冷却する冷却剤循環手段と、を備えて構成さ
れる。

【０００５】

【作用】上記構成を有する本発明によれば、検出コイル
及びＳＱＵＩＤを熱伝導により冷却するための支持体に
は継目がないため、冷却剤の漏洩、外部からの熱侵入等
の問題は生じない。また、測定器は、密閉された中空円
柱状の格納容器を有し、高熱伝導性物質により略円柱状
に形成され内部に軸方向の盲孔状開口部を有し格納容器
内に１層の真空層を介して格納される支持体の上記盲孔
状開口部内に冷却剤送排手段が挿入配置され、外部から
連続的に送られてくる冷却剤を冷却剤循環手段により盲
孔状開口部内に循環させた後に連続的に排出させること
により支持体を冷却し、熱伝導により検出コイル及びＳ
ＱＵＩＤを冷却するようにしており、冷却剤は、略直線
状に延在する盲孔状開口部の先端部まで到達した後、冷
却剤送排手段の外部を後方へ流れる間に冷却を行なうの
で、冷却剤の「目詰り」が発生することは殆どない。ま
た、上記の冷却剤の送導経路は、１次微分グラジオメー
タと２次微分グラジオメータで変化はなく、どのような
形式の磁束計にも支障なく応用可能である。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面にもとづいて説
明する。図１に示すように、このＳＱＵＩＤ磁束計１
は、冷却剤である液体ヘリウムＬを貯留する冷却剤貯留
容器である液体ヘリウムタンク２と、液体ヘリウムを移
送するための可撓性を有する冷却剤送導路であるトラン
スファーチューブ３と、測定器４と、測定結果を出力す
る磁束計回路８と、加圧装置９を備えて構成されてい
る。図１においては、真空排気ポート２６（後述）は、
気密型コネクタ１４の背部に位置するため、図示されて
いないが、図２及び図５には図示されている。

【０００７】上記の測定器４の構成を図２乃至図５に示
す。図に示すように、測定器４は、磁場を測定する検出
コイル１１及びＳＱＵＩＤ６を取り付ける支持体である
検出コイルボビン５内の液体ヘリウム導入路３８に、冷
却剤循環手段であるヘリウム配管１０の液体ヘリウム注
入口２２を挿入し、この検出コイルボビン５全体を輻射
シールド１２で覆い、ＳＱＵＩＤ６からの出力を配線１
３及び気密型コネクタ１４を介して外部出力可能とし、
ヘリウム配管１０から排出されるヘリウムガスＧをヘリ
ウムガス排気用ポート１６により外部排出可能とし、こ
れら全体を、真空層Ｖを内部に有する格納容器７とフラ
ンジ１５により密閉することにより構成されている。

【０００８】上記のヘリウム配管１０は、液体ヘリウム
注入ポートと、この液体ヘリウム注入ポート２１内に設
けられて液体ヘリウムＬが導入される液体ヘリウム注入
口２２と、この液体ヘリウム注入口２２の先端部から噴
出され後方に向って流動しながらボビン５の冷却を行な
い徐々にガス化したヘリウムを導くヘリウムガス排気溝
２３Ａ及び２３Ｂと、ガス排気用のヘリウムガス排気パ
イプ２５及びヘリウムガス排気用ポート１６を備えて構
成されている。

【０００９】次に、図６乃至図８に基づき、支持体たる
検出コイルボビン５のさらに詳細な構成を説明する。検
出コイルボビン５は、高熱伝導性セラミックスにより継
目の無い略円柱状に形成され、その中心部には、冷却剤
である液体ヘリウムＬを循環させるための円柱軸方向の
盲孔状開口部である液体ヘリウム導入路３８が設けられ
ている。この液体ヘリウム導入路３８内に、上記のヘリ
ウム配管１０の液体ヘリウム注入口２２が挿入され、こ
の液体ヘリウム注入口２２と液体ヘリウム導入路３８の
内壁面との間に、ヘリウムガス排気溝２３Ａが形成され
る。

【００１０】また、検出コイルボビン５の周囲には、熱
の伝導等を絶縁するための真空層Ｖが形成されるが、こ
の真空度を保持するため、検出コイルボビン５の開口端
部には、取付用ネジ溝２９のみが設けられており、この
ネジ溝２９にヘリウム配管１０を緊く螺合させることに
より気密性が保たれる。

【００１１】検出コイルボビン５には、ＳＱＵＩＤ６を
取り付けるための配線基板３１が設置可能なように、ボ
ビン外周面の一部を除去した形状で略平面状の部分５Ｈ
が形成されている。この平面部５Ｈは、ＳＱＵＩＤ６の
冷却効率を向上させるため、ボビン内部の液体ヘリウム
導入路３８との距離が短くなるように、ボビンの肉厚を
薄く形成してある。また、配線基板３１は、アルミナ等
を含むセラミックス等の高熱伝導性材料により形成され
ており、ＳＱＵＩＤ６の冷却効率をさらに高めている。

【００１２】上記の平面部５Ｈ上に配線基板３１を接着
するための接着剤、および配線基板３１にＳＱＵＩＤ６
を接着するための接着剤は、高熱伝導性を保つため、真
空グリース又は高熱伝導性接着剤を使用する。

【００１３】上記のＳＱＵＩＤ６からは、超伝導ボンデ
ィング３４及び超伝導パッド３５を経て、より線状のツ
イスト線３６Ａが導出され、検出コイルボビン５の周囲
を１回巻回する補償コイル３７を形成し、さらにボビン
の先端付近に向ってツイスト線３６Ｂが導出され、ボビ
ンの先端付近において検出コイルボビン５の周囲を１回
巻回する検出コイル１１を形成している。検出コイル１
１と補償コイル３７の巻回方向は逆方向となっている。
一方、上記のＳＱＵＩＤ６からは、常伝導ボンディング
３３及び常伝導パッドを経て、高抵抗（低熱伝導性）線
３２ａ〜３２ｆが導出され、気密型コネクタ１４を経て
外部の磁束計回路８に接続し、ＳＱＵＩＤ６への入出力
を行なっている。上記の高抵抗線は、２本ずつより線を
形成している。上記において、高抵抗線を使用するの
は、外部からの熱の流入を防止するためであり、高抵抗
線に限定されるものではなく、例えば断面積の小さい銅
線等であってもよい。また、高抵抗線３２ａ〜３２ｆへ
の接続は、ハンダ付けでもよいし、コネクタ等を介して
行なってもよい。

【００１４】上記の配線を行なうため、検出コイルボビ
ン５の外周面には、検出コイル１１を収納するための円
周状の溝１１Ｃ、補償コイル３７を収納するための円周
状の溝３７Ｃ、ツイスト線を収納するための縦方向の溝
３６Ｃが形成されている。これらの溝のうち、検出コイ
ル溝１１Ｃ及び補償コイル溝３７Ｃは、超伝導線が１本
だけ収納可能な溝幅及び深さを有する溝であり、ツイス
ト線溝３６Ｃは、よりあわせた２本の超伝導線を収納可
能な溝幅及び深さを有する溝である。ツイスト線溝３６
Ｃは、配線基板３１の近傍まで形成されている。

【００１５】上記の各溝に沿ってコイルが巻回され、ツ
イスト線が設置される。そして、各パッド等との接続
は、ハンダ付けだけでなく機械的接続であってもよい。
また、各コイルやツイスト線は、検出コイルボビン５と
の間で高熱伝導性を保つため、真空グリースまたは高熱
伝導性接着剤を介して検出コイルボビン５に固定または
接着されている。

【００１６】上記においては、検出コイルボビン５上に
検出コイル又は補償コイルを構成する方法として、ボビ
ン外周面に超伝導線を直接巻き付ける例について説明し
たが、この方法に限定されるものではなく、例えば、高
熱伝導性の部材上に、薄膜技術を応用して、フォトリソ
グラフィー等を用いてコイルや配線をパターンニングに
より形成してもよい。

【００１７】また、上記実施例では、検出コイル及び補
償コイルを各１本ずつ有して構成される１次微分グラジ
オメータを構成する例について説明したものであり、こ
れは、他の数の検出コイル又は補償コイルを有するもの
であってもかまわない。例えば、１本の検出コイルと２
本の補償コイルを設けて２次微分グラジオメータを構成
してもよい。あるいは、補償コイルを設けず、１本の検
出コイルのみを設けてマグネットメータを構成してもよ
い。

【００１８】さらに、上記実施例では、検出コイルと補
償コイルとを検出コイルボビン５の同軸の円周面上に設
けているが、検出コイルと補償コイルとを平面上に構成
してもよい。

【００１９】次に、本実施例のＳＱＵＩＤ磁束計におけ
る液体ヘリウムＬの循環等について説明する。液体ヘリ
ウムＬは、液体ヘリウム注入ポート２１から注入され、
検出コイルボビン５内の液体ヘリウム注入口２２に到達
する。この液体ヘリウム注入口２２は、非導体、例えば
ＦＲＰ（繊維強化プラスティック）等で構成するのが望
ましい。

【００２０】上記の液体ヘリウム注入口２２から噴出し
た液体ヘリウムＬは、液体のまま、あるいはガス化して
検出コイルボビン５を冷却しながら液体ヘリウム注入口
２２の外側のヘリウムガス排気溝２３Ａ，２３Ｂを通
り、ヘリウムガス排気ポート１６に到達する。

【００２１】このとき、ヘリウムガス排気溝２３Ａ，２
３Ｂをヘリウムガスが通過するとき、液体ヘリウム注入
口２２のパイプ外壁を冷却するので、冷却の効率が一層
向上する。また、液体ヘリウム注入ポート２１とヘリウ
ムガス排気用ポート１６は二重管構造となっており、外
側層が真空となっているので、外部からの熱侵入及びパ
イプの結露を防ぐ構造となっている。

【００２２】また、検出コイルボビン５には継目がない
ため、冷却剤である液体ヘリウムＬやヘリウムガスＧの
継目からの漏洩、外部から継目を介しての熱侵入等の問
題は生じない。そして、検出コイルボビン５は、高熱伝
導性物質により略円柱状に形成され内部に軸方向の盲孔
状開口部である液体ヘリウム導入路３８を有し格納容器
７内に１層の真空層Ｖを介して格納され、検出コイルボ
ビン５の液体ヘリウム導入路３８内に冷却剤送排手段で
あるヘリウム配管１０が挿入配置され、外部から連続的
に送られてくる液体ヘリウムＬを冷却剤循環手段により
液体ヘリウム導入路３８内に循環させた後に連続的に排
出させることにより検出コイルボビン５を冷却し、熱伝
導により検出コイル１１及びＳＱＵＩＤ６を冷却するよ
うにしており、液体ヘリウムＬは、略直線状に延在する
液体ヘリウム導入路３８の先端部まで到達した後、ヘリ
ウム配管１０の外部を後方へ流れる間に冷却を行なうの
で、冷却剤の「目詰り」が発生することは殆どない。ま
た、上記の冷却剤の送導経路は、１次微分グラジオメー
タと２次微分グラジオメータで変化はなく、どのような
形式の磁束計にも支障なく応用可能である。

【００２３】また、外部からの熱輻射を防止するため、
検出コイルボビン５の外側に輻射シールド１２を取り付
けている。この輻射シールド１２は、高熱伝導性セラミ
ックスもしくはこれに多数のスリットを入れたアルミニ
ウム蒸着ポリエステルフィルムを貼り付けるか、または
直接アルミニウム蒸着ポリエステルフィルムだけを検出
コイルボビン５に巻き付けて構成する。ただし、上記の
アルミニウム蒸着ポリエステルフィルムを使用するとき
には、フィルム上を流れるエディーカレント（渦電流）
によるノイズが本来の磁束計のノイズに比べて小さくな
るようにフィルムの巻数及びスリットの間隔を決定する
必要がある。

【００２４】超伝導線を巻き付けた検出コイルボビン５
は、液体ヘリウム注入口２２をボビン中に挿入して螺合
させ、接着剤を流し込みながら接着して取り付ける。ま
た、その上部には分解できるようにインジウムシール２
７を介して取り付けてある。このインジウムシール２７
は、極低温中で真空を保てる良いシール材である。本実
施例では、分割型としているためシールを用いたが、シ
ールを使用しない一体型として構成してもよいし、上記
の接着剤を使用しない形式であってもよい。

【００２５】また、本実施例では、フランジ１５に液体
ヘリウム注入ポート２１とヘリウムガス排気用ポート１
６と真空排気ポート２６の３つが一体成形されている
が、これに限るものではなく、それぞれのポートが個別
に取り外し可能なように構成してもかまわない。また、
格納容器７とフランジ１５とは、真空状態を保持するた
め、Ｏリング２８を介して接続されている。

【００２６】次に、本実施例のＳＱＵＩＤ磁束計１の使
用方法について説明する。図９に示すように、患者が座
位等の体位をとった場合であっても、あたかも聴診器を
当てるように、ＳＱＵＩＤ磁束計の測定器４を患者の胸
部に当てて心臓から発生する磁場を測定することができ
る。また、測定は、簡単な磁気シールドルーム又は電磁
シールドルーム内で行なえば、さらに精度のよい測定が
行なえる。本実施例の装置は、測定時にのみ加圧装置９
を起動させればよく、ヘリウムの消費量も極めて少な
い。また、測定と同時に、診断する医師等は、波形表示
装置４４により磁場データの波形を観察することができ
る。

【００２７】次に、本実施例における冷却方法について
説明する。図１０は加圧方法を、図１１は吸引方法を、
それぞれ示している。図１０に示す加圧方法では、図示
しないヘリウムガスタンク、コンプレッサー、液体ヘリ
ウム中に置かれた熱源等を加圧装置として用いる。この
加圧装置９により、液体ヘリウムタンク２の内部が加圧
され、液体ヘリウムＬが押し出され、本実施例のＳＱＵ
ＩＤ磁束計の装置内を循環する。

【００２８】この循環するヘリウムの流量を制御するた
めに、質量流量測定器４２と制御弁４３を含む質量流量
調節器４１が設けられている。この場合の一般的な制御
としては、加圧圧力を一定に保ち、磁束計測定器４内に
設けた温度センサ４５により目的の温度になるように制
御装置４６によって質量流量調節器４１を制御する方式
が挙げられる。他の制御方式として、上記の制御装置４
６を加圧装置９内に設けて加圧圧力を制御する方式も可
能である。

【００２９】図１１に示す吸引方法は、図示しないロー
タリーポンプ等によって液体ヘリウムＬの吸引を行なう
方法である。この場合、ヘリウムタンク２内の液体ヘリ
ウムＬが蒸発しタンク内の圧力がほぼ一定に保たれるた
め、吸引が可能となる。また、さらに吸引流量を増やす
ためには、上記の加圧方法と併用すれば可能である。こ
の吸引方法における制御方式は、上記の加圧方法の場合
と同様である。

【００３０】上記において、加圧装置９、ヘリウム配管
１０は、冷却剤送排手段を構成している。

【００３１】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではない。上記実施例は、例示であり、本発明の特
許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な
構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる
ものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、上記構成を有する
本発明によれば、検出コイル及びＳＱＵＩＤを冷却する
ための支持体には継目がないため、冷却剤の漏洩、外部
からの熱侵入等の問題は生じない。また、測定器は、密
閉された中空円柱状の格納容器を有し、高熱伝導性物質
により略円柱状に形成され内部に軸方向の盲孔状開口部
を有し格納容器内に１層の真空層を介して格納される支
持体の上記盲孔状開口部内に冷却剤送排手段が挿入配置
され、外部から連続的に送られてくる冷却剤を冷却剤循
環手段により盲孔状開口部内に循環させた後に連続的に
排出させることにより支持体を冷却し、熱伝導により検
出コイル及びＳＱＵＩＤを冷却するようにしており、冷
却剤は、略直線状に延在する盲孔状開口部の先端部まで
到達した後、冷却剤送排手段の外部を後方へ流れる間に
冷却を行なうので、冷却剤の「目詰り」が発生すること
は殆どない。また、上記の冷却剤の送導経路は、１次微
分グラジオメータと２次微分グラジオメータで変化はな
く、どのような形式の磁束計にも支障なく応用可能であ
る、という利点も有している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるＳＱＵＩＤ磁束計の全
体構成を示すブロック図である。

【図２】図１における測定部の部分拡大断面図である。

【図３】図２における格納容器の構成を示す断面図であ
る。

【図４】図２における検出コイルボビンの構成を示す断
面図である。

【図５】図２におけるヘリウム配管の構成を示す断面図
である。

【図６】図２に示す検出コイルボビンのさらに詳細な構
成を示す斜視図である。

【図７】図２に示す検出コイルボビンのさらに詳細な構
成を示す平面図である。

【図８】図２に示す検出コイルボビンのさらに詳細な構
成を示す断面図である。

【図９】本実施例のＳＱＵＩＤ磁束計による磁場測定時
の構成を説明するブロック図である。

【図１０】本実施例のＳＱＵＩＤ磁束計の冷却方法を説
明する図（１）である。

【図１１】本実施例のＳＱＵＩＤ磁束計の冷却方法を説
明する図（２）である。

【符号の説明】

１ ＳＱＵＩＤ磁束計 ２ 液体ヘリウムタンク ３ トランスファーチューブ ４ 測定器 ５ 検出コイルボビン ５Ｈ 平面部 ６ ＳＱＵＩＤ ７ 格納容器 ８ 磁束計回路 ９ 加圧装置 １０ ヘリウム配管 １１ 検出コイル １１Ｃ 検出コイル溝 １２ 輻射シールド １３ 配線 １４ 気密型コネクタ １５ フランジ １６ ヘリウムガス排気用ポート ２１ 液体ヘリウム注入ポート ２２ 液体ヘリウム注入口 ２３Ａ，２３Ｂ ヘリウムガス排気溝 ２４Ａ，２４Ｂ 取付用ボルト ２５ ヘリウムガス排気パイプ ２６ 真空排気ポート ２７ インジウムシール ２８ Ｏリング ２９ 取付用ネジ溝 ３０ ボビン本体 ３１ 配線基板 ３２ａ〜３２ｆ 高抵抗線 ３３ 常伝導ボンディング ３４ 超伝導ボンディング ３５ 超伝導パッド ３６Ａ，３６Ｂ ツイスト線 ３６Ｃ ツイスト線溝 ３７ 補償コイル ３７Ｃ 補償コイル溝 ３８ 液体ヘリウム導入路 ４１ 質量流量調節器 ４２ 質量流量測定器 ４３ 制御弁 ４４ 波形表示装置 ４５ 温度センサ ４６ 制御装置 ４７ 吸引装置 Ｇ ヘリウムガス Ｌ 液体ヘリウム Ｖ 真空

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液状の冷却剤を貯留する冷却剤貯留容器
   と、 当該冷却剤貯留容器内の液状冷却剤を送導する可撓性を
   有する冷却剤送導路と、 磁場を測定する測定器と、 前記冷却剤貯留容器から前記測定器へ前記液状冷却剤を
   連続的に送導し、かつ排出させる冷却剤送排手段と、 を有するＳＱＵＩＤ磁束計であって、 前記測定器は、 密閉された中空円柱状の格納容器と、 高熱伝導性物質により略円柱状に形成され内部に軸方向
   の盲孔状開口部を有し前記格納容器内に１層の真空層を
   介して格納される支持体と、 当該支持体の先端部付近に設けられる検出コイルと、 前記支持体に取り付けられ前記検出コイルによって検出
   された外部磁束を電気的データに変換するＳＱＵＩＤ
   と、 前記盲孔状開口部内に挿入配置され前記冷却剤送排手段
   により連続的に送られてくる冷却剤を当該盲孔状開口部
   内に循環させた後に前記冷却剤送排手段により連続的に
   排出させることにより前記支持体を冷却し熱伝導により
   前記検出コイル及びＳＱＵＩＤを冷却する冷却剤循環手
   段と、を備えたことを特徴とするＳＱＵＩＤ磁束計。